CN114735055B - 一种用于晶圆搬运的电子推车 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于晶圆搬运的电子推车，包括移动平台，所述移动平台底部设置有减震轮，所述移动平台表面设置有承载平台，所述移动平台与承载平台之间设置有称重传感器，所述承载平台底部还设置有阅读器，所述承载平台表面用于放置晶圆盒，所述晶圆盒上设置有电子标签，所述承载平台周边的移动平台上还设置有围挡，所述移动平台一侧设置有推拉扶手，所述推拉扶手上设置有显示模组；所述移动平台内设置有电池和控制器，所述控制器与阅读器、称重传感器以及显示模组连接，所述电池为称重传感器、阅读器、显示模组以及控制器供电。本发明能够在运送过程中起到物料及对应信息传递的效果，提高生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种用于晶圆搬运的电子推车。
背景技术
晶圆是制造半导体器件的基础性原材料。极高纯度的半导体经过拉晶、切片等工序制备成为晶圆，晶圆经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构，再经切割、封装、测试成为芯片，广泛应用到各类电子设备当中。
半导体晶圆在制造过程中具有较多的环节，通过晶圆盒将晶圆进行周转是即为必要的，由于在物流环节中无法做到全程监控，因此存在信息缺失，尤其是晶圆盒运送过程中，导致需要追溯核对，影响生产效率。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种用于晶圆搬运的电子推车，能够在运送过程中起到物料及对应信息传递的效果，提高生产效率。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种用于晶圆搬运的电子推车，包括移动平台，所述移动平台底部设置有减震轮，所述移动平台表面设置有承载平台，所述移动平台与承载平台之间设置有称重传感器，所述承载平台底部还设置有阅读器，所述承载平台表面用于放置晶圆盒，所述晶圆盒上设置有电子标签，所述承载平台周边的移动平台上还设置有围挡，所述移动平台一侧设置有推拉扶手，所述推拉扶手上设置有显示模组；
所述移动平台内设置有电池和控制器，所述控制器与阅读器、称重传感器以及显示模组连接，所述电池为称重传感器、阅读器、显示模组以及控制器供电。
进一步的，所述围挡内设置有分隔格栅，分隔格栅将围挡分隔为多个摆放区，每个摆放区内均对应设置有一个承载平台。
进一步的，每个摆放区均对应一个数据选框，数据选框在显示模组上显示，选择数据选框跳转查看对应电子标签数据。
进一步的，称重传感器用于测量晶圆盒总重量，晶圆盒总重量等于晶圆盒自重与单片晶圆重量乘以晶圆数量之和，阅读器读取对应电子标签上的晶圆数据，通过晶圆数据模拟得到模拟重量，通过晶圆盒总重量与实际模拟重量对比判断电子标签的数据是否需要进行修改。
进一步的，所述减震轮上设置有电子刹车组件，当电子标签的数据需要进行修改时，电子刹车组件启动对减震轮刹车。
进一步的，当电子标签的数据需要进行修改时，数据选框变换显示颜色。
进一步的，显示模组上设置有摄像仪，摄像仪抓取承载平台表面图像并监测晶圆盒运输过程。
进一步的，当阅读器未读取到电子标签或者称重传感器未测得重量时，通过摄像仪抓取的图像识别摆放物体是否为晶圆盒，根据识别结果判断错误类型并提醒修复。
进一步的，所述推拉扶手为门架结构，所述推拉扶手顶部设置有斜向安装面，所述推拉扶手外表面上还设置有弧形把手，所述显示模组底部通过C型卡扣卡设在弧形把手上，所述显示模组背面与斜向安装面贴合并锁固。
进一步的，所述承载平台表面设置有定位环，所述定位环与承载平台之间配合固定晶圆盒的摆放位置。
本发明的有益效果：
1、通过对晶圆盒上电子标签的读写，能够快速的确定当前晶圆盒内晶圆的具体数据信息，在运送交接过程中均能够起到信息的有效比对效果，不存在信息缺失的情况。
2、称重传感器能够准确的测量晶圆盒的重量，根据重量能够得到晶圆的数量，从而通过数据比对可以查询到运送节点的信息变化情况，进一步检验电子标签读写是否及时和准确。
附图说明
图1是本发明的电子推车结构示意图；
图2是本发明具有分隔结构的电子推车示意图；
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
参照图1所示，本发明的用于晶圆搬运的电子推车的一实施例，包括移动平台1，移动平台底部设置有减震轮2，移动平台表面设置有承载平台3，承载平台底部还设置有阅读器5，承载平台表面用于放置晶圆盒6，晶圆盒上设置有电子标签7，通过阅读器可以对电子标签上的信息进行读写，从而获取晶圆盒内晶圆的信息，包括型号、数量、工序等参数，在承载平台周边的移动平台上还设置有围挡8，保证晶圆盒运送不掉落，移动平台一侧设置有推拉扶手9，推拉扶手上设置有显示模组10，便于数据查看和数据处理；移动平台与承载平台之间设置有称重传感器，根据测量晶圆盒的重量，能够得到晶圆的数量，从而通过数据比对可以查询到运送节点的信息变化情况，进一步检验电子标签读写是否及时和准确。
上述移动平台内设置有电池和控制器，控制器与阅读器、称重传感器以及显示模组连接，用于控制称重和进行读写操作，电池为称重传感器、阅读器、显示模组以及控制器供电。
参照图2所示，为了围挡内设置有分隔格栅11，分隔格栅将围挡分隔为多个摆放区，每个摆放区内均对应设置有一个承载平台，每个晶圆盒都能够独立称重，并且分隔摆放，避免运送中的相互碰撞。在承载平台表面还设置有定位环，定位环与承载平台之间配合固定晶圆盒的摆放位置，晶圆盒尺寸为6寸、8寸和12寸，针对不同尺寸的晶圆盒，通过定位环定位后，实现运送中不移动的效果，提高安全性，当针对不同尺寸的晶圆盒使用时，更换不同尺寸的定位环即可，定位环可快速拆卸设计。
通过分隔格栅划分区域后，为了快速的每个承载平台上读取到的数据进行区分，将每个摆放区均对应一个数据选框进行设定，参照图2的分隔所示，数据选框分为6个，且排布位置关系与实际承载平台布置的位置一致，数据选框在显示模组上显示，根据晶圆盒摆放位置选择对应的数据选框，点击数据选框后显示模组跳转显示通过阅读器读取到的晶圆盒上电子标签的信息数据，根据信息数据比对实际周转情况。
上述读取信息数据以及修改电子标签的信息均进行保持，以便于追溯。
通过分隔后，每个称重传感器可以针对一个晶圆盒进行称重，称重的晶圆盒总重量等于晶圆盒自重与单片晶圆重量乘以晶圆数量之和，晶圆盒自重可以预先称量后读写在电子标签上，且不得更改，阅读器读取对应电子标签上的晶圆数据，通过晶圆数据模拟得到模拟重量，通过晶圆盒总重量与实际模拟重量对比判断电子标签的数据是否需要进行修改，可以有效避免因疏忽未修改电子标签导致运送信息不良的问题。
在减震轮上设置有电子刹车组件，当电子标签的数据需要进行修改时，电子刹车组件启动对减震轮刹车，推车无法推行，通过修改后刹车组件解除刹车，即可推行。同时当电子标签的数据需要进行修改时，数据选框变换显示颜色，从而可以快速确定多个晶圆盒中哪一个需要修改，快速完成。
为了提高运送数据追溯时的完整性，在显示模组上设置有摄像仪，摄像仪抓取承载平台表面图像并监测晶圆盒运输过程，通过运输过程的监测，可以快速查询到运输过程中有无发生碰撞、开箱检测等操作，起到有效的监督作用，规范操作。
当阅读器未读取到电子标签或者称重传感器未测得重量时，通过摄像仪抓取的图像识别摆放物体是否为晶圆盒，根据识别结果初步判断错误类型，例如是电子标签失效或者称重传感器损坏等，并提醒修复，提高推车的智能化水平，具有良好的自检效果。
上述的推拉扶手为门架结构，推拉扶手顶部设置有斜向安装面，推拉扶手外表面上还设置有弧形把手12，显示模组底部通过C型卡扣13卡设在弧形把手上，显示模组背面与斜向安装面贴合并锁固，设计合理，操作便捷，并且方便显示模组的组装以及后续拆修，安装后可以形成三角固定效果，稳固可靠。
以上实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例，本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换，均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。
Claims (1)
1.一种用于晶圆搬运的电子推车，其特征在于，包括移动平台，所述移动平台底部设置有减震轮，所述移动平台表面设置有承载平台，所述移动平台与承载平台之间设置有称重传感器，所述承载平台底部还设置有阅读器，所述承载平台表面用于放置晶圆盒，所述晶圆盒上设置有电子标签，所述承载平台周边的移动平台上还设置有围挡，所述移动平台一侧设置有推拉扶手，所述推拉扶手上设置有显示模组；
所述移动平台内设置有电池和控制器，所述控制器与阅读器、称重传感器以及显示模组连接，所述电池为称重传感器、阅读器、显示模组以及控制器供电；
所述围挡内设置有分隔格栅，分隔格栅将围挡分隔为多个摆放区，每个摆放区内均对应设置有一个承载平台；
每个摆放区均对应一个数据选框，数据选框在显示模组上显示，选择数据选框跳转查看对应电子标签数据；
称重传感器用于测量晶圆盒总重量，晶圆盒总重量等于晶圆盒自重与单片晶圆重量乘以晶圆数量之和，阅读器读取对应电子标签上的晶圆数据，通过晶圆数据模拟得到模拟重量，通过晶圆盒总重量与实际模拟重量对比判断电子标签的数据是否需要进行修改；
所述减震轮上设置有电子刹车组件，当电子标签的数据需要进行修改时，电子刹车组件启动对减震轮刹车；
当电子标签的数据需要进行修改时，数据选框变换显示颜色；
显示模组上设置有摄像仪，摄像仪抓取承载平台表面图像并监测晶圆盒运输过程；
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所述推拉扶手为门架结构，所述推拉扶手顶部设置有斜向安装面，所述推拉扶手外表面上还设置有弧形把手，所述显示模组底部通过C型卡扣卡设在弧形把手上，所述显示模组背面与斜向安装面贴合并锁固；
所述承载平台表面设置有定位环，所述定位环与承载平台之间配合固定晶圆盒的摆放位置。
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