TW202308024A - 裝載端口 - Google Patents

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Abstract

本發明提供了一種裝載端口。該裝載端口包括：框架，該框架包括開口，傳送目標物體能夠經由該開口以基本上水平的姿勢通過；裝載端口門，該裝載端口門被配置為與能夠打開和關閉儲存容器的裝載/卸載端口的容器門接合，並且被配置為打開和關閉該框架的開口，該儲存容器包括能夠以多級方式容納傳送目標物體的狹槽；以及映射機構，該映射機構被配置為經由開口和裝載/卸載端口來映射關於容納狀態的訊息，該容納狀態包括在該儲存容器中的每個該狹槽中存在或不存在該傳送目標物體。

Description

裝載端口
本發明涉及一種用於在半導體製造工藝中將傳送目標物體遞送到前開式晶圓傳送盒(FOUP)以及從FOUP處遞送傳送目標物體的裝載端口，該FOUP是能夠將諸如晶圓等多個傳送目標物體儲存在多級狹槽中的儲存容器。特別地，本發明涉及設置有映射機構的裝載端口，該映射機構用於映射與狀態相關的訊息，該狀態包括FOUP的每個狹槽中傳送目標物體的存在或不存在。
舉例來說，在半導體製造工藝中，在無塵室中處理晶圓以便提升良率以及品質。近年來，已經引入了用於僅在晶圓周圍的局部空間中進一步提高清潔度的“微環境系統（mini-environment system）”，並且已經採用了用於傳送或處理晶圓的裝置。在微環境系統中，與傳送室相鄰地設置有裝載端口，該裝載端口構成基本上封閉在殼體內的晶圓傳送室（下文中稱為傳送室）的壁表面的一部分，安裝有前開式晶圓傳送盒（Front Opening Unified Pod；FOUP），該FOUP是用於在高度清潔的內部空間中儲存諸如晶圓等的傳送目標的儲存容器，並且該裝載端口具有在與FOUP門緊密接觸的同時打開和關閉FOUP門的功能。在下文中，可以與FOUP門接合以打開和關閉FOUP門的裝載端口的門將被稱為“裝載端口門”。
這種裝載端口是用於將傳送目標物體裝載到傳送室中和從傳送室卸載傳送目標物體的設備，並且用作傳送室和FOUP之間的接口部分。當FOUP門和裝載端口門在裝載端口門保持與FOUP門緊密接觸的同時被打開時，佈置在傳送室中的傳送機械手可以將FOUP中的傳送目標物體取出到傳送室中，或者可以將傳送目標物體從傳送室儲存到FOUP中。
裝載端口設置有映射機構，該映射機構能夠檢測FOUP中設置的多級狹槽中傳送目標物體的存在或不存在及其儲存姿勢。在傳統的映射機構中，假設傳送目標物體是圓形的，則使用透射式光學感測器來執行映射過程，該透射式光學感測器的感測線（光發送/接收線）是與傳送目標物體的尖端部分（構成圓的外邊緣（圓周）的一部分）相交的線，該尖端部分被定位成比傳送目標物體的深度方向上的中心更靠近FOUP門，由此檢測到每個狹槽中傳送目標物體的存在或不存在。
作為映射機構的示例，存在可用的映射機構，其被配置為使得在其尖端處配備有映射感測器的映射器可以在不可映射位置和可映射部分之間移動，其中，在不可映射位置處，映射器縮回，比起裝載端口的框架，更靠近FOUP；在可映射部分處，經由框架的開口，映射器被移動到比起不可映射位置更靠近FOUP的內部的位置。此外，映射機構設置有支撐映射器的映射移動部分（映射臂）。通過在高度方向上移動映射臂，與此同時將映射器保持在可映射位置，可以檢測傳送目標對象是否儲存在構成多級狹槽的每個狹槽中（存在/不存在檢測）。此外，異常交叉安裝的檢測（交叉檢測）和雙重安裝的檢測（雙重安裝檢測）亦與存在/不存在檢測同時執行，在異常交叉安裝中傳送目標物體被支撐在不同高度的狹槽中，在雙重安裝中兩個傳送目標物體被重疊地支撐在同一狹槽中。映射臂的升降運動與裝載端口門的升降運動一體地或獨立地執行。
雖然使用上述映射機構的映射過程可在傳送目標物體為圓形的情況下平滑地且適當地執行，但其無法在具有除圓形以外的形狀（例如，矩形形狀）的面板或晶圓上執行。
也就是說，在傳統的映射機構中，在映射過程中，需要使配備有映射感測器（例如，設置有光照射部分和光接收部分的透射式光學感測器）的映射器進入FOUP，並且光照射部分和光接收部分的位置被佈置為使得傳送目標物體的外周邊緣可以牢固地從基本水平方向被夾在中間。如果傳送目標物體是圓形的，則可以在FOUP門側確保傳送目標物體的外周表面和FOUP的內表面之間的空間。然而，如果傳送目標物體是例如具有正方形或矩形形狀的所謂的方形玻璃基板等，則FOUP中的正方形或矩形傳送目標物體的佔用面積大於傳送目標物體具有圓形形狀的情況下的佔用面積。因此，在傳送目標物體的外周表面和FOUP的內表面之間確保足夠的空間用於映射機構的感測器的進入是不可能的或極其困難的。
同時，日本專利申請公開第2019-102753號（專利文獻1）提出了一種設置有映射機構的裝載端口，該映射機構包括用於用成像光照射傳送目標物體的發光部分和用於通過對由來自發光部分的照射光照射的照明區域進行成像來捕獲圖像並獲取圖像的成像部分。具體地，專利文獻1公開了一種配置，其中一個成像部分與發射光的一個發光部分相關聯地提供，使得在照明區域中僅包括一個傳送目標物體，發光部分朝向傳送目標物體照射成像光，並且成像部分通過對由發光部分照射的照明區域進行成像來捕獲圖像，由此可以基於如此獲取的圖像來掌握方形傳送目標物體的容納狀態。
然而，在上述發射光使得在照明區域中僅包括一個傳送目標物體的映射機構中，整個傳送目標物體佔據的照明區域隨著方形傳送目標物體的尺寸增加而變小。因此，對於一個傳送目標物體，可能無法僅用一個捕獲的圖像執行準確的交叉檢測。例如，當傳送目標物體由設置在FOUP中的左側、右側和中心三個位置處的諸如狹槽等的支撐部分支撐的配置被採用作為用於在FOUP中支撐大的傳送目標物體的配置時，可能不能僅利用一個捕獲圖像就精準地檢測三種類型的交叉異常安裝，即，i）第一種交叉異常安裝，其中，傳送目標物體以這種狀態被安裝使得傳送目標物體的右側和中心在相同高度位置處由支撐部分支撐，並且僅左側不被支撐部分支撐在與右側和中心相同的高度位置處（左側被支撐部分支撐在與右側和中心不同的高度位置處，或者不被任何支撐部分支撐）；ii）第二種交叉異常安裝，其中，傳送目標物體以這種狀態被安裝使得傳送目標物體的左側和中心在相同高度位置處由支撐部分支撐，並且僅右側不被支撐部分支撐在與左側和中心相同的高度位置處（右側被支撐部分支撐在與左側和中心不同的高度位置處，或者不被任何支撐部分支撐）；以及iii）第三種交叉異常安裝，其中，傳送目標物體以這種狀態被安裝使得傳送目標物體的左側和右側在相同高度位置處由支撐部分支撐，並且僅中心不被支撐部分支撐在與左側和右側相同的高度位置處（中心被支撐部分支撐在與左側和右側不同的高度位置處，或者不被任何支撐部分支撐）。特別地，如果傳送目標物體大且薄，則預期傳送目標物體將由於除了其自身重量之外的纖薄而以彎曲狀態被容納。在彎曲狀態下容納傳送目標物體的這種彎曲安裝可以被視作交叉異常安裝的一個方面。
此外，在專利文獻1中描述的映射機構的情況下，需要執行通過對由來自發光部分的照射光照射的照明區域進行成像來獲取捕獲圖像的過程以及基於由此獲取的捕獲圖像來識別傳送目標物體的容納狀態的過程。與可以通過檢測光接收狀態或光阻擋狀態來識別傳送目標物體的容納狀態的映射機構相比，專利文獻1中描述的映射機構需要更高水平的工藝和更長的週期時間。
在專利文獻1中，公開了一個方面，其中提供兩個映射感測器以對傳送目標物體的不同視場進行成像，基於由映射感測器中的一個獲取的捕獲圖像來確定容納狀態，並且基於由另一個映射感測器獲取的捕獲圖像來確定容納狀態。在這種情況下，如果基於兩個捕獲圖像的容納狀態的確定都是“良好”，則可以確定傳送目標物體的容納狀態是“良好”。如果基於捕獲圖像之一的容納狀態的確定是“不良”，則可以確定傳送目標物體的容納狀態是“不良”。然而，捕獲圖像的數量增加，這需要大量時間用於圖像處理和確定。另外，由於發光部件和成像單元的數量增加，設備成本會變得非常高。
本發明通過注意此等問題而做出，並且提供了一種裝載端口，該裝載端口能夠避免裝置的整體尺寸增加，並且即使傳送目標物體具有矩形平面視圖形狀和大尺寸，亦能夠精準且正確地檢測儲存容器中傳送目標物體的容納狀態。
具體的，根據本發明的裝載端口包括：框架，其包括開口，傳送目標物體能夠經由該開口以基本上水平的姿勢通過；裝載端口門，其被配置為與容器門接合，該容器門能夠打開和關閉儲存容器的裝載/卸載端口，該儲存容器包括能夠以多級方式容納傳送目標物體的狹槽，並且裝載端口門被配置為打開和關閉框架的開口；以及映射機構，其被配置為經由開口和裝載/卸載端口映射關於容納狀態的訊息（該訊息包括在儲存容器中的每個狹槽中傳送目標物體的存在或不存在），其中映射機構包括：兩個映射感測器，其被配置為在打開和關閉開口時與裝載端口門的上升/下降運動一體地或獨立於裝載端口門的上升/下降運動地上下移動，並且能夠通過朝向儲存容器的內部照射檢測波來檢測傳送目標物體的端面；以及確定部，其被配置為基於由兩個映射感測器獲得的感測訊息來確定傳送目標物體的容納狀態是良好還是不良。
根據本發明的裝載端口，包括兩個映射感測器的映射機構可以映射關於容納狀態（包括儲存容器中每個狹槽中的傳送目標物體的存在或不存在）的訊息。
因此，在本發明的裝載端口的情況下，即使對於具有矩形平面視圖形狀並且具有在儲存容器的裝載/卸載端口處的基本上整個開口寬度上延伸的線性端面的大且薄的傳送目標物體，兩個映射感測器亦可以精準且正確地檢測儲存容器中傳送目標物體的容納狀態。
此外，在本發明的裝載端口的情況下，映射機構可以在沒有成像和圖像處理的情況下映射關於容納狀態（包括在儲存容器中每個狹槽中的傳送目標物體的存在或不存在）的訊息。與使用相機等的圖像處理系統相比，可以加速檢測傳送目標物體的過程，並且可以保持該系統的低成本。
在本發明中，“映射關於容納狀態的訊息（包括在沒有成像和圖像處理的情況下在儲存容器中每個狹槽中的傳送目標物體的存在或不存在）”的配置的一個較佳示例可以包括通過利用具有上述預定檢測目標區域的每個映射感測器來檢測傳送目標物體的端面來執行映射（確定傳送目標物體的容納狀態的良好/不良）的配置。
此外，在本發明的裝載端口中，在裝載/卸載端口的一個端部處設定在水平方向上並排佈置的兩個映射感測器中的第一映射感測器的檢測目標區域，並且在裝載/卸載端口的另一端部處設定兩個映射感測器中的第二映射感測器的檢測目標區域。
根據本發明的裝載端口，兩個映射感測器在公共映射臂上並排佈置以便彼此水平地間隔開，並且面向裝載/卸載端口的傳送目標物體的端面的一個端側部和另一端側部分別由兩個映射感測器檢測。因此，與兩個檢測目標區域僅設定在儲存容器的裝載/卸載端口的一端側部或僅設定在另一端側部的情況相比，確定部可以基於由兩個映射感測器獲得的感測訊息可靠地識別出傳送目標物體以水平姿勢被容納。
此外，在本發明的裝載端口中，確定部被配置為通過基於兩個映射感測器中的至少一個的感測訊息來檢測傳送目標物體的高度位置並將檢測到的高度位置與每個狹槽中的傳送目標物體的正常高度位置進行比較，來確定傳送目標物體是否位於每個狹槽中的正常高度位置。
根據本發明的裝載端口，可以基於兩個映射感測器中的至少一個的感測訊息來檢測傳送目標物體的高度位置。因此，可以可靠地檢測儲存容器中的每個狹槽中的傳送目標物體是否位於正常位置。
此外，在本發明的裝載端口中，映射機構被配置為：在由兩個映射感測器開始感測之前，確定傳送目標物體的容納狀態是良好還是不良，執行感測以通過使用兩個映射感測器中的至少一個映射感測器來檢測儲存在儲存容器中的傳送目標物體的彈出（pop-out）。
根據本發明的裝載端口，通過使用兩個映射感測器中的至少一個映射感測器來檢測儲存在儲存容器中的傳送目標物體的彈出。因此，不必單獨提供用於檢測傳送目標物體的彈出的感測器。這使得可以降低製造成本。
此外，在本發明的裝載端口中，從兩個映射感測器中的至少一個映射感測器發射的光束具有沿著傳送目標物體的端面延伸的帶狀。
根據本發明的裝載端口，傳送目標物體的端面可以通過從兩個映射感測器中的至少一個映射感測器輻射的光束而被可靠地檢測，而不容易受到干擾的影響。
現在將詳細參考各種實施例，實施例的示例在圖式中展示。在以下詳細描述中，闡述了許多具體細節以便提供對本發明的透徹理解。然而，對於本領域技術人員顯而易見的是，可以在沒有此等具體細節的情況下實施本發明。在其它情況下，未詳細描述眾所周知的方法、程序、系統和部件，以免不必要地混淆各種實施例的各方面。
在下文中，將參考圖式描述本發明的實施例。
（第一實施例）
本實施例的裝載端口1例如用於半導體製造工藝。如圖1和圖2所示，裝載端口1構成無塵室中的傳送室2的壁表面的一部分，並且執行傳送目標物體W到傳送室2和儲存容器3（諸如前開式晶圓傳送盒(FOUP)等）的裝載和從傳送室2和儲存容器3（諸如FOUP等）的卸載。可以使用玻璃、樹脂、不銹鋼等作為傳送目標物體W的材料。裝載端口1構成設備前端模組（EFEM）的一部分，並且用作儲存容器3和傳送室2之間的接口部分。在本實施例中，使用具有矩形形狀（正方形形狀）的相對大且薄的傳送目標物體W（例如，具有600mm×600mm或515mm×510mm的平面尺寸和0.2mm至2mm的厚度的玻璃基板）。
在本實施例中，如圖2所示，多個（例如，三個）裝載端口1並排佈置在傳送室2的前表面（前壁表面）2F上。EFEM的操作由裝載端口1的控制器（圖1所示的控制器1C）或整個EFEM的控制器（圖1所示的控制器2C）控制。
在傳送室2的內部空間2S中，提供了能夠在裝載端口1上的儲存容器3和處理室R之間傳送諸如玻璃基板等的傳送目標物體的傳送機械手21。如圖1和圖2所示，傳送機械手21包括例如臂212和行進部，臂212具有彼此連接以便能夠水平旋轉的多個鏈接元件和設置在臂212的尖端部分處的傳送目標物體夾持部211（手），行進部被配置為可旋轉地支撐構成臂212的基端部分的臂基座並且在傳送室2的寬度方向（裝載端口1的平行方向）上行進。傳送機械手21包括鏈接結構（鉸接結構），其形狀在臂長度最小化的折疊狀態和臂長度長於折疊狀態時的延伸狀態之間改變。其中在高度方向上的多級中設置多個單獨可控的手211的傳送機械手21可以應用於臂212的尖端。此外，可以應用不具有行進部件而具有固定安裝位置的傳送機械手，或者可以使用靜止機械手作為傳送機械手。
傳送室2被配置為使得內部空間2S通過連接裝載端口1和處理室R而基本上被密封。作為從上方移動到下方的氣流的向下流（downflow）形成在傳送室2的內部空間2S中。因此，即使污染傳送目標物體W的表面的顆粒存在於傳送室2的內部空間2S中，顆粒亦被向下流向下推動，這使得可以抑制顆粒在傳送時粘附到傳送目標物體W的表面。在圖1中，傳送室2中形成向下流的氣體流由箭頭指示。還可以配置EFEM，其中諸如緩衝站、對準器等的適當站佈置在傳送室2的側表面上或傳送室2的內部空間2S。
傳送室2的內部空間2S和安裝在每個裝載端口1上的儲存容器3的內部空間3S維持高清潔度。另一方面，佈置裝載端口1的空間（即，處理室的外部和EFEM的外部）維持在相對低的清潔度。圖1和圖2是示意性地展示裝載端口1與傳送室2之間的相對位置關係以及設置有裝載端口1和傳送室2的EFEM與處理室R之間的相對位置關係的圖。
如圖1示意性所示，根據本實施例的儲存容器3包括容器本體32和容器門33，容器本體32可以經由裝載/卸載端口31僅向後側打開內部空間3S，容器門33可以打開和關閉裝載/卸載端口31。如圖3所示，儲存容器3設置有在其中構成多級狹槽的狹槽34，並且被配置為使得每個狹槽34可以容納傳送目標物體W，並且使得傳送目標物體W可以經由裝載/卸載端口31裝載和卸載。在本實施例中，如圖5A所示，在儲存容器3中，傳送目標物體W的兩側部分在相同的高度位置處由狹槽34a和34b支撐，並且傳送目標物體W在寬度方向上的中心部在與狹槽34a和34b相同的高度位置處由狹槽34c支撐。待由用於自動傳送儲存容器3的設備（例如，高架運輸（Overhead Transport； OHT））夾持的法蘭部35設置在容器本體32的向上表面上（參見圖1）。
如圖1等所示，本實施例的裝載端口1包括：板狀框架4，其構成傳送室2的壁表面的一部分並且具有用於打開傳送室2的內部空間2S的開口41；安裝台5，其以基本上水平的姿勢設置以便相對於框架4向前突出；底座保持機構6，其被配置為將從外部傳送的儲存容器3保持在安裝台5上；牽引機構7，其被配置為使儲存容器3在安裝台5上的底座位置和傳送目標物體遞送位置之間在前後方向D上移動；裝載端口門8，其被配置為打開和關閉框架4的開口41；門打開/關閉機構9，其被配置為通過將裝載端口門8移動到朝向傳送室2縮回的門打開位置來打開框架4的開口41；以及映射機構M，其被配置為映射關於容納狀態的訊息，該容納狀態的訊息包括在框架4的開口41由門打開/關閉機構9打開的狀態下，在位於傳送目標物體遞送位置處的儲存容器3中的每個狹槽34（34a、34b和34c）中的傳送目標物體W的存在或不存在。
框架4以直立姿勢佈置並且具有基本上矩形的板形狀，其中開口41的尺寸允許與安裝在安裝台5上的儲存容器3的裝載/卸載端口連通。圖1示意性地展示了框架4的開口41。本實施例的裝載端口1通過框架4構成傳送室2的壁表面的一部分。在框架4的下端，設置包括腳輪和安裝支腿的支腿部42。
安裝台5設置在水平基座50（支撐基座）的上部上，水平基座50以基本上水平的姿勢佈置在略微高於框架4的高度方向中心的位置處，並且能夠以容器本體32面向框架4的取向安裝儲存容器3。如圖4所示，安裝台5設置有向上突出的多個突起51。通過允許突起51與形成在儲存容器3的底表面上的孔（未展示）接合，儲存容器3定位在安裝台5上。
底座保持機構6被配置為通過建立鎖定狀態而將儲存容器3保持在安裝台5上，在該鎖定狀態下，設置在安裝台5上的鎖定爪（未展示）被鉤住並固定到設置在儲存容器3的底表面上的鎖定部（未展示）。此外，在本實施例的裝載端口1中，儲存容器3可通過相對於鎖定部釋放鎖定爪的鎖定狀態而與安裝台5分離。
牽引機構7被配置為使安裝台5上的儲存容器3在前後方向D上在容器本體32與裝載端口門8間隔開預定距離的底座位置和容器本體32與裝載端口門8緊密接觸的傳送目標物體遞送位置之間移動。牽引機構7通過使用前後移動安裝台5的滑軌等（未展示）來配置。底座保持機構6和牽引機構7亦可以被視作設置在安裝台5中的機構。
另外，在圖1中，儲存容器3在安裝台5上的安裝狀態被簡化為儲存容器3的底表面與安裝台5的上表面接觸的狀態。然而，實際上，從安裝台5的上表面向上突出的突起51通過與形成在儲存容器3的底表面上的底部閉合孔接合來支撐儲存容器3。安裝台5的上表面和儲存容器3的底表面彼此不接觸。在安裝台5的上表面和儲存容器3的底表面之間形成預定間隙。
在本實施例中，在前後方向D（參見圖1等）上，其中安裝在安裝台5上的儲存容器3和框架4並排佈置，儲存容器3側被定義為前側，框架4側被定義為後側。
裝載端口門8可在完全關閉位置、門打開位置和完全打開位置之間移動，在完全關閉位置，裝載端口門8密封框架4的開口41；在門打開位置，裝載端口門8從完全關閉位置朝向傳送室2縮回；在完全打開位置，裝載端口門8向後完全打開開口41的打開空間。為了示意性地描繪稍後描述的裝載端口門8和映射機構M的外觀，圖1展示了裝載端口門8位於門打開位置的狀態。然而，在實際操作中，裝載端口門8在儲存容器3被移動到傳送目標物體遞送位置（在該位置，容器本體32與裝載端口門8緊密接觸）並且容器門33被接合並保持的狀態下位於門打開位置。也就是說，重要的是EFEM的內部和傳送室2的內部沒有對外部空間開放。
裝載端口門8包括能夠抽吸和保持儲存容器3的容器門33的接合部81（參見圖4），並且被配置為能夠與容器門33一起在完全關閉位置、門打開位置和完全打開位置之間移動，同時保持與容器門33的接合狀態。裝載端口門8在完全關閉位置和完全打開位置之間的移動路線包括一條路線（水平路線）和另一條路線（垂直路線），處於完全關閉位置的裝載端口門8在保持其高度位置的同時通過該水平路線朝向傳送室2側移動到門打開位置，處於門打開位置的裝載端口門8在保持其前後位置的同時經由該垂直路線向下移動到完全打開位置。為了確保位於門打開位置的裝載端口門8可以在垂直方向和水平方向上移動，由位於門打開位置的裝載端口門8保持的容器門33與裝載端口門8一起定位在框架4後面的位置（容器門33與容器本體32完全間隔開並且容器門33佈置在傳送室2的內部空間2S中的位置）。
裝載端口門8的這種移動通過設置在裝載端口1中的門打開/關閉機構9來實現。門打開/關閉機構9被配置為通過將裝載端口門8移動到門打開位置或完全打開位置而使儲存容器3的內部空間3S經由框架4被打開的開口與傳送室2連通。門打開/關閉機構9由例如支持支撐框架80的可移動塊（未展示）和滑軌（未展示）配置，該支撐框架80用於支撐裝載端口門8以便可在前後方向D上移動，該滑軌支撐可移動塊以便在垂直方向H上移動。門打開/關閉機構9操作諸如致動器等的驅動源（未展示）以在前後方向D和垂直方向H上移動裝載端口門8。用於前後移動的致動器和用於垂直移動的致動器可以被單獨設置。然而，就減少部件數量而言，較佳的是，裝載端口門8通過使用公共致動器作為驅動源在前後方向和垂直方向上移動。
本實施例的裝載端口門8包括連接切換機構82，用於釋放容器門33和容器本體32之間的接合狀態（閂鎖狀態），以建立容器門33可以從容器本體32移除的狀態（解鎖狀態）（參見圖4）。此外，本實施例的裝載端口1可以包括底部吹掃部分，該底部吹掃部分被配置為將環境氣體（亦稱為吹掃氣體）（在本實施例中主要使用氮氣或乾燥空氣）從安裝在安裝台5上的儲存容器3的底表面側注入到儲存容器3中，該環境氣體是適當選擇的氣體，諸如氮氣、惰性氣體或乾燥空氣，並且能夠用環境氣體替換儲存容器3中的氣體氣氛（gas atmosphere）。底部吹掃部分主要由設置在安裝台5上的預定位置處的多個噴嘴（未展示）構成。該噴嘴被允許用作用於注射預定環境氣體的底部吹掃注射噴嘴和用於排放儲存容器3中氣體氣氛的底部吹掃排放噴嘴。
這多個噴嘴可以以裝配到設置在儲存容器3的底部處的注射端口和排放端口（兩者均未展示）的狀態連接。環境氣體經由注射端口從底部吹掃注射噴嘴被供應到儲存容器3的內部空間3S，並且儲存容器3的內部空間3S中的氣體氣氛經由排放端口從底部吹掃排放噴嘴排出（氣體氣氛是從開始執行吹掃過程起的預定時間內具有低清潔度的空氣之外的空氣或環境氣體，並且是在經過預定時間之後填充在儲存容器3的內部空間3S中的具有高清潔度的環境氣體），由此可以執行吹掃過程。
如圖3所示，映射機構M包括：兩個映射感測器M1和M2，其能夠通過設置在儲存容器3內的相應的狹槽（多級狹槽）34來檢測在高度方向H上以多級形狀儲存的傳送目標物體W的存在或不存在；映射臂Mt，其被配置為將兩個映射感測器M1和M2支撐在相同的高度位置；以及確定部MT，其被配置為基於由兩個映射感測器M1和M2獲得的感測訊息來確定傳送目標物體W的容納狀態是良好還是不良。映射機構M能夠檢測儲存容器3中是否存在傳送目標物體W及其容納姿勢。
映射感測器M1和M2用作能夠檢測傳送目標物體W的端面Wa的端面檢測部。在本實施例中，可以使用光電感測器作為映射感測器M1及M2，該光電感測器能夠通過以下方式獲取輸出訊號（感測訊息）：從發光部分照射例如可見光或紅外光的光並且使用光接收部分來檢測由作為檢測對象的傳送目標物體W反射或阻擋的光量的改變。特別地，在本實施例中，使用反射型光電感測器（反射型感測器），其中用於發射光束（線性光）的發射器（發光發射器或發光元件）和用於接收從發光元件發射並被傳送目標物體W的端面Wa反射的光束的接收器（光接收感測器或光接收元件）被構建在一個感測器增幅器中。
如圖3和圖5A所示，映射機構M的兩個映射感測器M1和M2可以分成第一映射感測器M1和第二映射感測器M2，第一映射感測器M1的檢測目標區域TA是儲存容器3的裝載/卸載端口31的一端31a側的一部分，第二映射感測器M2的檢測目標區域TB是儲存容器3的裝載/卸載端口31的另一端31b側的一部分。如圖5A所示，映射感測器M1的檢測目標區域TA和映射感測器M2的檢測目標區域TB是由圓圈指示的感測器光照射區域，特別是直徑基本上等於待檢測的一個傳送目標物體W的厚度的照射區域。從圖5A可以看出，這兩個檢測目標區域TA和TB處於相同的高度位置。此外，可以根據傳送目標物體W的厚度適當地改變映射感測器的檢測目標區域。此外，映射感測器的位置（感測器位置）可在左右寬度方向上調節。
如圖3所示，第一映射感測器M1的檢測目標區域TA是儲存容器3的裝載/卸載端口31的一端31a側的一部分，具體地，是設置在儲存容器3的容器本體32的一個側壁上的狹槽34a與設置在容器本體32的寬度方向中心（在裝載/卸載端口31的寬度方向中心處）處的狹槽34c之間的中間點的區域。此外，第二映射感測器M2的檢測目標區域TB是儲存容器3的裝載/卸載端口31的另一端31b側的一部分，具體地，是設置在儲存容器3的容器本體32的另一側壁上的狹槽34b與設置在容器本體32的寬度方向中心處（在裝載/卸載端口31的寬度方向中心處）的狹槽34c之間的中間點的區域。也就是說，第一映射感測器M1的檢測目標區域TA和第二映射感測器M2的檢測目標區域TB被設定為使得用於檢測傳送目標物體W的存在或不存在的感測器光不照射狹槽34（34a、34b和34c）。
在本實施例的裝載端口1中，如果容納在儲存容器3中的傳送目標物體W在映射過程期間處於從儲存容器3彈出的位置而不是正常位置，則映射感測器M1和M2可能與傳送目標物體W碰撞。為了避免這種情況，在裝載/卸載端口31的寬度方向中心處設置用於檢測彈出的傳送目標物體W的彈出感測器（例如，具有指向高度方向的檢測波照射軸的彈出感測器）（未展示）。
如圖3所示，映射臂Mt是在水平方向上延伸的長臂，並且被配置為將兩個映射感測器M1和M2支撐在這樣一種狀態：在水平方向上彼此間隔開地固定在預定位置處。映射感測器M1和M2中的每一個以其尖端面向前並且向前突出超過映射臂Mt的姿勢支撐。在本實施例中，如圖3所示，兩個映射感測器M1和M2並排佈置的方向（在圖3中由雙點劃線指示的映射感測器佈置方向ML）被設定為與面向裝載/卸載端口31的傳送目標物體W的端面Wa的延伸方向平行或基本平行的方向。另外，設定映射感測器M1和M2關於映射臂Mt的安裝和固定位置，使得在映射感測器M1和M2的每個尖端與傳送目標物體W的端面Wa之間形成預定間隙（例如，56mm）。
在一些情況下，可以允許將傳送目標物體W放置在儲存容器3中偏離正常位置約±幾毫米的位置處。在這種情況下，使映射感測器M1和M2的位置可變，以便應對偏差，由此可以在映射感測器M1和M2的每個尖端與傳送目標物體W的端面Wa之間固定適當的間隔距離。在本實施例的裝載端口1中，映射臂Mt附接到構成門打開/關閉機構9的部分（參見圖1）。因此，映射臂Mt還通過門打開/關閉機構9與裝載端口門8的升高/降低操作一體地進行操作。結果，整個映射機構M沿與裝載端口門8相同的方向上下移動。還可以採用映射臂Mt直接或經由另一部分附接到裝載端口門8的上端的配置，或者映射感測器M1和M2直接附接到裝載端口門8而映射臂Mt不插入其間的配置。即使採用這種配置，整個映射機構M亦沿與裝載端口門8相同的方向上下移動。
可以採用能夠通過步進馬達（未展示）控制映射臂Mt的上升/下降運動並且基於步進馬達的脈衝數識別映射感測器M1和M2的高度位置的映射機構作為映射機構M。在這種情況下，映射臂Mt獨立於裝載端口門8的上升/下降運動而上下移動。也就是說，可以適當地選擇映射機構M的映射感測器M1和M2是否與裝載端口門8共享升高/降低機構。
確定部MT基於由兩個映射感測器M1、M2獲取的感測訊息確定傳送目標物體W的容納狀態是良好還是不良。映射感測器M1和M2中的每一個發射光束（線性光）作為訊號，並且依據是否接收到訊號來檢測傳送目標物體W在檢測目標區域TA和TB中的存在或不存在。光束的軌跡（線性光線）可以被視作檢測線。也就是說，如圖3中的直線箭頭所示，在映射過程期間，檢測線包括從傳送室2的內部空間2S側朝向傳送目標物體W的端面Wa延伸的訊號傳輸時間直線，以及從傳送目標物體W的端面Wa朝向傳送室2的內部空間2S側延伸的訊號接收時間直線。當在映射過程期間從映射感測器M1和M2中的每一個的發射器朝向前側發射訊號（光束）時，如果傳送目標物體W的端面Wa存在於發射器前方，則由傳送目標物體W的端面Wa反射的訊號到達映射感測器M1和M2中的每一個的接收器。另一方面，如果傳送目標物體W的端面Wa不存在於發射器的前面，則訊號不會到達接收器，因為該訊號沒有被傳送目標物體W的端面Wa反射。基於這種訊號的接收或未接收，映射感測器M1和M2可以順序地檢測傳送目標物體W的端面Wa是否存在於檢測目標區域TA和TB中。確定部MT形成在例如控制器1C的內部。
然後，當兩個映射感測器M1和M2同時或基本上同時接收訊號時（訊號開啟（ON）：當接收到反射光時），即，當傳送目標物體W的端面Wa存在於如圖5A所示的兩個映射感測器M1和M2的檢測目標區域TA和TB中時，確定部MT識別出傳送目標物體W以正常姿勢（水平姿勢）被容納。當在由兩個映射感測器M1和M2中的任一個接收到訊號的時機而另一映射感測器未接收到訊號時（訊號關閉（OFF）：當未接收到反射光時），例如，當傳送目標物體W的端面Wa不存在於如圖5B所示的第二映射感測器M2的檢測目標區域TB中時，確定部MT識別出傳送目標物體W沒有以正常姿勢（交叉異常安裝）被容納。當兩個映射感測器M1和M2都未接收到訊號時，確定部MT識別出傳送目標物體W未被容納。以這種方式，依據在水平方向上並排佈置的兩個映射感測器M1和M2是否同時或基本上同時檢測到訊號（訊號開啟），確定部MT不僅確定傳送目標物體W是否被容納，而且還確定傳送目標物體W是以水平姿勢被容納還是沒有以水平姿勢（交叉異常安裝）被容納。
特別地，如圖5B所示，當大的傳送目標物體W由於其自身的重量、纖薄等而以彎曲狀態被容納時，如果彎曲程度大，則另一個映射感測器在兩個映射感測器M1和M2中的一個映射感測器接收訊號的時機不接收訊號。因此，基於該檢測訊息，確定部MT識別出傳送目標物體W未以正常姿勢（水平姿勢）被容納。彎曲安裝可以被視作交叉異常安裝的一個方面。也就是說，如果傳送目標物體具有較厚的厚度（厚重）並且接近剛性體，則傳送目標物體將不會彎曲。因此，當確定部MT識別出傳送目標物體未以水平姿勢被容納的交叉異常安裝時，傳送目標物體整體以一種傾斜姿勢被容納（整體在寬度方向上具有直線形狀的形式的姿勢）。
另一方面，如圖5B所示，在傳送目標物體W具有較薄的厚度的情況下，當確定部MT識別出交叉異常安裝時，傳送目標物體W以傳送目標物體W的至少一部分被彎曲的姿勢被容納。在圖5B所示的交叉異常安裝中，傳送目標物體W的在拉延片材（drawing sheet）表面上沿寬度方向從左端附近的區域延伸到中心的部分被狹槽34a和34c支撐在相同的高度位置，但是傳送目標物體W不被具有與狹槽34a和34c相同高度的狹槽34b支撐。在拉延片材表面上的傳送目標物體W的右端附近的區域（未被狹槽34b支撐）在空中浮動。例如，下述狀態亦是交叉異常安裝的一方面：其中拉延片材表面上的傳送目標物體W的寬度方向上的左端附近的區域和中心部由狹槽34a和34c支撐在相同高度位置，並且拉延片材表面上的傳送目標物體W的右端附近的區域由具有與狹槽34a和34c不同高度的狹槽34b支撐（拉延片材表面上的傳送目標物體W的右端附近的區域不在空中浮動）。
如上所述，在本實施例的映射機構M中，具有預定檢測目標區域TA和TB的映射感測器M1和M2被配置為檢測傳送目標物體W的端面Wa，以確定傳送目標物體W的容納狀態是良好還是不良。
此外，在本實施例的映射機構M中，還基於映射感測器M1和M2的訊號接收的持續時間（訊號開啟的持續時間）來計算傳送目標物體W的厚度。當映射臂Mt被步進馬達上下移動時，傳送目標物體W的厚度亦基於來自映射感測器M1和M2的訊號接收持續時間（訊號開啟的持續時間）的步進馬達的脈衝數來計算。在本實施例中，為了提高處理效率，僅測量第一映射感測器M1的訊號開啟的持續時間，並且不測量第二映射感測器M2的訊號開啟的持續時間。這集中於以下事實：可以根據至少一個位置中的被容納的傳送目標物體W的厚度來識別多個傳送目標物體W是否以重疊狀態被容納。
本實施例的裝載端口1通過將來自控制器1C的驅動命令下達到每個部件和每個機構來執行預定操作。控制器1C被配置為包括儲存器部、唯讀記憶體(ROM)、隨機存取記憶體(RAM)、輸入/輸出(I/O)端口、中央處理器(CPU)、用於輸入和輸出關於外部顯示設備等的數據的輸入/輸出接口（IF）、以及被配置為將此等部件彼此連接以在相應部件之間傳輸訊息的總線。
根據由裝載端口1執行的處理的類型，將控制步驟（操作序列）儲存在儲存器部中。即，將預定操作程序儲存在儲存器部中。本實施例中使用的程序作為可執行程序儲存在非暫存電腦可讀儲存媒體（硬碟等）中。
ROM是由硬碟、電子抹除式可複寫唯讀記憶體(EEPROM)、快閃記憶體等組成的記錄媒體，並且被配置為儲存CPU的操作程序等。RAM用作CPU的工作區等。例如，I/O端口將由CPU輸出的控制訊號輸出到每個部件和每個機構，並將來自各種感測器的訊息提供給CPU。
CPU構成控制器1C的核心並且執行儲存在ROM中的操作程序。CPU根據儲存在儲存器部中的程序來控制裝載端口1的操作。
接下來，將參考展示操作流程的圖6來描述本實施例的使用裝載端口1的方法（特別地，映射處理方法）和裝載端口1的操作。
首先，當儲存容器3被傳送到裝載端口1上方並且通過自動儲存容器傳送設備（諸如OHT等）被安裝在安裝台5上時，其中該自動儲存容器傳送設備在沿著公共壁表面2F延伸的直線傳送線路（交通線路）上操作，且裝載端口1佈置在傳送室2的公共壁表面2F上，在本實施例的裝載端口1中，執行底座保持過程S1，其中控制器1C使底座保持機構6將儲存容器3保持在安裝台5上（參見圖6）。具體地，本實施例中的底座保持過程S1是安裝台5上的鎖定爪被鉤到並鎖定到設置在儲存容器3的底表面或框架盒C的底表面上的鎖定部（未展示）的過程。結果，儲存容器3或框架盒C可以被安裝並固定在安裝台5上的預定底座位置。當儲存容器3被安裝在安裝台5上時，設置在安裝台5上的定位突起51裝配到儲存容器3的定位凹部中。
在本實施例中，儲存容器3可以安裝在三個裝載端口1中的每一個裝載端口的安裝台5上，該三個裝載端口1在傳送室2的寬度方向上並排佈置。用於檢測儲存容器3是否安裝在安裝台5上的預定位置處的底座感測器（未展示）被配置為檢測儲存容器3安裝在安裝台5上的底座位置處。
在底座保持過程S1之後，在本實施例的裝載端口1中，控制器1C使牽引機構7將安裝台5從底座位置朝向框架4縮回到傳送目標物體遞送位置（向後牽引過程S2）。通過這種向後牽引過程S2，容器門33可以預先連接（對接）到在完全關閉位置等待的裝載端口門8，並且可以保持與裝載端口門8緊密接觸。在本實施例中，通過使用設置在裝載端口門8上的接合部81，容器門33連接到裝載端口門8並與裝載端口門8緊密接觸。
在本實施例的裝載端口1中，當儲存容器3安裝在安裝台5上的底座位置時，控制器1C檢測例如設置在安裝台5上的壓力感測器被儲存容器3的底表面部分按壓。以此作為觸發器，控制器1C給出驅動命令（訊號），以使設置在安裝台5上的底部吹掃注射噴嘴和底部吹掃排放噴嘴向上移動超過安裝台5的上表面。因此，此等噴嘴（底部吹掃注射噴嘴和底部吹掃排放噴嘴）分別連接到儲存容器3的注射端口和排放端口，使得可以執行吹掃過程。
然後，在本實施例的裝載端口1中，執行吹掃過程S3，其中控制器1C發出驅動命令以執行針對儲存容器3的內部空間3S的吹掃過程S3。該吹掃過程S3是這樣的過程，其中預定的環境氣體通過注射端口從底部吹掃注射噴嘴供給到儲存容器3的內部空間3S，並且停留在儲存容器3的內部空間3S中的氣體通過排放端口從底部吹掃排放噴嘴排出。通過此吹掃過程S3，儲存容器3的內部空間3S填充有環境氣體，且儲存容器3中的水濃度及氧氣濃度在短時間內降低到預定值或以下，這使得有可能將儲存容器3中的傳送目標物體W的周圍環境轉換成低濕度環境及低氧環境。
可以使用在安裝到安裝台5上之前已經被預先吹掃的儲存容器3。這種儲存容器3可能經受或不經受吹掃過程S3。
隨後，在本實施例的裝載端口1中，執行以下過程（解鎖過程S4）：控制器1C使連接切換機構82釋放容器門33與容器本體32之間的接合狀態以建立解鎖狀態，使得容器門33能夠從容器本體32移除。
在解鎖過程S4之後，在本實施例的裝載端口1中，執行以下過程（門打開過程S5）：其中控制器1C使門打開/關閉機構9將裝載端口門8從完全關閉位置向後移動到門打開位置以打開框架4的開口41。具體地，控制器1C使門打開/關閉機構9沿著上述水平路線將裝載端口門8從完全關閉位置移動到門打開位置。此時，裝載端口門8移動，同時通過接合部81整體地保持容器門33。因此，通過門打開過程S5，儲存容器3的裝載/卸載端口31亦以與框架4的開口41類似的方式打開。
接著，在本實施例的裝載端口1中，控制器1C使映射機構M執行映射過程S6。映射過程S6是這樣的過程，其中在以恒定速度沿高度方向移動映射臂Mt的同時，映射感測器M1和M2針對每個狹槽34獲取關於儲存容器3中的傳送目標物體W的訊息。在本實施例中，緊接在門打開過程S5之後的映射感測器M1和M2的高度位置被設定為略高於儲存容器3中的最上狹槽34的位置。映射感測器M1和M2的高度位置被定義為映射起始高度位置。根據上述本實施例的裝載端口1，可以緊接在門打開過程S5之後執行映射過程S6。由於本實施例的裝載端口1在映射過程S6之前執行門打開過程S5，因此框架4的開口41和儲存容器3的裝載/卸載端口31保持在打開狀態。
然後，在本實施例的裝載端口1中，當裝載端口門8由門打開/關閉機構9從門打開位置向下移動到完全打開位置時，整個映射機構M亦向下移動。因此，兩個映射感測器M1和M2從映射起始高度位置移動到低於最低狹槽34的位置（映射結束高度位置），同時保持在可以執行映射過程S6的適當位置。控制器1C通過上述步驟執行用於檢測映射感測器M1和M2中的每一個的訊號接收的存在或不存在的感測過程。
在本實施例中，在與由兩個映射感測器M1和M2中的預定一個（本實施例中是第一映射感測器M1）執行的感測過程相同的時機，由剩餘的映射感測器（第二映射感測器M2）執行感測過程。如上所述，在本實施例中，使第一映射感測器M1用作主映射感測器，並且使第二映射感測器M2用作與主映射感測器同步操作的副映射感測器。控制器1C執行映射過程S6，在映射過程S6中，基於在感測過程中生成的檢測訊號，由確定部M5識別針對每個狹槽34的包括傳送目標物體W存在與否的容納狀態的良好/不良。
確定部MT中的具體確定方法如上所述。在映射過程S6中，可以識別待確定的傳送目標物體W在狹槽34中的容納狀態是正常安裝、交叉異常安裝還是未安裝（空槽）。此外，在本實施例的裝載端口1中，在映射過程S6中，控制器1C使映射機構M基於映射感測器（在本實施例中是作為主映射感測器的第一映射感測器M1）的訊號接收的持續時間（訊號開啟的持續時間）來計算傳送目標物體W的厚度。基於計算結果，控制器1C使確定部MT識別多個傳送目標物體W是否以重疊狀態被容納。即，當訊號接收的持續時間等於或長於預定時間時，確定部MT識別出多個傳送目標物體W以重疊狀態被容納（雙重異常安裝）。
在本實施例的裝載端口1中，基於映射過程S6的結果，控制器1C執行以下過程：以正常姿勢儲存的傳送目標物體W被傳送機械手21順序地傳送到預定傳送目的地（處理室R（具體地，裝載鎖定室）、緩衝站、對準器等）。
另一方面，當基於映射過程S6中的檢測結果識別出傳送目標物體W（沒有以正常姿勢儲存）被容納時（當識別出交叉異常安裝或雙重異常安裝時），安裝台5上的儲存容器3通過自動儲存容器傳送設備從安裝台5被遞送到另一空間。因此，可以避免當傳送機械手21傳送處於交叉異常安裝狀態的傳送目標物體W時可能發生的傳送目標物體W的損壞或破裂等情況。當新的儲存容器3通過自動儲存容器傳送設備被安裝在安裝台5上時，執行上述操作序列。
根據上述本實施例的裝載端口1，映射過程S6可以通過使用映射機構M來執行，該映射機構M映射關於容納狀態的訊息（包括儲存容器3中的每個狹槽34中傳送目標物體W的存在或不存在）。可以在映射過程S6中映射關於容納狀態的訊息（包括儲存容器3中的每個狹槽34中的傳送目標物體W的存在或不存在）。基於映射過程S6中的檢測結果，可以識別傳送目標物體W的正常安裝、交叉異常安裝或雙重異常安裝。
如上所述，本實施例的裝載端口1包括：框架4，其包括開口41，傳送目標物體W可以經由開口41以基本上水平的姿勢通過；裝載端口門8，其被配置為與容器門33接合，容器門33能夠打開和關閉儲存容器3的裝載/卸載端口31，儲存容器3包括用於以多級方式容納傳送目標物體W的狹槽34，並且被配置為打開和關閉框架4的開口41；以及映射機構M，其被配置為經由開口41和裝載/卸載端口31映射關於容納狀態的訊息，容納狀態包括儲存容器3中的每個狹槽34中的傳送目標物體W的存在或不存在，其中映射機構M包括兩個映射感測器M1和M2，映射感測器M1和M2被配置為在打開和關閉開口41時與裝載端口門8的上升/下降運動一同上下移動或獨立於裝載端口門8的上升/下降運動而上下移動，並且映射感測器M1和M2能夠通過朝向儲存容器3的內部照射檢測波來檢測傳送目標物體W的端面Wa；以及確定部MT，其被配置為基於由兩個映射感測器M1和M2獲得的感測訊息來確定傳送目標物體W的容納狀態是良好還是不良。
根據本實施例的裝載端口1，包括兩個映射感測器M1和M2的映射機構M可以映射關於容納狀態（包括儲存容器3中的每個狹槽34中的傳送目標物體W的存在或不存在）的訊息。
因此，在本實施例的裝載端口1的情況下，即使對於具有矩形平面視圖形狀並且具有延伸超過儲存容器3裝載/卸載端口31處基本上整個開口寬度的線性端面的大且薄的傳送目標物體，兩個映射感測器M1和M2亦可以精準且正確地檢測儲存容器3中的傳送目標物體W的容納狀態。
此外，在本實施例的裝載端口1的情況下，映射機構M可以在沒有成像和圖像處理的情況下映射關於容納狀態（包括在儲存容器3中的每個狹槽34中傳送目標物體W的存在或不存在）的訊息。與使用相機等的圖像處理系統相比，可以加速檢測傳送目標物體W的過程，並且可以保持該系統的低成本。
此外，在本實施例的裝載端口1中，在裝載/卸載端口31的一端部處設定在水平方向上並排佈置的兩個映射感測器M1和M2中的第一映射感測器M1的檢測目標區域TA。然後，將第二映射感測器M2的檢測目標區域TB設定在裝載/卸載端口31的另一端部。
根據本實施例的裝載端口1，兩個映射感測器M1和M2並排地佈置在公共映射臂Mt上，以便彼此水平地間隔開，並且兩個映射感測器M1和M2分別檢測傳送目標物體W面向裝載/卸載端口31的端面的一端側部和另一端側部。因此，與兩個檢測目標區域僅設定在儲存容器3的裝載/卸載端口31的一端側部或僅設定在另一端側部相比，確定部MT可以基於由兩個映射感測器M1和M2獲得的感測訊息可靠地識別出傳送目標物體W以水平姿勢被容納。
（第二實施例）
本實施例的裝載端口101與第一實施例的裝載端口1的不同之處在於，與第一實施例的映射感測器M1和M2的圓形光束形狀不同，本實施例的映射感測器M101和M102具有帶狀光束形狀，並且就識別傳送目標物體W的容納狀態是良好還是不良的方法而言。將不會詳細描述本實施例的裝載端口101與第一實施例裝載端口1的配置相同的配置。
在本實施例的裝載端口101中，如圖7所示，映射機構M包括：兩個映射感測器M101和M102，其被配置為通過設置在儲存容器3中的每個狹槽（多級槽）34檢測在高度方向H上以多級方式儲存的傳送目標物體W的存在或不存在；映射臂Mt，其被配置為將兩個映射感測器M101和M102支撐在相同的高度位置；以及確定部MT，其被配置為基於由兩個映射感測器M101和M102獲得的感測訊息來確定傳送目標物體W的容納狀態是良好還是不良，由此可以檢測傳送目標物體W在儲存容器3中的存在或不存在和儲存姿勢。
映射感測器M101和M102用作能夠檢測傳送目標物體W的端面Wa的端面檢測部。在本實施例中，可以使用光電感測器作為映射感測器M101及M102，該光電感測器能夠通過以下方式獲取輸出訊號（感測訊息）：從發光部分照射例如可見光或紅外光的光並且使用光接收部分來檢測由作為檢測對象的傳送目標物體W反射或阻擋的光量的改變。特別地，在本實施例中，使用反射型光電感測器（反射型感測器），其中用於發射沿著傳送目標物體W端面Wa延伸的帶狀光束（線性光）的發射器（發光感測器或發光元件）和用於接收從發光元件發射並被傳送目標物體W的端面Wa反射的光束的接收器（光接收感測器或光接收元件）被構建在一個感測器增幅器中。
如圖8A所示，映射感測器M101和M102的檢測目標區域TA1和TB1是以矩形形狀指示的感測器光的照射區域，特別是高度（垂直方向上的長度）基本上等於作為檢測目標的一個傳送目標物體W的厚度、寬度（水平方向上的長度）沿著傳送目標物體W的端面Wa的照射區域。檢測目標區域TA1和TB1具有水平伸長的形狀，使得沿著傳送目標物體W的端面Wa的寬度大於該高度。當檢測到具有例如0.4至3mm的厚度的傳送目標物體W的端面Wa時，照射區域的高度例如為0.2mm，並且沿著傳送目標物體W的端面Wa的寬度例如為1.5mm。特別地，較佳將照射區域的高度設定在0.05至0.2mm的範圍內，照射區域的寬度設定在1mm至1.5mm的範圍內。
映射機構M通過步進馬達110控制映射臂Mt的上升/下降運動。因此，映射臂Mt獨立於裝載端口門8的上升/下降運動而上下移動。也就是說，可以適當地選擇映射機構M的映射感測器M101和M102是否與裝載端口門8共享升降機構。
如圖9所示，確定部MT包括馬達控制部111、高度位置檢測部112、正常位置儲存器部113和良好/不良確定部114。步進馬達110和映射感測器M101、M102連接到確定部MT。確定部MT形成在例如控制器1C的內部。
如圖10所示，當執行映射過程時，馬達控制部111控制步進馬達110以從映射起始高度位置降低映射臂Mt。映射臂Mt的向下移動量根據從馬達控制部111輸入到步進馬達110的脈衝數來確定。
在映射臂Mt保持在映射起始高度位置的狀態下，高度位置檢測部112基於從馬達控制部111輸入到步進馬達110的脈衝數來檢測映射感測器M101距映射起始高度位置的下降距離。即，高度位置檢測部112檢測映射感測器M101的高度位置。本實施例的高度位置檢測部112基於映射感測器M101的感測訊息來檢測傳送目標物體W的高度位置（由映射感測器M101獲得的檢測目標區域TA的高度位置）。
例如，在如圖11A所示的映射臂Mt保持在映射起始高度位置的狀態下，當脈衝數a1從馬達控制部111輸入到步進馬達110時，檢測儲存容器3的最上狹槽34中的傳送目標物體W的端面Wa，如圖11B所示。此時，直到映射感測器M101和M102檢測到傳送目標物體W的端面Wa，高度位置檢測部112基於輸入到步進馬達110的脈衝數a1檢測到映射感測器M101和M102位於從映射起始高度位置降低對應於脈衝數a1的距離d1的位置。
類似地，當脈衝數a2從馬達控制部111輸入到步進馬達110時，如圖11C所示，如果檢測到儲存容器3自上而下的第二狹槽34中的傳送目標物體W的端面Wa，直到映射感測器M101和M102檢測到傳送目標物體W的端面Wa，則高度位置檢測部112基於輸入到步進馬達110的脈衝數a2檢測到映射感測器M101和M102位於從映射起始高度位置降低對應於脈衝數a2的距離d2的位置。
正常位置儲存器部113儲存傳送目標物體W的正常高度位置，在該正常高度位置，傳送目標物體W以正常儲存姿勢被放置在儲存容器3中的每個狹槽34中。在本實施例中，正常位置儲存器部113將映射臂Mt距映射起始高度位置的向下距離儲存為傳送目標物體W的正常高度位置。
例如，如圖12所示，在儲存容器3中最上狹槽34中以正常儲存姿勢佈置的傳送目標物體W的正常高度位置是與映射臂Mt的映射起始高度位置向下間隔開距離D1的高度位置。類似地，在自上而下的第二狹槽34和自上而下的第三狹槽34中以正常儲存姿勢佈置的傳送目標物體W的正常高度位置是分別與映射臂Mt的映射起始高度位置向下間隔開距離D2和D3的高度位置。這同樣適用於在自上而下的第四狹槽34下方的狹槽34中以正常儲存姿勢佈置的傳送目標物體W的正常高度位置。
良好/不良確定部114基於由兩個映射感測器M101和M102獲得的感測訊息來確定傳送目標物體W的容納狀態的良好/不良。
首先，當在映射感測器M101的檢測目標區域TA中檢測到狹槽34中傳送目標物體W的端面Wa時，良好/不良確定部114通過將此時由高度位置檢測部112檢測到的映射感測器M101的高度位置與每個狹槽34中的傳送目標物體W的正常高度位置進行比較來確定檢測目標區域TA中的傳送目標物體W的端面Wa的部分是否位於正常高度位置。
即，當由高度位置檢測部112檢測到的映射感測器M101的高度位置與儲存在正常位置儲存器部113中的針對每個狹槽34的正常高度位置匹配時，良好/不良確定部114確定傳送目標物體W的端面Wa在檢測目標區域TA中的部分位於正常高度。另一方面，當高度位置檢測部112檢測到的映射感測器M101的高度位置與儲存在正常位置儲存器部113中的針對狹槽34的正常高度位置不匹配時，良好/不良確定部114確定傳送目標物體W的端面Wa在檢測目標區域TA中的部分沒有位於正常高度。
之後，當確定檢測目標區域TA中的傳送目標物體W的端面Wa的部分位於正常高度時，如果映射感測器M101檢測到傳送目標物體W的端面Wa，則良好/不良確定部114確定映射感測器M102是否檢測到傳送目標物體W的端面Wa。即，如果傳送目標物體W的端面Wa存在於映射感測器M101的檢測目標區域TA中，則良好/不良確定部114確定傳送目標物體W的端面Wa是否存在於映射感測器M102的檢測目標區域TB中。
如上所述，當檢測目標區域TA中的傳送目標物體W的端面Wa的部分位於正常高度處並且傳送目標物體W的端面Wa存在於映射感測器M101的檢測目標區域TA中時，如果傳送目標物體W的端面Wa存在於映射感測器M102的檢測目標區域TB中，則確定部MT（良好/不良確定部114）識別出傳送目標物體W以正常姿勢（水平姿勢）被容納。
當映射感測器M101檢測到傳送目標物體W的端面Wa並且傳送目標物體W的端面Wa在檢測目標區域TA中的部分沒有位於正常高度時，確定部MT（良好/不良確定部114）識別出傳送目標物體W未以正常姿勢（水平姿勢）被容納。
當映射感測器M101未檢測到傳送目標物體W的端面Wa時，確定部MT（良好/不良確定部114）識別出傳送目標物體W未被容納。
如上所述，根據本實施例的裝載端口101，可以通過包括兩個映射感測器M101和M102的映射機構M來映射關於容納狀態（包括儲存容器3中每個狹槽34中的傳送目標物體W的存在或不存在）的訊息。
另外，在本實施例的裝載端口101中，確定部MT通過基於映射感測器M101的感測訊息來檢測傳送目標物體W的高度位置並將檢測到的高度位置與每個狹槽34中傳送目標物體W的正常高度位置進行比較，來確定傳送目標物體W是否位於每個狹槽34中的正常高度位置。
根據本實施例的裝載端口101，可以基於映射感測器M101的感測訊息來檢測傳送目標物體W的高度位置。因此，可以可靠地檢測儲存容器3中每個狹槽34中的傳送目標物體W是否位於正常位置。
此外，在本實施例的裝載端口101中，從兩個映射感測器M101和M102照射的光束具有沿著傳送目標物體W的端面Wa延伸的帶狀。
根據本實施例的裝載端口101，傳送目標物體W的端面Wa可以通過從兩個映射感測器M101和M102輻射的光束可靠地檢測，而不容易受到干擾的影響。
（第三實施例）
本實施例的裝載端口201與第一實施例的裝載端口1的不同之處在於，映射感測器M102用作彈出感測器，和識別傳送目標物體W的容納狀態是良好還是不良的方法的方面。將不詳細描述本實施例的裝載端口201的與第一實施例的裝載端口1的配置相同的配置。
在本實施例的裝載端口201中，與第二實施例類似，映射機構M包括：兩個映射感測器M101和M102，映射感測器M101和M102被配置為檢測由設置在儲存容器3中的每個狹槽（多級狹槽）34在高度方向H上以多級方式儲存的傳送目標物體W的存在或不存在；映射臂Mt，其被配置為將兩個映射感測器M101和M102支撐在相同的高度位置；以及確定部MT，其被配置為基於由兩個映射感測器M101和M102獲得的感測訊息來確定傳送目標物體W的容納狀態是良好還是不良。映射機構M能夠檢測儲存容器3中傳送目標物體W的存在或不存在及其容納姿勢。
本實施例的映射機構M在開始感測以通過兩個映射感測器M101和M102確定傳送目標物體W容納狀態的良好/不良之前，通過使用映射感測器M102來執行感測以檢測儲存在儲存容器3中的傳送目標物體W的彈出。
即，在本實施例中，如果容納在儲存容器3中的傳送目標物體W在映射過程期間位於從儲存容器3中的正常位置彈出的位置，則兩個映射感測器M101和M102可能與傳送目標物體W碰撞。在本實施例中，雖然第一實施例的裝載端口1包括與映射機構M的映射感測器M101和M102不同的感測器作為彈出感測器，但是在本實施例中映射機構M的映射感測器M102是用於檢測傳送目標物體W的彈出的。
在本實施例的裝載端口201中，映射臂Mt被配置為在不可映射位置與可映射部分之間移動，其中，在不可映射位置處，映射臂Mt縮回，比起裝載端口201的框架4，更靠近傳送室側R；在可映射部分處，經由框架4的開口41，映射臂Mt被移動到比起不可映射位置更靠近儲存容器3的內部的位置。
當映射臂Mt位於可映射部分處時，如圖13A所示，映射感測器M101和M102被佈置在映射位置處，在該映射位置處，映射感測器M101和M102在執行映射的同時向下移動。另一方面，當映射臂Mt位於不可映射位置時，映射感測器M101和M102被佈置在映射位置後面的彈出檢測位置處。在本實施例中，僅映射感測器M101和M102中的映射感測器M102用於檢測儲存在儲存容器3中的傳送目標物體W的彈出。
在本實施例的裝載端口201中，映射感測器M102從映射起始高度位置向下移動，與此同時映射感測器M102位於彈出檢測位置。由於最上狹槽34中的傳送目標物體W和儲存容器3自上而下的第二狹槽34中的傳送目標物體W不位於如圖13B所示的彈出位置，因此映射感測器M102不檢測此等傳送目標物體W的端面Wa。
另一方面，當儲存容器3自上而下的第三狹槽34中的傳送目標物體W位於如圖13C所示的彈出位置時，映射感測器M102檢測傳送目標物體W的端面Wa。
在本實施例中，需要設定映射感測器M102的檢測範圍，使得當映射感測器M102在被佈置在彈出檢測位置的狀態下從映射起始高度位置向下移動時，映射感測器M102不檢測位於狹槽34中正常位置（不位於彈出位置）的傳送目標物體W的端面Wa，而是檢測位於狹槽34中彈出位置的傳送目標物體W的端面Wa。調整映射位置和彈出檢測位置之間的距離。
在將映射感測器M102移動到映射結束高度位置並檢測到每個狹槽34中的傳送目標物體W未在儲存容器3中彈出之後，映射臂Mt向上移動到映射起始高度位置，如圖14A所示。
在該狀態下，如圖14B所示，當映射臂Mt移動到靠近儲存容器3的可映射位置時，映射感測器M101和M102被佈置在映射位置處。此後，如圖14C所示，當映射感測器M101和M102位於映射位置時，映射感測器M101和M102從映射起始高度位置向下移動以執行映射過程。本實施例的映射處理方法與第二實施例的映射處理方法相同。
如上所述，根據本實施例的裝載端口201，可以通過包括兩個映射感測器M101和M102的映射機構M來映射關於容納狀態（包括儲存容器3中每個狹槽34中的傳送目標物體W的存在或不存在）的訊息。
此外，在本實施例的裝載端口201中，映射機構M執行感測，以在兩個映射感測器M101和M102開始感測以確定傳送目標物體W的容納狀態的良好/不良之前，通過使用映射感測器M102來檢測儲存在儲存容器3中的傳送目標物體W的彈出。
根據本實施例的裝載端口201，通過使用映射感測器M102來檢測儲存在儲存容器3中的傳送目標物體W的彈出。因此，不必單獨提供用於檢測傳送目標物體W的彈出的感測器。這使得可以降低製造成本。
本發明不限於上述實施例。
在第一實施例中，當傳送目標物體W的端面Wa存在於兩個映射感測器M1和M2的檢測目標區域TA和TB中時，確定部MT識別出傳送目標物體W以正常姿勢（水平姿勢）被容納。然而，確定部MT識別出傳送目標物體W以正常姿勢被容納的方法是任意的。這同樣適用於第二和第三實施例。
例如，確定部MT可以基於當兩個映射感測器M1和M2中的每一個映射感測器檢測到傳送目標物體W的端面Wa時輸出的訊號開啟的間隔來確定傳送目標物體W是否以正常姿勢（水平姿勢）被容納。
如圖15A所示，儲存容器3中最上狹槽34中的傳送目標物體W、自上而下的第二狹槽34中的傳送目標物體W、以及自上而下的第三狹槽34中的傳送目標物體W以正常姿勢（水平姿勢）被容納。在這種情況下，當映射臂Mt從映射起始高度位置向下移動並且由兩個映射感測器M1和M2執行映射時，當映射感測器M1和M2中的每一個檢測到傳送目標物體W的端面Wa時生成的訊號開啟以一定時間間隔ta輸出。在圖15A和圖15B中，當映射臂Mt位於映射起始高度位置時，映射感測器M1和M2的訊號變化被設定為0。
另一方面，例如，如圖15B所示，儲存容器3中最上狹槽34中的傳送目標物體W和自上而下的第三狹槽34中的傳送目標物體W以正常姿勢（水平姿勢）被容納，但是自上而下的第二狹槽34中的傳送目標物體W的右端部向下彎曲。在這種情況下，當映射臂Mt從映射起始高度位置向下移動並且由兩個映射感測器M1和M2執行映射時，當映射感測器M1檢測到傳送目標物體W的端面Wa時生成的訊號開啟（ON）以一定時間間隔ta輸出，但是當映射感測器M2檢測到傳送目標物體W的端面Wa時生成的訊號開啟不以一定時間間隔ta輸出。
在圖15B的情況下，當在檢測到儲存容器3中最上狹槽34中的傳送目標物體W的端面Wa之後經過了比時間ta更長的時間ta1時，檢測到自上而下的第二狹槽34中的傳送目標物體W的端面Wa。此外，當在檢測到自上而下的第二狹槽34中的傳送目標物體W的端面Wa之後已經過了比時間ta更短的時間ta2時，檢測到自上而下的第三狹槽34中的傳送目標物體W的端面Wa。
在第二實施例中，高度位置檢測部112基於映射感測器M101的感測訊息來檢測傳送目標物體W的高度位置（映射感測器M101的檢測目標區域TA的高度位置）。然而，本發明不限於此。
因此，高度位置檢測部112可以基於映射感測器M101的感測訊息來檢測傳送目標物體W的高度位置（映射感測器M101的檢測目標區域TA的高度位置），並且還可以基於映射感測器M102的感測訊息來檢測傳送目標物體W的高度位置（映射感測器M102的檢測目標區域TB的高度位置）。
在這種情況下，高度位置檢測部112檢測傳送目標物體W的一端側的高度位置和傳送目標物體W的另一端側的高度位置。因此，確定部MT（良好/不良確定部114）可以將映射感測器M101的高度位置與每個狹槽34中的傳送目標物體W的正常高度位置進行比較，用於傳送目標物體W的一端側以確定檢測目標區域TA中的傳送目標物體W的部分是否位於正常高度位置，並且可以將映射感測器M102的高度位置與每個狹槽34中的傳送目標物體W的正常高度位置進行比較，用於傳送目標物體W的另一端側以確定檢測目標區域TB中的傳送目標物體W的部分是否位於正常高度位置。這同樣適用於上述第三實施例。
此外，當高度位置檢測部112檢測到傳送目標物體W在一端側的高度位置和傳送目標物體W在另一端側的高度位置時，確定部MT（良好/不良確定部114）可以基於兩個高度位置之間的差來確定傳送目標物體W是否以正常姿勢（水平姿勢）被容納。
在上述第二實施例中，正常位置儲存器部113將距映射臂Mt的映射起始高度位置的向下距離儲存為傳送目標物體W的正常高度位置。然而，本發明不限於此。正常位置儲存器部113可以將距任意位置的距離儲存為傳送目標物體W的正常高度位置。
在上述第一實施例和第二實施例中，從兩個映射感測器M101和M102發射的光束具有沿著傳送目標物體W的端面Wa延伸的帶狀。然而，僅從兩個映射感測器M101和M102中的一個發射的光束可以具有沿著傳送目標物體W的端面Wa延伸的帶狀。
在上述第一實施例至第三實施例中，第一映射感測器和第二映射感測器中的其檢測目標區域是裝載/卸載端口的端部附近的部分的一個可以被設定為主映射感測器，並且剩餘的映射感測器可以被設定為與主映射感測器同步操作的副映射感測器。也就是說，可以任意地確定三個或三個以上映射感測器中的哪一個被設定為主映射感測器。
在上述第一實施例至第三實施例中，映射感測器相對於映射臂的安裝位置可以根據傳送目標物體的尺寸等而改變或調整。
在上述第一實施例至第三實施例中，映射感測器不限於光電感測器，而可以是接近感測器或雷射測距感測器。
在上述第一實施例至第三實施例中，通過允許映射臂以水平或基本上水平可旋轉的方式支撐映射感測器和圍繞旋轉軸線移動映射感測器，映射機構可以被配置為可切換到可映射部分或不可映射位置。可替代地，可以採用映射臂作為整體傾斜以使映射感測器向前傾斜以將映射感測器定位在映射位置處的配置，或者映射臂作為整體朝向儲存容器滑動以使映射感測器朝向儲存容器移動以將映射感測器定位在映射位置處的配置。
在上述第一實施例至第三實施例中，即使在傳送機械手已將傳送目標物體儲存在裝載端口上的儲存容器中之後，亦可以設定執行映射過程。
在上述第一實施例至第三實施例中，裝載端口亦可以應用於除了EFEM之外的傳送設備。
在上述第一實施例至第三實施例中，例如，根據本發明的多個裝載端口佈置在傳送室的壁表面上，並且可以在安裝在相應裝載端口的安裝臺上的儲存容器之間交換傳送目標物體的分類器設備的一部分可以由佈置在傳送室中的傳送機械手配置。
在上述第一實施例至第三實施例中，佈置在傳送室的壁表面上的裝載端口的數量可以是一個。在上述實施例中，例示了裝載端口的框架構成傳送室的外壁的一部分的實施例。然而，框架可以沿著傳送室的外壁設置。
在上述第一實施例至第三實施例中，例示為傳送目標物體的玻璃基板的彎曲性質不僅依據厚度而且依據組成而變化。這種玻璃基板，特別是厚度小於0.4mm的薄玻璃基板，容易彎折。然而，本發明的裝載端口的映射機構可以適當地確定玻璃基板是否以正常姿勢安裝在儲存容器中。傳送目標物體的厚度不限於上述實施例的厚度，並且可以是例如約0.2mm至3mm。此外，傳送目標物體可以是晶圓、帶框晶圓（tape frame wafer）、邊緣環、光罩（reticle）、液晶傳送目標物體、銅層壓板（copper laminate）、封裝基板（package substrate）、印刷電路板、培養板、培養容器、培養皿（dish）、有蓋培養皿（petri dish）等。也就是說，本發明可以應用於裝載端口，該裝載端口用於在諸如半導體、液晶和細胞培養的各種領域中遞送容納在容器中的傳送目標物體。
在上述第一實施例至第三實施例中，用於容納傳送目標物體的儲存容器可以是根據傳送目標物體的尺寸的適當的儲存容器。亦可以使用沒有容器門的敞開式儲存容器作為儲存容器。此外，可以適當地選擇和改變支撐一個傳送目標物體的狹槽的數目、儲存容器中狹槽的位置或狹槽的形狀。例如，可以僅在狹槽支撐傳送目標物體的兩個側部的位置處設置狹槽，或者可以在高度方向上與映射感測器的檢測目標區域重疊的位置處設置狹槽。即使映射感測器可能無法檢測到狹槽，或者映射感測器檢測到狹槽，亦可以將狹槽的檢測訊息與檢測到傳送目標物體的端面時可用的檢測訊息區分開。這亦是避免錯誤檢測的有效措施。
在上述第一實施例至第三實施例中，已經展示了裝載端口設置有控制器的形式，該控制器控制每個部件的操作，諸如裝載端口門的移動等。然而，可以採用裝載端口的操作亦由控制器（整個EFEM的上述控制器或作為主機控制器的處理室的控制器）控制的配置，該控制器控制裝載端口的主機設備（上述實施例中的EFEM或處理室）的操作。
在上述第一實施例至第三實施例中，控制器可以通過使用通用計算機系統來實現，而不必使用專用系統。例如，通過從儲存有用於執行上述過程的程序的記錄媒體在通用計算機上安裝程序，可以形成用於執行上述過程的控制器。用於提供此等程序的裝置是任意的。除了經由如上所述的預定記錄媒體提供程序之外，還可以經由例如通信線路、通信網絡、通信系統等來提供程序。在這種情況下，例如，通信網絡的電子佈告欄系統（BBS）上發佈的程序可以通過經由網絡通信將其疊加在載波上來提供。然後，通過在操作系統的控制下以與其他應用程序相同的方式啟動並運行以這種方式提供的程序，可以執行上述過程。
另外，每個部分的具體配置不限於上述實施例，並且可以在不脫離本發明的精神的情況下進行各種修改。
根據本發明，在一些實施例中，通過使用被設置為在水平方向上彼此間隔開的兩個映射感測器，可以精準且正確地檢測儲存容器中傳送目標物體的容納狀態，而無需進行成像和圖像處理。
雖然已經描述了一些實施例，但是此等實施例僅作為示例呈現，並且不旨在限制本發明的範圍。實際上，本文描述的實施例可以以各種其他形式體現。此外，在不脫離本發明的精神的情況下，可以對本文描述的實施例的形式進行各種省略、替換和改變。所附申請專利範圍及其等同物旨在覆蓋落入本發明的範圍和精神內的此等形式或修改。
1:裝載端口 2:傳送室 3:儲存容器 4:板狀框架 5:安裝台 6:底座保持機構 7:牽引機構 8:裝載端口門 9:門打開/關閉機構 21:傳送機械手 31:裝載/卸載端口 31a:一端 31b:另一端 32:容器本體 33:容器門 34、34a、34b、34c:狹槽 35:法蘭部 41:開口 42:支腿部 50:水平基座 51:突起 80:支撐框架 81:接合部 82:切換機構 101:裝載端口 110:步進馬達 111:馬達控制部 112:高度位置檢測部 113:正常位置儲存器部 114:良好/不良確定部 201:裝載端口 211:夾持部(手) 212:臂 1C:控制器 2C:控制器 2F:公共壁表面 2S:內部空間 3S:內部空間 a1:脈衝數 a2:脈衝數 D:前後方向 d1:距離 d2:距離 D1:距離 D2:距離 D3:距離 H:高度方向 M:映射機構 M1:映射感測器 M2:映射感測器 M5:確定部 M101:映射感測器 M102:映射感測器 Mt:映射臂 MT:確定部 R:處理室 ta:時間間隔 ta1:時間 ta2:時間 TA、TA1:檢測目標區域 TB、TB1:檢測目標區域 S1:底座保持過程 S2:向後牽引過程 S3:執行吹掃過程 S4:解鎖過程 S5:門打開過程 S6:映射過程 W:傳送目標物體 Wa:端面
併入說明書並構成說明書的一部分的圖式展示了本發明的實施例。
圖1是示意性地展示根據本發明第一實施例的設置有裝載端口的設備前端模組(EFEM)與其外圍設備之間的相對位置關係的側視圖。
圖2是簡化圖1所示的裝載端口之間的相對位置關係的平面圖。
圖3是示意性地展示容納在儲存容器中的狹槽中的傳送目標物體與圖1所示裝載端口中的映射機構之間的相對位置關係的圖。
圖4是展示省略了一部分的圖1的裝載端口的正視圖。
圖5A和圖5B是示意性地展示圖1所示裝載端口中的映射感測器的檢測目標區域的圖。
圖6是展示圖1所示的裝載端口的操作程序的流程圖。
圖7是示意性地展示根據本發明第二實施例的裝載端口中的映射機構與容納在儲存容器中的狹槽中的傳送目標物體之間的相對位置關係的圖。
圖8A和圖8B是示意性地展示圖7中所示的裝載端口中的映射感測器的檢測目標區域的圖。
圖9是展示圖7所示的裝載端口的控制塊的圖。
圖10是展示圖7所示的裝載端口中的映射感測器的上升/下降範圍的圖。
圖11A、圖11B和圖11C是展示檢測圖7所示的裝載端口中的映射感測器的高度位置的方法的圖。
圖12是展示佈置在圖7所示裝載端口中的每個狹槽中的傳送目標物體的正常高度位置的圖。
圖13A、圖13B和圖13C是展示根據本發明第三實施例的移動裝載端口中的映射感測器的方法的圖。
圖14A、圖14B和圖14C是展示移動圖13A、圖13B和圖13C所示的裝載端口中的映射感測器的方法的圖。
圖15A和圖15B是展示確定傳送目標物體是否以正常姿勢被容納的方法的變形例的圖。
2:傳送室
3:儲存容器
31:裝載/卸載端口
31a:一端
31b:另一端
32:容器本體
34、34a、34b:狹槽
2F:公共壁表面
2S:內部空間
3S:內部空間
M:映射機構
M1:映射感測器
M2:映射感測器
ML:佈置方向
Mt:映射臂
MT:確定部
TA:檢測目標區域
TB:檢測目標區域
Wa:端面

Claims (5)

  1. 一種裝載端口，包括： 一框架，該框架包括一開口，一傳送目標物體能夠經由該開口以基本上水平的姿勢通過； 一裝載端口門，該裝載端口門被配置為與能夠打開和關閉一儲存容器的一裝載/卸載端口的一容器門接合，並且被配置為打開和關閉該框架的該開口，該儲存容器包括能夠以多級方式容納該傳送目標物體的多個狹槽；以及 一映射機構，該映射機構被配置為經由該開口和該裝載/卸載端口來映射關於一容納狀態的訊息，該容納狀態包括在該儲存容器中的每個該狹槽中存在或不存在該傳送目標物體； 其中，該映射機構包括： 兩個映射感測器，該兩個映射感測器被配置為在打開和關閉該開口時與該裝載端口門的上升/下降運動一體地或獨立於該裝載端口門的上升/下降運動而上下移動，並且能夠通過朝向該儲存容器的內部照射一檢測波來檢測該傳送目標物體的一端面；以及 一確定部，該確定部被配置為基於由該兩個映射感測器獲得的一感測訊息來確定該傳送目標物體的該容納狀態是良好還是不良。
  2. 如請求項1之裝載端口，其中，在該裝載/卸載端口的一個端部處設定在水平方向上並排佈置的該兩個映射感測器中的一第一映射感測器的檢測目標區域，並且在該裝載/卸載端口的另一個端部處設定該兩個映射感測器中的一第二映射感測器的檢測目標區域。
  3. 如請求項1或2之裝載端口，其中，該確定部被配置為通過基於該兩個映射感測器中的至少一個映射感測器的該感測訊息來檢測該傳送目標物體的高度位置並且將所檢測的高度位置與每個該狹槽中的該傳送目標物體的該正常高度位置進行比較，來確定該傳送目標物體是否位於每個該狹槽中的正常高度位置。
  4. 如請求項1至3中任一項之裝載端口，其中，該映射機構被配置為： 在由該兩個映射感測器開始一感測之前，確定該傳送目標物體的該容納狀態是良好還是不良， 執行該感測以通過使用該兩個映射感測器中的至少一個映射感測器來檢測儲存在該儲存容器中的該傳送目標物體的彈出。
  5. 如請求項1至4中任一項之裝載端口，其中，從該兩個映射感測器中的至少一個映射感測器發射的光束具有沿著該傳送目標物體的該端面延伸的帶狀。
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