KR20230021597A - 로드 포트 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 장치 전체의 대형화를 초래하지 않고, 평면 형상이 직사각 형상이고 대형의 반송 대상물이어도 격납 용기 내에서의 반송 대상물의 수용 상태를 고정밀도이면서로 또한 정확하게 검출 가능한 로드 포트 및 로드 포트에서의 매핑 처리 방법을 제공한다. 본 발명의 로드 포트는, 반송 대상물이 대략 수평 자세로 통과 가능한 개구부를 갖는 프레임과, 반송 대상물을 다단형으로 수용 가능한 슬롯을 갖는 격납 용기의 반출입구를 개폐 가능한 용기 도어와 걸림 결합 가능하고 또한 프레임의 개구부를 개폐 가능한 로드 포트 도어와, 개구부 및 반출입구를 통해서 격납 용기 내의 각 슬롯에서의 반송 대상물의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 매핑하는 매핑 기구를 구비하고, 매핑 기구는, 개구부를 개폐할 때의 로드 포트 도어의 승강 이동과 일체 또는 독립적으로 승강 이동하고, 검출파를 격납 용기의 내부를 향해서 조사함으로써 반송 대상물의 단부면을 검지 가능한 2개의 매핑 센서와, 2개의 매핑 센서에 의한 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물의 수용 상태의 양부를 판별하는 판별부를 갖는다.

Description

로드 포트{LOAD PORT}

본 발명은, 반도체 제조 공정에 있어서, 다단식 슬롯에 복수매의 웨이퍼 등의 반송 대상물을 수납 가능한 격납 용기인 FOUP과의 사이에서 반송 대상물을 전달하기 위해서 사용되는 로드 포트, 특히, FOUP의 각 슬롯에서의 반송 대상물의 유무를 포함하는 상태에 관한 정보를 매핑하는 매핑 기구를 구비한 로드 포트에 관한 것이다.

예를 들어 반도체의 제조 공정에서는, 수율이나 품질의 향상을 위하여, 클린 룸 내에서의 웨이퍼의 처리가 이루어지고 있다. 근년에는, 웨이퍼의 주위의 국소적인 공간에 대해서만 청정도를 보다 향상시키는 「미니 인바이런먼트 방식」을 도입하고, 웨이퍼의 반송과 그 밖의 처리를 행하는 수단이 채용되어 있다. 미니 인바이런먼트 방식에서는, 하우징의 내부에서 대략 폐지된 웨이퍼 반송실(이하, 반송실)의 벽면의 일부를 구성함과 함께, 고청정한 내부 공간에 웨이퍼 등의 반송 대상물이 수납된 격납 용기인 FOUP(Front-Opening Unified Pod)을 적재하고, FOUP의 도어에 밀착된 상태에서 당해 FOUP 도어를 개폐시키는 기능을 갖는 로드 포트가 반송실에 인접해서 마련되어 있다. 이하에서는, FOUP 도어에 걸림 결합 가능하며 FOUP 도어를 개폐시키는 로드 포트의 도어를 「로드 포트 도어」로 한다.

이러한 로드 포트는, 반송실과의 사이에서 반송 대상물의 출입을 행하기 위한 장치이며, 반송실과 FOUP의 사이에서의 인터페이스부로서 기능한다. 그리고, FOUP 도어에 대하여 로드 포트 도어를 밀착시킨 상태에서 이들 FOUP 도어 및 로드 포트 도어가 동시에 열리면, 반송실 내에 배치된 반송 로봇에 의해, FOUP 내의 반송 대상물을 반송실 내에 취출하거나, 반송 대상물을 반송실 내로부터 FOUP 내에 수납할 수 있도록 구성되어 있다.

로드 포트에는, FOUP 내에 마련한 다단식 슬롯에서의 반송 대상물의 유무나 수납 자세를 검출 가능한 매핑 기구가 구비되어 있다. 종래의 매핑 기구에서는, 반송 대상물이 원형인 것을 전제로, 반송 대상물 중 당해 반송 대상물의 깊이 방향 중앙보다도 FOUP 도어쪽으로 치우친 선단 부분(원형을 이루는 외연(원주)의 일부)을 가로 지르는 라인을 센싱 라인(투수광 라인)으로 하는 투과형 광 센서를 사용해서 매핑 처리를 행하여, 각 슬롯에서의 반송 대상물의 유무를 검지하고 있었다.

매핑 기구의 일례로서, 선단부에 매핑 센서를 구비한 매퍼를, 로드 포트의 프레임보다도 반송실측으로 후퇴시킨 매핑 불능 위치와, 프레임의 개구부를 통해서 매핑 불능 위치보다도 FOUP 내에 접근시킨 매핑 가능 위치의 사이에서 이동 가능하게 구성한 것을 들 수 있다. 또한, 매핑 기구는, 매퍼를 지지하는 매핑 이동부(매핑 암)를 구비하여, 매퍼를 매핑 가능 위치에 유지한 채 매핑 암을 높이 방향으로 이동시킴으로써, 다단식 슬롯을 구성하는 각 슬롯에 반송 대상물이 수용되어 있는지 여부를 검지(유무 검지) 가능하게 구성되어 있다. 또한, 반송 대상물이 다른 높이 위치의 슬롯에 지지되어 있는 크로스 이상 탑재의 검지(크로스 검지)나, 동일한 슬롯에 2매의 반송 대상물이 겹쳐서 지지되어 있는 이중 탑재의 검지(이중 검지)도 유무 검지와 동시에 행하여지고 있었다. 또한, 매핑 암의 승강 이동은, 로드 포트 도어의 승강 이동과 일체 또는 독립적으로 행하여진다.

그러나, 상술한 매핑 기구에 의한 매핑 처리는, 반송 대상물이 원형이라면 원활하면서 또한 적절하게 행할 수 있지만, 반송 대상물이 원형 이외의 형상, 예를 들어 직사각 형상의 패널이나 웨이퍼에 대해서는 실시할 수 없다.

즉, 종래의 매핑 기구에서는, 매핑 처리 시에 매핑 센서를 구비한 매퍼(예를 들어 광 조사부 및 수광부를 구비한 투과형 광 센서)를 FOUP 내에 진입시켜, 광 조사부 및 수광부를, 반송 대상물의 외주연부를 대략 수평 방향으로부터 확실하게 사이에 두는 위치에 배치시킬 필요가 있다. 반송 대상물이 원 형상이라면, 반송 대상물의 외주면과 FOUP의 내면의 사이의 스페이스를 FOUP 도어측에서 확보하는 것이 가능하지만, 반송 대상물이, 예를 들어 정사각 형상, 직사각 형상 등의 소위 각형의 유리 기판 등인 경우에는, FOUP 내에서의 반송 대상물의 점유 면적이 원형의 경우보다도 증가하기 때문에, 반송 대상물의 외주면과 FOUP의 내면의 사이에, 매핑 기구의 센서를 충분히 진입시키기 위한 스페이스를 확보하는 것이 불가능 또는 극히 곤란하다.

한편, 특허문헌 1에는, 반송 대상물을 향해서 촬상용 광을 조사하는 발광부와, 발광부로부터의 조사광에 의해 조명된 조명 영역 내를 촬상해서 촬상 화상을 취득하는 촬상부를 갖는 매핑 기구를 구비한 로드 포트가 제안되어 있다. 구체적으로는, 조명 영역 내에 반송 대상물이 1매만 포함되도록 광을 조사하는 1개의 발광부에 대하여 1개의 촬상부가 대응지어서 마련되어, 발광부가 반송 대상물을 향해서 촬상용 광을 조사함과 함께, 촬상부가 발광부에 의해 조명된 조명 영역 내의 촬상을 행하여 촬상 화상을 취득하고, 촬상 화상에 기초하여 각형의 반송 대상물이어도 그 수용 상태를 파악하는 것이 가능한 구성이 특허문헌 1에 개시되어 있다.

일본 특허 공개 제2019-102753호 공보

그러나, 조명 영역 내에 반송 대상물이 1매만 포함되도록 광을 조사하는 상술한 매핑 기구라면, 각형의 반송 대상물의 대형화에 수반하여, 반송 대상물 전체에서 차지하는 조명 영역이 작아져, 1개의 반송 대상물에 대한 1매의 촬영 화상만으로는 정확한 크로스 검지를 행할 수 없는 경우가 있다. 예를 들어, FOUP 내에서 대형의 반송 대상물을 지지하는 구성으로서, FOUP 내에서의 좌우와 중앙의 3군데에 마련된 슬롯 등의 지지부에 의해 반송 대상물을 지지하는 구성이 채용되어 있는 경우에, i) 우측과 중앙이 동일 높이 위치의 지지부에 지지되고, 좌측만 우측 및 중앙과 동일 높이 위치의 지지부에 지지되어 있지 않은(우측 및 중앙과 다른 높이 위치의 지지부에 지지되어 있거나, 어느 지지부에도 지지되어 있지 않은) 상태에서 탑재되어 있는 크로스 이상 탑재, ii) 좌측과 중앙이 동일 높이 위치의 지지부에 지지되고, 우측만 좌측 및 중앙과 동일 높이 위치의 지지부에 지지되어 있지 않은(좌측 및 중앙과 다른 높이 위치의 지지부에 지지되어 있거나, 어느 지지부에도 지지되어 있지 않은) 상태에서 탑재되어 있는 크로스 이상 탑재, iii) 좌우가 동일 높이 위치의 지지부에 지지되고, 중앙만 좌우와 동일 높이 위치의 지지부에 지지되어 있지 않은(좌우와 다른 높이 위치의 지지부에 지지되어 있거나, 어느 지지부에도 지지되어 있지 않은) 상태에서 탑재되어 있는 크로스 이상 탑재, 이상의 3 패턴의 크로스 이상 탑재에 대해서는, 1매의 촬상 화상만으로 정확하게 검지할 수 없는 경우가 있다. 특히, 반송 대상물이 대형이고 얇은 것이라면, 반송 대상물의 자중에 더하여 그 얇은 두께에도 기인해서 휜 상태로 수용되는 사태도 예상된다. 이러한 반송 대상물이 휜 상태로 수용되는 휨 탑재는, 크로스 이상 탑재의 일 양태라고 파악할 수 있다.

또한, 특허문헌 1에 기재된 매핑 기구라면, 발광부로부터의 조사광에 의해 조명된 조명 영역 내를 촬상해서 촬상 화상을 취득하는 처리와, 그 취득한 촬상 화상에 기초하여 반송 대상물의 수용 상태를 특정하는 처리를 요하여, 수광 상태 또는 차광 상태를 검지함으로써 반송 대상물의 수용 상태를 특정 가능한 매핑 기구와 비교하여, 고도의 처리가 요구되고, 택트 타임도 길어진다.

또한, 특허문헌 1에는, 매핑 센서를 2개 마련하여, 각 매핑 센서에서 반송 대상물의 다른 시야를 촬상하도록 구성하고, 한쪽의 매핑 센서에서 취득된 촬상 화상에 기초한 수용 상태의 판단과, 다른 쪽의 매핑 센서에서 취득된 촬상 화상에 기초한 수용 상태의 판단을 행하는 양태가 개시되어 있다. 이 경우, 2개의 촬상 화상에 기초한 수용 상태의 판단이 모두 「양호」인 경우에, 반송 대상물의 수용 상태가 「양호」라고 판단하고, 어느 한쪽의 촬상 화상에 기초한 수용 상태의 판단이 「불량」인 경우에, 반송 대상물의 수용 상태가 「불량」이라고 판단하는 것이 가능하지만, 촬상 화상이 늘어남으로써 화상 처리 판정에 많은 시간이 필요하게 되고, 발광부 및 촬상부의 수도 증가함으로써 기기 비용이 매우 고가가 된다.

본 발명은, 이와 같은 과제에 착안해서 이루어진 것으로서, 주된 목적은, 장치 전체의 대형화를 초래하지 않고, 평면 형상이 직사각 형상이고 대형의 반송 대상물이어도 격납 용기 내에서의 수용 상태를 고정밀도이면서 또한 정확하게 검출 가능한 로드 포트를 제공하는 것이다.

즉 본 발명의 로드 포트는, 반송 대상물이 대략 수평 자세로 통과 가능한 개구부를 갖는 프레임과, 상기 반송 대상물을 다단형으로 수용 가능한 슬롯을 갖는 격납 용기의 반출입구를 개폐 가능한 용기 도어와 걸림 결합 가능하고 또한 상기 프레임의 상기 개구부를 개폐 가능한 로드 포트 도어와, 상기 개구부 및 상기 반출입구를 통해서 상기 격납 용기 내의 상기 각 슬롯에서의 상기 반송 대상물의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 매핑하는 매핑 기구를 구비하고, 상기 매핑 기구는, 상기 개구부를 개폐할 때의 상기 로드 포트 도어의 승강 이동과 일체 또는 독립적으로 승강 이동하고, 검출파를 상기 격납 용기의 내부를 향해서 조사함으로써 상기 반송 대상물의 단부면을 검지 가능한 2개의 매핑 센서와, 상기 2개의 매핑 센서에 의한 센싱 정보에 기초하여 상기 반송 대상물의 수용 상태의 양부를 판별하는 판별부를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 로드 포트에 의하면, 2개의 매핑 센서를 갖는 매핑 기구에 의해 격납 용기 내의 각 슬롯에서의 반송 대상물의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 매핑하는 것이 가능하다.

따라서, 본 발명의 로드 포트라면, 평면 형상이 직사각 형상이며 격납 용기의 반출입구에서의 개구 폭의 대략 전역에 걸치는 직선상의 단부면을 갖는 대형이고 박형의 반송 대상물이어도, 상술한 2개의 매핑 센서에 의해, 격납 용기 내에서의 반송 대상물의 수용 상태를 고정밀도이면서 또한 정확하게 검출하는 것이 가능하다.

게다가, 본 발명의 로드 포트라면, 매핑 기구에 의해 격납 용기 내의 각 슬롯에서의 반송 대상물의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 촬영 및 화상 처리를 수반하지 않고 매핑하는 것이 가능하여, 카메라 등을 사용한 화상 처리 시스템과 비교해서, 반송 대상물을 검지하는 처리의 고속화를 도모할 수 있고, 시스템에 드는 비용도 저렴하게 억제하는 것이 가능하다.

여기서, 본 발명에 있어서, 격납 용기 내의 각 슬롯에서의 반송 대상물의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 「촬영 및 화상 처리를 수반하지 않고 매핑하는」 구성의 적합한 일례는, 상술한 소정의 검지 대상 영역을 갖는 각 매핑 센서가 반송 대상물의 단부면을 검지함으로써 매핑하는(반송 대상물의 수용 상태의 양부를 판별하는) 구성을 들 수 있다.

또한, 본 발명의 로드 포트에 있어서, 수평 방향으로 배열되어 배치되는 상기 2개의 매핑 센서 중 제1 매핑 센서에 의한 검지 대상 영역을 상기 반출입구의 일단측 부분에 설정하고, 제2 매핑 센서에 의한 검지 대상 영역을 상기 반출입구의 타단측 부분에 설정하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 로드 포트에 의하면, 2개의 매핑 센서를 공통의 매핑 암에 수평 방향으로 서로 이격시켜서 배열하여 배치하고, 반송 대상물의 반출입구에 면하는 단부면의 일단측 부분 및 타단측 부분을 각각 검지함으로써, 2군데의 검지 대상 영역을 격납 용기의 반출입구 일단측 부분에만 또는 타단측 부분에만 설정하고 있는 경우에 비하여, 판별부에 있어서 2개의 매핑 센서에 의한 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물이 수평 자세로 수용되어 있는 것을 확실하게 특정할 수 있다.

또한, 본 발명의 로드 포트에 있어서, 상기 판별부는, 상기 2개의 매핑 센서의 적어도 한쪽의 센싱 정보에 기초하여 상기 반송 대상물의 높이 위치를 검지하고, 그 높이 위치를 상기 반송 대상물의 상기 각 슬롯 상의 정상 높이 위치와 비교함으로써, 상기 반송 대상물이 상기 각 슬롯 상의 정상 높이 위치에 있는지 여부를 판별하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 로드 포트에 의하면, 2개의 매핑 센서의 적어도 한쪽의 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물의 높이 위치를 검지 가능하기 때문에, 격납 용기 내의 각 슬롯에서의 반송 대상물이 정상 위치에 있는지 여부를 확실하게 검지할 수 있다.

또한, 본 발명의 로드 포트에 있어서, 상기 매핑 기구는, 상기 2개의 매핑 센서에 의해 상기 반송 대상물의 수용 상태의 양부를 판별하기 위한 센싱을 개시하기 전에 있어서, 상기 2개의 매핑 센서의 적어도 한쪽을 사용하여, 상기 격납 용기에 수납된 상기 반송 대상물의 튀어나옴을 검지하기 위한 센싱을 행하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 로드 포트에 의하면, 2개의 매핑 센서의 적어도 한쪽을 사용해서 격납 용기에 수납된 반송 대상물의 튀어나옴을 검지하기 때문에, 반송 대상물의 튀어나옴을 검지하기 위한 센서를 별도 설치할 필요가 없다. 그 때문에, 제조 비용을 저감할 수 있다.

또한, 본 발명의 로드 포트에 있어서, 상기 2개의 매핑 센서의 적어도 한쪽으로부터 조사되는 빔 형상은, 상기 반송 대상물의 단부면을 따라 연장되는 띠상인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 로드 포트에 의하면, 2개의 매핑 센서의 적어도 한쪽으로부터 조사되는 빔에 의해, 반송 대상물의 단부면을 안정적으로 검지 가능함과 함께 외란의 영향을 받기 어렵다.

본 발명은, 2개의 매핑 센서를 수평 방향으로 서로 이격해서 마련하고, 이들 2개의 매핑 센서에 의해 촬영 및 화상 처리를 수반하지 않고 격납 용기 내에서의 반송 대상물의 수용 상태를 고정밀도이면서 또한 정확하게 검출할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태의 로드 포트를 구비한 EFEM과 그 주변 장치의 상대 위치 관계를 모식적으로 도시하는 측면도이다.
도 2는 도 1의 로드 포트의 상대 위치 관계를 간략화한 평면도이다.
도 3은 도 1의 로드 포트에 있어서 격납 용기 내의 슬롯에 수용한 반송 대상물과 매핑 기구의 상대 위치 관계를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 4는 도 1의 로드 포트를 일부 생략해서 도시하는 정면도이다.
도 5는 도 1의 로드 포트에서의 매핑 센서의 검지 대상 영역을 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 6은 도 1의 로드 포트의 동작 수순을 나타내는 흐름도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시 형태의 로드 포트에 있어서 격납 용기 내의 슬롯에 수용한 반송 대상물과 매핑 기구의 상대 위치 관계를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 8은 도 7의 로드 포트에서의 매핑 센서의 검지 대상 영역을 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 9는 도 7의 로드 포트의 제어 블록을 도시하는 도면이다.
도 10은 도 7의 로드 포트에서의 매핑 센서의 승강 범위를 도시하는 도면이다.
도 11은 도 7의 로드 포트에 있어서 매핑 센서의 높이 위치를 검출하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 12는 도 7의 로드 포트에 있어서 각 슬롯 상에 배치된 반송 대상물의 정상 높이 위치를 설명하는 도면이다.
도 13은 본 발명의 제3 실시 형태의 로드 포트에서의 매핑 센서의 이동 방법을 설명하는 도면이다.
도 14는 도 13의 로드 포트에서의 매핑 센서의 이동 방법을 설명하는 도면이다.
도 15는 반송 대상물이 정상 자세로 수용되어 있는지 여부를 판별하는 방법의 변형예를 도시하는 도면이다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.

(제1 실시 형태)

본 실시 형태의 로드 포트(1)는, 예를 들어 반도체의 제조 공정에서 사용되고, 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 클린 룸 내에서, 반송실(2)의 벽면의 일부를 구성하고, 반송실(2)과 FOUP 등의 격납 용기(3)의 사이에서 반송 대상물(W)의 출입을 행하기 위한 것이다.

반송 대상물(W)의 재질로서는, 유리, 수지, SUS 등이 적용된다. 로드 포트(1)는, EFEM(Equipment Front End Module)의 일부를 구성하고, 격납 용기(3)와 반송실(2)의 인터페이스 부분으로서 기능하는 것이다. 본 실시 형태에서는, 직사각 형상(각형)을 이루는 비교적 대형의 얇은 반송 대상물(W)(예를 들어 평면 사이즈가 600mm×600mm, 515mm×510mm이며, 두께가 0.2mm 내지 2mm의 유리 기판)을 적용하고 있다.

본 실시 형태에서는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 반송실(2)의 전방면(전방벽면)(2F)에 로드 포트(1)를 복수(예를 들어 3대) 배열해서 배치하고 있다. EFEM의 작동은, 로드 포트(1)의 컨트롤러(도 1에 도시하는 제어부(1C))나, EFEM 전체의 컨트롤러(도 1에 도시하는 제어부(2C))에 의해 제어된다.

반송실(2)의 내부 공간(2S)에는, 유리 기판 등의 반송 대상물을 로드 포트(1) 상의 격납 용기(3)와 처리실(R)의 사이에서 반송 가능한 반송 로봇(21)이 마련되어 있다. 반송 로봇(21)은, 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 예를 들어 복수의 링크 요소를 서로 수평 선회 가능하게 연결하고, 선단부에 반송 대상물 파지부(211)(핸드)를 마련한 암(212)과, 암(212)의 기단부를 구성하는 암 베이스를 선회 가능하게 지지하고 또한 반송실(2)의 폭 방향(로드 포트(1)의 병렬 방향)으로 주행하는 주행부를 구비한 것이다. 반송 로봇(21)은, 암 길이가 최소로 되는 폴딩 상태와, 암 길이가 폴딩 상태 시보다도 길어지는 신장 상태의 사이에서 형상이 바뀌는 링크 구조(다관절 구조)를 갖는다. 암(212)의 선단에, 개별로 제어 가능한 복수의 핸드(211)를 높이 방향으로 다단형으로 마련한 반송 로봇(21)을 적용할 수 있다. 또한, 주행부를 구비하지 않고, 설치 위치가 고정된 반송 로봇을 적용하거나, 스테이셔너리 로봇을 반송 로봇으로서 사용할 수도 있다.

반송실(2)은, 로드 포트(1) 및 처리실(R)이 접속됨으로써, 내부 공간(2S)이 대략 밀폐된 상태가 되도록 구성하고 있다. 반송실(2)의 내부 공간(2S)에는, 상방으로부터 하방을 향하는 기류인 다운 플로를 형성하고 있다. 따라서, 반송실(2)의 내부 공간(2S)에 반송 대상물(W)의 표면을 오염시키는 파티클이 존재한 경우라도, 다운 플로에 의해 파티클을 하방으로 밀어 내려, 반송 중인 반송 대상물(W)의 표면에의 파티클의 부착을 억제하는 것이 가능하게 된다. 도 1에는, 다운 플로를 형성하고 있는 반송실(2) 내의 기체의 흐름을 화살표로 모식적으로 도시하고 있다. 반송실(2)의 측면이나 반송실(2)의 내부 공간(2S)에 버퍼 스테이션, 얼라이너 등의 적절한 스테이션을 배치한 EFEM을 구성하는 것도 가능하다.

반송실(2)의 내부 공간(2S) 및 각 로드 포트(1) 상에 적재되는 격납 용기(3)의 내부 공간(3S)은 고청정도로 유지된다. 한편, 로드 포트(1)를 배치한 공간, 바꾸어 말하면 처리실 외, EFEM 외는 비교적 저청정도가 된다. 또한, 도 1 및 도 2는, 로드 포트(1) 및 반송실(2)의 상대 위치 관계, 및 이들 로드 포트(1) 및 반송실(2)을 구비한 EFEM과 처리실(R)의 상대 위치 관계를 모식적으로 도시한 도면이다.

본 실시 형태에서의 격납 용기(3)는, 도 1에 모식적으로 도시된 바와 같이, 반출입구(31)를 통해서 내부 공간(3S)을 후방으로만 개방 가능한 용기 본체(32)와, 반출입구(31)를 개폐 가능한 용기 도어(33)를 구비하고 있다. 격납 용기(3)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 내부에 다단식 슬롯을 구성하는 슬롯(34)을 마련하고, 각 슬롯(34)에 반송 대상물(W)을 수용 가능하게 구성되고, 반출입구(31)를 통해서 이들 반송 대상물(W)을 출입 가능하게 구성된 것이다. 본 실시 형태에서는, 격납 용기(3) 내에서, 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 반송 대상물(W)의 양쪽 사이드 부분을 각각 동일한 높이 위치에 있는 슬롯(34a, 34b)으로 지지하고, 반송 대상물(W)의 폭 방향 중앙 부분을 슬롯(34a, 34b)과 동일한 높이 위치에 있는 슬롯(34c)으로 지지하고 있다. 용기 본체(32)의 상향면에는, 격납 용기(3)를 자동으로 반송하는 장치(예를 들어 OHT: Over Head Transport) 등에 파지되는 플랜지부(35)를 마련하고 있다(도 1 참조).

본 실시 형태의 로드 포트(1)는, 도 1 등에 도시하는 바와 같이, 반송실(2)의 벽면의 일부를 구성하고, 또한 반송실(2)의 내부 공간(2S)을 개방하기 위한 개구부(41)가 형성된 판상을 이루는 프레임(4)과, 프레임(4)에 대하여 전방으로 돌출시킨 대략 수평 자세로 마련한 적재 테이블(5)과, 외부로부터 반송되어 온 격납 용기(3)를 적재 테이블(5) 상에 보유 지지하는 착좌 보유 지지 기구(6)와, 적재 테이블(5) 상에서 격납 용기(3)를 착좌 위치와 반송 대상물 전달 위치의 사이에서 전후 방향(D)으로 이동시키는 견인 기구(7)와, 프레임(4)의 개구부(41)를 개폐하는 로드 포트 도어(8)와, 로드 포트 도어(8)를 반송실(2)측으로 후퇴시킨 도어 개방 위치로 이동시킴으로써 프레임(4)의 개구부(41)를 개방 상태로 하는 도어 개폐 기구(9)와, 도어 개폐 기구(9)에 의해 프레임(4)의 개구부(41)를 개방 상태로 한 상태에서, 반송 대상물 전달 위치에 있는 격납 용기(3) 내의 각 슬롯(34)(34a, 34b, 34c)에서의 반송 대상물(W)의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 매핑하는 매핑 기구(M)를 구비하고 있다.

프레임(4)은, 기립 자세로 배치되고, 적재 테이블(5) 상에 적재한 격납 용기(3)의 반출입구와 연통할 수 있는 크기의 개구부(41)를 갖는 대략 직사각형 판상의 것이다. 도 1에 프레임(4)의 개구부(41)를 모식적으로 도시하고 있다. 본 실시 형태의 로드 포트(1)는, 프레임(4)에 의해 반송실(2)의 벽면의 일부를 구성하고 있다. 프레임(4)의 하단에는, 캐스터 및 설치 다리를 갖는 다리부(42)를 마련하고 있다.

적재 테이블(5)은, 프레임(4) 중 높이 방향 중앙보다도 약간 상방쪽의 위치에 대략 수평 자세로 배치되는 수평 기대(50)(지지대)의 상부에 마련되어, 용기 본체(32)가 프레임(4)에 대향하는 방향으로 격납 용기(3)를 적재 가능한 것이다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 적재 테이블(5)에는, 상향으로 돌출시킨 복수의 돌기(51)를 마련하고, 이들 돌기(51)를 격납 용기(3)의 저면에 형성된 구멍(도시 생략)에 걸림 결합시킴으로써, 적재 테이블(5) 상에서의 격납 용기(3)의 위치 결정을 도모하고 있다.

착좌 보유 지지 기구(6)는, 적재 테이블(5)에 마련한 로크 갈고리(도시 생략)를, 격납 용기(3)의 저면에 마련한 피 로크부(도시 생략)에 걸어서 고정한 로크 상태로 함으로써, 격납 용기(3)를 적재 테이블(5) 상에 보유 지지하는 것이다. 또한, 본 실시 형태의 로드 포트(1)에서는, 피 로크부에 대한 로크 갈고리의 로크 상태를 해제함으로써, 격납 용기(3)를 적재 테이블(5)로부터 이격 가능한 상태로 할 수 있다.

견인 기구(7)는, 적재 테이블(5) 상에서 격납 용기(3)를, 용기 본체(32)가 로드 포트 도어(8)로부터 소정 거리 이격된 위치인 착좌 위치와, 용기 본체(32)를 로드 포트 도어(8)에 밀착시키는 위치인 반송 대상물 전달 위치의 사이에서 전후 방향(D)으로 이동시키는 것이다. 견인 기구(7)는, 적재 테이블(5)을 전후 이동시키는 도시하지 않은 슬라이드 레일 등을 사용해서 구성되어 있다. 착좌 보유 지지 기구(6) 및 견인 기구(7)는, 적재 테이블(5)이 구비하는 기구로서 파악할 수도 있다.

또한, 도 1에서는, 적재 테이블(5) 상에서의 격납 용기(3)의 적재 상태로서, 적재 테이블(5)의 상면에 격납 용기(3)의 저면이 접촉하고 있는 상태로서 간략화해서 나타내고 있다. 그러나, 실제로는, 적재 테이블(5)의 상면보다도 상방으로 돌출되어 있는 복수의 돌기(51)가, 격납 용기(3)의 저면에 형성된 바닥이 있는 구멍에 걸림 결합함으로써 격납 용기(3)를 지지하고 있어, 적재 테이블(5)의 상면과 격납 용기(3)의 저면은 서로 접촉하지 않고, 적재 테이블(5)의 상면과 격납 용기(3)의 저면의 사이에 소정의 간극이 형성되도록 규정되어 있다.

본 실시 형태에서는, 적재 테이블(5)에 적재한 격납 용기(3)와 프레임(4)이 배열되는 전후 방향(D)(도 1 등 참조)에 있어서, 격납 용기(3)측을 전방으로 정의하고, 프레임(4)측을 후방으로 정의한다.

로드 포트 도어(8)는, 프레임(4)의 개구부(41)를 밀폐하는 완전 폐쇄 위치와, 완전 폐쇄 위치보다도 반송실(2)측으로 후퇴한 도어 개방 위치와, 개구부(41)의 개구 스페이스를 후방으로 완전 개방시키는 완전 개방 위치의 사이에서 이동 가능한 것이다. 또한, 도 1에서는, 로드 포트 도어(8) 및 후술하는 매핑 기구(M)의 외관을 모식적으로 나타내기 위해서, 로드 포트 도어(8)를 도어 개방 위치에 위치 부여한 상태를 나타내고 있지만, 실제의 운용에서는, 격납 용기(3)를 반송 대상물 전달 위치(용기 본체(32)를 로드 포트 도어(8)에 밀착시키는 위치)로 이동시킨 상태이며 또한 용기 도어(33)를 걸림 결합 보유 지지한 상태에서 로드 포트 도어(8)는 도어 개방 위치에 위치 부여된다. 즉, EFEM 내 및 반송실(2) 내가, 외부 공간에 개방되어버리지 않는 운용이 중요하다.

로드 포트 도어(8)는, 격납 용기(3)의 용기 도어(33)를 흡착해서 보유 지지 가능한 걸림 결합부(81)를 구비하고(도 4 참조), 용기 도어(33)와의 걸림 결합 상태를 유지한 채 용기 도어(33)와 일체적으로 완전 폐쇄 위치, 도어 개방 위치 및 완전 개방 위치의 사이에서 이동 가능하게 구성되어 있다. 그리고, 완전 폐쇄 위치와 완전 개방 위치의 사이에서의 로드 포트 도어(8)의 이동 경로는, 완전 폐쇄 위치에 있는 로드 포트 도어(8)를 그 높이 위치를 유지한 채 도어 개방 위치까지 반송실(2)측으로 이동시킨 경로(수평 경로)와, 도어 개방 위치에 있는 로드 포트 도어(8)를 그 전후 위치를 유지한 채 완전 개방 위치까지 하방으로 이동시킨 경로(연직 경로)로 이루어진다. 도어 개방 위치에 위치 부여한 로드 포트 도어(8)가 연직 방향 및 수평 방향의 어느 쪽으로도 이동할 수 있도록, 도어 개방 위치에 위치 부여한 로드 포트 도어(8)에 보유 지지되는 용기 도어(33)는, 로드 포트 도어(8)와 함께 프레임(4)보다도 후방의 위치(용기 본체(32)로부터 완전히 이격되어, 반송실(2)의 내부 공간(2S)에 배치되는 위치)에 위치 부여된다.

이러한 로드 포트 도어(8)의 이동은, 로드 포트(1)에 마련한 도어 개폐 기구(9)에 의해 실현하고 있다. 도어 개폐 기구(9)는, 로드 포트 도어(8)를 도어 개방 위치나 완전 개방 위치로 이동시킴으로써, 개방 상태로 한 프레임(4)의 개구를 통해서 격납 용기(3)의 내부 공간(3S)을 반송실(2)에 연통시키는 것이다. 도어 개폐 기구(9)는, 예를 들어 로드 포트 도어(8)를 지지하는 지지 프레임(80)을 전후 방향(D)으로 이동 가능하게 지지하는 가동 블록(도시 생략)이나, 가동 블록을 상하 방향(H)으로 이동 가능하게 지지하는 슬라이드 레일(도시 생략)을 사용해서 구성되어, 액추에이터 등의 구동원(도시 생략)을 작동시켜서, 로드 포트 도어(8)를 전후 방향(D) 및 상하 방향(H)으로 이동시키는 것이다. 또한, 전후 이동용 액추에이터와, 상하 이동용 액추에이터를 따로따로 구비한 양태이어도 되지만, 부품 개수의 삭감이라는 점에서는, 공통의 액추에이터를 구동원으로 해서 로드 포트 도어(8)의 전후 이동 및 상하 이동을 행하는 양태가 우수하다.

본 실시 형태의 로드 포트 도어(8)는, 용기 도어(33)와 용기 본체(32)의 걸림 결합 상태(래치 상태)를 해제해서 용기 도어(33)를 용기 본체(32)로부터 분리 가능한 상태(언래치 상태)로 하는 연결 전환 기구(82)를 구비하고 있다(도 4 참조). 또한, 본 실시 형태의 로드 포트(1)는, 적재 테이블(5)에 마련되어 격납 용기(3)의 저면측으로부터 당해 격납 용기(3) 내에 질소 가스나 불활성 가스 또는 드라이 에어 등의 적절히 선택된 기체인 환경 가스(퍼지 가스라고도 칭해지며, 본 실시 형태에서는 주로 질소 가스나 드라이 에어를 사용하고 있음)를 주입하여, 격납 용기(3) 내의 기체 분위기를 환경 가스로 치환 가능한 보텀 퍼지부를 구비할 수 있다. 보텀 퍼지부는, 적재 테이블(5) 상의 소정 개소에 복수 마련한 도시하지 않은 노즐을 주체로 해서 이루어지며, 복수의 노즐을, 소정의 환경 가스를 주입하는 보텀 퍼지 주입용 노즐이나, 격납 용기(3) 내의 기체 분위기를 배출하는 보텀 퍼지 배출용 노즐로서 기능시키고 있다.

이들 복수의 노즐은, 격납 용기(3)의 저부에 마련한 주입구 및 배출구(모두 도시 생략)에 끼움 결합한 상태에서 연결 가능한 것이다. 주입구를 통해서 보텀 퍼지 주입용 노즐로부터 격납 용기(3)의 내부 공간(3S)에 환경 가스를 공급하고, 배출구를 통해서 보텀 퍼지 배출용 노즐로부터 격납 용기(3)의 내부 공간(3S)의 기체 분위기(이 기체 분위기는, 퍼지 처리 실행 개시부터 소정 시간까지는 공기나 공기 이외의 청정도가 낮은 환경 가스이며, 당해 소정 시간 경과 후는 격납 용기(3)의 내부 공간(3S)에 충전된 청정도가 높은 환경 가스임)를 배출함으로써, 퍼지 처리를 행하는 것이 가능하다.

매핑 기구(M)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 격납 용기(3) 내에 마련한 각 슬롯(다단식 슬롯)(34)에 의해 높이 방향(H)으로 다단형으로 수납된 반송 대상물(W)의 유무를 검지 가능한 2개의 매핑 센서(M1, M2)와, 2개의 매핑 센서(M1, M2)를 동일한 높이 위치에서 지지하는 매핑 암(Mt)과, 2개의 매핑 센서(M1, M2)에 의한 센싱 정보에 기초해서 반송 대상물(W)의 수용 상태의 양부를 판별하는 판별부(MT)를 구비하여, 격납 용기(3) 내에서의 반송 대상물(W)의 유무나 수납 자세를 검출 가능한 것이다.

매핑 센서(M1, M2)는, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검지 가능한 단부면 검지부로서 기능하는 것이다. 본 실시 형태에서는, 매핑 센서(M1, M2)로서, 가시광선 또는 적외선 등의 광을 투광부로부터 조사하여, 검출 물체인 반송 대상물(W)에 의해 반사하는 광이나 차광되는 광량의 변화를 수광부에서 검출해서 출력 신호(센싱 정보)를 취득 가능한 광전 센서를 적용하고 있다. 특히, 본 실시 형태에서는, 빔(선 광)을 발하는 송신기(발광 센서, 발광 소자)와, 발광 소자로부터 발해서 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)에서 반사한 빔을 수신하는 수신기(수광 센서, 수광 소자)를 1개의 센서 앰프 내에 내장한 반사형 광전 센서(반사형 센서)를 적용하고 있다.

매핑 기구(M)가 갖는 2개의 매핑 센서(M1, M2)는, 도 3 및 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 격납 용기(3)의 반출입구(31)의 한쪽 단부(31a)측의 개소를 검지 대상 영역(TA)으로 하는 제1 매핑 센서(M1)와, 반출입구(31)의 다른 쪽 단부(31b)측의 개소를 검지 대상 영역(TB)으로 하는 제2 매핑 센서(M2)로 구별할 수 있다. 이들 각 매핑 센서(M1, M2)의 검지 대상 영역(TA, TB)은, 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 원형으로 나타내는 센서 광의 조사 영역이며, 특히 검지 대상인 반송 대상물(W) 1매분의 두께와 동일 정도의 직경의 조사 영역이다. 동도면으로부터 파악할 수 있는 바와 같이, 이들 2개의 검지 대상 영역(TA, TB)은, 동일한 높이 위치이다. 또한, 반송 대상물(W)의 두께에 따라, 매핑 센서의 검지 대상 영역을 적절히 변경하는 것이 가능하다. 또한, 매핑 센서의 위치(센서 위치)를 좌우 폭 방향으로 조정 가능하게 구성할 수도 있다.

제1 매핑 센서(M1)의 검지 대상 영역(TA)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 격납 용기(3)의 반출입구(31)의 한쪽 단부(31a)측의 부분이며, 구체적으로는, 격납 용기(3) 중 용기 본체(32)의 한쪽 측벽에 마련한 슬롯(34a)과 용기 본체(32)의 폭 방향 중앙부(반출입구(31)의 폭 방향 중앙)에 마련한 슬롯(34c)의 사이의 중간 지점의 영역이다. 또한, 제2 매핑 센서(M2)의 검지 대상 영역(TB)은, 격납 용기(3)의 반출입구(31)의 다른 쪽 단부(31b)측의 부분이며, 구체적으로는, 격납 용기(3) 중 용기 본체(32)의 다른 쪽 측벽에 마련한 슬롯(34b)과 용기 본체(32)의 폭 방향 중앙부(반출입구(31)의 폭 방향 중앙)에 마련한 슬롯(34c)의 중간 지점의 영역이다. 즉, 반송 대상물(W)의 유무를 검지하기 위한 센서 광이 슬롯(34)(34a, 34b, 34c)을 조사하지 않도록, 제1 매핑 센서(M1) 및 제2 매핑 센서(M2)의 검지 대상 영역(TA, TB)을 설정하고 있다.

또한, 본 실시 형태의 로드 포트(1)에 있어서, 매핑 처리 시에 격납 용기(3)에 수용되어 있는 반송 대상물(W)이 정규 위치보다도 격납 용기(3)로부터 튀어나온 위치에 있으면, 매핑 센서(M1, M2)가 반송 대상물(W)과 충돌할 우려가 있어, 이 사태를 회피하기 위해서, 튀어나온 반송 대상물(W)을 검출하는 튀어나옴 센서(예를 들어 검출파의 조사 축을 높이 방향을 향하게 한 튀어나옴 센서, 도시 생략)를 반출입구(31)의 폭 방향 중앙에 마련하고 있다.

매핑 암(Mt)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 수평 방향으로 연신되는 긴 암이며, 2개의 매핑 센서(M1, M2)를 수평 방향으로 서로 이격시킨 소정의 위치에 고정한 상태에서 지지하는 것이다. 각 매핑 센서(M1, M2)는, 그 선단이 각각 전방을 향해서 매핑 암(Mt)보다도 전방으로 돌출된 자세로 지지되어 있다. 본 실시 형태에서는, 도 3에 도시한 바와 같이, 2개의 매핑 센서(M1, M2)가 배열되는 방향(동도에서 2점 쇄선으로 나타내는 매핑 센서 병렬 방향(ML))을, 반송 대상물(W)의 반출입구(31)에 면하는 단부면(Wa)의 연신 방향에 대하여 평행 또는 대략 평행이 되는 방향으로 설정하고 있다. 또한, 매핑 센서(M1, M2)의 각 선단과 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)의 사이에 소정의 간극(예를 들어 56mm)이 형성되도록, 매핑 암(Mt)에 대한 매핑 센서(M1, M2)의 설치 고정 위치를 설정하고 있다.

또한, 격납 용기(3) 내에서 반송 대상물(W)을 정규 위치에 대하여 ±수mm 정도 어긋난(벗어난) 위치에 두는 것이 허용되는 경우가 있다. 이러한 경우에는, 그 어긋남에 대응할 수 있도록, 매핑 센서(M1, M2)의 위치를 변경 가능하게 구성함으로써, 매핑 센서(M1, M2)의 각 선단과 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)의 사이의 적절한 이격 거리를 확보하는 것이 가능하다. 본 실시 형태의 로드 포트(1)는, 도어 개폐 기구(9)를 구성하는 파트에 매핑 암(Mt)을 설치하고 있다(도 1 참조). 따라서, 도어 개폐 기구(9)에 의한 로드 포트 도어(8)의 승강 작동에 따라 매핑 암(Mt)도 일체로 작동한다. 그 결과, 매핑 기구(M) 전체가 로드 포트 도어(8)와 일체로 동일한 방향으로 승강 이동한다. 또한, 로드 포트 도어(8)의 상단부에 매핑 암(Mt)을 직접 또는 다른 파트를 개재해서 설치하는 구성이나, 매핑 암(Mt)을 개재하지 않고, 매핑 센서(M1, M2)를 로드 포트 도어(8)에 직접 설치하는 구성을 채용할 수도 있다. 이러한 구성이어도 매핑 기구(M) 전체가 로드 포트 도어(8)와 일체로 동일한 방향으로 승강 이동한다.

매핑 기구(M)로서, 도시하지 않은 스테핑 모터에 의해 매핑 암(Mt)의 승강 이동을 제어하여, 스테핑 모터의 펄스수에 기초해서 매핑 센서(M1, M2)의 높이 위치를 특정 가능한 것을 적용할 수 있다. 이 경우, 매핑 암(Mt)은, 로드 포트 도어(8)의 승강 이동과는 독립적으로 승강 이동한다. 즉, 매핑 기구(M)의 매핑 센서(M1, M2)가 로드 포트 도어(8)와 승강 기구를 공유할지 여부를 적절히 선택할 수 있다.

판별부(MT)는, 2개의 매핑 센서(M1, M2)에 의한 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물(W)의 수용 상태의 양부를 판별하는 것이다. 여기서, 각 매핑 센서(M1, M2)는, 신호인 빔(선 광)을 발하여, 그 신호를 수신하는지 여부로 검지 대상 영역(TA, TB)에서의 반송 대상물(W)의 유무를 검지하는 것이며, 빔의 궤적(선 광 라인)을 검출 라인으로 파악할 수 있다. 즉, 매핑 처리 시의 검출 라인은, 도 3에서 직선 화살표로 나타낸 바와 같이, 반송실(2)의 내부 공간(2S)측으로부터 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 향해서 연신되는 신호 송신 시의 직선 라인과, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)으로부터 반송실(2)의 내부 공간(2S)측을 향해서 연신되는 신호 수신 시의 직선 라인으로 이루어진다. 매핑 처리 시에 있어서, 각 매핑 센서(M1, M2)의 송신기로부터 전방을 향해서 신호(빔)를 발하면, 송신기의 전방에 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 존재하고 있을 경우에는, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)에서 반사한 신호가 각 매핑 센서(M1, M2)의 수신기에 도달하는 한편, 송신기의 전방에 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 존재하고 있지 않은 경우에는, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)에서 반사하지 않기 때문에 신호는 수신기에 도달하지 않다. 이러한 신호의 수신 유무에 기초하여, 각 매핑 센서(M1, M2)에 의한 검지 대상 영역(TA, TB)에 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 있는지 여부를 순차 검출할 수 있다. 또한, 판별부(MT)는, 예를 들어 제어부(1C)의 내부에 형성된다.

그리고, 판별부(MT)는, 2개의 매핑 센서(M1, M2)에서 동시 또는 대략 동시에 신호를 수신한 경우(신호 ON; 반사광을 수광했을 경우), 즉 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이 2개의 매핑 센서(M1, M2)의 검지 대상 영역(TA, TB)에 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 존재하는 경우에는, 반송 대상물(W)이 정상 자세(수평한 자세)로 수용되어 있는 것을 특정하고, 2개의 매핑 센서(M1, M2) 중 어느 1개의 매핑 센서에서 신호를 수신한 타이밍에 다른 매핑 센서에서 신호를 수신하지 않을 경우(신호 OFF; 반사광을 수광하지 않을 경우), 예를 들어 도 5의 (b)에 도시하는 바와 같이 제2 매핑 센서(M2)의 검지 대상 영역(TB)에 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 존재하지 않는 경우에는, 반송 대상물(W)이 정상적인 자세로 수용되어 있지 않은(크로스 이상 탑재) 것을 특정하고, 2개의 매핑 센서(M1, M2) 양쪽에서 신호를 수신하지 않을 경우에는, 반송 대상물(W)이 수용되어 있지 않은 것을 특정한다. 이와 같이, 판별부(MT)는, 반송 대상물(W)이 수용되어 있는지 여부를 판별할 뿐만 아니라, 수평 방향으로 배열되어 배치된 2개의 매핑 센서(M1, M2)가 동시 또는 대략 동시에 검지(신호 ON)하는지 여부에 따라서, 반송 대상물(W)이 수평 자세로 수용되어 있는지, 수평 자세로 수용되어 있지 않은 크로스 이상 탑재인지를 판별한다.

특히, 도 5의 (b)에 도시하는 바와 같이, 대형의 반송 대상물(W)이 자중이나 얇은 두께 등에 의해 휜 상태로 수용되어 있는 경우, 휨의 정도가 큰 경우에는, 2개의 매핑 센서(M1, M2) 중 어느 1개의 매핑 센서에서 신호를 수신한 타이밍에 다른 매핑 센서에서 신호를 수신하지 않게 되기 때문에, 이 검지 정보에 기초하여 판별부(MT)는, 반송 대상물(W)이 정상 자세(수평한 자세)로 수용되어 있지 않은 것을 특정한다. 휨 탑재는, 크로스 이상 탑재의 일 양태로서 파악할 수 있다. 즉, 두께 치수가 크고(두껍고) 강체에 가까운 반송 대상물이라면 휘지 않기 때문에, 이러한 반송 대상물이 수평 자세로 수용되어 있지 않은 크로스 이상 탑재라고 판별부(MT)에 의해 특정했을 경우, 그 반송 대상물은 전체적으로 비스듬히 기울어진 자세(전체적으로 폭 방향으로 직선상을 이루는 형태는 유지된 자세)로 수용되어 있는 것이 된다.

한편, 도 5의 (b)에 도시하는 바와 같이, 두께가 작은(얇은) 반송 대상물(W)이라면, 크로스 이상 탑재라고 판별부(MT)에 의해 특정했을 경우, 그 반송 대상물(W)은 적어도 일부가 휜 자세로 수용되는 것이 된다. 도 5의 (b)에 도시하는 크로스 이상 탑재는, 반송 대상물(W) 중 지면을 향해서 좌단부 근방 영역으로부터 폭 방향 중앙에 이르는 부분이 동일 높이 위치의 슬롯(34a, 34c)에 지지되는 한편, 이들 슬롯(34a, 34c)과 동일 높이 위치의 34b에는 반송 대상물(W)이 지지되어 있지 않은 상태이며, 슬롯(34b)에 지지되어 있지 않은 반송 대상물(W) 중 지면을 향해서 우단부 근방 영역이 허공에 떠 있는 상태이다. 또한, 예를 들어 반송 대상물(W) 중 지면을 향해서 좌단부 근방 영역 및 폭 방향 중앙 부분이 동일 높이 위치의 슬롯(34a, 34c)에 지지되는 한편, 반송 대상물(W) 중 지면을 향해서 우단부 근방 영역이 이들 슬롯(34a, 34c)과는 다른 높이 위치의 슬롯(34b)에 지지되어 있는(반송 대상물(W) 중 지면을 향해서 우단부 근방 영역이 허공에 떠 있지 않은) 상태도 크로스 이상 탑재의 일 양태이다.

이와 같이, 본 실시 형태의 매핑 기구(M)는, 소정의 검지 대상 영역(TA, TB)을 갖는 각 매핑 센서(M1, M2)가 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검지함으로써 반송 대상물(W)의 수용 상태의 양부를 판별하는 것이다.

또한, 본 실시 형태의 매핑 기구(M)에서는, 매핑 센서(M1, M2)에 의한 신호 수신의 계속 시간(신호 ON 계속 시간)에 기초하여 반송 대상물(W)의 두께도 산출하고 있다. 또한, 스테핑 모터로 매핑 암(Mt)을 승강 이동시키는 경우에는, 매핑 센서(M1, M2)에 의한 신호 수신의 계속 시간(신호 ON 계속 시간)으로부터, 스테핑 모터의 펄스수에 기초하여 반송 대상물(W)의 두께도 산출하고 있다. 본 실시 형태에서는, 처리 효율 향상을 위하여 제1 매핑 센서(M1)의 신호 ON 계속 시간만을 계측하고, 제2 매핑 센서(M2)의 신호 ON 계속 시간은 계측하지 않도록 설정하고 있다. 이것은, 반송 대상물(W)이 복수매 겹친 상태에서 수용되어 있는지 여부는, 수용되어 있는 반송 대상물(W)의 적어도 1군데에서의 두께로부터 특정할 수 있는 것에 착안한 것이다.

본 실시 형태의 로드 포트(1)는, 제어부(1C)로부터 각 부, 각 기구에 구동 지령을 부여함으로써 소정의 동작을 실행한다. 제어부(1C)는, 기억부와, ROM과, RAM과, I/O 포트와, CPU와, 외부의 표시 장치 등과의 사이에서의 데이터의 입출력을 행하는 입출력 인터페이스(IF)와, 이들을 서로 접속해서 각 부의 사이에서 정보를 전달하는 버스를 구비한 구성을 갖는다.

기억부에는, 이 로드 포트(1)에서 실행되는 처리의 종류에 따라, 제어 수순(동작 시퀀스)이 기억되어 있다. 즉, 이 기억부에는, 소정의 동작 프로그램이 저장되어 있다. 본 실시 형태에서의 프로그램은, 비일시적인 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체(하드 디스크 등)에 실행 가능한 프로그램으로서 저장되어 있는 것이다.

ROM은, 하드 디스크, EEPROM, 플래시 메모리 등으로 구성되며, CPU의 동작 프로그램 등을 기억하는 기록 매체이다. RAM은, CPU의 워크 에어리어 등으로서 기능한다. I/O 포트는, 예를 들어 CPU가 출력하는 제어 신호를 각 부, 각 기구에 출력하거나, 각종 센서로부터의 정보를 CPU에 공급한다.

CPU는, 제어부(1C)의 중추를 구성하고, ROM에 기억된 동작 프로그램을 실행한다. CPU는, 기억부에 기억되어 있는 프로그램을 따라 로드 포트(1)의 동작을 제어한다.

이어서, 본 실시 형태의 로드 포트(1)의 사용 방법(특히 매핑 처리 방법) 및 작용에 대해서, 동작 플로를 나타내는 도 6 등을 참조하면서 설명한다.

우선, 반송실(2) 중 로드 포트(1)를 배치한 공통의 벽면(2F)을 따라 연신되는 직선상의 반송 라인(동선)에서 작동하는 OHT 등의 격납 용기 자동 반송 장치에 의해 격납 용기(3)가 로드 포트(1)의 상방까지 반송되어, 적재 테이블(5) 상에 적재되면, 본 실시 형태의 로드 포트(1)에서는, 제어부(1C)가, 착좌 보유 지지 기구(6)에 의해 적재 테이블(5) 상에 보유 지지하는 착좌 보유 지지 처리 S1을 실행한다(도 6 참조). 본 실시 형태에서의 착좌 보유 지지 처리 S1의 구체적인 처리는, 적재 테이블(5) 상의 로크 갈고리를 격납 용기(3)의 저면 또는 프레임 카세트(C)의 저면에 마련한 피 로크부(도시 생략)에 걸어서 로크 상태로 하는 처리이다. 이에 의해, 격납 용기(3) 또는 프레임 카세트(C)를 적재 테이블(5) 상의 소정의 착좌 위치에 적재해서 고정할 수 있다. 격납 용기(3)가 적재 테이블(5) 상에 적재되었을 경우, 적재 테이블(5)에 마련한 위치 결정용 돌기(51)가 격납 용기(3)의 위치 결정용 오목부에 끼워진다.

또한, 본 실시 형태에서는, 반송실(2)의 폭 방향으로 3대 배열되어 배치한 로드 포트(1)의 적재 테이블(5)에 각각 격납 용기(3)를 적재하는 것이 가능하고, 적재 테이블(5) 상에 격납 용기(3)가 소정의 위치에 적재되어 있는지 여부를 검출하는 착좌 센서(도시 생략)에 의해 격납 용기(3)가 적재 테이블(5) 상의 착좌 위치에 적재된 것을 검출하도록 구성할 수도 있다.

착좌 보유 지지 처리 S1에 이어서, 본 실시 형태의 로드 포트(1)에서는, 제어부(1C)가, 견인 기구(7)에 의해 적재 테이블(5)을 착좌 위치로부터 반송 대상물 전달 위치까지 프레임(4)을 향해서 후퇴시킨다(후방 견인 처리 S2). 이 후방 견인 처리 S2에 의해, 미리 완전 폐쇄 위치에서 대기시키고 있는 로드 포트 도어(8)에 용기 도어(33)를 연결(도킹)해서 밀착 상태로 보유 지지할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 상술한 로드 포트 도어(8)에 마련한 걸림 결합부(81)를 사용해서 당해 로드 포트 도어(8)에 용기 도어(33)를 연결해서 밀착 상태로 보유 지지하도록 구성하고 있다.

본 실시 형태의 로드 포트(1)에서는, 적재 테이블(5) 상의 착좌 위치에 격납 용기(3)가 적재된 시점에서, 제어부(1C)가, 적재 테이블(5)에 마련한 예를 들어 가압 센서를 격납 용기(3)의 저면부가 압박한 것을 검출하고, 이것을 계기로, 제어부(1C)가, 적재 테이블(5)에 마련한 보텀 퍼지 주입용 노즐 및 보텀 퍼지 배출용 노즐을 적재 테이블(5)의 상면보다도 상방으로 진출시키는 구동 명령(신호)을 부여한다. 그 결과, 이들 각 노즐(보텀 퍼지 주입용 노즐, 보텀 퍼지 배출용 노즐)을 격납 용기(3)의 주입구와 배출구에 각각 연결하여, 퍼지 처리를 실행 가능한 상태로 된다.

그리고, 본 실시 형태의 로드 포트(1)에서는, 제어부(1C)가 구동 명령을 발하여, 격납 용기(3)의 내부 공간(3S)에 대하여 퍼지 처리 S3을 실행한다. 이 퍼지 처리 S3은, 주입구를 통해서 보텀 퍼지 주입용 노즐로부터 격납 용기(3)의 내부 공간(3S)에 소정의 환경 가스를 공급하여, 그때까지 격납 용기(3)의 내부 공간(3S)에 체류하고 있던 기체를, 배출구를 통해서 보텀 퍼지 배출용 노즐로부터 배출하는 처리이다. 이 퍼지 처리 S3에 의해, 격납 용기(3)의 내부 공간(3S)을 환경 가스로 채워서, 격납 용기(3) 내의 수분 농도 및 산소 농도를 각각 소정값 이하로까지 단시간에 저하시켜서 격납 용기(3) 내에서의 반송 대상물(W)의 주위 환경을 저습도 환경 및 저산소 환경으로 할 수 있다.

또한, 적재 테이블(5) 상에 적재되는 것보다도 전의 시점에서 미리 퍼지 처리가 실시되어 있는 격납 용기(3)를 적용하는 것이 가능하며, 이러한 격납 용기(3)에 대하여 퍼지 처리 S3을 실행해도 되고, 퍼지 처리 S3을 실행하지 않는다는 선택도 가능하다.

계속해서, 본 실시 형태의 로드 포트(1)에서는, 제어부(1C)가, 연결 전환 기구(82)에 의해, 용기 도어(33)와 용기 본체(32)의 걸림 결합 상태를 해제해서 용기 도어(33)를 용기 본체(32)로부터 분리 가능한 언래치 상태로 하는 처리(언래치 처리 S4)를 행한다.

언래치 처리 S4에 이어서, 본 실시 형태의 로드 포트(1)에서는, 제어부(1C)가, 도어 개폐 기구(9)에 의해 로드 포트 도어(8)를 완전 폐쇄 위치로부터 도어 개방 위치까지 후방으로 이동시켜, 프레임(4)의 개구부(41)를 개방 상태로 하는 처리(도어 개방 처리 S5)를 실행한다. 구체적으로는, 제어부(1C)가, 도어 개폐 기구(9)에 의해 로드 포트 도어(8)를 완전 폐쇄 위치로부터 도어 개방 위치까지 상술한 수평 경로를 따라 소정 거리 이동시킨다. 이때, 로드 포트 도어(8)는, 걸림 결합부(81)에 의해 용기 도어(33)를 일체적으로 보유 지지한 채 이동한다. 따라서, 도어 개방 처리 S5에 의해, 격납 용기(3)의 반출입구(31)도 프레임(4)의 개구부(41)와 마찬가지로 개방 상태가 된다.

이어서, 본 실시 형태의 로드 포트(1)에서는, 제어부(1C)가, 매핑 기구(M)에 의해 매핑 처리 S6을 행한다. 매핑 처리 S6은, 매핑 암(Mt)을 높이 방향으로 일정 속도로 이동시키면서 매핑 센서(M1, M2)에 의해 격납 용기(3) 내의 반송 대상물(W)에 관한 정보를 슬롯(34)마다 취득하는 처리이다. 본 실시 형태에서는, 도어 개방 처리 S5 직후에 있어서의 매핑 센서(M1, M2)의 높이 위치를, 격납 용기(3) 내에서의 최상단의 슬롯(34)보다도 약간 상측의 위치에 설정하고 있다. 이 매핑 센서(M1, M2)의 높이 위치를 매핑 개시 높이 위치로 한다. 이러한 본 실시 형태의 로드 포트(1)에 의하면, 도어 개방 처리 S5 직후에 매핑 처리 S6을 행하는 것이 가능하다. 또한, 본 실시 형태의 로드 포트(1)는, 매핑 처리 S6을 실행하는 것보다도 전의 시점에서 도어 개방 처리 S5를 실행하고 있기 때문에, 프레임(4)의 개구부(41) 및 격납 용기(3)의 반출입구(31)는 개방 상태에 있다.

그리고, 본 실시 형태의 로드 포트(1)에서는, 도어 개폐 기구(9)에 의해 로드 포트 도어(8)를 도어 개방 위치로부터 완전 개방 위치를 향해서 하방으로 이동시키면, 매핑 기구(M) 전체도 하방으로 이동한다. 이에 의해, 2개의 매핑 센서(M1, M2)는, 매핑 처리 S6을 실행 가능한 적절한 위치에 유지된 채 매핑 개시 높이 위치로부터 최하단의 슬롯(34)보다도 낮은 위치(매핑 종료 높이 위치)까지 이동한다. 제어부(1C)는, 이상의 수순을 거쳐서, 매핑 센서(M1, M2)마다의 신호 수신의 유무를 검출하는 센싱 처리를 행한다.

본 실시 형태에서는, 2개의 매핑 센서(M1, M2) 중 미리 설정한 1개의 매핑 센서(본 실시 형태에서는 제1 매핑 센서(M1))에 의한 센싱 처리와 동일한 타이밍에, 나머지 1개의 매핑 센서(제2 매핑 센서(M2))에 의한 센싱 처리를 행한다. 이와 같이, 본 실시 형태에서는, 제1 매핑 센서(M1)를 메인 매핑 센서로서 기능시키고, 제2 매핑 센서(M2)를 메인 매핑 센서에 동기해서 작동하는 서브 매핑 센서로서 기능시키고 있다. 제어부(1C)는, 센싱 처리에 수반하는 검출 신호에 기초하여 판별부(M5)에 의해 슬롯(34)마다 반송 대상물(W)의 유무를 포함하는 수용 상태의 양부를 특정하는 매핑 처리 S6을 실행한다.

판별부(MT)에서의 구체적인 판별 방법은 상술한 바와 같으며, 매핑 처리 S6에 의해, 판별 대상의 슬롯(34)에서의 반송 대상물(W)의 수용 상태가, 정상 탑재, 크로스 이상 탑재 또는 탑재 없음(빈 슬롯)의 어느 것인지를 특정할 수 있다. 또한, 본 실시 형태의 로드 포트(1)에서는, 제어부(1C)가, 매핑 기구(M)에 의해 매핑 처리 S6에 있어서, 매핑 센서(본 실시 형태에서는 메인 매핑 센서인 제1 매핑 센서(M1))에 의한 신호 수신의 계속 시간(신호 ON 계속 시간)에 기초하여 반송 대상물(W)의 두께를 산출하고, 그 산출 결과에 의해 반송 대상물(W)이 복수매 겹친 상태에서 수용되어 있는지 여부를 판별부(MT)에 의해 특정한다. 즉, 신호 수신의 계속 시간이 소정의 시간 이상일 경우에는 반송 대상물(W)이 복수매 겹친 상태에서 수용되어 있는 것(더블 이상 탑재)을 판별부(MT)에 의해 특정한다.

본 실시 형태의 로드 포트(1)에서는, 제어부(1C)가, 매핑 처리 S6의 결과에 기초하여, 정상 자세로 수납되어 있는 반송 대상물(W)을 반송 로봇(21)에 의해 순차 소정의 반송처(처리실(R)(구체적으로는 로드 로크실), 버퍼 스테이션, 얼라이너 등)에 반송하는 처리를 실행한다.

한편, 매핑 처리 S6의 검지 결과에 기초하여 정상 자세로 수납되어 있지 않은 반송 대상물(W)이 수납되어 있는 것을 특정했을 경우(크로스 이상 탑재, 더블 이상 탑재를 특정했을 경우), 적재 테이블(5) 상의 격납 용기(3)는, 격납 용기 자동 반송 장치에 의해 적재 테이블(5)로부터 다른 스페이스로 이동 탑재된다. 따라서, 크로스 이상 탑재의 상태에 있는 반송 대상물(W)을 반송 로봇(21)에 의해 반송했을 경우에 생기는 반송 대상물(W)의 손상·파손과 같은 사태를 회피할 수 있다. 또한, 새로운 격납 용기(3)가 격납 용기 자동 반송 장치에 의해 적재 테이블(5) 상에 적재되었을 경우에는, 상술한 동작 시퀀스를 거치게 된다.

이상으로 설명한 본 실시 형태의 로드 포트(1)에 의하면, 격납 용기(3) 내의 각 슬롯(34)에서의 반송 대상물(W)의 유무를 포함하는 상태에 관한 정보를 매핑하는 매핑 기구(M)를 사용하여, 매핑 처리 S6을 실행하는 것이 가능하고, 매핑 처리 S6에 의해 격납 용기(3) 내의 각 슬롯(34)에서의 반송 대상물(W)의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 매핑하여, 매핑 처리 S6의 검지 결과에 기초해서, 반송 대상물(W)의 정상 탑재 또는 크로스 이상 탑재나 더블 이상 탑재를 특정하는 것이 가능하다.

이상 설명한 바와 같이 본 실시 형태의 로드 포트(1)는, 반송 대상물(W)이 대략 수평 자세로 통과 가능한 개구부(41)를 갖는 프레임(4)과, 반송 대상물(W)을 다단형으로 수용 가능한 슬롯(34)을 갖는 격납 용기(3)의 반출입구(31)를 개폐 가능한 용기 도어(33)와 걸림 결합 가능하고 또한 프레임(4)의 개구부(41)를 개폐 가능한 로드 포트 도어(8)와, 개구부(41) 및 반출입구(31)를 통해서 격납 용기(3) 내의 각 슬롯(34)에서의 반송 대상물(W)의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 매핑하는 매핑 기구(M)를 구비하고, 매핑 기구(M)는, 개구부(41)를 개폐할 때의 로드 포트 도어(8)의 승강 이동과 일체 또는 독립적으로 승강 이동하고, 검출파를 격납 용기(3)의 내부를 향해서 조사함으로써 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검지 가능한 2개의 매핑 센서(M1, M2)와, 2개의 매핑 센서(M1, M2)에 의한 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물(W)의 수용 상태의 양부를 판별하는 판별부(MT)를 갖는다.

본 실시 형태의 로드 포트(1)에 의하면, 2개의 매핑 센서(M1, M2)를 갖는 매핑 기구(M)에 의해 격납 용기(3) 내의 각 슬롯(34)에서의 반송 대상물(W)의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 매핑하는 것이 가능하다.

따라서, 본 실시 형태의 로드 포트(1)라면, 평면 형상이 직사각 형상이며 격납 용기(3)의 반출입구(31)에서의 개구 폭의 대략 전역에 걸치는 직선상의 단부면을 갖는 대형이며 박형의 반송 대상물(W)이어도, 상술한 2개의 매핑 센서(M1, M2)에 의해, 격납 용기(3) 내에서의 반송 대상물(W)의 수용 상태를 고정밀도이면서 또한 정확하게 검출하는 것이 가능하다.

게다가, 본 실시 형태의 로드 포트(1)라면, 매핑 기구(M)에 의해 격납 용기(3) 내의 각 슬롯(34)에서의 반송 대상물(W)의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 촬영 및 화상 처리를 수반하지 않고 매핑하는 것이 가능하여, 카메라 등을 사용한 화상 처리 시스템과 비교해서, 반송 대상물(W)을 검지하는 처리의 고속화를 도모할 수 있고, 시스템에 드는 비용도 저렴하게 억제하는 것이 가능하다.

또한, 본 실시 형태의 로드 포트(1)는, 수평 방향으로 배열되어 배치되는 2개의 매핑 센서(M1, M2) 중 제1 매핑 센서(M1)에 의한 검지 대상 영역(TA)을 반출입구(31)의 일단측 부분에 설정하고, 제2 매핑 센서(M2)에 의한 검지 대상 영역(TB)을 반출입구(31)의 타단측 부분에 설정하고 있다.

본 실시 형태의 로드 포트(1)에 의하면, 2개의 매핑 센서(M1, M2)를 공통의 매핑 암(Mt)에 수평 방향으로 서로 이격시켜서 배열하여 배치하고, 반송 대상물(W)의 반출입구(31)에 면하는 단부면의 일단측 부분 및 타단측 부분을 각각 검지함으로써, 2군데의 검지 대상 영역을 격납 용기(3)의 반출입구(31)의 일단측 부분에만 또는 타단측 부분에만 설정하고 있는 경우에 비하여, 판별부(MT)에서 2개의 매핑 센서(M1, M2)에 의한 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물(W)이 수평 자세로 수용되어 있는 것을 확실하게 특정할 수 있다.

(제2 실시 형태)

본 실시 형태의 로드 포트(101)가 제1 실시 형태의 로드 포트(1)와 다른 점은, 제1 실시 형태의 매핑 센서(M1, M2)의 빔 형상이 원형인 것에 반해, 본 실시 형태의 매핑 센서(M101, M102)의 빔 형상이 띠상인 점과, 반송 대상물(W)의 수용 상태의 양부를 특정하는 방법이다. 또한, 본 실시 형태의 로드 포트(101)의 구성에 있어서, 제1 실시 형태의 로드 포트(1)와 마찬가지의 구성에 대해서는, 상세한 설명을 생략한다.

본 실시 형태의 로드 포트(101)에 있어서, 매핑 기구(M)는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 격납 용기(3) 내에 마련한 각 슬롯(다단식 슬롯)(34)에 의해 높이 방향(H)으로 다단형으로 수납된 반송 대상물(W)의 유무를 검지 가능한 2개의 매핑 센서(M101, M102)와, 2개의 매핑 센서(M101, M102)를 동일한 높이 위치에서 지지하는 매핑 암(Mt)과, 2개의 매핑 센서(M101, M102)에 의한 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물(W)의 수용 상태의 양부를 판별하는 판별부(MT)를 구비하여, 격납 용기(3) 내에서의 반송 대상물(W)의 유무나 수납 자세를 검출 가능한 것이다.

매핑 센서(M101, M102)는, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검지 가능한 단부면 검지부로서 기능하는 것이며, 본 실시 형태에서는, 매핑 센서(M101, M102)로서, 가시광선 또는 적외선 등의 광을 투광부로부터 조사하여, 검출 물체인 반송 대상물(W)에 의해 반사하는 광이나 차광되는 광량의 변화를 수광부에서 검출해서 출력 신호(센싱 정보)를 취득 가능한 광전 센서를 적용하고 있다. 특히, 본 실시 형태에서는, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 따라 연장되는 띠상의 빔(선 광)을 발하는 송신기(발광 센서, 발광 소자)와, 발광 소자로부터 발해서 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)에서 반사한 빔을 수신하는 수신기(수광 센서, 수광 소자)를 1개의 센서 앰프 내에 내장한 반사형 광전 센서(반사형 센서)를 적용하고 있다.

매핑 센서(M101, M102)의 검지 대상 영역(TA1, TB1)은, 도 8의 (a)에 도시하는 바와 같이, 직사각 형상으로 나타내는 센서 광의 조사 영역이며, 특히 검지 대상인 반송 대상물(W) 1매분의 두께와 동일 정도의 높이(세로 방향의 길이)와, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 따른 폭(가로 방향의 길이)을 갖는 조사 영역이다. 검지 대상 영역(TA1, TB1)은, 그 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 따른 폭이 높이보다도 긴 가로로 긴 형상이다. 또한, 예를 들어 0.4 내지 3mm의 두께의 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검출하는 경우의 조사 영역의 높이는, 예를 들어 0.2mm이며, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 따른 폭은, 예를 들어 1.5mm이다. 특히, 조사 영역의 높이는, 0.05 내지 0.2mm, 폭은 1mm 내지 1.5mm의 범위 내로 설정하는 것이 적합하다.

매핑 기구(M)는, 스테핑 모터(110)에 의해 매핑 암(Mt)의 승강 이동을 제어한다. 그 때문에, 매핑 암(Mt)은, 로드 포트 도어(8)의 승강 이동과는 독립적으로 승강 이동한다. 즉, 매핑 기구(M)의 매핑 센서(M101, M102)가 로드 포트 도어(8)와 승강 기구를 공유할지 여부를 적절히 선택할 수 있다.

판별부(MT)는, 도 9에 도시하는 바와 같이, 모터 제어부(111)와, 높이 위치 검지부(112)와, 정상 위치 기억부(113)와, 양부 판별부(114)를 갖고 있다. 판별부(MT)에는, 스테핑 모터(110)와, 매핑 센서(M101, M102)가 접속된다. 또한, 판별부(MT)는, 예를 들어 제어부(1C)의 내부에 형성된다.

모터 제어부(111)는, 매핑 처리를 행할 때, 도 10에 도시하는 바와 같이, 매핑 암(Mt)을 매핑 개시 높이 위치로부터 하강시키도록 스테핑 모터(110)를 제어한다. 모터 제어부(111)에 의해 스테핑 모터(110)에 입력되는 펄스수에 따라, 매핑 암(Mt)의 하측 방향으로의 이동량이 결정된다.

높이 위치 검지부(112)는, 매핑 암(Mt)이 매핑 개시 높이 위치에 있는 상태로부터, 모터 제어부(111)에 의해 스테핑 모터(110)에 입력된 펄스수에 기초하여, 매핑 개시 높이 위치로부터의 매핑 센서(M101)의 하강 거리를 검지한다. 즉, 높이 위치 검지부(112)는, 매핑 센서(M101)의 높이 위치를 검지한다. 또한, 본 실시 형태의 높이 위치 검지부(112)는, 매핑 센서(M101)의 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물(W)의 높이 위치(매핑 센서(M101)에 의한 검지 대상 영역(TA)의 높이 위치)를 검지한다.

예를 들어, 도 11의 (a)에 도시하는 바와 같이 매핑 암(Mt)이 매핑 개시 높이 위치에 있는 상태에서, 모터 제어부(111)에 의해 스테핑 모터(110)에 펄스수(a1)가 입력되었을 때, 도 11의 (b)에 도시하는 바와 같이, 격납 용기(3) 내에서의 최상단의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검출한 경우를 생각한다. 이때, 높이 위치 검지부(112)는, 매핑 센서(M101, M102)에 의해 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 검출될 때까지, 스테핑 모터(110)에 입력된 펄스수(a1)에 기초하여, 매핑 센서(M101, M102)가, 펄스수(a1)에 따른 거리(d1)만큼 매핑 개시 높이 위치로부터 하방으로 하강한 위치에 있는 것을 검지한다.

마찬가지로, 모터 제어부(111)에 의해 스테핑 모터(110)에 펄스수(a2)가 입력되었을 때, 도 11의 (c)에 도시하는 바와 같이, 격납 용기(3) 내에서의 위에서부터 2단째의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검출한 경우, 높이 위치 검지부(112)는, 매핑 센서(M101, M102)에 의해 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 검출될 때까지, 스테핑 모터(110)에 입력된 펄스수(a2)에 기초하여, 매핑 센서(M101, M102)가, 펄스수(a2)에 따른 거리(d2)만큼 매핑 개시 높이 위치로부터 하방으로 하강한 위치에 있는 것을 검지한다.

정상 위치 기억부(113)는, 반송 대상물(W)이 격납 용기(3) 내의 각 슬롯(34) 상에 정상적인 수납 자세로 배치될 때의 반송 대상물(W)의 정상 높이 위치를 기억한다. 본 실시 형태에 있어서, 정상 위치 기억부(113)는, 반송 대상물(W)의 정상 높이 위치로서, 매핑 암(Mt)의 매핑 개시 높이 위치로부터의 하방으로의 거리를 기억한다.

예를 들어, 격납 용기(3) 내에서의 최상단의 슬롯(34) 상에 정상적인 수납 자세로 배치되는 반송 대상물(W)의 정상적인 높이 위치는, 도 12에 도시하는 바와 같이, 매핑 암(Mt)의 매핑 개시 높이 위치로부터 하방으로 거리(D1) 이격된 높이 위치이다. 마찬가지로, 위에서부터 2단째의 슬롯(34), 위에서부터 3단째의 슬롯(34) 상에 정상적인 수납 자세로 배치되는 반송 대상물(W)의 정상적인 높이 위치는, 각각 매핑 암(Mt)의 매핑 개시 높이 위치로부터 하방으로 거리(D2, D3) 이격된 높이 위치이다. 위에서부터 4단째보다 하방의 슬롯(34) 상에 정상적인 수납 자세로 배치되는 반송 대상물(W)의 정상적인 높이 위치에 대해서도 마찬가지이다.

양부 판별부(114)는, 2개의 매핑 센서(M101, M102)에 의한 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물(W)의 수용 상태의 양부를 판별하는 것이다.

먼저, 양부 판별부(114)는, 매핑 센서(M101)에 의한 검지 대상 영역(TA)에, 슬롯(34) 상에 있는 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 검출된 경우, 그때 높이 위치 검지부(112)에 검지되는 매핑 센서(M101)의 높이 위치와, 각 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)의 정상 높이 위치를 비교함으로써, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)에서 검지 대상 영역(TA)에 있는 부분이 정상 높이 위치에 있는지 여부를 판단한다.

즉, 양부 판별부(114)는, 높이 위치 검지부(112)에 검지되는 매핑 센서(M101)의 높이 위치와, 각 슬롯(34)에 대해서 정상 위치 기억부(113)에 기억되는 정상 높이 위치가 일치하는 경우, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)에서 검지 대상 영역(TA)에 있는 부분은 정상적인 높이에 있다고 판단한다. 이에 반해, 높이 위치 검지부(112)에 검지되는 매핑 센서(M101)의 높이 위치와, 그 슬롯(34)에 대해서 정상 위치 기억부(113)에 기억되는 정상 높이 위치가 일치하지 않는 경우, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)에서 검지 대상 영역(TA)에 있는 부분은 정상적인 높이에 없다고 판단한다.

그 후, 양부 판별부(114)는, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)에서 검지 대상 영역(TA)에 있는 부분이 정상적인 높이에 있다고 판단한 경우, 매핑 센서(M101)에 의해 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 검출되었을 때, 매핑 센서(M102)에 의해 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 검출되었는지 여부를 판단한다. 즉, 양부 판별부(114)는, 매핑 센서(M101)의 검지 대상 영역(TA)에 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 존재할 때, 매핑 센서(M102)의 검지 대상 영역(TB)에 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 존재하는지 여부를 판단한다.

이와 같이, 판별부(MT)(양부 판별부(114))는, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)에서 검지 대상 영역(TA)에 있는 부분이 정상적인 높이에 있고, 또한, 매핑 센서(M101)의 검지 대상 영역(TA)에 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 존재할 때, 매핑 센서(M102)의 검지 대상 영역(TB)에 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 존재하는 경우, 반송 대상물(W)이 정상 자세(수평한 자세)로 수용되어 있는 것을 특정한다.

또한, 판별부(MT)(양부 판별부(114))는, 매핑 센서(M101)에 의해 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 검출되었지만, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)에서 검지 대상 영역(TA)에 있는 부분이 정상적인 높이에 없을 경우, 반송 대상물(W)이 정상 자세(수평한 자세)로 수용되어 있지 않은 것을 특정한다.

또한, 판별부(MT)(양부 판별부(114))는, 매핑 센서(M101)에 의해 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 검출되지 않은 경우, 반송 대상물(W)이 수용되어 있지 않은 것을 특정한다.

이상 설명한 바와 같이 본 실시 형태의 로드 포트(101)에 의하면, 2개의 매핑 센서(M101, M102)를 갖는 매핑 기구(M)에 의해 격납 용기(3) 내의 각 슬롯(34)에서의 반송 대상물(W)의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 매핑하는 것이 가능하다.

또한, 본 실시 형태의 로드 포트(101)에 있어서, 판별부(MT)는, 매핑 센서(M101)의 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물(W)의 높이 위치를 검지하고, 그 높이 위치를 반송 대상물(W)의 각 슬롯(34) 상의 정상 높이 위치와 비교함으로써, 반송 대상물(W)이 각 슬롯(34) 상의 정상 높이 위치에 있는지 여부를 판별한다.

본 실시 형태의 로드 포트(101)에 의하면, 매핑 센서(M101)의 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물(W)의 높이 위치를 검지 가능하기 때문에, 격납 용기(3) 내의 각 슬롯(34)에서의 반송 대상물(W)이 정상 위치에 있는지 여부를 확실하게 검지할 수 있다.

또한, 본 실시 형태의 로드 포트(101)에 있어서, 2개의 매핑 센서(M101, M102)로부터 조사되는 빔 형상은, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 따라 연장되는 띠상이다.

본 실시 형태의 로드 포트(101)에 의하면, 2개의 매핑 센서(M101, M102)로부터 조사되는 빔에 의해, 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 안정적으로 검지 가능함과 함께 외란의 영향을 받기 어렵다.

(제3 실시 형태)

본 실시 형태의 로드 포트(201)가 제1 실시 형태의 로드 포트(1)와 다른 점은, 매핑 센서(M102)를 튀어나옴 센서로서 사용하는 점과, 반송 대상물(W)의 수용 상태의 양부를 특정하는 방법이다. 또한, 본 실시 형태의 로드 포트(201)의 구성에 있어서, 제1 실시 형태의 로드 포트(1)와 마찬가지의 구성에 대해서는, 상세한 설명을 생략한다.

본 실시 형태의 로드 포트(201)에 있어서, 매핑 기구(M)는, 제2 실시 형태와 마찬가지로, 격납 용기(3) 내에 마련한 각 슬롯(다단식 슬롯)(34)에 의해 높이 방향(H)으로 다단형으로 수납된 반송 대상물(W)의 유무를 검지 가능한 2개의 매핑 센서(M101, M102)와, 2개의 매핑 센서(M101, M102)를 동일한 높이 위치에서 지지하는 매핑 암(Mt)과, 2개의 매핑 센서(M101, M102)에 의한 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물(W)의 수용 상태의 양부를 판별하는 판별부(MT)를 구비하여, 격납 용기(3) 내에서의 반송 대상물(W)의 유무나 수납 자세를 검출 가능한 것이다.

본 실시 형태의 매핑 기구(M)는, 2개의 매핑 센서(M101, M102)에 의해 반송 대상물(W)의 수용 상태의 양부를 판별하기 위한 센싱을 개시하기 전에 있어서, 매핑 센서(M102)를 사용하여, 격납 용기(3)에 수납된 반송 대상물(W)의 튀어나옴을 검지하기 위한 센싱을 행한다.

즉, 본 실시 형태에서는, 매핑 처리 시에 격납 용기(3)에 수용되어 있는 반송 대상물(W)이 정규 위치보다도 격납 용기(3)로부터 튀어나온 위치에 있으면, 2개의 매핑 센서(M101, M102)가 반송 대상물(W)과 충돌할 우려가 있다. 그 때문에, 제1 실시 형태의 로드 포트(1)는, 튀어나옴 센서로서, 매핑 기구(M)의 매핑 센서(M101, M102)와 다른 센서를 갖고 있었지만, 본 실시 형태에서는, 매핑 기구(M)의 매핑 센서(M102)를 사용해서 반송 대상물(W)의 튀어나옴을 검지한다.

본 실시 형태의 로드 포트(201)에 있어서, 매핑 암(MT)은, 로드 포트(201)의 프레임(4)보다도 반송실측(R)으로 후퇴시킨 매핑 불능 위치와, 프레임(4)의 개구부(41)를 통해서 매핑 불능 위치보다도 격납 용기(3) 내에 접근시킨 매핑 가능 위치의 사이에서 이동 가능하게 구성된다.

매핑 암(MT)이 매핑 가능 위치에 있는 경우, 도 13의 (a)에 도시하는 바와 같이, 매핑 센서(M101, M102)는, 매핑을 행하면서 하강 이동하는 매핑 위치에 배치된다. 이에 대해, 매핑 암(MT)이 매핑 불능 위치에 있는 경우, 매핑 센서(M101, M102)는, 매핑 위치보다도 후방에 있는 튀어나옴 검지 위치에 배치된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 매핑 센서(M101, M102)에 있어서 매핑 센서(M102)만이, 격납 용기(3)에 수납된 반송 대상물(W)의 튀어나옴을 검지하기 위해서 사용된다.

본 실시 형태의 로드 포트(201)에서는, 매핑 센서(M102)가 튀어나옴 검지 위치에 있는 상태에서, 매핑 센서(M102)를 매핑 개시 높이 위치로부터 하방으로 이동시킨다. 그러면, 도 13의 (b)에 도시하는 바와 같이, 격납 용기(3) 내에서의 최상단의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W) 및 위에서부터 2단째의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)은 튀어나온 위치에 없기 때문에, 매핑 센서(M102)는, 그러한 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검출하지 않는다.

이에 반해, 도 13의 (c)에 도시하는 바와 같이, 격납 용기(3) 내에서의 위에서부터 3단째의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)은 튀어나온 위치에 있는 경우, 매핑 센서(M102)는, 그 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검출한다.

또한, 본 실시 형태에서는, 매핑 센서(M102)가 튀어나옴 검지 위치에 배치된 상태에서 매핑 개시 높이 위치로부터 하방으로 이동할 때, 슬롯(34) 상의 정상적인 위치에 있는(튀어나온 위치에 없는) 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검출하지 않고, 또한, 슬롯(34) 상의 튀어나온 위치에 있는 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검출하도록, 매핑 센서(M102)의 검출 범위를 설정할 필요가 있어, 매핑 위치와 튀어나옴 검지 위치의 거리가 조정된다.

매핑 센서(M102)를 매핑 종료 높이 위치까지 이동시켜서, 격납 용기(3) 내에서의 각 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)의 튀어나옴이 없는 것이 검지된 후, 도 14의 (a)에 도시하는 바와 같이, 매핑 암(MT)을 매핑 개시 높이 위치로 상승시킨다.

그 상태에서, 도 14의 (b)에 도시하는 바와 같이, 매핑 암(MT)을 격납 용기(3) 내에 접근시킨 매핑 가능 위치로 이동시키면, 매핑 센서(M101, M102)가 매핑 위치에 배치된다. 그 후, 도 14의 (c)에 도시하는 바와 같이, 매핑 센서(M101, M102)가 매핑 위치에 있는 상태에서, 매핑 센서(M101, M102)를 매핑 개시 높이 위치로부터 하방으로 이동시켜서 매핑 처리를 행한다. 또한, 매핑 처리 방법은, 제2 실시 형태의 매핑 처리 방법과 마찬가지이다.

이상 설명한 바와 같이 본 실시 형태의 로드 포트(201)에 의하면, 2개의 매핑 센서(M101, M102)를 갖는 매핑 기구(M)에 의해 격납 용기(3) 내의 각 슬롯(34)에서의 반송 대상물(W)의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 매핑하는 것이 가능하다.

또한, 본 실시 형태의 로드 포트(201)에 있어서, 매핑 기구(M)는, 2개의 매핑 센서(M101, M102)에 의해 반송 대상물(W)의 수용 상태의 양부를 판별하기 위한 센싱을 개시하기 전에 있어서, 매핑 센서(M102)를 사용하여, 격납 용기(3)에 수납된 반송 대상물(W)의 튀어나옴을 검지하기 위한 센싱을 행한다.

본 실시 형태의 로드 포트(201)에 의하면, 매핑 센서(M102)를 사용해서 격납 용기(3)에 수납된 반송 대상물(W)의 튀어나옴을 검지하기 때문에, 반송 대상물(W)의 튀어나옴을 검지하기 위한 센서를 별도 설치할 필요가 없다. 그 때문에, 제조 비용을 저감할 수 있다.

또한, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니다.

상기 제1 실시 형태에서는, 판별부(MT)가, 2개의 매핑 센서(M1, M2)의 검지 대상 영역(TA, TB)에 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 존재하는 경우에, 반송 대상물(W)이 정상 자세(수평한 자세)로 수용되어 있는 것을 특정하지만, 판별부(MT)에서 반송 대상물(W)이 정상 자세로 수용되어 있는 것을 특정하는 방법은 임의이다. 그 점, 상기 제2 및 3 실시 형태에 대해서도 마찬가지이다.

예를 들어, 판별부(MT)는, 2개의 매핑 센서(M1, M2)가 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 각각 검출했을 때 출력되는 신호 ON의 간격에 기초하여, 반송 대상물(W)이 정상 자세(수평한 자세)로 수용되어 있는지 여부를 판별해도 된다.

도 15의 (a)에 도시하는 바와 같이, 격납 용기(3) 내에서의 최상단의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W), 위에서부터 2단째의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W) 및 위에서부터 3단째의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)이 정상 자세(수평한 자세)로 수용되어 있는 경우를 생각한다. 그 경우, 매핑 암(Mt)이 매핑 개시 높이 위치로부터 하강해서 2개의 매핑 센서(M1, M2)에 의해 매핑을 행하면, 매핑 센서(M1, M2)가 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 각각 검출했을 때의 신호 ON은, 일정 시간(ta) 간격으로 출력된다. 또한, 도 15의 (a) 및 도 15의 (b)에서, 매핑 센서(M1, M2)의 신호의 변화는, 매핑 암(Mt)이 매핑 개시 높이 위치에 있을 때의 시각을 0으로 한다.

이에 반해, 예를 들어 도 15의 (b)에 도시하는 바와 같이, 격납 용기(3) 내에서의 최상단의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W) 및 위에서부터 3단째의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)이 정상 자세(수평한 자세)로 수용되어 있고, 또한, 위에서부터 2단째의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)의 우단부가 하방으로 휘어 있는 경우를 생각한다. 그 경우, 매핑 암(Mt)이 매핑 개시 높이 위치로부터 하강해서 2개의 매핑 센서(M1, M2)에 의해 매핑을 행하면, 매핑 센서(M1)가 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검출했을 때의 신호 ON은, 일정 시간(ta) 간격으로 출력되는 것에 반해, 매핑 센서(M2)가 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검출했을 때의 신호 ON은, 일정 시간(ta) 간격으로 출력되지 않게 된다.

도 15의 (b)의 경우, 격납 용기(3) 내에서의 최상단의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검출한 후, 시간(ta)보다 오랜 시간(ta1) 경과한 후에, 위에서부터 2단째의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 검출된다. 또한, 위에서부터 2단째의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 검출한 후, 시간(ta)보다 짧은 시간(ta2) 경과한 후에, 위에서부터 3단째의 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)이 검출된다.

상기 제2 실시 형태에서는, 높이 위치 검지부(112)가, 매핑 센서(M101)의 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물(W)의 높이 위치(매핑 센서(M101)에 의한 검지 대상 영역(TA)의 높이 위치)를 검지하지만, 그에 한정되지 않는다.

그 때문에, 높이 위치 검지부(112)가, 매핑 센서(M101)의 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물(W)의 높이 위치(매핑 센서(M101)에 의한 검지 대상 영역(TA)의 높이 위치)를 검지함과 함께, 매핑 센서(M102)의 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물(W)의 높이 위치(매핑 센서(M102)에 의한 검지 대상 영역(TB)의 높이 위치)를 검지해도 된다.

그 경우, 높이 위치 검지부(112)는, 반송 대상물(W)의 일단측의 높이 위치 및 타단측의 높이 위치를 검지하기 때문에, 판별부(MT)(양부 판별부(114))는, 반송 대상물(W)의 일단측에 대해서 매핑 센서(M101)의 높이 위치와 각 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)의 정상 높이 위치를 비교함으로써, 반송 대상물(W)의 검지 대상 영역(TA)에 있는 부분이 정상 높이 위치에 있는지 여부를 판단함과 함께, 반송 대상물(W)의 타단측에 대해서 매핑 센서(M102)의 높이 위치와 각 슬롯(34) 상의 반송 대상물(W)의 정상 높이 위치를 비교함으로써, 반송 대상물(W)의 검지 대상 영역(TB)에 있는 부분이 정상 높이 위치에 있는지 여부를 판단해도 된다. 그 점, 상기 제3 실시 형태에 대해서도 마찬가지이다.

또한, 높이 위치 검지부(112)가, 반송 대상물(W)의 일단측의 높이 위치 및 타단측의 높이 위치를 검지할 경우, 판별부(MT)(양부 판별부(114))는, 그것들의 높이 위치의 차에 기초하여, 반송 대상물(W)이 정상 자세(수평한 자세)로 수용되어 있는지 여부를 판별해도 된다.

상기 제2 실시 형태에 있어서, 정상 위치 기억부(113)는, 반송 대상물(W)의 정상 높이 위치로서, 매핑 암(Mt)의 매핑 개시 높이 위치로부터의 하방으로의 거리를 기억하지만, 그에 한정되지 않는다. 정상 위치 기억부(113)는, 반송 대상물(W)의 정상 높이 위치로서, 임의의 위치로부터의 거리를 기억해도 된다.

상기 제1 및 제2 실시 형태에 있어서, 2개의 매핑 센서(M101, M102)로부터 조사되는 빔 형상이 모두 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 따라 연장되는 띠상이지만, 2개의 매핑 센서(M101, M102) 중 어느 한쪽으로부터 조사되는 빔 형상만이 반송 대상물(W)의 단부면(Wa)을 따라 연장되는 띠상이어도 된다.

상기 제1 내지 제3 실시 형태에 있어서, 반출입구의 단부 근방 부분을 검지 대상 영역으로 하는 제1 매핑 센서 또는 제2 매핑 센서 중 어느 한쪽을 메인 매핑 센서로 설정하고, 나머지 2개 이상의 매핑 센서를 메인 매핑 센서에 동기해서 작동하는 서브 매핑 센서로 설정해도 상관없다. 즉, 3개 이상의 매핑 센서 중 어느 매핑 센서를 메인 매핑 센서로 설정할지는 임의로 결정할 수 있다.

상기 제1 내지 제3 실시 형태에 있어서, 반송 대상물의 크기 등에 따라서 매핑 암에 대한 매핑 센서의 설치 위치를 변경 가능·조정 가능하게 구성하는 것도 가능하다.

상기 제1 내지 제3 실시 형태에 있어서, 매핑 센서는, 광전 센서에 한정되지 않고, 근접 센서 또는 레이저 측거 센서이어도 된다.

상기 제1 내지 제3 실시 형태에 있어서, 매핑 기구로서, 매핑 암에 의해 매핑 센서를 수평 또는 대략 수평하게 선회 가능하게 지지하고, 매핑 센서를 선회 축 주위로 이동시킴으로써 매핑 위치 또는 매핑 불능 위치로 전환 가능하게 구성할 수도 있다. 혹은, 매핑 암 전체가 틸팅함으로써 매핑 센서를 전방으로 틸팅시켜서 매핑 위치에 위치 부여하는 구성이나, 매핑 암 전체가 격납 용기측으로 슬라이드 이동함으로써 매핑 센서를 격납 용기측으로 이동시켜서 매핑 위치에 위치 부여하는 구성을 채용할 수도 있다.

상기 제1 내지 제3 실시 형태에 있어서, 반송 로봇에 의해 반송 대상물을 로드 포트 상의 격납 용기에 수용 완료한 후에도 매핑 처리를 행하도록 설정해도 된다.

상기 제1 내지 제3 실시 형태에 있어서, 로드 포트는, EFEM 이외의 반송 장치에 적용할 수도 있다.

상기 제1 내지 제3 실시 형태에 있어서, 예를 들어 반송실의 벽면에 본 발명의 로드 포트를 복수 배치하고, 반송실 내에 배치되는 반송 로봇에 의해 각 로드 포트의 적재 테이블 상에 적재한 격납 용기간에서 반송 대상물을 교체 가능한 소터 장치의 일부를 구성하는 것으로서 사용하는 것도 가능하다.

상기 제1 내지 제3 실시 형태에 있어서, 반송실의 벽면에 배치하는 로드 포트는 1대이어도 된다. 상술한 실시 형태에서는, 로드 포트의 프레임이 반송실의 외벽의 일부를 구성하는 양태를 예시했지만, 프레임이 반송실의 외벽을 따라 마련되는 것이어도 상관없다.

상기 제1 내지 제3 실시 형태에 있어서, 반송 대상물로서 예시한 유리 기판은, 두께뿐만 아니라, 조성에 따라서도 휘는 방식이 다른 것이다. 이러한 유리 기판, 특히 두께 0.4mm 미만이 얇은 유리 기판은 휘기 쉬운 것이지만, 격납 용기 내에서 정상적인 자세로 탑재되어 있는지 여부를 본 발명의 로드 포트의 매핑 기구에 의해 적절하게 판별할 수 있다. 또한, 반송 대상물의 두께는 상기 실시 형태의 두께에 한정되는 것이 아니라, 예를 들어 0.2mm 내지 3mm 정도이어도 된다. 또한, 반송 대상물이, 웨이퍼, 테이프 프레임 웨이퍼, 에지 링, 레티클, 액정 반송 대상물, 구리 적층판, 패키지 기판, 프린트 기판, 컬쳐 플레이트, 배양 용기, 디쉬, 혹은 샤알레 등이어도 된다. 즉, 본 발명은, 반도체, 액정, 세포 배양 등의 각종 분야에서의 용기에 수용되는 반송 대상물을 전달하는 로드 포트에 적용할 수 있다.

상기 제1 내지 제3 실시 형태에 있어서, 반송 대상물을 수용하는 격납 용기도 반송 대상물의 사이즈 등에 따른 적절한 격납 용기이면 된다. 격납 용기로서, 용기 도어를 구비하고 있지 않은 오픈 타입의 것을 적용할 수도 있다. 또한, 1매의 반송 대상물을 지지하는 슬롯의 수나, 격납 용기 내에서의 슬롯의 위치, 혹은 슬롯의 형상도 적절히 선택·변경할 수 있다. 예를 들어, 반송 대상물의 양쪽 사이드 부분을 각각 지지하는 위치에만 슬롯을 마련하거나, 높이 방향에 있어서 매핑 센서의 검지 대상 영역과 겹치는 위치에 슬롯을 마련할 수 있다. 슬롯을 매핑 센서에 의해 검지 불능한 것으로 하거나, 슬롯을 매핑 센서에 의해 검지한 경우이어도, 그 검지 정보와, 반송 대상물의 단부면을 검지한 경우의 검지 정보를 차별화할 수 있는 구성으로 하는 것도 오검지를 회피하는 데 있어서 유효한 조치이다.

상기 제1 내지 제3 실시 형태에 있어서, 로드 포트가 제어부를 구비하고, 로드 포트 도어의 이동 등, 각 부의 작동을 제어부가 제어하는 양태를 예시했지만, 로드 포트의 상위 장치(상술한 실시 형태라면 EFEM, 혹은 처리실)의 작동을 제어하는 제어부(상위 컨트롤러인 상술한 EFEM 전체의 제어부나 처리실의 제어부)에 의해, 로드 포트의 작동도 제어하도록 구성하는 것도 가능하다.

상기 제1 내지 제3 실시 형태에 있어서, 전용의 시스템에 구애되지 않고, 통상의 컴퓨터 시스템을 사용해서 실현 가능하다. 예를 들어, 범용 컴퓨터에, 상술한 처리를 실행하기 위한 프로그램을 저장한 기록 매체로부터 당해 프로그램을 인스톨함으로써, 상술한 처리를 실행하는 제어부를 구성할 수 있다. 그리고, 이러한 프로그램을 공급하기 위한 수단은 임의이다. 상술한 바와 같이 소정의 기록 매체를 통해서 공급할 수 있는 것 외에, 예를 들어 통신 회선, 통신 네트워크, 통신 시스템 등을 통해서 공급해도 된다. 이 경우, 예를 들어 통신 네트워크의 게시판(BBS)에 게시한 당해 프로그램을 네트워크 통신에 의해 반송파에 중첩해서 제공해도 된다. 그리고, 이렇게 제공된 프로그램을 기동하여, OS의 제어 하에서, 다른 애플리케이션 프로그램과 마찬가지로 실행함으로써, 상술한 처리를 실행할 수 있다.

그 밖에, 각 부의 구체적 구성에 대해서도 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변형이 가능하다.

1: 로드 포트
3: 격납 용기
4: 프레임
8: 로드 포트 도어
31: 반출입구
32: 용기 도어
34: 슬롯
41: 개구부
M: 매핑 기구
M1: 매핑 센서(제1 매핑 센서)
M2: 매핑 센서(제2 매핑 센서)
Mt: 매핑 암
MT: 판별부
W :반송 대상물

Claims (5)

1. 반송 대상물이 대략 수평 자세로 통과 가능한 개구부를 갖는 프레임과,
   상기 반송 대상물을 다단형으로 수용 가능한 슬롯을 갖는 격납 용기의 반출입구를 개폐 가능한 용기 도어와 걸림 결합 가능하고 또한 상기 프레임의 상기 개구부를 개폐 가능한 로드 포트 도어와,
   상기 개구부 및 상기 반출입구를 통해서 상기 격납 용기 내의 상기 각 슬롯에서의 상기 반송 대상물의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 매핑하는 매핑 기구를 구비하고,
   상기 매핑 기구는,
   상기 개구부를 개폐할 때의 상기 로드 포트 도어의 승강 이동과 일체 또는 독립적으로 승강 이동하고, 검출파를 상기 격납 용기의 내부를 향해서 조사함으로써 상기 반송 대상물의 단부면을 검지 가능한 2개의 매핑 센서와,
   상기 2개의 매핑 센서에 의한 센싱 정보에 기초하여 상기 반송 대상물의 수용 상태의 양부를 판별하는 판별부를 갖는 것을 특징으로 하는, 로드 포트.
2. 제1항에 있어서, 수평 방향으로 배열되어 배치되는 상기 2개의 매핑 센서 중 제1 매핑 센서에 의한 검지 대상 영역을 상기 반출입구의 일단측 부분에 설정하고, 제2 매핑 센서에 의한 검지 대상 영역을 상기 반출입구의 타단측 부분에 설정하고 있는 것을 특징으로 하는, 로드 포트.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 판별부는,
   상기 2개의 매핑 센서의 적어도 한쪽의 센싱 정보에 기초하여 상기 반송 대상물의 높이 위치를 검지하고, 그 높이 위치를 상기 반송 대상물의 상기 각 슬롯 상의 정상 높이 위치와 비교함으로써, 상기 반송 대상물이 상기 각 슬롯 상의 정상 높이 위치에 있는지 여부를 판별하는 것을 특징으로 하는, 로드 포트.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 매핑 기구는,
   상기 2개의 매핑 센서에 의해 상기 반송 대상물의 수용 상태의 양부를 판별하기 위한 센싱을 개시하기 전에 있어서,
   상기 2개의 매핑 센서의 적어도 한쪽을 사용하여, 상기 격납 용기에 수납된 상기 반송 대상물의 튀어나옴을 검지하기 위한 센싱을 행하는 것을 특징으로 하는, 로드 포트.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 2개의 매핑 센서의 적어도 한쪽으로부터 조사되는 빔 형상은, 상기 반송 대상물의 단부면을 따라 연장되는 띠상인 것을 특징으로 하는, 로드 포트.

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