JP6455239B2 - ドア開閉装置 - Google Patents

Description

本発明は、搬送室に隣接して配置されて、被搬送物が収納された収納容器を載置し、ドアを開閉することで収納容器の内部空間を開閉させて、搬送室と収納容器との間で被搬送物を出し入れするためのドア開閉装置に関するものである。

例えば半導体の製造工程においては、歩留まりや品質の向上のため、クリーンルーム内でのウェーハの処理がなされている。しかしながら、素子の高集積化や回路の微細化、ウェーハの大型化が進んでいる今日では、小さな塵をクリーンルーム内の全体で管理することは、コスト的にも技術的にも困難となってきている。このため、近年では、クリーンルーム内全体の清浄度向上に代わる方法として、ウェーハの周囲の局所的な空間についてのみ清浄度をより向上させる「ミニエンバイロメント方式」を取り入れ、ウェーハの搬送その他の処理を行う手段が採用されている。

ミニエンバイロメント方式では、筐体の内部で略閉止されたウェーハ搬送室の壁面の一部を構成するとともに、高清浄な内部空間に被搬送物が収納された収納容器（例えばＦＯＵＰ Front-Opening Unified Podと呼ばれる格納用容器）を載置し、収納容器の蓋部に密着した状態で当該蓋部を開閉させるドア部を備えたロードポートと称されるドア開閉装置が搬送室に隣接して設けられている。

このようなドア開閉装置は、搬送室との間で被搬送物であるウェーハの出し入れを行うための装置であり、搬送室と収納容器との間におけるインターフェース部として機能する。そして、ドア開閉装置のドア部を収納容器の前面に設けた蓋部に密着させた状態でこれらドア部及び蓋部が同時に開けられると、搬送室内に設けた搬送ロボットによって、収納容器内の被搬送物を搬送室内に取り出したり、被搬送物を搬送室内からドア開閉装置を通じて収納容器内に収納できるように構成されている。

従来のドア開閉装置は、収納容器本体の前方に開放された内部空間を蓋封可能な蓋部を保持したドア部を、蓋部によって収納容器本体の内部空間を密閉する全閉位置と、収納容器の内部空間を前方に全開放させる全開位置、これら２つの位置の何れかに待機可能に設定されている。そして、１つの収納容器に対する被搬送物の出し入れ処理が開始してから終了するまでの間は、ドア部を全開位置に待機させる構成が採用されている。

近年では素子の高集積化や微細化がますます進められており、ウェーハ等の被搬送物の表面にパーティクルや水分が付着しないように、被搬送物周辺をより一層高いクリーン度に維持することが求められている。さらに、被搬送物の表面が酸化する等して表面性状が変化することがないよう、被搬送物の周辺を不活性ガスである窒素雰囲気としたり、真空状態にすることも行われている。

こうした被搬送物の周辺雰囲気を適切に維持するために、下記特許文献１に開示されているように、密閉可能な格納ポッドタイプの収納容器（例えば前記ＦＯＵＰ）の内部に窒素やドライエアなどの環境ガスをパージ可能な機能を有するドア開閉装置も案出され、実用化されている。

特開２００９−０３８０７４号公報

しかしながら、上述のように、１つの収納容器に対する被搬送物の出し入れ処理が開始してから終了するまでドア部を全開位置に待機させ続ける構成であれば、蓋部で密閉された収納容器内において十分なパージ濃度の環境ガス雰囲気下に収納されている被搬送物の周辺雰囲気のパージ濃度が、ドア部を全開位置に待機させ続けることによって低下し続ける。その結果、パージ効果が低減している環境下に被搬送物が長期間晒されることになり、品質が低下し、微細化に対して十分な効果を発揮できない場合がある。

そこで、収納容器に対する被搬送物の出し入れ処理が開始されてから終了するまでの間、つまりドア部を全開位置に待機させている間、環境ガスのパージ量を増大させる対処が考えられる。しかしながら、パージ処理に要する環境ガスの使用量及び費用が増大するというデメリットがある。

また、収納容器から被搬送物を出し入れするごとにドア部を全開位置から全閉位置へ移動させることで、ドア部を全開位置に待機させる時間を短縮化して、収納容器内の環境ガスのパージ濃度が低下することを抑制する態様も考えられる。しかしながら、このような態様は、ドア部を全開位置と全閉位置との間で移動させる回数が増加する。これに伴い、蓋部及び収納容器本体のうち密閉状態において相互に密着する部分同士が接触する回数や、蓋部に設けられることがあるリテーナと被搬送物との接触回数も増加する。そして、このような接触に起因するパーティクルの発生、ひいてはそのような発塵による歩留まりの低下という悪影響も生じ得る。

なお、前記特許文献１には、収納容器の内部空間が開放された後においても収納容器内の酸素等酸化性の気体の分圧を所定の低いレベルに抑制することを可能とする以下のような処理方法が開示されている。すなわち、蓋部を保持したドアを所定角度回動することで、蓋部を搬送室内に移動させた退避姿勢（傾斜姿勢）になるドアを、その退避姿勢を維持したまま鉛直下方に移動させて退避位置に位置付けることで収納容器の内部空間を搬送室内に全開放した状態にする。そして、被搬送物の出し入れを行うごとに、退避姿勢にあるドアを退避位置から上昇させて、搬送室側において上方から下方に向かうガスカーテンを、退避姿勢（傾斜姿勢）にあるドアが保持する蓋部に突き当てて、ガスカーテンを形成するガスの流れを収納容器内に向けるという処理方法である。

このような処理方法であれば、全ての被搬送物の出し入れ処理が終了するまで収納容器の内部空間を全開する場合と比較して、収納容器の内部空間に対するパージガスの供給経路としてガスカーテンを利用することができ、パージ効率を向上させることが可能である。しかしながら、当該処理方法は、少なくとも退避姿勢にあるドアを退避位置から上昇させた時点でガスカーテンが形成されていること必須条件とするものであり、パージガスに加えてガスカーテンを形成するためのガスの使用量に応じてコストも増大するという問題がある。

そもそも、当該処理方法は、所定角度傾斜させたドアの姿勢を退避姿勢とし、この退避姿勢を維持したままドアを下方に移動させれば退避位置（全開位置）になり、退避位置から鉛直上方へ移動させて、ガスカーテンを蓋部に当ててガスの流れを収納容器内に向けるという技術的思想を根幹とするものである。つまり、ドアを退避姿勢にした時点ではこのドアに保持されている蓋部全体が、搬送室内側に存在していることが条件となる。したがって、収納容器から被搬送物を出し入れするごとに、退避位置（全開位置）にあるドアを退避姿勢のまま上昇させた場合であっても、フレームに形成された開口はドアによって何ら閉止されていない状態にあり、ガスカーテンを形成しなければ搬送室内の気体雰囲気が収納容器内に進入し、収納容器内のパージ濃度を低下させる要因となる。

本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、主たる目的は、収納容器に対する被搬送物の出し入れ処理時における蓋部と収納容器本体の接触等による発塵を防止・抑制するとともに、収納容器内のパージ濃度を、多量の環境ガスを使用することなく、所定値以上に維持・確保することが可能なドア開閉装置を提供することにある。

すなわち本発明は、搬送室の壁面の一部を構成し、当該搬送室内を開放するための開口が形成された板状をなすフレームと、開口を開閉可能なドア部と、収納容器本体の内部空間を開閉可能とする蓋部をドア部に対向させる向きで収納容器を載置可能な載置台とを備え、ドア部を、蓋部を保持した状態で少なくとも蓋部によって収納容器本体の内部空間を密閉する全閉位置と、収納容器本体の内部空間を前方に全開させる全開位置との間で移動させて、搬送室内に配置される搬送ロボットにより収納容器と搬送室との間で被搬送物を搬送する際に当該ドア部を開閉するためのドア開閉装置に関するものである。

本発明において、載置台に載置した収納容器とフレームが並ぶ前後方向において、フレーム側を前方と定義し、収納容器側を後方と定義する。ここで、本発明における被搬送物としては、ウェーハ、レティクル、液晶被搬送物、ガラス被搬送物、カルチャープレート、培養容器、ディッシュ、シャーレ等を挙げることができ、本発明は、半導体、液晶、細胞培養等の各種分野での容器に収容される搬送対象の搬送技術に適用することができる。本発明における搬送室は、被搬送物を搬送するための部屋である。したがって、被搬送物が例えばウェーハであれば、本発明における搬送室はウェーハ搬送室である。

また、搬送ロボットは、搬送室内に配置されるものであればよく、既知のものを利用することができる。なお、搬送ロボットは、本発明のドア開閉装置の一部を構成しないものであってよいし、本発明のドア開閉装置の一部を構成するものであってもよい。搬送ロボットとしては、複数のアーム要素を連結したリンク機構の先端部にハンドを設け、このハンドによって被搬送物を把持して収納容器と搬送室との間で出し入れ可能に構成されたものが知られている。しかしながら、本発明における搬送ロボットはこのタイプに限定されない。

そして、本発明に係るドア開閉装置は、環境ガスによるパージ処理が施される収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎に、又は複数回終了する毎に、次に収納容器に対する搬送ロボットのアクセスを実行する直前までの間、ドア部を、全閉位置よりも前方であって、且つ蓋部の最後方内向き面がフレーム最前面よりも後方に進入した位置となる所定の中間停止位置で待機させるように構成していることを特徴としている。

ここで、蓋部の最後方内向き面は、蓋部のうち収納容器本体の内部空間に面する内向き面において収納容器本体の背面に最も近い面である。また、フレーム最前面は、フレームのうち開口の周縁における収納容器本体から最も遠い面である。

本発明における「環境ガスによるパージ処理が施される収納容器」には、ドア開閉装置の載置台上に載置された時点以降の適宜のタイミングでパージ処理が施される収納容器、または載置台上に載置されるよりも前の時点で予めパージ処理が施されている収納容器、これら両方の収納容器が含まれる。

ドア開閉装置の載置台上に載置された時点以降で施されるパージ処理のタイミングの具体例としては、収納容器がフレームに接触する前の時点、収納容器の蓋部がドア部に接触する前の時点、蓋部によるドア部を全閉位置から所定位置に向かって移動させる前の時点などを挙げることができる。なお、本発明では、収納容器本体の内部空間の密閉状態が解除された時点以降も収納容器に対してパージ処理を施す構成も含む。収納容器本体の内部空間の密閉状態が解除された時点以降も収納容器に対してパージ処理を施すことにより、収納容器内を搬送室内よりも陽圧に維持して、収納容器とドア開閉装置との間の隙間から搬送室内の雰囲気や外気が収納容器内に流れ込むことを防止することが可能である。

ドア開閉装置の載置台上に載置されるよりも前の時点で予め施されるパージ処理のタイミングの具体例としては、複数の収納容器を保管可能な保管庫に保管されている時点、ドア開閉装置とは別の専用パージステーション上に載置されている時点、他の被搬送物製造装置における製造工程中の適宜の時点乃至製造完了後の適宜の時点を挙げることができる。

本発明における「収納容器に対する搬送ロボットの「１回」のアクセス」によって、収納容器と搬送室との間で搬送可能な被搬送物の最大数は、搬送ロボットが有する被搬送物把持部（例えばハンド）の数によって決定される。つまり、搬送ロボットが、１つの被搬送物把持部を備えたものであれば、１回のアクセスで搬送可能な被搬送物の最大数は１である。また搬送ロボットが、２つの被搬送物把持部を備えたものであれば、１回のアクセスで搬送可能な被搬送物の最大数は２である。

また、本発明における「収納容器と搬送室との間で被搬送物を搬送する」処理には、収納容器内から被搬送物を搬送室内に向かって取り出す処理、搬送室内から被搬送物を収納容器内に入れる（収容する）処理、これらの処理が含まれる。これらの処理は、収納容器に対する被搬送物の移動として捉えた場合、搬出処理と搬入処理であるといえる。

本発明に係るドア開閉装置は、収納容器に対する前記搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎に、次の収納容器に対する搬送ロボットのアクセスを実行する直前まで、ドア部を、全閉位置よりも前方であって、且つ蓋部の最後方内向き面がフレーム最前面よりも後方に進入した位置となる所定の中間停止位置で待機させる構成にしている。このような構成は、収納容器内の被搬送物の搬送処理が開始されてから後、全ての被搬送物の搬送処理が終了するまでの間、ドア部を全開位置に待機させ続ける構成と比較して、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが終了する毎に、中間停止位置で待機させたドア部が保持する蓋部で、収納容器の内部空間を搬送室内に到達させることなく前後方向に遮蔽することができる。したがって、搬送ロボットによって収納容器内の全ての被搬送物の搬送処理が終了するまで収納容器の内部空間全体が搬送室側に全開放される時間を短縮することができ、収納容器の内部空間における環境ガスのパージ濃度が低下し続ける事態を防止できる。本発明において、ドア部の中間停止位置は、全閉位置よりも前方（フレーム側）であって、且つ蓋部の最後方内向き面がフレーム最前面よりも後方（収納容器側）に進入した位置となる条件を満たす範囲において任意に設定することが可能である。つまり、本発明におけるドア部の中間停止位置は、全閉位置に近いものの全閉位置に到達しないドア部の位置と、蓋部の最後方内向き面がフレーム最前面よりも後方に進入した位置となるドア部の位置との間で任意に設定することが可能な位置である。

また、収納容器の内部空間全体が搬送室側に全開放される時間を短縮化するためには、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎に、次の収納容器に対する搬送ロボットのアクセスを実行する直前まで、ドア部を所定の中間停止位置で待機させる構成が好ましい。しかしながら、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが複数回終了する毎に、次の収納容器に対する搬送ロボットのアクセスを実行する直前まで、ドア部を所定の中間停止位置で待機させる構成であっても、収納容器内の被搬送物の搬送処理が開始されてから後、全ての被搬送物の搬送処理が終了するまでの間、ドア部を全開位置に待機させ続ける構成と比較して、収納容器の内部空間全体が搬送室側に全開放される時間を短縮することができる。なお、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが複数回終了する毎に、次の収納容器に対する搬送ロボットのアクセスを実行する直前まで、ドア部を所定の中間停止位置で待機させる構成を採用する場合、「搬送ロボットのアクセスが複数回終了する毎」における「複数」は、収納容器内の被搬送物に対する搬送処理が全て完了するために必要な搬送ロボットのアクセス回数よりも少ない数であることが条件になる。

加えて、本発明に係るドア開閉装置であれば、中間停止位置で待機させたドア部が保持する蓋部の最後方内向き面は、フレームに形成された開口に進入して収納容器の内部空間に接近する位置に位置付けられることになる。これにより、収納容器本体及び蓋部のうち密閉状態であれば相互に密着する部分同士の前後方向の間隙の狭小化を図ることができ、上記の構成（収納容器の内部空間を搬送室内に到達させることなく蓋部で前後方向に遮蔽することができる構成）と相俟って、収納容器内に収容されている被搬送物の周囲雰囲気を所定のパージ濃度状態（例えば低水分濃度状態）に保つことが可能になる。

また、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎に、ドア部を全開位置から全閉位置まで移動させる場合であれば生じる不具合、すなわち、蓋部と収納容器本体の接触回数の増加に伴う発塵という不具合を防止・抑制することができる。

このように、本発明に係るドア開閉装置であれば、例えば搬送室側に形成したガスカーテンを傾斜姿勢の蓋部に当てて、そのガスの流れを収納容器内に向ける構成を採用せずとも、収納容器内に収容されている被搬送物の周囲雰囲気を所定の低水分濃度状態に保つことが可能になる。そして、本発明に係るドア開閉装置であれば、収納容器内のパージ濃度を、多量のパージ用ガス（環境ガス）を使用することなく、所定値以上に維持・確保することができ、発塵を防止・抑制して、被搬送物の品質が低下するリスクを回避することが可能である。以上に詳述したドア開閉装置を、以下の説明では「本発明に係る第１のドア開閉装置」と称す場合がある。

また、本発明に係るドア開閉装置は、搬送室の壁面の一部を構成し、且つ当該搬送室内を開放するための開口が形成された板状をなすフレームと、開口を開閉可能なドア部と、収納容器本体の内部空間を開閉可能とする蓋部をドア部に対向させる向きで収納容器を載置可能な載置台とを備え、ドア部を、蓋部を保持した状態で少なくとも蓋部によって収納容器本体の内部空間を密閉する全閉位置と、収納容器本体の内部空間を前方に全開させる全開位置との間で姿勢を維持したまま移動させて、搬送室内に配置される搬送ロボットにより収納容器と搬送室との間で被搬送物を搬送する際に当該ドア部を開閉するための装置である。そして、本発明は、ドア部として、全閉位置と所定の移動方向切替領域における最前方位置との間で前後移動し、且つ全開位置と移動方向切替領域における最後方位置との間で昇降移動するものを適用し、環境ガスによるパージ処理が施される収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎に、又は複数回終了する毎に、次に収納容器に対する搬送ロボットのアクセスを実行する直前までの間、ドア部を、全閉位置よりも前方であって且つ移動方向切替領域における最前方位置までの間である所定の中間停止位置で待機させるように構成していることを特徴としている。以下では、便宜上、当該発明に係るドア開閉装置を「本発明に係る第２のドア開閉装置」と称す。

本発明に係る第２のドア開閉装置は、以下の点で上述の本発明に係る第１のドア開閉装置と異なる。すなわち、本発明に係る第２のドア開閉装置は、ドア部として、全閉位置と全開位置との間で姿勢を維持したまま移動するという第１条件、全閉位置と所定の移動方向切替領域における最前方位置との間で前後方向に移動（前後移動）し、且つ全開位置と移動方向切替領域における最後方位置との間で高さ方向に移動（昇降移動）するという第２条件、両方の条件を満たすものを適用している。さらに、本発明に係る第２のドア開閉装置は、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎に、又は複数回終了する毎に、次に収納容器に対する搬送ロボットのアクセスを実行する直前までの間、ドア部を待機させる中間停止位置が、全閉位置よりも前方であって且つ移動方向切替領域における最前方位置までの間の所定の位置である。これらの点で、本発明に係る第２のドア開閉装置は、上述の本発明に係る第１のドア開閉装置と異なるが、その他は同じである。

ここで、ドア部は移動方向切替領域を経由して全閉位置と全開位置との間で移動するものである。そして、前後移動するドア部の経路と、昇降移動するドア部の経路とが１点で交わる場合は、移動方向切替領域は点で示すことができる。この場合、「移動方向切替領域における最後方位置」と「移動方向切替領域における最前方位置」は同じ位置になる。一方、前後移動するドア部の経路と、昇降移動するドア部の経路とが、全閉位置から移動方向切替領域に到達するまでのドア部の移動経路の延伸方向及び全開位置から移動方向切替領域に到達するまでのドア部の移動経路の延伸方向とは異なる方向に延びる直線、または曲線で示すことが可能な移動方向切替領域を介して相互につながっている場合もある。この場合、「移動方向切替領域における最前方位置」と「移動方向切替領域における最後方位置」は前後方向及び高さ方向に離れた位置になる。移動方向切替領域における最前方位置に位置付けたドア部は全閉位置に向かって後方へ移動させることができる。なお、移動方向切替領域における最前方位置と最後方位置との間におけるドア部の移動は、前後移動のみならず昇降移動も伴う。また、移動方向切替領域における最後方位置に位置付けたドア部は全閉位置に向かって下方へ移動させることができる。なお、移動方向切替領域における最後方位置と最前方位置との間におけるドア部の移動は、昇降移動のみならず前後移動も伴う。このように、「移動方向切替領域における最前方位置」は、移動方向切替領域から全閉位置に向かうドア部の後方への移動の始端位置であり、且つ全閉位置から移動方向切替領域に向かうドア部の前方への移動の終端位置である。また、「移動方向切替領域における最後方位置」は、移動方向切替領域から全開位置に向かうドア部の下方への移動の始端位置であり、且つ全閉位置から移動方向切替領域に向かうドア部の上方への移動の終端位置である。

そして、全閉位置と全開位置との間で姿勢を維持したまま移動するという第１条件を満たすドア部は、移動方向切替領域における最前方位置においても全閉位置での姿勢や全開位置での姿勢と同じ姿勢にある。つまり、ドア部は、回転動作や傾動動作を伴うことなく、移動方向切替領域を経由して全閉位置と全開位置の間で移動するものである。ドア部は、収納容器の蓋部を保持した状態で全閉位置と全開位置の間で移動するものである。したがって、ドア部が移動方向切替領域を経由して全閉位置と全開位置の間で移動する際に、蓋部がフレームに干渉しないように設定されている。

このような本発明に係る第２のドア開閉装置は、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎に、又は複数回終了する毎に、次の収納容器に対する搬送ロボットのアクセスを実行する直前まで、ドア部を、全閉位置よりも前方であって且つ移動方向切替領域における最前方位置までの間の所定の中間停止位置で待機させる構成にしている。このような構成は、収納容器内の被搬送物の搬送処理が開始されてから後、全ての被搬送物の搬送処理が終了するまでの間、ドア部を全開位置に待機させ続ける構成と比較して、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが終了する毎に、又は複数回終了する毎に、中間停止位置で待機させたドア部が保持する蓋部で、収納容器の内部空間を前後方向に遮蔽することができる。

特に、中間停止位置を、移動方向切替領域における最前方位置と全閉位置との間であって相対的に全閉位置に近い位置に設定すれば、中間停止位置で待機させたドア部が保持する蓋部によって、収納容器の内部空間を搬送室内に到達させることなく前後方向に遮蔽することができる。一方、中間停止位置を、移動方向切替領域における最前方位置と同じ位置に設定すれば、中間停止位置で待機させたドア部が保持する蓋部も搬送室内に到達していることになる。しかしながら、この場合であっても、収納容器の内部空間が連通する空間を前後方向に遮蔽することができる。したがって、搬送ロボットによって収納容器内の全ての被搬送物の搬送処理が終了するまで収納容器の内部空間全体が前後方向に一切遮蔽することなく搬送室側に全開放される時間を短縮することができる。そして、本発明に係る第２のドア開閉装置であっても、収納容器本体及び蓋部のうち密閉状態であれば相互に密着する部分同士の前後方向の間隙の狭小化を図ることができる。その結果、収納容器の内部空間における環境ガスのパージ濃度が低下し続ける事態を防止して、収納容器内に収容されている被搬送物の周囲雰囲気を所定のパージ濃度状態（例えば低水分濃度状態）に保つことが可能になる。

このように、本発明に係る第２のドア開閉装置であれば、本発明に係る第１のドア開閉装置と同様に、例えば搬送室側に形成したガスカーテンを傾斜姿勢の蓋部に当てて、そのガスの流れを収納容器内に向ける構成を採用せずとも、収納容器内に収容されている被搬送物の周囲雰囲気を所定の低水分濃度状態に保つことが可能になる。そして、本発明に係る第２のドア開閉装置であれば、収納容器内のパージ濃度を、多量のパージ用ガス（環境ガス）を使用することなく、所定値以上に維持・確保することができ、発塵を防止・抑制して、被搬送物の品質が低下するリスクを回避することが可能である。

特に、本発明に係る第２のドア開閉装置であれば、移動方向切替領域を通過するドア部を全閉位置と同じ姿勢に設定しているため、ドア部が保持する蓋部全体が搬送室内に到達した場合であっても、搬送室内におけるフレームの開口と蓋部との離間寸法は、蓋部の上端部側及び下端部側の何れにおいても同じまたは略同じである。一方、全閉位置にあるドア部を回転させて搬送室内において蓋部が傾斜姿勢となるように設定された構成であれば、搬送室内におけるフレームの開口と蓋部との離間寸法は、蓋部の上端部側と下端部側とで大きく異なる。このような構成上の違いに起因して、本発明に係る第２のドア開閉装置であれば、ドア部が保持する蓋部全体が搬送室内に到達した場合であっても、全閉位置にあるドア部を回転させて搬送室内において蓋部が傾斜姿勢となるように設定された構成と比較して、収納容器本体及び蓋部のうち密閉状態であれば相互に密着する部分同士の前後方向の間隙の狭小化を図ることができる。

本発明に係る第１のドア開閉装置及び第２のドア開閉装置の何れにおいても、例えば、全閉位置よりも前方であって、且つ蓋部の最後方内向き面がフレームのうち開口の周縁における収納容器本体に最も近いフレーム最背面よりも後方に進入した位置となるドア部の所定位置を中間停止位置に設定することもできる。この場合、ドア部を中間停止位置に位置付けた場合に、少なくとも蓋部の最後方内向き面はフレームの開口を越えて収納容器側により一層近付くため、収納容器本体のうち密閉状態であれば蓋部が密着する部分である開口縁と、中間停止位置で待機させたドア部が保持する蓋部との前後方向の間隙のさらなる狭小化を図ることができる。

また、本発明に係る第１のドア開閉装置及び第２のドア開閉装置では、全閉位置よりも前方であって、且つ蓋部の最後方内向き面が収納容器本体のうちフレーム最背面に最も近い収納容器本体最前面よりも後方に進入した位置となるドア部の所定位置を中間停止位置に設定することもできる。ここで、収納容器の多くは、蓋部で密閉されていない収納容器本体において、その内部空間と収納容器本体の周囲空間（外部空間）との境界が収納容器本体最前面であることに着目すると、蓋部の最後方内向き面が収納容器本体最前面よりも後方に進入した位置にあるということは、蓋部のうち少なくとも最後方内向き面が収納容器本体の内部空間に進入している状態である。したがって、収納容器本体のうち密閉状態であれば蓋部が密着する部分である開口縁と、中間停止位置で待機させたドア部が保持する蓋部との前後方向の間隙のより一層の狭小化を図ることができ、収納容器内の被搬送物の周囲雰囲気を良好な低水分濃度状態（パージ状態）に保つことができる。

さらにまた、本発明に係る第１のドア開閉装置及び第２のドア開閉装置では、中間停止位置として、蓋部の内向き面（背面）に設けられ且つ収納容器本体の内部空間を密閉した状態、すなわち、ドア部を全閉位置に移動させた状態において、被搬送物のエッジを弾性保持し得るリテーナの弾性が作用しない位置を選択することもできる。このように、全閉位置の前方であって且つリテーナの弾性が作用しない位置を中間停止位置に設定すれば、上述の作用効果に加えて、蓋部の内向き面に設けたリテーナと被搬送物との接触回数の増加に伴う発塵のリスクも回避・抑制することができ、好適である。

本発明に係るドア開閉装置では、収納容器に対する搬送ロボットのアクセス中はドア部を全開位置に待機させるように構成してもよい。この場合、搬送ロボットのハンド等がドア部に接触する可能性を排除できるため、ドア部の開閉精度に余裕を持たせることができる。

一方、本発明に係るドア開閉装置では、収納容器に対する搬送ロボットのアクセス中はドア部を搬送ロボットのアクセスに必要な分だけ収納容器本体の内部空間を高さ方向に開放する中途開放位置に待機させるように構成することも可能である。このような採用した場合、収納容器に対する搬送ロボットのアクセス中はドア部を全開位置に待機させるように構成と比較して、収納容器に対する搬送ロボットのアクセス中における収納容器本体の内部空間の高さ方向に沿った開放領域を狭くすることが可能である。その結果、内部空間のパージ濃度の低下を効果的に抑制することができる。また、収納容器に対する搬送ロボットのアクセス中はドア部を中途開放位置に待機させる構成を採用することで、全開位置と中間停止位置とを移動するドア部の移動ストロークの短縮化も図ることができる。なお、収納容器内の最下段の位置に収納される被搬送物の搬送処理中の中途開放位置は、全開位置と同じ位置または略同じ位置になる場合もある。

本発明において、収納容器に対する搬送ロボットのアクセス中はドア部を全開位置に待機させる構成、または、収納容器に対する搬送ロボットのアクセス中はドア部を中途開放位置に待機させる構成、これら何れの構成を採用した場合であっても、収納容器に対する搬送ロボットのアクセス完了後から、収納容器に対する搬送ロボットの次のアクセスを実行する直前まではドア部を中間停止位置に待機させるように構成すればよい。この際、ドア部を全開位置または中途開放位置から中間停止位置に移動させるタイミングは、ドア部や蓋部と搬送ロボットが相互に干渉しないタイミングであればよい。つまり、ドア部や蓋部と搬送ロボットが相互に干渉しないタイミングであれば、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが完了した直後にドア部を中間停止位置に移動させてもよい。また、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが完了した直後にドア部を全開位置または中途開放位置から中間停止位置に移動させれば、ドア部や蓋部と搬送ロボットが相互に干渉してしまう構成の場合には、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが完了した直後の時点から所定時間経過後に、ドア部を全開位置または中途開放位置から中間停止位置に移動させるように設定すればよい。

なお、本発明に係るドア開閉装置は、ドア部を移動させる命令（信号）等の諸命令を発して制御するコントローラ（制御部）を備えたものであってもよい。この場合、全開位置または中途開放位置から中間停止位置に移動させるタイミングとして、ドア開閉装置がドア閉止命令を受けた時点を採用することができる。また、本発明のドア開閉装置は、搬送装置または処理装置や製造装置等に設けられた上位コントローラからドア部を移動させる命令（信号）等の諸命令を受けて作動するもの、すなわち、ドア部の作動等を制御するコントローラを備えていないものであってもよい。この場合、全開位置または中途開放位置から中間停止位置に移動させるタイミングとして、上位コントローラがドア閉止命令を発した時点を採用することができる。

本発明は、環境ガスによるパージ処理が施される収納容器に対して搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎に、又は複数回終了する毎に、次に収納容器に対する前記搬送ロボットのアクセスを実行する直前までの間、ドア部を、全閉位置よりも前方であって、且つ蓋部の最後方内向き面がフレーム最前面よりも後方に進入した位置となる所定の中間停止位置、或いは全閉位置よりも前方であって且つ移動方向切替領域における最前方位置までの間である所定の中間停止位置で待機させるという斬新な技術的思想を採用している。このような技術的思想に基づく本発明によれば、収納容器に対する被搬送物の搬送処理時における蓋部と収納容器本体の接触回数の増加等に伴う発塵を防止・抑制することができ、収納容器内のパージ濃度を、多量の環境ガスを使用することなく、所定値以下に低下する事態を回避することが可能なドア開閉装置を提供することができる。

本発明の一実施形態に係るドア開閉装置を備えたＥＦＥＭとその周辺装置の相対位置関係を示す模式的に示す側面図。 同実施形態に係るドア開閉装置の斜視図。 図２のｘ方向矢視図。 図２のｙ方向矢視図。 載置台に収納容器がフレームから離間し且つドア部が全閉位置にある状態の同実施形態に係るドア開閉装置の側断面を模式的に示す図。 載置台上の収納容器がフレームに密着し且つドア部が全閉位置にある状態を図５に対応して示す図。 ドア部が移動方向切替位置にある状態を図５に対応して示す図。 ドア部が全開位置にある状態を図５に対応して示す図。 載置台上の収納容器がフレームに密着し且つドア部が全閉位置にある状態の同実施形態に係るドア開閉装置の所定高さ位置における平断面を模式的に示す図。 ドア部が全開位置にある状態を図９に対応して示す図。 ドア部が中間停止位置にある状態を図９に対応して示す図。 ドア部が全閉位置にある状態を図９に対応して示す図。 本実施形態におけるＥＦＥＭの動作手順を示すフローチャート。 本実施形態におけるＥＦＥＭの動作手順を示すフローチャート。 収納容器内の水分濃度の経時的な変化を示す図。 同実施形態に係るドア開閉装置の載置台上に載置した収納容器内の水分濃度の経時的な変化を図１５に対応して示す図。 同実施形態に係るドア開閉装置の一変形例を図８に対応して示す図。 同変形例に係るドア開閉装置の載置台上に載置した収納容器内の水分濃度の経時的な変化を図１６に対応して示す図。 同実施形態に係るドア開閉装置の他の一変形例を図４に対応して示す図。 同変形例に係るドア開閉装置を所定角度から見た一部拡大図。 同変形例に係るドア開閉装置を一部省略して示す平面図。 同変形例に係るドア開閉装置を一部省略して示す側面図。 同変形例におけるマッピング部の姿勢変更を図２２に対応して模式的に示す図。 同実施形態に係るドア開閉装置のさらに異なる他の一変形例を図７に対応して示す図。 同変形例を図８に対応して示す図。

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。

本実施形態に係るドア開閉装置２は、例えば半導体の製造工程において用いられ、図１に示すように、クリーンルーム内において、搬送室３の壁面の一部を構成し、搬送室３と収納容器４との間で被搬送物Ｗの出し入れを行うためのものである。以下では、ドア開閉装置２が、搬送装置であるＥＦＥＭ１（Equipment Front End Module）の一部を構成するロードポートであって、被搬送物Ｗである例えばウェーハを収納容器４（例えばＦＯＵＰ）と搬送室３（ウェーハ搬送室）の間で出し入れ処理する態様について説明する。なお、ＥＦＥＭで取り扱うウェーハのサイズはＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格として標準化されているが、生産性向上の観点からウェーハの大径化が進められ、これまでの直径３００（半径１５０）ｍｍから直径４５０（半径２２５）ｍｍ乃至直径５００（半径２５０）ｍｍのウェーハへの移行が推進されている。

本実施形態に係るドア開閉装置２は、図１乃至図４に示すように、搬送室３の壁面の一部を構成し、且つ搬送室３の内部空間３Ｓを開放するための開口２１ａが形成された板状をなすフレーム２１と、フレーム２１の開口２１ａを開閉するドア部２２と、フレーム２１に略水平姿勢で設けた載置台２３とを備えている。なお、図２及び図３は、図１で示す載置台２３の下方に設けた外部カバー２０（図２参照）を取外し、内部構造の一部を露出させた状態を示している。

フレーム２１は、起立姿勢で配置され、載置台２３上に載置した収納容器４の搬出入口４１と連通し得る大きさの開口２１ａを有する略矩形板状のものである。本実施形態のドア開閉装置２は、フレーム２１を搬送室３に密着させた状態で使用可能なものである。また、フレーム２１の下端には、キャスタ及び設置脚を有する脚部２４を設けている。本実施形態では、両側方に起立させた支柱２１１と、これら支柱２１１により支持されたフレーム本体２１２と、フレーム本体２１２に略矩形状に開放された窓部２１３に取り付けられたウインドウユニット２１４とを備えたフレーム２１を適用している。ウインドウユニット２１４は、収納容器４の蓋部４３と対向する位置に設けられている。このウインドウユニット２１４に設けた開口２１５が、本発明におけるフレーム２１に形成された開口２１ａに相当する。後出の図５以降の各図では、ウインドウユニット２１４を省略し、フレーム本体２１２に開口２１ａを形成した構成のフレーム２１を模式的に示している。

ドア開閉装置２の載置台２３は、フレーム２１のうち高さ方向中央よりもやや上方寄りの位置に略水平姿勢で配置される水平基台２５（支持台）の上部に設けられ、収納容器本体４２の内部空間４Ｓを開閉可能とする蓋部４３をドア部２２に対向させる向きで収納容器４を載置可能なものである。また、載置台２３は、収納容器４の蓋部４３をドア部２２に密着させる位置（図６参照）と、蓋部４３をドア部２２から所定距離離間した位置（図５参照）との間で、フレーム２１に対して進退移動可能に構成されている。載置台２３は、図２に示すように、上向きに突出させた複数の突起２３１を有し、これらの突起２３１を収納容器４の底面に形成された穴（図示省略）に係合させることで、載置台２３上における収納容器４の位置決めを図っている。

なお、図５及び図６等では、載置台２３上における収納容器４の載置状態として、載置台２３の上面に収納容器４の底面が接触している状態を示している。しかしながら、実際には、載置台２３の上面よりも上方に突出している複数の位置決め用突起２３１が、収納容器４の底面に形成された有底の穴に係合することで収納容器４を支持しており、載置台２３の上面と収納容器４の底面は相互に接触せず、載置台２３の上面と収納容器４の底面の間に所定の隙間が形成されるように規定されている。

また、載置台２３には、収納容器４を載置台２３に対して固定するためのロック爪２３２を設けている。このロック爪２３２を、収納容器４の底面に設けた被ロック部（図示省略）に引っ掛けて固定したロック状態にすることで、位置決め用の突起２３１と協働して収納容器４を載置台２３上における適正な位置に案内しながら固定することができる。また、収納容器４の底面に設けた被ロック部に対するロック爪２３２のロック状態を解除することで、収納容器４を載置台２３から離間可能な状態にすることができる。

本発明及び本実施形態では、このようなロードポートの載置台２３に載置した収納容器４とフレーム２１が並ぶ前後方向Ｄ（図１等参照）において、フレーム２１側を前方と定義し、収納容器４側を後方と定義する。

本実施形態のドア開閉装置２は、載置台２３に設けられ収納容器４の底面側から当該収納容器４内に窒素ガスや不活性ガス又はドライエア等の適宜選択された気体である環境ガス（パージガスとも称され、本実施形態では主に窒素ガスやドライエアを用いている）を注入し、収納容器４内の気体雰囲気を環境ガスに置換可能なボトムパージ部２６を備えている。

ボトムパージ部２６は、載置台２３上の所定箇所に複数設けたノズル２６１を主体としてなり、複数のノズル２６１を、所定の環境ガスを注入するボトムパージ注入用ノズルや、収納容器４内の気体雰囲気を排出するボトムパージ排出用ノズルとして機能させている。これら複数のノズル２６１は、例えば載置台２３の幅方向に沿って離間した位置に対にして設けることができ、収納容器４の底部に設けた注入口及び排出口（ともに図示省略）に嵌合した状態で連結可能なものである。各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）又は注入口及び排出口は、気体の逆流を規制する弁機能を有するものである。各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）と収納容器４の注入口及び排出口との嵌合部分は、ノズル２６１の先端部に設けたパッキン等によって密閉状態になる。なお、本実施形態のドア開閉装置２は、載置台２３上に収納容器４が載置されていない状態であれば、各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）を載置台２３の上面よりも下方に位置付けている。そして、載置台２３に設けた例えば加圧センサの被押圧部を収納容器４のうち底面部が押圧したことを検出した際に、制御部２Ｃからの信号によって、各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）を上方に進出させて収納容器４の注入口と排出口にそれぞれ連結し、パージ処理を実行可能な状態になる。注入口を介してボトムパージ注入用ノズル２６１から収納容器４の内部空間４Ｓに環境ガスを供給し、排出口を介してボトムパージ排出用ノズル２６１から収納容器４の内部空間４Ｓの気体雰囲気（この気体雰囲気は、パージ処理実行開始から所定時間までは空気や空気以外の清浄度が低い環境ガスであり、当該所定時間経過後は収納容器４の内部空間４Ｓに充填された清浄度の高い環境ガスである）を排出することで、パージ処理を行うことが可能である。また、収納容器４の内部空間４Ｓに対する環境ガス供給量を収納容器４の内部空間４Ｓの気体雰囲気の排出量よりも多く設定することで、収納容器４の内部空間４Ｓの圧力を外部や搬送室３の内部空間３Ｓの圧力に対して高めた陽圧状態にすることも可能である。収納容器４の内部空間４Ｓを陽圧に維持することで、収納容器４とドア開閉装置２との間の隙間から搬送室３内の雰囲気や外気が収納容器４内に流れ込むことを防止することが可能である。

ドア部２２は、収納容器４の蓋部４３に当該ドア部２２を連結して、蓋部４３を収納容器本体４２から取り外し可能な蓋連結状態と、蓋部４３に対する連結状態を解除し、且つ蓋部４３を収納容器本体４２に取り付けた蓋連結解除状態との間で切り替え可能な連結機構２２１（図４参照）を備えている。ドア部２２は、連結機構２２１によって蓋部４３を一体化した状態で保持したまま所定の移動経路に沿って移動可能なものである。本実施形態のドア開閉装置２は、図５乃至図８に示すように、ドア部２２を、当該ドア部２２が保持する蓋部４３によって収納容器本体４２の内部空間４Ｓを密閉する全閉位置（Ｃ）と、当該ドア部２２が保持する蓋部４３を収納容器本体４２から離間させて当該収納容器本体４２の内部空間４Ｓを搬送室３内に向かって前方に全開放させる全開位置（Ｏ）との間で移動可能に構成している。本実施形態では、図８に示す全開位置（Ｏ）に位置付けたドア部２２の姿勢を、図５及び図６に示す全閉位置（Ｃ）に位置付けたドア部２２の起立姿勢と同じ姿勢に設定し、全開位置（Ｏ）と全閉位置（Ｃ）との間も起立姿勢を維持したまま移動するように設定している。すなわち、全開位置（Ｏ）と全閉位置（Ｃ）との間におけるドア部２２の移動経路は、全閉位置（Ｃ）にあるドア部２２をその高さ位置を維持したまま搬送室３側へ移動させた経路（水平経路）と、全開位置（Ｏ）にあるドア部２２をその前後位置を維持したまま上方へ移動させた経路（鉛直経路）とからなる。水平経路と鉛直経路が交わるポイントにおいて、ドア部２２の移動方向が水平方向から鉛直方向に、或いは鉛直方向から水平方向に切り替わる。この水平経路と鉛直経路が交わるポイントは、本発明における「移動方向切替領域」に相当する。本実施形態における移動方向切替領域は１点で示すことができる。したがって「移動方向切替領域における最前方位置」と「移動方向切替領域における最後方位置」は同じ位置である。本実施形態では、この移動方向切替領域に到達したドア部２２の位置を「移動方向切替位置（Ｐ）」と称す。すなわち、水平経路と鉛直経路が交わるポイントにおいて、ドア部２２は、図７に示す移動方向切替位置（Ｐ）に位置付けられる。同図から把握できるように、移動方向切替位置（Ｐ）に位置付けたドア部２２が鉛直方向及び水平方向の何れにも移動できるように、移動方向切替位置（Ｐ）に位置付けたドア部２２に保持される収納容器４の蓋部４３は、ドア部２２と共にフレーム２１よりも前方の位置（収納容器本体４２から完全に離間し、搬送室３の内部空間３Ｓに配置される位置）に位置付けられる。

このようなドア部２２の移動は、ドア開閉装置２に設けたドア移動機構２７によって実現している。ドア移動機構２７は、図５乃至図８に示すように、ドア部２２を支持する支持フレーム２７１と、スライド支持部２７２を介して支持フレーム２７１を前後方向Ｄに移動可能に支持する可動ブロック２７３と、可動ブロック２７３を上下方向Ｈに移動可能に支持するスライドレール２７４と、ドア部２２の水平経路に沿った前後方向Ｄの移動、及び鉛直経路に沿った上下方向Ｈの移動を行わせるための駆動源（例えば図示しないアクチュエータ）とを備えている。このアクチュエータに対して制御部２Ｃから駆動指令を与えることで、ドア部２２を前後方向Ｄ及び上方方向に移動させるものである。なお、前後移動用のアクチュエータと、上下移動用のアクチュエータとを別々に備えた態様であってもよい。また、共通のアクチュエータを駆動源としてドア部の前後移動及び上下移動を行う態様であってもよい。

支持フレーム２７１は、ドア部２２の後部下方を支持するものである。この支持フレーム２７１は、下方に向かって延材した後に、フレーム２１に形成したスリット状の挿通孔２１ｂを通過して搬送室３の外側（載置台２３側）に張り出した略クランク上の形状をしている。支持フレーム２７１を支持するためのスライド支持部２７２、可動ブロック２７３、スライドレール２７４もフレーム２１よりも載置台２３側、つまり搬送室３の外側に配置している。これらスライド支持部２７２、可動ブロック２７３、スライドレール２７４は、ドア部２２を移動させる際の摺動箇所となる。本実施形態では、これらを搬送室３の外側に配置し、挿通孔２１ｂを微小なスリット状に設定していることで、万が一ドア部２２の移動時にパーティクルが発生した場合であっても、搬送室３内にパーティクルが進入する事態を防止・抑制することができる。また、ドア移動機構２７のうち搬送室３の外側に配置されるパーツや部分、具体的には、支持フレーム２７１の一部、スライド支持部２７２、可動ブロック２７３及びスライドレール２７４を被覆するカバー２８を設けている。これにより、フレーム２１に形成した上述の挿通孔２１ｂを通じて搬送室３内の環境ガスがＥＦＥＭ１の外部に流出する事態を防止できる。

ＥＦＥＭ１は、図１に示すように、共通のクリーンルーム内に相互に隣接する位置に設けたドア開閉装置２（ロードポート）及び搬送室３を主体として構成されたものである。ＥＦＥＭ１の作動は、ドア開閉装置２のコントローラ（図２に示す制御部２Ｃ）や、ＥＦＥＭ１全体のコントローラ（図１に示す制御部３Ｃ）によって制御される。搬送室３のうちドア開閉装置２を配置した壁面３Ａ（背面）に対向する壁面３Ｂには例えば処理装置Ｍ（半導体処理装置）が隣接して設けられる。

本実施形態のＥＦＥＭ１は、搬送室３の一つの壁面３Ａにドア開閉装置２を複数（例えば３台）並べて配置している。上述したように、収納容器４とフレーム２１が並ぶ前後方向Ｄにおいて、フレーム２１側を前方と定義し、収納容器４側を後方と定義した本発明において、搬送室３のうちドア開閉装置２を配置した壁面３Ａは背面と捉えることができる。

クリーンルームにおいて、処理装置Ｍの内部空間ＭＳ、搬送室３の内部空間３Ｓ及びドア開閉装置２上に載置される収納容器４の内部空間４Ｓは高清浄度に維持される。一方、ドア開閉装置２を配置した空間、換言すれば処理装置Ｍ外、ＥＦＥＭ１外は比較的低清浄度となる。なお、図１は、ドア開閉装置２及び搬送室３の相対位置関係、及びこれらドア開閉装置２及び搬送室３を備えたＥＦＥＭ１と、処理装置Ｍとの相対位置関係を模式的に示した側面図である。

処理装置Ｍは、相対的に搬送室３に近い位置に配置したロードロック室と、相対的に搬送室３から遠い位置に配置した処理装置本体とを備えたものである。本実施形態では、図１に示すように、ＥＦＥＭ１の前後方向Ｄにおいてドア開閉装置２、搬送室３、処理装置Ｍをこの順で相互に密接させて配置している。なお、処理装置Ｍの作動は、処理装置Ｍののコントローラ（図１に示す制御部ＭＣ）によって制御される。ここで、処理装置Ｍ全体のコントローラである制御部ＭＣや、ＥＦＥＭ１全体のコントローラである制御部３Ｃは、ドア開閉装置２の制御部２Ｃの上位コントローラである。

搬送室３は、被搬送物であるウェーハＷを収納容器４と処理装置Ｍとの間で搬送可能な搬送ロボット３１を内部空間３Ｓに設けている。搬送ロボット３１は、例えば複数のリンク要素を相互に水平旋回可能に連結し、先端部に被搬送物把持部（ハンド３１１）を設けたアームと、アームの基端部を構成するアームベースを旋回可能に支持し且つ搬送室３の幅方向（ドア開閉装置２の並列方向）に走行する走行部とを備えたものである。搬送ロボット３１は、アーム長が最小になる折畳状態と、アーム長が折畳状態時よりも長くなる伸長状態との間で形状が変わるリンク構造（多関節構造）を有する。アームの先端に、複数のハンド３１１を高さ方向に多段状に設けた搬送ロボット３１を適用することができる。本実施形態では、アーム先端に、２つのハンド３１１を高さ方向（上下方向Ｈ）に所定ピッチ離間させて平行に設けたいわゆるツーハンドタイプの搬送ロボット３１を適用している。各ハンド３１１の作動は、個別に制御可能である。

搬送室３の側面にバッファステーション、アライナの何れか一方または両方を配置したＥＦＥＭ１を構成することも可能である。搬送室３は、ドア開閉装置２及び処理装置Ｍが接続されることによって、内部空間３Ｓが略密閉された状態となるように構成している。搬送室３の内部空間３Ｓには、上方から下方に向かう気流であるダウンフローを形成している。したがって、搬送室３の内部空間３ＳにウェーハＷの表面を汚染するパーティクルが存在した場合であっても、ダウンフローによってパーティクルを下方に押し下げ、搬送中のウェーハＷの表面へのパーティクルの付着を抑制することが可能となる。図１には、ダウンフローを形成している搬送室３内の気体の流れを矢印で模式的に示している。

本実施形態では、収納容器４としてＦＯＵＰを適用している。本実施形態における収納容器４は、前面（フレーム２１側の面）に形成した搬出入口４１を通じて内部空間４Ｓを前方にのみ開放可能な収納容器本体４２と、搬出入口４１を開閉可能な蓋部４３を備えている。収納容器４は、内部に複数枚の被搬送物であるウェーハＷを上下方向Ｈに多段状に収容し、搬出入口４１を介してこれらウェーハＷを出し入れ可能に構成された既知のものである。

収納容器本体４２は、背壁、左右一対の側壁、上壁及び底壁を一体に有し、これら各壁によって囲まれる内部空間４Ｓに被搬送物Ｗを複数段所定ピッチで載せることが可能な棚部４２１（ウェーハ載置部）を備えたものである。収納容器本体４２を構成する各壁同士の境界部分は緩やかな湾曲形状をなす。また、上壁における上向面の中央部に、収納容器搬送装置（例えばＯＨＴ：Over Head Transport）等に把持されるフランジ部を設けている。

蓋部４３は、ドア開閉装置２の載置台２３に載置された状態においてドア開閉装置２のドア部２２と対面するものであり、概略板状をなす。蓋部４３の高さ寸法は、ドア部２２のうち蓋部４３に密着し得る面の高さ寸法と略等しく設定されている。なお、図５等では、ドア部２２のうち蓋部４３に密着し得る面の高さ寸法よりも僅かに大きい高さ寸法に設定された蓋部４３を模式的に示している。蓋部４３には、この蓋部４３を収納容器本体４２にロックし得るラッチ部を設けている。そして、図９（ドア開閉装置２のフレーム２１に密着させた収納容器４の所定高さ位置における平断面を模式的に示す図である）に示すように、この蓋部４３のうち収納容器本体４２の内部空間４Ｓに面する内向き面４３１に、被搬送物Ｗのエッジを保持可能なリテーナ４４を設けている。なお、同図では、断面部分を示すべきハッチングを省略している。

本実施形態では、被搬送物Ｗのエッジを左右一対のリテーナ４４で保持し得るように構成している。左右一対のリテーナ４４を、収納容器４内に収納可能な被搬送物Ｗの枚数（段数）と同数組蓋部４３に設け、棚部４２１に載置される被搬送物Ｗをそれぞれ１組のリテーナ４４によって１枚ずつ保持できるように設定している。また、本実施形態の蓋部４３は、内向き面４３１のうち、この蓋部４３で搬出入口４１を閉止した状態において被搬送物Ｗと対面する部分に、他の部分よりも窪ませた平面視部分円弧状の凹部４３２を形成している。具体的には、蓋部４３の内向き面４３１のうち、この蓋部４３で搬出入口４１を閉止した状態において収納容器４内の最上段の被搬送物Ｗよりも高い所定の位置から最下段の被搬送物Ｗよりも低い所定の位置に亘って凹部４３１を形成し、内向き面４３１の上端部及び下端部には凹部４３１を形成していない。このような凹部４３１を蓋部４３の内向き面４３１形成することにより、厳格な規格に則って製作された収納容器４の限られた内部空間４Ｓに大径の被搬送物Ｗを収納した場合であっても蓋部４３と被搬送物Ｗとの接触・干渉が生じないように構成している。

本実施形態では、蓋部４３の内向き面４３１のうち幅方向中央部分を含む所定領域に凹部４３２を形成している。リテーナ４４は、凹部４３２に設けられている。また、本実施形態における蓋部４３は、内向き面４３１のうち搬出入口４１を閉止した状態において収納容器本体４２に接触または近接する所定の部分（図示例では内向き面４３１の両サイド）にガスケット４３３を設けている。ガスケット４３３が、蓋部４３の内向き面４３１よりも優先して収納容器本体４２に接触して弾性変形することで、収納容器４の内部空間４Ｓを完全密閉できる。

各リテーナ４４は、弾性を有し、蓋部４３の内向き面４３１から内方（蓋部４３の内向き面４３１から離間する方向）に向かって突出した形状をなす。また、本実施形態では、対をなすリテーナ４４の先端部（突出端部）同士が内方に向かって漸次離間する方向に延びる形状に設定したリテーナ４４を適用している。各リテーナ４４の先端部のうち被搬送物Ｗのエッジに直接接する部分には保持溝（図示省略）を設けている。なお、被搬送物Ｗが、エッジにノッチ等の位置合わせ用切欠部（図示省略）が形成されたウェーハである場合には、被搬送物Ｗを保持していない非保持状態におけるリテーナ４４先端部同士の離間寸法を、位置合わせ用切欠部（図示省略）の開口幅よりも大きく設定することが好ましい。

このようなリテーナ４４は、蓋部４３を収納容器本体４２から取り外した状態で、被搬送物Ｗのエッジを保持しない図１０に示す非保持状態になる。一方、蓋部４３を収納容器本体４２に取り付けた際には、リテーナ４４が、収納容器４内に収容した被搬送物Ｗのエッジと接触し、保持溝に被搬送物Ｗのエッジを収容しつつ全体的に弾性変形しながら先端部を蓋部４３の内向き面４３１に漸次近付ける方向に移動する。このように、各リテーナ４４は、被搬送物Ｗのエッジを保持する保持状態と非保持状態との間で弾性変形しながら先端部を位置変更（移動）させるものである。なお、対をなすリテーナ４４がそれぞれ保持状態及び非保持状態の何れの状態にある場合でも、各リテーナ４４の先端部同士は干渉しないように設定している。リテーナ４４は、蓋部４３に一体又は一体的に設けられたものでもよいが、蓋部４３に着脱可能に設けたものであれば、損傷した場合等には該当するリテーナ４４だけを交換するだけで対応することができる。さらに、一枚のウェーハを１個又は３個以上のリテーナ４４で保持する態様であってもよい。リテーナ４４の形状も適宜変更することも可能である。このような、収納容器４内に収納されたウェーハＷを蓋部４３の内向き面４３１側から弾性変形しながら保持してウェーハ押さえとして機能するリテーナ４４を蓋部４３の内向き面４３１に設けることにより、収納容器４内における各被搬送物Ｗの収納位置を位置決めするとともに、薄く脆弱なウェーハ等の被搬送物Ｗの損傷を防止することができる。

本実施形態における収納容器４は、収納容器本体４２の搬出入口４１を蓋部４３で完全密閉した状態で、蓋部４３の外向き面４３４が収納容器本体４２の前面４２Ｂと面一になるように設定している。

本実施形態に係るドア開閉装置２は、制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えることで所定の動作を実行する。なお、本実施形態では、ドア開閉装置２が有する制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えるように構成している。制御部２Ｃは、記憶部と、ＲＯＭと、ＲＡＭと、Ｉ／Ｏポートと、ＣＰＵと、外部の表示装置（不図示）等との間でのデータの入出力を行う入出力インタフェース（ＩＦ）と、これらを相互に接続して各部の間で情報を伝達するバスとを備えた構成を有する。

記憶部には、このドア開閉装置２で実行される処理の種類に応じて、制御手順が記憶されている。つまり、この記憶部には、装置各部の所定の動作プログラムが格納されている。このように、本実施形態におけるプログラムは、非一時的なコンピュータ読取可能な記録媒体（ハードディスク等）に実行可能なプログラムとして格納されているものである。

ＲＯＭは、ハードディスク、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュメモリなどから構成され、ＣＰＵの動作プログラムなどを記憶する記録媒体である。ＲＡＭは、ＣＰＵのワークエリアなどとして機能する。Ｉ／Ｏポートは、例えば、ＣＰＵが出力する制御信号を装置の各部へ出力したり、センサからの情報をＣＰＵに供給する。

ＣＰＵは、制御部２Ｃの中枢を構成し、ＲＯＭに記憶された動作プログラムを実行する。ＣＰＵは、記憶部に記憶されているプログラムに沿ってドア開閉装置の動作を制御する。記憶部に記憶されているプログラム内容は、ドア開閉装置２を備えたＥＦＥＭ１の使用方法及び作用と併せて、ＥＦＥＭ１の動作フローを示す図１３及び図１４等を参照しながら説明する。

先ず、搬送室３のうちドア開閉装置２を配置した共通の壁面３Ａに沿って延伸する直線上の搬送ライン（動線）で作動するＯＨＴ等の収納容器搬送装置により収納容器４がドア開閉装置２の上方まで搬送され、載置台２３上に載置される。この際、例えば載置台２３に設けた位置決め用突起２３１が収納容器４の位置決め用凹部に嵌まる。また、制御部２Ｃが、載置台２３上のロック爪２３２をロック状態にする（ロック処理Ｓｔ１）。具体的には、収納容器４の底面に設けた被ロック部（図示省略）に対して、載置台２３上のロック爪２３２を引っ掛けて固定することでロック状態になる。これにより、収納容器４を載置台２３上の所定の正規位置に載置して固定することができる。

本実施形態では、搬送室３の幅方向に３台並べて配置したドア開閉装置２の載置台２３にそれぞれ収納容器４を載置することができる。また、収納容器４が載置台２３上に所定の位置に載置されているか否かを検出する着座センサ（図示省略）により収納容器４が載置台２３上の正規位置に載置されたことを検出するように構成することもできる。

次いで、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、図５に示す位置にある載置台２３を図６に示す位置までフレーム２１に向かって前進させて、フレーム２１のうち開口２１ａの周縁における最も収納容器本体４２に近いフレーム最背面２１Ａに収納容器４の前面（具体的には収納容器本体４２の前面４２Ｂ）を接触させる（ドッキング処理Ｓｔ２）。引き続き、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、連結機構２２１を蓋連結状態に切り替える（蓋連結処理Ｓｔ３）。この処理により、予め全閉位置（Ｃ）で待機させているドア部２２に蓋部４３を連結機構２２１で連結して密着状態で保持することができる。また、収納容器本体４２から蓋部４３を取り外し可能な状態になる。

本実施形態のドア開閉装置２では、載置台２３上の正規位置に収納容器４が載置された時点で、制御部２Ｃが、載置台２３に設けた例えば加圧センサの被押圧部を収納容器４のうち底面部が押圧したことを検出する。これをきっかけに、制御部２Ｃが、載置台２３に設けたボトムパージ注入用ノズル２６１及びボトムパージ排出用ノズル２６１を載置台２３の上面よりも上方へ進出させる駆動命令（信号）を与える。その結果、これら各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）を収納容器４の注入口と排出口にそれぞれ連結し、パージ処理を実行可能な状態になる。

そして、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが駆動命令を発して、収納容器４の内部空間４Ｓに対してパージ処理（収納容器内パージ処理Ｓｔ４）を実行する。このパージ処理Ｓｔ４は、注入口を介してボトムパージ注入用ノズル２６１から収納容器４の内部空間４Ｓに所定の環境ガスを供給し、それまで収納容器４の内部空間４Ｓに滞留していた気体を、排出口を介してボトムパージ排出用ノズル２６１から排出する処理である。このパージ処理によって、収納容器４の内部空間４Ｓを環境ガスで満たして、収納容器４内の水分濃度及び酸素濃度をそれぞれ所定値以下にまで短時間で低下させて収納容器４内における被搬送物Ｗの周囲環境を低湿度環境及び低酸素環境にする。

なお、載置台２３上に載置されるよりも前の時点で予めパージ処理が施されている収納容器４を適用することが可能である。ドア開閉装置２の載置台２３上に載置されるよりも前の時点で予め施されるパージ処理のタイミングの具体例としては、複数の収納容器が保管可能な保管庫に保管されている時点、ドア開閉装置２とは別の専用パージステーション上に載置されている時点、他の被搬送物製造装置における製造工程中の適宜の時点乃至製造完了後の適宜の時点を挙げることができる。載置台２３上に載置されるよりも前の時点で予めパージ処理が施されている収納容器４に対しては、上述の収納容器内パージ処理Ｓｔ４を実行してもよいし、収納容器内パージ処理Ｓｔ４を実行しないという選択も可能である。載置台２３上に載置されるよりも前の時点で予めパージ処理が施されている収納容器４に対しても上述の収納容器内パージ処理Ｓｔ４を実行するメリットは以下の点である。すなわち、載置台２３上に載置されるよりも前の時点で予めパージ処理が施されている収納容器４であっても、収納容器４内から環境ガスが僅かながらも漏れることがあり、載置台２３上に載置されるよりも前の時点でのパージ処理が完了した時点から時間が経つほど収納容器４内の水分濃度及び酸素濃度が上昇する。そこで、収納容器内パージ処理Ｓｔ４を実行することにより、収納容器４内の水分濃度及び酸素濃度を低下させて、収納容器４内を高清浄度の気体雰囲気に置換することができる。

引き続いて、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、ドア移動機構２７によりドア部２２を全閉位置（Ｏ）から所定距離前方（搬送室３側）に移動させて、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１を開放して、収納容器４内の密閉状態を解除する処理（収納容器密閉解除処理Ｓｔ５）を実行する。具体的には、制御部２Ｃが、図７及び図８に示すように、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から搬送室３側に向かって上述の水平経路に沿って所定距離移動させる。さらに、制御部２Ｃが、図７及び図８に示すように、上述の移動方向切替位置（Ｐ）に到達したドア部２２を上述の鉛直経路に沿って所定距離降下させて全開位置（Ｏ）に位置付ける。その結果、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１の閉止状態が解除されて、収納容器４の内部空間４Ｓは、開口２１ａを通じて前方（搬送室３側）に開放された密閉解除状態になる。

そして、収納容器本体４２の内部空間４Ｓと搬送室３の内部空間３Ｓとを連通させた状態で、搬送室３の内部空間３Ｓに設けた搬送ロボット３１が収納容器４内にアクセスして、被搬送物Ｗに対する搬送処理を実施する（搬送処理Ｓｔ６）。なお、ドア開閉装置２またはＥＦＥＭ１の何れか一方にドア部２２の移動を検知する例えば光学式のドア検知センサを設け、搬送処理Ｓｔ６を実施する前に、ドア部２２が全閉位置（Ｃ）に位置付けられていないこと、つまり、収納容器４の内部空間４Ｓに対する搬送ロボット３１のアクセスが可能な状態であることを検知する処理（ドア開放検知処理）を経るように構成することもできる。ドア開放検知処理として、ドア検知センサを利用した検知処理ではなく、ドア移動機構２７によるドア部２２の昇降距離を検知することで、ドア部２２が全閉位置（Ｃ）に位置付けられていないこと、つまり収納容器４の内部空間４Ｓに対する搬送ロボット３１のアクセスが可能な状態であることを検知する処理を採用してもよい。

ここで、本実施形態では、２つのハンド３１１を有する搬送ロボット３１を適用しているため、収納容器４に対する搬送ロボット３１の１回のアクセスによって、最大で２枚の被搬送物Ｗを搬送することができる。具体的に、本実施形態の搬送ロボット３２は、収納容器４に対する１回のアクセスによって２枚の被搬送物Ｗを搬送する場合、搬送処理Ｓｔ６において実施可能な搬送処理内容は以下の通りである。

第１の処理内容は、搬送ロボット３１は、２つのハンド３１１のうち一方のハンド（第１ハンド）で収納容器４内の被搬送物Ｗを取り出した後に、他方のハンド（第２ハンド）で収納容器４内の被搬送物Ｗを取り出す処理である。第２の処理内容は、第１ハンドで収納容器４内の被搬送物Ｗを取り出した後に、製造装置Ｍによる適宜の処理を終えた処理済みの被搬送物Ｗを第２ハンドで収納容器４内に入れる処理である。第３の処理内容は、処理済みの被搬送物Ｗを第１ハンドで収納容器４内に入れた後に、第２ハンドで収納容器４内の被搬送物Ｗを取り出す処理である。第４の処理内容は、処理済みの被搬送物Ｗを第１ハンドで収納容器４内に入れた後に、処理済みの被搬送物Ｗを第２ハンドで収納容器４内に入れる処理である。搬送ロボット３１は、これらの処理内容から適宜選択される処理を実行する。なお、収納容器４に対する１回のアクセスで第１ハンドが搬送する被搬送物Ｗと第２ハンドが搬送する被搬送物Ｗは、収納容器４内において高さ方向Ｈに１段違いに収容されているもの、または収納容器４内において高さ方向Ｈに１段違いに収容されるものであることが好ましい。なお、複数のハンドを有する搬送ロボット３１を適用している場合であっても、収納容器４に対する搬送ロボット３１の１回のアクセスによってハンドの数より少ない枚数（本実施形態であれば１枚）の被搬送物Ｗを搬送する処理を選択することも可能である。

例えば搬送処理Ｓｔ６によって収納容器４内の被搬送物Ｗを搬送室３内に搬送した場合、搬送室３内に搬送された被搬送物Ｗは、搬送路ロボット３１によって処理装置Ｍ（具体的にはロードロック室）に搬送されたり、バッファステーション又はアライナに搬送される。

そして、本実施形態に係るドア開閉装置２では、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが１回終了する毎に、制御部２Ｃが、ドア移動機構２７によってドア部２２を全開位置（Ｏ）から図１１に示す所定の中間停止位置（Ｈ）にまで移動させる処理（ドア中間停止処理Ｓｔ７）を実行する。本実施形態では、搬送ロボット３１が収納容器４内にアクセスして被搬送物Ｗの搬送処理を実行する前に、収納容器密閉解除処理によって、ドア部２２を全開位置（Ｏ）に位置付けるため、このドア部２２を中間停止位置（Ｈ）まで移動させる処理（ドア中間停止処理Ｓｔ７）は、以下の通りである。つまり、ドア移動機構２７によって、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から鉛直経路に沿って上方へ移動させ、上述の移動方向切替位置（Ｐ）に到達したドア部２２を水平経路に沿って収納容器本体４２に向かって所定距離移動させる処理によって、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）まで移動させることができる。

このようなドア移動機構２７によってドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に移動させて停止する処理は、ドア部２２自体の移動量の数値化によりパラメータ制御することで実現している。なお、ドア移動機構２７によってドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に移動させて停止する処理を、ストッパなどのパーツを用いて機械的（メカニック的）に行うようにしてもよい。

ここで、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが１回終了して、そのアクセスによる搬送処理を終えた時点以降に、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させるタイミングは、ドア部２２や蓋部４３と搬送ロボット３１が相互に干渉しないタイミングであればよい。つまり、ドア部２２や蓋部４３と搬送ロボット３１が相互に干渉しないタイミングであれば、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが完了した直後にドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に移動させてもよい。また、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが完了した直後にドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させれば、ドア部２２や蓋部４３と搬送ロボット３１が相互に干渉してしまう構成の場合には、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが完了した直後の時点から所定時間経過後に、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させるように設定すればよい。

そして、本実施形態では、収納容器４に対する搬送ロボット３１の１回のアクセスが完了してから、収納容器４に対する搬送ロボット３１の次のアクセスを実行する直前までドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させるように構成している。

中間停止位置（Ｈ）は、全閉位置（Ｃ）よりも前方であって、且つ蓋部４３の内向き面４３１のうち収納容器本体４２の背面４２Ａに最も近い最後方内向き面４３Ａが、フレーム２１のフレーム最前面２１Ｂよりも後方（収納容器４の背面４１Ａ側）に進入した位置となる所定の位置である。フレーム２１のフレーム最前面２１Ｂは、フレーム２１のうち開口２１ａの周縁において収納容器本体４２から最も遠い面である。左右一対の支柱２１１と、これら支柱２１１により支持されたフレーム本体２１２とを備えたフレーム２１を適用している本実施形態において、「フレーム２１のうち開口２１ａの周縁において収納容器本体４２から最も遠いフレーム最前面２１Ｂ」は、フレーム本体２１２の前面と同義である。つまり、フレーム最前面２１Ｂは、開口２１ａのうち最前方の開口縁（開口前縁）の前後方向Ｄの位置を規定する面であると捉えることができる。

本実施形態では、図１１に示すように、蓋部４３の最後方内向き面４３Ａ全体がフレーム最前面２１Ｂよりも後方に進入した位置であって且つリテーナ４４の弾性が作用しない位置（リテーナ４４が非保持状態を維持可能な位置）を中間停止位置（Ｈ）に設定している。具体的には、蓋部４３の最後方内向き面４３Ａ全体が、フレーム最背面２１Ａ及び収納容器本体前面４２Ｂよりも後方に進入した位置となるドア部２２の位置であって且つリテーナ４４の弾性が作用しないドア部２２の位置を中間停止位置（Ｈ）に設定している。より具体的には、蓋部４３の最後方内向き面４３Ａ全体が、収納容器本体前面４２Ｂよりも後方に進入し、収納容器本体４３の前端部に形成された搬出入口４１の前後方向Ｄの距離の半分に達する位置または略半分に達する位置となるドア部２２の位置であって、且つリテーナ４４の弾性が作用しないドア部２２の位置を中間停止位置（Ｈ）に設定している。リテーナ４４の弾性が作用しない範囲であれば、蓋部４３の最後方内向き面４３Ａが搬出入口４１の前後方向Ｄの距離の半分よりもさらに後方の位置に達するドア部２２の位置を中間停止位置に設定することができる。また、蓋部４３の最後方内向き面４３Ａ全体が、収納容器本体前面４２Ｂよりも後方に進入しつつ、搬出入口４１の前後方向Ｄの距離の半分の位置よりも前方となるドア部２２の位置を中間停止位置に設定することも可能である。本実施形態では、蓋部４３の内向き面４３１に凹部４３２を形成した収納容器４を採用している。この場合、凹部４３２は、蓋部４３の内向き面４３１のうち凹部４３２を形成していない部分よりも収納容器本体４２の背面４２Ａから遠い部分（面）である。したがって、凹部４３２は、最後方内向き面４３Ａに該当しない。また、本実施形態におけるリテーナ４４は、弾性が作用していない状態（非保持状態）において、その全体（収納容器本体４２の背面４２Ａに最も近いリテーナ先端部を含めたリテーナ全体）が、凹部４３２の窪み領域内に収まる形状・寸法を有している。

なお、非保持状態において一部が凹部４３２の窪み領域からはみ出る形状・寸法を有するリテーナを適用することも可能である。この場合であっても、リテーナ自体は「内向き面」に該当しないため、リテーナの一部または全部が「蓋部の最後方内向き面」に相当する面として作用することはない。本実施形態では、図１１に示すように、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に位置付けた場合、同図おいて実線で示す仮収納位置にある被搬送物Ｗのうち前方側のエッジ部分が凹部４３２の窪み領域に収容されるように設定している。また、図１１に示すように、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に位置付けた場合、同図おいて想像線（二点鎖線）で示す正規の収納位置にある被搬送物Ｗのうち前方側のエッジ部分が凹部４３２の窪み領域に収容されない。図１１から把握できるように、本実施形態では、収納容器４内に収納されている被搬送物Ｗのエッジにリテーナ４４が接近するドア部２２の位置であって且つリテーナ４４の弾性が作用しないドア部２２の位置を中間停止位置（Ｈ）に設定している。

本実施形態に係るドア開閉装置２では、収納容器４に対する搬送ロボット３１の次のアクセスを実行する場合（図１３におけるＳｔ８；Ｙｅｓ）、制御部２Ｃが、収納容器４に対する搬送ロボット３１の次のアクセスを実行する前の時点でドア部２２を中間停止位置（Ｈ）から全開位置（Ｏ）に移動させる（ドア全開処理Ｓｔ９）。このドア全開処理Ｓｔ９の後、収納容器４に対する搬送ロボット３１の次のアクセスを実行して搬送処理Ｓｔ６を行う。

そして、本実施形態に係るドア開閉装置２では、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが実行されて１回の搬送処理を終了するごとに、収納容器４に対する搬送ロボット３１の次のアクセスを実行するか否かの指令が下される。そして、収納容器４に対する搬送ロボット３１の次のアクセスを実行する場合（図１３におけるＳｔ８；Ｙｅｓ）、上述のドア全開処理Ｓｔ９及び搬送処理Ｓｔ６をこの順で実行し、次に収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスを実行する直前までドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させる（ドア中間停止処理Ｓｔ７）。このように、本実施形態のドア開閉装置２は、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが１回終了するごとにドア中間停止処理Ｓｔ７を実行する構成に特徴を有する。

以上の処理工程を経る本実施形態では、収納容器４内の被搬送物Ｗの搬送処理Ｓｔ６が開始されてから後、全ての被搬送物Ｗの搬送処理が終了するまでの間、ドア部２２を全開位置（Ｏ）に待機させ続ける態様と比較して、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが１回終了するごとにドア部２２を中間停止位置（Ｈ）で待機させ、このドア部２２が保持する蓋部４３で、収納容器４の内部空間４Ｓの前方への開放領域を制限することが可能である。その結果、収納容器４の内部空間４Ｓに収容されている被搬送物Ｗの周囲雰囲気を所定の低水分濃度及び低酸素濃度に保つことが可能になる。なお、収納容器４内の水分濃度及び酸素濃度が高いということは、収納容器４内のパージ濃度が低いことを意味する。

ここで、図１５及び図１６を参照しながら、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度の変化について説明する。収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）に位置付けた状態でパージ処理を開始する時点ｔ１までは高い値になっている。そして、パージ処理開始後から所定時間経過時点ｔ２で、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度はゼロ乃至略ゼロになる。ドア部２２を全閉位置（Ｃ）に位置付けた状態でパージ処理を継続することで、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度はゼロ乃至略ゼロに維持することができる。そして、図１５に示すように、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から全開位置（Ｏ）に移動させ始めた時点ｔ３以降、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度が一気に上昇する。ドア部２２を全開位置（Ｏ）に待機させ続けて所定時間が経過した時点ｔＡで、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度の上昇傾向は停止し、その時点ｔＡ以降、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は高い数値のままになる。つまり、収納容器４内は好ましくない高水分濃度状態に維持される。同図には、ドア部２２を全開位置（Ｏ）に待機させ続けた場合における収納容器４内の水分濃度の最高値（全開位置待機状態の最高値）を二点鎖線で示す。

また、図１５には、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させて、中間停止位置（Ｈ）に待機させ続けた場合における収納容器４内の水分濃度の変化を相対的に太い実線で示す。この場合、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させ始めた時点ｔ３以降、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度が上昇する。しかしながら、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させて、その中間停止位置（Ｈ）に待機させ続けると、所定時間が経過した時点ｔＡで、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度の上昇傾向は停止する。そして、その時点ｔＡ以降、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は、同図に二点鎖線で示す全開位置待機状態の最高値よりも低い数値に維持される。つまり、収納容器４内は良好な低水分濃度状態に維持される。ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させ続けた場合は、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）に位置付けた場合と異なり、収納容器４の内部空間４Ｓは密閉状態ではない。したがって、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させ続けた場合における収納容器４内の水分濃度の最高値（中間停止位置待機状態の最高値）が、ゼロを示すことはない。同図には、中間停止位置待機状態の最高値を一点鎖線で示す。

本実施形態では、上述のように、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）に位置付けた状態で載置台２３上の収納容器４内にパージ処理を施す。そして、パージ処理が施された収納容器４内に対する搬送ロボット３１の最初のアクセスを開始する前に、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から全開位置（Ｏ）に移動させる。ここまでは従来と同様の処理手順であるが、本実施形態では、上述したように、収納容器４に対する搬送ロボット３１の１回のアクセスが終了するごとにドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させて待機させる構成を採用している。この場合、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は、図１６のような変化を示す。

つまり、パージ処理が施された収納容器４内に対する搬送ロボット３１の最初のアクセスを開始する直前に、収納容器密閉解除処理Ｓｔ５によってドア部２２を全閉位置（Ｃ）から全開位置（Ｏ）に移動させると、その時点（ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から全開位置（Ｏ）に移動させ始めた時点）ｔ３以降、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は上昇する。しかしながら、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが１回終了した後に、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に位置付け、次に収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスを実行する直前までドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させる処理（ドア中間停止待機処理Ｓｔ７）を実行することで、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度の上昇は停止する。すなわち、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ４で、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度の上昇は停止する。

ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から全開位置（Ｏ）に移動させ始めた時点ｔ３より、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ４までの時間（式「ｔ４−ｔ３」で把握可能な時間）を所定時間よりも短く設定すれば、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ４以降における収納容器４内の水分濃度の最高値は、図１５及び図１６において二点鎖線で示す全開位置待機状態の最高値まで上昇することなく、全開位置待機状態の最高値よりも低い値になる。

そして、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが終了してから次に収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスを実行する直前までの間、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させるドア中間停止処置Ｓｔ７を実行することで、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は低下する。ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ４以降、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させて所定時間が経過した時点ｔ５で、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は、図１５及び図１６において一点鎖線で示す中間停止位置待機状態の最高値と同じ値になる。さらにドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させ続けることで、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は、中間停止位置待機状態の最高値と同じ値に維持される。つまり、収納容器４内は良好な低水分濃度状態に維持される。

なお、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から全開位置（Ｏ）に移動させ始めた時点ｔ３より、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ４までの時間を所定時間よりも長く設定した場合、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から全開位置（Ｏ）に移動させ始めた時点ｔ３以降に上昇する収納容器４内の水分濃度の最高値が、全開位置待機状態の最高値と同じ値になることが予想される。しかしながら、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点以降、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させることで、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は低下する。そして、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点以降、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させて所定時間が経過した時点で、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は、上述した中間停止位置待機状態の最高値と同じ値になることが予想される。さらに、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させ続けることで、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は、中間停止位置待機状態の最高値と同じ値に維持される点は、上述の通りである。

本実施形態では、収納容器４に対する搬送ロボット３１の次のアクセスを開始する前に、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）から全開位置（Ｏ）に移動させるように構成している（ドア全開処理Ｓｔ９）。ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）から全開位置（Ｏ）に移動させ始めた時点ｔ６で、収納容器４の内部空間４Ｓの水分濃度は再上昇する。しかし、収納容器４に対する搬送ロボット３１の次のアクセスが終了してから、その次に収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが実行される直前まで、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させることで、収納容器４の内部空間４Ｓの水分濃度が再上昇し続けることを防止できる。つまり、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ７以降、収納容器４の内部空間４Ｓの水分濃度は上昇せずに低下する。そして、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ７以降、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させて所定時間が経過した時点ｔ８で、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は、上述した中間停止位置待機状態の最高値と同じ値になる。さらにドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させ続けることで、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は、中間停止位置待機状態の最低値と同じ値に維持される。

なお、収納容器４の内部空間４Ｓにおける酸素濃度の変化も、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度と同じ又は水分濃度に準じた変化を示す。

このように本実施形態に係るドア開閉装置２では、収納容器４内の被搬送物Ｗの搬送処理が開始されてから後、全ての被搬送物Ｗの搬送処理が終了するまでの間、ドア部２２を全開位置（Ｏ）に待機させ続ける態様と比較して、収納容器４の内部空間４Ｓが長時間に亘って高水分濃度及び高酸素濃度に陥ってしまう事態を回避することができ、収納容器４の内部空間４Ｓを低水分濃度及び低酸素濃度に保つことができる。

また、本実施形態に係るドア開閉装置２では、中間停止位置（Ｈ）で待機させたドア部２２が保持する蓋部４３の最後方内向き面４３Ａが、フレーム２１に形成した開口２１ａを越えて収納容器４の内部空間４Ｓに接近する位置に位置付けられるように設定している。その結果、収納容器本体４２のうち密閉状態であれば蓋部４３が密着する部分と、中間停止位置（Ｈ）で待機させたドア部２２が保持する蓋部４３との前後方向Ｄの間隙の狭小化を図ることができる。

ここで、搬送ロボット３１を用いて被搬送物Ｗを収納容器４内に入れた時点における被搬送物Ｗの位置について説明する。搬送ロボット３１を用いて被搬送物Ｗを収納容器４内に入れた時点において、被搬送物Ｗは、収納容器４内の棚部４２１に載置されるものの、図１０に示すように、棚部４２１上における正規の収納位置よりも例えば２ｍｍ乃至３ｍｍ程度僅かに前方（収納容器本体４２の背面４２Ａから離間する方向）に寄った位置（仮収納位置）に載置される。図１０では、仮収納位置にある被搬送物Ｗを実線で示し、正規の収納位置にある被収納物Ｗを想像線（二点鎖線）で示している。図１１に示すように、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に位置付けた場合にも、棚部４２１上における被搬送物Ｗは移動することなく、仮収納位置に留まる。図１１においても仮収納位置にある被搬送物Ｗを実線で示し、正規の収納位置にある被収納物Ｗを想像線（二点鎖線）で示している。

このような棚部４２１上の仮収納位置に載置された被搬送物Ｗに対して、本実施形態に係るドア開閉装置２は、全閉位置（Ｃ）にないドア部２２を全閉位置（Ｃ）に移動させる過程で、収納容器４内における被搬送物Ｗの収納位置を位置決めできるように構成している。すなわち、収納容器４の内部空間４Ｓを密閉していない状態から蓋部４３で収納容器４の内部空間４Ｓを完全密閉する状態に移行すると、蓋部４３の内向き面４３１に設けたリテーナ４４が被搬送物Ｗのエッジに当たって弾性変形することで、被搬送物Ｗを棚部４２１上における正規の収納位置まで移動させて、収納容器４内における被搬送物Ｗの収納位置を位置決めできる。

本実施形態に係るドア開閉装置２では、収納容器４内の被搬送物Ｗが全て処理装置Ｍによる処理工程を終えたものになると、制御部２Ｃが、次の搬送処理を実行しない場合（図１３におけるＳｔ８；Ｎｏ）の処理を実行する。つまり、制御部２Ｃが、ドア移動機構２７によりドア部２２を全閉位置（Ｃ）に移動させて、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１を閉止して、収納容器４の内部空間４Ｓを密閉する処理（収納容器密閉処理Ｓｔ１０、図１４参照）を実行する。具体的には、制御部２Ｃが、図７及び図８に示すように、ドア部２２を上述の鉛直経路に沿って所定距離上昇させて全開位置（Ｏ）から移動方向切替位置（Ｐ）まで移動させる。続いて、制御部２Ｃが、移動方向切替位置（Ｐ）に到達したドア部２２を搬送室３から離間する方向（後方）に向かって上述の水平経路に沿って所定距離移動させる。その結果、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１は閉止されて、収納容器４の内部空間４Ｓは密閉状態になる。

この収納容器密閉処理Ｓｔ１０に伴って、図１２に示すように、蓋部４３の内向き面４３１に設けたリテーナ４４が、弾性変形しながら被搬送物Ｗのエッジを保持し、収納容器４に収納されている全ての被搬送物Ｗを棚部４２１上における仮収納位置から正規の収納位置に移動させて位置決めすることができる。図１２では、正規の収納位置にある被搬送物Ｗを実線で示し、仮収納位置にある被収納物Ｗを想像線（二点鎖線）で示している。なお、本実施形態における上述の収納容器内パージ処理Ｓｔ４は、収納容器密閉処理Ｓｔ１０の完了時点まで継続して行うことが可能である。収納容器内パージ処理Ｓｔ４に要する環境ガスの使用量削減及び使用時間の短縮化を図るために、収納容器密閉処理Ｓｔ１０が完了するよりも前の適宜の時点で、収納容器内パージ処理Ｓｔ４を終了または一時的に停止するように構成することもできる。

収納容器密閉処理Ｓｔ１０に続いて、本実施形態に係るドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、連結機構２２１を蓋連結状態から蓋連結解除状態に切り替える（蓋連結解除処理Ｓｔ１１）。この処理により、ドア部２２と蓋部４３の連結状態を解除して、収納容器本体４２に蓋部４３を取り付けることができる。次いで、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、載置台２３をフレーム２１から離間する方向に後退させる（ドッキング解除処理Ｓｔ１２）。また、制御部２Ｃが、載置台２３上のロック爪２３２で収納容器４をロックしている状態を解除する（ロック解除処理Ｓｔ１３）。具体的には、収納容器４の底面に設けた被ロック部に対するロック爪２３２のロック状態を解除する。これにより、所定の処理を終えた被搬送物Ｗを格納した収納容器４は、各ドア開閉装置２の載置台２３上から収納容器搬送装置に引き渡され、次工程へと運び出される。

以上のように、本実施形態に係るドア開閉装置２は、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが１回終了するごとに、次に収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスを実行する直前までの間、ドア部２２を、全閉位置（Ｃ）よりも前方であって、且つ蓋部４３の最後方内向き面４３Ａがフレーム最前面２１Ｂよりも後方に進入した位置となる所定の中間停止位置（Ｈ）で待機させるように構成したものである。

このように構成しているため、本実施形態に係るドア開閉装置２によれば、中間停止位置（Ｈ）で待機中のドア部２２が保持する蓋部４３で、収納容器４の内部空間４Ｓを前後方向Ｄに遮蔽することができる。特に、中間停止位置（Ｈ）で待機させたドア部２２が保持する蓋部４３の最後方内向き面４３Ａを、フレーム２１に形成した開口２１ａの開口前縁よりも後方に位置付けることで、蓋部４３及び収納容器本体４２のうち密閉状態であれば前後方向Ｄにおいて相互に密着する部分同士の前後方向Ｄの間隙の狭小化を図ることができる。また、本実施形態に係るドア開閉装置２によれば、搬送ロボット３１によって収納容器４内の全ての被搬送物Ｗの搬送処理が終了するまで収納容器４の内部空間４Ｓ全体が搬送室３側に全開放される時間を短縮することができる。以上により、パージ処理が施されている収納容器４内に収容されている被搬送物Ｗの周囲雰囲気が低水分濃度状態から所定値（例えば図１５において二点鎖線で示す全開位置待機状態の最高値）以上の高水分濃度状態に変わり、その高水分濃度状態が維持される事態を防止することができる。

このように、本実施形態に係るドア開閉装置２は、中間停止位置（Ｈ）に位置付けたドア部２２で保持した蓋部４３によって、収納容器４の内部空間４Ｓを遮蔽する効果を得ることができる。したがって、本実施形態に係るドア開閉装置２によれば、収納容器４内のパージ濃度を、多量のパージ用ガス（環境ガス）を使用することなく、所定値以上に維持・確保することができる。その結果、本実施形態に係るドア開閉装置２によれば、パージガス使用量及び費用の増大を回避することが可能である。

加えて、本実施形態に係るドア開閉装置２では、中間停止位置（Ｈ）に位置付けたドア部２２で保持する蓋部４３が、収納容器４内の被搬送物Ｗに干渉せず、且つ前後方向Ｄにおいて収納容器本体４２と接触しないように構成している。このため、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが終了するごとにドア部２２を全開位置（Ｏ）から全閉位置（Ｃ）まで移動させる場合であれば生じる不具合、すなわち、収納容器４内における被搬送物Ｗの移動回数の増加や、蓋部４３と収納容器本体４２の接触回数の増加に伴う発塵という不具合を防止・抑制することができる。

さらに、本実施形態に係るドア開閉装置２では、中間停止位置（Ｈ）として、蓋部４３の内向き面４３１に設けられ且つ収納容器本体４２の内部空間４Ｓを密閉した状態、すなわち、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）に移動させた状態において、被搬送物Ｗのエッジを弾性保持し得るリテーナ４４の弾性が作用しない位置を選択している。これにより、被搬送物Ｗを収納容器４に対して出し入れするごとにドア部２２を全開位置（Ｏ）から全閉位置（Ｃ）まで移動させる構成であれば生じる不具合、すなわち、蓋部４３の内向き面４３１に設けたリテーナ４４と被搬送物Ｗとの接触回数の増加に伴う発塵のリスクも回避・抑制することができる。

また、本実施形態に係るドア開閉装置２は、載置台２３上において蓋部４３による密閉状態を解除した時点（収納容器密閉解除処理Ｓｔ５）以降において、その収納容器４に対してドア部２２を全閉位置（Ｃ）にまで移動させる処理（収納容器密閉処理Ｓｔ１０）が、基本的に１回（全ての被搬送物Ｗの搬送処理が完了した時点以降の１回）で済むように構成している。このため、収納容器４内の被搬送物Ｗを棚部４２１上の仮収納位置から正規の収納位置に移動させる処理回数は１回のみとなり、被搬送物Ｗの棚部４２１上での移動回数を最小限に留めることができる。このことも発塵のリスク回避に多いに役立ち、歩留まりの向上に寄与する。このように、本実施形態に係るドア開閉装置２は、発塵を防止・抑制して、被搬送物Ｗの品質が低下するリスクを回避することが可能である。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、ドア部として、全閉位置と全開位置との間で姿勢を維持したまま移動するという第１条件、全閉位置と所定の移動方向切替領域における最前方位置との間で前後移動し、且つ全開位置と移動方向切替領域における最後方位置との間で昇降移動するという第２条件、両方の条件を満たすものを適用している場合には、ドア部の中間停止位置を、全閉位置よりも前方であって且つ移動方向切替領域における最前方位置（前記実施形態であれば移動方向切替位置（Ｐ）が移動方向切替領域における最前方位置である）までの間の所定の位置に設定することができる。すなわち、移動方向切替領域における最前方位置と同じ位置を中間停止位置に設定したり、移動方向切替領域における最前方位置よりも後方であって且つ蓋部の最後方内向き面がフレーム最前面よりも後方に進入しない位置となるドア部の位置を中間停止位置に設定することができる。

また、前記第１条件及び第２条件を満たすドア部が全閉位置と全開位置との間で移動する際に経由する移動方向切替領域は、前記実施形態のように１点で示すことが可能な領域ではなく、水平方向及び鉛直方向以外の方向に延びる直線、または曲線で示すことが可能な領域であってもよい。移動方向切替領域が、水平方向及び鉛直方向以外の方向に延びる直線、または曲線、これらの線のうち何れか１本の線、または複数本の線の組み合わせで示すことが可能な領域である場合、「移動方向切替領域における最前方位置」と「移動方向切替領域における最後方位置」は前後方向及び高さ方向に相互に離れた位置になる。そして、このような移動方向切替領域を経由してドア部は全閉位置と全開位置との間で移動するドア部の中間停止位置は、全閉位置よりも前方であって且つ移動方向切替領域における最前方位置までの間であればよく、適宜設定することができる。

また、蓋部の最後方内向き面がフレーム最前面よりも後方に僅かに進入した位置となるドア部の所定位置を中間停止位置に設定したり、蓋部の最後方内向き面がフレーム最前面と前後方向において同じ位置となるドア部の所定位置を中間位置に設定することができる。つまり、蓋部の最後方内向き面が前後方向においてフレーム最前面と同じ位置となるドア部の位置から、蓋部の最後方内向き面が前後方向においてフレーム最背面よりも前方となるドア部の位置の間における所定位置を中間停止位置に設定することができる。

また、蓋部の最後方内向き面が、フレームのうち開口の周縁において収納容器本体に最も近いフレーム最背面よりも後方（収納容器の背面側）に進入した位置となるドア部の所定位置を中間停止位置に設定したり、蓋部の最後方内向き面がフレーム最背面と前後方向において同じ位置となるドア部の所定位置を中間位置に設定することができる。つまり、蓋部の最後方内向き面が前後方向においてフレーム最背面と同じ位置となるドア部の位置から、蓋部の最後方内向き面が前後方向において収納容器本体最前面よりも前方となるドア部の位置の間における所定位置を中間停止位置に設定することができる。この場合、中間停止位置（Ｈ）で待機させたドア部２２が保持する蓋部４３の最後方内向き面４３Ａが、フレーム２１に形成した開口２１ａを越えて収納容器４の内部空間４Ｓに接近する位置に位置付けられることになる。したがって、蓋部の最後方内向き面が前後方向においてフレーム最前面と同じ位置となるドア部の位置から、蓋部の最後方内向き面が前後方向においてフレーム最背面よりも前方となるドア部の位置の間における所定位置を中間停止位置に設定した場合と比較して、収納容器本体のうち密閉状態であれば蓋部が密着する部分と、中間停止位置で待機させたドア部が保持する蓋部との前後方向の間隙を狭小化することができる。左右一対の支柱２１１と、これら支柱２１１により支持されたフレーム本体２１２とを備えたフレーム２１を適用した上述の本実施形態において、「フレーム２１のうち開口２１ａの周縁における収納容器本体４２に最も近いフレーム最背面２１Ａ」は、フレーム本体２１２の背面と同義である。つまり、フレーム最背面２１Ａは、開口２１ａのうち最後方の開口縁（開口後縁）の前後方向Ｄの位置を規定する面であると捉えることができる。

また、蓋部の最後方内向き面が収納容器本体最前面よりも僅かに後方に進入した位置となるドア部の所定位置を中間停止位置に設定したり、蓋部の最後方内向き面が収納容器本体最前面と前後方向において同じ位置となるドア部の所定位置を中間位置に設定することができる。つまり、蓋部の最後方内向き面が前後方向において収納容器本体最前面と同じ位置となるドア部の位置から、蓋部の最後方内向き面が前後方向において収納容器本体最前面よりも後方となるドア部の位置の間であって、且つ全閉位置よりも前方の所定位置を中間停止位置に設定することができる。この場合、蓋部の最後方内向き面が前後方向においてフレーム最前面と同じ位置となるドア部の位置から、蓋部の最後方内向き面が前後方向においてフレーム最背面よりも前方となるドア部の位置の間における所定位置を中間停止位置に設定した場合や、蓋部の最後方内向き面が前後方向においてフレーム最背面と同じ位置となるドア部の位置から、蓋部の最後方内向き面が前後方向において収納容器本体最前面よりも前方となるドア部の位置の間における所定位置を中間停止位置に設定した場合と比較して、収納容器本体のうち密閉状態であれば蓋部が密着する部分と、中間停止位置で待機させたドア部が保持する蓋部との前後方向の間隙をより一層狭小化することができる。

ここで、収納容器本体のうちフレーム最背面に最も近い面である収納容器本体最前面と、フレーム最背面は、前後方向において極めて近い距離に存在し、収納容器本体をフレームに密着させた状態では、収納容器本体最前面とフレーム最背面との境界部分は、ごく僅かな（コンマ数ミリ以下）隔たりしか存在しない。しかしながら、収納容器内のパージ濃度を所定値以上に維持するという観点において、被搬送物の搬送処理が１枚終了する毎または複数枚終了する毎に収納容器の内部空間の前方への開放スペースを蓋部で遮蔽して狭小化することが重要であることに着目すれば、上述のような僅かな差であっても作用効果に影響することが把握できる。

また、収納容器内の被搬送物にリテーナ４４に接触するものの上述のリテーナ４４の弾性が作用しないドア部の位置がある場合には、そのドア部の位置を中間停止位置にしてもよい。

また、蓋部として内向き面に凹部を形成していないものや、リテーナを備えていないものを適用することもできる。

また、図１７に示すように、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセス中はドア部２２を搬送ロボット３１のアクセスに必要な分だけ収納容器本体４２の内部空間４Ｓを開放する中途開放位置（Ｉ）にドア部２２を待機させる構成を採用してもよい。このような構成であれば、収納容器４に対して搬送ロボット３１がアクセスしている間、ドア部２２を全開位置（Ｏ）に待機させる構成と比較して、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセス中における収納容器４の内部空間４Ｓの高さ方向における開放度合いを効果的に低減することが可能である。

さらに、ドア部２２を全開位置（Ｏ）と中間停止位置（Ｈ）の間で移動させる態様よりも、中途開放位置（Ｉ）と中間停止位置（Ｈ）の間で移動させる態様の方が、ドア部２２の移動ストロークの短縮化を図ることができるというメリットもある。収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセス中はドア部２２を中途開放位置（Ｉ）に待機させる構成を採用する場合、動作フローは以下の１点以外は上述の図１３及び図１４に準じた動作フローとなる。すなわち、図１３におけるドア全開処理Ｓｔ９の代わりに、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）から中途開放位置（Ｉ）に移動させる「ドア中途開放処理」を経る動作フローになる。

収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセス中はドア部２２を中途開放位置（Ｉ）に待機させる構成を採用した場合、上述の図１６に対応させて収納容器内の水分濃度の変化を示す図１８から把握できるように、収納容器４の内部空間４Ｓを開放した時点で収納容器内４Ｓのパージ濃度は一旦低下し、水分濃度が上昇するが、その上昇した水分濃度を所定値の低水分濃度に戻すまでの時間を短縮することができ、上述の作用効果をより一層高めることが可能である。図１８には、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセス中はドア部２２を中途開放位置（Ｉ）に待機させる構成を採用した場合における収納容器内の水分濃度の変化を相対的に太い実線で示す。

パージ処理が施された収納容器４内に対する搬送ロボット３１の最初のアクセスを開始する直前に、収納容器密閉解除処理Ｓｔ５によってドア部２２を全閉位置（Ｃ）から中途開放位置（Ｉ）に移動させると、その時点（ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から中途開放位置（Ｉ）に移動させ始めた時点）ｔ３以降、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は上昇する。しかしながら、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から全開位置（Ｏ）に移動させた場合の収納容器４内の水分濃度の変化（同図において相対的に細い実線で示す）と比較して、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から中途開放位置（Ｉ）に移動させ始めた時点）ｔ３以降の収納容器４内の水分濃度の上昇を抑えることができる。

そして、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが１回終了した後に、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に位置付け、次に収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスを実行する直前までドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させる処理（ドア中間停止待機処理Ｓｔ７）を実行することで、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度の上昇は停止する。ここで、上述の通り、ドア部２２を全開位置（Ｏ）と中間停止位置（Ｈ）の間で移動させる態様よりも、中途開放位置（Ｉ）と中間停止位置（Ｈ）の間で移動させる態様の方が、ドア部２２の移動ストロークの短縮化を図ることができる。したがって、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させる駆動命令と、ドア部２２を中途開放位置（Ｉ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させる駆動命令を出すタイミングが同じであっても、ドア部２２を中途開放位置（Ｉ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させ終えた時点ｔ４’が、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させ終えた時点ｔ４よりも相対的に早くなる。

また、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが終了してから次に収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスを実行する直前までの間、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に待機させるドア中間停止処置Ｓｔ７を実行することで、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度は低下する。ドア部２２を中途開放位置（Ｉ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ４’以降、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度が、図１６及び図１８において一点鎖線で示す中間停止位置待機状態の最高値と同じ値になる時点ｔ５’までの所要時間は、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ４以降、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度が中間停止位置待機状態の最高値と同じ値になる時点ｔ５までの所要時間よりも短くなる。したがって、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度が中間停止位置待機状態の最高値と同じ値になった時点ｔ５’から、収納容器４に対する搬送ロボット３１の次のアクセスを開始するに際してドア部２２を中間停止位置（Ｈ）から中途開放位置（Ｉ）に移動させ始めた時点ｔ６’までの間に亘って、収納容器４内を良好な低水分濃度状態に維持することができる。

また、中間停止位置（Ｈ）から中途開放位置（Ｉ）に移動させ始めた時点ｔ６’で、収納容器４の内部空間４Ｓの水分濃度は再上昇する。しかし、ドア部２２を中途開放位置（Ｉ）にから中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ７’で、収納容器４内の水分濃度の上昇が停止する。図１８に基づくと、この中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ７’における収納容器４内の水分濃度は、前回の中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ４’における収納容器４内の水分濃度よりも低いことが分かる。さらに、図１８に基づくと、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ７’から、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度が中間停止位置待機状態の最高値と同じ値にまで低下した時点ｔ８’までの所要時間が、前回の収納容器に対する搬送ロボットのアクセスに際して、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）に移動させた時点ｔ４’から、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度が中間停止位置待機状態の最高値と同じ値にまで低下した時点ｔ５’までの所要時間よりも短くなっていることが分かる。

このように、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセス中はドア部２２を中途開放位置（Ｉ）に待機させる構成を採用した場合には、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度の最高値を、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセス中はドア部２２を全開位置（Ｏ）に待機させる構成を採用した場合における収納容器４内の水分濃度の最高値よりも低い値にすることができる。加えて、一旦上昇した収納容器４内の水分濃度が、良好な低水分濃度状態を示す中間停止位置待機状態の最高値と同じ値にまで低くなることに要する時間を短縮することが可能である。したがって、収納容器４の内部空間４Ｓを良好な低水分濃度状態に維持できる時間が長くなる。収納容器４の内部空間４Ｓにおける酸素濃度の変化も、収納容器４の内部空間４Ｓにおける水分濃度と同じ又は水分濃度に準じた変化を示す。

また、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが１回終了して、そのアクセスによる搬送処理を終えた時点以降に、ドア部２２を中途開放位置（Ｉ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させるタイミングは、ドア部２２や蓋部４３と搬送ロボット３１が相互に干渉しないタイミングであればよい。つまり、ドア部２２や蓋部４３と搬送ロボット３１が相互に干渉しないタイミングであれば、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが完了した直後にドア部２２を中途開放位置（Ｉ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させてもよい。また、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが完了した直後にドア部２２を中途開放位置（Ｉ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させれば、ドア部２２や蓋部４３と搬送ロボット３１が相互に干渉してしまう構成の場合には、収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセスが完了した直後の時点から所定時間経過後に、ドア部２２を中途開放位置（Ｉ）から中間停止位置（Ｈ）に移動させるように設定すればよい。

なお、全開位置の設定次第では、収納容器内の最下段の位置に収納される被搬送物の出し入れ処理中の中途開放位置が、全開位置と同じ位置または略同じ位置になる場合もある。

また、収納容器内における被搬送物の有無や収納姿勢を検出可能なマッピング部（被搬送物検出部）を備えたドア開閉装置であってもよい。マッピング部ｍは、例えば図１９乃至図２３に示すように、収納容器４内において高さ方向Ｈに多段状に収納された被搬送物Ｗの有無を検出可能なマッピングセンサ（送信器ｍ１、受信器ｍ２）と、マッピングセンサｍ１，ｍ２を支持するセンサ支持部ｍ３（センサフレームｍ３）とを有している。マッピング部ｍは、その全体がドア開閉装置２のフレーム２１の最前面２１Ｂよりも前方の空間（上記実施形態における搬送室３側の空間）に配置されるマッピング退避姿勢（図１９乃至図２２参照）と、少なくともマッピングセンサｍ１，ｍ２がフレーム２１の開口２１ａを通じてフレーム２１の最背面２１Ａよりも後方の空間（上記実施形態における収納容器４側の空間）に配置されるマッピング姿勢（図２３において想像線で示す姿勢）との間で姿勢可能である。さらに、マッピング部ｍはマッピング退避姿勢やマッピング姿勢を維持したまま高さ方向Ｈに移動可能に構成されている。そして、マッピング部ｍの少なくとも昇降移動が、ドア部２２の昇降移動と一体に行われる。なお、図１９乃至図２２ではドア開閉装置２のうち載置台等の一部を省略している。

マッピングセンサは、信号であるビーム（線光）を発する送信器ｍ１（発光センサ）と、送信器ｍ１から発せられた信号を受信する受信器ｍ２（受光センサ）とから構成される。なお、マッピングセンサを送信器と、送信器から発せられた線光を送信器に向かって反射する反射部とによって構成することも可能である。この場合、送信機は、受信器としての機能も有する。

センサフレームｍ３は、マッピングセンサｍ１，ｍ２が取り付けられる上枠部ｍ４と、上枠部ｍ４の両端からそれぞれ下方に延在する左右一対の側枠部ｍ５と、両側枠部ｍ５の下端部間に架け渡されるように設けた下枠部ｍ６とを一体又は一体的に有する。これら上枠部ｍ４、両側枠部ｍ５及び下枠部ｍ６によって囲まれた前後方向Ｄに開口するセンサフレームｍ３の内部空間ｍＳに、ドア部２２自体、さらにはドア部２２及び蓋連結機構等を搬送室２側から被覆するドアカバー２２Ｖを収容できるように構成している。上枠部ｍ４にはマッピングセンサｍ１，ｍ２を取り付けるセンサ取付部ｍ４１を他の部分よりも後方側に突出させて設けている。したがって、上枠部ｍ４のセンサ取付部ｍ４１に取り付けたマッピングセンサｍ１，ｍ２は、センサフレームｍ３のうちセンサ取付部ｍ４１を除く部分よりも後方側に突出した位置に配置される（図２０乃至図２２参照）。

また、本変形例では、下枠部ｍ６を、ドア移動機構２７を構成する一部に取り付けている。具体的には、ドア部２２を支持するドア支持フレーム２７Ｆ（上述の実施形態における支持フレーム２７１に相当するパーツ）に下枠部ｍ６を取り付けている。

そして、ドア移動機構２７によるドア部２２の昇降作動に伴って下枠部ｍ６も一体に作動する。その結果、マッピング部ｍ全体がドア部２２と同じ方向に昇降移動する。すなわち、例えばドア部２２を下方に移動させる場合、ドア支持フレーム２７Ｆが下方に移動する。これによって、下枠部ｍ６をドア支持フレーム２７Ｆに取り付けているセンサフレームｍ３全体が下方に移動する。つまり、マッピング部ｍ全体が下方に移動することになる。

本実施形態では、センサフレームｍ３全体をドア支持フレーム２７Ｆに対して傾動させるための傾動機構ｍ７の一部を介して、下枠部ｍ６をドア支持フレーム２７Ｆに取り付けている。

傾動機構ｍ７は、下枠部ｍ６の背面に固定した傾動ブロック体ｍ８と、長手方向と一致する軸方向をドア開閉装置２の幅方向に一致させた姿勢で配置され、且つ傾動ブロック体ｍ８及びドア支持フレーム２７Ｆに亘って架設した回転可能な傾動軸ｍ９とを備える。また、傾動機構ｍ７は、フレーム２１に形成したスリット状の挿通孔２１ｂを前後方向Ｄに貫通する姿勢で配置されて前後方向Ｄに進退動作可能な進退可動部ｍ１０と、下端部が枢支軸ｍ１１を介して進退可動部ｍ１０の前端部に枢着されたクランク部ｍ１２とを備える。クランク部ｍ１２の上端部は傾動ブロック体ｍ８に固定している。これら、傾動ブロック体ｍ８、傾動軸ｍ９、進退可動部ｍ１０のうち前端部側領域（搬送室３側領域）及びクランク部ｍ１２は、フレーム２１の最前面２１Ｂよりも前方側に配置される。

このような傾動機構ｍ７は、図２２に示すマッピング部ｍがマッピング退避姿勢にある状態において、図示しない駆動源により進退可動部ｍ１０を前方（搬送室３側）へ移動させることで、図２３に示すように、クランク部ｍ１２の下端部を前方へ押してクランク部ｍ１２全体を枢支軸ｍ１１回りに回転（傾動）させる。これにより、クランク部ｍ１２は、上端部を後方（収納容器４側）に移動させる方向に回動し、クランク部ｍ１２の上端部に固定した傾動ブロック体ｍ８も、傾動軸ｍ９回りにクランク部ｍ１２と同一方向へ傾動する。すると、傾動ブロック体ｍ８に下枠部ｍ６を固定しているセンサフレームｍ３が、傾動ブロック体ｍ８と同一方向へ傾動する。その結果、センサフレームｍ３のうち両側枠部ｍ５の上端部側領域及び上枠部ｍ４全体が、開口２１ａを通じてフレーム２１の最背面２１Ａよりも前方の空間（収納容器４側の空間）に突出する。以上により、マッピング部ｍは、上枠部ｍ４に固定したマッピングセンサｍ１，ｍ２を、開口２１ａを通じてフレーム２１の最背面２１Ａよりも前方の空間に突出させたマッピング姿勢（図２３参照）になる。

なお、マッピング部ｍは、駆動源により進退可動部ｍ１０を後方（収納容器４側）へ移動させることでマッピング姿勢からマッピング退避姿勢へ切り替えることができる。

このようなマッピング部ｍを用いたマッピング処理は、通常であれば、上述の収納容器密閉解除処理Ｓｔ５を実行する際に行われる。具体的には、収納容器密閉解除処理Ｓｔ５を実行する直前までマッピング退避姿勢にあるマッピング部ｍを以下のタイミングでマッピング姿勢に切り替える。つまり、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から移動方向切替位置（Ｐ）（より具体的には本発明の移動方向切替領域における最前方位置）まで移動させた後に、マッピング部ｍをマッピング退避姿勢からマッピング姿勢に切り替える。なお、ドア部２２を移動方向切替位置（Ｐ）まで移動させた状態で、マッピング部ｍをマッピング退避姿勢からマッピング姿勢に切り替えれば、マッピングセンサｍ１，ｍ２がフレーム２１に干渉し得る場合がある。この場合は、ドア部２２を移動方向切替位置（Ｐ）まで移動させた後、さらにドア部２２を全開位置（Ｏ）に向かって所定距離降下させた時点で、マッピング部ｍをマッピング退避姿勢からマッピング姿勢に切り替えればよい。具体的には、マッピング姿勢にあるマッピング部ｍのマッピングセンサｍ１，ｍ２が収納容器４内における最上段の棚部４２１（棚部４２１については図９等参照）の少し上側に位置付けられる高さ位置となるように、ドア部２２をマッピング部ｍと一体に高さ方向Ｈに移動させる。マッピング部ｍをマッピング退避姿勢からマッピング姿勢に切り替える時点では、既にドア部２２が全閉位置（Ｃ）から移動して、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１は開いた状態にある。

そして、マッピング部ｍをマッピング退避姿勢からマッピング姿勢に切り替えた後、ドア部２２を全開位置（Ｏ）に向かって下方へ移動させると、マッピング部ｍもマッピング姿勢を維持したまま下方へ移動する。これにより、制御部２Ｃが、下方へ移動するマッピングセンサｍ１，ｍ２を用いて、収納容器４の各棚部４２１に収納された被搬送物Ｗの有無や収納姿勢を最上段の棚部４２１から最下段の棚部４２１まで順次検出するマッピング処理を実行する。すなわち、送信器ｍ１から受信器ｍ２に向かって信号を発することで送信器ｍ１と受信器ｍ２との間に形成されている信号経路が、被搬送物Ｗの存在しているところでは遮られ、被搬送物Ｗの存在していないところでは遮られずに受信器ｍ２に達する。これにより、収納容器４内において高さ方向Ｈに並んで収納されている被搬送物Ｗの有無や収納姿勢を順次検出することができる。こうして、収納容器４内の全ての棚部４２１に関して、被搬送物Ｗの有無や収納姿勢に関する情報（被搬送物検出情報）を得ることができる。なお、最下段の棚部４２１に載置されている被搬送物Ｗに関する被搬送物検出情報を取得した直後、その高さ位置でドア部２２及びマッピング部ｍの下方への移動は一旦停止され、マッピング部ｍをマッピング姿勢からマッピング退避姿勢に切り替える。それに続いて、マッピング部ｍは、マッピング退避姿勢を維持した状態で、全開位置（Ｏ）へ移動するドア部２２と共に下方へ移動する。

そして、マッピング処理によって得た被搬送物検出情報に基づいて、収納容器４内における特定の棚部４２１から被搬送物Ｗを取り出したり、特定の棚部４２１に被搬送物Ｗを収納する搬送処理を実施することになる。

一方、このようなドア部２２と一体に昇降移動可能なマッピング部ｍを備えた本変形例に係るドア開閉装置２であれば、上述の収納容器密閉解除処理Ｓｔ５を実行するタイミングに加えて、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）から全開位置（Ｏ）へ移動させるタイミングにおいても、制御部２Ｃが、ドア部２２と一体に移動するマッピング部ｍを用いてマッピング処理を実施することができる。本発明では、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが１回または後述するように所定回数終了するごとにドア部２２を全開位置（Ｏ）から中間停止位置（Ｈ）から移動させて、収納容器に対する搬送ロボットの次のアクセスが実施される直前までドア部２２を中間停止位置（Ｈ）で待機させる構成を採用している。そして、収納容器に対する搬送ロボットの次のアクセスが実施される直前にドア部２２を中間停止位置（Ｈ）から全開位置（Ｏ）へ移動させる構成を採用している本発明によれば、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）から全開位置（Ｏ）へ移動させるタイミング、つまり収納容器に対する搬送ロボットの次のアクセスが実施される直前にマッピング処理を実施することができる。図１３に示す動作フローを参照すれば、ドア全開処理Ｓｔ９を実施する度にマッピング処理を行い、そのマッピング処理で得た被搬送物検出情報に基づいて搬送処理Ｓｔ６を実施することができる。

このように、本変形に係るドア開閉装置は、周知のドア開閉装置であれば収納容器密閉解除処理Ｓｔ５を実行する際にのみ行われるマッピング処理を、ドア中間停止処理Ｓｔ７を経てドア全開処理Ｓｔ９を実行する度に行うことができる。したがって、ドア中間停止処理Ｓｔ７を実施する直前の搬送処理Ｓｔ６によって搬送した被搬送物Ｗを含む収納容器内の被搬送物Ｗの有無及び収納姿勢を被搬送物検出情報として取得することが可能である。これにより、例えばマッピング処理の前の時点で実施された搬送処理Ｓｔによって収納容器内に新たに入れた被搬送物Ｗや入れ替えた被搬送物Ｗが、特定の棚部４２１に適切な姿勢で載置されているか否かという情報も取得することができる。したがって、例えば被搬送物Ｗが異なる高さ位置の棚部４２１に跨がった傾斜姿勢で収納容器内に収納されている場合、ある高さ位置の棚部４２１に載置されている被搬送物Ｗが傾斜姿勢であることを把握することができる。この場合、マッピング処理後であってその被搬送物Ｗに関する搬送処理を実施する前の適宜のタイミングで、その被搬送物Ｗに関する搬送処理を中止または一旦停止して、傾斜姿勢の被搬送物Ｗを適切な収納姿勢に直せばよい。

このようにドア部と一体に高さ方向に移動するマッピング部を備えたドア開閉装置は、上述した作用効果を奏する。したがって、１つの収納容器に関する全ての搬送処理を終えるまでに、複数のタイミングでマッピング処理を実施して、例えば複数回目の搬送処理Ｓｔ６で収納容器に入れた被搬送物が２段の棚部に跨がった傾斜姿勢で収納されている場合であっても、その複数回目の搬送処理Ｓｔ６後のドア中間停止処理Ｓｔ７を経て、ドア全開処理Ｓｔ９を実施する際に、その被搬送物に関する被搬送物検出情報を取得することができる。これにより、例えば複数回目の搬送処理Ｓｔ６で収納容器に入れた被搬送物が２段の棚部に跨がった傾斜姿勢で収納されていることを把握できずに、本来であれば空いているべき棚部に被搬送物を入れた場合に、その被搬送物が傾斜姿勢で収納されている被搬送物と接触する事態を回避することが可能である。

なお、マッピング処理の回数を増加させるべく、例えばドア部２２の移動機構２７とは別の移動機構によってマッピング部を高さ方向に移動させる構成を採用した場合、構造の複雑化のみならず制御の複雑化も招来するため、好ましくない。

また、上述の図１７に示す構成、つまり収納容器４に対する搬送ロボット３１のアクセス中はドア部２２を中途開放位置（Ｉ）に待機させる構成を採用したドア開閉装置が、ドア部と一体に高さ方向に移動するマッピング部を備えたものであってもよい。この場合であっても、マッピング部ｍによるマッピング処理を、収納容器密閉解除処理Ｓｔ５（図１３参照）の実行時のみならず、ドア中間停止処理Ｓｔ７を経て、ドア部２２を中間停止位置（Ｈ）から中途開放位置（Ｉ）に移動させるドア中途開放処理を実行する度に行うことができる。ドア中途開放処理は、搬送ロボット３１のアクセスに必要な分だけ収納容器本体４２の内部空間４Ｓを開放する中途開放位置（Ｉ）にドア部２２を移動させる処理であることから、少なくともドア中途開放処理の次に行う搬送処理Ｓｔ６で搬送される被搬送物Ｗのアクセス先である特定の棚部４２１における被搬送物Ｗの有無や収納姿勢を被搬送物検出情報として取得することができる。

マッピング部として、例えばセンサフレームの上枠部に、一対のセンサアームの基端部を幅方向に所定距離離間させた位置に回動可能に取り付けたものを採用することもできる。この場合、各センサアームの先端にそれぞれマッピングセンサを設け、一対のアームが回動することで、マッピングセンサがフレームの最前面よりも前方の空間（搬送室側の空間）に配置されるマッピング退避姿勢と、マッピングセンサがフレームの開口を通じてフレームの最背面よりも後方の空間（収納容器側の空間）に配置されるマッピング姿勢との間で姿勢可能に構成すればよい。このような構成であれば、センサフレームを傾動させる機構は不要になる。そして、上述のマッピング部ｍを備えた場合の動作フローに準じた処理手順を経ることにより、搬送処理Ｓｔ６（図１３参照）を実施する前のタイミングでマッピング処理を実施することができる。したがって、１つの収納容器に関する全ての搬送処理を終えるまでに、複数のタイミングでマッピング処理を実施して、搬送処理時に被搬送物同士が接触する等の支障が生じる事態を防止することができる。

ドア部が、全閉位置と全開位置との間の移動の全部または一部に回転動作を伴うものであっても構わない。例えば、図２４及び図２５に示すように、全閉位置（Ｃ）と移動方向切替位置（Ｐ）との間におけるドア部２２の移動を回転動作に設定しつつ、移動方向切替位置（Ｐ）と全開位置（Ｏ）との間におけるドア部２２の移動を直線動作に設定する構成を挙げることができる。この場合、図２４に示す移動方向切替位置（Ｐ）に位置付けたドア部２２の姿勢は、所定角度傾斜した姿勢となり、この傾斜姿勢を維持したまま移動方向切替位置（Ｐ）と図２５に示す全開位置（Ｏ）の間で移動することになる。この場合、全閉位置よりも前方であって、且つ蓋部の最後方内向き面がフレーム最前面よりも後方に進入した位置となるドア部の所定位置を「ドア部の中間停止位置」に設定することができる。中間停止位置に位置付けたドア部の姿勢は、所定角度傾斜した姿勢であってもよいし、上述の実施形態と同様に起立した姿勢であってもよい。中間停止位置に位置付けたドア部の姿勢が、所定角度傾斜した姿勢となる場合、中間停止位置は、全閉位置よりも前方であって且つ傾斜姿勢にあるドア部が保持する蓋部の最後方内向き面の少なくとも一部がフレーム最前面よりも後方に進入した位置となるドア部の位置であれば特に限定されない。なお、全閉位置よりも前方であって且つ傾斜姿勢にあるドア部が保持する蓋部の最後方内向き面全体が、フレーム最前面よりも後方に進入した位置となるドア部の所定位置を中間停止位置に設定することも可能である。

なお、図２４及び図２５では一部省略しているドア移動機構２７の具体的な構成や駆動源も適宜変更することができる。

本発明に係るドア開閉装置は、ＥＦＥＭの一部を構成するものとして使用可能であることは上述した通りであり、ＥＦＥＭ以外の搬送装置に適用することもできる。

また、例えば、搬送室の壁面に本発明に係るドア開閉装置を複数配置し、搬送室内に配置される搬送ロボットによって各ドア開閉装置の載置台上に載置した収納容器間で被搬送物を入替可能なソータ装置の一部を構成するものとして使用することも可能である。搬送室の共通の壁面に複数のドア開閉装置を配置したソータ装置、搬送室の相互に異なる壁面（例えば前壁と背壁のように対向する壁面）にそれぞれ１又は複数のドア開閉装置を配置したソータ装置、何れかの側面にバッファステーションやアライナを配置して各ドア開閉装置の載置台上に載置した収納容器同士、或いは、収納容器とバッファステーションまたはアライナとの間で被搬送物を搬送ロボットによって入替・出し入れ可能なソータ装置、これら何れであっても構わない。

本発明に係るドア開閉装置が隣接して配置される搬送室は、内部空間に搬送ロボットを備えたものである。本発明では、各ドア開閉装置の載置台上の収納容器に対するウェーハの搬出入処理を、単一の搬送ロボットで行うように構成した態様、または複数の搬送ロボットで行うように構成した態様、何れであっても構わない。

搬送室の壁面に配置するドア開閉装置は１台であってもよい。

上述した実施形態では、被搬送物としてウェーハを例示したが、被搬送物が、レティクル、液晶被搬送物、ガラス被搬送物、カルチャープレート、培養容器、ディッシュ、或いはシャーレ等であってもよい。すなわち、本発明は、半導体、液晶、細胞培養等の各種分野での容器に収容される搬送対象の搬送技術に適用することができる。

また、本発明に係るドア開閉装置は、ロードポートに限定されず、収納容器と搬送室のインターフェース部分として機能する用途で使用可能なものである。

また、搬送室の内部空間のうちフレームの開口近傍領域に、上方から下方に向かうガスカーテンを形成し、少なくともドア部が全開位置にある場合にそのガスカーテンによって、搬送室内の気体雰囲気が収納容器内に進入する事態を防止・抑制する構成を採用してもよい。なお、ドア部が中間停止位置にある場合は、蓋部の最後方内向き面がフレーム最背面よりも後方に位置付けられることから、それによって搬送室内の気体雰囲気が収納容器内に進入する事態を防止・抑制できることが期待できるため、ガスカーテンを形成する処理を一時的に停止してもよいと考えられる。これにより、ガスカーテン形成用のガスの使用量も低減することができる。もちろん、本発明は、ドア部の位置に関係なくガスカーテンを形成し続ける構成を排除するものではない。

搬送ロボットとして、被搬送物把持部（上述の実施形態であればハンド）を３以上有するものを適用することができる。また、搬送ロボットとして、１つの被搬送物把持部を有するものを適用することができる。また、被搬送物把持部がハンド以外の所定のパーツ等から構成された搬送ロボットを適用することもできる。

また、搬送ロボットは、搬送室内に配置されるものであればよい。搬送ロボットを備えたドア開閉装置であってよい。

収納容器の内部空間全体が搬送室側に全開放される時間を短縮化するためには、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎に、次の収納容器に対する搬送ロボットのアクセスを実行する直前まで、ドア部を所定の中間停止位置で待機させる構成が好ましい。しかしながら、本発明のドア開閉装置において、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが複数回終了する毎に、次の収納容器に対する搬送ロボットのアクセスを実行する直前まで、ドア部を所定の中間停止位置で待機させる構成を採用することができる。この場合であっても、収納容器内の被搬送物の搬送処理が開始されてから後、全ての被搬送物の搬送処理が終了するまでの間、つまり収納容器に対する搬送ロボットの全アクセスが終了するまでの間、全てのドア部を全開位置に待機させ続ける構成と比較して、収納容器の内部空間全体が搬送室側に全開放される時間を短縮することができる。なお、収納容器に対する搬送ロボットのアクセスが複数回終了する毎に、次の収納容器に対する搬送ロボットのアクセスを実行する直前まで、ドア部を所定の中間停止位置で待機させる構成を採用する場合、「搬送ロボットのアクセスが複数回終了する毎」における「複数」は、収納容器内の被搬送物に対する搬送処理が全て完了するために必要な搬送ロボットのアクセス回数よりも少ない数であることが条件になる。

なお、ドア部を所定の中間停止位置に移動させて待機させるタイミングを、「搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎」または「搬送ロボットのアクセスが複数回終了する毎」を適宜選択可能に構成することも可能である。この場合、例えばドア開閉装置の制御部またはその上位装置（上述の実施形態であればＥＦＥＭ１または処理装置Ｍ）の制御部からの指令、或いは収納容器に付帯されている固有の識別コード（例えばＲＦＩＤタグに記録されたコード）に基づいて、ドア部を所定の中間停止位置に移動させて待機させるタイミングを、「搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎」または「搬送ロボットのアクセスが複数回終了する毎」に切替可能に構成してもよい。

さらにはまた、本発明に係るドア開閉装置において、ドア部を所定の中間停止位置に移動させて待機させるタイミングとして、「搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎」または「搬送ロボットのアクセスが複数回終了する毎」の何れかを適宜選択可能に構成するとともに、ドア部を所定の中間停止位置に移動させることなく、収納容器内の被搬送物に対する搬送ロボットの最後のアクセスが終了した後にドア部を全閉位置に移動させるモード（通常モード）も選択可能に構成することも可能である。

また、本発明に係るドア開閉装置は、ロードポートに限定されず、収納容器と搬送室のインターフェース部分として機能する用途で使用可能なものである。

収納容器内のパージ処理として、上述したボトムパージ処理に加えて、収納容器の内部空間を前方（搬送室側）に開放した状態で、収納容器の内部空間の前方から環境ガスを供給するいわゆるフロントパージ処理を適用することも可能である。フロントパージ処理を実行するフロントパージ部は、収納容器本体または蓋体に設けてもよいし、ドア開閉装置に設けてもよい。

収納容器の種類やタイプ、搬送室の具体的な構成や機能も適宜変更することができる。パージ処理に要する環境ガスとして、窒素ガスやドライエア以外の気体を適用しても構わない。

上述の実施形態では、ドア開閉装置２が制御部２Ｃを備え、ドア部２２の移動等、各部の作動を制御部２Ｃが司る態様を例示した。この場合、例えば、ドア部を全開位置または中途開放位置から中間停止位置に移動させるタイミングとして、ドア開閉装置がドア閉止命令を受けた時点を採用することが可能である。

一方、ドア開閉装置の上位の装置（上述の実施形態であればＥＦＥＭ、あるいは処理装置）の作動を司る制御部（上位コントローラである上述のＥＦＥＭ全体の制御部３Ｍや処理装置Ｍの制御部ＭＣ）によって、ドア開閉装置の作動も司るように構成することも可能である。この場合、例えば、ドア部を全開位置または中途開放位置から中間停止位置に移動させるタイミングとして、上位コントローラがドア閉止命令を発した時点を採用することができる。

また、上述の制御部は、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、汎用コンピュータに、上述の処理を実行するためのプログラムを格納した記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）から当該プログラムをインストールすることにより、上述の処理を実行する制御部を構成することができる。そして、これらのプログラムを供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板（ＢＢＳ）に当該プログラムを掲示し、これをネットワークを介して搬送波に重畳して提供してもよい。そして、このように提供されたプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上述の処理を実行することができる。

その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

２…ドア開閉装置
２１…フレーム
２１ａ…開口
２１Ａ…フレーム最背面
２１Ｂ…フレーム最前面
２２…ドア部
２３…載置台
３…搬送室
３１…搬送ロボット
４…収納容器
４２…収納容器本体
４３…蓋部
４３１…蓋部の内向き面
４３Ａ…最後方内向き面
４４…リテーナ
４Ｓ…収納容器本体の内部空間
（Ｃ）…全閉位置
（Ｈ）…中間停止位置
（Ｏ）…全開位置

Claims (6)

1. 搬送室の壁面の一部を構成し、且つ当該搬送室内を開放するための開口が形成された板状をなすフレームと、
   前記開口を開閉可能なドア部と、
   収納容器本体の内部空間を開閉可能とする蓋部を前記ドア部に対向させる向きで収納容器を載置可能な載置台とを備え、
   前記ドア部を、前記蓋部を保持した状態で少なくとも前記蓋部によって前記収納容器本体の内部空間を密閉する全閉位置と、前記収納容器本体の内部空間を前方に全開させる全開位置との間で移動させて、前記搬送室内に配置される搬送ロボットにより前記収納容器と前記搬送室との間で前記被搬送物を搬送する際に当該ドア部を開閉するためのドア開閉装置であり、
   前記載置台に載置した前記収納容器と前記フレームが並ぶ前後方向において、前記フレーム側を前方、前記収納容器側を後方として規定し、
   環境ガスによるパージ処理が施される前記収納容器に対する前記搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎に、又は複数回終了する毎に、次に前記収納容器に対する前記搬送ロボットのアクセスを実行する直前までの間、前記ドア部を、前記全閉位置よりも前方であって、且つ前記蓋部のうち前記収納容器本体の内部空間に面する内向き面において前記収納容器本体の背面に最も近い最後方内向き面が前記フレームのうち前記開口の周縁における前記収納容器本体から最も遠いフレーム最前面よりも後方に進入した位置となる所定の中間停止位置で待機させるように構成していることを特徴とするドア開閉装置。
2. 搬送室の壁面の一部を構成し、且つ当該搬送室内を開放するための開口が形成された板状をなすフレームと、
   前記開口を開閉可能なドア部と、
   収納容器本体の内部空間を開閉可能とする蓋部を前記ドア部に対向させる向きで収納容器を載置可能な載置台とを備え、
   前記ドア部を、前記蓋部を保持した状態で少なくとも前記蓋部によって前記収納容器本体の内部空間を密閉する全閉位置と、前記収納容器本体の内部空間を前方に全開させる全開位置との間で姿勢を維持したまま移動させて、前記搬送室内に配置される搬送ロボットにより前記収納容器と前記搬送室との間で前記被搬送物を搬送する際に当該ドア部を開閉するためのドア開閉装置であり、
   前記載置台に載置した前記収納容器と前記フレームが並ぶ前後方向において、前記フレーム側を前方、前記収納容器側を後方として規定し、
   前記ドア部が、前記全閉位置と所定の移動方向切替領域における最前方位置との間で前後移動し、且つ前記全開位置と前記移動方向切替領域における最後方位置との間で昇降移動するものであり、
   環境ガスによるパージ処理が施される前記収納容器に対する前記搬送ロボットのアクセスが１回終了する毎に、又は複数回終了する毎に、次に前記収納容器に対する前記搬送ロボットのアクセスを実行する直前までの間、前記ドア部を、前記全閉位置よりも前方であって且つ前記移動方向切替領域における最前方位置までの間である所定の中間停止位置で待機させるように構成していることを特徴とするドア開閉装置。
3. 前記中間停止位置が、前記全閉位置よりも前方であって、且つ前記蓋部の最後方内向き面が前記フレームのうち前記開口の周縁における前記収納容器本体に最も近いフレーム最背面よりも後方に進入した位置となる所定位置である請求項１又は２に記載のドア開閉装置。
4. 前記フレームのうち前記開口の周縁における前記収納容器本体に最も近い面をフレーム最背面とし、
   前記中間停止位置が、前記全閉位置よりも前方であって、且つ前記蓋部のうち前記収納容器本体の内部空間に面する内向き面において前記収納容器本体の背面に最も近い最後方内向き面が前記収納容器本体のうち前記フレーム最背面に最も近い収納容器本体最前面よりも後方に進入した位置となる所定位置である請求項１乃至３の何れかに記載のドア開閉装置。
5. 前記中間停止位置が、前記蓋部の内向き面に設けられ且つ前記収納容器本体の内部空間を密閉した状態において前記被搬送物のエッジを弾性保持し得るリテーナの弾性が作用しない位置である請求項１乃至４の何れかに記載のドア開閉装置。
6. 前記収納容器に対する前記搬送ロボットのアクセス中は前記ドア部を当該搬送ロボットのアクセスに必要な分だけ前記収納容器本体の内部空間を高さ方向に開放する中途開放位置に待機させるように構成している請求項１乃至５の何れかに記載のドア開閉装置。

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