JP6536090B2 - 搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、隣接する搬送室内に配されるチャンバを有するドア開閉装置を備えた搬送装置に関するものである。

半導体の製造工程においては、歩留まりや品質の向上のため、クリーンルーム内でのウェーハの処理がなされている。しかしながら、素子の高集積化や回路の微細化、ウェーハの大型化が進んでいる今日では、小さな塵をクリーンルーム内の全体で管理することは、コスト的にも技術的にも困難となってきている。このため、近年では、クリーンルーム内全体の清浄度向上に代わる方法として、ウェーハの周囲の局所的な空間についてのみ清浄度をより向上させる「ミニエンバイロメント方式」を取り入れ、ウェーハの搬送その他の処理を行う手段が採用されている。ミニエンバイロメント方式では、筐体の内部で略閉止されたウェーハ搬送室の壁面の一部を構成するとともに、高清浄な内部空間に被搬送物が収納された収納容器（例えばＦＯＵＰ Front-Opening Unified Podと呼ばれる格納用容器）を載置し、収納容器の蓋部に密着した状態で当該蓋部を開閉させるドア部を備えたドア開閉装置が搬送室に隣接して設けられている。

このようなドア開閉装置は、搬送室との間で被搬送物の出し入れを行うための装置であり、収納容器との間でインターフェース部として機能する。そして、ドア開閉装置のドア部を収納容器の前面に設けた蓋部に密着させた状態でこれらドア部及び蓋部が同時に開けられると、搬送室内に設けた搬送ロボットによって、収納容器内の被搬送物を搬送室内に取り出したり、被搬送物を搬送室内からドア開閉装置を通じて収納容器内に収納できるように構成されている。

近年では素子の高集積化や微細化がますます進められており、ウェーハ等の被搬送物の表面にパーティクルや水分が付着しないように、被搬送物周辺をより一層高いクリーン度に維持することが求められている。さらに、被搬送物の表面が酸化する等して表面性状が変化することがないよう、被搬送物の周辺を不活性ガスである窒素雰囲気としたり、真空状態にすることも行われている。

こうした被搬送物の周辺雰囲気を適切に維持するために、下記特許文献１に開示されているように、密閉可能な格納ポッドタイプの収納容器（例えば前記ＦＯＵＰ）の内部に窒素やドライエアなどの環境ガスをパージ可能な機能を有するドア開閉装置も案出され、実用化されている。

また、ウェーハ搬送室の内部に、化学フィルタなどを通じて清浄化されたエアを導入することで、高いクリーン度のクリーン雰囲気にして、搬送中の被搬送物の表面にパーティクル等の付着による汚染がないようにされている。また、収納容器と同様に、搬送室の内部を乾燥窒素雰囲気とすることも考えられる。さらには、乾燥窒素以外であっても、被搬送物への処理に応じて適宜の特殊ガス（以下では総称して「環境ガス」とする）を用いたガス雰囲気とすることも考えられる。

さらにまた、搬送室の内部においてドア部を被覆するチャンバを配置し、チャンバの内部を環境ガスによってパージ処理する態様も考えられている（例えば下記特許文献２）。

特開２０１０−１５５１１１号公報 特開２０１４−１１６４４１号公報

しかしながら、収納容器の内部空間を蓋部によって密閉した状態でチャンバの内部空間に対して環境ガスによるパージ処理を行うことにより、チャンバの内部空間の圧力が高まって陽圧になる。さらに、収納容器の内部空間の圧力よりもチャンバの内部空間の圧力が高くなれば、ドア部を収納容器側に押し付ける方向に作用する力が大きくなる。これにより、ドア部をチャンバ側に移動させて収納容器の内部空間をチャンバの内部空間に向かって開放させる処理（収納容器開放処理）に要する力も大きくなる。その結果、収納容器開放処理をスムーズ且つ適切に行うことができないか、ドア部と蓋部を全く移動させることができず、収納容器の内部空間を開放できないという不具合が生じる。

仮に、上述のような条件下で半ば強引にドア部を移動させて収納容器開放処理を実行した場合、その処理時の衝撃でドア開閉装置全体が揺動或いは振動してしまい、パーティクルの舞い上がりや、載置台上の収納容器内に収納されている被搬送物の位置ズレが発生するおそれがある。さらに、収納容器開放処理を強引に実行することは、ドア部や蓋部等の故障や損傷の原因にもなりかねない。

このような不具合を回避するために、チャンバの内部空間に対するパージ処理を一旦停止して、チャンバの内部空間の圧力を下げた後に、ドア部をチャンバ側に移動させて収納容器開放処理を実行する態様が考えられる。しかしながら、チャンバの内部空間に対するパージ処理を一旦停止することで処理効率が低下することは否めない。

本発明は、このような課題に注目してなされたものであり、主たる目的は、チャンバの内部空間に対するパージ処理を一旦停止する処理を要することなく、ドア部を移動させて収納容器の内部空間をチャンバの内部空間に向かって開放させる処理をスムーズ且つ適切に行うことができ、開放処理に伴うパーティクルの舞い上がりや載置台上の収納容器内に収納されている被搬送物の位置ズレの発生を防止可能なドア開閉装置、及びそのようなドア開閉装置を備えたＥＦＥＭ等の搬送装置またはソータ装置、さらには収納容器の開放方法を提供することにある。

すなわち本発明は、搬送室と、搬送室に隣接して設けられ、内部空間に被搬送物を収納可能な収納容器と搬送室との間で被搬送物の出し入れを行うためのドア開閉装置と、前記搬送室内に設けられ、且つドア開閉装置の載置台上に載置された収納容器と搬送室と間で被搬送物を出し入れ可能な搬送ロボットとを備えた搬送装置に関するものである。ここで、本発明における被搬送物としては、ウェーハ、レティクル、液晶基板、ガラス基板、カルチャープレート、培養容器、ディッシュ、シャーレ等を挙げることができ、本発明は、半導体、液晶、細胞培養等の各種分野での容器に収容される搬送対象物の搬送技術に適用することができる。また、本発明における「搬送室」は、被搬送物を搬送するための部屋であり、例えば被搬送物がウェーハであれは、搬送室は「ウェーハ搬送室」である。

そして、本発明に係る搬送装置は、ドア開閉装置として、搬送室の壁面の一部を構成し、当該搬送室内を開放するための開口が形成された板状をなすフレームと、開口を開閉可能なドア部と、収納容器を載置可能な載置台と、搬送室側において開口と対向する位置に設けられ、且つ環境ガスによってパージ処理される内部空間を有するチャンバと、開口とは別の経路を用いてチャンバの内部空間と収納容器の内部空間を相互に連通させる圧力調整部とを備えたものを適用し、さらに、搬送室の内部空間でダウンフローを形成するガスを循環させる循環ダクトを備え、当該循環ダクトが、搬送室の壁面と搬送室の内部空間とを区画する区画壁を用いて形成したものであ、載置台に載置した収納容器とフレームが並ぶ方向を前後方向とした場合、側面視において循環ダクトは上方に向かって段状に狭まる流路を有するものであり、
循環ダクトのうち、側面視における被搬送物の搬送ラインよりも下側の流路を、搬送ラインよりも上側の流路よりも広く設定していることを特徴としている。

このような本発明に係るドア開閉装置によれば、パージ処理によってチャンバ内に充満している環境ガスを、圧力調整部を通じて収納容器の内部空間に導入することができ、チャンバの内部空間と収納容器の内部空間の圧力差がなくなる。その結果、チャンバ内の圧力が収納容器内の圧力よりも高くなる構成と比較して、ドア部をチャンバ側に移動させて収納容器の内部空間をチャンバの内部空間に向かって開放させる処理（収納容器開放処理）に要する力を小さくすることができ、収納容器開放処理をスムーズ且つ適切に行うことができる。加えて、開放処理時の衝撃を防止・抑制できることによって、ドア開閉装置全体の揺動や振動、さらにはパーティクルの舞い上がり、或いは載置台上の収納容器内に収納されている被搬送物の位置ズレといった諸問題の発生を悉く防止・抑制することができる。また、本発明のドア開閉装置によれば、チャンバの内部空間に対するパージ処理中であってもチャンバ内と収納容器内の圧力差をなくすことができる。このため、チャンバの内部空間の圧力を下げるためにチャンバの内部空間に対するパージ処理を一旦停止する必要もなく、パージ処理効率の点においても優れる。

本発明における圧力調整部は、フレームに形成した開口とは別の経路を用いてチャンバの内部空間と収納容器の内部空間を相互に連通させるものであればよい。好適な具体例としては、チャンバの内部空間に供給した環境ガスを当該チャンバの外部に排出するガス排出部と、上流端をガス排出部に連結させたガス排気経路と、ガス排気経路の下流端が連結され、且つ当該ガス排気経路を通じて収納容器の内部空間に環境ガスを導入するガス導入部とを備えた圧力調整部を挙げることができる。

特に、載置台上の所定箇所に複数設けたノズルを用いて収納容器内の気体雰囲気を環境ガスに置換可能なボトムパージ部を備えたドア開閉装置である場合、ガス導入部を、ノズルとは別に設けた専用のノズルで構成する態様を採用したり、或いは複数のノズルのうち所定数のノズルをガス導入部として機能させる態様を採用することができる。

専用ノズルを用いる態様であれば、ボトムパージ部のノズルは全てボトムパージ用に供されるため、後者の態様と比較して、ボトムパージ部として所期のパージ機能を発揮しつつ、ガス導入部用のノズルによって、チャンバ内と収納容器内の圧力差をなくすことができる。また、既存（既設）のノズルを用いる態様であれば、載置台上に予め設けられているボトムパージ部のノズルを、ガス導入部用のノズルとして利用することで、ボトムパージ部のノズルとは別に新たにガス導入部用のノズルを設ける必要がない。このため、部品点数及びコストの削減を図ることが可能である。なお、後者の既存のノズルを用いる態様は、複数のボトムパージ用のノズルのうちパージガス注入用ノズルとして機能するノズルの全部をガス導入部として機能させる構成と、パージガス注入用ノズルとして機能するノズルのうち全部ではない所定数のノズルだけをガス導入部として機能させる構成の何れの構成を採用してもよい。

また、本発明に係る搬送装置は、搬送室と、搬送室の壁面に設けた上述の構成を有するドア開閉装置と、搬送室内に設けられ、且つドア開閉装置の載置台上の収納容器と搬送室と間で被搬送物を出し入れ可能な搬送ロボットとを備えていることを特徴としている。

また、本発明に係るソータ装置は、搬送室と、搬送室の壁面に複数設けた上述の構成を有するドア開閉装置と、搬送室内に設けられ、且つ少なくとも複数のドア開閉装置の載置台上に載置された収納容器同士の間で被搬送物を出し入れ可能な搬送ロボットとを備えていることを特徴としている。

このような搬送装置やソータ装置であれば、上述の構成を有するドア開閉装置を備えていることによって、上述した作用効果を得ることができる。したがって、パーティクルの舞い上がりや被搬送物の位置ズレを防止・抑制できる環境下で、搬送ロボットによって被搬送物の出し入れ処理を好適に行うことができる。

本発明の収納容器の開放方法は、上述のドア開閉装置を利用した収納容器の開放方法に関するものであり、蓋部によって内部空間が密閉されている収納容器をドア開閉装置の載置台上に載置した状態で、チャンバの内部空間に対して環境ガスによるパージ処理を行い、当該パージ処理が施されたチャンバの内部空間から、開口とは別の経路を用いた圧力調整部によって収納容器の内部空間に対してチャンバ内の環境ガスを導入して、収納容器の内部空間の圧力をチャンバの内部空間の圧力と均一にする圧力調整ステップに続いて、蓋部をドア部とともに移動させて、フレームの開口を通じて収納容器の内部空間をチャンバの内部空間に向かって開放させることを特徴としている。

このような収納容器の開放方法であれば、収納容器を開放した際に収納容器の内部空間が連通する空間の狭小化を図り、収納容器内のパージ濃度を維持するために、搬送室側にチャンバを配置し、このチャンバの内部空間を環境ガスでパージ処理する構成において、圧力調整ステップを経てから蓋部をドア部とともに移動させて、フレームの開口を通じて収納容器の内部空間をチャンバの内部空間に向かって開放させる手順を採用している。これによって、上述の作用効果を得ることができ、開放処理をスムーズ且つ適切に行うことができ、開放処理時の衝撃に起因するパーティクルの舞い上がりや、収納容器内における被搬送物の位置ズレを防止・抑制することができる。

本発明によれば、載置台上の収納容器が密閉された状態においてチャンバ内の圧力と収納容器内の圧力を等しくすることによって、チャンバの内部空間に対するパージ処理を一旦停止する処理を要することなく、ドア部を移動させて収納容器の内部空間をチャンバの内部空間に向かって開放させる処理をスムーズ且つ適切に行うことができる。そして、開放処理に伴うパーティクルの舞い上がりや載置台上の収納容器内に収納されている被搬送物の位置ズレの発生やドア部や蓋部の故障等を防止可能なドア開閉装置、及びそのようなドア開閉装置を備えたＥＦＥＭ等の搬送装置またはソータ装置、さらには収納容器の開放方法を提供することができる。

本発明の一実施形態に係るドア開閉装置を備えたＥＦＥＭとその周辺装置の相対位置関係を示す模式的に示す側面図。 実施形態に係るドア開閉装置を一部省略して示す斜視図。 図２のｘ方向矢視図。 図２のｙ方向矢視図。 載置台に収納容器がフレームから離間し且つドア部が全閉位置にある状態の同実施形態に係るドア開閉装置の側断面を模式的に示す図。 載置台上の収納容器がフレームに密着し且つドア部が全閉位置にある状態を図５に対応して示す図。 ドア部が移動方向切替位置にある状態を図５に対応して示す図。 ドア部が全開位置にある状態を図５に対応して示す図。 載置台上の収納容器がフレームに密着し且つドア部が全閉位置にある状態の同実施形態に係るドア開閉装置の所定高さ位置における平断面を模式的に示す図。 本実施形態におけるＥＦＥＭの動作手順を示すフローチャート。 本実施形態におけるＥＦＥＭの動作手順を示すフローチャート。 同実施形態の一変形例に係るドア開閉装置を図５に対応して示す図。 同実施形態の他の一変形例に係るドア開閉装置を図７に対応して示す図。 同変形例に係るドア開閉装置を図８に対応して示す図。 同実施形態に係るドア開閉装置のさらに異なる一変形例を図８に対応して示す図。

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。

本実施形態に係るドア開閉装置２は、例えば半導体の製造工程において用いられ、図１に示すように、クリーンルーム内において、搬送室３の壁面の一部を構成し、搬送室３と収納容器４との間で被搬送物Ｗの出し入れを行うためのものである。以下では、ドア開閉装置２が、本発明に係る搬送装置の一例であるＥＦＥＭ１（Equipment Front End Module）の一部を構成するロードポートであって、被搬送物Ｗである例えばウェーハを収納容器４（例えばＦＯＵＰ）と搬送室３（ウェーハ搬送室）の間で出し入れ処理する態様について説明する。なお、ＥＦＥＭで取り扱うウェーハのサイズはＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格として標準化されているが、生産性向上の観点からウェーハの大径化が進められ、これまでの直径３００（半径１５０）ｍｍから直径４５０（半径２２５）ｍｍ乃至直径５００（半径２５０）ｍｍのウェーハへの移行が推進されている。

本実施形態に係るドア開閉装置２は、図１乃至図４に示すように、搬送室３の壁面３Ａの一部を構成し、且つ搬送室３の内部空間３Ｓを開放するための開口２１ａが形成された板状をなすフレーム２１と、フレーム２１の開口２１ａを開閉するドア部２２と、フレーム２１に略水平姿勢で設けた載置台２３とを備えている。なお、図２及び図３は、図１で示す載置台２３の下方に設けた外部カバー２０（図２参照）を取外し、内部構造の一部を露出させた状態を示している。

フレーム２１は、起立姿勢で配置され、載置台２３上に載置した収納容器４の搬出入口４１と連通し得る大きさの開口２１ａを有する略矩形板状のものである。本実施形態のドア開閉装置２は、フレーム２１を搬送室３に密着させた状態で使用可能なものである。また、フレーム２１の下端には、キャスタ及び設置脚を有する脚部２４を設けている。本実施形態では、両側方に起立させた支柱２１１と、これら支柱２１１により支持されたフレーム本体２１２と、フレーム本体２１２に略矩形状に開放された窓部２１３に取り付けられたウインドウユニット２１４とを備えたフレーム２１を適用している。

ウインドウユニット２１４は、収納容器４の蓋部４３と対向する位置に設けられており、このウインドウユニット２１４に設けた開口２１５が、本発明におけるフレーム２１に形成された開口２１ａに相当する。後出の図５以降の各図では、ウインドウユニット２１４を省略し、フレーム本体２１２に開口２１ａを形成した構成のフレーム２１を模式的に示している。

ドア開閉装置２の載置台２３は、フレーム２１のうち高さ方向中央よりもやや上方寄りの位置に略水平姿勢で配置される水平基台２５（支持台）の上部に設けられ、収納容器本体４２の内部空間４Ｓを開閉可能とする蓋部４３をドア部２２に対向させる向きで収納容器４を載置可能なものである。また、載置台２３は、図５及び図６に示すように、収納容器４の蓋部４３をドア部２２に密着させる位置（図６参照）と、蓋部４３をドア部２２から所定距離離間した位置（図５参照）との間で、フレーム２１に対して進退移動可能に構成されている。載置台２３は、図２に示すように、上向きに突出させた複数の突起２３１を有し、これらの突起２３１を収納容器４の底面に形成された穴（図示省略）に係合させることで、載置台２３上における収納容器４の位置決めを図っている。なお、図５及び図６等では、載置台２３上における収納容器４の載置状態として、載置台２３の上面に収納容器４の底面が接触している状態を示している。しかしながら、実際には、載置台２３の上面よりも上方に突出している複数の位置決め用突起２３１が、収納容器４の底面に形成された有底の穴に係合することで収納容器４を支持しており、載置台２３の上面と収納容器４の底面は相互に接触せず、載置台２３の上面と収納容器４の底面の間に所定の隙間が形成されるように規定されている。また、載置台２３に対して収納容器４を固定するためのロック爪２３２を設けている。このロック爪２３２を収納容器４の底面に設けた被ロック部（図示省略）に引っ掛けて固定したロック状態にすることで、位置決め用の突起２３１と協働して収納容器４を載置台２３上における適正な位置に案内しながら固定することができる。また、収納容器４の底面に設けた被ロック部に対するロック爪２３２のロック状態を解除することで収納容器４を載置台２３から離間可能な状態にすることができる。

本実施形態では、このようなロードポートの載置台２３に載置した収納容器４とフレーム２１が並ぶ前後方向Ｄ（図１等参照）において、フレーム２１側を前方と定義し、収納容器４側を後方と定義する。

本実施形態のドア開閉装置２は、載置台２３上の所定箇所に複数のノズル２６１を設けている。これらのノズル２６１は、収納容器４の底面側から当該収納容器４内に窒素ガスや不活性ガス又はドライエア等の適宜選択された気体である環境ガス（パージガスとも称され、主に窒素ガスやドライエアが用いられる）を注入し、収納容器４内の気体雰囲気を環境ガスに置換可能なボトムパージ部２６を構成するものとして備えられたものである。しかしながら、本実施形態のドア開閉装置２では、これら予め載置台２３上に設けられているノズル２６１を、後述する圧力調整部６の一部を構成するノズルとして利用している。これら複数のノズル２６１は、本来であれば、環境ガスを収納容器４内に注入するボトムパージ注入用ノズルや、収納容器４内の気体雰囲気を排出するボトムパージ排出用ノズルとして機能するものであり、例えば載置台２３の幅方向に沿って離間した位置に対にして設けることができる。また、これら複数のノズル２６１は、収納容器４の底部に設けた注入口及び排出口（ともに図示省略）に嵌合した状態で連結可能なものである。各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）又は注入口及び排出口は、気体の逆流を規制する弁機能を有するものである。各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）と収納容器４の注入口及び排出口との嵌合部分は、ノズル２６１に設けたパッキン等によって密閉状態になる。なお、本実施形態のドア開閉装置２は、載置台２３上に収納容器４が載置されていない状態であれば、各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）を載置台２３の上面よりも下方に位置付けている。そして、載置台２３に設けた例えば加圧センサの被押圧部を収納容器４のうち底面部が押圧したことを検出した際に、制御部２Ｃからの信号によって、各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）を上方に進出させて収納容器４の注入口と排出口にそれぞれ連結するように構成している。

ドア部２２は、収納容器４の蓋部４３に当該ドア部２２を連結して、蓋部４３を収納容器本体４２から取り外し可能な蓋連結状態と、蓋部４３に対する連結状態を解除し、且つ蓋部４３を収納容器本体４２に取り付けた蓋連結解除状態との間で切り替え可能な連結機構２２１（図４参照）を備えている。ドア部２２は、連結機構２２１によって蓋部４３を一体化した状態で保持したまま所定の移動経路に沿って移動可能なものである。本実施形態のドア開閉装置２は、図５乃至図８に示すように、ドア部２２を、当該ドア部２２が保持する蓋部４３によって収納容器本体４２の内部空間４Ｓを密閉する全閉位置（Ｃ）と、当該ドア部２２が保持する蓋部４３を収納容器本体４２から離間させて当該収納容器本体４２の内部空間４Ｓを搬送室３内に向かって前方に全開放させる全開位置（Ｏ）との間で移動可能に構成している。本実施形態では、図８に示す全開位置（Ｏ）に位置付けたドア部２２の姿勢を、図５及び図６に示す全閉位置（Ｃ）に位置付けたドア部２２の起立姿勢と同じ姿勢に設定し、全開位置（Ｏ）と全閉位置（Ｃ）との間も起立姿勢を維持したまま移動するように設定している。すなわち、全開位置（Ｏ）と全閉位置（Ｃ）との間におけるドア部２２の移動経路は、全閉位置（Ｃ）にあるドア部２２をその高さ位置を維持したまま搬送室３側へ移動させた経路（水平経路）と、全開位置（Ｏ）にあるドア部２２をその前後位置を維持したまま上方へ移動させた経路（鉛直経路）とからなる。水平経路と鉛直経路が交わるポイントにおいて、ドア部２２の移動方向が水平方向から鉛直方向に、或いは鉛直方向から水平方向に切り替わる。この水平経路と鉛直経路が交わるポイントにおいて、ドア部２２は、図７に示す移動方向切替位置（Ｐ）に位置付けられる。同図から把握できるように、移動方向切替位置（Ｐ）に位置付けたドア部２２が鉛直方向及び水平方向の何れにも移動できるように、移動方向切替位置（Ｐ）に位置付けたドア部２２に保持される収納容器４の蓋部４３は、ドア部２２と共にフレーム２１よりも前方の位置（収納容器本体４２から完全に離間し、搬送室３の内部空間３Ｓに配置される位置）に位置付けられる。特に、後述するように本実施形態のドア開閉装置２はチャンバ５を備えている。そのため、少なくともドア部２２の全閉位置（Ｃ）と移動方向切替位置（Ｐ）との間の移動がチャンバ５の内部空間５Ｓで行われるように構成している。また、移動方向切替位置（Ｐ）を経由して全閉位置（Ｃ）と全開位置（Ｏ）との間で移動するドア部２２がチャンバ５と干渉しないように構成している。

このようなドア部２２の移動は、ドア開閉装置２に設けたドア移動機構２７によって実現している。ドア移動機構２７は、図５乃至図８に示すように、ドア部２２を支持する支持フレーム２７１と、スライド支持部２７２を介して支持フレーム２７１を前後方向Ｄに移動可能に支持する可動ブロック２７３と、可動ブロック２７３を上下方向Ｈに移動可能に支持するスライドレール２７４と、ドア部２２の水平経路に沿った前後方向Ｄの移動、及び鉛直経路に沿った上下方向Ｈの移動を行わせるための駆動源（例えば図示しないアクチュエータ）とを備えている。このアクチュエータに対して制御部２Ｃから駆動指令を与えることで、ドア部２２を前後方向Ｄ及び上方方向に移動させるものである。なお、前後移動用のアクチュエータと、上下移動用のアクチュエータとを別々に備えた態様であってもよいし、共通のアクチュエータを駆動源として前後移動及び上下移動を行う態様であってもよい。

支持フレーム２７１は、ドア部２２の後部下方を支持するものである。この支持フレーム２７１は、下方に向かって延材した後に、フレーム２１に形成したスリット状の挿通孔２１ｂを通過して搬送室３の外側（載置台２３側）に張り出した略クランク上の形状をしている。この支持フレーム２７１を支持するためのスライド支持部２７２、可動ブロック２７３、スライドレール２７４もフレーム２１よりも載置台２３側、つまり搬送室３の外側に配置している。これらスライド支持部２７２、可動ブロック２７３、スライドレール２７４は、ドア部２２を移動させる際の摺動箇所となる。本実施形態では、これらを搬送室３の外側に配置することで、万が一ドア部２２の移動時にパーティクルが発生した場合であっても、挿通孔２１ｂを微小なスリット状に設定していることにより、搬送室３内にパーティクルが進入する事態を防止・抑制することができる。また、ドア移動機構２７のうち搬送室３の外側に配置されるパーツや部分、具体的には、支持フレーム２７１の一部、スライド支持部２７２、可動ブロック２７３及びスライドレール２７４を被覆するカバー２８を設けている。これにより、フレーム２１に形成した上述の挿通孔２１ｂを通じて搬送室３内の環境ガスがＥＦＥＭ１の外部に流出しないように設定している。

また、本実施形態に係るドア開閉装置２は、図１、図５乃至図８に示すように、フレーム２１の開口２１ａよりも搬送室３側に設けられるチャンバ５を備えている。このチャンバ５は、ドア部２２によって内部空間を開放した状態にある収納容器４を収納容器４の前面側から遮蔽し得るものである。なお、図１では、チャンバ５全体を陰線（一点鎖線）で示し、ドア開閉装置２の側断面を示す図５乃至図８では、チャンバ５全体を側断面ではなく側面図として模式的に示している。また、図２乃至図４ではチャンバ５を省略している。

チャンバ５は、収納容器４の搬出入口４１及びフレーム２１の開口２１ａと対向する位置に設けられる。そして、本実施形態では、ドア部２２を全開位置（Ｏ）に移動させて蓋部４３による密閉状態が解除された収納容器４の内部空間４Ｓを前方に開放した際に、当該収納容器４の内部空間４Ｓが連通する空間をチャンバ５で少なくとも前後方向に遮断するように構成している。つまり、収納容器４の内部空間４Ｓが連通する空間をチャンバ５の内部空間５Ｓに制限できる。このチャンバ５は、フレーム２１に形成した開口２１ａの開口寸法よりも一回り大きい起立壁５１と、この起立壁５１の両側縁からそれぞれフレーム２１側に延伸する左右一対の側壁５２と、起立壁５１の上縁及び下縁からそれぞれフレーム２１側に延伸する上壁５３及び底壁５４とを一体ないし一体的に設けたものである。そして、チャンバ５の内部空間５Ｓは、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）に位置付けている場合、チャンバ５の各壁５１，５２，５３，５４とフレーム２１及びドア部２２によって密閉または略密閉された空間になる。また、ドア部２２を全開位置（Ｏ）に移動させた場合、チャンバ５の内部空間５Ｓは、搬出入口４１及びフレーム２１の開口２１ａを介して収納容器４の内部空間４Ｓに連通する密閉または略密閉された空間になる。

本実施形態のドア開閉装置２では、チャンバ５を、図示しないチャンバ移動機構によって、フレーム２１の開口２１ａを搬送室３側から被覆する遮蔽位置（図５乃至図８参照）と、開口２１ａに通じる収納容器４の内部空間４Ｓを搬送室３の内部空間３Ｓ、ひいては処理装置Ｍの内部空間ＭＳに開放し得るチャンバ退避位置（図示省略）との間で移動可能に構成している。チャンバ移動機構としては、チャンバ５を水平駆動させるためのエアシリンダと、チャンバ５の水平動作をガイドするガイドレール部と、チャンバ５を昇降駆動させるためのエアシリンダと、チャンバ５の昇降動作をガイドするガイドレール部とを用いたものを挙げることができる。本実施形態のドア開閉装置２は、ドア部２２及びチャンバ５をそれぞれ相互に独立して移動可能に設定している。また、チャンバ５の底壁５４には、これら各部材や機構が通過可能な開口部やスリットを形成している（図示省略）。これにより、チャンバ５を遮蔽位置に設定した状態においてドア部２２を移動させた際に、ドア部２２やドア移動機構２７がチャンバ５と干渉する事態を回避することができる。

そして、本実施形態のドア開閉装置２は、チャンバ５内に窒素ガス等の環境ガスを供給するガス供給用ノズル５５と、チャンバ５内に充填された環境ガスをチャンバ５外に排出するガス排出用ノズル５６とを備えたチャンバ５を適用している。チャンバ５の上壁５３に設けたガス供給用ノズル５５からガス供給用ノズル５５から環境ガスをチャンバ５内に供給するチャンバ内パージ処理を実施することができる。このチャンバ内パージ処理を実施すると、チャンバ５の底壁５４に設けたガス排出用ノズル５６からチャンバ５内の気体雰囲気が排出されるように構成している。すなわち、本実施形態のドア開閉装置２は、チャンバ５の内部空間５Ｓに充満していた空気や空気以外の清浄度が低い環境ガスなどの気体を、このガス排出用ノズル５６を通じてチャンバ５の外へ排出するように構成している。これにより、ガス供給用ノズル５５から供給する環境ガスをチャンバ５内に高濃度で充填できる。なお、ガス供給用ノズル５５及びガス排出用ノズル５６は、気体の逆流を規制する弁機能を有するものである。

また、本実施形態に係るドア開閉装置２は、フレーム２１に形成した開口２１ａとは別の経路を用いてチャンバ５の内部空間５Ｓと収納容器４の内部空間４Ｓを相互に連通させる圧力調整部６を備えている。

本実施形態の圧力調整部６は、チャンバ５の内部空間５Ｓに供給した環境ガスを当該チャンバ５の外部に排出するガス排出部６１と、収納容器４の内部空間４Ｓに環境ガスを導入するガス導入部６３と、ガス排出部６１とガス導入部６３の間に配置されるガス排気経路６２とを備えている。ガス排気経路６２の上流端はガス排出部６１に連結されている。ガス排気経路６２の下流端はガス導入部６３に連結されている。このようなガス排気経路６２を通じて、チャンバ５内から排出される環境ガスを収納容器４内に導入することができる。本実施形態では、上述のチャンバ５の底壁５４に設けたガス排出用ノズル５６によってガス排出部６１を構成している。また、載置台２３に設けたノズル２６１のうちボトムパージ注入用ノズルによってガス導入部６３を構成している。ここで、図５乃至図８では、載置台２３上において前後方向Ｄに離間する位置に設けた複数のノズル２６１のうち相対的にフレーム２１側のノズル２６１をガス導入部６３として機能させている態様を例示している。また、本実施形態の圧力調整部６は、ガス排気経路６２を、上流端をガス排出用ノズル５６に連結した排気チューブによって構成している。そして、この排気チューブ６２の下流端をガス導入部６３として機能するノズル２６１に連結している。

図６乃至図８に模式的に示すように、圧力調整部８を構成する排気チューブ６２のうち上流端と下流端との間の所定部分は、フレーム２１を厚み方向（前後方向）に貫通したり、水平基台２５及び載置台２３を高さ方向に貫通している。なお、これらフレーム２１、水平基台２５及び載置台２３のうち排気チューブ６２が貫通する部分に適宜のシール処理を施している。これにより、貫通部分の隙間による密閉性の低下を防止・抑制することができる。また、本実施形態では、チャンバ５の移動や載置台２３の移動にも追従可能なフレキシブル性或いは伸縮性（蛇腹タイプも含む）に優れた排気チューブ６２を適用している。排気チューブ６２のうちガス排出用ノズル５６やガス導入用ノズル６３との嵌合部分は、パッキン等によって密閉状態にしている。

上記のように構成したドア開閉装置２は、制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えることで所定の動作を実行する。本実施形態のＥＦＥＭ１は、このようなドア開閉装置２を、搬送室３の一つの壁面３Ａに複数（例えば３台）並べて配置している。上述したように、収納容器４とフレーム２１が並ぶ前後方向Ｄにおいて、フレーム２１側を前方と定義し、収納容器４側を後方と定義した本実施形態において、搬送室３のうちドア開閉装置２を配置した壁面３Ａは背面と捉えることができる。

ＥＦＥＭ１は、図１に示すように、共通のクリーンルーム内に相互に隣接する位置に設けたドア開閉装置２（ロードポート）及び搬送室３を主体として構成されたものである。搬送室３のうちドア開閉装置２を配置した壁面３Ａ（背面）に対向する壁面３Ｂには例えば処理装置Ｍ（半導体処理装置）が隣接して設けられる。クリーンルームにおいて、処理装置Ｍの内部空間ＭＳ、搬送室３の内部空間３Ｓ及びドア開閉装置２上に載置される収納容器４の内部空間４Ｓは高清浄度に維持される。一方、ドア開閉装置２を配置した空間、換言すれば処理装置Ｍ外、ＥＦＥＭ１外は比較的低清浄度となる。なお、図１は、ドア開閉装置２及び搬送室３の相対位置関係、及びこれらドア開閉装置２及び搬送室３を備えたＥＦＥＭ１と、処理装置Ｍとの相対位置関係を模式的に示した側面図である。

処理装置Ｍは、相対的に搬送室３に近い位置に配置したロードロック室と、相対的に搬送室３から遠い位置に配置した処理装置本体とを備えたものである。本実施形態では、図１に示すように、ＥＦＥＭ１の前後方向Ｄにおいてドア開閉装置２、搬送室３、処理装置Ｍをこの順で相互に密接させて配置している。

搬送室３は、被搬送物ＷであるウェーハＷを収納容器４と処理装置Ｍとの間で搬送可能な搬送ロボット３１を内部空間３Ｓに設けている。搬送ロボット３１は、例えば複数のリンク要素を相互に水平旋回可能に連結し、先端部にハンドを設けたアームと、アームの基端部を構成するアームベースを旋回可能に支持し且つ搬送室３の幅方向（ドア開閉装置２の並列方向）に走行する走行部とを備え、アーム長が最小になる折畳状態と、アーム長が折畳状態時よりも長くなる伸長状態との間で形状が変わるリンク構造（多関節構造）のものである。なお、搬送室３の側面にバッファステーション、アライナの何れか一方または両方を配置したＥＦＥＭを構成することも可能である。

搬送室３は、ドア開閉装置２及び処理装置Ｍが接続されることによって、内部空間３Ｓが略密閉された状態となる。搬送室３内は、図示しないガス供給口及びガス排出口を用いて環境ガスによるパージ処理を行うことで、環境ガス濃度を高めることが可能となっている。そして、ウェーハ搬送室３の上部にファンフィルタユニット３２を設けて下方に向けてガスを送出し、下部に設けたケミカルフィルタよりガスの吸引を行う。吸引したガスは、循環ダクト３２１を介して上部のファンフィルタユニット３２に向けて戻される。こうすることで、搬送室３の内部空間３Ｓで上方から下方に向かう気流であるダウンフローを形成する。したがって、搬送室３内のガスを循環させて清浄な状態に維持することができる。また、搬送室３の内部空間３ＳにウェーハＷの表面を汚染するパーティクルが存在した場合であっても、ダウンフローによってパーティクルを下方に押し下げ、搬送中のウェーハＷの表面へのパーティクルの付着を抑制することが可能となる。図１には、ファンフィルタユニット３２によるガスの流れを矢印で模式的に示している。

このような環境ガス濃度の高い搬送室３の内部空間３Ｓに上述のチャンバ５を配置した本実施形態では、チャンバ５の内部空間５Ｓに対する環境ガスのパージ処理（チャンバ内パージ処理）を、搬送室３の内部空間３Ｓに対する環境ガスのパージ処理と同時に、或いは個別に実施できるように制御している。つまり、上述のチャンバ５の上壁５３に設けたガス供給用ノズル５５は、チャンバ内パージ処理専用のガス供給源から供給される環境ガスをチャンバ５内に供給するものであってもよいし、搬送室３内に供給される環境ガスをそのままチャンバ５内に供給するものであってもよい。

本実施形態では、収納容器４としてＦＯＵＰを適用している。本実施形態における収納容器４は、前面（フレーム２１側の面）に形成した搬出入口４１を通じて内部空間４Ｓを前方にのみ開放可能な収納容器本体４２と、搬出入口４１を開閉可能な蓋部４３を備えている。収納容器４は、内部に複数枚の被搬送物ＷであるウェーハＷを上下方向Ｈに多段状に収容し、搬出入口４１を介してこれらウェーハＷを出し入れ可能に構成された既知のものである。

収納容器本体４２は、背壁、左右一対の側壁、上壁及び底壁を一体に有する。これら各壁によって囲まれる内部空間４Ｓに被搬送物Ｗを複数段所定ピッチで載せることが可能な棚部４２１（ウェーハ載置部）が設けられている。収納容器本体４２を構成する各壁同士の境界部分は緩やかな湾曲形状をなす。また、上壁における上向面の中央部に、収納容器搬送装置（例えばＯＨＴ：Over Head Transport）等に把持されるフランジ部を設けている。

蓋部４３は、ドア開閉装置２の載置台２３に載置された状態においてドア開閉装置２のドア部２２と対面するものであり、概略板状をなす。蓋部４３の高さ寸法は、ドア部２２のうち蓋部４３に密着し得る面の高さ寸法と略等しく設定されている。なお、図５等では、ドア部２２のうち蓋部４３に密着し得る面の高さ寸法よりも僅かに大きい高さ寸法に設定された蓋部４３を模式的に示している。蓋部４３には、この蓋部４３を収納容器本体４２にロックし得るラッチ部（図示省略）を設けている。また、図９に示すように、蓋部４３の内向き面４３１にはリテーナ４４を設けている。リテーナ４４は、蓋部４３に一体又は一体的に設けられたものでもよいが、蓋部４３に着脱可能に設けたものであれば、損傷した場合等には該当するリテーナ４４だけを交換するだけで対応することができる。さらに、一枚のウェーハを保持するリテーナの数は単数又は複数の何れであってもよく、リテーナ４４の形状も適宜変更することも可能である。このような、収納容器４内に収納されたウェーハＷを蓋部４３の内向き面４３１側から弾性変形しながら保持してウェーハ押さえとして機能するリテーナ４４を蓋部４３の内向き面４３１（具体的には内向き面４３１に形成した凹部４３２）に設けている。これにより、収納容器４内における各被搬送物Ｗの収納位置を位置決めするとともに、薄く脆弱なウェーハ等の被搬送物Ｗの損傷を防止することができる。なお、内向き面４３１のうち搬出入口４１を蓋部４３で閉止した状態において収納容器本体４２に接触または近接する所定の部分（図示例では内向き面４３１の両サイド）にガスケット４３３を設けている。そして、蓋部４３の内向き面４３１よりも優先してガスケット４３３を収納容器本体４２に接触させて弾性変形させることで、収納容器４の内部空間４Ｓを完全密閉できるように構成されている。なお、図９ではチャンバ５を省略している。

本実施形態に係るドア開閉装置２は、制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えることで所定の動作を実行する。なお、本実施形態では、ドア開閉装置２が有する制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えるように構成している。制御部２Ｃは、記憶部と、ＲＯＭと、ＲＡＭと、Ｉ／Ｏポートと、ＣＰＵと、外部の表示装置（不図示）等との間でのデータの入出力を行う入出力インタフェース（ＩＦ）と、これらを相互に接続して各部の間で情報を伝達するバスとを備えた構成を有する。記憶部には、このドア開閉装置２で実行される処理の種類に応じて、制御手順が記憶されている。つまり、この記憶部には、装置各部の所定の動作プログラムが格納されている。このように、本実施形態におけるプログラムは、非一時的なコンピュータ読取可能な記録媒体（ハードディスク等）に実行可能なプログラムとして格納されているものである。ＲＯＭは、ハードディスク、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュメモリなどから構成され、ＣＰＵの動作プログラムなどを記憶する記録媒体である。ＲＡＭは、ＣＰＵのワークエリアなどとして機能する。Ｉ／Ｏポートは、例えば、ＣＰＵが出力する制御信号を装置の各部へ出力したり、センサからの情報をＣＰＵに供給する。ＣＰＵは、制御部２Ｃの中枢を構成し、ＲＯＭに記憶された動作プログラムを実行する。ＣＰＵは、記憶部に記憶されているプログラムに沿ってドア開閉装置の動作を制御する。記憶部に記憶されているプログラム内容は、ドア開閉装置２を備えたＥＦＥＭ１の使用方法及び作用と併せて、ＥＦＥＭ１の動作フローを示す図１０及び図１１等を参照しながら説明する。

先ず、搬送室３のうちドア開閉装置２を配置した共通の壁面３Ａに沿って延伸する直線上の搬送ライン（動線）で作動するＯＨＴ等の収納容器搬送装置により収納容器４がドア開閉装置２の上方まで搬送され、載置台２３上に載置される。この際、例えば載置台２３に設けた位置決め用突起２３１が収納容器４の位置決め用凹部に嵌まる。また、制御部２Ｃが、載置台２３上のロック爪２３２をロック状態にする（ロック処理Ｓｔ１）。具体的には、収納容器４の底面に設けた被ロック部（図示省略）に対して、載置台２３上のロック爪２３２を引っ掛けて固定することでロック状態になる。これにより、収納容器４を載置台２３上の所定の正規位置に載置して固定することができる。本実施形態では、搬送室３の幅方向に３台並べて配置したドア開閉装置２の載置台２３にそれぞれ収納容器４を載置することができる。また、収納容器４が載置台２３上に所定の位置に載置されているか否かを検出する着座センサ（図示省略）により収納容器４が載置台２３上の正規位置に載置されたことを検出するように構成することもできる。

次いで、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、図５に示す位置にある載置台２３を図６に示す位置までフレーム２１に向かって前進させて、フレーム２１のうち開口２１ａの周縁における最も収納容器本体４２に近いフレーム最背面２１Ａに収納容器４の前面（相互に面一な収納容器本体４２の前面４２Ｂ及び蓋部４３の外向き面４３４）を接触させる（ドッキング処理Ｓｔ２）。なお、図５等における符号２１Ｂが指す面は、フレーム２１のうち開口２１ａの周縁において収納容器本体４２から最も遠いフレーム最前面である。引き続き、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、連結機構２２１を蓋連結状態に切り替える（蓋連結処理Ｓｔ３）。この処理により、予め全閉位置（Ｃ）で待機させているドア部２２に蓋部４３を連結機構２２１で連結して密着状態で保持することができる。また、収納容器本体４２から蓋部４３を取り外し可能な状態になる。また、本実施形態のドア開閉装置２では、載置台２３上の正規位置に収納容器４が載置された時点で、制御部２Ｃが、載置台２３に設けた例えば加圧センサの被押圧部を収納容器４のうち底面部が押圧したことを検出する。これをきっかけに、制御部２Ｃが、載置台２３に設けたノズル２６１（ガス導入部６３として機能するノズルを含む全てのノズル２６１）を載置台２３の上面よりも上方へ進出させる駆動命令（信号）を与える。その結果、これら各ノズル２６１を収納容器４の注入口と排出口にそれぞれ連結し、収納容器４内に対するパージ処理を実行可能な状態になる。

次いで、本実施形態のドア開閉装置２は、チャンバ５内に対して環境ガスを供給するチャンバ内パージ処理Ｓｔ４を実行する。このチャンバ内パージ処理Ｓｔ４は、適宜の環境ガス供給源から供給される環境ガスを、チャンバ５の上壁５３に設けたガス供給用ノズル５５からチャンバ５内に注入して、チャンバ５内を環境ガスに置換する処理である。このようなチャンバ内パージ処理Ｓｔ４を実行することにより、チャンバ５の底壁５４に設けたガス排出用ノズル５６（ガス排出部６１）からチャンバ５内の気体雰囲気が排出される。その排出された気体雰囲気（排出ガス）は、排気チューブ６２を通って、載置台２３に設けたノズル２６１のうち排気チューブ６２の下流端が接続されてガス導入部６３として機能するノズル２６１から収納容器４の内部空間４Ｓに導入される。これにより、収納容器４の内部空間４Ｓは、チャンバ５の内部空間５Ｓと同じ環境ガスで充填され、収納容器４の内部空間４Ｓの圧力が、チャンバ５の内部空間５Ｓの圧力と等しくなる。

すなわち、本実施形態では、収納容器４の内部空間４Ｓを密閉した状態でチャンバ内パージ処理Ｓｔ４を行い、当該パージ処理Ｓｔ４が施されたチャンバ５の内部空間５Ｓから、開口２１ａとは別の経路を用いた圧力調整部６によって収納容器４の内部空間４Ｓに対してチャンバ５内の環境ガスを導入して、収納容器４の内部空間４Ｓの圧力をチャンバ５の内部空間５Ｓの圧力と均一にする圧力調整処理Ｓｔ５（本発明における圧力調整ステップに相当）を実施している。圧力調整処理Ｓｔ５の実行中は、載置台２３に設けたノズル２６１のうち、収納容器４に形成された排出口に連結され且つ圧力調整部６の排気チューブ６２が接続されていないノズル２６１（ボトムパージ排出用ノズル）から収納容器４内の気体雰囲気を排出し、その排出した気体雰囲気（この気体雰囲気は、圧力調整処理実行開始から所定時間までは空気や空気以外の清浄度が低い環境ガスであり、当該所定時間経過後は収納容器４の内部空間４Ｓに充填された環境ガスである）を、図示しない適宜の排気経路を通じて収納容器４内及び搬送室３内に連通していない適宜の空間に排気するように構成している。これにより、ガス導入部６３として機能するノズル２６１から供給する環境ガスを収納容器４内に高濃度で充填できるようにしている。このような圧力調整処理Ｓｔ５を実施することによって、収納容器４の内部空間４Ｓを環境ガスで満たして、収納容器４内の水分濃度及び酸素濃度をそれぞれ所定値以下にまで低下させて収納容器４内における被搬送物Ｗの周囲環境を低湿度環境及び低酸素環境にする。したがって、圧力調整処理Ｓｔ５は、収納容器４の内部空間４Ｓを環境ガスに置換する処理（収納容器内パージ処理）を兼ねる処理であると捉えることもできる。

そして、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、圧力調整処理Ｓｔ５に続いて、蓋部４３をドア部２２とともに移動させて、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１を開放して、収納容器４内の密閉状態を解除する処理（収納容器密閉解除処理Ｓｔ６）を実行する。具体的には、制御部２Ｃが、図７及び図８に示すように、ドア部２２をドア移動機構２７により全閉位置（Ｃ）からチャンバ５の内部空間５Ｓにおいて搬送室３側に向かって上述の水平経路に沿って所定距離移動させる。さらに、制御部２Ｃが、図７及び図８に示すように、上述の移動方向切替位置（Ｐ）に到達したドア部２２を上述の鉛直経路に沿って所定距離降下させて全開位置（Ｏ）に位置付ける。この収納容器密閉解除処理Ｓｔ６を実行する時点では、上述の圧力調整処理Ｓｔ５によってチャンバ５の内部空間５Ｓと収納容器４の内部空間４Ｓの圧力差をなくした状態にあるため、ドア部２２をチャンバ５の内部空間５Ｓ側に移動させる処理をスムーズ且つ適切に行うことができる。なお、収納容器密閉解除処理Ｓｔ６は、収納容器４内を開放する処理であることから、「収納容器開放処理」とも言える。

引き続いて、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、チャンバ５を、遮蔽位置から、開口２１ａに通じる収納容器４の内部空間４Ｓを搬送室３の内部空間３Ｓ、ひいては処理装置Ｍの内部空間ＭＳに開放し得るチャンバ退避位置（図示省略）に移動させる処理（チャンバ退避処理Ｓｔ７）を実行する。これにより、収納容器本体４２の内部空間４Ｓ及び搬送室３の内部空間３Ｓがチャンバ５に遮蔽されずに相互に連通した状態になる。なお、チャンバ内パージ処理Ｓｔ４を実行した後に、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から移動方向切替位置（Ｐ）まで移動させて、その位置で一旦待機させた状態で、チャンバ５を遮蔽位置からチャンバ退避位置に移動させ、その後に、ドア部２２を移動方向切替位置（Ｐ）から全開位置（Ｏ）に移動させる処理手順を採用することも可能である。また、本実施形態では、圧力調整処理Ｓｔ５を完了した後の適宜の時点、例えばチャンバ退避処理Ｓｔ７を実行する前の時点で、チャンバ５の内部空間５Ｓに対する環境ガスの供給を停止しておくことで、ガス使用量及びガス使用時間を制限し、コストの削減を図ることもできる。

そして、収納容器本体４２の内部空間４Ｓと搬送室３の内部空間３Ｓとを連通させた状態で、搬送室３の内部空間３Ｓに設けた搬送ロボット３１が収納容器４内にアクセスして、被搬送物Ｗに対する搬送処理を実施する（搬送処理Ｓｔ８）。搬送処理Ｓｔ８において実施可能な搬送処理内容は、搬送ロボット３１がハンドで収納容器４内の被搬送物Ｗを取り出す処理や、製造装置Ｍによる適宜の処理を終えた処理済みの被搬送物Ｗをハンドで収納容器４内に入れる処理である。例えば搬送処理Ｓｔ８によって収納容器４内の被搬送物Ｗを搬送室３内に搬送した場合、搬送室３内に搬送された被搬送物Ｗは、搬送ロボット３１によって処理装置Ｍ（具体的にはロードロック室）に搬送したり、バッファステーション又はアライナに搬送される。また、製造装置Ｍによる適宜の処理を終えた処理済みの被搬送物Ｗは、搬送ロボット３１によって処理装置Ｍの内部空間ＭＳから収納容器４の内部空間４Ｓに直接収納されたり、バッファステーションを経由してから収納容器４の内部空間４Ｓに順次収納される。

そして、本実施形態に係るドア開閉装置２では、収納容器４に対する搬送ロボット３１の次のアクセスを実行する場合（図１３におけるＳｔ９；Ｙｅｓ）、搬送処理Ｓｔ６を繰り返し行う。本実施形態に係るドア開閉装置２では、収納容器４内の被搬送物Ｗが全て処理装置Ｍによる処理工程を終えたものになると、制御部２Ｃが、次の搬送処理を実行しない場合（図１３におけるＳｔ９；Ｎｏ）の処理を実行する。つまり、制御部２Ｃが、ドア移動機構２７によりドア部２２を全閉位置（Ｃ）に移動させて、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１を閉止して、収納容器４の内部空間４Ｓを密閉する処理（収納容器密閉処理Ｓｔ１０、図１１参照）を実行する。具体的には、制御部２Ｃが、図７及び図８に示すように、ドア部２２を上述の鉛直経路に沿って所定距離上昇させて全開位置（Ｏ）から移動方向切替位置（Ｐ）まで移動させる。続いて、制御部２Ｃが、移動方向切替位置（Ｐ）に到達したドア部２２を搬送室３から離間する方向（後方）に向かって上述の水平経路に沿って所定距離移動させる。その結果、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１は閉止されて、収納容器４の内部空間４Ｓは密閉状態になる。この収納容器密閉処理Ｓｔ１０に伴って、蓋部４３の内向き面４３１に設けたリテーナ４４が、弾性変形しながら被搬送物Ｗのエッジを保持し、収納容器４に収納されている全ての被搬送物Ｗを正規の収納位置に位置決めすることができる（図９参照）。

次いで、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、チャンバ５をチャンバ退避位置から遮蔽位置に移動させる処理（チャンバ遮蔽処理Ｓｔ１１）を実行する。続いて、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、上述のチャンバ内パージ処理Ｓｔ４及び圧力調整処理Ｓｔ５とそれぞれ同じ処理内容である第二次チャンバ内パージ処理Ｓｔ１２及び第二次圧力調整処理Ｓｔ１３を実行する。なお、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から移動方向切替位置（Ｐ）まで移動させ、その位置で一旦待機させた状態で、チャンバ遮蔽処理Ｓｔ１１を実行してから、第二次チャンバ内パージ処理Ｓｔ１２及び第二次圧力調整処理Ｓｔ１３を実行し、その後に、ドア部２２を移動方向切替位置（Ｐ）から全閉位置（Ｃ）に移動させる処理手順を採用することも可能である。また、本実施形態では、チャンバ内パージ処理Ｓｔ４を開始した後の適宜の時点でチャンバ５の内部空間５Ｓに対する環境ガスの供給を停止することにより、ガスの使用量及び使用時間を制限し、コストの削減を図ることが可能である。

引き続いて、本実施形態に係るドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、連結機構２２１を蓋連結状態から蓋連結解除状態に切り替える処理（蓋連結解除処理Ｓｔ１４）を実行する。この処理により、連結機構２２１によるドア部２２と蓋部４３の連結状態（蓋連結状態）を解除して、収納容器本体４２に蓋部４３を取り付けることができる。次いで、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、載置台２３をフレーム２１から離間する方向に後退させる処理（ドッキング解除処理Ｓｔ１５）を実行する。また、制御部２Ｃが、載置台２３上のロック爪２３２で収納容器４をロックしている状態を解除する（ロック解除処理Ｓｔ１６）。具体的には、収納容器４の底面に設けた被ロック部に対するロック爪２３２のロック状態を解除する。これにより、所定の処理を終えた被搬送物Ｗを格納した収納容器４は、各ドア開閉装置２の載置台２３上から収納容器搬送装置に引き渡され、次工程へと運び出される。

以上のように、本実施形態に係るドア開閉装置２は、搬送室３側において開口２１ａと対向する位置に設けたチャンバ５の内部空間５Ｓと、蓋部４３によって密閉可能な収納容器４の内部空間４Ｓとを開口２１ａとは別の経路を用いて相互に連通させる圧力調整部６を備えているため、チャンバ内パージ処理によってチャンバ５内に供給する環境ガスを、圧力調整部６を通じて収納容器４の内部空間４Ｓに導入することでチャンバ５の内部空間５Ｓと収納容器４の内部空間４Ｓの圧力差をなくすことができ、チャンバ５内の圧力が収納容器４内の圧力よりも高くなる構成と比較して、ドア部２２をチャンバ５側に移動させて収納容器４の内部空間４Ｓをチャンバ５の内部空間５Ｓに向かって開放させる処理（収納容器開放処理）に要する力を小さくすることができ、収納容器開放処理をスムーズ且つ適切に行うことができるとともに、収納容器開放処理時の衝撃を防止・抑制できることによって、ドア開閉装置２全体の揺動や振動、さらにはパーティクルの舞い上がり、或いは載置台２３上の収納容器４内に収納されている被搬送物Ｗの位置ズレといった諸問題の発生を悉く防止・抑制することができる。

特に、チャンバ５の内部空間５Ｓを短時間で窒素ガス等の環境ガスで充填させる場合には、そのパージ処理時の到達圧力を所定値を超える値まで高める必要があり、従来の構成のままであれば、このような高圧力下で全閉位置（Ｃ）にあるドア部２２に対して収納容器４側に押し出す方向に作用する圧力が飛躍的に増大し、ドア部２２を搬送室３側（チャンバ５側）に向かって移動させるために必要な力も大きく設定しなければならず、収納容器開放処理時の衝撃もまた増大することで、ドア開閉装置２全体の揺動や振動、さらにはパーティクルの舞い上がり、或いは載置台２３上の収納容器４内に収納されている被搬送物Ｗの位置ズレといった不具合が起こり易い。しかしながら、本実施形態のドア開閉装置２は、圧力調整部６を備えていることによって、チャンバ内パージ処理時において、全閉位置（Ｃ）にあるドア部２２に対して収納容器４側に押し出す方向に過度な圧力が作用する事態を回避することができ、ドア部２２をチャンバ５側にスムーズに移動させることができ、上述の不具合の発生を防止・抑制することができる。

さらにまた、チャンバ内パージ処理によってチャンバ５内が陽圧になる構成を採用している場合、従来のドア開閉装置の構成であれば、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から移動させて収納容器４の内部空間４Ｓをチャンバ５の内部空間５Ｓに連通させた際に、相対的に圧力の低い収納容器４の内部空間４Ｓ内にチャンバ５内の窒素ガス等の環境ガスが急激に流れ込むことによって、収納容器４内にパーティクルが舞い上がる事態も生じ得るが、本実施形態のドア開閉装置２は、圧力調整部６によって、収納容器４内とチャンバ５内の圧力差をゼロまたは僅かな差にすることが可能であるため、収納容器４内にチャンバ５内の環境ガスが一気に流れ込む事態を防止・抑制することができ、収納容器４内でのパーティクルの舞い上がりを防止・抑制できる。

加えて、本実施形態のドア開閉装置２は、チャンバ５の内部空間５Ｓに対するパージ処理中であっても圧力調整部６によってチャンバ５内と収納容器４内の圧力差をなくすことができる。そのため、チャンバ５の内部空間５Ｓの圧力を下げるためにチャンバ内パージ処理を一旦停止する必要もなく、パージ処理効率の点においても優れている。

本実施形態に係るドア開閉装置２では、チャンバ５の内部空間５Ｓに供給した環境ガスを当該チャンバ５の外部に排出するガス排出部６１と、上流端をガス排出部６１に連結させたガス排気経路６２と、ガス排気経路６２の下流端が連結され、且つ当該ガス排気経路６２を通じて収納容器４の内部空間４Ｓに環境ガスを導入するガス導入部６３とを用いて圧力調整部６を構成している。これにより、構造の複雑化を招来することなく、比較的簡単な構成で圧力調整部６を実現することができる。

特に、本実施形態に係るドア開閉装置２は、本来は収納容器４内の気体雰囲気を環境ガスに置換可能なボトムパージ部２６を構成するパーツとして載置台２３上の所定箇所に設けたノズル２６１を、圧力調整部６のガス導入部６３として利用している。このため、圧力調整部６のガス導入部６３として機能する専用のノズルを新たに設ける必要がなく、構造の簡略化及びコストの削減を図ることができる。

また、本実施形態に係る搬送装置（ＥＦＥＭ１）は、搬送室３と、搬送室３の壁面３Ａに設けた上述の構成を有するドア開閉装置２と、搬送室３内に設けられ、且つドア開閉装置２の載置台２３上の収納容器４と搬送室３と間で被搬送物Ｗを出し入れ可能な搬送ロボット３１とを備えている。したがって、ドア開閉装置２が奏する上述の作用効果を得て、搬送ロボット３１による収納容器４と搬送室３と間での被搬送物Ｗの出し入れ処理を開始する直前までに要する収納容器開放処理をスムーズ且つ適切に行うことができ、パーティクルの舞い上がりや被搬送物Ｗの位置ズレを防止・抑制可能な環境下で、搬送ロボット３１によって搬送装置１全体による処理効率の向上を図ることができる。

また、本実施形態では、上述のドア開閉装置２を利用した収納容器４の開放方法として、蓋部４３によって内部空間４Ｓが密閉されている収納容器４をドア開閉装置２の載置台２３上に載置した状態で、チャンバ内パージ処理を行い、圧力調整部６によって収納容器４の内部空間４Ｓの圧力をチャンバ５の内部空間５Ｓの圧力と均一にする圧力調整ステップＳｔ５に続いて、蓋部４３をドア部２２とともに移動させて、フレーム２１の開口２１ａを通じて収納容器４の内部空間４Ｓをチャンバ５の内部空間５Ｓに向かって開放させる方法を採用している。したがって、収納容器４を開放した際に収納容器４の内部空間４Ｓが連通する空間の狭小化を図り、収納容器４内のパージ濃度を維持するためにチャンバ内パージ処理を実施した場合であっても、上述の作用効果を得ることができる。その結果、収納容器開放処理をスムーズ且つ適切に行うことができ、開放処理時の衝撃に起因するパーティクルの舞い上がりや、収納容器４内における被搬送物Ｗの位置ズレを防止・抑制することができる。このような収納容器４の開放方法を採用することで、被搬送物Ｗの品質が低下するリスクを回避することが可能であり、歩留まりの向上に寄与する。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、本来はボトムパージ部の一部を構成するパーツとして載置台に設けた複数のボトムパージ用のノズルのうちパージガス注入用ノズルとして機能するノズルの全部をガス導入部として利用する構成を例示した。このような構成に代えて、パージガス注入用ノズルとして機能するノズルのうち全部ではない所定数のノズルだけをガス導入部として利用しつつ、パージガス注入用ノズルとして機能するノズルのうちガス導入部として利用してないノズルは、従来通りボトムパージ部のパージガス注入用ノズルとして用いる構成を採用することも可能である。この場合、収納容内に対するパージ処理は、上述した圧力調整部によってチャンバ内の環境ガスを収納容器内に導入する処理（ガス導入部として利用するノズルによって収納容器内に環境ガスを導入する処理）と、ボトムパージ部の機能を所期通り発揮させる処理（パージガス注入用ノズルのうちガス導入部として利用しないノズルによって収納容器内に環境ガスを導入する処理）の何れか一方、または両方によって実現できる。

さらにはまた、本来はボトムパージ部の一部を構成するパーツとして載置台に設けた複数のボトムパージ用のノズルのうちパージガス注入用ノズルとして機能するノズルの全部または全部ではない所定数を、圧力調整部のガス導入部として利用する第１状態と、ボトムパージ部としての機能を所期通り発揮させる第２状態との間で切替構成に構成することも可能である。この場合、第１状態と第２状態との間で切替可能なノズルに直結する経路（チューブ等）に例えば切替弁を設け、チャンバ内から排出された環境ガスをノズルに向かわせるか、チャンバ内からではなく本来のボトムパージ用の環境ガス供給源から供給される環境ガスをノズルに向かわせるかを切替・選択可能に構成すればよい。

また、圧力調整部のガス排出部として機能するノズルを、載置台上にボトムパージ用として設けられているノズルとは別に専用に設けた構成を採用することもできる。この場合、圧力調整部の有無に関係なく収納容器の底面から収納容器内に環境ガスを供給するボトムパージ部の供給経路と、圧力調整部による収納容器内への環境ガスの供給経路とを完全に別々に設けた構成となる。

サイドパージ（収納容器の側方から環境ガスを供給するパージ処理の一態様）が採用されている収納容器やドア開閉装置であれば、サイドパージ部として利用されるパージガス注入用ノズルを圧力調整部のガス導入部として利用することもできる。また、ノズル以外のパーツや貫通孔などを利用してガス排出部やガス導入部を構成しても構わない。

さらにはまた、ドア開閉装置として、圧力調整部とは別に収納容器の底面から環境ガスを供給するボトムパージ部を備えていないものを適用してもよい。この場合、載置台に適宜のガス導入部を設けて、圧力調整機能を発揮可能なドア装置を構成することができる。

また、上述の実施形態では、圧力調整部のガス排気経路を単一のチューブで構成した態様を例示した。このような態様に代えて、空洞上の内部を流路として活用可能なチューブ等の管状パーツを複数連結してガス排気経路を構成したり、例えばフレームの厚み方向に貫通させた貫通孔等、パーツに形成した貫通孔そのものをガス排気経路の一部として利用することも可能である。

本発明における圧力調整部は、フレームに形成した開口（ドア部によって開閉可能な開口）とは別の経路を用いてチャンバの内部空間と収納容器の内部空間を相互に連通させるものであればよい。例えば、図１２に示すように、ガス排出部６１’をフレーム２１に設け、このガス排出部６１’に上流端を連結したガス排気経路６２’を備えた圧力調整部６’を採用することができる。フレーム２１に設けたガス排出部６１’は、チャンバ５の内部空間５Ｓに連通する貫通孔である。このガス排出部６１’にガス排気経路６２’の上流端を密着させている。ガス排気経路６２’の大部分は、上述のカバー２８内に配置される。ガス排気経路６２’のうち少なくとも上述のカバー２８内に配置される部分は、チューブによって形成される。ガス排気経路６２’の下流端は、ガス導入部６３に密着している。このような圧力調整部６’により、チャンバ内パージ処理によってチャンバ５内に供給する環境ガスは、ガス排出部６１’、ガス排気経路６２’及びガス導入部６３をこの順に通過して収納容器４の内部空間４Ｓに導入される。したがって、このような圧力調整部６’を通じてチャンバ５の内部空間５Ｓと収納容器４の内部空間４Ｓの圧力差をなくすことができる。このようなガス排気経路６２’であれば、チャンバ５の移動に追従して移動または変形可能であるという条件が要求されない。したがって、ガス排気経路６２’を構成する部材の選択や、設置スペース上の設計自由度が高まる。ガス排気経路６２’として、図１２に示すように、ガス排出部６１’から流れてくるチャンバ５内の環境ガスをガス導入部６３に向かわせる経路（圧力調整経路）に加えて、ガス排出部６１’から流れてくるチャンバ５内の環境ガスを適宜の排気空間（例えば搬送室の内部空間）に向かわせる経路（排気経路）を有する構成を採用することができる。図１２には、排気経路の下流端を、フレーム２１のうち上述のカバー２８の内部空間と搬送室の内部空間を連通する位置に設けた貫通孔６４’に密着させている。この場合、ガス排出部６１’から流れてくるチャンバ５内の環境ガスの排気経路を、圧力調整経路または排気経路の何れかに切替可能な構成（例えば切替弁を配置する構成）にすればよい。なお、ガス排気経路６２’は、載置台２３の移動に追従して移動または変形可能である。

また、チャンバは、遮蔽位置に位置付けた状態でフレームやドア部と間に密閉状態または略密閉状態の内部空間を形成可能なものであればよい。例えば、遮蔽位置とチャンバ退避位置との間で移動させる際に、実際に移動する部分（可動部分）は、チャンバ全体であってもよいし、チャンバのうち少なくともフレームの開口に対向し得る起立壁を含む所定部分（一例として上壁以外の部分）であっても構わない。すなわち、チャンバの一部をフレームに対して固定した構成を採用することが可能である。

また、ドア部が、全閉位置と全開位置との間の移動の全部または一部に回転動作を伴うものであっても構わない。例えば、図１３及び図１４に示すように、全閉位置（Ｃ）と移動方向切替位置（Ｐ）との間におけるドア部２２の移動を回転動作に設定しつつ、移動方向切替位置（Ｐ）と全開位置（Ｏ）との間におけるドア部２２の移動を直線動作に設定する構成を挙げることができる。この場合、移動方向切替位置（Ｐ）に位置付けたドア部２２の姿勢は、所定角度傾斜した姿勢となる。この傾斜姿勢を維持したまま移動方向切替位置（Ｐ）と全開位置（Ｏ）の間で移動することになる。なお、図１３及び図１４では一部省略しているドア移動機構２７の具体的な構成や駆動源も適宜変更することができる。

また、上述の実施形態では、被搬送物の出し入れ処理中はドア部を全開位置に待機させるように構成した態様を例示した。このような態様に代えて、例えば、図１５に示すように、被搬送物Ｗの出し入れ処理中はその被搬送物Ｗを収納容器４に対して出し入れするために必要な分だけ収納容器本体４２の内部空間４Ｓを開放する中途開放位置（Ｉ）にドア部２２を待機させるように構成することも可能である。このような構成であれば、被搬送物Ｗの出し入れ処理中における収納容器本体４２の内部空間４Ｓの高さ方向における開放度合いを効果的に低減することが可能である。また、収納容器本体４２の内部空間４Ｓを開放した時点で収納容器４内のパージ濃度は一旦低下し、水分濃度が上昇するが、その上昇した水分濃度を所定値の低水分濃度に戻すまでの時間を短縮することができる。さらに、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）と全開位置（Ｏ）の間で移動させる態様よりも、ドア部２２の移動ストロークの短縮化を図ることができるというメリットもある。なお、全開位置（Ｏ）の設定次第では、収納容器４内の最下段の位置に収納される被搬送物Ｗの出し入れ処理中の中途開放位置が、全開位置（Ｏ）と同じ位置または略同じ位置になる場合もある。なお、図１５では、チャンバを省略している。

本発明に係るドア開閉装置は、搬送装置の一例であるＥＦＥＭの一部を構成するものとして使用可能であることは上述した通りである。したがって、ＥＦＥＭ以外の搬送装置やソータ装置の一部を構成するものとして使用することも可能である。ソータ装置は、例えば、搬送室の壁面に本発明に係るドア開閉装置を複数配置し、各ドア開閉装置の載置台上に載置した収納容器間で被搬送物を搬送室内に設けた搬送ロボットによって入替可能な装置である。搬送室の共通の壁面に複数のドア開閉装置を配置したソータ装置、或いは搬送室の相互に異なる壁面（例えば前壁と後壁のように対向する壁面）にそれぞれ１又は複数のドア開閉装置を配置したソータ装置、あるいは何れかの側面にバッファステーションやアライナを配置し、各ドア開閉装置の載置台上に載置した収納容器同士、或いは、収納容器とバッファステーションまたはアライナとの間で被搬送物を搬送ロボットによって入替・出し入れ可能なソータ装置、これら何れであっても構わない。

このようなソータ装置であれば、上述の構成を有するドア開閉装置を備えていることによって、上述した作用効果を得ることができ、被搬送物の出し入れ処理を好適に行うことができる。

搬送室の壁面に配置するドア開閉装置は１台であってもよい。

上述した実施形態では、被搬送物としてウェーハを例示したが、被搬送物が、レティクル、液晶基板、ガラス基板、カルチャープレート、培養容器、ディッシュ、或いはシャーレ等であってもよい。すなわち、本発明は、半導体、液晶、細胞培養等の各種分野での容器に収容される搬送対象の搬送技術に適用することができる。

また、本発明に係るドア開閉装置は、ロードポートに限定されず、収納容器と搬送室のインターフェース部分として機能する用途で使用可能なものである。

収納容器内のパージ処理として、上述したボトムパージ処理に加えて、収納容器の内部空間を前方（チャンバ側）に開放した状態で、収納容器の内部空間の前方から環境ガスを供給するいわゆるフロントパージ処理を適用することも可能である。フロントパージ処理を実行するフロントパージ部は、収納容器本体または蓋体に設けてもよいし、ドア開閉装置に設けてもよい。本発明における収納容器は、上述の実施形態で述べたように、ドア開閉装置の載置台上に載置された時点以降の適宜のタイミングでパージ処理が施される収納容器であってもよい。しかしながら、本発明における収納容器として、ドア開閉装置の載置台上に載置された時点以降の適宜のタイミングでパージ処理が施されない収納容器や、載置台上に載置されるよりも前の時点で予めパージ処理が施されている収納容器を適用することもできる。ドア開閉装置の載置台上に載置されるよりも前の時点で予め施されるパージ処理のタイミングの具体例としては、複数の収納容器を保管可能な保管庫に保管されている時点、ドア開閉装置とは別の専用パージステーション上に載置されている時点、他の被搬送物製造装置における製造工程中の適宜の時点乃至製造完了後の適宜の時点を挙げることができる。

収納容器の種類やタイプ、搬送室の具体的な構成や機能も適宜変更することができる。パージ処理に要する環境ガスとして、窒素ガスやドライエア以外の気体を適用しても構わない。

搬送ロボットとして、被搬送物把持部（上述の実施形態であればハンド）を複数有するものを適用することができる。また、被搬送物把持部がハンド以外の所定のパーツ等から構成された搬送ロボットを適用することもできる。また、搬送ロボットは、搬送室内に配置されるものであればよい。搬送ロボットを備えたドア開閉装置であってよい。

上述の実施形態では、ドア開閉装置２が制御部２Ｃを備え、ドア部２２の移動等、各部の作動を制御部２Ｃが司る態様を例示した。この態様に代えて、ドア開閉装置の上位の装置（上述の実施形態であればＥＦＥＭ、あるいは処理装置）の作動を司る制御部（上位コントローラである上述のＥＦＥＭ全体の制御部３Ｍや処理装置Ｍの制御部ＭＣ）によって、ドア開閉装置の作動も司るように構成することも可能である。

また、上述の制御部は、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、汎用コンピュータに、上述の処理を実行するためのプログラムを格納した記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）から当該プログラムをインストールすることにより、上述の処理を実行する制御部を構成することができる。そして、これらのプログラムを供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板（ＢＢＳ）に当該プログラムを掲示し、これをネットワークを介して搬送波に重畳して提供してもよい。そして、このように提供されたプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上述の処理を実行することができる。

その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

１…搬送装置（ＥＦＥＭ）
２…ドア開閉装置
２１…フレーム
２１ａ…開口
２２…ドア部
２３…載置台
２６…ボトムパージ部
２６１…ボトムパージ注入用ノズル
３…搬送室
３１…搬送ロボット
４…収納容器
４Ｓ…収納容器の内部空間
５…チャンバ
５Ｓ…チャンバの内部空間
６…圧力調整部
６１…ガス排出部
６２…ガス排気経路（排気チューブ）
６３…ガス導入部
Ｗ…被搬送物

Claims (6)

1. 搬送室と、
   前記搬送室の壁面に設けられ、且つ内部空間に被搬送物を収納可能な収納容器と前記搬送室との間で前記被搬送物の出し入れを行うためのドア開閉装置と、
   前記搬送室内に設けられ、且つ前記ドア開閉装置に載置された前記収納容器と前記搬送室と間で前記被搬送物を出し入れ可能な搬送ロボットとを備えた搬送装置であって、
   前記ドア開閉装置は、
   前記搬送室の壁面の一部を構成し、当該搬送室内を開放するための開口が形成された板状をなすフレームと、
   前記開口を開閉可能なドア部と、
   前記収納容器を載置可能な載置台と、
   前記搬送室側において前記開口と対向する位置に設けられ、且つ環境ガスによってパージ処理される内部空間を有するチャンバと、
   前記開口とは別の経路を用いて前記チャンバの内部空間と前記収納容器の内部空間を相互に連通させる圧力調整部とを備えたものであり、
   さらに、前記搬送室の内部空間でダウンフローを形成するガスを循環させる循環ダクトを備え、当該循環ダクトは、前記搬送室の壁面と当該搬送室の内部空間とを区画する区画壁によって形成したものであり、
   前記載置台に載置した前記収納容器と前記フレームが並ぶ方向を前後方向とした場合、側面視において前記循環ダクトは上方に向かって段状に狭まる流路を有するものであり、
   前記循環ダクトのうち、側面視における前記被搬送物の搬送ラインよりも下側の流路を、前記搬送ラインよりも上側の流路よりも広く設定していることを特徴とする搬送装置。
2. 前記区画壁は、前記搬送室のうち前記ドア開閉装置を配置した壁面に対向する壁面と当該搬送室の内部空間とを区画するものである請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記チャンバは、当該チャンバの内部空間に環境ガスを供給するガス供給部を備えたものである請求項１又は２に記載の搬送装置。
4. 前記搬送室の側面の一方または両方に、前記被搬送物の載置ステーションを配置している請求項１乃至３の何れかに記載の搬送装置。
5. 前記被搬送物は半導体ウェーハであり、前記載置ステーションはバッファステーションまたはアライナである請求項４に記載の搬送装置。
6. 前記ドア開閉装置が、前記載置台上の所定箇所に複数設けたノズルを用いて前記収納容器内の気体雰囲気を環境ガスに置換可能なボトムパージ部を備えたものであり、前記複数のノズルのうち所定数のノズルを前記収納容器の内部空間に前記環境ガスを導入するガス導入部として機能させている請求項１乃至５の何れかに記載の搬送装置。

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