JP7177333B2 - ロードポート、および、efem - Google Patents
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Description
格納容器に格納されたウエハを、処理装置に出し入れするためのロードポートであって、
前記処理装置に形成された開口を塞ぐように取り付けられるベース部と、
前記ベース部に取り付けられる駆動機構と、
を備え、
前記ベース部が、
前記ウエハを通過させるためのウエハ通過開口部を囲むフレーム部分の少なくとも一部を形成するポートフレームと、
前記ポートフレームと連結され、前記ポートフレームよりも剛性が高く、前記駆動機構を支持する支持プレートと、を備え
前記ポートフレームは、前記ウエハ通過開口部を囲む第1フレーム部分と、前記支持プレートが取り付けられることにより塞がれる取付開口部を囲む第2フレーム部分とが連なった形状を有する1つの部材である。
また、駆動機構が取り付けられる支持プレートの周囲が、ポートフレームの一部(すなわち、第2フレーム部分)に囲まれることとなる。したがって、ポートフレームに対して支持プレートが安定して固定されることとなり、ポートフレームを処理装置に対して適切な位置関係で取り付ければ、支持プレート(ひいては、これに取り付けられている駆動機構)も、処理装置に対してほぼ適切な位置関係に配置される。したがって、ロードポートの取り付けや位置調整に係る作業を簡素化することができる。
前記駆動機構が、
前記格納容器を載置するための載置部を、前記ベース部に対して近接離間する方向に移動させる載置部駆動機構と、
前記ウエハ通過開口部を塞ぐように設けられるドア部を、前記ウエハ通過開口部を塞ぐ閉鎖位置と、前記ウエハ通過開口部と重ならない開放位置との間で移動させるドア部駆動機構と、
を備える。
前記支持プレートは、前記ドア部駆動機構により前記ドア部を移動させるためのスライドプレートが挿通されるスリットを有している、
前記ポートフレームが、板金により形成されている。
前記支持プレートが、アルミニウム成形板により形成されている。
すなわち、本発明に係るEFEMは、
搬送ロボットと、前記搬送ロボットを収納する搬送チャンバーと、を備える搬送部と、
格納容器に格納されたウエハを、前記搬送部に出し入れするためのロードポートと、
を備え、
前記ロードポートが、
前記搬送チャンバーに形成された開口を塞ぐように取り付けられるベース部と、
前記ベース部に取り付けられる駆動機構と、
を備え、
前記ベース部が、
前記ウエハを通過させるためのウエハ通過開口部を囲むフレーム部分の少なくとも一部を形成するポートフレームと、
前記ポートフレームと連結され、前記ポートフレームよりも剛性が高く、前記駆動機構を支持する支持プレートと、を備え、
前記ポートフレームは、前記ウエハ通過開口部を囲む第1フレーム部分と、前記支持プレートが取り付けられることにより塞がれる取付開口部を囲む第2フレーム部分とが連なった形状を有する1つの部材である。
実施形態に係るロードポートの概略構成を、図1を参照しながら説明する。図1は、ロードポート1およびこれが接続される処理装置8を示す図である。
ロードポート1の構成を、図1に加え、図2~図4を参照しながらより具体的に説明する。図2は、ロードポート1を前方の斜め上から見た図である。図3は、ロードポート1を後方の斜め下から見た図である。図4は、ロードポート1を前方の斜め下から見た図である。
ベース部10の構成について、図5を参照しながら説明する。図5は、ベース部10の構成を説明するための図である。
ロードポート1の組み立ておよび設置の態様について、図1~図5に加え、図6を参照しながら説明する。図6は、ロードポート1の組立ての態様を説明するための図である。
ロードポート1の動作について、図1等を参照しながら説明する。
上記の実施形態に係るロードポート1によると、ロードポート1の適正な動作を担保しつつ、ロードポート1の軽量化を実現することができる。すなわち、ロードポート1においては、処理装置8に取り付けられるベース部10が、剛性が異なる2つの部分110,120を備え、相対的に剛性が高い支持プレート120に、駆動機構40,50が取り付けられる。したがって、駆動機構40,50の位置決め精度を担保することができる。また、駆動機構40,50における振動の発生も抑制される。その一方で、ベース部10の全体が高剛性とされるのではなく、ウエハ通過開口部11を囲むフレーム部分の少なくとも一部が、相対的に剛性が低いポートフレーム110とされることにより、ベース部10(ひいては、ロードポート1)が軽量化される。ロードポート1が軽量化されることにより、ロードポート1の取り付けや位置調整に係る作業の負担が大幅に低減される。
上記の実施形態では、ポートフレーム110は、第1フレーム部分110aと、第2フレーム部分110bとが上下に連なって、全体として「日」の字形状をなしていたが、ポートフレーム110の形状はこれに限られるものではなく、ウエハ通過開口部11を囲むフレーム部分の少なくとも一部を形成するものであればよい。例えば、ポートフレームを、第1フレーム部分110aのみから成るものとしてもよい。この場合、ポートフレームの下縁に支持プレート120の上縁を取り付ければよい。また例えば、ポートフレームを、ウエハ通過開口部11の側方および上方を囲む門型の形状としてもよい。この場合、ポートフレームの一対の支柱の下端を、支持プレート120の上縁に固定すればよい。
10 ベース部
110 ポートフレーム
110a 第1フレーム部分
110b 第2フレーム部分
120 支持プレート
130 連結プレート
11 ウエハ通過開口部
12 スリット
13 取付開口部
20 載置部
30 ドア部
40 載置部駆動機構
41 支持プレート
42 スライドプレート
43 直動機構
44 連結具
50 ドア部駆動機構
51 昇降ブロック
52 直動機構
53 スライドプレート
54 直動機構
55 連結具
60 カバー部
8 処理装置
9 格納容器
Claims (6)
- 格納容器に格納されたウエハを、処理装置に出し入れするためのロードポートであって、
前記処理装置に形成された開口を塞ぐように取り付けられるベース部と、
前記ベース部に取り付けられる駆動機構と、
を備え、
前記ベース部が、
前記ウエハを通過させるためのウエハ通過開口部を囲むフレーム部分の少なくとも一部を形成するポートフレームと、
前記ポートフレームと連結され、前記ポートフレームよりも剛性が高く、前記駆動機構を支持する支持プレートと、を備え
前記ポートフレームは、前記ウエハ通過開口部を囲む第1フレーム部分と、前記支持プレートが取り付けられることにより塞がれる取付開口部を囲む第2フレーム部分とが連なった形状を有する1つの部材であるロードポート。 - 請求項1に記載のロードポートであって、
前記駆動機構が、
前記格納容器を載置するための載置部を、前記ベース部に対して近接離間する方向に移動させる載置部駆動機構と、
前記ウエハ通過開口部を塞ぐように設けられるドア部を、前記ウエハ通過開口部を塞ぐ閉鎖位置と、前記ウエハ通過開口部と重ならない開放位置との間で移動させるドア部駆動機構と、
を備える、ロードポート。 - 請求項2に記載のロードポートであって、
前記支持プレートは、前記ドア部駆動機構により前記ドア部を移動させるためのスライドプレートが挿通されるスリットを有している、
ロードポート。 - 請求項1から3のいずれかに記載のロードポートであって、
前記ポートフレームが、板金により形成されている、
ロードポート。 - 請求項1から4のいずれかに記載のロードポートであって、
前記支持プレートが、アルミニウム成形板により形成されている、
ロードポート。 - 搬送ロボットと、前記搬送ロボットを収納する搬送チャンバーと、を備える搬送部と、
格納容器に格納されたウエハを、前記搬送部に出し入れするためのロードポートと、
を備え、
前記ロードポートが、
前記搬送チャンバーに形成された開口を塞ぐように取り付けられるベース部と、
前記ベース部に取り付けられる駆動機構と、
を備え、
前記ベース部が、
前記ウエハを通過させるためのウエハ通過開口部を囲むフレーム部分の少なくとも一部を形成するポートフレームと、
前記ポートフレームと連結され、前記ポートフレームよりも剛性が高く、前記駆動機構を支持する支持プレートと、を備え、
前記ポートフレームは、前記ウエハ通過開口部を囲む第1フレーム部分と、前記支持プレートが取り付けられることにより塞がれる取付開口部を囲む第2フレーム部分とが連なった形状を有する1つの部材である、EFEM。
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JP2018127296A JP7177333B2 (ja) | 2018-07-04 | 2018-07-04 | ロードポート、および、efem |
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Family Applications (1)
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JP2018127296A Active JP7177333B2 (ja) | 2018-07-04 | 2018-07-04 | ロードポート、および、efem |
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JP2014049453A (ja) | 2012-08-29 | 2014-03-17 | Tdk Corp | ロードポート装置 |
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- 2018-07-04 JP JP2018127296A patent/JP7177333B2/ja active Active
-
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- 2019-07-02 KR KR1020190079156A patent/KR20200004756A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (2)
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