JP2014049453A - ロードポート装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 ロードポート装置の梱包及び運搬の操作の容易化を図る。
【解決手段】 ロードポート装置を、開口部を有する上部構造体と、開口部を閉鎖可能なドア、ドア駆動源、ポッドを前記開口部と正対させて載置可能な載置テーブル、ドア駆動源及び載置テーブルを支持するフレーム構造体を有する下部構造体と、から構成し、且つ該上部構造体は該下部構造体に対して分離可能に固定されることとする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる密閉型の搬送容器の内部に保持されたウエハを半導体処理装置に移載する、或いはウエハを該半導体処理装置より該ポッドに移載する際に用いられる所謂FIMS（Front-Opening Interface Mechanical Standard）システム、即ちロードポート装置に関する。

半導体製造プロセスは、近年では各種処理装置の内部、ウエハを収容して各処理装置間でのウエハ搬送を可能とするポッド、及び該ポッドより各処理装置への基板の受け渡しを行う微小空間、の３空間のみを高清浄状態に保つことで、プロセスを通じての清浄度の管理を行う手法が一般的となっている。なお、微小空間とは、ポッド内部-処理室間でのウエハ等のやり取りを行うためのロボットが配置され且つ動作する所謂搬送室（Transfer Chamber）を指し、当該室上部に配されたフィルタ及びファンを用いて該室内部に清浄空気等が導入される空間として規定される。このようなポッドは、ウエハを内部に収容し且つ一側面にウエハ挿脱用の開口を有する本体部と、該開口を閉鎖してポッド内部を密閉空間とする蓋と、から構成される。また、該微小空間は、前述したポッドの開口と対向可能な開口部と、該開口部と向かい合い半導体処理装置側に配置される第二の開口部と、を有する。

例えば特許文献１に開示されるロードポート装置は、この開口部が形成された隔壁となる部材即ちサイドベースと称呼される壁と、該開口部を閉鎖するドアと、該ドアの動作を司るドア駆動機構と、ポッドが載置される載置テーブルと、から構成される。載置テーブルは、ポッドの開口と開口部とを向かい合わせるようにポッドを支持可能であり、且つポッドと共に蓋をドアと近接或いは離間させる。ドアは、ポッドの蓋を保持可能であり、ドア駆動機構によって蓋を保持した状態で開口部を開放、閉鎖すると共に、開口部と第二の開口部との間の空間より下方に退避或いは該空間への侵入をさせられる。微小空間内にはロボットが配置され、該ロボットは開口部−ポッド開口を介してポッド内部に対する侵入及び退避が可能であって、第二の開口部も介して該ポッド内部と該半導体処理装置との間でウエハの移載を行う。

当該ロードポート装置は、半導体処理装置とは別個に作成され、半導体製造ラインにおいて当該装置に対して取り付けられる。より詳細には、前述したロボットが配置されて一面が開放された半導体製造装置における一室の該開放部をサイドベースによって閉鎖して微小空間を画定し、これによってウエハ搬送ラインと半導体処理装置とのインターフェース部を構築している。

特開２０１１−０６６２６０号公報

特許文献１に例示されるように、ロードポート装置は設置時の高さ方向に長い板状のサイドベースの中央付近から厚さを有した箱状の載置テーブルが垂直に突き出す構造からなる。該ロードポート装置は半導体製造ラインに配置される関係上、搬送時においても塵等の厳密な管理が要求され、当該構造からなるロードポート装置本体全てを厳重に梱包等した上で搬送することが求められる。しかし、ロードポート装置の構造は、この梱包、搬送等において手間、費用等を勘案した場合非常に不利であると考えられる。ここで、半導体製造工程においては、生産性の向上等を目的として、用いるウエハの大口径化が進められている。これに伴って、前述したポッド、微小空間、及び処理装置内部の空間各々も大型化されている。このため、ロードポート装置も大型化し、その重量も大きく増大せざるを得ない状況にある。この様な重量の増加は非常に大きく、梱包時における要請も相まって適切な対応が望まれている。

本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、製造工場から半導体製造ラインまでの搬送が容易であって、且つ重量の増加に対してもその影響を軽減可能なロードポート装置の提供を目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置は、開口部を除いて微小空間の一面を閉鎖するように取付け面に固定されて微小空間と外部空間とを分離し、外部空間に配置されて収容物を収容したポッドの蓋を開閉してポッドの内部空間と微小空間とを連通させるロードポート装置であって、開口部を有する上部構造体と、開口部を閉鎖可能なドアと、ドアを支持してドアの開口部に対する接近及び離間を為して開口部の開閉を行うドア駆動機構と、ポッドを前記開口部と正対させてポッドの蓋の開閉が可能となるように載置可能な載置テーブルと、平行に配置される複数の板状のメインベースと複数のメインベース各々を連結させる連結部材とからなり前ドア駆動機構及び載置テーブルを支持すると共に前記取付け面に固定されるフレーム構造体と、を有する下部構造体と、を有し上部構造体は下部構造体に対して分離可能に固定されることを特徴とする。

なお、上述したロードポート装置において、ドア駆動機構は、所定の軌跡で移動可能であって所定の軌跡の一方の端部と他方の端部とを結ぶ直線に対して所定の交差角度で交差する方向に延在するカム溝を有してドアを支持するスライダと、カム溝と係合するカムフォロアを支持してカムフォロアから離れた位置に配置されて駆動源と向かい合う回転軸を回転中心としてカムフォロアを所定の角度範囲で回転動作させる駆動源と、を有し、カム溝は前記所定の軌跡に対して交差し、カムフォロアが所定の角度範囲の両端にある際にカムフォロアはカム溝の下方の端部に位置することが好ましい。

また、該ロードポート装置において、メインベースは、取付け面に対して所定の角度を保持して突出するように配置される板状体であって、ドア駆動機構はメインベースの主面に固定され、主面は前記ドア駆動機構がドアにより開口部を開閉させる際のドアの二つの移動方向で定義される平面に対して平行な面内に延在することが好ましい。

本発明によれば、製造工場から半導体製造ラインまでのロードポート装置の搬送が容易であって、且つ重量の増加に対してもその影響を軽減することが可能となる。

本発明の一実施形態に係るロードポート装置にポッドを載置してこれらを側面から見た状態の概略構成を示す図である。 図１に示す構成に関して、載置テーブルが配置される側から該ロードポート装置を見た場合の概略構成を示す図である。 図１に示すロードポート装置における下部構造体の構成を模式的に示す斜視図である。 図１における断面Ａ−Ａより該ロードポート装置、その取付け面、及びポッドを見た場合の概略構成を示す平面図である。 図１における断面Ｂ−Ｂより該ロードポート装置及びその取付け面を見た場合の概略構成を示す平面図である。 下部構造体より上部構造体を分離した状態を図２と同様の様式にて示した図である。 図１に示すロードポート装置におけるドア駆動機構を模式的に示す側面図である。

本発明の実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態におけるロードポート装置に関し、ポッド２を載置テーブル上に載置した状態を側面から見た場合の概略構成を示している。また、図２は、ポッド２を取り除いた状態で該ロードポート装置を図１における載置テーブル側から見た状態の概略構成図を示す。なお、図１及び図２において、本発明の構造の理解を容易とするために、後述するドアの駆動ユニット以外の構成は削除して示している。図３は、ロードポート装置における下部構造体を上述した取付け面側から見た場合の概略構成を示す斜視図である。図４は図１における断面Ａ−Ａより該ロードポート装置及びその取付け面、及びポッドを見た場合の概略構成を示す平面図であり、図５は図１における断面Ｂ−Ｂより該ロードポート装置及びその取付け面を見た場合の概略構成を示す平面図である。図６は、下部構造体と上部構造体とを分離した状態について図２と同様の様式よりこれらを見た際の概略構成を示している。更に、図７は、ドア及びウエハセンサ各の駆動ユニットであって、開口部形成面に対して接近及び離間を行うユニットを示している。

本形態に係るロードポート装置１は、下部構造体１００及び該下部構造体１００に対して分離可能な上部構造体２００より構成される。より詳細には、下部構造体１００と上部構造体２００とを接続してロードポート装置１を形成した際に、例えば図１の側面図において後述する載置テーブル１５の上面より突き出す領域の構造物を上部構造体２００とし、載置テーブル１５を含めた下方の領域の構造体を上部構造体２００に対して分離可能な下部構造体１００としている。当該構造とすることによって、下部構造体１００は側方から見た形態が水平部と該水平部の一端から下方に延びる垂直部とからのみなる構造体となり、梱包及び搬送が従来の構造体と比較した大幅に容易となる。また、上部構造体２００自体が比較的単純な構造の板材とそれに付随する部材とからなる構成となることから、該上部構造体２００についても搬送及び梱包が容易となる。また、分離することによって、単一の重量物の搬送や固定作業を行うのではなく、部分毎にこれを行うことが可能となりロードポート装置の重量増加への対処の一助ともなる。

上述した従来のロードポート装置においてドアをサイドプレートに押し付けた位1置を基準としてドアの位置決め等が行われる。このため、上述したような様式によって上部構造体２００と下部構造体１００とにロードポート装置１に分離した場合、両構造体の位置関係を厳密に規定した上で接続を為さないとドアの好適な位置決めのための操作或いは構成の付加が必要となる。これに対し、本実施形態では後述する構成からなるドア駆動機構１９を用いることによって、上部構造体２００によるドアの位置決めを行うこと無しに、ドアの移動位置の精度を高めることを可能としている。また、ドア駆動機構１９を支持する下部構造体１００を後述するフレーム構造体とすることによりその剛性を向上させ、ドア１７駆動時に発生するモーメント等への耐性を向上させている。その結果、前述した微小空間を閉鎖する部材を従来のメインベースと比較して剛性の低い薄板から構成することも可能としている。以下、各々の構成について詳細に述べる。

下部構造体１００は、I形プレート１１、メインベース１３、載置テーブル１５、ドア１７、ドア駆動機構１９、及び下部板状体２１を有する。なお、実際の構成では、ドア駆動機構１９、及び載置テーブル１５に付随するポッド駆動機構２５を覆って、これらからの発塵の飛散を防止する不図示のカバーが載置テーブル１５の下部に配置される。当該カバーはこれら構成を収容する密閉空間を形成する。また、前述した開口部が設けられる取付け面を有する半導体処理装置については、本実施形態と直接的な関係を有さないことからここでの図を用いた説明は省略する。なお、以下で述べる取付け面３（図４及び５参照）は、上述した半導体処理装置内部の微小空間と外部空間とを連通させる壁の一面であって、内部が前述した微小空間となる該半導体処理装置の外部側に向かう面である。本発明に係るロードポート装置は、半導体処理装置の筐体の外面である該取付け面に対して、接続部材等を介して取付け、固定される。

次に個々の構成について説明する。メインベース１３は板状体からなり、取付け面と当接して該取付け面に固定される断面I字形の接続プレート１１によって、該取付け面から垂直に突き出すように支持される。一対のメインベース１３は、各々の間に配置されて両端部が各々に接触する棒状の連結シャフト２３によって一体化される。即ち、本形態では、複数の板状体のメインベース１３とこれらを連結する連結部材たる連結シャフト２３とによってフレーム構造体が構成される。該フレーム構造体によって下部構造体１００の剛性が供せられ、これによりドア駆動機構１９、載置テーブル１５等の構成物が支持される。なお、フレーム構造体の軽量化等の観点から連結部材は棒状の連結シャフト２３とし、且つメインベース１３は板状体としているが、このフレーム構造体を構築可能であれば、当該様式に限定されない。

メインベース１３、或いは前述したフレーム構造体は、載置テーブル１５及びドア駆動機構１９を支持する。ドア駆動機構１９等は、向かい合った一対のメインベース１３の間に配置される。載置テーブル１５は、メインベース１３に固定されるテーブル固定部２７、該テーブル固定部２７に支持されるポッド駆動機構２５、及び該ポッド駆動機構２５に支持されるポッド支持テーブル２９を有する。ポッド２はポッド支持テーブル２９上に載置、固定される。ポッド駆動機構２５は、ポッド支持テーブル２９を不図示の開口部に対して垂直な方向Ｍに沿って移動させ、これによりポッド２を開口部に対して接近或いは離間させる。

メインベース１３は長辺及び短辺を有し且つ所定の厚さを有した板状体からなる。従って、メインベース１３の延在方向は長辺方向と一致する。接続プレート１１は、取付け面３（微小空間における開放面）と平行に配置され且つ平行に延在する平板状の部材からなる。メインベース１３は一対用いられ、個々のメインベース１３に対応する接続プレート１１は、向かい合って配置されるメインベース１３の互いの対向面から外方に突き出すように配置される。各々の接続プレート１１は、不図示の取付け面に固定されると共に、メインベース１３を支持する。また、接続プレート１１には下部板状体２１が固定されており、該下部板状体２１は取付け面３に形成される開口部４において対応する領域を閉鎖して微小空間の形成に寄与する。上部板状体２１の上辺両端部には後述する上部構造体２００との接続時に用いられる下部枠体２０が配置されている。

前述したように、一対のメインベース１３は、各々の間に配置されて両端部が各々に接触する棒状の連結シャフト２３によって一体化される。この連結シャフト２３を複数配置することによって、一対のメインベース１３及び連結シャフト２３を一つの剛体として作用させることが可能となり、従来の一枚の板によって構成されたベースプレートよりも格段に軽量化した構成によってベースプレートよりも更に剛性のある構造体としてのフレーム構造体を得ることが可能となる。即ち、該フレーム構造体及びこれに支持される載置テーブル１５、ドア駆動機構１９及びドア７からなる下部構造体１００は、該フレーム構造体によって取付け面３に固定される。また、従来構造では、取付け面３に設けられた開口を閉鎖して開口部３の大きさに制限するために所謂板状のベースプレートを用い、且つその板厚を厚くすることによってロードポート装置の剛性を高めてドアの停止精度を維持していた。しかし、本形態ではこのフレーム構造体にて充分な剛性を確保できることから、取付け面３の閉鎖はフレーム構造体とは別個の構成にて行うことが可能となり、従来と比較して薄い板材からなる下部板状体２１により行うことが可能となっている。

また、ドア駆動機構１９等がこれら向かい合ったメインベース１３の間に配置されることから、これら構造体が、後述するドア駆動機構１９における昇降用ガイドを介してドア１７より受けるモーメントに対して、より効果的に抗することを可能とする。以上の構造から下部構造体１００の骨格を構成することにより、従来のサイドベースを基準に構成されたロードポート装置と比較して、下部構造体１００部分の剛性を大きく向上させることが可能となる。このため、分離された上部構造体２００を下部構造体１００に固定する場合であっても、該下部構造体１００を基準に上部構造体２００の位置決めを行ってもロードポート装置１としての半導体製造装置に対しての位置関係を精度良く維持することが可能となる。また、従来におけるベースプレートが不要となることから、上部構造体２００において取付け面３に設けられた開口を閉鎖して開口部３の大きさに制限する構成に関しても、従来のベースプレートと比較して薄い板材を用いてこれを得ることが可能となる。従って、上部構造体２００の下部構造体１００に対する取り付け精度も、ベースプレートに求められた平坦度等と比較してその基準が緩やかであっても許容される。

本実施形態ではメインベース１３の取付け面Ｗの突き出し方向は、ドア駆動機構１９を支持する面を主面とした場合、該主面がドア駆動機構１９によってドア１７が開口部６４を開閉する際のドア１７の移動方向（進退、昇降、或いは回動等）を含む、即ちこれらのベクトルにより定義される平面に対して平行に延在する面内に延在するように配置される。なお、この場合、ドア１７の移動方向とは、例えばドア１７の開口部開閉に関連する範囲における該ドア１７の重心の移動時各タイミングでの方向を含む。また、該主面は、該重心の移動軌跡を含む面に平行として規定することも可能である。

ドア駆動機構１９は、ドアアーム３１を介してドア１７を支持する。ドア駆動機構１９は、ドア１７の開口部に向かう第一の方向Ｄ１に沿った駆動を行う第一のドア駆動ユニット３３、及び該第一の方向に対して異なる第二の方向に沿ってドア１７を駆動する第二のドア駆動ユニット３５を有する。なお、本形態では第二の方向は第一の方向に対して直交する方向であって、第一の方向は水平方向に、且つ第二の方向は鉛直方向に設定される。第一のドア駆動ユニット３３は、一対の第一のガイドレール３７、第一の駆動源３８、第一のスライダ４３、第一のカムフォロア４７を有する。一対の第一のガイドレール３７の各々は、第一の方向Ｄ１に沿って延在して第二のスライダ５３に固定され、第一のスライダ４３を第一の方向Ｄ１に沿って摺動可能に支持する。第一のスライダ４３はドアアーム３１を実際に支持しており、該第一のスライダ４３の第一の方向Ｄ１に沿った移動に応じてドアアーム３１及びドア１７の開口部に対する開閉動作が為される。

また、第一のスライダ４３は、第一の方向Ｄ１に対して直交する方向に延在して配置される第一のカム溝４３ａを有する。第一のカムフォロア４７は第一のカム溝４３ａに挿貫される。第一のカムフォロア４７は第一の駆動源３８によって回動可能に支持されており、該第一の駆動源３８による第一のカムフォロア４７の回転軸は第一のスライダ４３に対向する。また、この回転軸は第一のカムフォロア４７から離れた位置に配置され、回転軸の回転に応じて該第一のカムフォロア４７は該回転軸の周りを回転、所謂公転移動する。ここで、該回転軸が対向するスライダ４３における対向領域を該回転軸に垂直な平面とした場合、該平面はカム溝４３ａが延在し、且つ第一のカムフォロア４７によって該カム溝４３ａが移動する平面の領域に対応する。

即ち、第一のカム溝４３ａは第一のスライダ４３が移動する際の所定の軌跡の一方の停止端と他方の停止端とを結ぶ直線に対して、所定の交差角度を有して交差するように延在すれば良い。軸中心の回転力を供する第一の駆動源３８を用い、その回転軸を第一のスライダ４７と対向させ、更に回動時の所定の角度範囲の両端角を第一のスライダ４３の動作端と一致させることで、本発明の好適な効果は得られる。また、この場合、第一の駆動源３８は、カム溝４３ａと係合するカムフォロア４７を支持してカムフォロア４７から離れた位置に配置されて、該第一の駆動源３８と向かい合う回転軸を回転中心としてカムフォロア４７を所定の角度範囲で回転動作させる。なお、本実施形態では第一の駆動源３８として、所謂加圧空気等によって動作するロータリーシリンダを用いている。また、第一の駆動源３８は一対の第一のガイドレール３７が固定されている第二のスライダ５３に対して固定されている。

次に、第一のドア駆動ユニット３３の実際の動作について述べる。図５において実線で示される状態は、ドア１７が開口部を閉鎖する位置に停止した状態での第一のドア駆動ユニット３３を示す。この時、第一の駆動源３８であるロータリーシリンダは、回転角度０°の状態にあり、第一のカムフォロア４７は第一のカム溝４３ａの図中下端部に位置する。この状態では、第一のカムフォロア４７は回転軸に対して水平な位置となっている。ドア１７を開口部から第一の方向Ｄ１（方向Ｍ）に沿って離間させる場合、第一の駆動源３８は第一のカムフォロア４７を図５における回転方向Ｒに沿って回動させる。第一のカムフォロア４７が第一のカム溝４３ａに挿貫された状態でこの回動動作が為される。従って、該回動の際に第一のカムフォロア４７は第一のカム溝４３ａ内で下端−上端−下端の移動を為し、当該移動に応じて第一のスライダ４３を第一の方向Ｄ１に沿って移動させる。なお、第一の駆動源３８が回転角度１８０°に至ると、第一のカムフォロア４７は第一のカム溝４３ａの下端に至る。

本形態では、上述したように、第一の駆動源３８の回転軸を、第一のスライダ４３に対向する位置に配置している。より詳細には、第一のカム溝４３ａ、具体的にはその両内周面がドア１７の進退方向即ち第一のスライダ４７の移動方向に対して直交し、更には、ロータリーシリンダの回転軌跡に関して回転角度０°及び１８０°の位置における接線もドア１７の進退方向と直交することとしている。これにより、ドア１７の進退における両動作端の各々で、ドア１７が第一の方向Ｄ１に沿った意図しない動作を防止することが可能となる。即ち、回転角度範囲０°及び１８０°の各々が第一のスライダ４３の動作端部に対応することとなり、該第一のスライダ４３、ひいてはドア１７の停止精度を向上し、安定的に停止させることが容易となる。従って、前述したフレーム構造体による剛性の向上と相まって、下部構造体１００のみで要求されるドア１７の停止精度を満たすことが可能となり、上部構造体２００の分離がより容易となる。

なお、本実施形態において、第一の駆動源３８としてロータリーシリンダを用いている。これにより、モータ制御等の電気的な位置制御の場合のような異常時の過負荷の発生は防止できるが、これをモータ制御としても停止位置精度の向上等の効果は得られる。また、本形態では、第一の方向Ｄ１は水平方向であって、第一のスライダ４３は水平方向に移動することとしている。しかし、本発明はこれに限定されず、第一の方向Ｄ１が水平方向に対して傾いた構成であっても良い。この場合、第一のカム溝４３ａが水平面に交差しており、第一のカム溝４３ａの下方、好ましくは下方端部が第一の駆動源３８の回転動作における０°及び１８０°に対応していれば良い。これにより、重力が作用する第一のカムフォロア４７を第一のカム溝４３ａの下端面にて規制することが可能となり、例えば所謂エア抜け等によって第一の駆動源３８たるロータリーシリンダからの付勢がなくなった場合であっても、第一のスライダ４３及びドア１７はその停止位置を保持する。また、下部構造体１００の搬送に際しても、ドア１７が移動範囲の何れかの端部にて固定された状態となることから、搬送時に受ける振動、衝撃等による動作基準位置のズレ等の問題も抑制される。

上部構造体２００は、上部枠体６１及び上部板状体６３を有する。上部枠体６１は下部構造体１００における下部枠体２０に対応して配置された棒状等の形状からなり、下部構造体１００による上部構造体２００の実際の支持を担う構造物である。板状体６３は前述した開口部６４を有しており、不図示の微小空間におけるロードポート装置１の設置側開放面の上部を閉鎖する。なお、図２及び４に示されるロードポート装置１では、ロードポート装置１の制御用のコントロールパネル６５が上部構造体２００上方において枠体６１に支持されている。該コントロールパネル６５と下部構造体１００に配置されるドア駆動機構１９等の可動部とはケーブルによって接続されている。図４にはこれらケーブルの接続に用いられるフラットケーブル差込み口６７と、下部構造体１００においてこれが差し込まれるケーブル受容口が同図に示されている。

本実施形態では、上部枠体６１及び下部枠体２０各々に設けられた所謂合い欠きと、ネジ止めとにより、上部構造体２００と下部構造体１００との固定を行っている。詳細には、一対の上部枠体６１の下端及び下部枠体２０の上端各々における固定部分の板厚について各々半分の厚さまで切り欠いた領域を構成し、互いの切り欠き面を当接させ、これらをネジ止めによって固定することとしている。この当接部は両構造体の位置関係を安定的に規定可能な長さとされ、その固定のために本実施形態では当接領域の上下２箇所にてネジ止めを行っている。当該様式にて枠体６１を下部枠体２０に固定することによって、上部構造体２００と下部構造体１００とを一体化し、ロードポート装置１として不図示の半導体製造装置への固定が可能となる。また、本例ではメインベース１３にネジ孔を形成する態様としているが、ネジ孔を枠体６１に形成しても良く、所謂ナットによってネジを固定する態様としても良い。なお、本固定例は一例であって、メインベース１３及び枠体６１の長さ方向において複数の締結位置を配置し、該長さ方向以外への両構造体の位置ズレを抑止可能な固定方法であれば、種々の方式を用いることが可能である。

なお、本実施形態では、上部板状体６３及び下部板状体２１に対して各々両側辺を９０度折り曲げてなるアングル構造とし、数ｍｍ程度の厚さのアルミ板に対して強度を付与してこれを用いている。しかしながら、取付け面３の開口閉鎖を好適に為すために、当該板状体を単なる平板としても良い。なお、当該板状体に用いる板材としては、２〜４ｍｍのものを用いることが好ましい。２ｍｍ以下の板厚の場合には強度が不足して取り付け取り外しの操作の際、或いは各々の構造体を分離し搬送する際に変形する可能性が高くなる。また、４ｍｍ以上の厚さの場合、例えば前述したアングル構造とする場合等、板材に加工を施す場合にその加工性が落ちてこれに要するコストが上昇する可能性が出始める。また、板状体各々の周囲を前述した上部及び下部の枠体によって囲む態様とし、該枠体によって上部構造体の強度を確保しても良い。

以上述べたように、本発明は半導体処理装置に対して好適に用いるロードポート装置に関している。しかしながら、本発明の利用可能性は当該処理装置に限定されず、例えば液晶ディスプレイのパネルを扱う処理装置等、半導体に準じた各種処理が行われる種々の処理装置に用いられる所謂ロードポート装置に対しても適用可能である。

１：ロードポート装置、 ２：ポッド、 ３：取付け面、 ４：開口部、 １１：Ｉ形プレート、 １３：メインベース、 １５：載置テーブル、 １７：ドア、 １９：ドア駆動機構、 ２０：下部枠体、 ２１：下部板状体、 ２３：連結シャフト、 ２５：ポッド駆動機構、 ２７：テーブル固定部、 ２９：ポッド支持テーブル、 ３１：ドアアーム、 ３３：第一のドア駆動ユニット、 ３５：第二のドア駆動ユニット、 ３７：第一のガイドレール、 ３８：第一の駆動源、 ３９：第二のガイドレール、 ４０：第二の駆動源、 ４３：第一のスライダ、 ４３ａ：第一のカム溝、 ４７：第一のカムフォロア、 ５３：第二のスライダ、 ６１：上部枠体、 ６３：上部板状体、 ６４：開口部、 ６５：コントロールパネル、 ６７：フラットケーブル差込み口、 １００：下部構造体、 ２００：上部構造体

Claims (3)

1. 開口部を除いて微小空間の一面を閉鎖するように取付け面に固定されて前記微小空間と外部空間とを分離し、前記外部空間に配置されて収容物を収容したポッドの蓋を開閉して前記ポッドの内部空間と前記微小空間とを連通させるロードポート装置であって、
   前記開口部を有する上部構造体と、
   前記開口部を閉鎖可能なドアと、前記ドアを支持して前記ドアの前記開口部に対する接近及び離間を為して前記開口部の開閉を行うドア駆動機構と、前記ポッドを前記開口部と正対させて前記ポッドの蓋の開閉が可能となるように載置可能な載置テーブルと、平行に配置される複数の板状のメインベースと前記複数のメインベース各々を連結させる連結部材とからなり前記ドア駆動機構及び前記載置テーブルを支持すると共に前記取付け面に固定されるフレーム構造体と、を有する下部構造体と、を有し
   前記上部構造体は前記下部構造体に対して分離可能に固定されることを特徴とするロードポート装置。
2. 前記ドア駆動機構は、所定の軌跡で移動可能であって前記所定の軌跡の一方の端部と他方の端部とを結ぶ直線に対して所定の交差角度で交差する方向に延在するカム溝を有して前記ドアを支持するスライダと、前記カム溝と係合するカムフォロアを支持して前記カムフォロアから離れた位置に配置されて前記駆動源と向かい合う回転軸を回転中心として前記カムフォロアを所定の角度範囲で回転動作させる駆動源と、を有し、
   前記カム溝は前記所定の軌跡に対して交差し、前記カムフォロアが前記所定の角度範囲の両端にある際に前記カムフォロアは前記カム溝の下方の端部に位置することを特徴とする請求項１に記載のロードポート装置。
3. 前記メインベースは、前記取付け面に対して所定の角度を保持して突出するように配置される板状体であって、
   前記ドア駆動機構は前記メインベースの主面に固定され、前記主面は前記ドア駆動機構が前記ドアにより前記開口部を開閉させる際の前記ドアの二つの移動方向で定義される平面に対して平行な面内に延在することを特徴とする請求項１又は２に記載のロードポート装置。

Images