TWI830515B - 基板運輸裝置及形成基板運輸裝置之方法 - Google Patents

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Abstract

一種基板運輸裝置，包括驅動段，驅動段連接於框架且包括多重驅動軸桿心軸，具有至少一同軸桿心軸；超過一個之不同、可交換的馬達模組，配置成堆疊，各馬達模組具有馬達，可操作地耦合於此並界定出對應獨立的驅動軸線；及罐密封件，設置於各馬達模組之定子與轉子之間，並以密閉方式使定子與轉子相對於彼此而密封；馬達模組中至少一者可從其他不同、可交換的馬達模組處選擇性地放置在堆疊中，各馬達模組具有不同的預定特性，獨立於在堆疊中的放置，不同的預定特性界定出對應的驅動軸線之不同的預定驅動特性，獨立於軸桿心軸位置，如此至少一馬達模組之選擇決定了不同於另一獨立的驅動軸線之對應軸線之不同的預定驅動特性。

Description

基板運輸裝置及形成基板運輸裝置之方法
本申請案主張2015年7月13日提出的美國專利暫時申請案第62/191,836號之權益，其全文係以引用的方式併入本文中。
示範實施例大抵關於基板處理系統，且較特別的是關於在未作馬達組件之現場校準下，可重組構且可交換之基板運輸裝置。
通常基板或晶圓運輸裝置，舉例而言像是在半導體處理裝置中運輸基板的運輸裝置，其特別組構用於特定之配置方式。例如，驅動軸線數與馬達特性是在運輸裝置組裝時即固定。實際上，若不實質拆除基板運輸裝置並重建，這些基板運輸裝置無法重新組構。此即限制一般基板運輸裝置之可交換性及相互使用性並造成製造設施(亦即，製造窒(FAB))操作上有許多大致相似但是無 法交換的運輸裝置。舉例而言，FAB操作人員可能有一般3軸線、4軸線及5軸線機器人(各用於對應之處理站或工具，其中適用3軸線、4軸線及5軸線運輸裝置)。儘管組構上大致相似(例如，習知機器人可能都有相同類型的機械臂，像是SCARA(選擇順應性組裝機器手臂)、跳蛙形臂、等等)，否則一般3軸線、4軸線及5軸線運輸裝置無法交換，且習知運輸裝置之重新組構(例如，將3軸線運輸裝置重新組構成5軸線運輸裝置，反之亦然)牽涉到將習知運輸裝置完全拆除並重建。
此外，儘管習知運輸裝置包括垂直或Z軸線行進方式，但是提供用於運輸裝置之運輸臂旋轉的馬達通常安裝在一驅動耦合於Z軸線驅動的載具中。載具大致上其尺寸被設計用於預定量之馬達，其中載具內之馬達數量通常無法改變。從至少一運輸裝置生產的觀點及從終端使用者的觀點來看，多數個載具及驅動殼體框架必須適應於具有不同數量之堆疊式馬達以及不同數量之Z軸線行進方式的運輸裝置。
有利的是具有一具有減小高度之模組化馬達的運輸裝置，馬達可以從適應於變化馬達堆疊高度的共同載具插入並移出。另一有利的是具有一具有減小高度之模組化馬達的運輸裝置，馬達可以彼此交換及組合使用，以達成運輸裝置之重新組構。
12:界面段
15:運輸臂
18B、18i:轉移室模組
26B、26i:(基板)運輸裝置
30i:工作件站
30S1、30S2、56S1、56S2:固定式工作件支撐架
56、56A:裝載閉鎖室
214:直線滑動臂
216:蛙腿形臂
217:跳蛙形臂
218:雙對稱形臂
219:轉移臂
219A:第一關節臂
219B:第二關節臂
219E:末端執行器
300:驅動段
300C:控制器
300CM:記憶體
300EP:端板
300F:框架
300FB:底部
300FS:側部
300FT:頂部
300PR:處理器
305:凸緣
310:馬達堆疊、柱
310B:馬達堆疊底部構件
310BK:運動定位元件
310T:頂部
315:Z軸線驅動模組
320:(z)載具、馬達模組安裝單元
320M1、320M2:馬達機架
320R1、320R2:軌道
320S1:第一滑動構件
320S2:第二滑動構件
320SP1、320SP2:直線軌道壓板
330:固定式平台
330F:框架
370:定位元件
401:(底部)馬達模組
401A、401B:(複合)馬達模組、緊密高度模組
401C:(複合)馬達模組
401MB、401MB’、401BR、401BR’:(軸桿心軸)機械式軸承
401CR:記憶體
401H:殼體
401HS:軸承/轉子支撐件
401K:運動匹配元件
401M、401M’:馬達
401R、401R’:(馬達)轉子
401S、401S’:(馬達)定子
410:編碼器
410R、410T:編碼器軌道
410S:感測器
412:入口/出口站
416:運輸室
450、451:(驅動)軸桿
460、480:封閉件
470、470’:罐密封件
600B:中間基座
700:定位元件
2010:直線基板處理系統
2012:工具界面段
2050、2060、2070:界面
2080:基板運輸裝置、基板運輸件
3018、3018a、3018i、3018j:運輸室模組
11000:常壓前端
11005:裝載埠模組
11010:真空裝載閉鎖室
11011:對準器
11013、11014:(基板)運輸裝置
11020:真空後端
11025:轉移室
11030:製程模組
11040:裝載埠
11050:基板匣
11060:迷你型潔淨環境
11090:工具站
F:框架
DZ:(Z)高度
DX:間距
RDB:參考基準
S1、S2:基板
SH:(堆疊、柱)高度
SHA、SHB:(馬達)模組高度
SPA:(同軸、驅動)軸桿心軸總成、驅動軸桿心軸
WTP:晶圓轉移平面
ZS:Z軸線行程
揭露實施例之上述態樣及其他特性將在文後之說明中配合附圖闡釋，其中：圖1A至1D係結合揭露實施例之基板處理裝置之示意圖；圖2A至2E係根據揭露實施例之態樣的運輸臂之示意圖；圖3A、3B、3C及3D係根據揭露實施例之態樣的基板運輸裝置的多數部位之示意圖；圖4A及4B係根據揭露實施例之態樣的基板運輸裝置的多數部位之示意圖；圖4C係根據揭露實施例之態樣的基板運輸裝置的部位之示意圖；圖5係根據揭露實施例之態樣的基板運輸裝置的部位之示意圖；圖6係根據揭露實施例之態樣的基板運輸裝置的部位之示意圖；圖7係根據揭露實施例之態樣的基板運輸裝置的部位之示意圖；圖8A、8B及8C係示意圖，揭示根據揭露實施例之態樣的基板運輸裝置的部位之不同組構；及圖9係根據揭露實施例之態樣之流程圖。
【發明內容及實施方式】
請參閱圖1A至1D，其中揭示結合揭露實施 例之態樣的基板處理裝置或工具之示意圖，容後詳述。儘管揭露實施例之態樣將參考圖式說明於後，應該瞭解的是揭露實施例之態樣可依許多形式具體實施。此外，元件或材料之任意適當尺寸、形狀或類型皆可使用。
如文後所詳述，揭露實施例之態樣提供用於一基板運輸裝置，其具有一可重新組構之驅動心軸，容許用於至少一驅動軸線之低轉矩應用或高轉矩應用，其中驅動心軸係由一模組化驅動段驅動及連接。模組化驅動段包括一個以上之不同的可交換的馬達模組且配置成堆疊，其中各馬達模組包括一密封式馬達，可驅動運輸裝置之一同軸心軸總成之各軸桿並界定驅動段之一對應驅動軸線。不同的可交換的馬達模組可以選擇用於從其他不同的可交換的馬達模組中放置成堆疊，其中各馬達模組具有一不同的預定特性，獨立於馬達模組在堆疊中之放置情形。各驅動之預定特性對應於驅動軸線(例如，各別馬達模組共同的一驅動軸線)，獨立於同軸桿心軸總成內之軸桿位置。揭露實施例之態樣亦提供用於馬達模組之安裝，使得在馬達模組安裝時，馬達模組不需要進一步轉動。揭露實施例之態樣提供用於一模組化馬達組構，其減少一運輸裝置驅動段之高度以及減少運輸裝置之生產與維修費用，同時在馬達轉矩性能之線性範圍內提供增益。一Z軸線載具亦由揭露實施例之態樣提供，其中Z軸線載具提供具有變化高度之馬達堆疊一共同解決方式，不必增加運輸裝置費用。據此，揭露實施例之態樣藉由在一共同框架中之長度與心軸 總成的多數個不同組合，影響了和本文內所述馬達模組形成界面的Z軸線載具之共同組件。
請參閱圖1A及1B，一處理裝置(例如，一半導體工具站11090)係根據揭露實施例之態樣揭示。儘管圖中揭示一半導體工具11090，本文內揭露實施例之態樣可以施加於採用機器人操縱器之任意工具站或應用。在本範例中，工具11090揭示成一群集式工具，惟，揭露實施例之態樣也可以施加於任意適當工具站，例如像是圖1C及1D中所示之直線工具站，並且揭述於2013年3月19日頒發的美國專利第8,398,355號「Linearly Distributed Semiconductor Workpiece Processing Tool」中，其全文係以引用的方式併入本文中。工具站11090大致上包括一常壓前端11000、一真空裝載閉鎖室11010及一真空後端11020。在其他態樣中，工具站可以有任意適當組構。前端11000、裝載閉鎖室11010及後端11020各者之組件可連接於一控制器11091，控制器為任意適當控制架構的一部分，例如像是一群集式架構控制。控制系統可以是一封閉迴路式控制器，具有一主控制器、群集式控制器及自主性遠端控制器，如2011年3月8日頒發的美國專利第7,904,182號「Scalable Motion Control System」中所揭露者，其全文係以引用的方式併入本文中。在其他態樣中，可以使用任意適當控制器及/或控制系統。
例如本文內所述之一基板運輸裝置之控制器11091及/或一控制器300C(參閱圖3A)包括任意適當記 憶體300CM及處理器300PR，包括用於操作本文內所述處理裝置之非暫態程式碼，以達成不同馬達模組之安裝，使得馬達模組安裝時，不需要進一步轉動馬達模組。例如，在一態樣中，控制器11091及/或控制器300C包括記憶體300CM及處理器300PR，係組構成儲存、擷取及驗證馬達模組特定屬性(例如，任意適當之驅動特性，像是馬達編碼器與馬達繞組相角之間的相差/角度)。在一態樣中，這些馬達模組特定屬性儲存在各馬達模組401之一記憶體401CR(其可以是一卡、晶片或其他適當儲存媒體)上，使得各馬達模組安裝於驅動段內時，記憶體401CR即與控制器300C及/或控制器11091通訊。控制器300C係組構成基於儲存且取自各別馬達模組401之記憶體401CR的馬達模組特定屬性來建立馬達模組的旋轉位置。舉例而言，請參閱圖4A，本文內所述之各馬達模組401具有特定號碼，是在馬達模組401誕生或組裝時產生，其中此特定號碼使馬達模組之馬達401M之電繞組相角之對準和編碼器410相關聯(請參閱例如圖4A)。此特定號碼在初始化及操作期間將馬達401M之交換最佳化。擁有錯誤號碼將產生基板運輸堵塞錯誤且若略為中斷的話，則會因為相位之間的電力分配沒有效率而產生過熱。此特定號碼及任意其他適當之馬達模組特定屬性(如上所述)即儲存於各馬達模組401之記憶體401CR。基板運輸控制器300C(或控制器11091)使用馬達堆疊310中之各馬達模組401之特定號碼(以及和各特定號碼/馬達 模組相關聯的特定相位值)作為產生命令軌道運動參數的基礎，以達成所想要的轉矩、位置及時間要求。依此，本文內所述之各馬達模組401確實可交換且可安裝於一基板運輸裝置中，不需要馬達模組進一步轉動。
在一態樣中，前端11000大致上包括裝載埠模組11005及一迷你型潔淨環境11060，例如像是一設備前端模組(EFEM)。裝載埠模組11005可以是開盒器/裝載器工具標準(BOLTS)界面，符合SEMI標準E15.1、E47.1、E62、E19.5或E1.9，用於300mm裝載埠、前開或底開式箱/盒及匣。在其他態樣中，裝載埠模組可組構成200mm晶圓或450mm晶圓界面或任意其他適當之基板界面，例如像是較大或較小晶圓或是用於平板顯示器之平板。儘管圖1A中揭示兩裝載埠模組11005，但是在其他態樣中，任意適當數量之裝載埠模組皆可併入前端11000。裝載埠模組11005可組構成從一高架運輸系統、自動引導車、人力引導車、軌道引導車或從任意其他適當運輸方法接收基板載具或匣11050。裝載埠模組11005可以經過裝載埠11040來和迷你型潔淨環境11060形成界面。在一態樣中，裝載埠11040容許基板通行於基板匣11050與迷你型潔淨環境11060之間。
在一態樣中，迷你型潔淨環境11060大致上包括任意適當之轉移機器人11013，其併入本文內所述之揭露實施例的一或多個態樣。在一態樣中，機器人11013可以是一軌道安裝式機器人，像是美國專利第6,002,840 號中所揭述者，其全文係以引用的方式併入本文中，或是在其他態樣中具有任意適當組構之任意其他適當的運輸機器人。迷你型潔淨環境11060可以提供一控制、潔淨區域，作為多數個裝載埠模組之間的基板轉移。
真空裝載閉鎖室11010可定位於迷你型潔淨環境11060與後端11020之間並且與之連接。復請注意，本文內所述之真空一詞表示高真空，像是10-5托以下，供基板在其中進行處理。裝載閉鎖室11010大致上包括常壓及真空槽閥。槽閥可以提供環境隔離，用於在從常壓前端裝載一基板後將裝載閉鎖室抽真空，及當以惰性氣體(例如，氮)通風閉鎖室時維持運輸室中真空。在一態樣中，裝載閉鎖室11010包括一對準器11011，用於將基板之一基準對準至一所需位置，以供處理。在其他態樣中，真空裝載閉鎖室可以定位於處理裝置之任意適當位置並具有任意適當組構及/或測量設備。
真空後端11020大致上包括一轉移室11025、一或多個處理站或模組11030及任意適當之轉移機器人或裝置11014。轉移機器人11014將揭述於後且其可定位於轉移室11025內，以便運輸基板於裝載閉鎖室11010與許多處理站11030之間。處理站11030可以經過沈積、蝕刻、或其他製程類型在基板上操作，以便在基板上形成電路或其他所需結構。典型製程包括但是不限定的有使用真空之薄膜製程(例如，電漿蝕刻或其他蝕刻製程)、化學氣相沈積(CVD)、電漿氣相沈積(PVD)、植入(例 如，離子植入)、精密測量、快速熱處理(RTP)、乾剝離原子層沈積(ALD)、氧化/擴散、氮化物的形成、真空微影、磊晶(EPI)、引線接合器及蒸鍍或使用真空壓力之其他薄膜製程。處理站11030連接於轉移室11025，以容許基板從轉移室11025通往處理站11030，反之亦然。在一態樣中，裝載埠模組11005及裝載埠11040實質上直接耦合於真空後端11020，使得一安裝於裝載埠上之匣11050實質上直接(例如，在一態樣中，至少省略迷你型潔淨環境11060，而在其他態樣中，真空裝載閉鎖室11010亦省略，以致使匣11050依相似於真空裝載閉鎖室11010之方式抽真空)和轉移室11025之真空環境及/或一製程模組11030之處理真空(例如，延伸於製程模組11030與匣11050之間並與其連接的處理真空及/或真空環境)形成界面。
請即參閱圖1C，揭示一直線基板處理系統2010之示意平面圖，其中工具界面段2012安裝於一運輸室模組3018，使界面段2012大致面朝向(例如，朝內)運輸室模組3018之縱軸線X但是偏離縱軸線。運輸室模組3018可以藉由將其他運輸室模組3018A、3018I、3018J附接於界面2050、2060、2070而延伸於任意適當方向，如美國專利第8,398,355號中所述，其先前已併入本文供作參考。各運輸室模組3018、3019A、3018I、3018J包括任意適當之基板運輸件2080，其可包括本文內所述之揭露實施例之一或多個態樣，用於運輸基板穿過處理系 統2010並且進出例如處理模組PM(在一態樣中其實質上相似於上述處理模組11030)。可以瞭解的是，各腔室模組可以維持一隔離或控制之環境(例如，N2、潔淨空氣、真空)。
請即參閱圖1D，揭示一示範性之處理工具410之示意正面圖，像是沿直線運輸室416之縱軸線X所取視圖。在圖1D所示之揭露實施例之態樣中，工具界面段12可以代表性地連接於運輸室416。在此態樣中，界面段12可以界定工具運輸室416之一端部。如圖1D中所示，運輸室416可以有另一工作件入口/出口站412，例如位於界面站12之相反端部處。在其他態樣中，可以設置其他入口/出口站，供工作件插入/移出運輸室。在一態樣中，界面段12及入口/出口站412可容許工作件裝載及卸載自工具。在其他態樣中，工作件可以從一端部裝載至工具內且從另一端部移出。在一態樣中，運輸室416可具有一或多個轉移室模組18B、18i。各室模組可以維持一隔離或控制之環境(例如，N2、潔淨空氣、真空)。如前所述，圖1D中形成運輸室416之運輸室模組18B、18i、裝載閉鎖室模組56、56A及工作件站之組構/配置方式僅為示範性，而且在其他態樣中，運輸室可具有較多或較少模組，設置成任意所需之模組化配置方式。在揭示之態樣中，站412可以是一裝載閉鎖室。在其他態樣中，一裝載閉鎖室模組可定位於端部入口/出口站(相似於站412)之間，或相鄰之運輸室模組(相似於模組18i)可組構成如 同裝載閉鎖室一般操作。
復如上所述，運輸室模組18B、18i具有一或多個定位於其內部之對應運輸裝置26B、26i，其可包括本文內所述揭露實施例之一或多個態樣。各運輸室模組18B、18i之運輸裝置26B、26i可以配合成在運輸室中提供直線分布之工作件運輸系統。在此態樣中，運輸裝置26B(其實質上相似於圖1A及1B中所示群集式工具之運輸裝置11013、11014)可具有一般SCARA手臂組構，儘管在其他態樣中，運輸臂可以任意其他所需之配置方式，例如像是圖2B中所示之直線滑動臂214或具有任意適當手臂連桿機構的其他適當手臂。手臂連桿機構之適當範例例如可見於2009年8月25日頒發的美國專利第7,578,649號、1998年8月18日頒發的第5,794,487號、2011年5月24日頒發的第7,946,800號、2002年11月26日頒發的第6,485,250號、2011年2月22日頒發的第7,891,935號、2013年4月16日頒發的第8,419,341號、2011年11月10日提出的美國專利申請案第13/293,717號「Dual Arm Robot」及2013年9月5日提出的第13/861,693號「Linear Vacuum Robot with Z Motion and Articulated Arm」，其全文係以引用的方式併入本文中。在揭露實施例之態樣中，至少一轉移臂可衍生自一般SCARA(選擇順應性組裝機器手臂)型設計，其包括一上臂、一帶式驅動前臂及一帶式限定末端執行器，或衍生自一伸縮臂或任意其他適當設計。轉移臂之適當範例例如可 見於2008年5月8日提出的美國專利申請案第12/117,415號「Substrate Transport Apparatus with Multiple Movable Arms Utilizing a Mechanical Switch Mechanism」及2010年1月19日頒發的美國專利第7,648,327號，其全文係以引用的方式併入本文中。轉移臂之操作可以彼此獨立(例如，各手臂之伸出/縮回和其他手臂無關)、可以透過一無效運動開關操作或者可依任意適當方式經操作連結，以致使手臂共用至少一共同驅動軸線。在其他態樣中，運輸臂可具有任意其他所需之配置方式，像是一蛙腿形臂216(圖2A)組構、一跳蛙形臂217(圖2D)組構、一雙對稱形臂218(圖2C)組構、等等。在另一態樣中，請參閱圖2E，轉移臂219包括至少第一及第二關節臂219A、219B，其中各臂219A、219B包括一末端執行器219E，係組構成在一共同轉移平面中抓持並排之至少兩基板S1、S2(末端執行器219E之各基板抓持位置共用一共同驅動，供拾取及放置基板S1、S2)，其中基板S1、S2之間的間距DX對應於並排基板抓持位置之間的固定間距。轉移臂之適當範例例如可見於2001年5月15日頒發的美國專利第6,231,297號、1993年1月19日頒發的第5,180,276號、2002年10月15日頒發的第6,464,448號、2001年5月1日頒發的第6,224,319號、1995年9月5日頒發的第5,447,409號、2009年8月25日頒發的第7,578,649號、1998年8月18日頒發的第5,794,487號、2011年5月24日頒發的第 7,946,800號、2002年11月26日頒發的第6,485,250號、2011年2月22日頒發的第7,891,935號、2011年11月10日提出的美國專利申請案第13/293,717號「Dual Arm Robot」及2011年10月11日提出的美國專利申請案第13/270,844號「Coaxial Drive Vacuum Robot」，其全文係以引用的方式併入本文中。
在圖1D所示之揭露實施例之態樣中，運輸裝置26B之手臂可以配置成提供所謂的快速調換配置方式，容許從一拾取/放置位置運輸以快速調換晶圓(例如，從一基板抓持位置拾取一晶圓且隨即放置一晶圓於同一基板抓持位置)。運輸臂26B可具有任意適當之驅動段(例如，同軸配置之驅動軸、並排之驅動軸、水平相鄰之馬達、垂直堆疊之馬達、等等)，供各手臂有任意適當量的自由度(例如，對於肩部及肘關節有Z軸線運動的獨立旋轉)。如圖1D中所示，在此態樣中，模組56A、56、30i可以填隙式定位於運輸室模組18B、18i之間且可界定適當之處理模組、裝載閉鎖室LL、緩衝站、精密測量站或任意其他所需之站。例如，填隙式模組像是裝載閉鎖室56A、56及工作件站30i可以各具有固定式工作件支撐架/擱架56S1、56S2、30S1、30S2，可以和轉移臂配合達成運輸或工作件沿著運輸室之直線軸線X經過運輸室之長度。舉例而言，工作件可以藉由界面段12裝載至運輸室416內。工作件可以藉由界面段之運輸臂15來定位在裝載閉鎖室模組56A之支撐件上。裝載閉鎖室模組56A中 之工作件可以藉由模組18B中之運輸臂26B移動於裝載閉鎖室模組56A與裝載閉鎖室模組56之間，並且在裝載閉鎖室56與工作件站30i之間藉由(模組18i中之)手臂26i以及在站30i與站412之間藉由模組18i中之手臂26i依相似且連續方式進行。此製程可全部或部分顛到，以反向移動工作件。因此，在一態樣中，工作件可以沿著軸線X在任意方向移動及沿著運輸室移動到任意位置，且可從和運輸室通訊的任意所需模組裝卸(處理或其他)。在其他態樣中，具有靜態工作件支撐件或擱架之填隙式運輸室模組可以不設置於運輸室模組18B、18i之間。在此態樣中，相鄰運輸室模組之運輸臂可以直接從末端執行器或一運輸臂傳送到另一運輸臂之末端執行器，將工作件移動通過運輸室。處理站模組可以經過沈積、蝕刻、或其他製程類型在基板上操作，以便在基板上形成電路或其他所需結構。處理站模組可以連接到運輸室模組，以容許基板從運輸室傳送至處理站，反之亦然。具有相似於圖1D中所示處理裝置之大致特性的處理工具的適當範例係揭述於美國專利第8,398,355號中，其先前已併入本文供作參考。
請即參閱圖3A、3B及3C，上述運輸裝置包括一連接於運輸裝置之框架F(圖1C)的驅動段或單元300。在一態樣中，驅動段300包括一框架或支撐結構300F，其依任意適當方式連接於基板運輸裝置之框架F，例如像是藉由一耦合於框架300F之一端(例如，頂部300FT或底部300FB)的凸緣305。在其他態樣中，框架 300F係一具有側面安裝配置之側面機架框架，側面安裝配置例如用於安裝至基板處理裝置，如本文內所述者，框架300F之側面機架可以附接於框架之一側部300FS，且在一態樣中，其界定一運動耦合，以達成框架300F之可交換性。在一態樣中，框架300F實質上相似於2013年11月5日頒發的美國專利第8,573,919號中所揭述者，其全文係以引用的方式併入本文中。
驅動段300之框架300F具有任意適當形狀及組構，例如像是一概呈圓柱形或管道形狀，具有一頂部300FT、一底部300FB及至少一側部300FS。在一態樣中，框架300F為硬殼或半硬殼結構(亦即，由框架300F形成之壁或外殼可以載重且攜載框架330F上之負荷)。在一態樣中，框架300F為單一結構(亦即，一單件式構件)。在一態樣中，框架300F係以任意適當金屬利用鍛造、鑄造、擠壓或任意其他適當方式形成，金屬像是不銹鋼或鋁合金。在一態樣中，框架300F可以由任意適當之塑料、陶瓷材料及/或複合材料構成。在一態樣中，框架300F之底部300FB包括一端板300EP，其以任意適當方式耦合於底部300FB，以便至少部分界定框架300F之內部空間。在一態樣中，端板300EP提供一安裝平台以用於組件，例如電子封裝或控制器300C。控制器300C係任意適當之控制器，其組構成控制馬達堆疊310之各別馬達模組。在一態樣中，控制器300C係以任意適當方式連接於控制器11091並與控制器11091通訊，以達成和驅動段 300相關聯之基板運輸裝置的操作。
馬達堆疊310係以任意適當方式可移動地安裝在框架300F內。例如，請同時參閱圖3D，一具有可變長度(亦即，Z高度DZ)之可移動載具320安裝在框架300F內且組構成可移動地支撐馬達堆疊，供馬達堆疊310沿著Z方向移動(例如，直線滑動)。在一態樣中，可移動載具320提供運輸裝置有一大約50mm、大約100mm、大約135mm及/或大約150mm的Z軸線行程ZS(如圖8A至8C)，並使用通用於所有行程之組件。在其他態樣中，可移動載具提供大於大約150mm或小於大約50mm及介於其間的任意適當Z軸線行程。如本文內所述，可移動載具可達成心軸總成類型及數量上之靈活性，同時改善馬達/心軸對準。載具320包括一或多個導引軌道320R1、320R2、第一或上滑動構件320S1及第二或下滑動構件320SS2，其中一或多個導引軌道320R1、320R2係通用於第一及第二滑動構件320S1、320S2兩者且第一及第二滑動構件320S1、320S2彼此分隔。一或多個導引軌道320R1、320R2係以任意適當方式耦合於框架300F。在一態樣中，一或多個導引軌道320R1、320R2係機械式耦合於框架300F，而在其他態樣中，一或多個導引軌道320R1、320R2與框架300F形成為一體。例如，在一態樣中，一或多個導引軌道320R1、320R2與框架300F形成為一體之單一、單件式構件。第一及第二滑動構件320S1、320S2可移動地安裝於一或多個導引軌道 320R1、320R2，使得第一及第二滑動構件320S1、320S2的每一個可以沿著一或多個導引軌道320R1、320R2之長度自由移動，且獨立於第一及第二滑動構件320S1、320S2的另一個(第一及第二滑動構件320S1、320S2的每一個包括各別對應之直線軌道壓板320SP1、320SP2)。在一態樣中，第一及第二滑動構件320S1、320S2的每一個之獨立移動提供載具320之可變Z高度DZ，如本文內所述，以致使載具320依據馬達堆疊310中所包括之馬達模組401之數量及組構而考量不同心軸長度。
第一滑動構件320S1包括一馬達機架320M1，係組構成耦合於馬達堆疊310中之一最上方(亦即，頂部)馬達模組401且在空間上將其定位。例如，馬達機架320M1包括任意適當之定位元件370，其將馬達堆疊310之頂部定位於框架300F內之一預定位置並將馬達堆疊310之頂部固定做側向移動。在一態樣中，定位元件370係一插銷或長孔，組構成結合於馬達模組401上之一對應插銷或長孔，而在其他態樣中，定位元件370係匹配之槽道或任意其他固持元件。第二滑動構件320S2包括馬達機架320M2，供最下方(亦即，底部)馬達模組401之至少部分耦合於此。在一態樣中，請同時參閱圖4B，一馬達堆疊底部構件310B耦合且形成馬達機架320M2之至少部分。馬達堆疊底部構件310B係從第二滑動構件320S2延伸且懸伸，供至少部分地支撐馬達堆疊310。在 一態樣中，馬達堆疊底部構件310B包括運動定位元件310BK，其係與底部馬達模組401之對應運動匹配元件401K形成界面且結合，用於將底部馬達模組相關於框架300F內之心軸總成SPA之中線CL位置而定位於一預定位置(例如，在X、Y、Z各軸線上之一預定位置以及一預定旋轉方位，亦即，θ)。應該瞭解的是圖4A中所示之心軸總成SPA係揭示成一同軸桿心軸總成，具有兩驅動軸桿450、451且對應於兩馬達模組401A、401B，惟，在其他態樣中，同軸軸桿心軸總成SPA具有任意適當數量之驅動軸桿(像是多於或少於兩個)，對應於設在驅動段300中任意適當數量之馬達模組401。例如，圖6揭示三軸線驅動，具有三馬達模組401A、401B、401C，對應於一具有三驅動軸桿的三同軸軸桿心軸總成。
在一態樣中，馬達堆疊底部構件310B形成一參考基準RDB，供馬達堆疊310(及一和馬達堆疊310耦合之轉移臂)之Z軸線定位。在一態樣中，驅動段300之一Z軸線驅動模組315係以任意適當方式耦合於馬達堆疊底部構件310B，用於達成馬達堆疊底部構件310B、第一及第二滑動構件320S1、320S2及耦合之馬達堆疊310沿著一或多個導引軌道320R1、320R2在Z方向上整體移位。在一態樣中，可變長度之載具320用於使載具320與馬達堆疊310之間的一共同耦合可確實有空間可容納且無干涉可變之馬達堆疊高度及Z驅動，如本文內所述，其中當馬達堆疊310之頂部之位置隨著不同馬達堆疊310之高 度DZ1、DZ2、DZ3改變時(參閱圖8A至8C)，由馬達堆疊底部構件310B形成之Z軸線定位參考基準和底部馬達模組401上之一對應基準表面形成界面。
一固定式平台330設於框架330F內並以任意適當方式連接於框架330F。固定式平台330係組構成支撐任意適當之Z軸線驅動模組315(例如，Z軸線驅動模組以任意適當方式安裝於固定式平台330)。Z軸線驅動模組可操作成耦合於載具滑動構件320S1、320S2及馬達堆疊底部構件310B的其中一或多個，供沿著Z軸線移動馬達堆疊310。在一態樣中，Z軸線驅動模組在一態樣中為一滾珠螺桿驅動或任意其他適當之直線致動器。
請參閱圖4A，馬達模組401A包括一殼體401H，具有一馬達模組高度SHA。如上所述，馬達模組之組件設置於殼體401H內且由馬達模組高度SHA限制。在一態樣中，馬達模組401A包括一馬達401M，其界定驅動段300之一單一或共同軸線。馬達包括一定子401S及一對應之轉子401R。定子401S至少部分固定於殼體401H內。轉子401R係以任意適當方式可移動地安裝在殼體401H內。例如，在一態樣中，至少一機械式軸承401MB設在殼體內，以致使至少一機械式軸承之一外轉圈固接於殼體，用於將至少一機械式軸承401MB固定在殼體401H內。至少一機械式軸承401MB之內轉圈耦合於轉子401R，供可移動地支撐轉子401R於殼體401H內，使轉子401R可操作成和定子401S產生界面。不同於以往驅 動馬達的是，相較於一般馬達時，殼體401H之軸承/轉子支撐件401HS配置成將至少一機械式軸承401MB定位，使得至少一機械式軸承401MB至少部分套在定子401S內，以形成一具有緊密馬達模組高度之馬達模組，獨立於機械式驅動軸桿軸承401MB、401MB’(參閱圖4A及5)。例如，從圖4A中可以看出，緊密馬達模組高度達成使轉子401R成形為具有一槽道截面，所以軸承/轉子支撐件401HS至少部分設在轉子401R之槽道內。在一態樣中，馬達殼體401H包括一或多個凹穴或刻槽NR(如圖6)，容許一或多個載具滑動構件320S1、320S2落在馬達401M之半徑內，以致使馬達殼體401H及載具滑動構件320S1、320S2靠近軌道320R1、320R2且驅動段之直徑/半徑減小。當比較於一般馬達之結構時(其中轉子及軸承支撐件實質上呈直列式且上下堆疊，以致使軸承定位於定子上方)，揭露實施例之態樣提供用於一更緊密之馬達，具有比一般馬達小之模組高度SHA。本文內所述揭露實施例之態樣亦提供用於一獨立式馬達模組401，其中馬達模組401之馬達(例如，馬達401M)、軸承(例如，軸承401MB)、轉子(例如，轉子401R)、及編碼器410係一獨立式模組單元，獨立於心軸總成SPA之各別驅動軸桿。例如，在一態樣中，馬達模組以任意適當方式組裝後，心軸總成SPA之各別驅動軸桿安裝於各別馬達模組401中。例如，藉由將各別驅動軸桿壓入軸承401MB之內轉圈中，各別驅動軸桿即安裝於獨立式馬達模組401中。
在一態樣中，馬達模組401A包括任意適當之編碼器410，其例如與控制器300C通訊，以達成馬達401M之旋轉θ位置(及耦合於驅動段300的轉移臂之至少一對應部位的位置)的指示。在一態樣中，請亦參閱圖7，編碼器410包括任意適當之感測器410S及至少一編碼器軌道410T。感測器410S係以任意適當方式安裝於殼體401H，使感測器410S定位成讀取至少一編碼器軌道410T。在一態樣中，編碼器軌道410T包括一絕對刻度及一增量刻度的其中一或多個。
復參閱圖4A，如上所述，馬達模組401是可以在馬達堆疊310中堆疊之模組單元，以形成一具有任意適當驅動軸線數之驅動段300。舉例而言，圖4A揭示一馬達堆疊具有兩馬達模組401A、401B，形成兩軸線式驅動段300。各馬達模組401A、401B之殼體401H包括任意適當之定位元件700(如圖7)，其組構成在馬達堆疊310內以空間性定位馬達模組401A、401B的其中一個且相對於馬達模組401A、401B的另一個。例如，馬達模組401A、401B之殼體401H包括至少一插銷及至少一和對應插銷結合的凹穴，及設於另一馬達模組401A、401B之另一殼體401H上的凹穴，用於將馬達模組401A、401B相對於彼此且相對於框架300F內之心軸總成SPA之中線CL而定向於X、Y及θ方向，請注意底部馬達模組(在本範例中為馬達模組401A)透過其與馬達堆疊底部構件310B產生界面而形成馬達堆疊310之參考基準。在其他 態樣中，殼體401H具有任意適當之定位元件，用於將一殼體401H定位相對於馬達堆疊310中之另一殼體401H。
馬達模組401A、401B配置於馬達堆疊310中，使得各馬達模組401A、401B之定子401S彼此相鄰，所以一非磁性罐密封件或隔離牆470跨於各殼體401H之間，以形成一共同封閉件，將各定子401S密封式隔離於供各轉子401R在其內操作的環境。在一態樣中，罐密封件470包含一封閉件，其形狀如同一罐子或者具有圓柱形組構。在一態樣中，罐密封件470實質上相似於2014年11月13日提出的美國專利申請案第14/540,072號「Sealed Robot Drive」中所揭述者，其全文係以引用的方式併入本文中。在一態樣中，罐密封件470係整合於馬達模組401之殼體401H內(例如，定子殼體)，惟，在另一態樣中，罐密封件470(參閱圖4D)可以一體成型或者和定子形成為一體(例如，分離於驅動殼體)，使得定子結構性地支撐罐密封件470。在一態樣中，罐密封件470提供可交換模組選擇，其中馬達模組401A、401B在馬達堆疊310中之堆疊期間，封閉件插入馬達模組401A、401B之間。在一態樣中，罐密封件470係以設置於罐密封件470與殼體401H之間的一或多個封閉件480封合於殼體401H。
馬達模組401B實質上相似於馬達模組401A。在圖4A所示之態樣中，馬達模組401B揭示成相對於馬達模組401A而倒置，使得各馬達模組401A、 401B之定子401S設置成彼此相鄰。在其他態樣中，馬達模組401A、401B具有相同方位，使定子設置朝向馬達堆疊310之一頂部310T或馬達堆疊310之一底部310B。應該瞭解的是本文內所用之頂部及底部等術語是指驅動段300及馬達堆疊310定向使得中線CL呈垂直方向配置，惟，在中線CL呈水平方向配置之態樣中，頂部及底部等術語可用於描述馬達堆疊310及驅動段300之終端。如本文內所述，其中馬達模組401之定子401S並非定位鄰近於另一馬達模組401之定子401S，一帽蓋或中間基座600B附接於馬達模組401，以對罐密封件470提供一界面且亦提供堆疊狀馬達模組401之間的一封閉表面。在一態樣中，任意適當之封閉件460設置於各馬達模組401之頂部及底部處，以形成馬達模組之間的封閉件及形成馬達模組401A與馬達堆疊底部構件310B之封閉件，使得連同罐密封件470，馬達堆疊310之可動組件皆設置於一封閉環境中。
請即參閱圖5，在一態樣中，馬達模組401係組構成提供不同之各別驅動特性，例如不同量的轉矩。在圖5所示之態樣中，兩軸線式馬達堆疊310揭示成具有馬達模組401A(其係低轉矩馬達模組)，且馬達模組401C(其實質上相似於馬達模組401A，但是其轉矩輸出不同)為高轉矩馬達模組，輸出比低轉矩馬達模組401A者高/大之轉矩。馬達模組401C之殼體401H’具有一模組高度SHB且大於馬達模組401A之模組高度SHA(如圖 4A)，因為例如馬達模組401C增大之轉矩組構。在此態樣中，馬達模組401C包括一馬達401M’，具有一定子401S’及一轉子401R’。轉子401R’耦合於軸承401MB’之內轉圈，心軸總成SPA之一驅動軸桿亦耦合於該軸承。馬達模組401C包括一編碼器410，如上所述(編碼器軌道410T揭示於圖5中)。應該注意的是在一態樣中，馬達模組401C之編碼器軌道410R定位在驅動軸桿上，而在其他態樣中，編碼器軌道410T係以上述方式耦合於軸承401MB’之內轉圈。從圖5可以看出，高、低轉矩馬達模組401C、401A之定子401S、401S’係彼此相鄰，使罐密封件470跨於其間且共用於高、低轉矩馬達模組401C、401A。應該注意的是儘管低轉矩馬達模組401揭示成馬達堆疊310中之底部馬達模組(例如，形成馬達堆疊之參考基準)，在其他態樣中，高轉矩馬達模組401C位於馬達堆疊之底部上，以便形成馬達堆疊310之參考基準。在其他態樣中，為了達成較大轉矩，任意適當數量之馬達模組401A、401B、401C組合以致使組成之馬達模組共用一共同之驅動軸桿且由組成之馬達模組產生的轉矩共同施加於共同之驅動軸桿。例如，馬達模組401A、401B可共用一共同之驅動軸桿，使得組成之馬達模組的輸出為各馬達模組401A、401B單體之兩倍。可以瞭解的是，組成之馬達模組可以是高及/或低轉矩馬達模組之任意適當組合。
請參閱圖6，一具有兩低轉矩馬達模組401A 、401B及一高轉矩馬達模組401C之三軸線式馬達堆疊係配置如上述相關於4A者。在此態樣中，馬達模組401A、401B之定子401S彼此相鄰成共用一共同之罐密封件470。因為有奇數個馬達模組，故無定子可供馬達401M’之定子401S’配對。依此，中間基座600B耦合於馬達模組401C之一端部，以對罐密封件470’(其實質上相似於罐密封件470，惟，罐密封件470’具有對應於單一定子而非多數個定子之長度)形成一界面，以及對馬達堆疊310中之另一馬達模組401B形成一界面。應該瞭解的是馬達模組401A、401B、401C可以依據例如心軸總成SPA中各驅動軸桿之預定轉矩輸出，而在馬達堆疊310內以任意順序配置，其中僅就舉例而言，底部驅動模組相當於最內側之驅動軸桿且頂部驅動模組相當於最外側之驅動軸桿。
請即參閱圖8A、8B及8C，如上所述，載具滑動構件320S1至載具滑動構件320S2之距離取決於馬達堆疊310之高度，以致使馬達堆疊外殼(亦即，組合之馬達模組殼體401H、401H’形成馬達堆疊外殼)形成載具320之至少部分(例如，馬達堆疊將載具滑動構件320S1、320S2彼此接合)且馬達堆疊高度SH設定載具320之長度。例如，圖8A揭示一馬達堆疊310具有馬達模組401A、401B，各馬達模組具有一模組高度SHA，使得載具具有一實質上等於或兩倍於模組高度SHA之長度DZ1。圖8B揭示一馬達堆疊310具有馬達模組401A、401C，其中馬達模組401A具有模組高度SHA且馬達模組 401C具有模組高度SHB，使得載具具有一實質上等於模組高度SHA加上模組高度SHB之長度DZ2。圖8C揭示一馬達堆疊310具有馬達模組401A、401B、401C，其中馬達模組401A、401B各具有模組高度SHA且馬達模組401C具有模組高度SHB，使得載具具有一實質上等於兩倍模組高度SHA加上模組高度SHB之長度DZ2。可以瞭解的是，依據設置於馬達堆疊310中之馬達模組401的數量與類型(例如，高或低轉矩)，載具320可以有任意其他適當長度。圖8A至8C中所示之各組構及揭露實施例之態樣大致上對本文內所述有關於一晶圓轉移平面WTP提供各別之Z行程ZS。例如從製造廠地板算起之晶圓轉移平面WTP之高度係由半導體設備及材料國際標準(Semiconductor Equipment and Materials International standards)界定。如上所述，本文內所述之馬達模組401具有一緊密馬達模組高度，當比較於一般基板運輸馬達/馬達模組時，其容許增量之馬達模組及/或增能之馬達模組(例如，較高轉矩之馬達模組，像是馬達模組401C)相對於例如從製造廠地板算起之晶圓轉移平面的給定高度而安裝，同時仍容許有本文內所述之Z行程ZS。
請即參閱圖4A及9，揭露實施例之態樣之一示範操作將說明於後。在一態樣中，至少一馬達模組401從許多不同馬達模組401A、401B、401C中選擇(圖9，方塊900)。選擇之馬達模組耦合於驅動段300及至少一控制器300C(圖9，方塊910)。例如，馬達模組401如 上所述安裝於或耦合於載具320。針對各選擇馬達模組之馬達模組特定屬性例如由控制器300C及/或控制器11091取自各記憶體401CR(圖9，方塊920)。控制器300C及/或控制器11091藉由對各馬達模組401產生命令軌道運動參數來操作基板運輸裝置，如上所述，以便在馬達模組安裝於驅動段300中之後，基於選擇之馬達模組401之特定屬性達成所想要的轉矩、位置及時間要求，不需要馬達模組進一步轉動(例如，驅動段中之馬達模組不需要在現場轉動)(圖9，方塊930)。
根據揭露實施例之一或多個態樣：一種基板運輸裝置，包含：框架；以及驅動段，連接於框架，驅動段包括：多重驅動軸桿心軸，具有至少一同軸軸桿心軸；超過一個之不同、可交換的馬達模組，配置成堆疊，各馬達模組具有馬達，在操作上耦合於同軸軸桿心軸的對應軸桿並界定出驅動段之對應獨立的驅動軸線，各模組之馬達分別具有固定於框架之馬達定子及接合於對應軸桿之馬達轉子；及罐密封件，設置於各馬達模組之馬達定子與馬達轉子之間，並以密閉方式使各馬達定子與馬達轉子相對於彼此而密封；其中堆疊中之不同、可交換的馬達模組中至 少一者可從可放置在堆疊中之其他不同、可交換的馬達模組處選擇性地放置在堆疊中，各馬達模組具有不同的預定特性，獨立於在堆疊中的放置，模組之不同、預定的特性界定出對應的驅動軸線之不同的預定驅動特性，獨立於心軸位置，如此至少一馬達模組之選擇決定了不同於另一獨立的驅動軸線之對應的軸線之不同的預定驅動特性。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中罐密封件跨過驅動段之不同、可交換的模組之間的界面。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中堆疊高度係可變，即至少一模組之選擇改變堆疊之高度。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中同軸軸桿心軸包含三軸向式心軸。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中馬達模組之至少其中一個具有心軸機械式軸承，係套在各定子內。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中至少一馬達模組係緊密高度模組，而緊密高度模組之模組高度係獨立於心軸機械式軸承。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中驅動段進一步包括z載具，其連接於堆疊之頂部馬達模組及底部馬達模組。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中馬達模組彼此耦合，以形成堆疊且堆疊之耦合式馬達模組界定z載具。
一種基板運輸裝置，包含：框架；以及驅動段，連接於框架，驅動段包括：驅動軸桿心軸，具有至少一驅動軸桿；超過一個可交換的馬達模組，配置成堆疊，各馬達模組具有馬達，在操作上耦合於驅動軸桿的對應軸桿並界定出驅動段之對應獨立的驅動軸線，各模組之馬達分別具有固定於框架之馬達定子及接合於對應軸桿之馬達轉子；其中堆疊中之可交換的馬達模組至少其中一者可從可放置在堆疊中之其他可交換的馬達模組處選擇性地放置在堆疊中；及直線滑動載具，具有預定共同耦合至堆疊內之馬達模組，直線滑動載具具有可調整之長度，以達成使用預定共同耦合將直線滑動載具耦合至具有各別堆疊長度之不同堆疊。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中直線滑動載具之預定共同耦合具有耦合部位，其結合堆疊內之底部馬達模組並界定Z軸線參考基準，以固定堆疊Z高度位置。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中直線滑動載具之預定共同耦合具有另一耦合部位，其結合堆疊內之頂部馬達模組並且組構使得耦合部位與另一耦合部位之間的長度為可變長度。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中耦合部位與另一耦合部位之間的長度係由堆疊之高度設定。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中耦合部位與另一耦合部位具有各別對應之直線軌道壓板。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中配置於堆疊中的一個以上之可交換的馬達模組包含兩馬達模組且至少一驅動軸桿包含兩驅動軸桿，各驅動軸桿對應於兩馬達模組之各別馬達模組。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中配置於堆疊中的一個以上之可交換的馬達模組包含三馬達模組且至少一驅動軸桿包含三驅動軸桿，各驅動軸桿對應於三馬達模組之各別馬達模組。
根據上述一或多個基板運輸裝置，進一步包含罐密封件，設置於各馬達模組之馬達定子與馬達轉子之間，並以密閉方式使各馬達定子與馬達轉子相對於彼此而密封。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中堆疊內之各馬達模組具有不同預定特性且獨立於放置在堆疊內，模組之不同預定特性界定對應驅動軸線之不同的預定驅動特性，獨立於心軸位置，如此至少一馬達模組之選擇決定了不同於另一獨立的驅動軸線之對應的軸線之不同的預定驅動特性。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中馬達模組之選擇界定直線滑動載具之高度。
一種基板運輸裝置，包含：框架；以及驅動段，連接於框架，驅動段包括：驅動軸桿心軸，具有至少一驅動軸桿；超過一個之不同、可交換的馬達模組，配置成堆疊，各馬達模組具有馬達，在操作上耦合於驅動軸桿的對應軸桿並界定出驅動段之對應獨立的驅動軸線，各模組之馬達分別具有固定於框架之馬達定子、接合於對應軸桿之馬達轉子、及固定於框架之軸桿心軸機械式軸承，其中軸桿心軸機械式軸承的至少部分套在定子內；及其中堆疊內之可交換的馬達模組至少其中一者可從可放置在堆疊中之其他可交換的馬達模組處選擇性地放置在堆疊中。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中驅動段進一步包含罐密封件，設置於各馬達模組之馬達定子與馬達轉子之間，並以密閉方式使各馬達定子與馬達轉子相對於彼此而密封。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中罐密封件跨過驅動段之不同、可交換的模組之間的界面。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中各不同、可交換的馬達模組具有不同預定特性且獨立於放置在堆疊內，模組之不同預定特性界定對應驅動軸線之不同的預定驅動特性，獨立於心軸位置，如此至少一馬達模組之選擇決定了不同於另一獨立的驅動軸線之對應的軸線之不 同的預定驅動特性。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中堆疊高度係可變，即至少一模組之選擇改變堆疊之高度。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中驅動軸桿心軸包含三軸向式心軸。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中至少一馬達模組係緊密高度模組，而緊密高度模組之模組高度係獨立於心軸機械式軸承。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中驅動段進一步包括z載具，其連接於堆疊之頂部馬達模組及底部馬達模組。
根據上述一或多個基板運輸裝置，其中馬達模組彼此耦合，以形成堆疊且堆疊之耦合式馬達模組界定z載具。
應該瞭解的是上述說明僅為揭露實施例之態樣揭示。在不脫離揭露實施例之態樣下，習於此技者仍可設想出許多替代型式及變化。據此，揭露實施例之態樣應涵蓋文後申請專利範圍範疇內之諸此替代型式、變化及變異。再者，事實上不同特性引證於相異之附屬或獨立項中並不表示這些特性之組合無法有利地使用，此一組合仍在本發明之態樣之範疇內。
310:馬達堆疊
310B:馬達堆疊底部構件
401A、401B:(複合)馬達模組
401MB:(軸桿心軸)機械式軸承
401H:殼體
401M:馬達
401R:(馬達)轉子
401S:(馬達)定子
401HS:軸承/轉子支撐件
410:編碼器
410T:編碼器軌道
450、451:驅動軸桿
460、480:封閉件
CL:中線
470:罐密封件
RDB:參考基準
SHA:(馬達)模組高度
SPA:(同軸、驅動)軸桿心軸總成

Claims (20)

  1. 一種基板運輸裝置(26B,26i,2080,11013,11014)，包含：框架(F)；以及驅動段(300)，連接於該框架(F)，該驅動段(300)包括：驅動軸桿心軸(SPA)，具有至少一驅動軸桿(450,451)；複數個不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)，該馬達模組(401,401A,401B,401C)之每一者皆具有馬達(401M,401M’)，設置成可操作地耦合於該驅動軸桿心軸(SPA)的對應驅動軸桿(450,451)，界定出該驅動段(300)之對應獨立的驅動軸線，該馬達模組(401,401A,401B,401C)之每一者之該馬達(401M,401M’)分別具有馬達定子(401S,401S’)，其固定於該框架(F)、馬達轉子(401R,401R’)，轉動該對應驅動軸桿(450,451)、和軸桿心軸機械式軸承(401BR,401BR’)，固定於該框架(F)，其中該軸桿心軸機械式軸承(401BR,401BR’)的至少一部分巢套於該定子(401S,401S’)之內；其中，由一個至一個以上該不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)，該複數個不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)之每一模組可選自於其他不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)，以安裝 至可選變化數量的不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)之馬達模組安裝單元(320)中的心軸(SPA)，而該一個以上不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)在該馬達模組安裝單元(320)中彼此相鄰。
  2. 如請求項1之基板運輸裝置，其中在該單元中之該一個以上不同、可交換的馬達模組於柱(310)中相鄰。
  3. 如請求項1之基板運輸裝置，其中該驅動段(300)進一步包括：罐密封件(470)，設置於每一馬達模組(401,401A,401B,401C)之該馬達定子(401S,401S’)與該馬達轉子(401R,401R’)之間，並以密閉方式使各該馬達定子(401S,401S’)與該馬達轉子(401R,401R’)相對於彼此而密封。
  4. 如請求項3之基板運輸裝置，其中該罐密封件(470)跨過該驅動段(300)之不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)之間的界面。
  5. 如請求項2之基板運輸裝置，其中該不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)之每一者皆具有不同的預定特性，獨立於在該柱(310)中的放置，該馬達模組(401,401A,401B,401C)之該不同的預定特性界定出該對應的驅動軸線之不同的預定驅動特性，獨立於該驅動軸桿心軸(450,451)位置，如此該馬達模組(401,401A,401B,401C)中至少一者之選擇決定了不同於該獨立驅動軸線之另一者的該對應的軸線之該不同的預定驅動特 性。
  6. 如請求項2之基板運輸裝置，其中該柱(310)之柱高度(SH)係可變，而該馬達模組(401,401A,401B,401C)中該至少一者之選擇改變該柱(310)之該柱高度(SH)。
  7. 如請求項1之基板運輸裝置，其中該驅動軸桿心軸(SPA)包含三軸向心軸。
  8. 如請求項1之基板運輸裝置，其中該馬達模組(401A,401B)中至少一者係緊密高度模組(401A,401B)，而該緊密高度模組(401A,401B)之模組高度(SHA)係獨立於該軸桿心軸機械式軸承(401BR)。
  9. 如請求項2之基板運輸裝置，其中該驅動段(300)進一步包括z載具(320)，其連接於該柱(310)之頂部馬達模組及底部馬達模組。
  10. 如請求項9之基板運輸裝置，其中該馬達模組(401,401A,401B,401C)彼此耦合，以形成該柱(310)且該柱(310)之已耦合的馬達模組界定該z載具(320)。
  11. 一種形成基板運輸裝置(26B,26i,2080,11013,11014)的方法，該方法包含：提供基板運輸裝置(26B,26i,2080,11013,11014)的框架(F)；提供連接於該框架(F)的驅動段(300)；提供具有至少一驅動軸桿(450,451)的驅動軸桿心軸(SPA)； 提供複數個不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)，各該馬達模組(401,401A,401B,401C)具有馬達(401M,401M’)，設置成可操作地耦合於該驅動軸桿心軸(SPA)的對應驅動軸桿(450,451)，界定出該驅動段(300)之對應獨立的驅動軸線，該馬達模組(401,401A,401B,401C)之每一者的該馬達(401M,401M’)分別具有固定於該框架(F)之馬達定子(401S,401S’)、轉動該對應驅動軸桿(450,451)之馬達轉子(401R,401R’)、和固定於該框架(F)之軸桿心軸機械式軸承(401BR,401BR’)，其中該軸桿心軸機械式軸承(401BR,401BR’)的至少一部分巢套於該定子(401S,401S’)之內；以及由一個至一個以上不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)，執行該複數個不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)之至少一模組的選擇，以安裝至可選變化數量的不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)之馬達模組安裝單元(320)中的心軸(SPA)，而一個以上該不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)在該馬達模組安裝單元(320)中彼此相鄰。
  12. 如請求項11之方法，其中在該單元中之一個以上該不同、可交換的馬達模組於柱(310)中相鄰。
  13. 如請求項11之方法，其中該驅動段(300)包括罐密封件(470)，其設置於每一可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)之該馬達定子(401S,401S’)與該馬達轉子(401R,401R’)之間，並以密閉方式使各該馬達 定子(401S,401S’)與該馬達轉子(401R,401R’)相對於彼此而密封。
  14. 如請求項13之方法，其進一步包括使該罐密封件(470)跨過該驅動段(300)之不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)之間的界面。
  15. 如請求項12之方法，其中該不同、可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)之每一者皆具有不同的預定特性，獨立於在該柱(310)中的放置，該可交換的馬達模組(401,401A,401B,401C)之該不同的預定特性界定出該對應的驅動軸線之不同的預定驅動特性，獨立於該驅動軸桿心軸(450,451)位置，如此該馬達模組(401,401A,401B,401C)中至少一者之選擇決定了不同於該獨立驅動軸線之另一者的該對應的軸線之該不同的預定驅動特性。
  16. 如請求項12之方法，其中該柱(310)之柱高度(SH)係可變，而該馬達模組(401,401A,401B,401C)中該至少一者之選擇改變該柱(310)之該柱高度(SH)。
  17. 如請求項11之方法，其中該驅動軸桿心軸(SPA)包含三軸向心軸。
  18. 如請求項11之方法，其中該馬達模組(401A,401B)中至少一者係緊密高度模組(401A,401B)，而該緊密高度模組(401A,401B)之模組高度(SHA)係獨立於該軸桿心軸機械式軸承(401BR)。
  19. 如請求項12之方法，其中該驅動段(300)進一步包括z載具(320)，其連接於該柱(310)之頂部馬達模組及底部馬達模組。
  20. 如請求項19之方法，其中該馬達模組(401,401A,401B,401C)彼此耦合，以形成該柱(310)且該柱(310)之已耦合的馬達模組界定該z載具(320)。
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