JP7346497B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
本出願は、2015年7月13日に出願された米国仮特許出願第62/191,836号の利益を主張し、その開示内容の全ては、参照により本明細書に組み込まれる。
例示的な実施形態は、概して、基板処理システムに関し、より詳細には、モータ構成要素のその場での較正なしに再構成可能で交換可能な基板搬送装置に関する。
フレームと、
フレームに接続される駆動セクションと
を備える基板搬送装置であって、
駆動セクションが、
少なくとも1つの同軸シャフトスピンドルを有する複数駆動シャフトスピンドルと、
積み重ねで配置される複数の異なる交換可能なモータモジュールであって、モータモジュールのそれぞれが、同軸シャフトスピンドルの対応するシャフトに動作可能に連結されるモータを有し、駆動セクションの対応する独立した駆動軸を画定し、それぞれのモジュールのモータが、それぞれ、フレームに固定されるモータステータと、対応するシャフトに結合されるモータロータとを有する、モータモジュールと、
それぞれのモータモジュールのモータステータとモータロータとの間に配置され、それぞれのモータステータとモータロータとを互いから密封するキャンシールと
を含み、
積み重ね内の異なる交換可能なモータモジュールの少なくとも1つが、積み重ね内での配置のために、積み重ねで配置可能な他の異なる交換可能なモータモジュールから選択可能であり、モータモジュールのそれぞれが、積み重ね内の配置から独立して、異なる所定の特性を有し、モジュールの異なる所定の特性が、シャフトスピンドルの位置から独立して、対応する駆動軸の異なる所定の駆動特性を画定し、少なくとも1つのモータモジュールの選択によって、別の独立した駆動軸とは異なる対応する軸の異なる所定の駆動特性が決定される、
基板搬送装置。
フレームに接続される駆動セクションと
を備える基板搬送装置であって、
駆動セクションが、
少なくとも1つの駆動シャフトを有する駆動シャフトスピンドルと、
積み重ねで配置される複数の交換可能なモータモジュールであって、モータモジュールのそれぞれが、駆動シャフトスピンドルの対応する駆動シャフトに動作可能に連結されるモータを有し、駆動セクションの対応する独立した駆動軸を画定し、それぞれのモジュールのモータが、それぞれ、フレームに固定されるモータステータと、対応するシャフトに結合されるモータロータとを有する、モータモジュールと、
積み重ね内のモータモジュールへの所定の共通の連結を有する線形滑動キャリッジであって、線形滑動キャリッジが、所定の共通の連結とともに、それぞれの積み重ね高さを有する異なる積み重ねに対して、線形滑動キャリッジの連結をもたらすために、調節可能な長さを有する、線形滑動キャリッジと
を含み、
積み重ね内の交換可能なモータモジュールの少なくとも1つが、積み重ね内の配置のために、積み重ね内で配置可能な他の交換可能なモータモジュールから選択可能である、
基板搬送装置。
フレームに接続される駆動セクションと
を備える基板搬送装置であって、
駆動セクションが、
少なくとも1つの駆動シャフトを有する駆動シャフトスピンドルと、
積み重ねで配置される複数の異なる交換可能なモータモジュールであって、モータモジュールのそれぞれが、駆動シャフトスピンドルの対応する駆動シャフトに動作可能に連結されるモータを有し、駆動セクションの対応する独立した駆動軸を画定し、それぞれのモジュールのモータが、それぞれ、フレームに固定されるモータステータと、対応するシャフトに結合されるモータロータと、フレームに固定される、シャフトスピンドルの機械軸受とを有し、シャフトスピンドルの機械軸受の少なくとも一部が、ステータ内で入れ子状にされる、モータモジュールと
を含み、
積み重ね内の異なる交換可能なモータモジュールの少なくとも1つが、積み重ね内の配置のために、積み重ね内で配置可能な他の異なる交換可能なモータモジュールから選択可能である、
基板搬送装置。
Claims (26)
- フレームと、
前記フレームに接続される駆動セクションと
を備える基板搬送装置であって、
前記駆動セクションが、
少なくとも1つの同軸シャフトスピンドルを有する複数駆動シャフトスピンドルと、
直列に配置される複数の異なる交換可能な複合モータモジュールの少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールであって、前記直列の異なる複合モータモジュールのそれぞれが、前記同軸シャフトスピンドルの対応するシャフトに動作可能に連結されるモータを有し、前記駆動セクションの対応する独立した駆動軸を画定し、それぞれの複合モータモジュールの前記モータが、それぞれ、前記フレームに固定されるモータステータと、前記対応するシャフトに結合されるモータロータとを有する、少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールと、
それぞれの複合モータモジュールの前記モータステータと前記モータロータとの間に配置され、それぞれのモータステータとモータロータとを互いから密封するキャンシールと
を含み、
前記少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールが、前記同軸シャフトスピンドルへの連結のために、前記同軸シャフトスピンドルに連結可能な他の異なる交換可能な複合モータモジュールから選択可能であり、前記複合モータモジュールのそれぞれが、前記同軸シャフトスピンドルへの連結から独立して、異なる所定の特性を有し、複合モータモジュールの前記異なる所定の特性が、同軸シャフトスピンドルの位置から独立して、対応する駆動軸の1つまたは複数の異なる所定の駆動特性を画定し、少なくとも1つの複合モータモジュールの選択によって、前記同軸シャフトスピンドルの異なる所定の駆動特性が決定される、
基板搬送装置。 - 前記少なくとも1つの複合モータモジュールの選択によって、前記独立した駆動軸のうちの別の駆動軸とは異なる対応する軸の前記異なる所定の駆動特性が決定される、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記キャンシールが、前記駆動セクションの異なる交換可能な複合モータモジュールの間のインターフェースを横切って広がる、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記同軸シャフトスピンドルが、3軸スピンドルを備える、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記複合モータモジュールのうちの少なくとも1つの複合モータモジュールが、シャフトスピンドル機械軸受を有し、前記シャフトスピンドル機械軸受は、前記シャフトスピンドル機械軸受の少なくとも一部が、前記少なくとも1つの同軸シャフトスピンドルの回転軸に対して半径方向で前記モータステータの一部と並ぶように、それぞれのモータステータ内で入れ子状にされる、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記複合モータモジュールのうちの少なくとも1つの複合モータモジュールが、コンパクトな高さのモジュールであり、前記コンパクトな高さのモジュールのモジュール高さが、前記シャフトスピンドル機械軸受から独立している、請求項5記載の基板搬送装置。
- フレームと、
前記フレームに接続される駆動セクションと
を備える基板搬送装置であって、
前記駆動セクションが、
少なくとも1つの駆動シャフトを有する駆動シャフトスピンドルと、
直列で配置される複数の交換可能な複合モータモジュールの少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールであって、前記直列の異なる複合モータモジュールのそれぞれが、前記駆動シャフトスピンドルの対応する駆動シャフトに動作可能に連結されるモータを有し、前記駆動セクションの対応する独立した駆動軸を画定し、それぞれの複合モータモジュールの前記モータが、それぞれ、前記フレームに固定されるモータステータと、前記対応する駆動シャフトに結合されるモータロータとを有し、前記少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールが、前記駆動シャフトスピンドルへの連結のために、前記駆動シャフトスピンドルに連結可能な他の交換可能な複合モータモジュールから選択可能である、少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールと、
前記複合モータモジュールへの所定の共通の連結を有する線形滑動キャリッジであって、前記線形滑動キャリッジが、前記駆動シャフトスピンドルへの前記線形滑動キャリッジの連結をもたらすために、調節可能な長さを有する、線形滑動キャリッジと
を含む、
基板搬送装置。 - 前記少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールの選択によって、前記独立した駆動軸のうちの別の駆動軸とは異なる対応する軸の異なる所定の駆動特性が決定される、請求項7記載の基板搬送装置。
- 前記直列で配置される複数の交換可能な複合モータモジュールが、2つの複合モータモジュールを備え、前記少なくとも1つの駆動シャフトが、2つの駆動シャフトを備え、それぞれの駆動シャフトが、前記2つの複合モータモジュールのそれぞれ1つに対応する、請求項7記載の基板搬送装置。
- 前記直列で配置される複数の交換可能な複合モータモジュールが、3つの複合モータモジュールを備え、前記少なくとも1つの駆動シャフトが、3つの駆動シャフトを備え、それぞれの駆動シャフトが、前記3つの複合モータモジュールのそれぞれ1つに対応する、請求項7記載の基板搬送装置。
- それぞれの複合モータモジュールの前記モータステータと前記モータロータとの間に配置され、それぞれのモータステータとモータロータとを互いから密封するキャンシールをさらに備える請求項7記載の基板搬送装置。
- それぞれの複合モータモジュールが、前記駆動シャフトスピンドルへの連結から独立して、異なる所定の特性を有し、前記複合モータモジュールの前記異なる所定の特性が、駆動シャフトスピンドルの位置から独立して、対応する駆動軸の1つまたは複数の異なる所定の駆動特性を画定し、少なくとも1つの複合モータモジュールの選択によって、前記駆動シャフトスピンドルの異なる所定の駆動特性が決定される、請求項7記載の基板搬送装置。
- 前記複合モータモジュールの選択によって、前記線形滑動キャリッジの高さが画定される、請求項7記載の基板搬送装置。
- フレームと、
前記フレームに接続される駆動セクションと
を備える基板搬送装置であって、
前記駆動セクションが、
少なくとも1つの駆動シャフトを有する駆動シャフトスピンドルと、
直列で配置される複数の異なる交換可能な複合モータモジュールの少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールであって、前記直列の異なる複合モータモジュールのそれぞれが、前記駆動シャフトスピンドルの対応する駆動シャフトに動作可能に連結されるモータを有し、前記駆動セクションの対応する独立した駆動軸を画定し、それぞれの複合モータモジュールの前記モータが、それぞれ、前記フレームに固定されるモータステータと、前記対応する駆動シャフトに結合されるモータロータと、前記フレームに固定される、シャフトスピンドル機械軸受とを有し、前記シャフトスピンドル機械軸受の少なくとも一部は、前記シャフトスピンドル機械軸受の一部が、前記少なくとも1つの駆動シャフトの回転軸に対して半径方向で前記モータステータの一部と並ぶように、前記モータステータ内で入れ子状にされる、少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールと
を含み、
前記少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールが、前記駆動シャフトスピンドルへの連結のために、前記駆動シャフトスピンドルに連結可能な他の異なる交換可能な複合モータモジュールから選択可能である、
基板搬送装置。 - 前記少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールの選択によって、前記独立した駆動軸のうちの別の駆動軸とは異なる対応する軸の異なる所定の駆動特性が決定される、請求項14記載の基板搬送装置。
- それぞれの複合モータモジュールの前記モータステータと前記モータロータとの間に配置され、それぞれのモータステータとモータロータとを互いから密封するキャンシールを、前記駆動セクションがさらに備える、請求項14記載の基板搬送装置。
- 前記キャンシールが、前記駆動セクションの異なる交換可能な複合モータモジュールの間のインターフェースを横切って広がる、請求項16記載の基板搬送装置。
- 前記異なる交換可能な複合モータモジュールのそれぞれが、前記駆動シャフトスピンドルへの連結から独立して、異なる所定の特性を有し、前記複合モータモジュールの前記異なる所定の特性が、駆動シャフトスピンドルの位置から独立して、対応する駆動軸の1つまたは複数の異なる所定の駆動特性を画定し、少なくとも1つの複合モータモジュールの選択により、前記駆動シャフトスピンドルの異なる所定の駆動特性が決定される、請求項14記載の基板搬送装置。
- 前記駆動シャフトスピンドルが、3軸スピンドルを備える、請求項14記載の基板搬送装置。
- 前記複合モータモジュールのうちの少なくとも1つの複合モータモジュールが、コンパクトな高さのモジュールであり、前記コンパクトな高さのモジュールのモジュール高さが、前記シャフトスピンドル機械軸受から独立している、請求項14記載の基板搬送装置。
- 基板搬送装置のフレームを提供することと、
前記フレームに接続される駆動セクションを提供することであって、前記駆動セクションが、
少なくとも1つの同軸シャフトスピンドルを有する複数駆動シャフトスピンドルと、
直列に配置される複数の異なる交換可能な複合モータモジュールの少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールであって、前記直列の異なる複合モータモジュールのそれぞれが、前記同軸シャフトスピンドルの対応するシャフトに動作可能に連結されるモータを有し、前記駆動セクションの対応する独立した駆動軸を画定し、それぞれの複合モータモジュールの前記モータが、それぞれ、前記フレームに固定されるモータステータと、前記対応するシャフトに結合されるモータロータとを有する、少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールと、
それぞれの複合モータモジュールの前記モータステータと前記モータロータとの間に配置され、それぞれのモータステータとモータロータとを互いから密封するキャンシールと
を含む、駆動セクションを提供することと、
前記同軸シャフトスピンドルへの連結のために、前記同軸シャフトスピンドルに連結可能な他の異なる交換可能な複合モータモジュールから、前記少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールを選択することであって、前記複合モータモジュールのそれぞれが、前記同軸シャフトスピンドルへの連結から独立して、異なる所定の特性を有し、前記複合モータモジュールの前記異なる所定の特性が、同軸シャフトスピンドルの位置から独立して、対応する駆動軸の1つまたは複数の異なる所定の駆動特性を画定し、少なくとも1つの複合モータモジュールの選択によって、前記同軸シャフトスピンドルの異なる所定の駆動特性が決定される、前記少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールを選択することと
を含む方法。 - 前記少なくとも1つの交換可能な複合モータモジュールの選択によって、前記独立した駆動軸のうちの別の駆動軸とは異なる対応する軸の前記異なる所定の駆動特性が決定される、請求項21記載の方法。
- 前記キャンシールが、前記駆動セクションの異なる交換可能な複合モータモジュールの間のインターフェースを横切って広がる、請求項21記載の方法。
- 前記同軸シャフトスピンドルが、3軸スピンドルを備える、請求項21記載の方法。
- 前記複合モータモジュールのうちの少なくとも1つの複合モータモジュールが、シャフトスピンドル機械軸受を有し、前記シャフトスピンドル機械軸受は、前記シャフトスピンドル機械軸受の少なくとも一部が、前記少なくとも1つの同軸シャフトスピンドルの回転軸に対して半径方向で前記モータステータの一部と並ぶように、それぞれのモータステータ内で入れ子状にされる、請求項21記載の方法。
- 前記複合モータモジュールのうちの少なくとも1つの複合モータモジュールが、コンパクトな高さのモジュールであり、前記コンパクトな高さのモジュールのモジュール高さが、前記シャフトスピンドル機械軸受から独立している、請求項25記載の方法。
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