JP6690479B2 - 容器収納設備 - Google Patents
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- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims description 164
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 68
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 27
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 17
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 claims description 16
- 230000009191 jumping Effects 0.000 claims description 15
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 39
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 19
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 9
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 6
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
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- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
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Description
本発明は、容器を収納する収納部を有する容器収納棚を備えた容器収納設備に関する。
上記のような容器を収納する容器収納棚を備える容器収納設備として、例えば、容器の内容物としての半導体基板を処理及び保管する半導体製造工場に設けられたものがある。半導体製造工場では、複数の工程に分けられた半導体基板の処理（加工や検査など）が行われる。そして、ある工程で処理を終えた半導体基板は容器に収容された状態で搬送装置により搬送されて、次の工程の処理装置に供給されるか、容器収納棚を備えた保管庫等の容器収納設備に収納される。このように、半導体基板は容器に収容された状態で容器収納棚に収納される。
また、上記の容器収納設備では、側面に開口部を有すると共に当該開口部から内容物を出し入れ自在に構成された容器を収納するものが知られている。例えば、半導体基板を収容する容器として、側面に半導体基板を出し入れするための開口部を有して、上下複数層に分散配置された基板収容用のスロットを備えた容器を収納する設備がある。
ここで、容器が容器収納棚に収納されている状態において、搬送装置の作動による機械的な振動や地震による振動が容器収納棚に伝達すると、容器に対する半導体基板の出し入れ方向での揺れが起こり、容器内の半導体基板が開口部から容器外へ飛び出して、半導体基板が落下・破損する場合がある。そこで、容器が容器収納棚に収納された状態で当該容器の開口部に近接する位置に、半導体基板の飛び出しを規制する規制体を設けることが考えられる。しかし、容器収納棚において、容器が収納された状態における当該容器の開口部に近接する位置に規制体を設けておくと、容器を容器収納棚に収納する際に、容器が規制体に干渉する可能性が高くなる。すなわち、規制体が、容器を収納する際の妨げとなる可能性が高くなる。
また、上記の容器収納設備では、側面に開口部を有すると共に当該開口部から内容物を出し入れ自在に構成された容器を収納するものが知られている。例えば、半導体基板を収容する容器として、側面に半導体基板を出し入れするための開口部を有して、上下複数層に分散配置された基板収容用のスロットを備えた容器を収納する設備がある。
ここで、容器が容器収納棚に収納されている状態において、搬送装置の作動による機械的な振動や地震による振動が容器収納棚に伝達すると、容器に対する半導体基板の出し入れ方向での揺れが起こり、容器内の半導体基板が開口部から容器外へ飛び出して、半導体基板が落下・破損する場合がある。そこで、容器が容器収納棚に収納された状態で当該容器の開口部に近接する位置に、半導体基板の飛び出しを規制する規制体を設けることが考えられる。しかし、容器収納棚において、容器が収納された状態における当該容器の開口部に近接する位置に規制体を設けておくと、容器を容器収納棚に収納する際に、容器が規制体に干渉する可能性が高くなる。すなわち、規制体が、容器を収納する際の妨げとなる可能性が高くなる。
容器からの半導体基板の飛び出しを規制する規制体に関して、例えば、特許文献１には、半導体基板が収容された容器を搬送する無人搬送車において、容器から半導体基板が飛び出さないように、当該半導体基板を容器の開口側から奥側へ押さえる規制体を備えたものが開示されている。
特許文献１の無人搬送車は、半導体基板を搬送する際には当該半導体基板をカセットの開口側から奥側へ押さえつける位置に規制体を位置させ、枚葉移載装置により半導体基板を移載する際には移載される半導体基板と干渉しない位置に規制体を位置させるように構成されている。特許文献１の無人搬送車は、このような規制体の位置切り替えを、エアシリンダ等の駆動手段により行っている。
特許文献１の無人搬送車は、半導体基板を搬送する際には当該半導体基板をカセットの開口側から奥側へ押さえつける位置に規制体を位置させ、枚葉移載装置により半導体基板を移載する際には移載される半導体基板と干渉しない位置に規制体を位置させるように構成されている。特許文献１の無人搬送車は、このような規制体の位置切り替えを、エアシリンダ等の駆動手段により行っている。
駆動手段により位置切り替えされる特許文献１のような規制体を容器収納棚に設けることが考えられるが、容器収納棚に駆動手段を設けると、モータやエアシリンダ等の駆動源を容器収納棚に設置する必要があるため、設置スペースの点で不利である。さらに、駆動源に対して駆動用の電力やエアーを供給するための配線や配管が必要となるため構造が複雑となる。
本発明は、上記実情に鑑みて為されたものであって、その目的は、設置スペースの点で有利で且つ簡素な構造により容器からの内容物の飛び出しを規制可能な容器収納設備を提供する点にある。
上記課題を解決するため、本発明に係る容器収納設備の特徴構成は、容器を収納する収納部を有する容器収納棚を備え、前記容器は、側面に開口部を有すると共に当該開口部から内容物を出し入れ自在に構成された容器収納設備において、前記収納部に前記容器が収納された状態で前記容器の前記開口部からの前記内容物の飛び出しを規制する規制体と、前記収納部に前記容器が収納された状態で前記容器の底部によって押下される被押下部と、前記規制体と前記被押下部とを連動させる連動機構と、を備え、前記規制体は、平面視で前記内容物の出し入れ方向に直交する方向に移動することで、前記収納部に収納された状態での前記容器の前記開口部に対して前記出し入れ方向で近接して前記内容物の飛び出しを規制する規制位置と、前記規制位置から離間した退避位置と、に位置切り替え可能に構成され、前記連動機構は、前記被押下部が前記容器に押下された状態で前記規制体を前記規制位置に位置させ、前記被押下部が前記容器に押下されていない状態で前記規制体を前記退避位置に位置させるように構成されている点にある。
本特徴構成によれば、規制体と被押下部とが連動機構により連動する。この連動機構は、容器の底部により被押下部が押下されている状態と押下されていない状態とに応じて、規制位置と、規制位置から離間した退避位置と、の間で規制体の位置を切り替えることができる。容器の底部によって被押下部が押下されていないとき、すなわち容器が収納部に収納されていないときは、規制体は退避位置に位置し、容器の底部によって被押下部が押下されているとき、すなわち容器が収納部に収納されているときは、規制体は規制位置に位置する。従って、容器が収納される以前は、規制体は退避位置にあるから、容器が収納されるのを規制体が妨げることがない。一方で、容器が収納される際には、容器の底部により被押下部が押下され、被押下部が押下されるのに連動して規制体が規制位置に位置切り替えされる。このように、駆動手段によらず容器を収納する動作及び取り出す動作により、規制体を規制位置と退避位置とに切り替えることができる。
規制位置は、収納部に収納された状態での容器の開口部に対して内容物の出し入れ方向で近接すると共に内容物の飛び出しを規制する位置であるから、容器が収納部に収納された後は、規制位置にある規制体により容器の内容物は出し入れ方向での移動が規制されることになる。従って、容器に振動が生じた場合でも内容物が容器から飛び出すことを抑制できる。
駆動手段を用いない分、モータやエアシリンダ等の駆動源を設置する必要がないため、設置スペースの点で有利である。さらに、駆動源に対して駆動用の電力やエアーを供給するための配線や配管が不要であるから構成の簡素化を図ることができる。
このように、本特徴構成によれば、設置スペースの点で有利で且つ簡素な構造により容器からの内容物の飛び出しを規制可能な容器収納設備を得ることができる。
また、このような構成において、前記収納部は、前記収納部に対する前記容器の収納方向である棚奥行方向に平面視で直交する方向に前記容器の前記開口部を向けた状態で、当該容器を収納するように構成されていると好適である。
規制位置は、収納部に収納された状態での容器の開口部に対して内容物の出し入れ方向で近接すると共に内容物の飛び出しを規制する位置であるから、容器が収納部に収納された後は、規制位置にある規制体により容器の内容物は出し入れ方向での移動が規制されることになる。従って、容器に振動が生じた場合でも内容物が容器から飛び出すことを抑制できる。
駆動手段を用いない分、モータやエアシリンダ等の駆動源を設置する必要がないため、設置スペースの点で有利である。さらに、駆動源に対して駆動用の電力やエアーを供給するための配線や配管が不要であるから構成の簡素化を図ることができる。
このように、本特徴構成によれば、設置スペースの点で有利で且つ簡素な構造により容器からの内容物の飛び出しを規制可能な容器収納設備を得ることができる。
また、このような構成において、前記収納部は、前記収納部に対する前記容器の収納方向である棚奥行方向に平面視で直交する方向に前記容器の前記開口部を向けた状態で、当該容器を収納するように構成されていると好適である。
また、前記規制位置に位置する前記規制体が占有する領域と前記退避位置に位置する前記規制体が占有する領域とが、前記出し入れ方向において重複する部分を有するように構成されていると好適である。
この構成によれば、規制体が退避位置と規制位置とに亘って移動する場合の規制体の通過領域についての、出し入れ方向の長さを小さく抑えることができる。そのため、規制体を設置するために確保すべき空間が小さくて済み、設置スペースの点で有利となる。
また、前記容器を前記収納部に搬送する搬送装置を備え、前記搬送装置は、前記容器の搬送時において、前記容器の前記開口部に対して前記出し入れ方向で近接して前記内容物の落下を防止する落下防止体を有すると好適である。
この構成によれば、搬送装置は、容器の開口部に対して出し入れ方向で近接する落下防止体を有しているため、容器の搬送時に搬送装置が振動する場合であっても、内容物が容器から飛び出して落下することを防止できる。また、搬送装置により容器を収納部に搬送して当該容器を収納部に収納した後は、容器収納棚が備える規制体により容器からの内容物の飛び出しが規制される。従って、この構成によれば、容器の搬送時及び容器の収納後において、内容物が容器から飛び出すことを防止できる。
また、本発明に係る容器収納設備の特徴構成は、容器を収納する収納部を有する容器収納棚と、前記容器を前記収納部に搬送する搬送装置と、を備え、前記容器は、側面に開口部を有すると共に当該開口部から内容物を出し入れ自在に構成された容器収納設備において、前記収納部に前記容器が収納された状態で前記容器の前記開口部からの前記内容物の飛び出しを規制する規制体と、前記収納部に前記容器が収納された状態で前記容器の底部によって押下される被押下部と、前記規制体と前記被押下部とを連動させる連動機構と、を備え、前記規制体は、前記収納部に収納された状態での前記容器の前記開口部に対して前記内容物の出し入れ方向で近接して前記内容物の飛び出しを規制する規制位置と、前記規制位置から離間した退避位置と、に位置切り替え可能に構成され、前記連動機構は、前記被押下部が前記容器に押下された状態で前記規制体を前記規制位置に位置させ、前記被押下部が前記容器に押下されていない状態で前記規制体を前記退避位置に位置させるように構成され、前記搬送装置は、前記容器の搬送時において、前記容器の前記開口部に対して前記出し入れ方向で近接して前記内容物の落下を防止する落下防止体を有し、前記搬送装置が前記容器を前記収納部に収納する際に、前記落下防止体の位置が、前記規制位置に位置する前記規制体と前記出し入れ方向において重複する位置となるように構成されている点にある。
本特徴構成によれば、規制体と被押下部とが連動機構により連動する。この連動機構は、容器の底部により被押下部が押下されている状態と押下されていない状態とに応じて、規制位置と、規制位置から離間した退避位置と、の間で規制体の位置を切り替えることができる。容器の底部によって被押下部が押下されていないとき、すなわち容器が収納部に収納されていないときは、規制体は退避位置に位置し、容器の底部によって被押下部が押下されているとき、すなわち容器が収納部に収納されているときは、規制体は規制位置に位置する。従って、容器が収納される以前は、規制体は退避位置にあるから、容器が収納されるのを規制体が妨げることがない。一方で、容器が収納される際には、容器の底部により被押下部が押下され、被押下部が押下されるのに連動して規制体が規制位置に位置切り替えされる。このように、駆動手段によらず容器を収納する動作及び取り出す動作により、規制体を規制位置と退避位置とに切り替えることができる。
規制位置は、収納部に収納された状態での容器の開口部に対して内容物の出し入れ方向で近接すると共に内容物の飛び出しを規制する位置であるから、容器が収納部に収納された後は、規制位置にある規制体により容器の内容物は出し入れ方向での移動が規制されることになる。従って、容器に振動が生じた場合でも内容物が容器から飛び出すことを抑制できる。
駆動手段を用いない分、モータやエアシリンダ等の駆動源を設置する必要がないため、設置スペースの点で有利である。さらに、駆動源に対して駆動用の電力やエアーを供給するための配線や配管が不要であるから構成の簡素化を図ることができる。
このように、本特徴構成によれば、設置スペースの点で有利で且つ簡素な構造により容器からの内容物の飛び出しを規制可能な容器収納設備を得ることができる。
また、この構成によれば、搬送装置は、容器の開口部に対して出し入れ方向で近接する落下防止体を有しているため、容器の搬送時に搬送装置が振動する場合であっても、内容物が容器から飛び出して落下することを防止できる。また、搬送装置により容器を収納部に搬送して当該容器を収納部に収納した後は、容器収納棚が備える規制体により容器からの内容物の飛び出しが規制される。従って、この構成によれば、容器の搬送時及び容器の収納後において、内容物が容器から飛び出すことを防止できる。
さらに、この構成によれば、搬送装置が容器を収納部に収納する際の落下防止体は、規制位置に位置する規制体と出し入れ方向で重複する部分を有しているので、容器を収納部に収納する際の、落下防止体と規制体とが占める出し入れ方向での領域を出し入れ方向において小さくすることができ、空間利用効率が良い。
規制位置は、収納部に収納された状態での容器の開口部に対して内容物の出し入れ方向で近接すると共に内容物の飛び出しを規制する位置であるから、容器が収納部に収納された後は、規制位置にある規制体により容器の内容物は出し入れ方向での移動が規制されることになる。従って、容器に振動が生じた場合でも内容物が容器から飛び出すことを抑制できる。
駆動手段を用いない分、モータやエアシリンダ等の駆動源を設置する必要がないため、設置スペースの点で有利である。さらに、駆動源に対して駆動用の電力やエアーを供給するための配線や配管が不要であるから構成の簡素化を図ることができる。
このように、本特徴構成によれば、設置スペースの点で有利で且つ簡素な構造により容器からの内容物の飛び出しを規制可能な容器収納設備を得ることができる。
また、この構成によれば、搬送装置は、容器の開口部に対して出し入れ方向で近接する落下防止体を有しているため、容器の搬送時に搬送装置が振動する場合であっても、内容物が容器から飛び出して落下することを防止できる。また、搬送装置により容器を収納部に搬送して当該容器を収納部に収納した後は、容器収納棚が備える規制体により容器からの内容物の飛び出しが規制される。従って、この構成によれば、容器の搬送時及び容器の収納後において、内容物が容器から飛び出すことを防止できる。
さらに、この構成によれば、搬送装置が容器を収納部に収納する際の落下防止体は、規制位置に位置する規制体と出し入れ方向で重複する部分を有しているので、容器を収納部に収納する際の、落下防止体と規制体とが占める出し入れ方向での領域を出し入れ方向において小さくすることができ、空間利用効率が良い。
また、前記規制体は、長尺状に形成されると共に、前記規制位置及び前記退避位置においてその長手方向が上下方向に沿う起立姿勢となるように構成され、前記連動機構は、前記規制体に前記起立姿勢を維持させたまま、前記規制体と前記被押下部とを連動させるように構成されていると好適である。
この構成によれば、規制体は、規制位置及び退避位置の双方の位置で起立姿勢を維持しているので、平面視での容器収納棚における規制体の占める領域を小さくすることができる。従って、この構成によれば、空間利用効率を更に良くすることができる。
また、前記開口部は、前記容器における前記出し入れ方向で互いに対向する状態で一対形成され、前記規制体は、前記開口部に対応して一対設けられていると好適である。
この構成によれば、内容物を収納する容器として、出し入れ方向で互いに対向する状態で開口部が一対形成された使い勝手の良いものを用いる場合であっても、それぞれの開口部に対応して規制体が設けられているため、いずれの開口部からも内容物が飛び出すのを規制することができる。
また、前記容器収納棚は、前記出し入れ方向に並べて配置される複数の前記収納部を有し、複数の前記収納部のそれぞれについて、前記規制体と前記被押下部と前記連動機構とが各別に設けられていると好適である。
この構成によれば、複数の収納部のそれぞれについて、駆動手段を用いない簡素な構造により容器からの内容物の飛び出しを規制する規制体を設けることができる。そのため、複数の収納部についてのそれぞれの規制体を駆動手段で位置切り替えする構成に比べ、設備全体として簡素な構造とすることができる。更に、駆動手段を設けないことによる省スペース化の効果が、複数の収納部のそれぞれについて発揮されるため、設備全体として空間利用効率を大幅に向上させることができる。
本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。
〔第一実施形態〕
本実施形態に係る容器収納設備１について図面に基づいて説明する。図１及び図２に示すように、容器収納設備１は、容器Ｗを収納する収納部２１を有する容器収納棚２と容器Ｗを収納部２１に搬送する搬送装置３とを備えている。
本実施形態に係る容器収納設備１について図面に基づいて説明する。図１及び図２に示すように、容器収納設備１は、容器Ｗを収納する収納部２１を有する容器収納棚２と容器Ｗを収納部２１に搬送する搬送装置３とを備えている。
本実施形態において容器Ｗは、図３に示すように、内容物としての半導体トレイＴを収容するものである。半導体トレイＴは、上下方向に複数層重ねられる状態で容器Ｗに収容される（図１も参照）。容器Ｗは、側面に開口部Ｗａを有すると共に当該開口部Ｗａから半導体トレイＴを出し入れ自在に構成されている。また、開口部Ｗａは、容器Ｗにおける出し入れ方向で互いに対向する状態で一対形成されている。なお、以下の説明では、容器Ｗに対する半導体トレイＴの出し入れ方向をＸ方向とし、水平面に沿い且つＸ方向に直交する方向をＹ方向とする。また、説明の便宜上、Ｘ方向のうち一方を第一Ｘ方向Ｘ１とし、他方を第二Ｘ方向Ｘ２とする。更に、Ｙ方向のうち一方を第一Ｙ方向Ｙ１とし、他方を第二Ｙ方向Ｙ２とする。
容器Ｗは、Ｙ方向に間隔を隔てて対面する一対の側壁Ｗｃを有している。容器Ｗの上部及び底部は閉鎖している。また、容器Ｗの上部及び底部は、Ｘ方向において側壁Ｗｃよりも短く形成されている。そのため、容器Ｗは、平面視においてＸ方向の端部が切り欠かれたＨ型に形成されている。容器Ｗはこのような形状であるため、容器Ｗの内部が視認し易くなっており、また、容器Ｗからの半導体トレイＴの出し入れが容易となっている。容器Ｗの上部には、トップフランジＷｂが設けられている。トップフランジＷｂを搬送装置３が把持することで、搬送装置３による容器Ｗの搬送が可能となっている。
図１及び図２に示すように、搬送装置３は、吊り下げ具９１によって天井に固定された走行レール９０を走行自在に構成されている。走行レール９０は少なくとも容器収納棚２に対応する箇所ではＸ方向に沿って設けられている。このため、搬送装置３はＸ方向に沿って容器Ｗを搬送することができる。
搬送装置３は、走行レール９０上を走行する走行駆動部３Ｒと、走行レール９０の下方に位置するように走行駆動部３Ｒに吊り下げ支持された容器支持部３Ｓと、を備えている。
走行駆動部３Ｒは、駆動モータ３Ｒｃにて回転駆動される走行輪３Ｒａと、走行駆動部３Ｒを走行レール９０に沿って案内する案内輪３Ｒｂと、を有している。走行輪３Ｒａは、水平方向の回転軸を有し、走行レール９０の上面を転動する。案内輪３Ｒｂは、上下方向の回転軸を有し、走行レール９０において上下方向に形成された鉛直面を転動する。従って、走行駆動部３Ｒは、案内輪３Ｒｂにより走行レール９０に沿って案内されながら、駆動モータ３Ｒｃにて駆動される走行輪３Ｒａにより走行レール９０に沿って移動することができる。
容器支持部３Ｓは、容器ＷのトップフランジＷｂを把持可能な把持部３１Ｓを有している。容器支持部３Ｓは、把持部３１Ｓの上方、第一Ｘ方向Ｘ１及び第二Ｘ方向Ｘ２を覆うカバー３２Ｓを有している。言い換えれば、カバー３２Ｓは、下方、第一Ｙ方向Ｙ１及び第二Ｙ方向Ｙ２が開放された形状となっている。これにより、把持部３１Ｓがカバー３２Ｓにより覆われた状態であっても、把持部３１Ｓは、下方及びＹ方向に移動し得るものとなっている。
走行駆動部３Ｒは、駆動モータ３Ｒｃにて回転駆動される走行輪３Ｒａと、走行駆動部３Ｒを走行レール９０に沿って案内する案内輪３Ｒｂと、を有している。走行輪３Ｒａは、水平方向の回転軸を有し、走行レール９０の上面を転動する。案内輪３Ｒｂは、上下方向の回転軸を有し、走行レール９０において上下方向に形成された鉛直面を転動する。従って、走行駆動部３Ｒは、案内輪３Ｒｂにより走行レール９０に沿って案内されながら、駆動モータ３Ｒｃにて駆動される走行輪３Ｒａにより走行レール９０に沿って移動することができる。
容器支持部３Ｓは、容器ＷのトップフランジＷｂを把持可能な把持部３１Ｓを有している。容器支持部３Ｓは、把持部３１Ｓの上方、第一Ｘ方向Ｘ１及び第二Ｘ方向Ｘ２を覆うカバー３２Ｓを有している。言い換えれば、カバー３２Ｓは、下方、第一Ｙ方向Ｙ１及び第二Ｙ方向Ｙ２が開放された形状となっている。これにより、把持部３１Ｓがカバー３２Ｓにより覆われた状態であっても、把持部３１Ｓは、下方及びＹ方向に移動し得るものとなっている。
容器支持部３Ｓは、把持部３１Ｓを昇降させる昇降操作機構３４Ｓと、把持部３１ＳをＹ方向にスライドさせるスライド操作機構３３Ｓと、を有している。
把持部３１Ｓは、容器Ｗを把持する把持姿勢と把持を解除する解除姿勢とに切り替え自在な把持爪３１Ｓａと、把持爪３１Ｓａを把持姿勢と解除姿勢とに切り替え操作する把持用モータ（図示省略）と、を有している。本実施形態では、把持爪３１Ｓａが容器ＷのトップフランジＷｂを把持することで、把持部３１Ｓが容器Ｗを把持できるようになっている。
昇降操作機構３４Ｓは、昇降ベルト３４Ｓｂを繰り出し及び巻取り自在なドラム３４Ｓａを備えている。昇降操作機構３４Ｓは、昇降用モータ３４Ｓｃにてドラム３４Ｓａを回転駆動させることにより、把持部３１Ｓ及びそれにて把持された容器Ｗを昇降させることができる。
図１に示すように、スライド操作機構３３Ｓは、Ｙ方向に間隔を隔てて配置された一対のプーリ３３Ｓａ（図中では一方のプーリのみ記載）と、これら一対のプーリ３３Ｓａに架け渡されたスライドベルト３３Ｓｂと、プーリ３３Ｓａを回転駆動させるスライド用モータ（図示省略）と、を有している。スライド操作機構３３Ｓは、スライド用モータによりプーリ３３Ｓａを回転させることでスライドベルト３３Ｓｂを駆動させて、把持部３１Ｓ及びそれにて把持された容器Ｗを第二Ｙ方向Ｙ２にスライドさせることができる。また、スライド操作機構３３Ｓは、スライド用モータを上記の場合と逆に回転させることで、把持部３１Ｓ及びそれにて把持された容器Ｗを第一Ｙ方向Ｙ１にスライドさせることができる。すなわち、スライド操作機構３３Ｓにより、容器Ｗと容器収納棚２とがＹ方向で重複する位置である突出位置と、容器Ｗがカバー３２Ｓの内側に収まる引退位置と、に容器Ｗをスライドさせることができる。
把持部３１Ｓは、容器Ｗを把持する把持姿勢と把持を解除する解除姿勢とに切り替え自在な把持爪３１Ｓａと、把持爪３１Ｓａを把持姿勢と解除姿勢とに切り替え操作する把持用モータ（図示省略）と、を有している。本実施形態では、把持爪３１Ｓａが容器ＷのトップフランジＷｂを把持することで、把持部３１Ｓが容器Ｗを把持できるようになっている。
昇降操作機構３４Ｓは、昇降ベルト３４Ｓｂを繰り出し及び巻取り自在なドラム３４Ｓａを備えている。昇降操作機構３４Ｓは、昇降用モータ３４Ｓｃにてドラム３４Ｓａを回転駆動させることにより、把持部３１Ｓ及びそれにて把持された容器Ｗを昇降させることができる。
図１に示すように、スライド操作機構３３Ｓは、Ｙ方向に間隔を隔てて配置された一対のプーリ３３Ｓａ（図中では一方のプーリのみ記載）と、これら一対のプーリ３３Ｓａに架け渡されたスライドベルト３３Ｓｂと、プーリ３３Ｓａを回転駆動させるスライド用モータ（図示省略）と、を有している。スライド操作機構３３Ｓは、スライド用モータによりプーリ３３Ｓａを回転させることでスライドベルト３３Ｓｂを駆動させて、把持部３１Ｓ及びそれにて把持された容器Ｗを第二Ｙ方向Ｙ２にスライドさせることができる。また、スライド操作機構３３Ｓは、スライド用モータを上記の場合と逆に回転させることで、把持部３１Ｓ及びそれにて把持された容器Ｗを第一Ｙ方向Ｙ１にスライドさせることができる。すなわち、スライド操作機構３３Ｓにより、容器Ｗと容器収納棚２とがＹ方向で重複する位置である突出位置と、容器Ｗがカバー３２Ｓの内側に収まる引退位置と、に容器Ｗをスライドさせることができる。
以上説明した構成により、搬送装置３は、容器収納棚２の収納部２１に容器Ｗを収納することができる。すなわち、搬送装置３は、把持部３１Ｓの把持爪３１Ｓａにより容器Ｗを把持した状態で、図２に示すように、走行駆動部３Ｒにより走行レール９０をＸ方向に移動する。そして、搬送装置３は、Ｘ方向における容器収納棚２の収納部２１と重複する位置で停止する。図１に示すように、搬送装置３は、スライド操作機構３３Ｓにより把持部３１Ｓ及びそれにて把持される容器Ｗを第二Ｙ方向Ｙ２にスライドさせて、把持部３１Ｓ及び容器Ｗを突出位置に位置させる。そして、搬送装置３は、昇降操作機構３４Ｓにより容器Ｗを降下させることで容器Ｗを収納部２１に収納することができる。
本実施形態では、搬送装置３は、容器ＷのＸ方向が走行方向に沿う姿勢で容器Ｗを搬送し、スライド操作機構３３Ｓは、容器ＷのＹ方向に沿って容器Ｗをスライドさせる。つまり、容器収納棚２の収納部２１に対して容器Ｗを収納する場合の容器Ｗのスライド方向が、第二Ｙ方向Ｙ２である。そして、当該収納部２１から容器Ｗを取り出す場合の容器Ｗのスライド方向が、第一Ｙ方向Ｙ１である。すなわち、第二Ｙ方向Ｙ２は容器収納棚２に対する棚奥行方向であり、第一Ｙ方向Ｙ１は容器収納棚２に対する手前方向である。
ところで、容器Ｗの搬送中の速度変化により、半導体トレイＴが容器Ｗと相対的にＸ方向に移動して、容器Ｗの開口部Ｗａから飛び出すことがある。これを防止するため、本実施形態に係る搬送装置３は、容器Ｗの搬送時において、容器Ｗの開口部Ｗａに対してＸ方向（出し入れ方向）で近接して半導体トレイＴの落下を防止する落下防止体３５Ｓを有している（図１及び図２参照）。落下防止体３５Ｓは、容器Ｗの開口部Ｗａに近接しているため、半導体トレイＴが容器Ｗと相対的にＸ方向に移動することを防止することになる。従って、搬送装置３は、落下防止体３５Ｓにより、半導体トレイＴが容器Ｗから落下するのを防止することができる。
本実施形態では、図１に示すように、把持部３１Ｓが容器Ｗを把持している状態で、容器ＷのＹ方向における中央部から第一Ｙ方向Ｙ１に距離を置いた位置に位置するように、落下防止体３５Ｓは把持部３１Ｓに設けられている。また、落下防止体３５Ｓは、容器Ｗにおける上下方向の全ての領域に重複するように配置されている。言い換えれば、上下方向の長さが少なくとも容器Ｗの上下方向の長さよりも長くなるように、落下防止体３５Ｓは構成されている。
本実施形態では、落下防止体３５Ｓは、図２に示すように、Ｘ方向に沿って配置されるシリンダの両端部のそれぞれにおいて、下方に延在する棒状体であり、シリンダの伸縮によってＹ方向で位置切り替えができるように構成されている。これにより、一対の落下防止体３５ＳのＸ方向における離間距離を拡張させて、把持部３１Ｓが容器Ｗを把持する際に落下防止体３５Ｓが容器Ｗに干渉しないようにできる。そして、把持部３１Ｓが容器Ｗを把持した後は、一対の落下防止体３５ＳのＸ方向における離間距離を縮小させて、落下防止体３５Ｓを容器Ｗの開口部Ｗａに近接させることができる。
図２及び図４に示すように、容器収納棚２は、Ｘ方向を長手方向として配置される載置台９９を有している。載置台９９は、天井に吊り下げられた状態で構成されている。容器収納棚２は、Ｘ方向に並べて配置される複数の収納部２１を有している。本実施形態では、１つの容器収納棚２に対して２つの収納部２１がＸ方向に並べて配置されている。載置台９９には、容器Ｗが収納部２１に収納された際における容器Ｗの位置決めを担うガイド９８が設けられている。ガイド９８は、容器Ｗが収納部２１に収納された状態で容器Ｗの底部の四隅を支持するべく、載置台９９における容器Ｗの底部の四隅に対応する位置に、それぞれ４つ設けられている。また、ガイド９８は、直方体の一部が切り欠かれた形状となっている。そして、ガイド９８は、収納部２１に収納された容器Ｗの水平面に沿った移動を規制しつつ、容器Ｗを載置台９９から上方に浮かせた状態で支持する（図７も参照）。すなわち、複数のガイド９８は、容器Ｗの底面と載置台９９の上面との間に空間が形成される状態で、かつ、容器Ｗを位置決めした状態で容器Ｗを支持する。
ところで、上述したように、搬送装置３による容器Ｗの搬送時には、落下防止体３５Ｓにより半導体トレイＴが容器Ｗの開口部Ｗａから落下するのを防止している。しかし、搬送装置３が容器Ｗの搬送を終えた後、すなわち容器Ｗが容器収納棚２の収納部２１に収納された後は、搬送装置３は次の作業等を行うため容器Ｗの把持を解除して収納部２１から離れることになる。そのため、落下防止体３５Ｓは容器Ｗの開口部Ｗａに近接する位置から離れることになり、容器収納棚２が何らかの原因により揺れた場合には、容器Ｗの開口部Ｗａから半導体トレイＴが飛び出すおそれがある。
そこで、本実施形態に係る容器収納設備１は、図４に示すように、収納部２１に容器Ｗが収納された状態で容器Ｗの開口部Ｗａからの半導体トレイＴの飛び出しを規制する規制体４ａと、収納部２１に容器Ｗが収納された状態で容器Ｗの底部によって押下される被押下部４ｂと、規制体４ａと被押下部４ｂとを連動させる連動機構４と、を備えている。本実施形態では、規制体４ａ及び被押下部４ｂは、連動機構４の一部を構成している。上述したように、本実施形態では、半導体トレイＴを出し入れする開口部Ｗａは、容器ＷにおけるＸ方向で互いに対向する状態で一対形成されている。そのため、規制体４ａは、開口部Ｗａに対応して一対設けられている。また、規制体４ａは、長尺状に形成されており、上下方向の長さが少なくとも容器Ｗの上下方向の長さよりも長くなるように構成されている。また、本実施形態では、容器収納棚２が複数（２個）の収納部２１を有しているため、これら複数の収納部２１のそれぞれについて、規制体４ａと被押下部４ｂと連動機構４とが各別に設けられている。そして、本実施形態において連動機構４は、リンク機構であり、上部リンク体４ｃと、下部リンク体４ｄと、固定リンク体４ｅと、を有している。これら、上部リンク体４ｃ、下部リンク体４ｄ及び固定リンク体４ｅのそれぞれは、Ｘ方向に一定間隔を隔てて一対設けられている。
固定リンク体４ｅ及び下部リンク体４ｄの端部は、載置台９９の上面に取り付けられたブラケット９７によって支持されている。詳細には、固定リンク体４ｅは、ブラケット９７に対して固定される状態で支持されている。一方、下部リンク体４ｄは、ブラケット９７に対して回転自在に支持されると共に、バネ（図示省略）等で構成される付勢部材により上方に付勢されている。
被押下部４ｂは、Ｘ方向に沿って配置されている。被押下部４ｂのＸ方向における両端部のそれぞれは、一対の下部リンク体４ｄの端部によって支持されている。この被押下部４ｂは、長手方向が回転軸心方向に沿う長尺状のローラによって構成されている。そのため、被押下部４ｂは、下部リンク体４ｄの回動端部に位置するＸ方向に沿う移動軸心まわりに回転するように構成されている。すなわち、被押下部４ｂは、下部リンク体４ｄの回動と共に自転するように構成されている。容器Ｗが収納部２１に収納されておらず被押下部４ｂが容器Ｗの底部によって押下されていないときは、下部リンク体４ｄは、バネにより上方に付勢されているため、ブラケット９７によって支持された端部を下端として上方に傾いた姿勢を維持する。従って、下部リンク体４ｄにおける他の端部で支持されている被押下部４ｂは、容器Ｗの底部によって押下されていないとき、載置台９９から上方に離間した位置に配置された状態となる。
上部リンク体４ｃの端部は、固定リンク体４ｅにおけるブラケット９７によって支持された端部とは反対側の端部において、回転自在に支持されている。上部リンク体４ｃは、Ｘ方向視で下部リンク体４ｄと常に同じ傾きとなるように構成されている。上部リンク体４ｃは、下部リンク体４ｄよりも短く形成されている（図５等も参照）。また、上部リンク体４ｃは、固定リンク体４ｅに支持された端部とは反対側の端部において規制体４ａの端部を回転自在に支持している。規制体４ａの他の端部は、下部リンク体４ｄにおける端部から中央に距離を置いた位置において、回転自在に支持されている。本実施形態では、固定リンク体４ｅと規制体４ａとが、常に上下方向に沿った起立姿勢となるように構成されている。すなわち、本実施形態における連動機構としてのリンク機構は、平行リンクとなっている。なお、「上下方向に沿った起立姿勢」とは、鉛直方向に沿う姿勢の他、鉛直方向に対して多少傾いた姿勢も含む概念である。
図５〜図８に示すように、規制体４ａは、収納部２１に収納された状態での容器Ｗの開口部Ｗａに対して半導体トレイＴの出し入れ方向（Ｘ方向）で近接して半導体トレイＴの飛び出しを規制する規制位置ＲＰと、規制位置ＲＰから離間した退避位置ＳＰと、に位置切り替え可能に構成されている。
ここで、規制位置ＲＰと退避位置ＳＰについて、詳細に説明する。
まず、開口部Ｗａについて説明する。図５〜図８に示すように、開口部Ｗａは、Ｙ方向に並ぶ一対の側壁Ｗｃの間に形成されており、開口部ＷａがＹ方向において占有する領域は、Ｙ方向に並ぶ一対の側壁Ｗｃの内面の間の領域である。
規制位置ＲＰとは、開口部Ｗａに対して、Ｘ方向で側壁Ｗｃの端部の位置より外方において近接する位置であって、開口部ＷａとＹ方向で重複する位置をいう。
退避位置ＳＰとは、開口部ＷａとＹ方向で重複しない位置をいう。
図５〜図８中の破線は、容器Ｗにおける第二Ｙ方向Ｙ２に配置される側壁Ｗｃの第一Ｙ方向Ｙ１の面に沿って延長した線である。本実施形態では、この破線は、開口部ＷａがＹ方向で占有する領域と、その領域に第二Ｙ方向Ｙ２で隣接する領域との境界を示す境界線である。この境界線から第一Ｙ方向Ｙ１の領域が、規制位置ＲＰを含む領域である。そして、この境界線から第二Ｙ方向Ｙ２の領域が、退避位置ＳＰを含む領域である。
まず、開口部Ｗａについて説明する。図５〜図８に示すように、開口部Ｗａは、Ｙ方向に並ぶ一対の側壁Ｗｃの間に形成されており、開口部ＷａがＹ方向において占有する領域は、Ｙ方向に並ぶ一対の側壁Ｗｃの内面の間の領域である。
規制位置ＲＰとは、開口部Ｗａに対して、Ｘ方向で側壁Ｗｃの端部の位置より外方において近接する位置であって、開口部ＷａとＹ方向で重複する位置をいう。
退避位置ＳＰとは、開口部ＷａとＹ方向で重複しない位置をいう。
図５〜図８中の破線は、容器Ｗにおける第二Ｙ方向Ｙ２に配置される側壁Ｗｃの第一Ｙ方向Ｙ１の面に沿って延長した線である。本実施形態では、この破線は、開口部ＷａがＹ方向で占有する領域と、その領域に第二Ｙ方向Ｙ２で隣接する領域との境界を示す境界線である。この境界線から第一Ｙ方向Ｙ１の領域が、規制位置ＲＰを含む領域である。そして、この境界線から第二Ｙ方向Ｙ２の領域が、退避位置ＳＰを含む領域である。
連動機構４は、被押下部４ｂが容器Ｗに押下された状態で規制体４ａを規制位置ＲＰに位置させ、被押下部４ｂが容器Ｗに押下されていない状態で規制体４ａを退避位置ＳＰに位置させるように構成されている。また、規制体４ａは、規制位置ＲＰ及び退避位置ＳＰにおいてその長手方向が上下方向に沿う起立姿勢となるように構成されている。そして、連動機構４は、規制体４ａに起立姿勢を維持させたまま、規制体４ａと被押下部４ｂとを連動させるように構成されている。
次に、容器Ｗが収納部２１に収納される際の連動機構４の動作について図５〜図８に基づいて説明する。
搬送装置３のスライド操作機構３３Ｓにより容器Ｗを突出位置に位置させた後は、昇降操作機構３４Ｓにより収納部２１に向かって容器Ｗを降下させる。図５に示すように、容器Ｗを収納するまでは、被押下部４ｂは容器Ｗの底部によって押下されていない状態であるため、下部リンク体４ｄは、下部リンク体４ｄを上方に付勢するバネ（図示省略）により上部リンク体４ｃと共に上方に傾いた姿勢となっている。そのため、この時点では、規制体４ａは退避位置ＳＰに位置している（図６も参照）。このため、規制体４ａは、容器Ｗの収納の妨げとはならない。容器Ｗを降下させていくと、容器Ｗの底部が、被押下部４ｂに対して上方から接触する。
搬送装置３のスライド操作機構３３Ｓにより容器Ｗを突出位置に位置させた後は、昇降操作機構３４Ｓにより収納部２１に向かって容器Ｗを降下させる。図５に示すように、容器Ｗを収納するまでは、被押下部４ｂは容器Ｗの底部によって押下されていない状態であるため、下部リンク体４ｄは、下部リンク体４ｄを上方に付勢するバネ（図示省略）により上部リンク体４ｃと共に上方に傾いた姿勢となっている。そのため、この時点では、規制体４ａは退避位置ＳＰに位置している（図６も参照）。このため、規制体４ａは、容器Ｗの収納の妨げとはならない。容器Ｗを降下させていくと、容器Ｗの底部が、被押下部４ｂに対して上方から接触する。
図５の状態から、容器Ｗを更に降下させていくと、容器Ｗの底部は被押下部４ｂを更に押下して図７及び図８の状態となる。容器Ｗが昇降操作機構３４Ｓにより上下方向に沿って降下していく一方で、下部リンク体４ｄはブラケット９７に支持された端部を支点として下方に回転する。従って、この動作により、下部リンク体４ｄに支持されている規制体４ａは、下方に変位すると共に第一Ｙ方向Ｙ１に変位する。これにより、規制体４ａは、退避位置ＳＰから規制位置ＲＰに位置切り替えされる。また、容器Ｗは上下方向に沿って降下する一方で、これに押下される被押下部４ｂは回転運動により下方及び第一Ｙ方向Ｙ１に変位する。しかし、上述したように、被押下部４ｂはローラから構成されておりＸ方向軸まわりに自転可能である。そのため、被押下部４ｂが容器Ｗの底部と相対的に移動（第一Ｙ方向Ｙ１に変位）しても、被押下部４ｂがＸ方向に沿う回転軸心周りに回転することで、これらの間に生じる摩擦を低減することができる。従って、容器Ｗの底部が被押下部４ｂにより削れるなどしてパーティクルが発生することはほとんどない。また、図６及び図８に示すように、本実施形態では、規制位置ＲＰに位置する規制体４ａが占有する領域と退避位置ＳＰに位置する規制体４ａが占有する領域とが、Ｘ方向（出し入れ方向）において重複する部分を有するように構成されている。このような構成により、規制体４ａが退避位置ＳＰと規制位置ＲＰとに亘って移動する場合の規制体４ａの通過領域についての、Ｘ方向の長さを小さく抑えることができる。そのため、規制体４ａを設置するために確保すべき空間が小さくて済み、設置スペースの点で有利となる。
このように、図５〜図８に示す一連の動作において、搬送装置３に設けられた落下防止体３５Ｓは、容器Ｗが収納部２１に完全に収納されるまで、容器Ｗの開口部Ｗａに近接する位置に位置している。そのため、搬送装置３による搬送時及び容器Ｗが完全に収納されるまでの期間は、落下防止体３５Ｓにより、半導体トレイＴが容器Ｗから落下するのを防止できる。そして、容器Ｗが収納部２１に完全に収納された後は、規制体４ａにより、半導体トレイＴが容器Ｗから飛び出すのを規制できる。図８に示すように、本実施形態では、搬送装置３が容器Ｗを収納部２１に収納する際に、落下防止体３５Ｓの位置が、規制位置ＲＰに位置する規制体４ａとＸ方向において重複する部分を有する位置となるように構成されている。このような構成により、容器Ｗを収納部２１に収納する際の、収納部２１における落下防止体３５Ｓと規制体４ａとが占めるＸ方向での領域を、小さくすることができる。その結果、Ｘ方向において省スペース化を図ることができる。
〔第二実施形態〕
次に、第二実施形態に係る容器収納設備について説明する。第二実施形態は、第一実施形態と比べて連動機構の構成が異なっており、その他の構成は第一実施形態と同様である。以下では、第一実施形態と異なる点を中心に説明する。特に説明しない点については第一実施形態と同様である。
次に、第二実施形態に係る容器収納設備について説明する。第二実施形態は、第一実施形態と比べて連動機構の構成が異なっており、その他の構成は第一実施形態と同様である。以下では、第一実施形態と異なる点を中心に説明する。特に説明しない点については第一実施形態と同様である。
図９に示すように、第二実施形態に係る容器収納設備は、収納部２１に容器Ｗが収納された状態で容器Ｗの開口部Ｗａからの半導体トレイＴの飛び出しを規制する規制部５ａと、収納部２１に容器Ｗが収納された状態で容器Ｗの底部によって押下される被押下部５ｂと、規制部５ａと被押下部５ｂとを連動させる連動機構５と、を備えている。第二実施形態において、連動機構５は、てこの原理を用いた機構（以下、てこ機構という。）により構成されている。
連動機構５は、規制部５ａと被押下部５ｂとを連結する連結部５ｄと、これら規制部５ａ、被押下部５ｂ及び連結部５ｄの回転中心となる支点軸５ｃと、を有している。被押下部５ｂ及び支点軸５ｃは、Ｘ方向に沿って配置されている。そして、これら被押下部５ｂ及び支点軸５ｃにおけるＸ方向の端部にて、規制部５ａ及び連結部５ｄが配置されている。
第二実施形態では、図１０及び図１１に示すように、連動機構５は、Ｘ方向視で規制部５ａと連結部５ｄとがＬ字状を成すように構成されている。また、第二実施形態では、規制部５ａは、連結部５ｄに比べて十分長く形成されている。そのため、図１０及び図１１に示すように、連動機構５の自重による支点軸５ｃまわりのモーメントに関して、第一Ｘ方向Ｘ１に沿う方向で見た場合に（以下、回転方向について同様）、規制部５ａによる時計回りのモーメントが連結部５ｄによる反時計回りのモーメントよりも大きくなる。従って、被押下部５ｂが容器Ｗによって押下されていないときは、連動機構５は全体として時計回りに回ろうとする。第二実施形態では、第一のバネ（図示省略）を支点軸５ｃまわりに設けて規制部５ａを反時計回りに付勢することで、被押下部５ｂが容器Ｗにより押下されていない状態では、連動機構５の全体が傾き姿勢を維持するように構成されている（図１０参照）。なお、支点軸５ｃは、図中で破線にて示す境界線よりも第一Ｙ方向Ｙ１に距離を置いた位置に配置されている。
容器Ｗが収納部２１に収納される際は、図１０に示すように、降下する容器Ｗの底部が、退避位置ＳＰに位置している被押下部５ｂに接触する。このとき、規制部５ａにおける容器Ｗの下端部よりも上方に位置する部分が、境界線よりも第二Ｙ方向Ｙ２に位置している。第二実施形態では、この状態が、規制部５ａが退避位置ＳＰに位置している状態である。
容器Ｗの底部が被押下部５ｂを更に押下すると、連動機構５は、図１１の状態となる。容器Ｗが被押下部５ｂを押下することにより、支点軸５ｃを中心とした反時計回りのモーメントが掛かり、連動機構５は支点軸５ｃを中心に反時計回りに回転する。これにより、規制部５ａは、傾き姿勢から上下方向に沿った起立姿勢となる。連結部５ｄは、載置台９９の上面に沿った水平姿勢となる。このとき、規制部５ａの全体は、境界線よりも第一Ｙ方向Ｙ１の位置に配置される支点軸５ｃとＹ方向で重複する位置に位置することになる。従って、容器Ｗが被押下部５ｂを押下することにより、規制部５ａは、退避位置ＳＰから規制位置ＲＰに位置切り替えされる。規制位置ＲＰに位置した規制部５ａは、開口部Ｗａに対してＸ方向で近接し、半導体トレイＴが容器Ｗの開口部Ｗａから飛び出すことを規制する。なお、支点軸５ｃまわりには、規制部５ａを反時計回りに付勢する第一のバネの他、連結部５ｄを時計回りに付勢する第二のバネ（図示省略）も設けられている。このため、容器Ｗが収納部２１に収納された後、被押下部５ｂが容器Ｗにより押下されない状態となったときは、第二のバネにより連動機構５が時計回りに回転する。従って、規制部５ａは起立姿勢から第二Ｙ方向Ｙ２に傾く姿勢となる。すなわち、規制部５ａによる時計回りのモーメント、連結部５ｄによる反時計回りのモーメント、第一のバネによる反時計回りのモーメント及び第二のバネによる時計回りのモーメントが相互に作用してバランスを取り、連動機構５は図８に示す傾き姿勢に維持される。なお、第一のバネにより連動機構５を傾き姿勢に維持する構成に代えて、傾き姿勢の連動機構５が自重により時計回りに回転することを規制する回転規制部を支点軸５ｃに設けて、連動機構５を傾き姿勢に維持する構成としても良い。また、第二のバネにより連動機構５を起立姿勢から第二Ｙ方向Ｙ２に傾く姿勢となるように付勢する構成に代えて、連動機構５の自重により連動機構５を起立姿勢から第二Ｙ方向Ｙ２に傾く姿勢となるように付勢する構成としても良い。この場合には、規制部５ａが規制位置ＲＰに位置している状態で第二Ｙ方向Ｙ２に傾く姿勢となるように、規制部５ａと連結部５ｄとの連結する角度が調整される。
〔別実施形態〕
（１）上記の実施形態では、退避位置ＳＰが、開口部ＷａがＹ方向において占有する領域よりも第二Ｙ方向Ｙ２に離間した位置であって、当該領域と重複しない位置である例について説明した。しかし、退避位置は、このような例に限定されるものではない。すなわち、退避位置は、規制位置から離間した位置であれば良い。例えば、退避位置は、開口部ＷａがＹ方向において占有する領域と重複しつつも、規制位置ＲＰに対してＸ方向（搬送方向）に離間していても良い。
（１）上記の実施形態では、退避位置ＳＰが、開口部ＷａがＹ方向において占有する領域よりも第二Ｙ方向Ｙ２に離間した位置であって、当該領域と重複しない位置である例について説明した。しかし、退避位置は、このような例に限定されるものではない。すなわち、退避位置は、規制位置から離間した位置であれば良い。例えば、退避位置は、開口部ＷａがＹ方向において占有する領域と重複しつつも、規制位置ＲＰに対してＸ方向（搬送方向）に離間していても良い。
（２）上記の実施形態では、規制位置ＲＰに位置する規制体４ａが占有する領域と退避位置ＳＰに位置する規制体４ａが占有する領域とが、Ｘ方向（出し入れ方向）において重複する部分を有するように構成されている例について説明した。また、搬送装置３が容器Ｗを収納部２１に収納する際に、落下防止体３５Ｓの位置が、規制位置ＲＰに位置する規制体４ａとＸ方向において重複する部分を有する位置となるように構成されている例について説明した。ここでいう「重複」は、対象要素の全部が重複している場合の他、一部重複している場合も含むものである。しかし、規制位置ＲＰの全部と退避位置ＳＰの全部とが、Ｘ方向（出し入れ方向）において重複する位置となるように構成されていると更に良い。その場合には、上記の対象要素が占有するＸ方向の領域を小さく抑えることができ、設置スペースの点で更に有利となる。同様に、搬送装置３が容器Ｗを収納部２１に収納する際の落下防止体３５Ｓの位置と規制位置ＲＰに位置する規制体４ａとが、Ｘ方向において全部重複して構成されていると良い。
（３）上記の実施形態では、規制位置ＲＰに位置する規制体４ａ（５ａ）が、上下方向に沿った起立姿勢となるように構成されている例について説明した。しかし、規制体の姿勢は起立姿勢でなくても良い。すなわち、規制位置に位置する規制体は、容器の開口部における上下方向の領域の全てに重複していれば良く、その場合には、規制体は、上下方向に対して大幅に傾いた姿勢であっても良い。この場合であっても、規制体により、容器に収容される内容物の全てを容器外に飛び出すことがないように規制できる。
（４）上記の実施形態では、１つの容器収納棚２に対して２つの収納部２１がＸ方向に並べて配置されている例について説明した。しかし、これに限定されることなく、収納部２１は、１つの容器収納棚２に対してＸ方向に並べて３つ以上配置されていても良い。本発明は、規制体を設置するために確保すべき空間を小さくでき、それにより省スペース化を図ることができるものである。そのため、容器収納棚が多くの収納部を有するものであるほど、本発明の省スペース化の効果が複数の収納部のそれぞれについて発揮されるため、設備全体として収納効率を大幅に向上させることができる。
（５）上記の実施形態では、連動機構が、リンク機構又はてこ機構を備えた例について説明した。しかし、このような構成に限定されることなく、連動機構は、規制体と被押下部とを連動させて、規制位置と退避位置とに、規制体を位置切り替え可能に構成されていれば良い。
（６）上記の実施形態では、容器Ｗが搬送装置３により搬送されて容器収納棚２の収納部２１に収納されるように構成された例について説明した。しかし、このような構成に限定されることなく、容器収納棚は、床面を走行する搬送車によって容器が収納されるものであっても良い。また、容器収納棚は、人の手によって人為的に容器が収納されるものであっても良い。
（７）上記の実施形態では、容器収納棚２が天井から吊り下げ支持されて構成された例について説明した。しかし、このような構成に限定されることなく、容器収納棚は、床面上に設けられるものであっても良い。
（８）上記の実施形態は単なる例示に過ぎない。本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。上記実施形態は、矛盾の生じない範囲で組み合わすことができる。
（９）上記第二の実施形態では、連動機構５の傾き姿勢を維持するために、第一及び第二のバネを規制部５ａに設けて、規制部５ａによる時計回りのモーメント、連結部５ｄによる反時計回りのモーメント、第一のバネによる反時計回りのモーメント及び第二のバネによる時計回りのモーメントを相互に作用させてバランスを取るように構成された例について説明した。しかし、このような構成に限定されることなく、１個のバネによりバランスを取り、連動機構の傾き姿勢を維持するように構成されていても良い。すなわち、当該バネが、規制部が退避位置に位置している状態では当該規制部が起立する方向（規制位置に位置する方向）に力を作用させ、規制部が規制位置に位置している状態では当該規制部が倒伏する方向（退避位置に位置する方向）に力を作用させるように構成されていても良い。
１ ：容器収納設備
２ ：容器収納棚
３ ：搬送装置
３Ｒ ：走行駆動部
４ ：連動機構
４ａ ：規制体
４ｂ ：被押下部
２１ ：収納部
３５Ｓ ：落下防止体
９０ ：走行レール
ＲＰ ：規制位置
ＳＰ ：退避位置
Ｔ ：半導体トレイ
Ｗ ：容器
Ｗａ ：開口部
Ｘ ：Ｘ方向（出し入れ方向）
２ ：容器収納棚
３ ：搬送装置
３Ｒ ：走行駆動部
４ ：連動機構
４ａ ：規制体
４ｂ ：被押下部
２１ ：収納部
３５Ｓ ：落下防止体
９０ ：走行レール
ＲＰ ：規制位置
ＳＰ ：退避位置
Ｔ ：半導体トレイ
Ｗ ：容器
Ｗａ ：開口部
Ｘ ：Ｘ方向（出し入れ方向）
Claims (8)
- 容器を収納する収納部を有する容器収納棚を備え、
前記容器は、側面に開口部を有すると共に当該開口部から内容物を出し入れ自在に構成された容器収納設備であって、
前記収納部に前記容器が収納された状態で前記容器の前記開口部からの前記内容物の飛び出しを規制する規制体と、
前記収納部に前記容器が収納された状態で前記容器の底部によって押下される被押下部と、
前記規制体と前記被押下部とを連動させる連動機構と、を備え、
前記規制体は、平面視で前記内容物の出し入れ方向に直交する方向に移動することで、前記収納部に収納された状態での前記容器の前記開口部に対して前記出し入れ方向で近接して前記内容物の飛び出しを規制する規制位置と、前記規制位置から離間した退避位置と、に位置切り替え可能に構成され、
前記連動機構は、前記被押下部が前記容器に押下された状態で前記規制体を前記規制位置に位置させ、前記被押下部が前記容器に押下されていない状態で前記規制体を前記退避位置に位置させるように構成されている容器収納設備。 - 前記収納部は、前記収納部に対する前記容器の収納方向である棚奥行方向に平面視で直交する方向に前記容器の前記開口部を向けた状態で、当該容器を収納するように構成されている請求項１に記載の容器収納設備。
- 前記規制位置に位置する前記規制体が占有する領域と前記退避位置に位置する前記規制体が占有する領域とが、前記出し入れ方向において重複する部分を有するように構成されている請求項１又は２に記載の容器収納設備。
- 前記容器を前記収納部に搬送する搬送装置を備え、
前記搬送装置は、前記容器の搬送時において、前記容器の前記開口部に対して前記出し入れ方向で近接して前記内容物の落下を防止する落下防止体を有する請求項１から３のいずれか一項に記載の容器収納設備。 - 容器を収納する収納部を有する容器収納棚と、前記容器を前記収納部に搬送する搬送装置と、を備え、
前記容器は、側面に開口部を有すると共に当該開口部から内容物を出し入れ自在に構成された容器収納設備であって、
前記収納部に前記容器が収納された状態で前記容器の前記開口部からの前記内容物の飛び出しを規制する規制体と、
前記収納部に前記容器が収納された状態で前記容器の底部によって押下される被押下部と、
前記規制体と前記被押下部とを連動させる連動機構と、を備え、
前記規制体は、前記収納部に収納された状態での前記容器の前記開口部に対して前記内容物の出し入れ方向で近接して前記内容物の飛び出しを規制する規制位置と、前記規制位置から離間した退避位置と、に位置切り替え可能に構成され、
前記連動機構は、前記被押下部が前記容器に押下された状態で前記規制体を前記規制位置に位置させ、前記被押下部が前記容器に押下されていない状態で前記規制体を前記退避位置に位置させるように構成され、
前記搬送装置は、前記容器の搬送時において、前記容器の前記開口部に対して前記出し入れ方向で近接して前記内容物の落下を防止する落下防止体を有し、
前記搬送装置が前記容器を前記収納部に収納する際に、前記落下防止体の位置が、前記規制位置に位置する前記規制体と前記出し入れ方向において重複する位置となるように構成されている容器収納設備。 - 前記規制体は、長尺状に形成されると共に、前記規制位置及び前記退避位置においてその長手方向が上下方向に沿う起立姿勢となるように構成され、
前記連動機構は、前記規制体に前記起立姿勢を維持させたまま、前記規制体と前記被押下部とを連動させるように構成されている請求項１から５のいずれか一項に記載の容器収納設備。 - 前記開口部は、前記容器における前記出し入れ方向で互いに対向する状態で一対形成され、
前記規制体は、前記開口部に対応して一対設けられている請求項１から６のいずれか一項に記載の容器収納設備。 - 前記容器収納棚は、前記出し入れ方向に並べて配置される複数の前記収納部を有し、
複数の前記収納部のそれぞれについて、前記規制体と前記被押下部と前記連動機構とが各別に設けられている請求項１から７のいずれか一項に記載の容器収納設備。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016176975A JP6690479B2 (ja) | 2016-09-09 | 2016-09-09 | 容器収納設備 |
| TW106127609A TWI736662B (zh) | 2016-09-09 | 2017-08-15 | 容器收納設備 |
| KR1020170115001A KR102390054B1 (ko) | 2016-09-09 | 2017-09-08 | 용기 수납 설비 |
| CN201710806538.5A CN107808846B (zh) | 2016-09-09 | 2017-09-08 | 容器收纳设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016176975A JP6690479B2 (ja) | 2016-09-09 | 2016-09-09 | 容器収納設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018039656A JP2018039656A (ja) | 2018-03-15 |
| JP6690479B2 true JP6690479B2 (ja) | 2020-04-28 |
Family
ID=61576563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016176975A Active JP6690479B2 (ja) | 2016-09-09 | 2016-09-09 | 容器収納設備 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6690479B2 (ja) |
| KR (1) | KR102390054B1 (ja) |
| CN (1) | CN107808846B (ja) |
| TW (1) | TWI736662B (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7066592B2 (ja) * | 2018-10-12 | 2022-05-13 | 株式会社ダイフク | 収容システム |
| KR102252735B1 (ko) * | 2019-07-29 | 2021-05-17 | 세메스 주식회사 | 핸드 유닛 및 이를 갖는 비히클 |
| KR102264860B1 (ko) * | 2019-08-27 | 2021-06-14 | 세메스 주식회사 | 핸드 유닛, 이를 갖는 비히클 및 이를 이용한 대상물 고정 방법 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3601925B2 (ja) * | 1997-01-09 | 2004-12-15 | アシスト シンコー株式会社 | カセット搬送台車 |
| JP4276810B2 (ja) | 2002-02-15 | 2009-06-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 無人搬送車 |
| JP4102063B2 (ja) | 2001-12-20 | 2008-06-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 無人搬送車 |
| JP2009073580A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Toyota Industries Corp | 収納棚における荷物の落下防止装置 |
| JP4760919B2 (ja) * | 2009-01-23 | 2011-08-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布、現像装置 |
| JP3166374U (ja) * | 2010-12-20 | 2011-03-03 | 旭硝子株式会社 | 板状体収納容器 |
| JP6191543B2 (ja) * | 2014-05-22 | 2017-09-06 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
| JP6455239B2 (ja) * | 2015-03-06 | 2019-01-23 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ドア開閉装置 |
-
2016
- 2016-09-09 JP JP2016176975A patent/JP6690479B2/ja active Active
-
2017
- 2017-08-15 TW TW106127609A patent/TWI736662B/zh active
- 2017-09-08 CN CN201710806538.5A patent/CN107808846B/zh active Active
- 2017-09-08 KR KR1020170115001A patent/KR102390054B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW201812961A (zh) | 2018-04-01 |
| KR102390054B1 (ko) | 2022-04-22 |
| CN107808846B (zh) | 2023-04-18 |
| CN107808846A (zh) | 2018-03-16 |
| TWI736662B (zh) | 2021-08-21 |
| JP2018039656A (ja) | 2018-03-15 |
| KR20180028970A (ko) | 2018-03-19 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
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|
| A977 | Report on retrieval |
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|
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|
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|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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