TWI736662B - 容器收納設備 - Google Patents

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Abstract

容器是構成為在側面上具有開口部，並且內容物從開口部出入自如。容器收納設備具備：限制體，在收納部收納有容器的狀態下限制內容物從容器的開口部飛出；被壓下部，在收納部收納有容器的狀態下，藉由容器的底部而被壓下；及連動機構，使限制體與被壓下部連動。限制體是構成為可在限制內容物的飛出之限制位置、及從限制位置離開的退避位置之間進行位置切換，連動機構是構成為在被壓下部已被容器壓下的狀態下，使限制體位於限制位置，而在被壓下部未被壓下的狀態下，使限制體位於退避位置。

Description

容器收納設備
發明領域
本發明是有關於一種具備有容器收納架的容器收納設備，且該容器收納架具有收納容器之收納部。
發明背景
作為具備有如上述之收納容器的容器收納架之容器收納設備，例如，處理及保管作為容器的內容物之半導體基板的半導體製造工廠中所設置的容器收納設備。在半導體製造工廠中，會進行分為複數個步驟的半導體基板之處理(加工及檢查等)。並且，在某個步驟結束處理的半導體基板，是在被收容在容器的狀態下被搬送裝置搬送，來供給至下一個步驟的處理裝置，或收納至具備有容器收納架的保管庫等容器收納設備中。像這樣，半導體基板是被收容在容器內的狀態下被收納至容器收納架中。
又，在上述容器收納設備中，已知有一種收納容器的容器收納設備，該容器是構成為在側面具有開口部且使內容物從該開口部出入自如。例如，有收納容器的設備，而作為收容半導體基板的容器，是在側面上具有用於使半導 體基板出入的開口部，且具備有分散配置於上下複數層的基板收容用之收納槽的容器。
在此，當容器被收納在容器收納架的狀態下，若搬送裝置的作動所造成的機械性振動或地震所造成的振動傳達到容器收納架，會產生半導體基板相對於容器在出入方向上的搖晃，而會有容器內的半導體基板從開口部向容器外飛出，且半導體基板落下或破損的情況。於是，當容器被收納在容器收納架的狀態下接近於該容器的開口部之位置上，可考慮設置限制體，來限制半導體基板的飛出。但是，在容器收納架中，若在容器被收納的狀態下接近於該容器的開口部之位置上設置限制體，將容器收納至容器收納架時，容器與限制體干涉的可能性會變高。也就是說，限制體成為收納容器時的阻礙之可能性會變高。
有關於限制半導體基板從容器中飛出的限制體，例如，在日本專利特開2003-237941號公報(專利文獻1)中，揭示有以下內容：在收容半導體基板且搬送容器的無人搬送車中，具備有限制體，該限制體是將該半導體基板從容器的開口側往內側按壓，使得半導體基板不會從容器中飛出。
專利文獻1的無人搬送車是構成為在搬送半導體基板時，使限制體位於將該半導體基板從片匣的開口側往內側按壓的位置上，且在藉由單片移載裝置來移載半導體基板時，使限制體位於不與移載的半導體基板干涉的位置。專利文獻1的無人搬送車是藉由汽缸等驅動設備，來進行像 這樣的限制體之位置切換。
發明概要
雖然可考慮將藉由驅動設備來位置切換的如專利文獻1之限制體，設置在容器收納架，但若是在容器收納架設置驅動設備，由於必須在容器收納架中設置馬達及汽缸等驅動源，因此在設置空間這點上並不利。再者，由於會需要用來對驅動源供給驅動用的電力或空氣之配線或配管，因此構造會變複雜。
於是，所要求的是在設置空間上有利並且藉由簡單的構造即可以限制內容物從容器中飛出的容器收納設備之實現。
本揭示之容器收納設備具備具有收納容器的收納部之容器收納架，前述容器是構成為在側面上具有開口部並且使內容物從該開口部出入自如，前述容器收納設備具備：限制體，在前述收納部收納有前述容器的狀態下，限制前述內容物從前述容器的前述開口部飛出；被壓下部，在前述收納部收納有前述容器的狀態下，藉由前述容器的底部而被壓下；及連動機構，使前述限制體與前述被壓下部連動，前述限制體是相對於已收納在前述收納部的狀態之前述容器的前述開口部，配置在前述內容物的出入方向的外側，且構成為可在限制前述內容物的飛出之限制位置、及從前述限制位置離開的退避位置之間進行位置切換，前述連動機構是構成為在前述被壓下部被前述容器 壓下的狀態下，使前述限制體位於前述限制位置，而在前述被壓下部未被前述容器壓下的狀態下，使前述限制體位於前述退避位置。
根據本構成，可將限制體與被壓下部藉由連動機構來連動。此連動機構可以因應於被壓下部被容器的底部壓下的狀態及未被壓下的狀態，而在限制位置以及從限制位置離開的退避位置之間切換限制體的位置。在被壓下部未被容器的底部壓下時，也就是在容器未被收納在收納部時，限制體是位於退避位置，在被壓下部藉由容器的底部而被壓下時，也就是在容器被收納在收納部時，限制體是位於限制位置。因此，由於在容器被收納之前，限制體是位於退避位置，因此不會有限制體對收納容器造成妨礙的情形。另一方面，當容器被收納時，會使被壓下部藉由容器的底部而被壓下，而連動於被壓下部被壓下之動作將限制體位置切換到限制位置。像這樣，可以不藉由驅動設備，而是藉由收納容器的動作及取出的動作，來將限制體切換到限制位置及退避位置。
由於限制位置是相對於已收納在收納部的狀態下之容器的開口部而配置在內容物的出入方向之外側(例如，相對於開口部而在出入方向上接近)，以限制內容物的飛出的位置，因此變得於已將容器收納至收納部後，可藉由位於限制位置的限制體，來限制容器的內容物在出入方向上的移動。從而，即使在容器上產生振動的情況下，仍可以抑制內容物從容器中飛出的情形。
由於不使用驅動設備的部分，即不需要設置馬達及汽缸等驅動源，因此在設置空間這點上是有利的。再者，由於不需要用於對驅動源供給驅動用的電力或空氣之配線或配管，因此可以謀求構成的簡單化。
像這樣，根據本構成，可以得到在設置空間之點上有利並且可藉由簡單的構造來限制內容物從容器中飛出的容器收納設備。
本揭示之技術的更進一步之特徵與優點，透過參照圖式所記述之以下的例示性且非限定的實施形態之說明應可變得更加明確。
1:容器收納設備
2:容器收納架
3:搬送裝置
3R:行走驅動部
3Ra:行走輪
3Rb:引導輪
3Rc:驅動馬達
3S:容器支撐部
4、5:連動機構
4a:限制體
4b、5b:被壓下部
4c:上部連桿體
4d:下部連桿體
4e:固定連桿體
5a:限制部
5c:支點軸
5d:連結部
21:收納部
31S:把持部
31Sa:把持爪
32S:罩蓋
33S:滑動操作機構
33Sa:皮帶輪
33Sb:滑動皮帶
34S:升降操作機構
34Sa:絞盤
34Sb:升降皮帶
34Sc:升降用馬達
35S:落下防止體
90:行走軌道
91:懸吊具
97:托架
98:導引部
99:載置台
RP:限制位置
SP:退避位置
T:半導體托盤(內容物)
W:容器
Wa:開口部
Wb:上凸緣
Wc:側壁
X:方向(出入方向)
Y:方向
X1:第一X方向
X2:第二X方向
Y1:第一Y方向
Y2:第二Y方向
圖1是從出入方向來看容器收納架及搬送裝置的圖。
圖2是在水平面上從與出入方向正交的方向來看容器收納架及搬送裝置的圖。
圖3是容器的立體圖。
圖4是容器收納架及容器的立體圖。
圖5是顯示將容器收納於收納部之時的連動機構的動作之圖。
圖6是圖5的狀態中之平面圖。
圖7是顯示圖5的下一個動作之圖。
圖8是圖7的狀態中之平面圖。
圖9是第二實施形態之容器收納架及容器的立體圖。
圖10是顯示在第二實施形態中位於退避位置的限制 體之圖。
圖11是顯示在第二實施形態中位於限制位置的限制體之圖。
用以實施發明之形態
[第一實施形態]
根據圖式來說明本實施形態之容器收納設備1。如圖1及圖2所示，容器收納設備1具備有：具有收納容器W的收納部21之容器收納架2，以及將容器W搬送到收納部21的搬送裝置3。
在本實施形態中，如圖3所示，容器W是收容作為內容物的半導體托盤T之容器。半導體托盤T是在上下方向上重疊複數層的狀態下被收容在容器W中(參照圖1)。容器W是構成為在側面具有開口部Wa，且使半導體托盤T從該開口部Wa出入自如。又，開口部Wa是在容器W中的出入方向上以互相相向的狀態形成有一對。再者，在以下的說明中，是將半導體托盤T相對於容器W之出入方向設為X方向，並將沿著水平面且與X方向正交的方向設為Y方向。又，為了方便說明，將X方向之中的其中一方設為第一X方向X1，並將另一方設為第二X方向X2。此外，將Y方向之中的其中一方設為第一Y方向Y1，並將另一方設為第二Y方向Y2。
容器W具有在Y方向上隔著間隔面對面的一對側壁Wc。容器W的上部及底部是封閉的。又，容器W的 上部及底部在X方向上是形成為比側壁Wc更短。因此，容器W在平面視角下是形成為X方向的端部被切除的H型。由於容器W是像這樣的形狀，因此會使容器W的內部變得容易視覺辨認，又，使從容器W的半導體托盤T的出入變得容易。容器W的上部上設置有上凸緣Wb。藉由搬送裝置3把持上凸緣Wb，以搬送裝置3搬送容器W即成為可行。
如圖1及圖2所示，搬送裝置3是構成為在藉由懸吊具91固定在天花板的行走軌道90上行走自如。行走軌道90至少在對應於容器收納架2之處是沿著X方向設置。因此，搬送裝置3可以沿著X方向來搬送容器W。
搬送裝置3具備有在行走軌道90上行走的行走驅動部3R，以及被行走驅動部3R懸吊支撐而位於行走軌道90的下方之容器支撐部3S。
行走驅動部3R具有藉由驅動馬達3Rc旋轉驅動的行走輪3Ra，以及沿著行走軌道90引導行走驅動部3R的引導輪3Rb。行走輪3Ra具有水平方向的旋轉軸，且在行走軌道90的上表面滾動。引導輪3Rb具有上下方向的旋轉軸，且在行走軌道90上形成於上下方向的鉛直面上滾動。因此，行走驅動部3R是藉由引導輪3Rb而被沿著行走軌道90引導，並且可以藉由以驅動馬達3Rc驅動的行走輪3Ra來沿著行走軌道90移動。
容器支撐部3S具有可把持容器W的上凸緣Wb之把持部31S。容器支撐部3S具有覆蓋把持部31S的上方、第一X方向X1及第二X方向X2的罩蓋32S。換言之，罩蓋32S是 成為下方、第一Y方向Y1及第二Y方向Y2開放的形狀。藉此，即使在把持部31S被罩蓋32S覆蓋的狀態下，把持部31S仍可以向下方及Y方向移動。
容器支撐部3S具有使把持部31S升降的升降操作機構34S，以及使把持部31S在Y方向上滑動的滑動操作機構33S。
把持部31S具有可在把持容器W的把持姿勢及解除把持的解除姿勢間切換自如的把持爪31Sa，以及將把持爪31Sa切換操作為把持姿勢與解除姿勢的把持用馬達(圖式省略)。在本實施形態中，藉由把持爪31Sa來把持容器W的上凸緣Wb，把持部31S即可以把持容器W。
升降操作機構34S具備有對升降皮帶34Sb送出及捲取自如的絞盤34Sa。升降操作機構34S是藉由以升降用馬達34Sc使絞盤34Sa旋轉驅動，而可以使把持部31S及其所把持的容器W升降。
如圖1所示，滑動操作機構33S具有：在Y方向上隔著間隔配置的一對皮帶輪33Sa(在圖中僅記載其中一邊的皮帶輪)、架設在這一對皮帶輪33Sa的滑動皮帶33Sb、及使皮帶輪33Sa旋轉驅動的滑動用馬達(圖式省略)。滑動操作機構33S是藉由滑動用馬達使皮帶輪33Sa旋轉，藉此來驅動滑動皮帶33Sb，而可以使把持部31S及其所把持的容器W在第二Y方向Y2上滑動。又，滑動操作機構33S使滑動用馬達和上述的情況相反方向旋轉，藉此可以使把持部31S及其所把持的容器W在第一Y方向Y1上滑動。也就是 說，藉由滑動操作機構33S，可以使容器W滑動到容器W與容器收納架2在Y方向上重疊的位置之突出位置，以及容器W收回到罩蓋32S的內側之退回位置。
藉由以上說明的構成，搬送裝置3可以將容器W收納到容器收納架2的收納部21中。也就是說，搬送裝置3是藉由把持部31S的把持爪31Sa來把持容器W的狀態下，如圖2所示，藉由行走驅動部3R在行走軌道90上移動於X方向上。並且，搬送裝置3是在X方向上與容器收納架2的收納部21重疊的位置上停止。如圖1所示，搬送裝置3是藉由滑動操作機構33S使把持部31S及其所把持的容器W在第二Y方向Y2上滑動，並且使把持部31S及容器W位於突出位置。並且，搬送裝置3是藉由升降操作機構34S使容器W降下，藉此可以將容器W收納至收納部21中。
在本實施形態中，搬送裝置3是以容器W的X方向沿著行走方向的姿勢來搬送容器W，而滑動操作機構33S是沿著容器W的Y方向來使容器W滑動。亦即，對容器收納架2的收納部21收納容器W的情況下之容器W的滑動方向，為第二Y方向Y2。並且，從該收納部21取出容器W的情況下之容器W的滑動方向，為第一Y方向Y1。也就是說，第二Y方向Y2是相對於容器收納架2的架體深度方向，第一Y方向Y1是相對於容器收納架2的前方方向。
然而，因容器W的搬送中之速度變化，會有半導體托盤T與容器W相對地在X方向上移動，而從容器W的開口部Wa飛出的情形。為了防止此情形，本實施形態的 搬送裝置3具有落下防止體35S(參照圖1及圖2)，該落下防止體35S是在容器W的搬送時，相對於容器W的開口部Wa在X方向(出入方向)上接近，來防止半導體托盤T的落下。也就是說，落下防止體35S是相對於容器W的開口部Wa配置在X方向(出入方向)的外側。在此，所謂X方向的外側是指從容器W的X方向之中心遠離的一側。由於落下防止體35S接近於容器W的開口部Wa，因此可防止半導體托盤T與容器W相對地在X方向上移動。因此，搬送裝置3可以藉由落下防止體35S，來防止半導體托盤T從容器W落下。再者，落下防止體35S與容器W的開口部Wa之間的X方向之分開距離，可以以內容物(在本實施形態中為半導體托盤T)的X方向之長度為基準來設定，例如，可以將該分開距離設定為內容物的X方向之長度的2分之1以下的值、3分之1以下的值、5分之1以下的值、或10分之1以下的值等。
在本實施形態中，如圖1所示，當把持部31S把持著容器W的狀態下，落下防止體35S是設置在把持部31S上，以位在從容器W的Y方向之中央部在第一Y方向Y1上間隔距離的位置上。又，落下防止體35S是配置為與容器W的上下方向之全部區域重疊。換言之，落下防止體35S是構成為：上下方向的長度至少比容器W的上下方向的長度更長。
在本實施形態中，如圖2所示，落下防止體35S是構成為在沿著X方向配置的汽缸之兩端部的各自上，為向下方延伸的棒狀體，且可以藉由汽缸的伸縮而在 X方向上進行位置切換。藉此，使一對落下防止體35S在X方向上的分開距離擴張，當把持部31S把持容器W時，即可以使落下防止體35S不會干涉到容器W。並且，當把持部31S把持容器W後，使一對落下防止體35S在X方向上的分開距離縮小，即可以使落下防止體35S接近於容器W的開口部Wa(例如，接近到會接觸半導體托盤T的程度)。
如圖2及圖4所示，容器收納架2具有以X方向為長度方向來配置的載置台99。載置台99是構成為被天花板懸吊的狀態。容器收納架2具有在X方向上排列配置的複數個收納部21。在本實施形態中，相對於1個容器收納架2，是在X方向上排列配置有2個收納部21。載置台99上設置有導引部98，該導引部98是當容器W被收納至收納部21時，負責容器W的定位。導引部98是設置在載置台99上與容器W的底部之四個角落相對應的位置之各自上，以在容器W被收納至收納部21的狀態下，支撐容器W的底部之四個角落。也就是說，合計為4個導引部98設置在1個收納部21上。又，導引部98是形成為長方體的一部分被切除的形狀。並且，導引部98限制收納部21所收納的容器W沿著水平面的移動，並且是以從載置台99向上方浮起的狀態來支撐容器W(一併參照圖7)。也就是說，複數個導引部98是在容器W的底面與載置台99的上表面之間形成有空間的狀態下，並且，在將容器W定位的狀態下來支撐容器W。
另外，如上所述，藉由搬送裝置3之容器W的搬送時，是藉由落下防止體35S來防止半導體托盤T從容 器W的開口部Wa落下。但是，在搬送裝置3結束容器W的搬送後，也就是當容器W被收納至容器收納架2的收納部21後，搬送裝置3為了進行下一個作業等，會解除容器W的把持並從收納部21離開。因此，落下防止體35S會從接近於容器W的開口部Wa之位置離開，當容器收納架2因某種原因而搖晃的情況下，會有半導體托盤T從容器W的開口部Wa飛出的疑慮。
於是，如圖4所示，本實施形態之容器收納設備1具備有：限制體4a，是在收納部21中收納有容器W的狀態下限制半導體托盤T從容器W的開口部Wa飛出；被壓下部4b，是在收納部21中收納有容器W的狀態下，藉由容器W的底部被壓下；連動機構4，是使限制體4a與被壓下部4b連動。在本實施形態中，限制體4a及被壓下部4b是構成連動機構4的一部分。如上所述，在本實施形態中，使半導體托盤T出入的開口部Wa是在容器W中的X方向上以互相相向的狀態形成有一對。因此，限制體4a是對應於一對開口部Wa而設置有一對。又，限制體4a是形成為長條狀，且構成為上下方向的長度至少比容器W的上下方向之長度更長。又，在本實施形態中，由於容器收納架2具有複數個(2個)收納部21，因此針對該等複數個收納部21的每一個，各別地設置有限制體4a、被壓下部4b及連動機構4。並且，在本實施形態中，連動機構4是連桿機構，且具有上部連桿體4c、下部連桿體4d及固定連桿體4e。該等上部連桿體4c、下部連桿體4d及固定連桿體4e分別是在X 方向上隔著一定間隔而設置為一對。
固定連桿體4e及下部連桿體4d的端部是被安裝在載置台99的上表面之托架97支撐。詳細而言，固定連桿體4e是在相對於托架97固定的狀態下被支撐。另一方面，下部連桿體4d是相對於托架97旋轉自如地被支撐，並且藉由以彈簧(圖式省略)等所構成的賦勢構件而被向上方賦與勢能。
被壓下部4b是沿著X方向來配置。被壓下部4b在X方向上的兩端部分別被一對下部連桿體4d的端部支撐。此被壓下部4b是藉由長度方向是沿著旋轉軸心的長條狀之滾輪來構成。因此，被壓下部4b是構成為繞著位於下部連桿體4d的轉動端部(與托架97所支撐的端部為相反側的端部)之沿著X方向的移動軸心(旋轉軸心)旋轉。也就是說，被壓下部4b是構成為與下部連桿體4d的轉動一起自轉。當容器W未被收納在收納部21且被壓下部4b未藉由容器W的底部被壓下時，由於下部連桿體4d是藉由彈簧被向上方賦與勢能，因此可將托架97所支撐的端部設為下端，而維持向上方傾斜的姿勢。因此，下部連桿體4d中的另一端部(與托架97所支撐的端部為相反側的端部)所支撐的被壓下部4b，未藉由容器W的底部被壓下時，是成為配置在從載置台99向上方分開的位置之狀態。
上部連桿體4c的端部，在與固定連桿體4e中藉由托架97支撐的端部為相反側的端部上，是旋轉自如地被支撐著。上部連桿體4c是構成為在X方向視角下與下部 連桿體4d總是成為相同傾斜。上部連桿體4c是形成為比下部連桿體4d更短(一併參照圖5等)。又，上部連桿體4c是在與固定連桿體4e所支撐的端部為相反側的端部上，旋轉自如地支撐著限制體4a的端部。限制體4a的另一端部，是在從下部連桿體4d的端部往中央隔著距離的位置上，旋轉自如地被支撐著。在本實施形態中，固定連桿體4e與限制體4a是構成為總是沿著上下方向的起立姿勢。也就是說，作為本實施形態中的連動機構之連桿機構，是成為平行連桿。再者，所謂「沿著上下方向的起立姿勢」，是指除了沿著鉛直方向的姿勢之外，還包含相對於鉛直方向而若干傾斜的姿勢之概念。
如圖5至圖8所示，限制體4a是構成為可位置切換為：相對於收納在收納部21的狀態之容器W的開口部Wa，而在半導體托盤T的出入方向(X方向)上接近，來限制半導體托盤T的飛出之限制位置RP，以及從限制位置RP分開的退避位置SP。也就是說，限制位置RP是相對於收納在收納部21的狀態之容器W的開口部Wa，而在X方向(半導體托盤T的出入方向)的外側上，配置有限制體4a的位置。限制體4a位於限制位置RP的狀態下之限制體4a與容器W的開口部Wa之間的X方向之分開距離，可以以內容物(在本實施形態中為半導體托盤T)的X方向之長度為基準來設定，例如，可以將該分開距離設定為內容物的X方向之長度的2分之1以下的值、3分之1以下的值、5分之1以下的值、或10分之1以下的值等。
在此，針對限制位置RP及退避位置SP，詳細地進行說明。
首先，針對開口部Wa進行說明。如圖5至圖8所示，開口部Wa是形成在Y方向上排列的一對側壁Wc之間，且開口部Wa在Y方向上佔有的區域，是在Y方向上排列的一對側壁Wc的內面之間的區域。
限制位置RP是指相對於開口部Wa而在X方向上比側壁Wc的端部之位置更外部上接近的位置，是與開口部Wa在Y方向上重疊的位置。
在本實施形態中，退避位置SP是指與開口部Wa在Y方向上不重疊的位置。
圖5至圖8中的虛線是沿著配置在容器W中的第二Y方向Y2之側壁Wc的第一Y方向Y1的面而延長的線。在本實施形態中，此虛線是顯示開口部Wa在Y方向上佔有的區域，以及在第二Y方向Y2上與該區域相鄰的區域之交界的交界線。由此交界線往第一Y方向Y1的區域，是包含限制位置RP的區域。並且，由此交界線往第二Y方向Y2的區域，是包含退避位置SP的區域。
連動機構4是構成為：當被壓下部4b被容器W壓下的狀態下，使限制體4a位於限制位置RP，當被壓下部4b未被容器W壓下的狀態下，使限制體4a位於退避位置SP。又，限制體4a是構成為在限制位置RP及退避位置SP上，成為其長度方向沿著上下方向的起立姿勢。並且，連動機構4是構成為使限制體4a維持起立姿勢的狀態下，使 限制體4a與被壓下部4b連動。
接著，根據圖5至圖8來說明容器W被收納至收納部21時之連動機構4的動作。
藉由搬送裝置3的滑動操作機構33S使容器W位於突出位置後，藉由升降操作機構34S使容器W朝向收納部21降下。如圖5所示，在收納容器W之前，由於被壓下部4b是未藉由容器W的底部被壓下的狀態，因此下部連桿體4d是藉由對下部連桿體4d向上方賦與勢能的彈簧(圖式省略)，與上部連桿體4c一起成為向上方傾斜的姿勢。因此，在此時間點，限制體4a是位於退避位置SP(一併參照圖6)。因此，限制體4a不會成為容器W的收納之阻礙。若使容器W降下，容器W的底部會從上方對被壓下部4b接觸。
若從圖5的狀態，使容器W更進一步地降下，容器W的底部會更進一步地壓下被壓下部4b而成為圖7及圖8的狀態。容器W藉由升降操作機構34S而沿著上下方向降下，另一方面，下部連桿體4d是以托架97所支撐的端部為支點而向下方旋轉。因此，藉由此動作，下部連桿體4d所支撐的限制體4a會向下方移位並且向第一Y方向Y1移位。藉此，限制體4a會從退避位置SP位置切換到限制位置RP。又，當容器W沿著上下方向降下，另一方面，被此壓下的被壓下部4b是藉由旋轉運動來向下方及第一Y方向Y1移位。但是，如上所述，被壓下部4b是由滾輪所構成的，並且可繞著X方向軸自轉。因此，即使被壓下部4b與容器W的底部相對地移動(向第一Y方向Y1移位)，藉由 被壓下部4b繞著沿X方向的旋轉軸心旋轉，仍可以減少該等構件之間所產生的摩擦。因此，幾乎不會有容器W的底部被被壓下部4b摩擦等而產生顆粒的情況。又，如圖6及圖8所示，在本實施形態中是構成為：位於限制位置RP的限制體4a所佔有的區域與位於退避位置SP的限制體4a所佔有的區域，在X方向(出入方向)上具有重疊的部分。藉由像這樣的構成，針對限制體4a橫跨退避位置SP及限制位置RP移動的情況下之限制體4a的通過區域，可以將X方向的長度抑制為較小。因此，為了設置限制體4a而應確保的空間可以為很小，在設置空間的點上是有利的。
像這樣，在圖5至圖8所示的一系列的動作中，設置在搬送裝置3的落下防止體35S，在容器W完全地被收納至收納部21之前，是位在接近於容器W的開口部Wa之位置。因此，藉由搬送裝置3的搬送時以及容器W完全地被收納之前的期間內，藉由落下防止體35S，可以防止半導體托盤T從容器W落下的情形。並且，當容器W完全地被收納至收納部21後，藉由限制體4a可以限制半導體托盤T從容器W中飛出的情形。如圖8所示，在本實施形態中，當搬送裝置3將容器W收納至收納部21時，是構成為落下防止體35S的位置是和位於限制位置RP的限制體4a在X方向上具有重疊部分的位置。藉由像這樣的構成，將容器W收納至收納部21時，收納部21中的落下防止體35S與限制體4a在X方向上所佔據的區域即可以縮小。其結果是，在X方向上可以謀求省空間化。
[第二實施形態]
接著，針對第二實施形態的容器收納設備來進行說明。第二實施形態和第一實施形態相較之下連動機構的構成是不同的，而其他的構成和第一實施形態是相同的。以下是以和第一實施形態的不同點為中心來說明。未特別說明的點和第一實施形態是相同的。
如圖9所示，第二實施形態的容器收納設備具備有：限制部5a，是在收納部21中收納有容器W的狀態下限制半導體托盤T從容器W的開口部Wa飛出；被壓下部5b，是在收納部21中收納有容器W的狀態下，藉由容器W的底部被壓下；連動機構5，是使限制部5a與被壓下部5b連動。在第二實施形態中，連動機構5是藉由利用槓桿原理的機構(以下稱為槓桿機構)來構成的。
連動機構5具有：連結限制部5a與被壓下部5b的連結部5d、及成為該等限制部5a、被壓下部5b及連結部5d的旋轉中心之支點軸5c。被壓下部5b及支點軸5c是沿著X方向來配置。並且，該等被壓下部5b及支點軸5c在X方向上的端部上，配置有限制部5a及連結部5d。
在第二實施形態中，如圖10及圖11所示，連動機構5是構成為在X方向視角下，限制部5a與連結部5d形成L字形。又，在第二實施形態中，限制部5a是形成為比連結部5d還長很多。因此，如圖10及圖11所示，有關於藉由連動機構5的自重而繞著支點軸5c的力矩，從沿著第一X方向X1的方向來看的情況下(以下，針對旋轉方向也是 相同的)，藉由限制部5a之順時針的力矩是比藉由連結部5d之逆時針的力矩更大。因此，當被壓下部5b未藉由容器W被壓下時，連動機構5整體是往順時針旋轉。在第二實施形態中，將第一彈簧(圖式省略)繞著支點軸5c設置，來對限制部5a向逆時針賦與勢能，藉此當被壓下部5b未被容器W壓下的狀態下，連動機構5的整體是構成為維持住傾斜姿勢(參照圖10)。再者，支點軸5c是配置在比圖中以虛線顯示的交界線更向第一Y方向Y1間隔距離的位置。
當容器W被收納至收納部21時，如圖10所示，降下之容器W的底部會接觸到位於退避位置SP的被壓下部5b。此時，位於比限制部5a中的容器W之下端部更上方的部分，會位在比交界線更向第二Y方向Y2的位置。在第二實施形態中，此狀態即是限制部5a位於退避位置SP的狀態。
當容器W的底部更進一步地壓下被壓下部5b後，連動機構5會成為圖11的狀態。藉由容器W壓下被壓下部5b，會產生以支點軸5c為中心的逆時針力矩，連動機構5會以支點軸5c為中心而逆時針旋轉。藉此，限制部5a會從傾斜姿勢變為沿著上下方向的起立姿勢。連結部5d會成為沿著載置台99的上表面之水平姿勢。此時，限制部5a的整體會位於與配置在比交界線更向第一Y方向Y1的位置之支點軸5c在Y方向上重疊的位置。因此，藉由容器W壓下被壓下部5b，限制部5a即可從退避位置SP位置切換到限制位置RP。位於限制位置RP的限制部5a，是相對於 開口部Wa而在X方向上接近，且限制半導體托盤T從容器W的開口部Wa飛出之情形。再者，繞著支點軸5c上，除了對限制部5a向逆時針賦與勢能的第一彈簧之外，還設置有對連結部5d向順時針賦與勢能的第二彈簧(圖式省略)。因此，當容器W被收納至收納部21後，成為被壓下部5b未藉由容器W被壓下的狀態時，連動機構5是藉由第二彈簧來順時針旋轉。因此，限制部5a會從起立姿勢變為向第二Y方向Y2傾斜的姿勢。也就是說，藉由限制部5a的順時針力矩、藉由連結部5d的逆時針力矩、藉由第一彈簧的逆時針力矩、及藉由第二彈簧的順時針力矩會相互地作用並取得平衡，將連動機構5維持在圖10所示的傾斜姿勢。再者，取代於藉由第一彈簧將連動機構5維持為傾斜姿勢的構成，也可以為以下構成：在支點軸5c上設置旋轉限制部，該旋轉限制部是限制傾斜姿勢的連動機構5藉由自重而順時針旋轉的情形，來將連動機構5維持在傾斜姿勢。又，取代於藉由第二彈簧對連動機構5賦與勢能，以從起立姿勢變為向第二Y方向Y2傾斜的姿勢之構成，也可以為以下構成：藉由連動機構5的自重對連動機構5賦與勢能，以從起立姿勢變為向第二Y方向Y2傾斜的姿勢。在此情況下，是調整連結限制部5a與連結部5d的角度，以在限制部5a位於限制位置RP的狀態下，成為向第二Y方向Y2傾斜的姿勢。
[其他實施形態]
(1)在上述實施形態中，是針對以下例子進行了說明： 退避位置SP是比開口部Wa在Y方向上所佔有的區域更向第二Y方向Y2分開的位置，且是不與該區域重疊的位置。但是，退避位置並不限定於像這樣的例子。也就是說，退避位置只要是從限制位置分開的位置即可。例如，退避位置即使與開口部Wa在Y方向上所佔有的區域重疊，只要相對於限制位置RP在X方向(X方向的外側)上分開即可。
(2)在上述實施形態中，是針對構成為以下的例子進行了說明：位於限制位置RP的限制體4a所佔有的區域與位於退避位置SP的限制體4a所佔有的區域，在X方向(出入方向)上具有重疊的部分。又，針對構成為以下的例子進行了說明：當搬送裝置3將容器W收納至收納部21時，落下防止體35S的位置是和位於限制位置RP的限制體4a在X方向上具有重疊部分的位置。在此所謂的「重疊」，除了對象要素的全部重疊的情況之外，也包含一部分重疊的情況。但是，更理想的是構成為：限制位置RP的全部與退避位置SP的全部成為在X方向(出入方向)上重疊的位置。也就是說，更理想的是構成為：位於限制位置RP的限制體4a之X方向的配置區域，與位於退避位置SP的限制體4a之X方向的配置區域完全地重疊。在該情況下，可以將上述對象要素所佔有的X方向之區域抑制為較小，在設置空間的點上會更加有利。同樣地，較理想的是構成為：搬送裝置3將容器W收納至收納部21時之落下防止體35S的位置與位於限制位置RP的限制體4a，在X方向上全部重疊。也就是說，較理想的是構成為：搬送裝置3將容器W 收納至收納部21時之落下防止體35S的X方向之配置區域，以及位於限制位置RP的限制體4a之X方向的配置區域，是完全地重疊。
(3)在上述實施形態中，是針對構成為以下的例子進行了說明：位於限制位置RP的限制體4a(5a)，是成為沿著上下方向的起立姿勢。但是，限制體的姿勢不是起立姿勢亦可。也就是說，位於限制位置的限制體，只要與容器的開口部之上下方向的區域之全部重疊即可，在該情況下，限制體也可以是相對於上下方向而大幅地傾斜的姿勢。即使在此情況下，藉由限制體仍可以限制內容物，使容器所收容的內容物之全部不會飛出至容器外。
(4)在上述實施形態中，是針對以下例子進行了說明：相對於1個容器收納架2，是在X方向上排列配置有2個收納部21。但是，並不限定於此，也可以相對於1個容器收納架2而在X方向上排列配置3個以上的收納部21。根據本揭示之技術，可以將為了設置限制體所應確保的空間縮小，而可以藉此謀求省空間化。因此，由於容器收納架具有越多收納部，針對複數個收納部的每一個則越能發揮省空間化的效果，因此作為設備整體可以大幅地使收納效率提升。
(5)在上述實施形態中，是針對連動機構具備有連桿機構或槓桿機構的例子來進行說明。但是，並不限定於像這樣的構成，連動機構只要構成為能使限制體與被壓下部連動，而可將限制體位置切換至限制位置及退避位 置即可。
(6)在上述實施形態中，是針對構成為以下的例子進行了說明：容器W是藉由搬送裝置3來搬送，且被收納至容器收納架2的收納部21。但是，並不限定於像這樣的構成，容器收納架也可以是藉由行走於地面的搬送車來收納容器。又，容器收納架也可以是藉由人力來人為地收納容器。
(7)在上述實施形態中，是針對構成為以下的例子進行了說明：容器收納架2是由天花板懸吊支撐。但是，並不限定於像這樣的構成，容器收納架也可以是設置在地面上。
(8)上述實施形態不過只是單純的例示。本揭示並不限定於上述各實施形態，在不脫離本揭示的主旨之範圍內，可進行各種變更。上述實施形態在不產生矛盾的範圍內可以作組合。
(9)在上述第二實施形態中，是針對構成為以下的例子進行了說明：為了維持連動機構5的傾斜姿勢，在限制部5a上設置第一及第二彈簧，使藉由限制部5a的順時針力矩、藉由連結部5d的逆時針力矩、藉由第一彈簧的逆時針力矩、及藉由第二彈簧的順時針力矩相互地作用並取得平衡。但是，並不限定於像這樣的構成，也可以構成為藉由1個彈簧來取得平衡，以維持連動機構的傾斜姿勢。也就是說，也可以構成為：該彈簧是當限制部位於退避位置的狀態下，在該限制部起立的方向(位於限制位置的 方向)上使力量作用，而當該限制部位於限制位置的狀態下，在該限制部倒下的方向(位於退避位置的方向)上使力量作用。
[上述實施形態的概要]
以下，針對上述所說明之容器收納設備的概要進行說明。
容器收納設備具備有具有收納容器的收納部之容器收納架，前述容器是構成為在側面上具有開口部且使內容物從該開口部出入自如，前述容器收納設備具備：限制體，在前述收納部收納有前述容器的狀態下，限制前述內容物從前述容器的前述開口部飛出；被壓下部，在前述收納部收納有前述容器的狀態下，藉由前述容器的底部而被壓下；及連動機構，使前述限制體與前述被壓下部連動，前述限制體是相對於已收納在前述收納部的狀態之前述容器的前述開口部，配置在前述內容物的出入方向的外側，且構成為可在限制前述內容物的飛出之限制位置、及從前述限制位置離開的退避位置之間進行位置切換，前述連動機構是構成為在前述被壓下部被前述容器壓下的狀態下，使前述限制體位於前述限制位置，而在前述被壓下部未被前述容器壓下的狀態下，使前述限制體位於前述退避位置。
根據本構成，可將限制體與被壓下部藉由連動機構來連動。此連動機構可以因應於被壓下部被容器的底部壓下的狀態及未被壓下的狀態，而在限制位置以及從 限制位置離開的退避位置之間切換限制體的位置。在被壓下部未被容器的底部壓下時，也就是在容器未被收納在收納部時，限制體是位於退避位置，在被壓下部藉由容器的底部而被壓下時，也就是在容器被收納在收納部時，限制體是位於限制位置。因此，由於在容器被收納之前，限制體是位於退避位置，因此不會有限制體對收納容器造成妨礙的情形。另一方面，當容器被收納時，會使被壓下部藉由容器的底部而被壓下，而連動於被壓下部被壓下之動作將限制體位置切換到限制位置。像這樣，可以不藉由驅動設備，而是藉由收納容器的動作及取出的動作，來將限制體切換到限制位置及退避位置。
由於限制位置是相對於已收納在收納部的狀態下之容器的開口部而配置在內容物的出入方向之外側(例如，相對於開口部而在出入方向上接近)，以限制內容物的飛出的位置，因此變得於已將容器收納至收納部後，可藉由位於限制位置的限制體，來限制容器的內容物在出入方向上的移動。從而，即使在容器上產生振動的情況下，仍可以抑制內容物從容器中飛出的情形。
由於不使用驅動設備的部分，即不需要設置馬達及汽缸等驅動源，因此在設置空間這點上是有利的。再者，由於不需要用於對驅動源供給驅動用的電力或空氣之配線或配管，因此可以謀求構成的簡單化。
像這樣，根據本構成，可以得到在設置空間之點上有利並且可藉由簡單的構造來限制內容物從容器中飛出的容 器收納設備。
又，較理想的是構成為：位於前述限制位置的前述限制體所佔有的區域與位於前述退避位置的前述限制體所佔有的區域，在前述出入方向上具有重疊的部分。
根據此構成，可將關於限制體橫跨退避位置及限制位置而移動的情況下之限制體的通過區域之出入方向的長度抑制得較小。因此，為了設置限制體而應確保的空間可以較小，在設置空間之點上是有利的。
又，較理想的是，具備有將前述容器搬送至前述收納部的搬送裝置，前述搬送裝置具有落下防止體，該落下防止體是在前述容器的搬送時，相對於前述容器的前述開口部而配置於前述出入方向的外側，以防止前述內容物的落下。
根據此構成，由於搬送裝置具有相對於容器的開口部而配置在出入方向的外側(例如，相對於開口部在出入方向上接近)之落下防止體，因此即使在容器的搬送時搬送裝置振動的情況下，仍可以防止內容物從容器中飛出而落下。又，藉由搬送裝置將容器搬送至收納部，且將該容器收納至收納部後，藉由容器收納架所具備的限制體可以限制內容物從容器中飛出。因此，根據此構成，可以在容器的搬送時及容器的收納後，防止內容物從容器中飛出的情形。
又，較理想的是構成為：在前述搬送裝置將前述容器收納至前述收納部時，前述落下防止體的位置是 成為與位於前述限制位置的前述限制體在前述出入方向上具有重疊的部分之位置。
根據此構成，由於搬送裝置將容器收納至收納部時之落下防止體，與位於限制位置的限制體在出入方向上具有重疊的部分，因此可以在出入方向上縮小將容器收納至收納部時的落下防止體與限制體所佔據之出入方向上的區域，而使空間利用效率較佳。
又，較理想的是，前述限制體是形成為長條狀，且構成為在前述限制位置及前述退避位置上，成為其長度方向沿著上下方向的起立姿勢，前述連動機構是構成為在使前述限制體維持前述起立姿勢的狀態下照樣使前述限制體與前述被壓下部連動。
根據此構成，由於限制體是在限制位置及退避位置兩者的位置上均維持起立姿勢，因此可以將在平面視角下的容器收納架中的限制體所佔據的區域設為較小。從而，根據此構成，可以使空間利用效率更佳。
又，較理想的是，前述開口部是在前述容器中的前述出入方向上以互相相向的狀態形成有一對，且前述限制體是對應於前述開口部而設置有一對。
根據此構成，作為收納內容物的容器，即使是在使用在出入方向上以互相相向的狀態下形成有一對開口部之使用方便性佳的容器之情況下，由於對應於各自的開口部設置有限制體，因此可以限制內容物從任一個開口部飛出的情形。
又，較理想的是，前述容器收納架具有在前述出入方向上排列配置的複數個前述收納部，且針對複數個前述收納部的每一個，各別設置有前述限制體、前述被壓下部及前述連動機構。
根據此構成，針對複數個收納部的每一個，均可以藉由不使用驅動設備之簡單的構造，來設置限制內容物從容器中飛出的限制體。因此，可以設成和以驅動設備對複數個收納部的各個限制體進行位置切換的構成相較之下，較簡單的構造來作為設備整體。再者，由於藉由不設置驅動設備所產生的省空間化之效果，是針對複數個收納部的每一個來發揮，因此作為設備整體可以大幅地使空間利用效率提升。
2‧‧‧容器收納架
4‧‧‧連動機構
4a‧‧‧限制體
4b‧‧‧被壓下部
4c‧‧‧上部連桿體
4d‧‧‧下部連桿體
4e‧‧‧固定連桿體
21‧‧‧收納部
97‧‧‧托架
98‧‧‧導引部
99‧‧‧載置台
T‧‧‧半導體托盤(內容物)
W‧‧‧容器
Wa‧‧‧開口部
X1‧‧‧第一X方向
X2‧‧‧第二X方向
Y1‧‧‧第一Y方向
Y2‧‧‧第二Y方向

Claims (8)

  1. 一種容器收納設備，具備：具有收納容器的收納部之容器收納架，其中，前述容器是構成為在側面具有開口部，並且內容物從該開口部出入自如，該容器收納設備之特徵在於：前述容器收納設備具備：限制體，在前述收納部收納有前述容器的狀態下，限制前述內容物從前述容器的前述開口部飛出；被壓下部，在前述收納部收納有前述容器的狀態下，藉由前述容器的底部而被壓下；及連動機構，使前述限制體與前述被壓下部連動，前述限制體是構成為：以平面視角來看，藉由在與前述內容物的出入方向正交的方向上移動，可在限制位置、及從前述限制位置離開的退避位置之間進行位置切換，前述限制位置是相對於已收納在前述收納部的狀態之前述容器的前述開口部，配置在前述內容物的出入方向的外側，以限制前述內容物的飛出之位置，前述連動機構是構成為在前述被壓下部被前述容器壓下的狀態下，使前述限制體位於前述限制位置，並在前述被壓下部未被前述容器壓下的狀態下，使前述限制體位於前述退避位置。
  2. 如請求項1之容器收納設備，其是構成為：前述收納部是在將前述容器的前述開口部朝向平面 視角下正交於架體深度方向之方向的狀態下，收納該容器，前述架體深度方向即前述容器相對於前述收納部的收納方向。
  3. 如請求項1之容器收納設備，其是構成為：位於前述限制位置的前述限制體所佔有的區域與位於前述退避位置的前述限制體所佔有的區域，在前述出入方向上具有重疊的部分。
  4. 如請求項1或2之容器收納設備，其具備將前述容器搬送至前述收納部的搬送裝置，前述搬送裝置具有落下防止體，該落下防止體是在前述容器的搬送時，相對於前述容器的前述開口部而配置於前述出入方向的外側，以防止前述內容物的落下。
  5. 如請求項1或2之容器收納設備，其中，前述限制體是形成為長條狀，且構成為在前述限制位置及前述退避位置上，成為其長度方向沿著上下方向的起立姿勢，前述連動機構是構成為在使前述限制體維持前述起立姿勢的狀態下照樣使前述限制體與前述被壓下部連動。
  6. 如請求項1或2之容器收納設備，其中，前述開口部是在前述容器中的前述出入方向上以互相相向的狀態形成有一對，且前述限制體是對應於前述開口部而設置有一對。
  7. 如請求項1或2之容器收納設備，其中，前述容器收納架具有在前述出入方向上排列配置的 複數個前述收納部，針對複數個前述收納部的每一個，各別設置有前述限制體、前述被壓下部及前述連動機構。
  8. 一種容器收納設備，具備：具有收納容器的收納部之容器收納架；以及將前述容器搬送至前述收納部的搬送裝置，其中，前述容器是構成為在側面具有開口部，並且內容物從該開口部出入自如，該容器收納設備之特徵在於：前述容器收納設備具備：限制體，在前述收納部收納有前述容器的狀態下，限制前述內容物從前述容器的前述開口部飛出；被壓下部，在前述收納部收納有前述容器的狀態下，藉由前述容器的底部而被壓下；及連動機構，使前述限制體與前述被壓下部連動，前述限制體是構成為：可在限制位置、及從前述限制位置離開的退避位置之間進行位置切換，前述限制位置是相對於已收納在前述收納部的狀態之前述容器的前述開口部，配置在前述內容物的出入方向的外側，以限制前述內容物的飛出之位置，前述連動機構是構成為：在前述被壓下部被前述容器壓下的狀態下，使前述限制體位於前述限制位置，並在前述被壓下部未被前述容器壓下的狀態下，使前述限制體位於前述退避位置， 前述搬送裝置具有落下防止體，該落下防止體是在前述容器的搬送時，相對於前述容器的前述開口部而配置於前述出入方向的外側，以防止前述內容物的落下，前述容器收納設備是構成為：在前述搬送裝置將前述容器收納至前述收納部時，前述落下防止體的位置是成為與位於前述限制位置的前述限制體在前述出入方向上重疊的位置。
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