KR102264860B1 - 핸드 유닛, 이를 갖는 비히클 및 이를 이용한 대상물 고정 방법 - Google Patents

핸드 유닛, 이를 갖는 비히클 및 이를 이용한 대상물 고정 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 핸드 유닛은, 호이스트 유닛의 벨트 일단부에 고정되는 몸체와, 상기 몸체의 하부면에 선회 가능하도록 구비되며, 상하로 적재된 트레이 타입의 대상물의 하부면 양측을 각각 파지하는 그리퍼들과, 상기 그리퍼들이 상기 대상물을 파지 또는 해제하도록 상기 그리퍼들을 선회시키는 구동부 및 상기 구동부에 의해 상기 상하 방향을 따라 이동하도록 구비되며, 상기 그리퍼들에 파지된 상기 대상물의 상부면을 지지하기 위한 지지부를 포함할 수 있다.

Description

핸드 유닛, 이를 갖는 비히클 및 이를 이용한 대상물 고정 방법{Hand unit, vehicle having the same, and method of fixing object using the same}
본 발명은 핸드 유닛, 이를 갖는 비히클 및 이를 이용한 대상물 고정 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상하로 적재된 트레이 타입의 대상물을 파지하기 위한 핸드 유닛, 이를 갖는 비히클 및 이를 이용한 대상물 고정 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정 설비들은 연속적으로 배치되어 반도체 소자를 제조하기 위한 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 천장 반송 장치에 의해 이송된다.
상기 천장 반송 장치는 상기 반도체 공정 설비들이 구비된 공간의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. 상기 비히클은 핸드 유닛으로 상기 대상물을 파지하여 상기 설비의 로드 포트로 이송할 수 있다.
상기 대상물이 트레이 타입인 경우, 상기 핸드 유닛은 상기 로드 포트로 상기 대상물이 상하로 적재된 상태로 지지하는 포크 및 상기 포크를 구동시키기 위한 구동부를 구비할 수 있다. 상기 포크가 수평 방향 및 상하 방향으로 이동하면서 상기 대상물을 로딩 또는 언로딩할 수 있다.
상기 구동부의 무게로 인해 상기 핸드 유닛의 무게 중심이 상기 구동부 쪽으로 편심되어 있다. 상기 포크에 상기 대상물이 적재되는 경우, 상기 핸드 유닛의 무게 중심이 중앙 부위로 변경될 수 있다. 즉, 상기 대상물의 유무에 따라 상기 핸드 유닛의 무게 중심이 변경될 수 있다.
상기 핸드 유닛의 무게 중심이 달라지는 경우, 상기 핸드 유닛의 수평을 유지하기 어렵고, 상기 핸드 유닛을 회전시키기 어렵다.
본 발명은 대상물의 유무에 상관없이 무게 중심이 일정한 핸드 유닛을 제공한다.
본 발명은 상기 핸드 유닛을 포함하는 천장 반송 장치의 비히클을 제공한다.
본 발명은 상기 핸드 유닛을 이용하여 상기 대상물을 고정하는 핸드 유닛의 대상물 고정 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 핸드 유닛은, 호이스트 유닛의 벨트 일단부에 고정되는 몸체와, 상기 몸체의 하부면에 선회 가능하도록 구비되며, 상하로 적재된 트레이 타입의 대상물의 하부면 양측을 각각 파지하는 그리퍼들과, 상기 그리퍼들이 상기 대상물을 파지 또는 해제하도록 상기 그리퍼들을 선회시키는 구동부 및 상기 구동부에 의해 상기 상하 방향을 따라 이동하도록 구비되며, 상기 그리퍼들에 파지된 상기 대상물의 상부면을 지지하기 위한 지지부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 지지부는, 상기 대상물의 상부면을 지지하는 지지플레이트와, 상기 지지플레이트의 상방에 상기 지지플레이트와 이격되도록 배치되는 베이스 부재 및 상기 지지플레이트와 상기 베이스 부재를 탄성적으로 연결하는 연결 부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛은, 상기 지지플레이트의 하부면 일측에 구비되며, 상기 대상물의 상부면을 감지하기 위한 제1 센서 및 상기 지지플레이트와 상기 대상물의 상부면에 접촉하는 것을 감지하기 위한 제2 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 지지플레이트의 상부면에 도그가 구비되며, 상기 제2 센서는 상기 베이스 부재에 구비되어 상기 도그를 감지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛은, 상기 각 그리퍼들에 상하 방향을 따라 형성된 캠홈들에 각각 구비되는 캠 팔로워들을 더 포함하고, 상기 구동부는 상기 지지부와 같이 상기 캠 팔로워들을 상하 방향을 따라 이동시킴으로써 상기 그리퍼들이 선회할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 캠 팔로워들은 상기 베이스 부재에 고정될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 캠홈들은, 상기 각 그리퍼들이 상기 대상물을 파지하는 일단부와 반대되는 타단부에 상기 그리퍼들이 서로 마주 보는 방향 내측 상방으로 경사지는 경사홈 및 상기 경사홈과 연결되며 상하 방향으로 연장하는 수직홈을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 캠 팔로워들이 상기 경사홈에 위치할 때 상기 그리퍼들이 상기 대상물의 고정을 해제하고, 상기 캠 팔로워들이 상기 수직홈에 위치할 때 상기 그리퍼들이 상기 대상물을 고정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛은, 상기 몸체에 고정되며, 상기 그리퍼들에 의해 파지된 상기 대상물의 이탈을 방지하기 위해 상기 대상물의 측면을 지지하는 프레임을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛은, 상기 프레임의 양측면 하단에 각각 구비되며, 상기 몸체가 상기 대상물을 적재하는 로드 포트와 정렬되도록 상기 로드 포트의 정렬 기둥들과 접촉하는 롤러들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 정렬 기둥들은 각각 원형 단면을 가지며, 상기 몸체를 상기 로드 포트에 제1 수평 방향 및 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향으로 동시에 정렬하기 위해 상기 각 정렬 기둥들에 상기 롤러들이 적어도 두 개가 접촉할 수 있다.
본 발명에 따른 비히클은, 천장의 주행 레일을 따라 제1 수평 방향을 따라 행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛의 하부에 구비되며, 상기 주행 유닛에 고정되는 슬라이드 유닛과, 상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 호이스트 유닛 및 상기 벨트의 일단부에 고정되며, 상하로 적재된 트레이 타입의 대상물을 파지하는 핸드 유닛을 포함하고, 상기 핸드 유닛은, 상기 벨트의 일단부에 고정되는 몸체와, 상기 몸체의 하부면에 선회 가능하도록 구비되며, 상하로 적재된 트레이 타입의 대상물의 하부면 양측을 각각 파지하는 그리퍼들과, 상기 그리퍼들이 상기 대상물을 파지 또는 해제하도록 상기 그리퍼들을 선회시키는 구동부 및 상기 구동부에 의해 상기 상하 방향을 따라 이동하도록 구비되며, 상기 그리퍼들에 파지된 상기 대상물의 상부면을 지지하기 위한 지지부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 핸드 유닛의 대상물 고정 방법은, 핸드 유닛의 그리퍼들로 상하로 적재된 트레이 타입의 대상물 하부면 양측을 각각 파지하는 단계 및 상기 핸드 유닛의 지지부로 상기 대상물의 상부면을 지지하는 단계를 포함하고, 상기 지지부로 상기 대상물의 상부면을 지지하는 단계는, 상기 지지부를 상기 대상물의 상부면을 향해 제1 속도로 하강시키는 단계와, 상기 지지부의 지지플레이트에 구비된 제1 센서가 상기 대상물의 상부면을 감지하면, 상기 지지부를 상기 제1 속도보다 느린 제2 속도로 하강시키는 단계 및 상기 지지부의 제2 센서가 상기 지지플레이트와 상기 대상물의 상부면의 접촉을 감지하면 상기 지지부를 정지시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 지지부로 상기 대상물의 상부면을 지지하는 단계는, 상기 지지부를 정지시키는 단계 이후에 상기 지지부를 기 설정된 오프셋 높이만큼 하강시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 그리퍼들로 상기 대상물 하부면 양측을 각각 파지하는 단계는, 캠 팔로워들을 상기 그리퍼들의 캠 홈들 중 경사홈들까지 상승시켜 상기 그리퍼들을 개방하는 단계와, 상기 핸드 유닛을 로드 포트에 적재된 상기 대상물을 향해 하강시키는 단계와, 상기 캠 팔로워들을 상기 그리퍼들의 캠 홈들 중 직선홈들까지 하강시켜 상기 그리퍼들이 상기 대상물의 하부면의 양측을 각각 파지하는 단계 및 상기 핸드 유닛을 상기 로드 포트로부터 상승시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 상기 핸드 유닛 및 상기 비히클은 상기 그리퍼들을 이용하여 상기 대상물을 파지할 수 있다. 따라서, 상기 대상물의 유무에 상관없이 상기 핸드 유닛의 무게 중심이 동일할 수 있다. 그러므로, 상기 비히클이 상기 핸드 유닛을 안정적으로 회전시킬 수 있다.
또한, 상기 핸드 유닛의 상기 롤러들과 상기 로드 포트의 상기 정렬 기둥을 이용하여 상기 몸체를 상기 로드 포트와 정렬할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛이 상기 대상물을 상기 로드 포트에 안정적으로 로딩하거나, 상기 로드 포트로부터 안정적으로 언로딩할 수 있다.
그리고, 상기 핸드 유닛은 상기 지지부로 상기 그리퍼들에 파지된 상기 대상물의 상부면을 지지하고, 상기 프레임으로 상기 그리퍼들에 의해 파지된 상기 대상물의 측면을 지지할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛으로부터 상기 대상물이 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
상기 지지부로 상기 대상물의 상부면을 지지하기 위해 상기 지지부를 상기 제1 속도로 하강시킨 후 상기 제2 속도로 하강시켜 상기 대상물의 상부면과 접촉시킨다. 따라서, 상기 지지부가 신속하게 상기 대상물의 상부면을 지지할 수 있다.
상기 지지부는 상기 대상물과 접촉한 후 상기 오프셋 높이만큼 하강하므로, 상기 대상물이 유연 재질로 이루어지더라도 상기 지지부가 상기 대상물을 안정적으로 지지할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 천장 반송 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 핸드 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 롤러들과 정렬 기둥을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 핸드 유닛이 로드 포트의 대상물을 파지하는 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 5는 도 4에 도시된 핸드 유닛이 대상물을 파지하는 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 6은 도 4에 도시된 지지부가 대상물의 상부면을 지지하는 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 7 내지 도 12는 도 4에 도시된 핸드 유닛이 로드 포트의 대상물을 파지하는 방법을 설명하기 위한 측면도들이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명에 따른 천장 반송 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 1을 참조하면, 상기 비히클(100)은 천장에 구비된 주행 레일(10)을 따라 대상물(20)을 이송하기 위한 것으로, 주행 유닛(110), 프레임 유닛(120), 슬라이드 유닛(130), 호이스트 유닛(140) 및 핸드 유닛(200)을 포함할 수 있다. 상기 대상물(20)은 트레이 타입이며, 상하 방향, 즉 Z축 방향을 따라 적재될 수 있다.
상기 주행 유닛(110)은 상기 비히클(100)을 상기 주행 레일(10)을 따라 이동시킨다. 상기 주행 유닛(110)의 양측면에 주행 롤러(112)가 구비된다. 상기 주행 롤러(112)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 비히클(100)이 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 예들 들면, 상기 비히클(100)은 제1 수평 방향, 즉, X축 방향을 따라 주행할 수 있다.
한편, 상기 주행 유닛(110)은 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(10)의 분기 지점에서 상기 비히클(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다.
상기 프레임 유닛(120)은 상기 주행 유닛(110)의 하부면에 고정된다. 상기 프레임 유닛(120)은 상기 대상물(20)을 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 대상물(20)이 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향, 즉, Y축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 프레임 유닛(120)은 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다.
상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 프레임 유닛(120)의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 호이스트 유닛(140)을 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 프레임 유닛(120)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다. 예를 들면, 상기 슬라이드 유닛(130)은 가이드 레일과 이동 블록을 포함할 수 있다.
상기 호이스트 유닛(140)은 상기 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다.
상기 호이스트 유닛(140)은 상기 핸드 유닛(200)을 고정하여 상기 Z축 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트 유닛(140)은 벨트(142)로 상기 핸드 유닛(200)을 고정한다. 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 벨트(142)를 권취하거나 권출하여 상기 핸드 유닛(200)을 승강시킬 수 있다.
상기 핸드 유닛(200)은 상기 벨트(142)의 단부에 고정되며, 상기 대상물(20)은 고정한다.
상기 대상물(20)은 상기 슬라이드 유닛(130)에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트 유닛(140)에 의해 승강할 수 있다.
자세히 도시되지는 않았지만, 상기 프레임 유닛(120)에는 별도의 회전 유닛이 구비되어, 상기 슬라이드 유닛(130), 상기 호이스트 유닛(140) 및 상기 핸드 유닛(200)을 회전시킬 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 핸드 유닛을 설명하기 위한 측면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 롤러들과 정렬 기둥을 설명하기 위한 평면도이고,
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 핸드 유닛(200)은 몸체(210), 그리퍼들(220), 캠 팔로워들(230), 구동부(240), 지지부(250), 제1 센서(260), 제2 센서(262) 및 프레임(270)을 포함할 수 있다.
상기 몸체(210)는 상기 호이스트 유닛(140)의 상기 벨트(142)의 일단부에 고정될 수 있다. 상기 몸체(210)는 대략 평판 형태를 가질 수 있다.
상기 그리퍼들(220)은 상기 몸체(210)의 하부면에 선회 가능하도록 구비될 수 있다. 상기 그리퍼들(220)은 상기 X축 방향으로 이격되도록 배치되며, 상기 대상물(20)들의 하부면 양측을 각각 파지할 수 있다.
예를 들면, 상기 몸체(210)의 하부면에 힌지 축들(212)이 고정되고, 상기 각 그리퍼들(220)에서 상기 대상물(20)을 파지하는 일단부와 반대되는 타단부가 상기 힌지 축들(212)에 각각 힌지 결합될 수 있다.
한편, 상기 그리퍼들(220)은 상기 몸체(210)에 직접 고정될 수도 있고, 상기 프레임(270)에 고정될 수도 있다.
상기 각 그리퍼들(220)에는 상기 Z축 방향을 따라 캠홈들(222)이 구비될 수 있다.
상기 각 캠홈(222)은 경사홈(223) 및 수직홈(224)을 포함할 수 있다.
상기 경사홈(223)은 상기 각 그리퍼들(220)의 상기 타단부에 구비되며, 상기 그리퍼들(220)이 서로 마주 보는 방향 내측 상방으로 경사질 수 있다.
상기 수직홈(224)은 상기 경사홈(223)과 연결되며 상기 Z축 방향을 따라 연장할 수 있다.
상기 캠 팔로워들(230)은 상기 캠홈들(222)에 각각 구비되고, 상기 캠홈들(222)을 따라 이동할 수 있다.
상기 캠 팔로워들(230)이 상기 경사홈들(223)에 각각 위치하는 경우, 상기 그리퍼들(220)의 상기 일단부들이 서로 이격되므로, 상기 그리퍼들(220)이 상기 대상물(20)의 파지를 해제할 수 있다.
상기 캠 팔로워들(230)이 상기 수직홈들(224)에 각각 위치하는 경우, 상기 그리퍼들(220)의 상기 일단부들이 서로 인접하므로, 상기 그리퍼들(220)이 상기 대상물(20)을 파지할 수 있다.
상기 구동부(240)는 상기 몸체(210)의 하부면에 구비되며, 상기 캠 팔로워들(230)을 상기 Z축 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 상기 캠 팔로워들(230)이 상기 Z축 방향을 따라 이동함에 따라 상기 그리퍼들(220)이 상기 힌지 축들(212)을 기준으로 선회할 수 있다. 따라서, 상기 그리퍼들(220)이 상기 대상물(20)을 파지하거나 상기 파지를 해제할 수 있다.
상기 구동부(240)는 상기 캠 팔로워들(230)을 상기 Z축 방향을 따라 왕복 이동시킬 수 있으면 어느 것이나 무방하다. 상기 구동부(240)의 예로는 볼 스크류, LM 가이드, 실린더 등을 들 수 있다.
구체적으로, 상기 구동부(240)가 상기 캠 팔로워들(230)을 상기 Z축 방향을 따라 상기 경사홈들(223)까지 상승시키면, 상기 그리퍼들(220)이 상기 힌지 축들(212)들을 중심으로 선회하면서 상기 그리퍼들(220)의 상기 일단부들이 서로 이격될 수 있다. 따라서, 상기 그리퍼들(220)이 상기 대상물(20)의 파지를 해제할 수 있다.
상기 구동부(240)가 상기 캠 팔로워들(230)을 상기 Z축 방향을 따라 상기 수직홈(224)까지 하강시키면, 상기 그리퍼들(220)이 상기 힌지 축들(212)들을 중심으로 선회하면서 상기 그리퍼들(220)의 상기 일단부들이 서로 인접할 수 있다. 따라서, 상기 그리퍼들(220)이 상기 대상물(20)을 파지할 수 있다.
상기 지지부(250)는 상기 구동부(240)와 연결되며, 상기 구동부(240)에 의해 상기 Z축 방향을 따라 이동할 수 있다. 이때, 상기 지지부(250)는 상기 캠 팔로워들(230)과 같이 상기 Z축 방향을 따라 이동할 수 있다. 즉, 상기 구동부(240)는 상기 캠 팔로워들(230)과 상기 지지부(250)를 동시에 이동시킬 수 있다.
상기 캠 팔로워들(230)이 상기 수직홈(224)에 위치한 상태에서 상기 구동부(240)가 상기 캠 팔로워들(230)을 승강시키더라도 상기 그리퍼들(220)의 상기 일단부들 사이의 간격을 변화되지 않고 일정하게 유지될 수 있다.
상기 캠 팔로워들(230)이 상기 수직홈(224)에 위치한 상태, 즉, 상기 그리퍼들(220)이 상기 대상물(20)을 파지한 상태에서 상기 캠 팔로워들(230)과 상기 지지부(250)를 동시에 상기 Z축 방향으로 하강시킴으로써 상기 지지부(250)를 상기 그리퍼들(220)에 파지된 상기 대상물(20)의 상부면에 접촉시킬 수 있다. 따라서, 상기 지지부(250)가 상기 그리퍼들(220)에 파지된 상기 대상물(20)의 상부면을 지지할 수 있다.
상기 비히클(100)이 주행함에 따라 진동이 발생하더라도 상기 지지부(250)가 상기 대상물(20)의 상부면을 지지하므로, 상기 대상물(20)이 상기 그리퍼들(220)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
구체적으로, 상기 지지부(250)는 지지플레이트(252), 베이스 부재(254) 및 연결 부재(256)를 포함할 수 있다.
상기 지지플레이트(252)는 대략 평판 형태를 가지며, 상기 대상물(20)의 상부면과 직접 접촉하여 지지할 수 있다.
상기 베이스 부재(254)는 상기 지지플레이트(252)의 상방에 상기 지지플레이트(252)와 이격되도록 배치된다. 상기 베이스 부재(240)가 상기 구동부(240)와 연결될 수 있다. 상기 베이스 부재(254)는 상기 캠 팔로워들(230)을 고정할 수 있다. 따라서, 상기 구동부(240)에 의해 상기 베이스 부재(254)와 상기 캠 팔로워들(230)이 같이 상기 Z축 방향을 따라 이동할 수 있다.
상기 연결 부재(256)는 상기 지지플레이트(252)와 상기 베이스 부재(254)를 탄성적으로 연결한다.
상기 연결 부재(256)는 고정 핀 및 코일 스프링을 포함할 수 있다.
상기 고정 핀은 상기 베이스 부재(254)를 관통하여 상기 지지플레이트(252)에 고정된다. 이때 상기 고정 핀은 상기 베이스 부재(254)에 대해 이동 가능할 수 있다. 단, 상기 고정 핀(372)은 상기 지지플레이트(252)에 고정된 단부와 반대되는 단부에 걸림턱이 형성된다. 그러므로, 상기 고정 핀이 상기 베이스 부재(254)로부터 상기 지지플레이트(252)가 고정된 방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
상기 코일 스프링은 상기 지지플레이트(252)와 상기 베이스 부재(254) 사이에 상기 고정 핀을 감싸도록 구비된다. 상기 지지플레이트(252)가 상기 대상물(20)의 상부면과 접촉할 때, 상기 고정 핀)이 상기 베이스 부재(254)에 대해 이동하면서 상기 코일 스프링이 수축할 수 있다. 따라서, 상기 코일 스프링은 상기 지지플레이트(252)가 상기 대상물(20)의 상부면과 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시킬 수 있다.
상기 제1 센서(260)는 상기 지지플레이트(252)의 하부면 일측에 구비되며, 상기 대상물(20)의 상부면을 감지할 수 있다.
일 예로, 상기 제1 센서(260)는 광 센서일 수 있다. 상기 광 센서는 발광 센서와 수광 센서로 이루어지거나, 발광 및 수광 센서 및 반사판으로 이루어질 수 있다. 상기 발광 센서에서 조사된 광을 상기 수광 센서에서 수광하지 못하거나, 상기 발광 및 수광 센서에서 상기 반사판에서 반사된 광을 수광하지 못하면, 상기 제1 센서(260)는 상기 대상물(20)의 상부면을 감지한 것으로 판단할 수 있다.
다른 예로, 상기 제1 센서(260)는 근접 센서일 수 있다. 상기 근접 센서는 상기 대상물(20)의 상방에 위치하며, 상기 지지플레이트(252)가 상기 대상물(20)과 가까워지는 경우 상기 대상물(20)의 상부면을 감지할 수 있다.
상기 제2 센서(262)는 상기 지지플레이트(252)와 상기 대상물(20)의 상부면의 접촉을 감지할 수 있다.
일 예로, 상기 제2 센서(262)는 상기 베이스 부재(254)에 구비된 푸시 센서일 수 있다. 상기 지지플레이트(252)의 상부면에 도그(256)가 구비되고, 상기 지지플레이트(252)가 상기 대상물(20)의 상부면에 접촉하면 상기 연결 부재(256)의 상기 코일 스프링이 수축하면서 상기 도그(256)가 상기 베이스 부재(254)를 향해 이동할 수 있다. 상기 푸시 센서가 상기 도그(256)에 의해 눌려지므로, 상기 제2 센서(262)가 상기 지지플레이트(252)와 상기 대상물(20)의 상부면의 접촉을 감지할 수 있다.
다른 예로, 상기 제2 센서(262)는 상기 지지플레이트(252)의 하부면에 구비되는 하중 센서일 수 있다. 상기 하중 센서가 상기 지지플레이트(252)와 상기 대상물(20)의 상부면의 접촉에 의해 발생하는 하중을 감지함으로써 상기 제2 센서(262)가 상기 지지플레이트(252)와 상기 대상물(20)의 상부면의 접촉을 감지할 수 있다.
상기 지지부(250)가 상기 대상물(20)의 상부면을 지지하기 위해 하강할 때, 상기 지지부(250)는 상기 대상물(20)의 상부면을 향해 제1 속도로 하강한다. 상기 제1 센서(260)가 상기 대상물(20)의 상부면을 감지하면, 상기 지지부(250)는 상기 제1 속도보다 느린 제2 속도로 하강한다. 상기 제2 센서(262)가 상기 지지플레이트(252)와 상기 대상물(20)의 상부면의 접촉을 감지하면 상기 지지부(250)는 정지한다. 따라서, 상기 지지부(250)가 신속하게 상기 대상물(20)의 상부면을 지지할 수 있다.
또한, 상기 지지부(250)는 상기 대상물(20)과 접촉한 후 기 설정된 오프셋 높이만큼 추가로 하강할 수 있다. 따라서, 상기 대상물(20)이 유연 재질로 이루어지더라도 상기 지지부(250)가 상기 대상물(20)을 안정적으로 지지할 수 있다.
상기 프레임(270)은 상기 몸체(210)에 고정되며, 대략 육면체 형상을 갖는다. 상기 프레임(270)은 상기 대상물(20)을 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 대상물(20)이 상기 프레임(270)의 내부로 수용될 수 있도록 상기 프레임(270)은 하부면이 개방될 수 있다. 또한, 상기 그리퍼들(220)들이 상기 대상물(20)의 파지 또는 해제를 위해 선회할 수 있도록 상기 X축 방향 양측면이 개방될 수 있다.
상기 프레임(270)은 상기 Y축 방향 양측면을 개방되지 않고 차단될 수 있다. 따라서, 상기 그리퍼들(220)들에 의해 파지된 상기 대상물(20)의 상기 Y축 방향을 지지할 수 있다. 그러므로, 상기 프레임(270)은 상기 그리퍼들(20)에 의해 파지된 상기 대상물(20)이 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
상기 프레임(270)의 양측면 하단에 롤러들(272)이 각각 구비될 수 있다. 상기 롤러들(272)은 로드 포트(30)의 정렬 기둥들(34)과 접촉할 수 있다.
상기 로드 포트(30)는 베이스 부재(31), 지지블록(32), 제3 센서(33), 정렬 기둥들(34) 및 제4 센서들(35)을 포함할 수 있다.
상기 지지블록(32)은 상기 베이스 부재(31)의 상부면 중앙에 배치되며, 상기 대상물(20)을 상기 Z축 방향으로 적재된 상태로 지지할 수 있다. 상기 제3 센서(33)는 상기 지지블록(32)의 상부면에 구비되며, 상기 지지블록(32)에 상기 대상물(20)이 적재되었는지 여부를 감지한다.
상기 정렬 기둥들(34)은 상기 베이스 부재(31) 상에 상기 Z축 방향을 따라 연장하도록 구비되며, 상기 지지블록(32)을 기준으로 서로 동일한 간격만큼 이격될 수 있다. 상기 정렬 기둥들(34)은 상기 롤러들(272)과 대응하도록 배치될 수 있다.
상기 롤러들(272)이 상기 정렬 기둥들(34)과 접촉하므로, 상기 로드 포트(30)에 대해 상기 몸체(210)의 위치를 정렬할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛(200)이 상기 대상물(20)을 상기 지지블록(32)에 정확하게 로딩하거나, 상기 지지블록(32)에 지지된 상기 대상물(20)을 정확하게 언로딩할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이 상기 각 정렬 기둥들(34)은 원형 단면을 가지며, 상기 각 정렬 기둥들(34)에 상기 롤러들(272)이 적어도 두 개가 접촉할 수 있다. 이때, 상기 롤러들(272)은 동일한 높이에 위치할 수 있다.
상기 롤러들(272)이 상기 각 정렬 기둥들(34)과 동일한 높이에서 적어도 두 개가 접촉하므로, 상기 몸체(210)를 상기 로드 포트(30)에 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 동시에 정렬할 수 있다. 따라서, 상기 몸체(210)를 상기 로드 포트(30)에 신속하게 정렬할 수 있다.
상기 몸체(210)를 상기 로드 포트(30)에 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 동시에 정렬할 수 있으므로, 상기 정렬 기둥들(34)을 상기 베이스 부재(31)의 네 면에 모두 구비할 필요가 없다.
상기 제4 센서들(35)은 상기 정렬 기둥들(34)에 인접하도록 상기 베이스 부재(31) 상에 구비된다. 상기 제4 센서들(35)은 상기 롤러들(272)이 상기 베이스 부재(31)에 안착되었는지 여부를 감지한다. 상기 제4 센서들(35)이 상기 롤러들(272)을 감지하면, 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 핸드 유닛(200)의 하강을 중지할 수 있다.
상기 핸드 유닛(200)은 상기 그리퍼들(220)을 이용하여 상기 대상물(20)을 파지하므로, 상기 대상물(20)의 유무에 상관없이 상기 핸드 유닛(200)의 무게 중심이 동일할 수 있다. 그러므로, 상기 비히클(100)이 상기 핸드 유닛(200)을 안정적으로 회전시킬 수 있다.
도 4는 도 2에 도시된 핸드 유닛이 로드 포트의 대상물을 고정하는 방법을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 5는 도 4에 도시된 핸드 유닛이 대상물을 파지하는 방법을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 6은 도 4에 도시된 지지부가 대상물의 상부면을 지지하는 방법을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 7 내지 도 12는 도 4에 도시된 핸드 유닛이 로드 포트의 대상물을 파지하는 방법을 설명하기 위한 측면도들이다.
도 4를 참조하면, 핸드 유닛(200)의 대상물 고정 방법은 먼저 상기 핸드 유닛(200)의 그리퍼들(220)로 상하로 적재된 대상물(20) 하부면 양측을 각각 파지한다. (S110)
이후, 상기 핸드 유닛(200)의 지지부(250)로 상기 대상물(20)의 상부면을 지지한다. (S120)
이하에서는 상기 핸드 유닛(200)이 상기 로드 포트(30)의 상기 대상물(20)을 파지하는 단계(S110)에 대해 구체적으로 설명한다.
도 5 및 도 7을 참조하면, 상기 구동부(240)가 상기 캠 팔로워들(230)을 상기 Z축 방향을 따라 상기 경사홈들(223)까지 상승시키면, 상기 그리퍼들(220)이 상기 힌지 축들(212)들을 중심으로 선회하면서 상기 그리퍼들(220)의 상기 일단부들이 서로 이격될 수 있다. 따라서 상기 그리퍼들(220)이 개방될 수 있다.(S111)
도 5 및 도 8을 참조하면, 상기 그리퍼들(220)의 상기 일단부들이 서로 이격되면, 상기 호이스트 유닛(140)이 상기 벨트(142)를 권출하여 상기 핸드 유닛(200)을 상기 로드 포트(30)를 향해 하강시킨다.(S112)
상기 핸드 유닛(200)이 하강하면서 상기 롤러들(272)이 상기 정렬 기둥들(34)과 접촉한다. 따라서, 상기 로드 포트(30)에 대해 상기 몸체(210)의 위치를 정렬할 수 있다.
특히, 상기 롤러들(272)이 상기 각 정렬 기둥들(34)과 동일한 높이에서 적어도 두 개가 접촉하므로, 상기 몸체(210)를 상기 로드 포트(30)에 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 동시에 정렬할 수 있다. 따라서, 상기 몸체(210)를 상기 로드 포트(30)에 신속하게 정렬할 수 있다.
상기 제4 센서들(35)이 상기 롤러들(272)을 감지하면, 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 핸드 유닛(200)의 하강을 중지한다.
도 5 및 도 9를 참조하면, 상기 구동부(240)가 상기 캠 팔로워들(230)을 상기 Z축 방향을 따라 상기 수직홈(224)까지 하강시키면, 상기 그리퍼들(220)이 상기 힌지 축들(212)들을 중심으로 선회하면서 상기 그리퍼들(220)의 상기 일단부들이 서로 인접할 수 있다. 따라서, 상기 그리퍼들(220)이 상기 로드 포트(30)의 상기 지지블록(32)에 지지된 상기 대상물(20)을 파지할 수 있다. (S113)
이때, 상기 대상물(20)의 하부면은 상기 그리퍼들(220)과 이격된 상태일 수 있다.
도 5 및 도 10을 참조하면, 상기 그리퍼들(220)의 상기 일단부들이 상기 대상물(200을 파지하면, 상기 호이스트 유닛(140)이 상기 벨트(142)를 권취하여 상기 핸드 유닛(200)을 상기 로드 포트(30)로부터 상승시킨다. (S114)
상기 그리퍼들(220)과 상기 대상물(20)의 하부면이 이격된 상태인 경우, 상기 핸드 유닛(200)이 상승하면서 상기 그리퍼들(220)은 상기 대상물(20)의 최하면 양측과 각각 접촉할 수 있다.
상기 핸드 유닛(200)이 상기 프레임 유닛(120)의 내부에 수용되면, 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 핸드 유닛(200)의 상승을 중지한다.
이하에서는 지지부(250)가 대상물(10)의 상부면을 지지하는 단계(S120)에 대해 구체적으로 설명한다. 상기 지지부(250)가 대상물(10)의 상부면을 지지하는 단계(S120)는 상기 핸드 유닛(200)이 상승하는 동안 이루어질 수 있다.
도 6 및 도 11을 참조하면, 상기 구동부(240)가 상기 캠 팔로워들(230)과 상기 지지부(250)를 동시에 상기 Z축 방향으로 제1 속도로 하강시킨다.(S121)
상기 지지부(250)가 하강하면서 상기 제1 센서(260)가 상기 대상물(20)의 상부면을 감지하면, 상기 구동부(240)가 상기 캠 팔로워들(230)과 상기 지지부(250)를 동시에 상기 Z축 방향으로 상기 제1 속도보다 느린 제2 속도로 하강시킨다. (S122)
도 6 및 도 12를 참조하면, 상기 제2 센서(262)가 상기 지지플레이트(252)와 상기 대상물(20)의 상부면의 접촉을 감지하면 상기 구동부(240)가 상기 캠 팔로워들(230)과 상기 지지부(250)를 동시에 정지시킨다.(S123)
상기 지지부(250)를 상기 그리퍼들(220)에 파지된 상기 대상물(20)의 상부면에 접촉시켜 상기 대상물(20)을 안정적으로 지지할 수 있다. 상기 지지부(250)를 상기 제1 속도로 하강시킨 후 상기 제2 속도로 하강시키므로, 상기 지지부(250)가 신속하게 상기 대상물(20)의 상부면을 지지할 수 있다.
상기 지지부(250)가 상기 대상물(20)과 접촉한 후, 상기 구동부(240)가 상기 캠 팔로워들(230)과 상기 지지부(250)를 동시에 상기 Z축 방향으로 기 설정된 오프셋 높이만큼 추가로 하강시킬 수 있다.(S124)
상기 대상물(20)이 유연 재질로 이루어지는 경우, 상기 대상물(20)의 적재 높이가 매번 상이할 수 있다. 상기 지지부(250)를 상기 오프셋 높이만큼 하강시킴으로써 상기 대상물(20)이 유연 재질로 이루어지더라도 상기 지지부(250)가 상기 대상물(20)을 안정적으로 지지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 핸드 유닛 및 상기 비히클은 상기 그리퍼들을 이용하여 상기 대상물을 파지할 수 있다. 따라서, 상기 대상물의 유무에 상관없이 상기 핸드 유닛의 무게 중심이 동일할 수 있다. 그러므로, 상기 비히클이 상기 핸드 유닛을 안정적으로 회전시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 비히클 110 : 주행 유닛
120 : 프레임 유닛 130 : 슬라이드 유닛
140 : 호이스트 유닛 200 : 핸드 유닛
210 : 몸체 212 : 힌지 축
220 : 그리퍼 222 : 캠홈
223 : 경사홈 224 : 수직홈
230 : 캠 플레이트 240 : 구동부
250 : 지지부 252 : 지지플레이트
254 : 베이스 부재 256 : 연결 부재
260 : 제1 센서 262 : 제2 센서
270 : 프레임 272 : 롤러
10 : 주행 레일 20 : 대상물
30 : 로드 포트 31 : 베이스 부재
32 : 지지블록 33 : 제3 센서
34 : 정렬 기둥 35 : 제4 센서

Claims (15)

  1. 호이스트 유닛의 벨트 일단부에 고정되는 몸체;
    상기 몸체의 하부면에 선회 가능하도록 구비되며, 상하로 적재된 트레이 타입의 대상물의 하부면 양측을 각각 파지하는 그리퍼들;
    상기 그리퍼들이 상기 대상물을 파지 또는 해제하도록 상기 그리퍼들을 선회시키는 구동부; 및
    상기 구동부에 의해 상기 상하 방향을 따라 이동하도록 구비되며, 상기 대상물이 상기 그리퍼들로부터 이탈하는 것을 방지하기 위해 상기 그리퍼들에 파지된 상기 대상물의 상부면을 지지하기 위한 지지부를 포함하고,
    상기 각 그리퍼들은 상기 대상물을 파지하는 일단부와 반대되는 타단부가 상기 몸체의 하부면에 구비된 힌지축들에 힌지 결합되고, 상기 그리퍼들이 상기 힌지축들을 중심으로 선회하면서 상기 일단부들이 서로 인접하여 상기 대상물을 파지하거나 상기 일단부들이 서로 이격되어 상기 대상물의 파지를 해제하는 것을 특징으로 하는 비히클의 핸드 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지지부는,
    상기 대상물의 상부면을 지지하는 지지플레이트
    상기 지지플레이트의 상방에 상기 지지플레이트와 이격되도록 배치되는 베이스 부재; 및
    상기 지지플레이트와 상기 베이스 부재를 탄성적으로 연결하는 연결 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 핸드 유닛.
  3. 제2항에 있어서, 상기 지지플레이트의 하부면 일측에 구비되며, 상기 대상물의 상부면을 감지하기 위한 제1 센서; 및
    상기 지지플레이트와 상기 대상물의 상부면에 접촉하는 것을 감지하기 위한 제2 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 핸드 유닛.
  4. 제3항에 있어서, 상기 지지플레이트의 상부면에 도그가 구비되며,
    상기 제2 센서는 상기 베이스 부재에 구비되어 상기 도그를 감지하는 것을 특징으로 하는 비히클의 핸드 유닛.
  5. 제2항에 있어서, 상기 각 그리퍼들에 상하 방향을 따라 형성된 캠홈들에 각각 구비되는 캠 팔로워들을 더 포함하고, 상기 구동부는 상기 지지부와 같이 상기 캠 팔로워들을 상하 방향을 따라 이동시킴으로써 상기 그리퍼들이 선회하는 것을 특징으로 하는 비히클의 핸드 유닛.
  6. 제5항에 있어서, 상기 캠 팔로워들은 상기 베이스 부재에 고정되는 것을 특징으로 하는 비히클의 핸드 유닛.
  7. 제5항에 있어서, 상기 각 캠홈들은,
    상기 각 그리퍼들이 상기 대상물을 파지하는 일단부와 반대되는 타단부에 상기 그리퍼들이 서로 마주 보는 방향 내측 상방으로 경사지는 경사홈; 및
    상기 경사홈과 연결되며 상하 방향으로 연장하는 수직홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 핸드 유닛.
  8. 제7항에 있어서, 상기 캠 팔로워들이 상기 경사홈에 위치할 때 상기 그리퍼들이 상기 대상물의 고정을 해제하고, 상기 캠 팔로워들이 상기 수직홈에 위치할 때 상기 그리퍼들이 상기 대상물을 고정하는 것을 특징으로 하는 비히클의 핸드 유닛.
  9. 제1항에 있어서, 상기 몸체에 고정되며, 상기 그리퍼들에 의해 파지된 상기 대상물의 이탈을 방지하기 위해 상기 대상물의 측면을 지지하는 프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 핸드 유닛.
  10. 제9항에 있어서, 상기 프레임의 양측면 하단에 각각 구비되며, 상기 몸체가 상기 대상물을 적재하는 로드 포트와 정렬되도록 상기 로드 포트의 정렬 기둥들과 접촉하는 롤러들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 핸드 유닛.
  11. 제10항에 있어서, 상기 정렬 기둥들은 각각 원형 단면을 가지며,
    상기 몸체를 상기 로드 포트에 제1 수평 방향 및 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향으로 동시에 정렬하기 위해 상기 각 정렬 기둥들에 상기 롤러들이 적어도 두 개가 접촉하는 것을 특징으로 하는 비히클의 핸드 유닛.
  12. 천장의 주행 레일을 따라 제1 수평 방향을 따라 행하는 주행 유닛;
    상기 주행 유닛의 하부에 구비되며, 상기 주행 유닛에 고정되는 슬라이드 유닛;
    상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 호이스트 유닛; 및
    상기 벨트의 일단부에 고정되며, 상하로 적재된 트레이 타입의 대상물을 파지하는 핸드 유닛을 포함하고,
    상기 핸드 유닛은,
    상기 벨트의 일단부에 고정되는 몸체;
    상기 몸체의 하부면에 선회 가능하도록 구비되며, 상하로 적재된 트레이 타입의 대상물의 하부면 양측을 각각 파지하는 그리퍼들;
    상기 그리퍼들이 상기 대상물을 파지 또는 해제하도록 상기 그리퍼들을 선회시키는 구동부; 및
    상기 구동부에 의해 상기 상하 방향을 따라 이동하도록 구비되며, 상기 대상물이 상기 그리퍼들로부터 이탈하는 것을 방지하기 위해 상기 그리퍼들에 파지된 상기 대상물의 상부면을 지지하기 위한 지지부를 포함하고,
    상기 각 그리퍼들은 상기 대상물을 파지하는 일단부와 반대되는 타단부가 상기 몸체의 하부면에 구비된 힌지축들에 힌지 결합되고, 상기 그리퍼들이 상기 힌지축들을 중심으로 선회하면서 상기 일단부들이 서로 인접하여 상기 대상물을 파지하거나 상기 일단부들이 서로 이격되어 상기 대상물의 파지를 해제하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  13. 핸드 유닛의 그리퍼들로 상하로 적재된 트레이 타입의 대상물 하부면 양측을 각각 파지하는 단계; 및
    상기 핸드 유닛의 지지부로 상기 대상물의 상부면을 지지하는 단계를 포함하고,
    상기 지지부로 상기 대상물의 상부면을 지지하는 단계는,
    상기 지지부를 상기 대상물의 상부면을 향해 제1 속도로 하강시키는 단계;
    상기 지지부의 지지플레이트에 구비된 제1 센서가 상기 대상물의 상부면을 감지하면, 상기 지지부를 상기 제1 속도보다 느린 제2 속도로 하강시키는 단계; 및
    상기 지지부의 제2 센서가 상기 지지플레이트와 상기 대상물의 상부면의 접촉을 감지하면 상기 지지부를 정지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸드 유닛의 대상물 고정 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 지지부로 상기 대상물의 상부면을 지지하는 단계는,
    상기 지지부를 정지시키는 단계 이후에 상기 지지부를 기 설정된 오프셋 높이만큼 하강시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 핸드 유닛의 대상물 고정 방법.
  15. 제13항에 있어서, 상기 그리퍼들로 상기 대상물 하부면 양측을 각각 파지하는 단계는,
    캠 팔로워들을 상기 그리퍼들의 캠 홈들 중 경사홈들까지 상승시켜 상기 그리퍼들을 개방하는 단계;
    상기 핸드 유닛을 로드 포트에 적재된 상기 대상물을 향해 하강시키는 단계;
    상기 캠 팔로워들을 상기 그리퍼들의 캠 홈들 중 직선홈들까지 하강시켜 상기 그리퍼들이 상기 대상물의 하부면의 양측을 각각 파지하는 단계; 및
    상기 핸드 유닛을 상기 로드 포트로부터 상승시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸드 유닛의 대상물 고정 방법.
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