KR102338464B1 - 운반물 반송 유닛, 그를 포함하는 운반물 관리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 프로브 카드 반송 유닛 및 그를 포함하는 프로브 카드 관리 장치를 개시한다. 그의 유닛은 운반물을 붙잡는 그리퍼들을 갖는 핸드 부와, 상기 핸드 부를 이동하는 주행 부를 포함한다. 상기 그리퍼들 각각은 상기 운반물의 가장자리에 제공되어 홀딩 바와, 상기 홀딩 바의 팁 상에 배치되고, 상기 홀딩 바에 수직한 방향으로 돌출되어 상기 운반물을 상기 홀딩 바에 고정하는 적어도 하나의 잠금 핀을 포함할 수 있다.

Description

운반물 반송 유닛, 그를 포함하는 운반물 관리 장치{Unit for transferring a package and apparatus for managing the package with the unit}
본 발명은 프로브 카드에 관한 것으로, 상세하게는 프로브 카드를 반송하는 운반물 반송 유닛, 및 그를 포함하는 운반물 관리 장치에 관한 것이다.
반도체 소자는 다수의 단위 공정을 통해 제조될 수 있다. 그 중의 테스트 공정은 반도체 소자의 신뢰성을 판정하는 공정이다. 테스터는 프로브 카드를 통해 전기 신호를 반도체 소자에 입출력할 수 있다. 프로브 카드는 웨이퍼 레벨의 반도체 소자에 연결될 수 있다. 일반적으로 프로브 카드는 작업자의 수작업에 의해 관리 및 로딩되고 있는 실정이다.
본 발명의 다른 과제는 프로브 카드의 물류 이동을 자동화할 수 있는 운반물 반송 유닛 및 그를 포함하는 운반물 관리 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명은 운반물 로딩 유닛을 개시한다. 그의 유닛은, 운반물을 붙잡는 그리퍼들을 갖는 핸드 부; 상기 핸드 부를 이동하는 주행 부; 및 상기 핸드 부를 상기 주행 부에 승강시키는 호이스팅 부를 포함한다. 여기서, 상기 그리퍼들 각각은: 상기 운반물의 아래에 제공되어 상기 운반물을 지지하는 홀딩 바; 및 상기 홀딩 바 상에 돌출되어 상기 운반물을 상기 홀딩 바에 고정하는 적어도 하나의 잠금 핀을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 운반물 관리 장치는 운반물을 수납하는 캐리어; 상기 운반물 상에 고정되고, 상기 캐리어에 지지되는 운반물 지그; 및 상기 운반물 및 상기 운반물 지그를 반송하는 반송 유닛을 포함한다. 여기서, 상기 반송 유닛은: 운반물 지그를 붙잡는 그리퍼들을 갖는 핸드 부; 상기 핸드 부를 이동하는 주행 부; 및 상기 핸드 부를 상기 주행 부에 승강시키는 호이스팅 부를 포함할 수 있다. 상기 그리퍼들 각각은: 상기 운반물의 아래에 제공되어 상기 운반물을 지지하는 홀딩 바; 및 상기 홀딩 바 상에 돌출되어 상기 운반물을 상기 홀딩 바에 고정하는 적어도 하나의 잠금 핀을 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예들에 따른 운반물 관리 장치는 저장 유닛, 자동 반송 유닛, 및 테스트 유닛을 포함할 수 있다. 자동 반송 유닛은 프로브 카드를 저장 장치와 테스트 유닛 사이에 반송할 수 있다. 프로브 카드의 물류 이동은 자동 반송 유닛에 의해 자동화될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 운반물 관리 장치의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 저장 유닛을 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 2의 선반들을 나타내는 사시도이다.
도 4는 및 도 5는 도 3의 운반물를 나타내는 단면도 및 분해 사시도이다.
도 6은 도 3 내지 도 5의 카드 지그와 캐리어의 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 7은 도 6의 캐리어의 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 8 및 도 9는 도 2의 크레인과 포크를 각각 나타내는 사시도들이다.
도 10은 도 2의 매뉴얼 포트를 나타내는 사시도이다.
도 11은 도 2의 수동 반송 포트와 수동 반송 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 12는 도 2의 자동 반송 포트를 나타내는 사시도이다.
도 13은 도 1의 자동 반송 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 14는 도 1의 테스트 유닛을 나타내는 평면도이다.
도 15는 도 13 및 도 14의 반송 유닛과 로드 포트를 나타내는 사시도이다.
도 16 및 도 17은 도 15의 그리퍼들의 카드 지그 로딩 과정의 일 예를 나타내는 측면도들이다.
도 18 및 도 19은 도 15의 그리퍼들의 카드 지그 로딩 과정의 다른 예를 나타내는 측면도들이다.
도 20은 도 17의 I-I' 선상을 절취하여 나타낸 단면도이다.
도 21 및 도 22는 도 20의 잠금 핀과 잠금 홀의 결합 과정을 나타내는 부분 단면도들이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당 업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 또한, 명세서에서 프로브 카드, 반송 장치, 스토커, 및 테스트 장치 등에 관계되는 일반적인 기계적 용어들로 이해될 수 있을 것이다. 바람직한 실시 예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 운반물 관리 장치(100)의 일 예를 보여준다.
도 1을 참조하면, 관리 장치(100)는 프로브 카드 관리 장치일 수 있다. 일 예에 따르면, 관리 장치(100)는 저장 유닛(200), 자동 반송 유닛(300), 및 테스트 유닛(400)을 포함할 수 있다. 저장 유닛(200)은 운반물을 보관할 수 있다. 저장 유닛(200)은 스토커를 포함할 수 있다. 자동 반송 유닛(300)은 운반물을 저장 유닛(200)과 테스트 유닛(400) 사이에 운반할 수 있다. 예를 들어, 자동 반송 유닛(300)은 오버헤드 호이스팅 트랜스퍼(overhead hoisting transfer)를 포함할 수 있다. 운반물의 이동은 자동 반송 유닛(300)에 의해 자동화될 수 있다. 테스트 유닛(400)은 운반물의 전기적인 테스트를 수행할 수 있다. 예를 들어, 테스트 유닛(400)은 반도체 기판의 EDS(electric die sorting) 테스트를 수행할 수 있다.
도 2는 도 1의 저장 유닛(200)을 보여준다.
도 2를 참조하면, 저장 유닛(200)은 스토커 하우징(210), 선반들(220), 크레인(230), 포크(240), 매뉴얼 포트들(250), 수동 반송 포트들(260) 및 자동 반송 포트들(270)를 포함할 수 있다. 스토커 하우징(210)은 외부로부터 독립된 공간을 제공할 수 있다. 스토커 하우징(210)의 내부는 약 1000 클래스의 청정도를 가질 수 있다. 선반들(220), 크레인(230), 및 포크(240)는 스토커 하우징(210) 내에 배치될 수 있다. 선반들(220)은 크레인(230)의 양측 가장자리들에 배치될 수 잇다. 매뉴얼 포트들(250), 수동 반송 포트들(260), 및 자동 반송 포트들(270)은 스토커 하우징(210)의 가장자리에 배치될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 매뉴얼 포트들(250), 수동 반송 포트들(260), 및 자동 반송 포트들(270)은 스토커 하우징(210)을 개폐하는 게이트들을 포함할 수 있다.
도 3은 도 2의 선반들(220)을 보여준다.
도 3을 참조하면, 선반들(220)은 운반물들(110) 및 캐리어들(120)을 개별적으로 수납할 수 있다. 운반물(110)은 캐리어(120)에 탑재될 수 있다. 선반들(220)은 운반물(110) 및 캐리어(120) 보다 넓을 수 있다. 운반물들(110)과 캐리어들(120)은 선반들(220)에 의해 평행하게 수납될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 선반들(220)은 운반물(110) 및 캐리어(120)의 존재 유무를 감지하는 센서들과, 상기 운반물(110)의 종류를 인식할 수 있는 RFID 센서들을 가질 수 있다.
도 4는 및 도 5는 도 3의 운반물(110)를 나타내는 단면도 및 분해 사시도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 운반물(110)은 프로브 카드(111)와 카드 지그(112)를 포함할 수 있다. 프로브 카드(111)는 다수개의 프로브 니들들(113)을 가질 수 있다. 프로브 니들들(113)은 프로브 카드(111)의 아래에 연결될 수 있다. 프로브 카드(111)는 약 7Kg 내지 20Kg 정도의 무게를 가질 수 있다.
카드 지그(112)는 프로브 카드(111) 상에 고정될 수 있다. 일 예에 따르면, 카드 지그(112)는 스티프너(stiffener)일 수 있다. 카드 지그(112)는 접합 부(114)와 지지 부(116)를 가질 수 있다. 접합 부(114)는 프로브 카드(111)에 접합되는 부분일 수 잇다. 접합 부(114)는 프로브 카드(111)의 상부 면을 노출하는 복수개의 개방 홀들(118)을 가질 수 있다. 지지 부(116)는 접합 부(114)의 가장자리에 배치될 수 있다. 접합 부(114)는 지지 부(116)의 중앙에 배치될 수 있다. 접합 부(114)는 방향 키(114a)를 가질 수 있다. 방향 키(114a)는 V자 모양의 홈을 가질 수 있다.
지지 부(116)는 제 1 내지 제 2 정렬 홀들(115, 117) 및 잠금 홀들(119)을 가질 수 있다. 제 1 정렬 홀들(115)은 잠금 홀들(119)은 카드 지그(112)의 가장자리를 따라 일정한 거리마다 배치될 수 있다. 제 2 정렬 홀들(117)과 잠금 홀들(119)은 카드 지그(112)의 양측 가장자리들에 배치될 수 있다. 제 2 정렬 홀들(117)과 잠금 홀들(119)은 서로 근접하여 배치될 수 있다.
도 6 은 도 3 내지 도 5의 카드 지그(112)와 캐리어(120)의 일 예를 보여준다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 카드 지그(112)는 캐리어(120)에 고정될 수 있다. 캐리어(120)는 가이드 슬롯들(122), 홈들(124), 제 1 및 제 2 정렬 핀들(126, 128)을 가질 수 있다.
가이드 슬롯들(122)은 카드 지그(112)의 가장자리를 따라 배치될 수 있다. 가이드 슬롯들(122)은 캐리어(120) 상의 카드 지그(112)를 고정할 수 있다. 가이드 슬롯들(122)은 카드 지그(112)와 동일한 모양으로 배치될 수 있다. 카드 지그(112)가 원형이면, 가이드 슬롯들(122)은 원 모양으로 배치될 수 있다.
홈들(124)은 카드 지그(112)의 양측 가장자리들에 마주보게 형성될 수 있다. 홈들(124) 내에는 자동 반송 유닛(300)의 그리퍼들(도 13의 350)이 제공될 수 있다.
제 1 정렬 핀들(126)은 가이드 슬롯들(122)에 인접하여 배치될 수 있다. 제 1 정렬 핀들(126)은 카드 지그(112)의 제 1 정렬 홀들(115) 내에 제공될 수 있다. 제 1 정렬 핀들(126) 및 제 1 정렬 홀들(115)은 캐리어(120)와 카드 지그(112)를 정렬할 수 있다. 제 2 정렬 핀(128)은 카드 지그(112)의 방향 키(114a)에 결합될 수 있다. 제 2 정렬 핀(128)은 카드 지그(112)의 방향을 결정할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 프로브 카드(111)는 카드 지그(112)와 캐리어(120) 사이에 배치될 수 있다. 프로브 카드(111)는 캐리어(120)로부터 이격하여 배치될 수 있다.
도 7은 도 6의 캐리어(120')의 다른 예를 보여준다.
도 5 및 도 7을 참조하면, 캐리어(120)는 키네메틱 홀들(121)을 가질 수 있다. 키네메틱 홀들(121)은 캐리어(120)의 중앙에 배치될 수 있다. 키네메틱 홀들(121)은 자동 반송 유닛(300)의 표준에 따른 크기와 모양을 가질 수 있다. 예를 들어, 키네메틱 홀들(121)은 3개로 구성될 수 있다.
캐리어(120)는 여러 종류의 카드 지그(112)를 고정할 수 있다. 캐리어(120)의 가이드 슬롯들(127)은 제 1 가이드 슬롯들(123)과 제 2 가이드 슬롯들(125)을 포함할 수 있다. 제 1 가이드 슬롯들(123)은 원 모양으로 배치될 수 있다. 제 1 가이드 슬롯들(123)은 제 2 가이드 슬롯들(125)의 내부에 배치될 수 있다. 제 2 가이드 슬롯들(125)는 정사각형 모양으로 배치될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 제 1 가이드 슬롯들(123)은 제 2 가이드 슬롯들(125) 보다 낮을 수 있다. 제 2 가이드 슬롯들(125)에 고정되는 카드 지그(112) 및 프로브 카드(111)의 손상이 방지되기 때문이다.
도 8 및 도 9는 도 2의 크레인(230)과 포크(240)를 보여준다.
도 2, 도 8 및 도 9를 참조하면, 크레인(230) 및 포크(240)는 선반들(220) 상에 운반물(110) 및 캐리어(120)를 제공할 수 있다. 크레인(230)은 선반들(220) 사이를 따라 이동할 수 있다. 포크(240)는 크레인(230)에 배치될 수 있다. 운반물(110) 및 캐리어(120)는 포크(240)에 탑재될 수 있다. 크레인(230)은 포크(240)를 승강시킬 수 있다. 포크(240)는 운반물(110) 및 캐리어(120)를 선반들(220)에 로딩할 수 있다. 이와 달리, 포크(240)는 운반물(110) 및 캐리어(120)를 선반들(220)에서 언로딩할 수 있다.
도 10은 도 2의 매뉴얼 포트를 보여준다.
도 8 내지 도 10을 참조하면, 매뉴얼 포트(250)는 작업자(미도시)에 의해 운반물(110) 및 캐리어(120)가 취급되는 포트일 수 있다. 크레인(230) 및 포크(240)는 매뉴얼 포트(250)에 운반물(110) 및 캐리어(120)를 제공할 수 있다. 이후, 작업자는 매뉴얼 포트(250) 내의 운반물(110) 및 캐리어(120)를 외부로 이동시킬 수 있다. 이와 달리, 운반물(110) 및 캐리어(120)는 작업자에 의해 매뉴얼 포트(250) 내에 제공될 수 있다. 크레인(230) 및 포크(240)는 운반물(110) 및 캐리어(120)를 매뉴얼 포트(250)에서 선반들(220)까지 반송할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 매뉴얼 포트(250)에는 운반물(110) 및 캐리어(120)의 존재 유무를 감지하는 센서들과, 상기 운반물(110)의 종류를 인식할 수 있는 RFID 센서들이 배치될 수 있다. 또한, 매뉴얼 포트(250)는 에어 샤워 장치를 가질 수 있다.
도 11은 도 2의 수동 반송 포트(260)와 수동 반송 유닛(262)을 보여준다.
도 8, 도 9 및 도 11을 참조하면, 수동 반송 포트(260)는 운반물(110) 및 캐리어(120)가 수동 반송 유닛(262)에 의해 반송되는 포트일 수 있다. 수동 반송 유닛(262)은 운반물(110) 및 캐리어(120)를 탑재할 수 있다. 크레인(230) 및 포크(240)는 수동 반송 포트(260) 내의 캐리어(120) 및 운반물(110)를 선반들(220)에 제공할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 수동 반송 포트(260) 및 수동 반송 유닛(262)에는 운반물(110) 및 캐리어(120)의 존재 유무를 감지하는 센서들과, 상기 운반물(110)의 종류를 인식할 수 있는 RFID 센서들이 각각 배치될 수 있다. 수동 반송 포트(260)는 에어 샤워 장치를 가질 수 있다.
도 12는 도 2의 자동 반송 포트(270)를 보여준다. 도 13은 도 1의 자동 반송 유닛(300)을 보여준다.
도 2, 도 3, 도 12 및 도 13을 참조하면, 자동 반송 포트(270)는 운반물(110)을 자동 반송 유닛(300)에 제공하는 포트일 수 있다. 자동 반송 포트(270)는 내부 스테이지들(272)과 외부 스테이지들(274)을 포함할 수 있다. 내부 스테이지들(272)은 스토커 하우징(210)에 연결될 수 있다. 외부 스테이지(274)는 스토커 하우징(210)의 외부에 배치될 수 있다. 내부 스테이지(272)와 외부 스테이지(274)는 새들(saddle, 276)에 의해 연결될 수 있다. 새들(276)은 내부 스테이지들(272)과 외부 스테이지들(724) 사이에 캐리어(120)를 반송할 수 있다. 자동 반송 유닛(300)은 프로브 카드(111) 및 카드 지그(112)를 외부 스테이지(274)에서 로딩할 수 있다. 이와 달리, 자동 반송 유닛(300)은 프로브 카드(111) 및 카드 지그(112)를 외부 스테이지(274)에 언로딩할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 자동 반송 포트(270) 에는 운반물(110) 및 캐리어(120)의 존재 유무를 감지하는 센서들과, 상기 운반물(110)의 종류를 인식할 수 있는 RFID 센서들이 배치될 수 있다. 자동 반송 포트(270)는 에어 샤워 장치를 가질 수 있다.
도 13을 참조하면, 자동 반송 유닛(300)은 주행 부(310), 호이스팅 부(320), 및 핸드 부(340)를 포함할 수 있다. 주행 부(310)는 호이스팅 부(320) 및 핸드 부(340)를 이동시킬 수 있다. 호이스팅 부(320)는 주행 부(310) 및 핸드 부(340) 사이에 배치될 수 있다. 호이스팅 부(320)는 핸드 부(340)를 주행 부(310)에 승강할 수 있다. 호이스팅 부(320)는 리프팅 라인들(330)를 가질 수 있다. 핸드 부(340)는 프로브 카드(111) 및 카드 지그(112)를 붙잡을 수 있다. 도시되지는 않았지만, 주행 부(310)는 적어도 하나의 센서와, 쿠션을 가질 수 있다. 센서는 주행 부(310)에 근접한 물체를 감지할 수 있다. 쿠션은 자동 반송 유닛(300)과 물체의 충돌 시에 충격을 완화시킬 수 있다.
도 14는 도 1의 테스트 유닛(400)을 보여준다.
도 5 및 도 14를 참조하면, 테스트 유닛(400)은 테스터(410)와 로드 포트(420)를 포함할 수 있다. 테스터(410)는 프로브 카드(111)를 이용하여 반도체 기판(미도시)의 전기적 테스트를 수행할 수 있다. 전기적 테스트는 EDS 테스트를 포함할 수 있다. 테스터(410)는 개방 홀(118)을 통해 프로브 카드(111)에 연결될 수 있다. 로드 포트(420)는 테스터(410) 내에 프로브 카드(111)를 제공될 수 있다. 이와 달리, 로드 포트(420)는 테스터(410) 내의 프로브 카드(111)를 외부로 배출할 수 있다.
도 15는 도 13 및 도 14의 자동 반송 유닛(300)의 일부와 로드 포트(420)를 보여준다.
도 15를 참조하면, 핸드 부(340)는 프로브 카드(111) 및 카드 지그(112)를 로드 포트(420) 상에 제공할 수 있다. 위치 정렬 센서(344) 및 반사 판(421)은 레이저 광(345)을 이용하여 핸드 부(340)와 로드 포트(420)를 광학적으로 정렬할 수 있다. 프로브 카드(111) 및 카드 지그(112)는 핸드 부(340)와 로드 포트(420) 사이에 제공될 수 있다.
일 예에 따르면, 로드 포트(420)는 포트 홀(422), 가이드 링(430), 척(440), 리프트 핀들(450), 및 제 3 정렬 핀들(460))을 가질 수 있다. 포트 홀(422)은 로드 포트(420)의 중앙에 형성될 수 있다.
가이드 링(430)은 포트 홀(422)의 내벽에 배치될 수 있다. 가이드 링(430)은 가이드 슬롯들(432)을 가질 수 있다. 가이드 슬롯들(432)은 카드 지그(112)를 지지할 수 있다. 가이드 슬롯들(432)은 카드 지그(112)의 지지 부(116)에 정렬될 수 있다.
척(440)은 포트 홀(422) 내에 배치될 수 있다. 척(440)은 프로브 카드(111)를 지지할 수 있다. 프로브 카드(111) 및 카드 지그(112)는 척(440) 및 핸드 부(340) 사이에 제공될 수 있다.
리프트 핀들(450)은 포트 홀(422) 내에 제공될 수 있다. 리프트 핀들(450)은 제 3 정렬 핀들(460)에 인접하는 척(440)의 아래에 배치될 수 있다. 리프트 핀들(450)은 척(440)을 승강할 수 있다.
제 3 정렬 핀들(460)은 척(440)의 가장자리에 배치될 수 있다. 제 3 정렬 핀들(460)은 척(440) 상의 카드 지그(112)를 정렬할 수 있다. 제 3 정렬 핀들(460)은 제 1 정렬 홀들(115)에 제공될 수 있다.
도 16 및 도 17은 도 15의 그리퍼들(350)의 카드 지그(112) 로딩 과정의 일 예를 보여준다.
도 16을 참조하면, 핸드 부(340)는 핸드 바디(342), 그리퍼들(350), 및 센서들(360)을 포함할 수 있다. 핸드 바디(342)는 그리퍼들(350)를 연결할 수 있다. 그리퍼(350)는 핸드 바디(342)의 아래에 배치될 수 있다. 그리퍼(350)은 핸드 바디(342)의 양측에 이격하여 배치될 수 있다. 그리퍼들(350)은 카드 지그(112)의 양측 가장자리들을 지지할 수 있다. 핸드 바디(342)는 그리퍼들(350) 사이의 카드 지그(112) 및 프로브 카드(111)에 평행할 수 있다. 그리퍼들(350)이 최대 거리(L1)로 멀어지면, 핸드 부(340)는 카드 지그(112)를 놓을 수 있다.
도 17을 참조하면, 그리퍼들(350)이 최소 거리(L2)로 가까워지면, 핸드 부(340)는 카드 지그(112)를 붙잡을 수 있다. 그리퍼들(350)은 핸드 바디(342)의 하부 면을 따라 이동될 수 있다. 예를 들어, 그리퍼들(350)은 수평 방향으로 이동될 수 있다. 지지 부(116)는 그리퍼들(350) 내에 제공될 수 있다. 센서들(360)은 그리퍼들(350) 사이에 배치될 수 있다. 일 예에 따르면, 센서들(360)은 누름 센서를 포함할 수 있다. 프로브 카드(111)는 접합 부(114)의 아래에 배치될 수 있다. 센서들(360)은 프로브 카드(111)의 접촉 없이, 카드 지그(112)와 핸드 부(340)의 결합 여부를 검출할 수 있다. 예를 들어, 센서들(360)는 그리퍼들(350) 사이의 카드 지그(112)를 누를 수 있다. 카드 지그(112)이 그리퍼들(350)에 고정되면, 핸드 바디(342)와 카드 지그(112)는 일정한 거리를 유지할 수 있다. 센서들(360)은 카드 지그(112)와 핸드 부(340)의 결합 상태를 검출할 수 있다. 이와 달리, 그리퍼들(350)이 카드 지그(112)에서 분리되면, 센서들(360)은 핸드 부(340)와 카드 지그(112)의 분리 상태를 검출할 수 있다.
도 18 및 도 19은 도 15의 그리퍼들(350)의 카드 지그(112) 로딩 과정의 다른 예를 보여준다.
도 18을 참조하면, 그리퍼들(350)은 핸드 바디(342)의 양측 가장자리들에 배치될 수 있다. 그리퍼들(350)은 서로 대향하여 배치될 수 있다.
도 19를 참조하면, 그리퍼들(350)은 핸드 바디(342)의 양측 가장자리들에서 아래로 회전될 수 있다. 그리퍼들(350)의 회전 중심은 핸드 바디(342) 내에 배치될 수 있다. 그리퍼들(350)은 최소 거리(L2')로 가까워질 수 있다. 그리퍼들(350)은 카드 지그(112)를 붙잡을 수 있다. 이와 달리, 그리퍼들(350)은 핸드 바디(342)의 아래에서 양측 가장자리들까지 회전될 수 있다. 그리퍼들(350)은 카드 지그(112)를 놓을 수 있다.
도 20은 도 17의 I-I' 선상을 절취하여 나타낸 단면도이다.
도 20을 참조하면, 그리퍼들(350) 각각은 홀딩 바들(352)과 잠금 핀(358)을 포함할 수 있다. 홀딩 바들(352)은 카드 지그(112)를 지지할 수 있다. 예를 들어, 홀딩 바들(352)은 U자 모양을 가질 수 있다. 일 예에 따르면, 홀딩 바들(352)는 수직 바들(354) 및 수평 바(356)를 포함할 수 있다. 수직 바들(354)은 핸드 바디(342)에 연결될 수 있다. 수평 바(356)는 수직 바들(354)을 연결할 수 있다. 도 18의 빗금 친 부분은 수평 바(356) 상의 카드 지그(112)는 단면을 나타낸다.
잠금 핀(358)은 수평 바(356) 상에 배치될 수 있다. 잠금 핀(358)은 카드 지그(112)의 잠금 홀(119) 내에 제공될 수 있다. 잠금 핀(358)은 그리퍼들(350)의 낙하를 방지하는 낙하 방지 핀(gripper safty pin)일 수 있다. 잠금 핀(358)은 수평 바(356)에서부터 약 7mm 정도의 높이를 가질 수 있다.
핸드 부(340)는 제 4 정렬 핀(370)을 가질 수 있다. 제 4 정렬 핀(370)은 핸드 바디(342)에 연결될 수 있다. 제 4 정렬 핀(370)은 잠금 핀(358)에 동일한 방향으로 배치될 수 있다. 제 2 정렬 홀(117)과 잠금 홀(119)은 서로 인접하여 배치되고, 동일한 방향으로 배치될 수 있다. 제 4 정렬 핀(370)과 잠금 핀(358)은 서로 어긋나게 배치될 수 있다. 제 4 정렬 핀(370)은 수직 바들(354) 사이에 배치될 수 있다. 제 4 정렬 핀(370)은 카드 지그(112)의 제 2 정렬 홀(117) 내에 제공될 수 있다. 제 4 정렬 핀(370)은 카드 지그(112)를 정렬할 수 있다.
도 21 및 도 22는 도 20의 잠금 핀(358)과 잠금 홀(119)의 결합 과정을 보여준다.
도 1 및 도 21 및 도 22를 참조하면, 수평 바(356)는 가이드 단차 벽(357)을 가질 수 있다. 가이드 단차 벽(357)은 잠금 핀(358) 보다 높을 수 있다. 센서(360)는 핸드 바디(342)와 카드 지그(112) 사이의 거리를 검출할 수 있다. 카드 지그(112)는 가이드 단차 벽(357)을 따라 수평 바(356) 상에 로딩될 수 있다. 이후, 잠금 핀(358)은 카드 지그(112)의 잠금 홀(119)에 삽입될 수 있다. 카드 지그(112)는 그리퍼(350)에 수평 방향으로 고정될 수 있다. 카드 지그(112) 및 프로브 카드(111)가 자동 반송 유닛(300)에 의해 수평 방향으로 이동될 때, 잠금 핀(358)은 카드 지그(112)를 수평 바(356) 상에 고정할 수 있다.
이상, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들 및 응용 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

Claims (10)


  1. 운반물을 붙잡는 그리퍼들을 갖는 핸드 부;
    상기 핸드 부를 이동하는 주행 부; 및
    상기 핸드 부를 상기 주행 부에 승강시키는 호이스팅 부를 포함하되,
    상기 그리퍼들 각각은:
    상기 운반물의 아래에 제공되어 상기 운반물을 지지하는 홀딩 바; 및
    상기 홀딩 바 상에 돌출되어 상기 운반물을 상기 홀딩 바에 고정하는 적어도 하나의 잠금 핀을 포함하되,
    상기 핸드 부는:
    상기 그리퍼들을 연결하는 핸드 바디를 더 포함하되,
    상기 홀딩 바는:
    상기 핸드 바디의 아래에 연결된 제 1 바들; 및
    상기 제 1 바들 사이에 상기 잠금 핀을 연결하고 상기 운반물의 가장자리를 지지하는 제 2 바를 포함하되,
    상기 제 2 바는 상기 운반물의 상기 가장자리를 따라 제공되는 가이드 단차 벽을 갖는 반송 유닛.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 그리퍼들은 상기 핸드 바디의 하부를 따라 최소 거리로 가까워지거나, 상기 핸드 바디의 양측 가장지리들에서 아래까지 회전하여 상기 운반물을 붙잡는 반송 유닛.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 잠금 핀은 상기 가이드 단차 벽보다 낮은 반송 유닛.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 핸드 부는 상기 제 1 바들 사이의 상기 핸드 바디에 연결되고, 상기 운반물을 정렬하는 정렬 핀을 더 포함하는 반송 유닛.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 정렬 핀은 상기 핸드 바디의 아래에 상기 잠금 핀과 어긋나게 배치되는 반송 유닛.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 핸드 부는 상기 제 1 바들 사이에 배치되고, 상기 운반물에 상기 잠금 핀이 체결되었는지를 검출하는 센서들을 더 포함하는 반송 유닛.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 센서들은 상기 운반물을 상기 잠금 핀 방향으로 누르는 누름 센서를 포함하는 반송 유닛.
  10. 운반물을 수납하는 캐리어;
    상기 운반물 상에 고정되고, 상기 캐리어에 지지되는 운반물 지그; 및
    상기 운반물 및 상기 운반물 지그를 반송하는 반송 유닛을 포함하되,
    상기 반송 유닛은:
    운반물 지그를 붙잡는 그리퍼들을 갖는 핸드 부;
    상기 핸드 부를 이동하는 주행 부; 및
    상기 핸드 부를 상기 주행 부에 승강시키는 호이스팅 부를 포함하되,
    상기 그리퍼들 각각은:
    상기 운반물의 아래에 제공되어 상기 운반물을 지지하는 홀딩 바; 및
    상기 홀딩 바 상에 돌출되어 상기 운반물을 상기 홀딩 바에 고정하는 적어도 하나의 잠금 핀을 포함하되,
    상기 핸드 부는:
    상기 그리퍼들을 연결하는 핸드 바디를 더 포함하되,
    상기 홀딩 바는:
    상기 핸드 바디의 아래에 연결된 제 1 바들; 및
    상기 제 1 바들 사이에 상기 잠금 핀을 연결하고 상기 운반물의 가장자리를 지지하는 제 2 바를 포함하되,
    상기 제 2 바는 상기 운반물의 상기 가장자리를 따라 제공되는 가이드 단차 벽을 갖는 운반물 관리 장치.
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