JP4875332B2 - プローブカード移載補助装置及び検査設備 - Google Patents
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Description
51 プローブカード
52 検査装置
53 通路
54 搬送台車
55 プローブカード移載補助装置
551 保持具(保持部)
551D 連結部材
552 アーム
553 支持体
554 昇降駆動装置
554A エアシリンダ(シリンダ機構)
554B 配管(流路)
554C 電磁バルブ
554D 電空レギュレータ
554E 入力端子
554F 圧力センサ
554H 保持位置検出センサ
Claims (10)
- 電気的検査を行う検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する搬送手段との間で行われる上記プローブカードの移載作業を補助するプローブカード移載補助装置であって、
上記プローブカードを保持する保持部と、
上記保持部が先端部に取り付けられたアームと、
上記アームを支持する旋回自在な支持体と、
上記支持体を介して上記プローブカードをその重量に即して昇降させる昇降駆動装置と、を備え、
上記昇降駆動装置は、上記アームを昇降させるシリンダ機構と、上記シリンダ機構に駆動流体を供給する流路を開閉するバルブと、上記駆動流体の圧力を制御するレギュレータと、上記レギュレータに対して上記プローブカードの重量を予め入力する入力端子と、上記駆動流体の圧力を検出する圧力センサと、上記プローブカードの有無を検出するカード検出センサと、を有する
ことを特徴とするプローブカード移載補助装置。 - 上記保持部は、回転操作により上記プローブカードと連結可能な連結部材を有することを特徴とする請求項1に記載のプローブカード移載補助装置。
- 上記アームは、上記支持体の上端部から水平方向に張り出して伸縮可能に構成されていると共に、上記支持体の上端部を基点に上記支持体側へ折り畳み可能に構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプローブカード移載補助装置。
- 上記保持部は、上記連結部材の回転終端位置を確認するセンサを有することを特徴とする請求項2または請求項3に記載のプローブカード移載補助装置。
- 上記検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する上記搬送手段との間で上記プローブカードの移載作業を補助する際に、上記検査装置と上記搬送手段の間に介在することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のプローブカード移載補助装置。
- 電気的検査を行う検査装置と、上記検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する搬送手段との間で行われる上記プローブカードの移載作業を補助するプローブカード移載補助装置と、を備え、
上記プローブカード移載補助装置は、
上記プローブカードを保持する保持部と、
上記保持部が先端部に取り付けられたアームと、
上記アームを支持する旋回自在な支持体と、
上記支持体を介して上記プローブカードをその重量に即して昇降させる昇降駆動装置と、を備え、
上記昇降駆動装置は、上記アームを昇降させるシリンダ機構と、上記シリンダ機構に駆動流体を供給する流路を開閉するバルブと、上記駆動流体の圧力を制御するレギュレータと、上記レギュレータに対して上記プローブカードの重量を予め入力する入力端子と、上記駆動流体の圧力を検出する圧力センサと、上記プローブカードの有無を検出するカード検出センサと、を有する
ことを特徴とする検査設備。 - 上記保持部は、回転操作により上記プローブカードと連結可能な連結部材を有することを特徴とする請求項6に記載の検査設備。
- 上記アームは、上記支持体の上端部から水平方向に張り出して伸縮可能に構成されていると共に、上記支持体の上端部を基点に上記支持体側へ折り畳み可能に構成されていることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の検査設備。
- 上記保持部は、上記連結部材の回転終端位置を確認するセンサを有することを特徴とする請求項7または請求項8に記載の検査設備。
- 上記検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する上記搬送手段との間で上記プローブカードの移載作業を補助する際に、上記検査装置と上記搬送手段の間に介在することを特徴とする請求項6〜請求項9のいずれか1項に記載の検査設備。
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