JP2007088117A5 - - Google Patents
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- 電気的検査を行う検査装置に用いられるプローブカードの移載作業を補助するプローブカード移載補助装置であって、
上記プローブカードを保持する保持部と、
上記保持部が先端部に取り付けられたアームと、
上記アームを支持する旋回自在な支持体と、
上記支持体を介して上記プローブカードをその重量に即して昇降させる昇降駆動装置と、を備えた
ことを特徴とするプローブカード移載補助装置。 - 上記保持部は、回転操作により上記プローブカードと連結可能な連結部材を有することを特徴とする請求項１に記載のプローブカード移載補助装置。
- 上記アームは、上記支持体の上端部から水平方向に張り出して伸縮可能に構成されていると共に、上記支持体の上端部を基点に上記支持体側へ折り畳み可能に構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプローブカード移載補助装置。
- 上記昇降駆動装置は、上記アームを昇降させるシリンダ機構と、上記シリンダ機構に駆動流体を供給する流路を開閉するバルブと、上記駆動流体の圧力を制御するレギュレータと、上記レギュレータに対して上記プローブカードの重量を予め入力する入力端子と、上記駆動流体の圧力を検出する圧力センサと、上記プローブカードの有無を検出するカード検出センサと、を有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のプローブカード移載補助装置。
- 上記保持部は、上記連結部材の回転終端位置を確認するセンサを有することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のプローブカード移載補助装置。
- 上記検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する搬送手段との間で上記プローブカードの移載作業を補助する際に、上記検査装置と上記搬送手段の間に介在することを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のプローブカード移載補助装置。
- 電気的検査を行う検査装置と、上記検査装置に用いられるプローブカードの移載作業を補助するプローブカード移載補助装置と、を備え、
上記プローブカード移載補助装置は、
上記プローブカードを保持する保持部と、
上記保持部が先端部に取り付けられたアームと、
上記アームを支持する旋回自在な支持体と、
上記支持体を介して上記プローブカードをその重量に即して昇降させる昇降駆動装置と、を備えた
ことを特徴とする検査設備。 - 上記保持部は、回転操作により上記プローブカードと連結可能な連結部材を有することを特徴とする請求項７に記載の検査設備。
- 上記アームは、上記支持体の上端部から水平方向に張り出して伸縮可能に構成されていると共に、上記支持体の上端部を基点に上記支持体側へ折り畳み可能に構成されていることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の検査設備。
- 上記昇降駆動装置は、上記アームを昇降させるシリンダ機構と、上記シリンダ機構に駆動流体を供給する流路を開閉するバルブと、上記駆動流体の圧力を制御するレギュレータと、上記レギュレータに対して上記プローブカードの重量を予め入力する入力端子と、上記駆動流体の圧力を検出する圧力センサと、上記プローブカードの有無を検出するカード検出センサと、を有することを特徴とする請求項７〜請求項９のいずれか１項に記載の検査設備。
- 上記保持部は、上記連結部材の回転終端位置を確認するセンサを有することを特徴とする請求項７〜請求項１０のいずれか１項に記載の検査設備。
- 上記検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する搬送手段との間で上記プローブカードの移載作業を補助する際に、上記検査装置と上記搬送手段の間に介在することを特徴とする請求項７〜請求項１１のいずれか１項に記載の検査設備。
- 検査装置の近接領域にプローブカードを搬送する工程と、上記プローブカードを上記検査装置まで搬送する工程と、上記プローブカードを被検査体に接触させて電気的検査を行う工程と、を備えた検査方法であって、
上記プローブカードを上記検査装置まで搬送する工程は、
上記プローブカードを保持する工程と、
上記プローブカードを昇降させる工程と、
上記プローブカードをある点を中心に旋回する工程と、を有することを特徴とする検査方法。 - 上記プローブカードを昇降させる工程に先立って、上記プローブカードの有無を検出する工程を有することを特徴とする請求項１３に記載の検査方法。
- 上記プローブカードを昇降させる工程は、上記プローブカードの重量に対応して上記プローブカードを昇降させる力を制御する工程を有することを特徴とする請求項１３または請求項１４に記載の検査方法。
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