TWI410632B - Probe card loading support device, testing equipment and detection methods - Google Patents

Description

探針卡移載補助裝置，檢測設備及檢測方法

本發明係關於具備有複數台利用探針卡來進行晶圓等被檢測體的電性特性檢測之檢測裝置之檢測設備及檢測方法，更詳細為關於，在檢測設備內，於檢測裝置與搬運台車之間補助探針卡的移載作業之探針卡移載補助裝置、檢測設備及檢測方法。

此種檢測裝置例如如第7圖所示般，係具備：搬運被檢測體(例如晶圓)W之載入室1、及與載入室1鄰接，且進行從載入室1接受的晶圓W的電性特性檢測之針測器室2所構成。針測器室2係如同一圖所示般，具備：配設為可以在X、Y、Z及θ方向移動，且用來載置晶圓的載置台(晶圓吸盤)3、及配置於此晶圓吸盤3的上方之含有卡保持器探針卡4、及保持探針卡4之夾持機構5。在針測器室2內，在晶圓吸盤3往X、Y、Z及θ方向移動之間，藉由對準機構6進行晶圓W與探針卡4的探針銷4A的對準後，一面進行晶圓W的分割進給，並且實行晶圓的電性特性檢測。另外，對準機構6係具有上部相機6A及下部相機6B。T係測試頭。

然後，在將探針卡4裝脫於針測器室2內的夾持機構5之情形時，例如，使用本申請人在日本專利特開2001-24039號中所提出之卡搬運裝置。此卡搬運裝置係如第8 圖所示般，具備：晶圓吸盤3、及在與此晶圓吸盤3之間，交接探針卡4之交接機構7。交接機構7係如第8圖所示般，具備：可以裝脫自如地保持含卡保持器探針卡4之轉接器8、及以可以裝脫自如地保持此轉接器8之方式，前端部被分成二股之叉狀的臂9、及將此臂9往箭頭A所示方向壓入，將此探針卡4移動導引至交接位置之一對的導引滑軌10、及固定這些滑軌10之臂支撐體11，且在臂9與被裝著於晶圓吸盤3之轉接器支撐體12之間，進行搭載有探針卡4之轉接器8的交接。

然後，使用卡搬運裝置，來將探針卡4裝著於夾持機構5之情形時，作業員等將探針卡4設置於交接機構7上之後，藉由卡搬運裝置而搬運至夾持機構5的正下方，由此位置使晶圓吸盤3上昇後，以夾持機構5來將探針卡4固定於檢測裝置本體側。另外，在第8圖中，13係將交接機構7往與箭頭B相反方向折疊而收容之收容部。

可是，在將探針卡4設置於卡搬運裝置之情形時，作業員需要從特定的收容架將探針卡4搬運設置至檢測裝置，作業員需要使用搬運台車等從收容架運送至檢測裝置，從搬運台車移載設置於卡搬運裝置等作業。

可是，伴隨近年來之探針卡4的大型化，其重量大重量化至15~25Kg，例如，作業員等將探針卡4從搬運台車舉起，移載至卡搬運裝置而予以設置時，需要大的力量，除此之外，在將探針卡4舉起時，抓取部分受到限制，處理上需要很慎重，存在有對作業員施加過度負擔的問題。

本發明係為了解決前述課題所完成者，目的在提供：即使是大重量化之探針卡，也能減輕作業員的負擔，能夠順利地移載探針卡之探針卡移載補助裝置、檢測裝置及檢測方法。

本發明之申請專利範圍第1項所記載之探針卡移載補助裝置，係補助電性檢測裝置所使用的探針卡的移載作業，其特徵為具備：保持前述探針卡的保持部、及以某點為中心而可以旋轉自如地支撐前述保持部的支撐部、及使前述支撐部升降的手段。

另外，本發明之申請專利範圍第2項所記載之探針卡移載補助裝置，係如申請專利範圍第1項所記載之發明，前述保持部為具有：藉由旋轉操作而可以與前述探針卡連結的連結構件。

另外，本發明之申請專利範圍第3項所記載之探針卡移載補助裝置，係如申請專利範圍第1或2項所記載之發明，前述保持部，係被安裝於可以從前述支撐體伸出之手臂。

另外，本發明之申請專利範圍第4項所記載之探針卡移載補助裝置，係如申請專利範圍第3項所記載之發明，前述支撐部的升降手段，係具有：使前述手臂升降的氣缸機構、及開關對前述氣缸機構供給驅動流體的流路之閥門、及控制前述驅動流體的壓力之調壓器、及對前述調壓器事先輸入前述探針卡的重量之輸入端子、及檢測前述驅動流體的壓力之壓力感測器。

另外，本發明之申請專利範圍第5項所記載之探針卡移載補助裝置，係如申請專利範圍第1~4項中任一項所記載之發明，前述支撐部的升降手段，其構成係對將前述探針卡上推之方向賦予補助力。

另外，本發明之申請專利範圍第6項所記載之探針卡移載補助裝置，係如申請專利範圍第5項所記載之發明，前述補助力係對應前述探針卡的重量而可以變更。

另外，本發明之申請專利範圍第7項所記載之探針卡移載補助裝置，係如申請專利範圍第1~6項中任一項所記載之發明，前述保持部係具有確認前述連結構件的旋轉終端位置的感測器。

另外，本發明之申請專利範圍第8項所記載之探針卡移載補助裝置，係如申請專利範圍第1~7項中任一項所記載之發明，係附設於前述檢測裝置中。

另外，本發明之申請專利範圍第9項所記載之探針卡移載補助裝置，係如申請專利範圍第1~7項中任一項所記載之發明，於前述檢測裝置與搬運前述檢測裝置所使用的探針卡之搬運手段之間，補助前述探針卡的移載作業時，係介於前述檢測裝置與前述搬運手段之間。

另外，本發明之申請專利範圍第10項所記載之探針卡移載補助裝置，係如申請專利範圍第9項所記載之發明，前述搬運手段，係搬運台車。

另外，本發明之申請專利範圍第11項所記載之檢測設備，係具備：電性檢測裝置、及補助此電性檢測裝置所使用的探針卡的移載作業之探針卡移載補助裝置；前述探針卡移載補助裝置，係具備：保持前述探針卡的保持部、及以某點為中心而可以旋轉自如地支撐前述保持部的支撐部、及使前述支撐部升降的手段。

另外，本發明之申請專利範圍第12項所記載之檢測設備，係如申請專利範圍第11項所記載之發明，前述保持部，係具有：藉由旋轉操作而可以與前述探針卡連結的連結構件。

另外，本發明之申請專利範圍第13項所記載之檢測設備，係如申請專利範圍第11或12項所記載之發明，前述保持部，係被安裝於可以從前述支撐體伸出之手臂。

另外，本發明之申請專利範圍第14項所記載之檢測設備，係如申請專利範圍第13項所記載之發明，前述支撐部的升降手段，係具有：使前述手臂升降的氣缸機構、及開關對前述氣缸機構供給驅動流體的流路之閥門、及控制前述驅動流體的壓力之調壓器、及對前述調壓器事先輸入前述探針卡的重量之輸入端子、及檢測前述驅動流體的壓力之壓力感測器。

另外，本發明之申請專利範圍第15項所記載之檢測設備，係如申請專利範圍第11~14項中任一項所記載之發明，前述支撐部的升降手段，其構成係對將前述探針卡上推之方向賦予補助力。

另外，本發明之申請專利範圍第16項所記載之檢測設備，係如申請專利範圍第15項所記載之發明，前述補助力係對應前述探針卡的重量而可以變更。

另外，本發明之申請專利範圍第17項所記載之檢測設備，係如申請專利範圍第11~16項中任一項所記載之發明，前述保持部係具有確認前述連結構件的旋轉終端位置的感測器。

另外，本發明之申請專利範圍第18項所記載之檢測設備，係如申請專利範圍第11~17項中任一項所記載之發明，係附設於前述檢測裝置中。

另外，本發明之申請專利範圍第19項所記載之檢測設備，係如申請專利範圍第11~18項中任一項所記載之發明，於前述檢測裝置與搬運前述檢測裝置所使用的探針卡之搬運手段之間，補助前述探針卡的移載作業時，係介於前述檢測裝置與前述搬運手段之間。

另外，本發明之申請專利範圍第20項所記載之檢測設備，係如申請專利範圍第19項所記載之發明，前述搬運手段，係搬運台車。

另外，本發明之申請專利範圍第21項所記載之檢測方法，係具備有：對檢測裝置的接近區域搬運探針卡的工程、及將前述探針卡搬運至前述檢測裝置的工程、及使前述探針卡與被檢測體接觸來進行電性檢測的工程，其特徵為：將前述探針卡搬運至前述檢測裝置的工程，係具有：保持前述探針卡的工程、及使前述探針卡升降的工程、及以某點為中心來使前述探針卡旋轉的工程。

另外，本發明之申請專利範圍第22項所記載之檢測方法，係如申請專利範圍第21項所記載之發明，前述檢測裝置係配置有複數台，對前述檢測裝置的接近區域搬運前述探針卡的工程，係藉由可以移動在沿著前述複數的檢測裝置而設置的通路之搬運台車，來搬運前述探針卡。

另外，本發明之申請專利範圍第23項所記載之檢測方法，係如申請專利範圍第21或22項所記載之發明，在使前述探針卡升降的工程之前，具有檢測前述探針卡之有無的工程。

另外，本發明之申請專利範圍第24項所記載之檢測方法，係如申請專利範圍第21~23項中任一項所記載之發明，使前述探針卡升降的工程，係具有：藉由供給至氣缸機構的驅動流量，來控制對應前述探針卡的重量，使前述探針卡升降的力量的工程。

如依據本發明之申請專利範圍第1~24項所記載之發明，可以提供：即使是重量化的探針卡，也可以減輕作業員的負擔之探針卡移載補助裝置、檢測設備及檢測方法。

以下，依據第1圖~第6圖所示之實施形態來說明本發明。另外，第1圖係表示本發明之檢測設備的一實施形態之平面圖，第2(a)、(b)圖係分別表示在第1圖所示之檢測設備中，使用探針卡移載補助裝置來移載探針卡之狀態的斜視圖，第3(a)、(b)圖係分別表示適用於第1圖所示之檢測設備的探針卡移載補助裝置之斜視圖，(a)圖係其整體圖，(b)圖係表示手臂的前端部之圖，第4(a)、(b)圖係分別表示第3圖所示之探針卡移載補助裝置之斜視圖，(a)係表示縮回手臂之狀態的整體圖，(b)係表示折疊手臂之狀態的整體圖，第5(a)、(b)圖係分別表示被以第3圖所示之探針卡移載補助裝置所移載的探針卡之斜視圖，(a)係從其上方之整體圖，(b)係從其下方之整體圖，第6圖係表示第2圖所示之探針卡移載補助裝置的升降驅動裝置的構成區塊圖。

本實施形態之檢測設備50例如係如第1圖所示般，具備：具有進行被檢測體(例如晶圓)(未圖示出)之電性特性檢測用之探針卡51的檢測裝置52、及依循配置有複數台此檢測裝置52之通路53，來搬運探針卡51之搬運台車54、及在此搬運台車54與設置於各檢測裝置52的裝置本體52A之卡搬運裝置52B之間，補助探針卡51的移載作業之探針卡移載補助裝置55所構成。在該圖中，檢測裝置52係在檢測頭T藉由旋轉驅動機構52C而往通路53側旋轉之狀態下所被顯示。探針卡51係被保管於收容架(未圖示出)，在更換探針卡51時，利用搬運台車54而被搬運於收容架與複數的檢測裝置52之間。另外，在第1圖中，只圖示1台的檢測裝置52。

但是，前述探針卡51由於伴隨晶圓之大口徑化或IC晶片的超高集成化等而大型化、大重量化，不單作業員在運送上，就算在檢測裝置52與搬運台車54的卡搬運裝置52B之間進行移載作業，也擔負很大的負擔。因此，在本實施形態中，作業員在運送探針卡51之情形時，使用搬運台車54，在檢測裝置52與搬運台車54的卡搬運裝置52B之間進行探針卡51的移載作業之情形時，使用探針卡移載補助裝置55，來減輕作業員的負擔。作業員在使用探針卡移載補助裝置55之情形時，以探針卡移載補助裝置55的保持工具來保持卡搬運裝置52B上或搬運台車54上的探針卡51，只在進行解除保持作業時，可以格外減輕實質上之費力工作。作業員操作探針卡移載補助裝置55來移載探針卡51之情形時，係如第2(a)、(b)圖所示般，在搬運台車54與檢測裝置52的卡搬運裝置52B之間移載探針卡51。另外，搬運台車54係具有設置成涵蓋複數段而可伸出之棚架，可來收容複數片探針卡51，於這些棚架收容被收容在托盤之探針卡51。

然後，前述探針卡移載補助裝置55係如第3(a)圖所示般，具備：保持探針卡51之保持件551、及此保持件551被安裝於前端部之可伸縮手臂552、及支撐此手臂552之可以旋轉的支撐體553、及構成藉由此支撐體553來重量區分探針卡51而使升降之升降驅動裝置554的氣缸554A，且被附設於檢測裝置52之側方。

前述手臂552係如第3(a)圖第4(a)圖所示般，具有：第1手臂552A、及對第1手臂552A可以滑動自如地被安裝之第2手臂552B，第2手臂552B係構成為可對第1手臂552A前後移動而伸縮。手臂552的長度，係做成第2手臂552B不滑動於第1手臂552A，利用調整構件552D來固定於第1手臂552A而做適當設定。此手臂552係如各圖所示般，第1手臂552A的基端部被銷接合於被固定在支撐體553的上端部之連結件555，在最為縮回之狀態下，係如第4(b)圖所示般，構成為可往支撐體553側折疊。於手臂552的基端部安裝有第1銷552C，於支撐體553的上下方向中間安裝有具有銷之托架556。而且，連桿557的兩端部被連結於第1銷552C與托架556之銷。因此，於連桿557的手臂552側的端部安裝有第2銷557A，另外，於支撐體553側的連結件555的側面安裝有掛接構件558。將此掛接構件558掛接於第2銷557A，使連桿557不會從托架556的銷脫離。

前述支撐體553級氣缸554A係如第3(a)圖所示般，都被連結於可以旋轉自如地被安裝於基台559的前端部之旋轉體560，與旋轉體560一體地旋轉，可在基台559的側方旋轉所構成。導引構件561係涵蓋略微全長被安裝於支撐體553的基台559側的垂直端面，此導引構件561 係沿著對基台559側的旋轉體560被安裝於垂直方向之導引滑軌562(參照第4(a)圖)而可以滑動自如地結合。另外，氣缸554A係氣缸的下端被連結於從旋轉體560垂下之支柱563的下端。氣缸桿的上端被連結於支撐體553的上端部。因此，支撐體553係藉由氣缸554A驅動，而順著導引滑軌562升降。

另外，前述保持件551係如第3(b)圖所示般，具有：從第2手臂552B的前端垂下而被裝著之旋轉軸551A、及分別被安裝於旋轉軸551A之中間及其下方之圓形構件551B及三角構件551C、及與被安裝於旋轉軸551A的下端之探針卡551的連結構件551D、及從旋轉軸551A往直徑方向延伸設置的操作手柄551E、及鎖住操作手柄551E之鎖住構件551F，藉由操作手柄551E來旋轉操作連結構件551D，保持保持件551與探針卡51，藉由鎖住構件551F來將操作手柄551E鎖住於保持位置。另外，操作手柄551E在被鎖住狀態下，可以旋轉操作手臂552。連結構件551D係具有：從圓板的周面往外周方向相互分開180。之位置，往水平方向延伸存在之突出部，此突出部係具有進入形成在探針卡51側之溝內，來保持探針卡51的功能。

另外，於前述三角構件551C內設置有例如光學性地檢測探針卡51之後述的卡檢測感測器554G。另外，如第3圖之(b)所示般，於前述三角構件551C的上面設置有：在將操作手柄551E操作至保持探針卡之側時，例如以 靜電容量來檢測操作手柄551E的位置之保持位置檢測感測器554H。於操作手柄551E設置有操作開關554I，一握住操作手柄551E時，操作開關554I作用，一放開操作手柄551E時，操作開關554I切斷。這些卡檢測感測器554G、保持位置檢測感測器554H及操作開關554I，係如之後敘述般，構成升降驅動裝置554的一部分。

以前述探針卡移載補助裝置55所處理之探針卡51，例如係如第5圖之(a)、(b)所示般所構成。即探針卡51係如同圖所示般，具有：例如由電路基板所形成之卡本體51A、及被安裝於卡本體51A的上面之補強構件51B、及被安裝於卡本體51A的下面中央部之具有複數探針銷的接觸器51C。補強構件51B係由：形成於卡本體51A的中央部之矩形部51D、及由矩形部51D放射狀地延伸至卡本體51A的外周之放射狀部51E、及形成於放射狀部51E的直徑方向中間之環狀部51F所形成。於矩形部51D的上面左右分別藉由安裝構件51G而安裝有一對的把手51H。

於左右的安裝構件51G的對向面形成有形成於保持件551的連結構件551D之突出部進入的溝51I。因此，調整連結構件551D使得一對的突出部來到左右的安裝構件51G之間，一操作保持件551的操作手柄551E時，一對的突出部進入左右的溝51I內，能以保持件551來保持探針卡51。

前述升降驅動裝置554例如如第6圖所示般，係具有：氣缸554A、及開關對氣缸554A供給驅動流體(壓縮空 氣)之配管554B的電磁閥(例如3口閥)554C、及依據探針卡51的重量來控制壓縮空氣的壓力之電空調節器554D、及對電空調節器554D事先選擇符合探針卡51的重量之壓縮空氣的壓力值而予以輸入之輸入端子554E、及檢測壓縮空氣的壓力之壓力感測器554F，依據來自輸入端子554E的輸入值，電磁閥554C與電空調節器554D協同動作來驅動控制氣缸554A。進而，升降驅動裝置554係具有：檢測探針卡51的有無之卡檢測感測器554G、及檢測操作手柄551E已移動到保持探針卡51的保持位置之保持位置檢測感測器554H、及握住操作手柄551E而操作時作用之操作開關554I，如之後敘述般，卡檢測感測器554G與保持位置檢測感測器554H與壓力感測器554F與操作開關554I合作來開關控制電磁閥554C與電空調節器554D。

即前述卡檢測感測器554G、保持位置檢測感測器554H、壓力感測器554F及操作開關554I係分別藉由控制部554J而對輸入端子554E電性連接，只在卡檢測感測器554G、保持位置檢測感測器554H、壓力感測器554F及操作開關554I全部已成為導通狀態時，藉由控制部554J而依據輸入端子554E的輸入值，電空調節器554D一動作時，電磁閥554C成為開狀態。

進一步而言，卡檢測感測器554G、保持位置檢測感測器554H、壓力感測器554F及操作開關554I全部導通時，藉由控制部554J，開啟電磁閥554C，在電空調節器 554D的控制下，對氣缸554A供給壓縮空氣。另外，卡檢測感測器554G、保持位置檢測感測器554H、壓力感測器554F及操作開關554I之中即使一個為關閉時，藉由控制部554J，關閉電磁閥554C，將壓縮空氣密封於氣缸554A內，止住氣缸554A的動作，在下降中途使手臂552停止。例如，探針卡51的重量比輸入端子554E的輸入重量還大時，握住操作手柄551E使手臂552旋轉時，氣缸554A的上推力不足，手臂552因為自重而開始下降。此時，操作手柄551E如從未注意及此之作業員的手離開時，操作開關554I變成關閉，關閉電磁閥554C，至此被供給至氣缸554A的壓縮空氣被密封於氣缸554A內。藉此，手臂552因探針卡51的自重而下降，在壓縮空氣的作用下，手臂552在中途停止，可以防止探針卡51的落下。另外，即使對輸入端子554E設定探針卡51的重量為過小之情形時，操作手柄551E離開作業員的手，與前述之情形相同，能使氣缸554A的急遽上昇停止。另外，第6圖中，554K係霧氣分離器。

接著，說明動作。在檢測設備50中，作業員在裝著或更換檢測設備52的探針卡時，從收容架取出探針卡51，將必要數目的探針卡51與托盤一同收容於搬運台車升降驅動裝置554。然後，如第1圖及第2圖之(a)、(b)所示般，將搬運台車升降驅動裝置554移動至目的之檢測裝置52。

作業員將與托盤一同被收容於棚架上之探針卡51於 載置於棚架之狀態下，從搬運台車升降驅動裝置554予以取出，且載置於搬運台車升降驅動裝置554的上面。使用探針卡移載補助裝置55只將探針卡51移載於檢測裝置52。在使用探針卡移載補助裝置55之情形時，藉由升降驅動裝置554的輸入端子554E而事先設定探針卡51的重量。然後，舉起手臂552，使用連桿557來使手臂552成為水平狀態。在此狀態下，操作操作手柄551E，使手臂552旋轉至探針卡51的正上方，將保持件551調整至探針卡51的中央。

因此，在將操作手柄551E朝向探針卡51壓下，且使保持件551的連結構件551D接觸到探針卡51的中心部後，旋轉操作操作手柄551E，使連結構件551D的突出部進入形成於探針卡51的安裝構件51G的溝51I內後，操作鎖住構件551F，將操作手柄551E固定。此時，卡檢測感測器554G檢測探針卡51，並且以保持位置檢測感測器554H來檢測操作手柄551E位於探針卡保持位置。然後此時，作業員握住操作手柄551E時，操作開關554I成為導通，另一方面，壓力感測器554F檢測正常的壓縮空氣之壓力而成為導通，電磁閥554C成為開啟狀態，在電空調節器554D的控制下，依據探針卡51的輸入重量之特定壓力的壓縮空氣被供給至氣缸554A內。藉此，手臂552在從搬運台車54的棚架舉起探針卡51之方向被賦予補助力。在此狀態下，作業員藉由操作手柄551E而從搬運台車54的棚架將探針卡51舉起，進而，將手臂52往檢測裝置 52側旋轉，把探針卡51搬運至檢測裝置52的卡搬運裝置52B的正上方。

在卡搬運裝置52B的正上方壓下操作手柄551E，使探針卡51落在卡搬運裝置52B上後，解除保持件551的鎖住構件551F，轉動操作手柄551E，使連結構件551D的突出部從溝511脫離，結束探針卡51的移載作業。

但是，萬一將探針卡51的重量錯誤當成例如比實際的重量還輕而輸入輸入端子554E，握住操作手柄551E，操作開關554I成為導通，氣缸554A在電空調節器554D的控制下動作時，在轉動手臂552之時，手臂552因探針卡51的過大重量而下降，操作手柄551E有時會由作業員的手離開。在此情形，操作開關554I自動地成為關閉，將電磁閥554C予以關閉，將目前為止被供給至氣缸554A內的壓縮空氣予以密封。藉此，手臂552即使少許下降，藉由其間之氣缸554A內的壓縮空氣的昇壓，手臂552的下降在中途停止，探針卡51不會與搬運台車54等衝突，可以防止探針卡51之損傷。

另外，即使在從檢測裝置52而將探針卡51移載至搬運台車54之情形時，藉由以前述之順序來使用探針卡移載補助裝置55，可以順利地移載探針卡51。

如以上說明般，如依據本實施形態，係一種檢測設備50，具備有：具有進行晶圓之電性特性檢測之探針卡51的檢測裝置52(第1圖中，只圖示1台)、及依循配置有複數台此檢測裝置52之通路53，來搬運探針卡51之搬運台車54、及在此搬運台車54與設置於各檢測裝置52的裝置本體52A之卡搬運裝置52B之間，補助探針卡51的移載作業之探針卡移載補助裝置55，探針卡移載補助裝置55係具備：保持探針卡51之保持件551、及此保持件551被安裝於前端部之可以伸縮的手臂552、及支撐此手臂552之可以旋轉自如的升降驅動裝置554，以保持件551來保持探針卡51，以升降驅動裝置554來將手臂552從搬運台車54或檢測裝置52的卡搬運裝置52B舉起，只將手臂552旋轉，可以在搬運台車54與檢測裝置52支卡搬運裝置52B之間，容易地移載探針卡51，可以格外地減輕作業員的負擔。另外，手臂552係旋轉來使被以保持件551所保持的探針卡51移動，可以將以手臂552的基端為中心之移動範圍抑制在最小限度。因此，為了檢測設備50的省空間化，複數的檢測裝置52密集，相鄰之檢測裝置52間的間隔狹窄，即使在此間隙無法配置搬運台車54，也可以確保從配置於通路53的搬運台車54往檢測裝置52側之手臂552的旋轉區域，並且，可以確保作業員進入的空間。

另外，如依據本實施形態，保持件551係具有藉由操作手柄551E的旋轉操作能與探針卡51連結的連結構件551D，所以，在藉由保持件551的操作手柄551E只使連結構件551D旋轉操作，可以使保持件551簡單地保持探針卡51。

另外，手臂552係從支撐體553的上端部往水平方向突出，可以對支撐體553側折疊，在不使用探針卡移載補助裝置55時，可以緻密地收容於檢測裝置52的側方，能將潔淨室的佔有空間限制在最小限度內。

另外，升降驅動裝置554係具有：使手臂552升降之氣缸554A、及開關對氣缸554A供給壓縮空氣之配管554B之電磁閥554C、及依據探針卡51的重量來控制壓縮空氣的壓力之電空調節器554D、及對電空調節器554D事先輸入探針卡51的重量之輸入端子554E、及檢測壓縮空氣的壓力之壓力感測器554F，可以依據探針卡51的重量來控制氣缸554A的驅動力。另外，以重量感測器來測定探針卡51的重量，依據測定重量來控制氣缸554A的驅動力亦可。

另外，升降驅動裝置554係具有：檢測探針卡51的有無之卡檢測感測器554G，卡檢測感測器554G與輸入端子554E合作來使電空調節器554D動作，可以依據探針卡51的重量來驅動氣缸554A。進而，升降驅動裝置554係具有在操作手臂552時作用的操作開關554I，操作開關554I與壓力感測器554F合作來開關電磁閥554C，操作手柄551E從作業員的手分開時，關閉電磁閥554C，可以抑制手臂552因探針卡51的自重而下降，能夠防止探針卡51的損傷。

另外，本發明並不受限於前述實施形態，可以因應需要來設計變更各構成要素。

〔產業上之利用可能性〕

本發明可以合適地使用於配置複數台具備有探針卡之檢測裝置的檢測設備。

50．．．檢測設備

51．．．探針卡

52．．．檢測裝置

53．．．通路

54．．．搬運台車

55．．．探針卡移載補助裝置

551．．．保持件(保持部)

551A．．．旋轉軸

551B．．．圓形構件

551C．．．三角構件

551D．．．連結構件

551E．．．操作手柄

551F．．．鎖住構件

552．．．手臂

552A．．．第1手臂

552B．．．第2手臂

552C．．．第1銷

552D．．．調整構件

553．．．支撐體

554．．．升降驅動裝置

554A．．．氣缸(氣缸機構)

554B．．．配管(流路)

554C．．．電磁閥

554D．．．電空調節器

554E．．．輸入端子

554F．．．壓力感測器

554H．．．保持位置檢測感測器

555．．．連結件

556．．．托架

557．．．連桿

558．．．掛接構件

559．．．基台

560．．．旋轉體

561．．．導引構件

563．．．支柱

第1圖係表示本發明之檢測設備的一實施形態之平面圖。

第2(a)、(b)圖係分別表示在第1圖所示之檢測設備中，使用探針卡移載補助裝置來移載探針卡之狀態的斜視圖。

第3(a)、(b)圖係分別表示適用於第1圖所示之檢測設備的探針卡移載補助裝置之斜視圖，(a)係其整體圖，(b)係表示手臂的前端部。

第4(a)、(b)圖係分別表示第3圖所示之探針卡移載補助裝置的斜視圖，(a)係表示縮回手臂之狀態的整體圖，(b)係表示將手臂折疊之狀態的整體圖。

第5(a)、(b)圖係分別表示以第3圖所示之探針卡移載補助裝置而被移載之探針卡的斜視圖，(a)係從其上方之整體圖，(b)係從其下方之整體圖。

第6圖係表示第3圖所示之探針卡移載補助裝置的升降驅動裝置之構成區塊圖。

第7圖係表示部分地剖開以往之檢測裝置的一例之正面圖。

第8圖係適用於第7圖所示之檢測裝置的探針卡搬運裝置之動作說明圖。

55．．．探針卡移載補助裝置

551．．．保持件(保持部)

551A．．．旋轉軸

551B．．．圓形構件

551C．．．三角構件

551D．．．連結構件

551E．．．操作手柄

551F．．．鎖住構件

552．．．手臂

552A．．．第1手臂

552B．．．第2手臂

552C．．．第1銷

552D．．．調整構件

553．．．支撐體

554A．．．氣缸(氣缸機構)

555．．．連結件

556．．．托架

557．．．連桿

558．．．掛接構件

559．．．基台

560．．．旋轉體

561．．．導引構件

563．．．支柱

Claims (23)

1. 一種探針卡移載補助裝置，係補助電性檢測裝置所使用的探針卡的移載作業，其特徵為具備：保持前述探針卡的保持部；以某點為中心而可以旋動自如地支撐前述保持部的支撐部；及使前述支撐部升降的手段；前述保持部，係具有：藉由旋轉操作而可以與前述探針卡連結的連結構件；操作前述連結構件的操作手柄；及保持位置檢測感測器，用以檢測前述操作手柄之位置，檢測前述操作手柄是否位於探針卡保持位置。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之探針卡移載補助裝置，其中：前述保持部，係被安裝於從前述支撐體伸出之可伸縮之手臂。
3. 如申請專利範圍第2項所記載之探針卡移載補助裝置，其中：前述支撐部的升降手段，係具有：使前述手臂升降的氣缸機構；及開關對前述氣缸機構供給驅動流體的流路之閥門；控制前述驅動流體的壓力之調壓器；前述調壓器依據探針卡之重量被控制，對前述調壓器事先輸入前述探針卡的重量之輸入端子；及檢測前述驅動流體的壓力之壓力感測器。
4. 如申請專利範圍第1項所記載之探針卡移載補助裝置，其中：前述支撐部的升降手段，其構成係對將前述探針卡上推之方向賦予補助力。
5. 如申請專利範圍第4項所記載之探針卡移載補助裝置，其中：前述補助力，係對應前述探針卡的重量而可以變更。
6. 如申請專利範圍第1項所記載之探針卡移載補助裝置，其中：附設於前述檢測裝置中。
7. 如申請專利範圍第1項所記載之探針卡移載補助裝置，其中：於前述檢測裝置與搬運前述檢測裝置所使用的探針卡之搬運手段之間，補助前述探針卡的移載作業時，係介於前述檢測裝置與前述搬運手段之間。
8. 如申請專利範圍第7項所記載之探針卡移載補助裝置，其中：前述搬運手段，係搬運台車。
9. 如申請專利範圍第1項之探針卡移載補助裝置，其中上述昇降手段，係具有探針卡檢測感測器，用於檢測上述探針卡之有無。
10. 一種檢測設備，其特徵為：具備：電性檢測裝置；及補助此電性檢測裝置所使用的探針卡的移載作業之探針卡移載補助裝置；前述探針卡移載補助裝置，係具備：保持前述探針卡的保持部；以某點為中心而可以旋動自如地支撐前述保持部的支撐部；及使前述支撐部升降的手段；前述保持部，係具有：藉由旋轉操作而可以與前述探 針卡連結的連結構件；操作前述連結構件的操作手柄；及保持位置檢測感測器，用以檢測前述操作手柄之位置，檢測前述操作手柄是否位於探針卡保持位置。
11. 如申請專利範圍第10項所記載之檢測設備，其中：前述保持部，係被安裝於從前述支撐體伸出之可伸縮之手臂。
12. 如申請專利範圍第11項所記載之檢測設備，其中：前述支撐部的升降手段，係具有：使前述手臂升降的氣缸機構；開關對前述氣缸機構供給驅動流體的流路之閥門；控制前述驅動流體的壓力之調壓器；對前述調壓器事先輸入前述探針卡的重量之輸入端子；及檢測前述驅動流體的壓力之壓力感測器。
13. 如申請專利範圍第10項所記載之檢測設備，其中：前述支撐部的升降手段，其構成係對將前述探針卡上推之方向賦予補助力。
14. 如申請專利範圍第13項所記載之檢測設備，其中：前述補助力係對應前述探針卡的重量而可以變更。
15. 如申請專利範圍第10項所記載之檢測設備，其中：於前述檢測裝置附設有前述探針卡移載補助裝置。
16. 如申請專利範圍第10項所記載之檢測設備，其中：於前述檢測裝置與搬運前述檢測裝置所使用的探針卡之搬運手段之間，補助前述探針卡的移載作業時，係使前述探針卡移載補助裝置介於前述檢測裝置與前述搬運手段之間。
17. 如申請專利範圍第16項所記載之檢測設備，其中：前述搬運手段，係搬運台車。
18. 如申請專利範圍第10項之探針卡移載補助裝置，其中上述昇降手段，係具有探針卡檢測感測器，用於檢測上述探針卡之有無。
19. 一種檢測方法，係具備有：(a)對檢測裝置的接近區域搬運探針卡的工程；(b)將前述探針卡搬運至前述檢測裝置的工程；及使前述探針卡與被檢測體接觸來進行電性檢測的工程；其特徵為：將前述探針卡搬運至前述檢測裝置的工程(b)，係具有：保持前述探針卡的工程；及使前述探針卡升降的工程；以某點為中心使前述探針卡旋動的工程；及使用保持位置檢測感測器來檢測操作前述連結構件的操作手柄之位置，據以檢測前述操作手柄是否位於探針卡保持位置的工程。
20. 如申請專利範圍第19項所記載之檢測方法，其中：前述檢測裝置係配置有複數台，對前述檢測裝置的接近區域搬運前述探針卡的工程(a)，係藉由可以移動在沿著前述複數台檢測裝置而設置的通路之搬運台車，來搬運前述探針卡。
21. 如申請專利範圍第19項或第20項所記載之檢測 方法，其中：使前述探針卡升降的工程，係具有：藉由供給至氣缸機構的驅動流體，對應前述探針卡的重量，來控制使前述探針卡升降的力量的工程。
22. 一種探針卡移載補助裝置，係補助電性檢測裝置所使用的探針卡的移載作業，其特徵為具備：保持前述探針卡的保持部；以某點為中心而可以旋動自如地支撐前述保持部的支撐部；及使前述支撐部升降的手段；上述保持部，係具有：藉由旋轉操作而可以與前述探針卡連結的連結構件；及操作前述連結構件的操作手柄；前述保持部，係被連結於前述探針卡使前述操作手柄旋轉，而使前述連結構件之伸出部進入形成於前述探針卡之溝內。
23. 一種檢測設備，其特徵為：具備：電性檢測裝置；及補助此電性檢測裝置所使用的探針卡的移載作業之探針卡移載補助裝置；前述探針卡移載補助裝置，係具備：保持前述探針卡的保持部；以某點為中心而可以旋動自如地支撐前述保持部的支撐部；及使前述支撐部升降的手段；上述保持部，係具有：藉由旋轉操作而可以與前述探針卡連結的連結構件；及操作前述連結構件的操作手柄；前述保持部，係被連結於前述探針卡使前述操作手柄旋轉，而使 前述連結構件之伸出部進入形成於前述探針卡之溝內。