CN1936594A - 探针卡移载辅助装置、检查设备和检查方法 - Google Patents

Abstract

随着近年来的探针卡(4)的大型化，其重量重达15～25Kg，所以，例如操作者等为了将探针卡(4)从搬送台车上抬起、移载并设置在卡搬送装置上，不仅需要很大的力气，而且在抬起探针卡(4)时抓住的部分受到限制，操作需要慎重，因此，给操作者带来过大的负担。本发明的探针卡移载辅助装置(55)包括：保持探针卡(51)的保持件(551)；前端部上安装有该保持件(551)的能够伸缩的臂(552)；支撑该臂(552)的自由旋转的支撑体(553)；根据重量的不同，通过该支撑体(553)，使探针卡(51)升降的升降驱动装置(554)。

Description

探针卡移载辅助装置、检查设备和检查方法

技术领域

本发明涉及包括多个使用探针卡对晶片等被检查体进行电气特性检查的检查装置的检查设备和检查方法，更详细地说，涉及在检查设备内、在检查装置和搬送台车之间辅助探针卡的移载操作的探针卡移载辅助装置、检查设备和检查方法。

背景技术

这种检查装置，例如，如图7所示，包括：搬送被检查体(例如晶片)W的加载室1、和与加载室1相邻且对从加载室1接收的晶片W进行电气特性检查的探针室2。如该图所示，探针室2包括：能够沿X、Y、Z和θ方向移动地配设并且载置晶片的载置台(晶片卡盘)3、在该晶片卡盘3的上方配置的带有卡支架的探针卡(probe card)4、和保持探针卡4的夹紧机构5。在探针室2内，在晶片卡盘3沿着X、Y、Z和θ方向移动的期间，通过对准机构6对晶片W和探针卡4的探针4A进行对准(alignment)之后，一边进行晶片W的分度(index)输送，一边进行晶片的电气特性检查。此外，对准机构6具有上摄像机6A和下摄像机6B。T是测试头。

而且，在探针室2内的夹紧机构5上装卸探针卡4时，例如使用本申请人在特开2001-24039号中提出的卡搬送装置。如图8所示，该卡搬送装置包括：晶片卡盘3、和在与该晶片卡盘3之间传送探针卡4的传送机构7。如图8所示，传送机构7包括：装卸自由地保持带有卡支架的探针卡4的接合器(adapter)8、前端部被分成两股从而装卸自由地保持该接合器8的叉子状的臂9、沿着箭头A方向推入该臂9并将探针卡4移动引导至传送位置的一对导轨10、和固定该导轨10的臂支撑体11，在臂9和安装在晶片卡盘3上的接合器支撑体12之间，进行搭载有探针卡4的接合器8的传送。

于是，在使用卡搬送装置将探针卡4安装在夹紧机构5上时，操作者(operator)等将探针卡4设置在传送机构7上后，通过卡搬送装置将其搬送至夹紧机构5的正下方，使晶片卡盘3从该位置上升后，用夹紧机构5将探针卡4固定在检查装置主体侧。此外，在图8中，13是将进行传送的传送机构7沿着与箭头B相反方向折叠并收纳的收纳部。

可是，在将探针卡4设置在卡搬送装置上时，操作者将探针卡4从规定的收纳搁板运送至检查装置并进行设置，或者，操作者使用搬送台车等将其从收纳搁板运送至检查装置、再将其从搬送台车移载并设置在卡搬送装置上等。

但是，随着近年来的探针卡4的大型化，其重量重达15～25Kg，所以，例如操作者等为了将探针卡4从搬送台车上抬起、移载并设置在卡搬送装置上，不仅需要很大的力气，而且在抬起探针卡4时抓住的部分受到限制，操作需要慎重，因此，存在给操作者带来过度的负担的问题。

发明内容

本发明为了解决上述问题而做出，其目的是提供即使是重量大的探针卡也能够减轻操作者的负担、并且能够平滑地移载探针卡的探针卡移载辅助装置、检查设备和检查方法。

本发明的第一方面的探针卡移载辅助装置，是对电气检查装置中使用的探针卡的移载操作进行辅助的探针卡移载辅助装置，其特征在于，包括：保持上述探针卡的保持部；以某点为中心自由旋转地支撑上述保持部的支撑部；和使上述支撑部升降的装置。

此外，本发明的第二方面的探针卡移载辅助装置，其特征在于，在第一方面所述的发明中，上述保持部具有能够通过旋转操作而与上述探针卡连结的连结部件。

此外，本发明的第三方面的探针卡移载辅助装置，其特征在于，在第一方面或第二方面所述的发明中，上述保持部被安装在从上述支撑体伸出的能够伸缩的臂上。

此外，本发明的第四方面的探针卡移载辅助装置，其特征在于，在第三方面所述的发明中，上述支撑部的升降装置具有：使上述臂升降的缸体机构；对向上述缸体机构供给驱动流体的流路进行开关的阀；控制上述驱动流体的压力的调节器；预先将上述探针卡的重量输入上述调节器的输入端子；和检测上述驱动流体的压力的压力传感器。

此外，本发明的第五方面的探针卡移载辅助装置，其特征在于，在第一～第四方面中任一方面所述的发明中，上述支撑部的升降装置被构成为在提升上述探针卡的方向上提供辅助力。

此外，本发明的第六方面的探针卡移载辅助装置，其特征在于，在第五方面所述的发明中，上述辅助力被构成为能够与上述探针卡的重量对应地改变。

此外，本发明的第七方面的探针卡移载辅助装置，其特征在于，在第一～第六方面中任一方面所述的发明中，上述保持部具有确认上述连结部件的旋转终端位置的传感器。

此外，本发明的第八方面的探针卡移载辅助装置，其特征在于，在第一～第七方面中任一方面所述的发明中，附设在上述检查装置中。

此外，本发明的第九方面的探针卡移载辅助装置，其特征在于，在第一～第七方面中任一方面所述的发明中，在上述检查装置和搬送上述检查装置中使用的探针卡的搬送装置之间辅助上述探针卡的移载操作时，介于上述检查装置和上述搬送装置之间。

此外，本发明的第十方面的探针卡移载辅助装置，其特征在于，在第九方面所述的发明中，上述搬送装置是搬送台车。

此外，本发明的第十一方面的检查设备，包括电气检查装置和对该电气检查装置中使用的探针卡的移载操作进行辅助的探针卡移载辅助装置，其特征在于，上述探针卡移载辅助装置包括：保持上述探针卡的保持部；以某点为中心自由旋转地支撑上述保持部的支撑部；和使上述支撑部升降的装置。

此外，本发明的第十二方面的检查设备，其特征在于，在第十一方面所述的发明中，上述保持部具有能够通过旋转操作而与上述探针卡连结的连结部件。

本发明的第十三方面的检查设备，其特征在于，在第十一方面或第十二方面所述的发明中，上述保持部被安装在从上述支撑体伸出的能够伸缩的臂上。

此外，本发明的第十四方面的检查设备，其特征在于，在第十三方面所述的发明中，上述支撑部的升降装置具有：使上述臂升降的缸体机构；对向上述缸体机构供给驱动流体的流路进行开关的阀；控制上述驱动流体的压力的调节器；预先将上述探针卡的重量输入上述调节器的输入端子；和检测上述驱动流体的压力的压力传感器。

此外，本发明的第十五方面的检查设备，其特征在于，在第十一～第十四方面中任一方面所述的发明中，上述支撑部的升降装置被构成为在提升上述探针卡的方向上提供辅助力。

此外，本发明的第十六方面的检查设备，其特征在于，在第十五方面所述的发明中，上述辅助力被构成为能够与上述探针卡的重量对应地改变。

此外，本发明的第十七方面的检查设备，其特征在于，在第十一～第十六方面中任一方面所述的发明中，上述保持部具有确认上述连结部件的旋转终端位置的传感器。

此外，本发明的第十八方面的检查设备，其特征在于，在第十一～第十七方面中任一方面所述的发明中，附设在上述检查装置中。

此外，本发明的第十九方面的检查设备，其特征在于，在第十一～第十八方面中任一方面所述的发明中，在上述检查装置和搬送上述检查装置中使用的探针卡的搬送装置之间辅助上述探针卡的移载操作时，介于上述检查装置和上述搬送装置之间。

此外，本发明的第二十方面的检查设备，其特征在于，在第十九方面所述的发明中，上述搬送装置是搬送台车。

此外，本发明的第二十一方面的检查方法，包括将探针卡搬送至检查装置的附近区域的工序、将上述探针卡搬送至上述检查装置的工序、和使上述探针卡与被检查体接触从而进行电气检查的工序，其特征在于，将上述探针卡搬送至上述检查装置的工序包括：保持上述探针卡的工序；使上述探针卡升降的工序；和以某点为中心旋转上述探针卡的工序。

此外，本发明的第二十二方面的检查方法，其特征在于，在第二十一方面所述的发明中，上述检查装置配置有多个，将上述探针卡搬送至上述检查装置的附近区域的工序，利用能够在沿着上述多个检查装置设置的通路上移动的搬送台车搬送上述探针卡。

此外，本发明的第二十三方面的检查方法，其特征在于，在第二十一方面或第二十二方面所述的发明中，在使上述探针卡升降的工序之前，具有检测有无上述探针卡的工序。

此外，本发明的第二十四方面的检查方法，其特征在于，在第二十一～第二十三方面所述的发明中，使上述探针卡升降的工序具有：与上述探针卡的重量对应，利用供给至缸体机构的驱动流体，控制使上述探针卡升降的力的工序。

根据本发明的第一方面～第二十四方面所述的发明，能够提供即使是重量大的探针卡也能够减轻操作者的负担的探针卡移载辅助装置、检查设备和检查方法。

附图说明

图1是表示本发明的检查设备的一个实施方式的平面图。

图2(a)、(b)是分别表示在图1所示的检查设备中、使用探针卡移载辅助装置移载探针卡的状态的立体图。

图3(a)、(b)是分别表示图1所示的检查设备中应用的探针卡移载辅助装置的立体图，(a)是其整体图，(b)是表示臂的前端部的图。

图4(a)、(b)是分别表示图3所示的探针卡移载辅助装置的立体图，(a)是表示将臂缩回的状态的整体图，(b)是表示将臂折叠的状态的整体图。

图5(a)、(b)是分别表示由图3所示的探针卡移载辅助装置移载的探针卡的立体图，(a)是从其上方看的整体图，(b)是从其下方看的整体图。

图6是表示图3所示的探针卡移载辅助装置的升降驱动装置的结构的框图。

图7是表示将现有的检查装置的一个例子部分地截断后的正面图。

图8是图7所示的检查装置中应用的探针卡搬送装置的动作说明图。

符号说明

50    检查设备

51    探针卡

52    检查装置

53    通路

54    搬送台车

55    探针卡移载辅助装置

551   保持件(保持部)

551D  连结部件

552   臂

553   支撑体

554   升降驱动装置

554A  气缸(缸体机构)

554B  配管(流路)

554C  电磁阀

554D  电动气动调节器(Electropneumatic regulator)

554E  输入端子

554F  压力传感器

554H  保持位置检测传感器

具体实施方式

以下，根据图1～图6所示的实施方式来说明本发明。图1是表示本发明的检查设备的一个实施方式的平面图；图2的(a)、(b)是分别表示在图1所示的检查设备中、使用探针卡移载辅助装置移载探针卡的状态的立体图；图3的(a)、(b)是分别表示图1所示的检查设备中应用的探针卡移载辅助装置的立体图，(a)是其整体图，(b)是表示臂的前端部的图；图4的(a)、(b)是分别表示图3所示的探针卡移载辅助装置的立体图，(a)是表示将臂缩回的状态的整体图，(b)是表示将臂折叠的状态的整体图；图5的(a)、(b)是分别表示由图3所示的探针卡移载辅助装置移载的探针卡的立体图，(a)是从其上方看的整体图，(b)是从其下方看的整体图；图6是表示图2所示的探针卡移载辅助装置的升降驱动装置的结构的框图。

本实施方式的检查设备50，例如如图1所示，包括：具有用于对被检查体(例如，晶片)(未图示)进行电气特性检查的探针卡51的检查装置52；沿着配置有多个该检查装置52的通路53搬送探针卡51的搬送台车54；以及在该搬送台车54和设置于各检查装置52的装置主体52A上的卡搬送装置52B之间辅助探针卡51的移载操作的探针卡移载辅助装置55。检查装置52在该图中以通过旋转驱动机构52C使检测头T向通路53侧旋转的状态示出。探针卡51被保管在收纳搁板(未图示)中，在更换探针卡51时等，使用搬送台车54在收纳搁板和多个检查装置52之间进行搬送。此外，在图1中只图示了1台检查装置52。

但是，随着晶片的大口径化和IC芯片的超高集成化等，上述探针卡51大型化、大重量化，所以，操作者进行搬运不用说，在搬送台车54和检查装置52的卡搬送装置52B之间进行移载操作也要花费很大的负担。因此，在本实施方式中，在操作者搬运探针卡51时，使用搬送台车54，在搬送台车54和检查装置52的卡搬送装置52B之间进行探针卡51的移载操作时，使用探针卡移载辅助装置55，使操作者的负担减轻。在操作者使用探针卡移载辅助装置55时，只是由探针卡移载辅助装置55的保持件进行保持卡搬送装置52B上或搬送台车54上的探针卡51和解除保持的操作，就能够大大地减轻实质上的体力劳动。操作者操作探针卡移载辅助装置55移载探针卡51时，如图2的(a)、(b)所示，在搬送台车54和检查装置52的卡搬送装置52B之间移载探针卡51。此外，搬送台车54具有为了收纳多块探针卡51而分多段并能够抽出地设置的搁板，将被收纳在托盘(tray)中的探针卡51收纳在这些搁板中。

而且，如图3(a)所示，上述探针卡移载辅助装置55包括保持探针卡51的保持件551、前端部上安装有该保持件551的能够伸缩的臂552、支撑该臂552的能够旋转的支撑体553、和构成通过该支撑体553将探针卡51按重量区分并使其升降的升降驱动装置554的气缸554A，并且被附设在检查装置52的侧方。

如图3(a)和图4(a)所示，上述臂552具有第一臂552A和相对于第一臂552A自由滑动地安装的第二臂552B，第二臂552B被构成为相对于第一臂552A前后移动地伸缩。臂552的长度可以通过使用调整部件552D将第二臂552B固定在第一臂552A上以使其不相对于第一臂552A滑动而适当地设定。如各图所示，该臂552被构成为：第一臂552A的基端部与被固定在支撑体553的上端部的连接件555销结合，在收缩最大的状态下，能够如图4(b)所示向支撑体553侧折叠。在臂552的基端部上安装有第一销552C，在支撑体553的上下方向的中间安装有具有销的托架(bracket)556。第一销552C和托架556的销连结连杆557的两端部。因此，臂552通过连杆557可抬至水平方向。连杆557的在臂552侧的端部上，安装有第二销557A，此外，在支撑体553侧的连接件555的侧面，安装有钩挂部件558，将该钩挂部件558挂在第二销557A上，从而连杆557不会从托架556的销上脱落。

如图3(a)所示，上述支撑体553和气缸554A被构成为：都与自由旋转地安装在基台559的前端部上的旋转体560连结，与旋转体560一体地旋转，在基台559的侧方旋转。引导部件561的大致整个长度被安装在支撑体553的基台559侧的垂直端面上，该引导部件561沿着在垂直方向上安装的导轨562(参照图4(a))与基台559侧的旋转体560自由滑动地结合。此外，气缸554A中，缸体的下端与从旋转体560垂下的支柱563的下端连结，活塞杆的上端与支撑体553的上端部连结。因此，通过气缸554A驱动，支撑体553沿导轨562升降。

此外，如图3(b)所示，上述保持件551具有以从第二臂552B的前端垂下的方式安装的旋转轴551A、在旋转轴551A的中部及其下方分别安装的圆形部件551B和三角部件551C、在旋转轴551A的下端安装的与探针卡51连结的连结部件551D、从旋转轴551A向直径方向延伸设置的操作手柄551E、和锁定操作手柄551E的锁定部件551F，利用操作手柄551E对连结部件551D进行旋转操作，保持保持件551和探针卡51，利用锁定部件551F将操作手柄551E锁定在保持位置。此外，操作手柄551E在被锁定的状态下，能够对臂552进行旋转操作。连结部件551D具有从圆板的圆周面向圆周方向、在互相间隔180°的位置、在水平方向上延伸设置的突出部，该突出部嵌入在探针卡51侧形成的槽内，具有保持探针卡51的功能。

此外，在上述三角部件551C内设置有例如对探针卡51进行光学检测的后述的卡检测传感器554G。此外，如图3(b)所示，在上述三角部件551C的上面设置有在保持探针卡的一侧对操作手柄551E进行操作时，通过例如静电容量来检测操作手柄551E的位置的保持位置检测传感器554H。在操作手柄551E上设置有操作开关554I，若抓住操作手柄551E，则操作开关554I接通，若松开操作手柄551E，则操作开关554I断开。这些卡检测传感器554G、保持位置检测传感器554H和操作开关554I如后所述构成升降驱动装置554的一部分。

用上述探针卡移载辅助装置55操作的探针卡51构成为例如如图5的(a)、(b)所示。即，如该图所示，探针卡51具有：例如由电路基板构成的卡主体51A、在卡主体51A的上面安装的增强部件51B、和在卡主体51A的下面中央部安装的具有多个探针的接触器51C。增强部件51B包括：在卡主体51A的中央部形成的矩形部51D、从矩形部51D向卡主体51A的外周呈放射状地延伸的放射状部51E、和在放射状部51E的直径方向的中间形成的环状部51F。在矩形部51D的上面的左右，分别通过安装部件51G安装有一对把手51H。

在左右的安装部件51G的相对面上，形成有使在保持件551的连结部件551D上形成的突出部嵌入的槽51I。因此，配合连结部件551D以使一对突出部嵌入左右的安装部件51G之间，对保持件551的操作手柄551E进行操作时，一对突出部嵌入左右的槽51I内，能够由保持件551保持探针卡51。

但是，例如，如图6所示，上述升降驱动装置554具有气缸554A、对向气缸554A供给驱动流体(压缩空气)的配管554B进行开关的电磁阀(例如三通阀)554C、根据探针卡51的重量来控制压缩空气压力的电动气动调节器554D、预先选择与探针卡51的重量相平衡的压缩空气的压力值并将其输入电动气动调节器554D的输入端子554E、和对压缩空气的压力进行检测的压力传感器554F，根据来自输入端子554E的输入值，电磁阀554C和电动气动调节器554D协同动作，驱动控制气缸554A。此外，升降驱动装置554具有检测有无探针卡51的卡检测传感器554G、检测操作手柄551E在保持探针卡51的保持位置移动的保持位置检测传感器554H、和在抓住操作手柄551E进行操作时起作用的操作开关554I，如后所述，卡检测传感器554G、保持位置检测传感器554H、压力传感器554F和操作开关554I联合，对电磁阀554C和电动气动调节器554D进行开关控制。

即，上述卡检测传感器554G、保持位置检测传感器554H、压力传感器554F和操作开关554I分别通过控制部554J与输入端子554E电连接，只在卡检测传感器554G、保持位置检测传感器554H、压力传感器554F和操作开关554I全部成为接通(on)状态时，通过控制部554J，根据输入端子554E的输入值，电动气动调节器554D工作，同时电磁阀554C成为打开状态。

更进一步说，在卡检测传感器554G、保持位置检测传感器554H、压力传感器554F和操作开关554I全部接通时，通过控制部554J，打开电磁阀554C，在电动气动调节器554D的控制下，向气缸554A供给压缩空气。此外，在卡检测传感器554G、保持位置检测传感器554H、压力传感器554F和操作开关554I中的任一个断开(off)时，通过控制部554J，关闭电磁阀554C，将压缩空气密封在气缸554A内，停止气缸554A的动作，使臂552在下降途中停止。例如，在探针卡51的重量比输入端子554E的输入重量大时，抓住操作手柄551E使臂552旋转时，气缸554A的提升力不足，臂552由于自重而开始下降。此时，若操作手柄551E从没有察觉到这一点的操作者的手中脱离，则操作开关554I断开，将电磁阀554C关闭，至此，向气缸554A供给的压缩空气被密封在气缸554A内。由此，臂552由于探针卡51的自重而下降，由于压缩空气的作用，臂552在途中停止，能够防止探针卡51落下。此外，在输入端子554E中将探针卡51的重量设定得过小时，操作手柄551E也会脱离操作者的手，与上述的情况同样地，使气缸554A的急剧上升停止。此外，在图6中，554K是除雾器(mist separator)。

接着，对动作进行说明。在检查设备50中，操作者在安装或更换检查装置52的探针卡51时，从收纳搁板取出探针卡51，将探针卡51与托盘一起在搬送台车54中收纳需要的块数。然后，如图1和图2的(a)、(b)所示，使搬送台车54移动至目标检查装置52。

操作者在将与托盘一起被收纳在搁板上的探针卡51装载在搁板中的状态下，将其从搬送台车54中拉出，并装载到搬送台车54的上面。使用探针卡移载辅助装置55只将探针卡51移载到检查装置52上。在使用探针卡移载辅助装置55时，预先通过升降驱动装置554的输入端子554E设定探针卡51的重量。然后，抬起臂552，使用连杆557使臂552成为水平状态。在该状态下，对操作手柄551E进行操作，使臂552旋转至探针卡51的正上方，使保持件551与探针卡51的中央配合。

因此，将操作手柄551E向探针卡51按压，使保持件551的连结部件551D到达探针卡51的中心部后，对操作手柄551E进行旋转操作，将连结部件551D的突出部嵌入在探针卡51的安装部件51G上形成的槽51I内后，操作锁定部件551F，将操作手柄551E固定。此时，卡检测传感器554G对探针卡51进行检测，同时由保持位置检测传感器554H检测操作手柄551E是否位于探针卡保持位置。此时，如果操作者抓住操作手柄551E，则操作开关554I接通，另一方面，因为压力传感器554F检测出正常的压缩空气压力并接通，所以，电磁阀554C成为打开状态，在电动气动调节器554D的控制下，向气缸554A内供给基于探针卡51的输入重量的规定压力的压缩空气。由此，臂552在将探针卡51从搬送台车54的搁板中提起的方向上提供辅助力。在该状态下，操作者通过操作手柄551E，将探针卡51从搬送台车54的搁板中提起，并且使臂552向检查装置52侧旋转，将探针卡51搬送至检查装置52的卡搬送装置52B的正上方。

在卡搬送装置52B的正上方，按压操作手柄551E，使探针卡51到达卡搬送装置52B上后，将保持件551的锁定部件551F解除，使操作手柄551E旋转，使连结部件551D的突出部从槽51I脱离，从保持件551上松开探针卡51，结束探针卡51的移载操作。

但是，万一将探针卡51的重量弄错为例如比实际重量轻的重量并输入输入端子554E，抓住操作手柄551E，操作开关554I变为接通，气缸554A在电动气动调节器554D的控制下动作，则在使臂552旋转时，臂552由于探针卡51的过大重量而下降，操作手柄551E从操作者手中脱离。在该情况下，操作开关554I自动地断开，将电磁阀554C关闭，将至此供给的压缩空气密封在气缸554A内。由此，即使臂552稍微下降，由于在该期间气缸554A内的压缩空气的压力升高，所以在下降途中，臂552停止下降，探针卡51也不会与搬送台车54等碰撞，能够防止探针卡51损伤。

此外，在从检查装置52向搬送台车54移载探针卡51时，也按照上述的顺序使用探针卡移载辅助装置55，能够平滑地移载探针卡51。

如以上说明，根据本实施方式，为一种检查设备50，其包括具有用于对晶片进行电气特性检查的探针卡51的检查装置52(图1中仅图示有一台)、沿着配置有多个该检查装置52的通路53搬送探针卡51的搬送台车54、以及在该搬送台车54和设置于各检查装置52的装置主体52A上的卡搬送装置52B之间辅助探针卡51的移载操作的探针卡移载辅助装置55，探针卡移载辅助装置55包括保持探针卡51的保持件551、前端部上安装有该保持件551的能够伸缩的臂552、支撑该臂552的自由旋转的支撑体553、和将探针卡51按重量区分并通过该支撑体553使其升降的升降驱动装置554，因此，只要由保持件551保持探针卡51、由升降驱动装置554使臂552从搬送台车54或检查装置52的卡搬送装置52B上提起、并使臂552旋转，就能够在搬送台车54和检查装置52的卡搬送装置52B之间容易地移载探针卡51，因而，能够大大地减轻操作者的负担。此外，因为臂552旋转从而使由保持件551保持的探针卡51移动，所以，能够将以臂552的基端为中心的移动范围抑制为最小限度。因此，即使由于检查设备50的省空间化，多个检查装置52密集，相邻的检查装置52之间的间隔狭窄，不能在该间隙中配置搬送台车54，也能够确保臂552从配置在通路53中的搬送台车54向检查装置52侧的旋转区域，并且能够确保操作者进入的空间。

此外，根据本实施方式，保持件551具有能够通过操作手柄551E的旋转操作而与探针卡51连结的连结部件551D，因此，只要利用保持件551的操作手柄551E对连结部件551D进行旋转操作，就能够相对于保持件551容易地保持探针卡51。

此外，臂552被构成为能够从支撑体553的上端部向水平方向伸出、并能够向支撑体553侧折叠，所以，在不使用探针卡移载辅助装置55时，可以将其压缩地收纳在检查装置52的侧面，能够使在无尘室(clean room)内占有的空间为最小限度即可。

此外，因为升降驱动装置554具有使臂552升降的气缸554A、对向气缸554A供给压缩空气的配管554B进行开关的电磁阀554C、根据探针卡51的重量来控制压缩空气压力的电动气动调节器554D、预先将探针卡51的重量输入电动气动调节器554D的输入端子554E、和对压缩空气的压力进行检测的压力传感器554F，所以，能够根据探针卡51的重量来控制气缸554A的驱动力。此外，也可以用重量传感器测定探针卡51的重量，根据测定的重量来控制气缸554A的驱动力。

此外，升降驱动装置554具有检测有无探针卡51的卡检测传感器554G，卡检测传感器554G与输入端子554E联合而使电动气动调节器554D动作，所以能够根据探针卡51的重量来驱动气缸554A。而且，升降驱动装置554具有在对臂552进行操作时起作用的操作开关554I，操作开关554I与压力传感器554F联合而对电磁阀554C进行开关，所以，如果操作手柄551E从操作者的手中脱离，则将电磁阀554C关闭，抑制臂552由于探针卡51的自重而下降，能够防止探针卡51的损伤。

此外，本发明丝毫不限于上述实施方式，可以根据需要设计变更各构成要素。

产业上的利用可能性

本发明可以适合利用于配置有多个包括探针卡的检查装置的检查设备。

Claims (24)

1.一种探针卡移载辅助装置，对电气检查装置中使用的探针卡的移载操作进行辅助，其特征在于，包括：

保持所述探针卡的保持部；

以某点为中心自由旋转地支撑所述保持部的支撑部；和

使所述支撑部升降的装置。

2.根据权利要求1所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：

所述保持部具有能够通过旋转操作而与所述探针卡连结的连结部件。

3.根据权利要求1或2所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：

所述保持部被安装在从所述支撑体伸出的能够伸缩的臂上。

4.根据权利要求3所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：

所述支撑部的升降装置具有：使所述臂升降的缸体机构；对向所述缸体机构供给驱动流体的流路进行开关的阀；控制所述驱动流体的压力的调节器；预先将所述探针卡的重量输入所述调节器的输入端子；和检测所述驱动流体的压力的压力传感器。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：

所述支撑部的升降装置被构成为在提升所述探针卡的方向上提供辅助力。

6.根据权利要求5所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：

所述辅助力被构成为能够与所述探针卡的重量对应地改变。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：

所述保持部具有确认所述连结部件的旋转终端位置的传感器。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：

附设在所述检查装置中。

9.根据权利要求1～7中任一项所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：

在所述检查装置和搬送所述检查装置中使用的探针卡的搬送装置之间辅助所述探针卡的移载操作时，介于所述检查装置和所述搬送装置之间。

10.根据权利要求9所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：

所述搬送装置是搬送台车。

11.一种检查设备，包括电气检查装置和对该电气检查装置中使用的探针卡的移载操作进行辅助的探针卡移载辅助装置，其特征在于：

所述探针卡移载辅助装置包括：

保持所述探针卡的保持部；

以某点为中心自由旋转地支撑所述保持部的支撑部；和

使所述支撑部升降的装置。

12.根据权利要求11所述的检查设备，其特征在于：

所述保持部具有能够通过旋转操作而与所述探针卡连结的连结部件。

13.根据权利要求11或12所述的检查设备，其特征在于：

所述保持部被安装在从所述支撑体伸出的能够伸缩的臂上。

14.根据权利要求13所述的检查设备，其特征在于：

所述支撑部的升降装置具有：使所述臂升降的缸体机构；对向所述缸体机构供给驱动流体的流路进行开关的阀；控制所述驱动流体的压力的调节器；预先将所述探针卡的重量输入所述调节器的输入端子；和检测所述驱动流体的压力的压力传感器。

15.根据权利要求11～14中任一项所述的检查设备，其特征在于：

所述支撑部的升降装置被构成为在提升所述探针卡的方向上提供辅助力。

16.根据权利要求15所述的检查设备，其特征在于：

所述辅助力被构成为能够与所述探针卡的重量对应地改变。

17.根据权利要求11～16中任一项所述的检查设备，其特征在于：

所述保持部具有确认所述连结部件的旋转终端位置的传感器。

18.根据权利要求11～17中任一项所述的检查设备，其特征在于：

附设在所述检查装置中。

19.根据权利要求11～18中任一项所述的检查设备，其特征在于：

在所述检查装置和搬送所述检查装置中使用的探针卡的搬送装置之间辅助所述探针卡的移载操作时，介于所述检查装置和所述搬送装置之间。

20.根据权利要求19所述的检查设备，其特征在于：

所述搬送装置是搬送台车。

21.一种检查方法，包括将探针卡搬送至检查装置的附近区域的工序、将所述探针卡搬送至所述检查装置的工序、和使所述探针卡与被检查体接触从而进行电气检查的工序，其特征在于：

将所述探针卡搬送至所述检查装置的工序包括：

保持所述探针卡的工序；

使所述探针卡升降的工序；和

以某点为中心旋转所述探针卡的工序。

22.根据权利要求21所述的检查方法，其特征在于：

所述检查装置配置有多个，将所述探针卡搬送至所述检查装置的附近区域的工序，利用能够在沿着所述多个检查装置设置的通路上移动的搬送台车搬送所述探针卡。

23.根据权利要求21或22所述的检查方法，其特征在于：

在使所述探针卡升降的工序之前，具有检测有无所述探针卡的工序。

24.根据权利要求21～23中任一项所述的检查方法，其特征在于：

使所述探针卡升降的工序具有：与所述探针卡的重量对应，利用供给至缸体机构的驱动流体，控制使所述探针卡升降的力的工序。

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