CN109983347A - 探针卡用螺丝紧固装置以及具备它的探针卡组装装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种探针卡用螺丝紧固装置以及具备它的探针卡组装装置，其特征在于，探针卡用螺丝紧固装置包括：多个螺丝，紧固于探针卡；多个紧固部，接触于所述多个螺丝并与所述多个螺丝一起旋转；以及，多个驱动部，向多个紧固部传递旋转力，多个驱动部中的至少任意一个旋转时，多个驱动部彼此连动并朝相同方向旋转。因此，本发明具有如下效果：可同时紧固组装探针卡的螺丝而无需依次紧固，从而解决依次紧固时发生的集中负荷。

Description

探针卡用螺丝紧固装置以及具备它的探针卡组装装置

技术领域

本发明涉及一种探针卡用螺丝紧固装置以及具备它的探针卡组装装置，具体涉及一种一并紧固用于探针卡组装的螺丝的探针卡用螺丝紧固装置以及具备它的探针卡组装装置。

背景技术

通常，探针卡为如下装置，即，为了对半导体元件进行在晶片级别上有无缺陷的测试，将晶片和半导体元件检测设备进行电连接，并将检测设备的电信号传递至晶片上所形成的垫上，并将从垫返回的信号传递至半导体元件的检测设备。

探针卡使用多个螺丝组装而成，但是，最近探针卡的尺寸和重量不断增加，这样的尺寸和重量的增加在以以往方式依次紧固螺丝时重量不分散而集中，其使得探针卡向重量集中的部分倾斜而被组装，从而导致集中负荷的问题。

这样的问题进一步导致晶片上所形成的垫的一部分无法接触探针卡而无法正常完成测试的问题。

发明内容

技术课题

本发明是为了解决如上所述的以往问题而研究出的，其目的在于提供一种探针卡用螺丝紧固装置以及具备它的探针卡组装装置，其并未采用以往方式的依次组装，而是通过同时组装螺丝来解决集中负荷的问题。

另外，另一目的在于提供一种探针卡用螺丝紧固装置以及具备它的探针卡组装装置，其通过使用装载台部，可在组装探针卡时提高平坦度，通过使用升降驱动部，使得探针卡的组装变得方便。

解决课题的方案

为达成上述目的，本发明特征在于，探针卡用螺丝紧固装置包括：多个螺丝，紧固于探针卡；多个紧固部，接触于所述多个螺丝并与所述多个螺丝一起旋转；以及，多个驱动部，向所述多个紧固部传递旋转力，所述多个驱动部中的至少任意一个旋转时，所述多个驱动部彼此连动并朝相同方向旋转。

本发明的特征在于所述多个驱动部包括：第一驱动部；以及，第二驱动部，与所述第一驱动部隔开设置，所述探针卡用螺丝紧固装置包括连动部，所述连动部将所述第一驱动部的旋转力传递至所述第二驱动部，以使所述第一驱动部和所述第二驱动部朝相同方向正转。

本发明的特征在于所述多个驱动部包括：多个辅助驱动部，所述多个辅助驱动部与所述多个驱动部连动并朝相同方向旋转，所述多个辅助驱动部中的至少任意一个旋转时，所述多个辅助驱动部彼此连动并朝相同方向旋转。

本发明的特征在于所述多个辅助驱动部包括：第一辅助驱动部；以及，第二辅助驱动部，与所述第一辅助驱动部隔开设置，所述探针卡用螺丝紧固装置包括连动部，所述连动部将所述第一辅助驱动部的旋转力传递至所述第二辅助驱动部，以使所述第一辅助驱动部和所述第二辅助驱动部朝相同方向正转。

本发明的特征在于所述连动部由齿轮构成，所述连动部朝相反方向逆转，以使配置于所述连动部两侧的第一驱动部以及第二驱动部朝相同方向正转。

本发明的特征在于所述连动部由同步皮带构成，所述连动部朝相同方向正转，以使配置于所述连动部两侧的第一驱动部以及第二驱动部朝相同方向正转。

本发明的特征在于所述探针卡用螺丝紧固装置包括圆形状的第一旋转导向件，所述第一旋转导向件设置成啮合于所述第二驱动部的外廓周围而旋转，并在内周面形成有齿形，所述第一旋转导向件与所述第二驱动部连动并朝相同方向旋转。

本发明的特征在于所述探针卡用螺丝紧固装置包括圆形状第二旋转导向件，所述第二旋转导向件设置成啮合于所述第二辅助驱动部的外周而旋转，并在内周面形成有齿形，所述第二旋转导向件与所述第二辅助驱动部连动并朝相同方向旋转。

本发明的特征在于隔着驱动部支撑板配置所述紧固部以及所述驱动部，所述紧固部以及所述驱动部与贯通所述驱动部支撑板的连接杆结合并朝相同方向旋转。

本发明的特征在于所述驱动部支撑板以及所述连接杆之间设置有轴承。

本发明的特征在于所述辅助驱动部的直径形成为小于或者大于所述驱动部的直径。

本发明的特征在于所述驱动部包括：第一驱动部；第二驱动部，与所述第一驱动部隔开设置；以及，第三驱动部，与所述第二驱动部隔开设置，所述探针卡用螺丝紧固装置包括：由齿轮构成的第一连动部，所述第一连动部将所述第一驱动部的旋转力传递至所述第二驱动部，以使所述第一驱动部和所述第二驱动部朝相同方向正转；以及，由同步皮带构成的第二连动部，所述第二连动部将所述第二驱动部的旋转力传递至所述第三驱动部，以使所述第二驱动部和所述第三驱动部朝相同方向正转，所述第二驱动部包括：第一齿轮部，由与所述第一连动部相接的齿轮构成；以及，第二齿轮部，由与所述第二连动部相接的齿轮构成。

本发明的特征在于所述紧固部包括：桶形状的主体部，与所述驱动部的下部结合；突出形状的接触部，与所述主体部的下部结合；以及，弹簧，插入于所述主体部的内部，一端支撑于所述主体部且另一端接触于所述接触部的另一端，以使所述接触部具有弹性。

本发明的探针卡组装装置具备第一项记载的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述探针卡组装装置包括装载台部，所述探针卡包括：多个探针销、空间转换器以及PCB，所述装载台部包括：第一空间部，所述多个探针销与底面隔开地位于所述第一空间部；第二空间部，所述空间转换器被安装并位于所述第二空间部；以及，第三空间部，在所述空间转换器和所述PCB之间形成。

本发明的特征在于所述第三空间部形成有与真空泵相连的吸气口。

本发明的特征在于所述第三空间部的水平截面为圆形状，所述第三空间部形成为比PCB的直径小以使上部安装有PCB并使其密封。

本发明的特征在于所述第二空间部的安装有所述空间转换器的安装面上插入第一密封部件，安装有所述PCB的安装面上插入第二密封部件。

本发明所述探针卡组装装置具有第一项所述的探针卡用螺丝紧固装置，所述探针卡组装装置包括升降驱动部，所述升降驱动部包括：杆，可旋转地设置；滚珠螺杆，随所述杆的旋转而旋转；以及，升降连杆，将所述滚珠螺杆的旋转转换成升降驱动。

本发明的特征在于所述升降连杆包括：一对输送块，分别设置于所述滚珠螺杆的两端，随着旋转彼此朝相反方向输送并使间距伸缩；一对交叉杆，所述交叉杆的下端与所述一对输送块铰链结合并在上方相互交叉；以及，固定台，铰链结合所述一对交叉杆的上端，并将一对交叉杆之间的上端间距保持恒定。

本发明所述探针卡组装装置包括：基底部，设置于所述升降驱动部下部并支撑底面，以使所述升降驱动部与底面隔开；导向部，沿垂直长度方向设置在所述基底部的上部并支撑所述探针卡用螺丝紧固装置。

发明效果

如上所述，本发明可同时紧固组装探针卡的螺丝而无需依次紧固，从而可以提供解决依次紧固时发生的集中负荷的效果。

另外，提供如下效果，即第一旋转导向件与第二驱动部以及第五驱动部连动旋转，驱动部中的任意一个受损的情况下，紧固部仍可以以相同间隔旋转。

另外，提供如下效果，即与第一旋转导向件相同地，第二旋转导向件与多个第二辅助驱动部以及第三辅助驱动部连动旋转，辅助驱动部中的任意一个受损的情况下，紧固部仍可以以相同间隔旋转。

另外，提供如下效果，即根据辅助驱动部和驱动部的直径差异，动作环境有所不同，因此，因磨损等导致的损伤所发生的位置将会有所不同，从而，驱动部中的任意一个受损的情况下，辅助驱动部在相同位置上并不发生损伤，以使紧固部仍以相同间隔继续旋转。

另外，提供第二驱动部、第三驱动部以及第四驱动部可通过第一齿轮部以及第二齿轮部使多个连动部同时连动的效果。

另外，提供紧固于探针卡的多个螺丝并不位于同一水平线时，接触部被弹性支撑以使接触部的一部分不与螺丝接触，从而均接触于多个螺丝的效果。

另外，提供如下效果，即通过使用装载台部，可在组装探针卡时提高平坦度，通过使用升降驱动部，使得探针卡组装变得方便。

附图说明

图1是示出根据本发明的一实施例的探针卡用螺丝紧固装置以及具备它的探针卡组装装置的构成图。

图2是示出根据本发明的一实施例的探针卡用螺丝紧固装置的分解立体图。

图3是示出根据本发明的一实施例的探针卡用螺丝紧固装置的紧固部的构成图。

图4是示出根据本发明的一实施例的探针卡组装装置的切断立体图。

图5是示出根据本发明的一实施例的探针卡用螺丝紧固装置的动作的构成图。

图6是示出根据本发明的一实施例的探针卡用螺丝紧固装置的动作的构成图。

图7是示出根据本发明的一实施例的探针卡用螺丝紧固装置的驱动部的构成图。

图8是示出根据本发明的一实施例的探针卡用螺丝紧固装置的驱动部的构成图。

图9是示出根据本发明的一实施例的探针卡组装装置的分解立体图。

图10是示出根据本发明的一实施例的探针卡组装装置的装载台部的切断立体图。

图11是示出根据本发明的一实施例的探针卡组装装置的升降驱动部的构成图。

附图标记说明

110：紧固部 120：驱动部支撑板

130：驱动部 140：辅助驱动部

150：连动部 160：旋转导向件

170：连接杆 180：覆盖部

190：手柄部 510：装载台部

520：升降驱动部 530：基底部

540：导向部

具体实施方式

下面，参考附图进一步具体说明本发明的优选的一实施例。

如图1以及图2所示，根据本发明的实施例的向探针卡同时紧固多个螺丝的探针卡用螺丝紧固装置100包括：紧固部110、驱动部支撑板120、驱动部130、辅助驱动部140、连动部150、覆盖部180以及手柄部190。

紧固部110作为与紧固于探针卡上的多个螺丝相接触并与多个螺丝一起旋转的紧固单元，如图3所示，包括：主体部111、接触部112以及弹簧113。

主体部111作为桶形的结构体，从驱动部130传递接受旋转力并以与驱动部130相同的方向进行旋转。

接触部112作为与主体部111的下部结合的突出形状的紧固部件，与紧固于探针卡上的螺丝相接触，以向螺丝传递从主体部111传递接受到的旋转力。

弹簧113作为插入至主体部111内部的弹性部件，弹簧113的一端支撑于主体部111且另一端接触于接触部112的另一端，以使接触部112具有弹性。

因此，紧固于探针卡300的多个螺丝并不位于同一水平线上时，对于接触部112的一部分不与螺丝相接触的问题，具有接触部112被弹性支撑以使其与多个螺丝均接触的效果。

驱动部支撑板120作为支撑驱动部130以及辅助驱动部140的下部的支撑部件，如图4所示，驱动部130以及辅助驱动部140相接的面形成为平板，驱动部支撑板120包括：支撑驱动部130的下部的第一驱动部支撑板121以及支撑辅助驱动部140的下部的第二驱动部支撑板122。

驱动部支撑板120形成有多个连接孔123，以相连紧固部110和驱动部130以及驱动部130和辅助驱动部140之间。

紧固部110、驱动部130及辅助驱动部140与贯通连接孔123的连接杆170结合并朝相同方向旋转。

此时，可在连接孔123和连接杆170之间设置轴承以使连接杆170圆滑地旋转。

驱动部130作为向多个紧固部110传递旋转力的多个驱动机构，多个驱动部130中的至少任意一个旋转则彼此连动并朝相同方向旋转，如图5以及图6所示，驱动部130包括：第一驱动部131、第二驱动部132、第三驱动部133、第四驱动部134以及第五驱动部135。

作为传递旋转力以使多个驱动部130彼此连动的媒介单元，设置连动部150，连动部150包括：由齿轮构成的第一连动部151以及由同步皮带构成的第二连动部152。

第一驱动部131作为多个驱动部中的与手柄部190连动而设置的齿轮，将从手柄部190传递接受到的旋转力传递至多个第二驱动部132。

此时，第一驱动部131可以通过手柄部190以操作者的力量旋转手柄而获得旋转力以外，还可以通过电机等以电方式产生旋转力的动力源来获得旋转力。

另外，第一驱动部131并不仅限于多个驱动部130中的配置于中央的齿轮，优选解释为从手柄部190接受旋转力并向多个第二驱动部132传递旋转力的齿轮。

第二驱动部132作为与第一驱动部131连动而隔开设置的齿轮，如图7所示，从第一驱动部131通过由齿轮构成的第一连动部151来传递接受旋转力并以与第一驱动部131相同的方向旋转。

此时，第一连动部151朝相反方向逆转以使设置于两侧的第一驱动部131以及第二驱动部132朝相同方向正转。

第三驱动部133作为与第二驱动部132连动而隔开设置的齿轮，如图8所示，从第二驱动部132通过由同步皮带构成的第二连动部152来传递接受旋转力并以与第二驱动部132相同的方向旋转。

此时，第二连动部152朝相同方向正转以使设置于两侧的第二驱动部132以及第三驱动部133朝相同方向正转。

第四驱动部134作为与第三驱动部133连动而设置的齿轮，从第三驱动部133通过第二连动部152来传递接受旋转力并以与第三驱动部133相同的方向旋转。

第五驱动部135作为与第四驱动部134连动而设置的齿轮，从第四驱动部134通过第二连动部152来传递接受旋转力并以与第四驱动部134相同的方向旋转。

第二驱动部132、第三驱动部133以及第四驱动部134，包括：第一齿轮部130a以及第二齿轮部130b，以使能够与多个连动部150相接。

若参考第二驱动部132进行说明，则第一齿轮部130a可以是与第一连动部151相接的齿轮，第二齿轮部130b可以是与第二连动部152相接的齿轮。

第一齿轮部130a以及第二齿轮部130b可以在垂直位置上单独设置并与多个连动部150相接，或者，可以以高的高度形成以提供多个连动部150分别接触的部位并根据相接部位区分成第一齿轮部130a以及第二齿轮部130b。

因此，第二驱动部132、第三驱动部133以及第四驱动部134可通过第一齿轮部130a以及第二齿轮部130b，使多个连动部150同时连动。

驱动部130由多个齿轮构成，因此，驱动部130中的任意一个受损时，从其获得旋转力的紧固部110并不以相同间隔旋转，从而可能会导致螺丝无法正确紧固于探针卡，因此，为了解决这样的情况，作为解决方案，本发明提出一种再(次)连动旋转力的辅助驱动部140以及旋转导向件160。

辅助驱动部140作为向多个驱动部130再连动旋转力的多个辅助驱动机构，多个辅助驱动部中的至少任意一个旋转则彼此连动并朝相同方向旋转，如图5以及图6所示，辅助驱动部140包括：第一辅助驱动部141、第二辅助驱动部142以及第三辅助驱动部143。

第一辅助驱动部141作为多个辅助驱动部中与第一驱动部131一起结合到连接杆170并与第一驱动部131连动以朝相同方向旋转而设置的齿轮，将从手柄部190传递接受到的旋转力传递至多个辅助驱动部140。

第二辅助驱动部142作为与第一辅助驱动部141连动而隔开设置的齿轮，从第一辅助驱动部141通过由齿轮构成的第一连动部151来传递接受旋转力并以与第一辅助驱动部141相同的方向旋转。

另外，第二辅助驱动部142与第三驱动部133一起结合到连接杆170并与第三驱动部133连动以朝相同方向旋转。

第三辅助驱动部143作为与第二辅助驱动部142隔开设置的齿轮，与第四驱动部134一起结合到连接杆170并以与第四驱动部134相同的方向旋转。

辅助驱动部140的直径可形成为小于或者大于驱动部130的直径。

根据辅助驱动部140和驱动部130的直径差异，动作环境有所不同，因此，磨损等导致的损伤所发生的位置将会有所不同。

因此，具有驱动部130中的任意一个受损的情况下，辅助驱动部140在相同位置上并不发生损伤以使紧固部110仍以相同间隔继续旋转的效果。

旋转导向件160包括：使驱动部130的旋转力再连动的第一旋转导向件161以及使辅助驱动部140的旋转力再连动的第二旋转导向件162。

第一旋转导向件161设置成啮合于第二驱动部132以及第五驱动部135的外廓周围而旋转，是在内周面形成有齿形的圆形状的旋转导向件。

第一旋转导向件161与第二驱动部132以及第五驱动部135连动并朝相同方向旋转。

对于以第一驱动部131、第二驱动部132、第三驱动部133、第四驱动部134以及第五驱动部135顺序传递的旋转力，通过使第一旋转导向件161与多个第二驱动部132以及多个第五驱动部135一起旋转而使得该旋转力再连动。

例如，第二驱动部132受损而使得传递至第三驱动部133的旋转力受到损失时，第三驱动部133、第四驱动部134以及第五驱动部135无法传递接受到正常的旋转力，而是传递接受到损失的旋转力而旋转，因此会比正常的驱动部130旋转得慢。

此时，从传递接受到正常的旋转力而进行旋转的第二驱动部132以及第五驱动部135传递接受到旋转力的第一旋转导向件161反而向传递接受到损失的旋转力而进行旋转的第二驱动部132以及第五驱动部135传递正常的旋转力，由此进行再连动以使传递接受到损失的旋转力而进行旋转的第三驱动部133、第四驱动部134以及第五驱动部135传递接受正常的旋转力而旋转。

因此，具有第一旋转导向件161可以与多个第二驱动部132以及多个第五驱动部135连动而旋转，使得驱动部130中的任意一个受损的情况下紧固部110仍以相同间隔旋转的效果。

第二旋转导向件162设置成啮合于第二辅助驱动部142以及第三辅助驱动部143的外廓周围而旋转，是在内周面形成有齿形的圆形状旋转导向件。

第二旋转导向件162与第二辅助驱动部142以及第三辅助驱动部143连动以朝相同方向旋转。

对于以第一辅助驱动部141、第二辅助驱动部142以及第三辅助驱动部143顺序传递的旋转力，通过使第二旋转导向件162与多个第二辅助驱动部142以及第三辅助驱动部143一起旋转来使得该旋转力再连动。

因此，具有如下效果，即，与第一旋转导向件161相同地，第二旋转导向件162可以与多个第二辅助驱动部142以及第三辅助驱动部143连动而旋转，使得辅助驱动部140中的任意一个受损的情况下紧固部110仍以相同间隔旋转。

如上所述，具有如下效果，即，驱动部130、辅助驱动部140以及旋转导向件160相互复合连动，补完彼此的旋转力，从而使得驱动部130、辅助驱动部140以及旋转导向件160中的任意一个受损的情况下紧固部110仍以相同间隔旋转。

覆盖部180作为覆盖驱动部130和辅助驱动部140的上部的覆盖部件，形成有贯通孔以使驱动部130以及辅助驱动部140与手柄部190相连。

如图9所示，本实施例的探针卡组装装置500包括：探针卡用螺丝紧固装置100、装载台部510以及升降驱动部520。

探针卡300包括：多个探针销310、空间转换器320以及PCB330。

如图10所示，装载台部510是组装探针卡300时用于支撑的夹具，装载台部510包括：第一空间部511、第二空间部512以及第三空间部513。

第一空间部511的水平截面为圆形状，是多个探针销310从底面隔开位于的空间。

第二空间部512的水平截面为圆形状，是空间转换器320被安装位于的空间。

第一空间部511以及第二空间部512，垂直截面以阶梯形状形成，优选为，第二空间部512的直径比第一空间部511的直径大。

第三空间部513是水平截面为圆形状，是在空间转换器320和PCB330之间形成的空间。

优选为，第三空间部513的直径比第二空间部512的直径大。

另外，第三空间部513上形成有与真空泵相连的吸气口，形成成比PCB330的直径小，以使上部安装有PCB330，从而使第三空间部513密封为优选。

此时，为了提高第三空间部513的密封率，可以在第二空间部512的安装有空间转换器320的安装面上插入由橡胶圈等构成的第一密封部件513a，可以在安装有PCB330的安装面上插入由橡胶圈等构成的第二密封部件513b。

具有如下效果，即，若密封第三空间部513，则PCB330拉向第三空间部513而平坦地紧贴，在紧贴的状态下，组装探针卡300，则可提高探针卡300的平坦度。

如图9以及图11所示，升降驱动部520是升降探针卡300的升降驱动机构，包括：杆521，可旋转地设置；滚珠螺杆522，被杆521的旋转连动而旋转；升降连杆523，将滚珠螺杆522的旋转转换成升降驱动。

升降连杆523包括：一对输送块523a，分别设置于滚珠螺杆522的两端，随旋转彼此朝相反方向输送并使间距伸缩；一对交叉杆523b，设置成下端与一对输送块523a铰链结合并在上方相互交叉；固定台523c，一对交叉杆523b的上端铰链结合并将一对交叉杆523b之间的上端间距保持恒定。

因此，对于升降连杆523而言，向一方向旋转杆521时，滚珠螺杆522向一方向旋转，根据滚珠螺杆522的旋转，一对输送块523a之间的间隔距离变小，使得一对交叉杆523b的高度变高，结合于一对交叉杆523b的固定台523c上升，最终会使得安置在固定台523c上部的探针卡300上升。

另外，相反地，朝另一方向旋转杆521时，滚珠螺杆522朝另一方向旋转，随滚珠螺杆522的旋转，一对输送块523a之间的间隔距离变大，使得一对交叉杆523b的高度变小，结合于一对交叉杆523b的固定台523c下降，最终会使得安置在固定台523c上部的探针卡300下降。

升降驱动部520优选设置于基底部530上部，基底部530是用于支撑底面以与底面隔开的基底部件。

导向部540作为设置于基底部530的外廓周围的导向件部件，通过在基底部530的上部以垂直长度方向设置的导向件构成，以支撑探针卡用螺丝紧固装置100，进而可导向升降驱动部520的升降。

因此，具有通过使用升降驱动部520容易将探针卡300向所需位置升降，可使得探针卡300组装变得方便的效果。

以上说明的本发明在不脱离技术思想或主要特征的情况下，可以以其他多种形式实施。因此，上述实施例在所有方面仅仅是简单例示，不应被限制性的解释。

工业应用性

本发明提供一种一并紧固用于探针卡组装的螺丝的探针卡用螺丝紧固装置以及具备它的探针卡组装装置。

Claims (20)

1.一种探针卡用螺丝紧固装置，其中，所述探针卡用螺丝紧固装置包括：

多个螺丝，紧固于探针卡；

多个紧固部，接触于所述多个螺丝并与所述多个螺丝一起旋转；以及，

多个驱动部，向所述多个紧固部传递旋转力，

所述多个驱动部中的至少任意一个旋转时，所述多个驱动部彼此连动并朝相同方向旋转。

2.根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，其中，

所述多个驱动部包括：

第一驱动部；以及，

第二驱动部，与所述第一驱动部隔开设置，

所述探针卡用螺丝紧固装置包括连动部，所述连动部将所述第一驱动部的旋转力传递至所述第二驱动部，以使所述第一驱动部和所述第二驱动部朝相同方向正转。

3.根据权利要求2所述的探针卡用螺丝紧固装置，其中，

所述多个驱动部包括多个辅助驱动部，所述多个辅助驱动部与所述多个驱动部连动并朝相同方向旋转，

所述多个辅助驱动部中的至少任意一个旋转时，所述多个辅助驱动部彼此连动并朝相同方向旋转。

4.根据权利要求3所述的探针卡用螺丝紧固装置，其中，

所述多个辅助驱动部包括：

第一辅助驱动部；以及，

第二辅助驱动部，与所述第一辅助驱动部隔开设置，

所述探针卡用螺丝紧固装置包括连动部，所述连动部将所述第一辅助驱动部的旋转力传递至所述第二辅助驱动部，以使所述第一辅助驱动部和所述第二辅助驱动部朝相同方向正转。

5.根据权利要求2或4所述的探针卡用螺丝紧固装置，其中，

所述连动部由齿轮构成，

所述连动部朝相反方向逆转，以使配置于所述连动部两侧的第一驱动部以及第二驱动部朝相同方向正转。

6.根据权利要求2或4所述的探针卡用螺丝紧固装置，其中，

所述连动部由同步皮带构成，

所述连动部朝相同方向正转，以使配置于所述连动部两侧的第一驱动部以及第二驱动部朝相同方向正转。

7.根据权利要求2所述的探针卡用螺丝紧固装置，其中，

所述探针卡用螺丝紧固装置包括圆形状的第一旋转导向件，所述第一旋转导向件设置成啮合于所述第二驱动部的外廓周围而旋转，并在内周面形成有齿形，

所述第一旋转导向件与所述第二驱动部连动并朝相同方向旋转。

8.根据权利要求4所述的探针卡用螺丝紧固装置，其中，

所述探针卡用螺丝紧固装置包括圆形状第二旋转导向件，所述第二旋转导向件设置成啮合于所述第二辅助驱动部的外廓周围而旋转，并在内周面形成有齿形，

所述第二旋转导向件与所述第二辅助驱动部连动并朝相同方向旋转。

9.根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，其中，

隔着驱动部支撑板配置所述紧固部以及所述驱动部，

所述紧固部以及所述驱动部与贯通所述驱动部支撑板的连接杆结合并朝相同方向旋转。

10.根据权利要求9所述的探针卡用螺丝紧固装置，其中，

所述驱动部支撑板以及所述连接杆之间设置有轴承。

11.根据权利要求3所述的探针卡用螺丝紧固装置，其中，

所述辅助驱动部的直径形成为小于或者大于所述驱动部的直径。

12.根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，其中，

所述驱动部包括：

第一驱动部；

第二驱动部，与所述第一驱动部隔开设置；以及，

第三驱动部，与所述第二驱动部隔开设置，

所述探针卡用螺丝紧固装置包括：

由齿轮构成的第一连动部，所述第一连动部将所述第一驱动部的旋转力传递至所述第二驱动部，以使所述第一驱动部和所述第二驱动部朝相同方向正转；以及，

由同步皮带构成的第二连动部，所述第二连动部将所述第二驱动部的旋转力传递至所述第三驱动部，以使所述第二驱动部和所述第三驱动部朝相同方向正转，

所述第二驱动部包括：

第一齿轮部，由与所述第一连动部相接的齿轮构成；以及，

第二齿轮部，由与所述第二连动部相接的齿轮构成。

13.根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，其中，

所述紧固部包括：

桶形状的主体部，与所述驱动部的下部结合；

突出形状的接触部，与所述主体部的下部结合；以及，

弹簧，插入于所述主体部的内部，一端支撑于所述主体部且另一端接触于所述接触部的另一端，以使所述接触部具有弹性。

14.一种探针卡组装装置，其中，所述探针卡组装装置具有根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，

所述探针卡组装装置包括装载台部，

所述探针卡包括：多个探针销、空间转换器以及PCB，

所述装载台部包括：

第一空间部，所述多个探针销与底面隔开地位于所述第一空间部；

第二空间部，所述空间转换器被安装并位于所述第二空间部；以及，

第三空间部，在所述空间转换器和所述PCB之间形成。

15.根据权利要求14所述的探针卡组装装置，其中，

所述第三空间部形成有与真空泵相连的吸气口。

16.根据权利要求15所述的探针卡组装装置，其中，

所述第三空间部的水平截面为圆形状，形成为比PCB的直径小，以使上部安装有PCB并使其密封。

17.根据权利要求16所述的探针卡组装装置，其中，

所述第二空间部的安装有所述空间转换器的安装面上插入第一密封部件，

安装有所述PCB的安装面上插入第二密封部件。

18.一种探针卡组装装置，其中，所述探针卡组装装置具有根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，所述探针卡组装装置包括升降驱动部，

所述升降驱动部包括：

杆，可旋转地设置；

滚珠螺杆，随所述杆的旋转而旋转；以及，

升降连杆，将所述滚珠螺杆的旋转转换成升降驱动。

19.根据权利要求18所述的探针卡组装装置，其中，

所述升降连杆包括：

一对输送块，分别设置于所述滚珠螺杆的两端，随着旋转彼此朝相反方向输送并使间距伸缩；

一对交叉杆，所述交叉杆的下端与所述一对输送块铰链结合并在上方相互交叉；以及，

固定台，铰链结合所述一对交叉杆的上端，并将一对交叉杆之间的上端间距保持恒定。

20.根据权利要求19所述的探针卡组装装置，其中，所述探针卡组装装置还包括：

基底部，设置于所述升降驱动部下部并支撑底面，以使所述升降驱动部与底面隔开；以及，

导向部，沿垂直长度方向设置在所述基底部的上部并支撑所述探针卡用螺丝紧固装置。