KR101682465B1 - 기판이송로봇 - Google Patents

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KR101682465B1
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Abstract

단순한 구조로 구성되면서도 기존 로봇의 모든 운동을 동일하게 수행할 수 있고, 기판 또는 웨이퍼의 투입 및 배출 운동과 기판 또는 웨이퍼의 회전운동을 바디부의 직선운동과 암부의 회전운동을 연동시켜 수행할 수 있도록 하는 기판이송로봇을 제공한다.
기판이송로봇은 상부에 레일이 설치된 베이스부, 상기 베이스부에 설치된 상기 레일 위를 직선 왕복 이동할 수 있도록 상기 베이스부에 수직하게 결합된 바디부, 상기 바디부에 상하 이동 가능하게 설치된 슬라이딩 부재, 일단부가 상기 슬라이딩 부재에 회전 가능하게 결합되는 암부, 상기 암부의 타단부에 회전 가능하게 결합되며 기판을 고정, 지지하는 핸드부를 포함하고, 상기 암부는 상기 슬라이딩 부재와 회전 가능하게 결합되도록 하는 제1조인트, 상기 핸드부와 회전 가능하게 결합되도록 하는 제2조인트, 상기 제1조인트와 상기 제2조인트를 연결하는 링크로 구성되고, 상기 바디부의 직선운동과 상기 암부의 회전운동을 조합하여 기판이 고정, 지지된 상기 핸드부가 직선운동과 회전운동을 수행할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판이송로봇{ROBOT FOR TRANSPORTING SUBSTRATE}
LCD 제조 공정 또는 반도체 제조 공정에서 기판 또는 웨이퍼를 이송하는 기판이송로봇을 개시한다.
LCD 제조 공정 또는 반도체 제조 공정에서 기판 또는 웨이퍼의 이송을 위해서는 카세트간 기판 또는 웨이퍼의 이송, 기판 또는 웨이퍼의 회전운동, 기판 또는 웨이퍼의 투입 및 배출 운동을 필요로 한다.
상기와 같은 기판 또는 웨이퍼의 이송을 위한 로봇은 다수의 축과 관절, 링크의 복잡한 구조를 가지게 되고, 이로 인해 로봇의 가격이 상승하는 원인이 된다.
로봇의 가격 상승을 줄이기 위해 로봇을 구성하는 축과 관절, 링크의 구조를 단순하게 구성할 필요가 있다.
본 발명의 일 측면은 단순한 구조로 구성되면서도 기존 로봇의 모든 운동을 동일하게 수행할 수 있는 기판이송로봇을 제공한다.
또한, 기판 또는 웨이퍼의 투입 및 배출 운동과 기판 또는 웨이퍼의 회전운동을 바디부의 직선운동과 암부의 회전운동을 연동시켜 수행할 수 있도록 하는 기판이송로봇을 제공한다.
본 발명의 일실시예에 따른 기판이송로봇은 상부에 레일이 설치된 베이스부, 상기 베이스부에 설치된 상기 레일 위를 직선 왕복 이동할 수 있도록 상기 베이스부에 수직하게 결합된 바디부, 상기 바디부에 상하 이동 가능하게 설치된 슬라이딩 부재, 일단부가 상기 슬라이딩 부재에 회전 가능하게 결합되는 암부, 상기 암부의 타단부에 회전 가능하게 결합되며 기판을 고정, 지지하는 핸드부를 포함하고, 상기 암부는 상기 슬라이딩 부재와 회전 가능하게 결합되도록 하는 제1조인트, 상기 핸드부와 회전 가능하게 결합되도록 하는 제2조인트, 상기 제1조인트와 상기 제2조인트를 연결하는 링크로 구성되고, 상기 바디부의 직선운동과 상기 암부의 회전운동을 조합하여 기판이 고정, 지지된 상기 핸드부가 직선운동과 회전운동을 수행할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
기판의 Y축 방향 이송을 위해 상기 바디부는 상기 베이스부에 설치된 상기 레일을 따라 Y축 방향으로 직선운동을 하고, 기판의 투입, 배출을 위해 상기 핸드부는 X축 방향으로 직선운동을 하고, 기판의 상하 이동을 위해 상기 핸드부와 상기 암부는 상기 바디부에 설치된 상기 슬라이딩 부재에 결합되어 Z축 방향으로 상하 이동될 수 있다.
상기 슬라이딩 부재에는 상기 제1조인트를 구동시키기 위해 상기 제1조인트와 벨트에 의해 연결되는 제1모터가 구비되고, 상기 링크에는 상기 제2조인트를 구동시키기 위해 상기 제2조인트와 벨트에 의해 연결되는 제2모터가 구비될 수 있다.
기판의 투입, 배출을 위한 상기 핸드부의 직선운동은 상기 바디부의 직선운동과 상기 암부의 회전운동에 의해 수행되고, 상기 암부의 회전운동은 상기 제1모터에 의해 구동되는 상기 제1조인트의 회전과 상기 제2모터에 의해 구동되는 상기 제2조인트의 회전에 의해 수행될 수 있다.
상기 핸드부의 직선운동은 상기 제1조인트가 Y축 방향에 대해 회전되는 각도인 제1회전각도와 상기 제2조인트가 상기 링크에 대해 회전되는 각도인 제2회전각도를 각각 상기 제1모터와 상기 제2모터에 의해 조절하여 수행될 수 있다.
상기 제1조인트가 Y축 방향에 대해 회전되는 각도인 제1회전각도와 상기 제2조인트가 상기 링크에 대해 회전되는 각도인 제2회전각도는 동일하도록 조절될 수 있다.
기판의 회전을 위한 상기 핸드부의 회전운동은 상기 바디부의 직선운동과 상기 암부의 회전운동에 의해 수행되고, 상기 암부의 회전운동은 상기 제1모터에 의해 구동되는 상기 제1조인트의 회전과 상기 제2모터에 의해 구동되는 상기 제2조인트의 회전에 의해 수행될 수 있다.
상기 핸드부의 회전운동은 상기 제1조인트가 Y축 방향에 대해 회전되는 각도인 제1회전각도와 상기 제2조인트가 상기 링크에 대해 회전되는 각도인 제2회전각도를 각각 상기 제1모터와 상기 제2모터에 의해 조절하여 수행될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 암부를 구성하는 링크와 조인트의 개수를 최소로 하여 기판이송로봇의 구성이 단순해진다.
또한, 단순한 구조로 구성되면서도 기존 로봇의 모든 운동을 동일하게 수행할 수 있어 기판이송로봇의 효율성과 가격 경쟁력이 확보된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송로봇의 사시도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송로봇의 암부와 슬라이딩 부재의 내부를 개략적으로 도시한 도면.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송로봇의 기판 또는 웨이퍼의 투입 및 배출을 위한 핸드부의 직선운동이 수행되는 과정을 나타내는 도면.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송로봇의 기판 또는 웨이퍼의 회전을 위한 핸드부의 회전운동이 수행되는 과정을 나타내는 도면.
이하에서는 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송로봇(1)의 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기판이송로봇(1)은 상부에 레일(11)이 설치되는 베이스부(10), 베이스부(10)의 상부에 설치되는 레일(11) 위를 직선 왕복 이동할 수 있도록 베이스부(10)에 수직하게 결합되는 바디부(20), 바디부(20)에 상하 이동 가능하게 설치되는 슬라이딩 부재(30), 일단부가 슬라이딩 부재(30)에 회전 가능하게 결합되는 암부(40), 암부(40)의 타단부에 회전 가능하게 결합되는 핸드부(50)를 포함하여 구성된다.
베이스부(10)의 상부에는 바디부(20)가 직선 왕복 이동할 수 있도록 레일(11)이 설치된다.
베이스부(10)의 상부에 설치되는 레일(11)은 Y축 방향으로 형성되어 바디부(20)가 레일(11) 위를 직선 왕복 이동하면서 기판 또는 웨이퍼(미도시)를 Y축 방향으로 이송할 수 있도록 한다.
바디부(20)는 베이스부(10)의 상부에 설치되는 레일(11) 위를 직선 왕복 이동할 수 있도록 수직하게 결합된다.
베이스부(10)의 상부에 수직하게 결합되는 바디부(20)는 베이스부(10)에 설치된 레일(11) 위를 직선 왕복 이동하면서 기판 또는 웨이퍼(미도시)를 Y축 방향으로 이송하게 된다.
바디부(20)에도 베이스부(10)와 마찬가지로 레일(21)이 설치된다.
바디부(20)에 설치되는 레일(21)은 Z축 방향으로 형성되어 슬라이딩 부재(30)가 Z축 방향으로 상하 이동될 수 있도록 한다.
슬라이딩 부재(30)는 바디부(20)에 Z축 방향으로 형성된 레일(21)을 이동할 수 있도록 바디부(20)에 설치된다.
슬라이딩 부재(30)가 바디부(20)에 설치된 레일(21)을 통해 Z축 방향으로 상하 이동하게 되면, 슬라이딩 부재(30)에 결합되는 암부(40)와, 암부(40)에 결합되는 핸드부(50)도 함께 Z축 방향으로 상하 이동하게 되고, 이를 통해 핸드부(50)에 고정, 지지된 기판 또는 웨이퍼(미도시)가 상하로 이동될 수 있게 된다.
암부(40)는 슬라이딩 부재(30)에 회전 가능하게 결합되도록 하는 제1조인트(43), 핸드부(50)와 회전 가능하게 결합되도록 하는 제2조인트(45), 제1조인트(43)와 제2조인트(45)를 연결하는 링크(41)로 구성된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 암부(40)를 구성하는 제1조인트(43)를 구동시키기 위해 슬라이딩 부재(30)에는 제1모터(M1)가 구비되고, 제2조인트(45)를 구동시키기 위해 제1조인트(43)와 제2조인트(45)를 연결하는 링크(41)에는 제2모터(M2)가 구비된다.
도면상에는 제1모터(M1)가 슬라이딩 부재(30)에 구비되는 것으로 도시하고 있지만, 제1모터(M1)는 제2모터(M2)가 구비되는 링크(41)에 함께 구비될 수도 있다.
슬라이딩 부재(30)에 구비된 제1모터(M1)는 벨트(B1)에 의해 제1조인트(43)와 연결되어 제1조인트(43)를 구동시키고, 링크(41)에 구비된 제2모터(M2)는 벨트(B2)에 의해 제2조인트(45)와 연결되어 제2조인트(45)를 구동시키게 된다.
슬라이딩 부재(30)에 구비된 제1모터(M1)에 의한 제1조인트(43)의 회전과 링크(41)에 구비된 제2모터(M2)에 의한 제2조인트(45)의 회전에 의해 암부(40)가 회전운동을 하게 된다.
암부(40)를 구성하는 링크(41)와 조인트(43, 45)의 개수를 최소로 하면서도 기존과 동일한 운동을 할 수 있도록 암부(40)를 구성하여 전체적인 기판이송로봇(1)의 구조를 단순하게 할 수 있게 된다.
상기와 같이, 베이스부(10) 상부에 설치된 레일(11)을 직선 왕복 이동하는 바디부(20)의 직선운동과, 제1모터(M1)에 의해 구동되는 제1조인트(43)의 회전과 제2모터(M2)에 의해 구동되는 제2조인트(45)의 회전에 의한 암부(40)의 회전운동을 연동시켜 핸드부(50)가 직선운동 및 회전운동을 수행할 수 있도록 한다.
핸드부(50)는 암부(40)의 제2조인트(45)와 회전 가능하게 결합된다.
핸드부(50)는 기판 또는 웨이퍼(미도시)를 고정, 지지하게 되는데, 이는 진공 흡착 등의 방법을 통해 이루어질 수 있다.
핸드부(50)는 바디부(20)의 직선운동과 암부(40)의 회전운동을 통해 직선운동 및 회전운동을 수행하게 된다.
핸드부(50)의 직선운동을 통해 기판 또는 웨이퍼(미도시)를 투입 또는 배출시키는 운동을 하게 되고, 핸드부(50)의 회전운동을 통해 기판 또는 웨이퍼(미도시)를 회전시키게 된다.
다음으로, 도 3 내지 도 4를 참고로 하여 기판이송로봇(1)이 기판 또는 웨이퍼(미도시)의 투입 또는 배출을 수행하도록 하는 핸드부(50)의 직선운동과 기판 또는 웨이퍼(미도시)의 회전을 수행하도록 하는 핸드부(50)의 회전운동이 바디부(20)의 직선운동과 암부(40)의 회전운동을 통해 이루어지는 과정을 살펴본다.
우선, 기판 또는 웨이퍼(미도시)의 투입 또는 배출을 위해 바디부(20)의 직선운동과 암부(40)의 회전운동이 연동되어 핸드부(50)가 직선운동을 수행하는 과정을 살펴본다.
도 3에 도시된 바와 같이, 베이스부(10)의 상부에 Y축 방향으로 설치된 레일(11) 위에서 바디부(20)가 도면상 우측으로 직선운동을 하고, 슬라이딩 부재(30)에 구비된 제1모터(M1)에 의해 제1조인트(43)가 Y축 방향에 대해 반시계 방향으로 회전하게 되면 암부(40)를 구성하는 링크(41)가 반시계 방향으로 회전되면서 핸드부(50)가 도면상 전방으로 직선운동을 수행하게 된다.
또한, 핸드부(50)가 회전되지 않고 전방을 향한 상태 그대로 직선운동을 할 수 있도록 링크(41)에 구비된 제2모터(M2)에 의해 제2조인트(45)가 링크(41)에 대해 시계 방향으로 회전하게 되면 핸드부(50)가 시계 방향으로 회전되면서 전방을 향한 상태를 유지하게 된다.
상기와 같이, 핸드부(50)가 전방을 향한 상태를 유지하면서 전방으로 직선운동을 하기 위해서는 제1조인트(43)가 Y축 방향에 대해 회전되는 각도인 제1회전각도(A1)와 제2조인트(45)가 링크(41)에 대해 회전되는 각도인 제2회전각도(A2)를 바디부(20)가 직선운동에 의해 이동된 지점에서 제2조인트(45)까지의 수직거리(Y1)에 따라 제1모터(M1)와 제2모터(M2)에 의해 조절해 주어야 한다.
이때, 제1조인트(43)가 Y축 방향에 대해 회전되는 각도인 제1회전각도(A1)와 제2조인트(45)가 링크(41)에 대해 회전되는 각도인 제2회전각도(A2)는 동일하게 유지되도록 조절되어야 한다.
핸드부(50)가 전방을 향한 상태를 유지하면서 전방으로 직선운동을 할 때, 바디부(20)가 직선운동에 의해 이동된 지점에서 제2조인트(45)까지 Y축 방향으로의 수직거리(Y1), 제1회전각도(A1), 제2회전각도(A2), 핸드부(50)의 직선운동에 의한 이동거리(X), 링크(41)의 길이(L)의 관계는 [A1 = A2 = A], [Y1 = L * cosA], [X = L * sinA]로 정의할 수 있다.
상기와 같이 정의되는 관계식에 맞도록 제1모터(M1)와 제2모터(M2)에 의해 구동되는 제1조인트(43)와 제2조인트(45)의 제1회전각도(A1)와 제2회전각도(A2)를 조절해주면 핸드부(50)가 전방을 향한 상태를 유지하면서 전방으로 직선운동을 하게 된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 베이스부(10)의 상부에 Y축 방향으로 설치된 레일(11) 위에서 바디부(20)가 도면상 좌측으로 직선운동을 하고, 슬라이딩 부재(30)에 구비된 제1모터(M1)에 의해 제1조인트(43)가 Y축 방향에 대해 시계 방향으로 회전하게 되면 암부(40)를 구성하는 링크(41)가 시계 방향으로 회전되면서 핸드부(50)가 도면상 후방으로 직선운동을 수행하게 된다.
또한, 핸드부(50)가 회전되지 않고 전방을 향한 상태 그대로 직선운동을 할 수 있도록 링크(41)에 구비된 제2모터(M2)에 의해 제2조인트(45)가 링크(41)에 대해 반시계 방향으로 회전하게 되면 핸드부(50)가 반시계 방향으로 회전되면서 후방을 향한 상태를 유지하게 된다.
상기와 같이, 핸드부(50)가 후방을 향한 상태를 유지하면서 전방으로 직선운동을 하기 위해서는 제1조인트(43)가 Y축 방향에 대해 회전되는 각도인 제1회전각도(A1)와 제2조인트(45)가 링크(41)에 대해 회전되는 각도인 제2회전각도(45)를 바디부(20)가 직선운동에 의해 이동된 지점에서 제2조인트(45)까지의 수직거리(Y1)에 따라 제1모터(M1)와 제2모터(M2)에 의해 조절해 주어야 한다.
이때, 제1조인트(43)가 Y축 방향에 대해 회전되는 각도인 제1회전각도(A1)와 제2조인트(45)가 링크(41)에 대해 회전되는 각도인 제2회전각도(A2)는 동일하게 유지되도록 조절되어야 한다.
핸드부(50)가 전방을 향한 상태를 유지하면서 후방으로 직선운동을 할 때, 바디부(20)가 직선운동에 의해 이동된 지점에서 제2조인트(45)까지 Y축 방향으로의 수직거리(Y1), 제1회전각도(A1), 제2회전각도(A2), 핸드부(50)의 직선운동에 의한 이동거리(X), 링크(41)의 길이(L)의 관계는 [A1 = A2 = A], [Y1 = L * cosA], [X = L * sinA]로 정의할 수 있다.
상기와 같이 정의되는 관계식에 맞도록 제1모터(M1)와 제2모터(M2)에 의해 구동되는 제1조인트(43)와 제2조인트(45)의 제1회전각도(A1)와 제2회전각도(A2)를 조절해주면 핸드부(50)가 전방을 향한 상태를 유지하면서 후방으로 직선운동을 하게 된다.
기판 또는 웨이퍼(미도시)의 회전을 위해 바디부(20)의 직선운동과 암부(40)의 회전운동이 연동되어 핸드부(50)가 회전운동을 수행하는 과정을 살펴본다.
도 5에 도시된 바와 같이, 베이스부(10)의 상부에 Y축 방향으로 설치된 레일(11) 위에서 바디부(20)가 도면상 우측으로 직선운동을 하고, 슬라이딩 부재(30)에 구비된 제1모터(M1)에 의해 제1조인트(43)가 Y축 방향에 대해 반시계 방향으로 회전하여 암부(40)를 구성하는 링크(41)가 반시계 방향으로 회전되도록 하고, 링크(41)에 구비된 제2모터(M2)에 의해 제2조인트(45)가 링크(41)에 대해 시계 방향으로 회전하여 핸드부(50)가 시계 방향으로 회전되도록 함으로써, 핸드부(50)는 시계 방향으로 회전운동을 하게 된다.
상기와 같이, 핸드부(50)가 시계 방향으로 회전운동을 하기 위해서는 제1조인트(43)가 Y축 방향에 대해 회전되는 각도인 제1회전각도(A1)와 제2조인트(45)가 링크(41)에 대해 회전되는 각도인 제2회전각도(A2)를 바디부(20)가 직선운동에 의해 이동된 지점에서 핸드부(50)에 고정되는 기판 또는 웨이퍼(미도시)의 회전중심(C)까지의 수직거리(Y2)에 따라 제1모터(M1)와 제2모터(M2)에 의해 조절해 주어야 한다.
핸드부(50)가 회전운동을 할 때, 바디부(20)가 직선운동에 의해 이동된 지점에서 핸드부(50)에 고정되는 기판 또는 웨이퍼(미도시)의 회전중심까지 Y축 방향으로의 수직거리(Y2), 제1회전각도(A1), 제2회전각도(A2), 제2조인트(45)에서 핸드부(50)에 고정되는 기판(미도시) 회전중심(C)까지의 거리(R), 링크(41)의 길이(L)의 관계는 [(L * cosA1)ㅂ + (R - R * cos(A1 - A2))ㅂ = Lㅂ], [Y2 = L* cosA1 - R * sin(A1 - A2)]로 정의할 수 있다.
상기와 같이 정의되는 관계식에 맞도록 제1모터(M1)와 제2모터(M2)에 의해 구동되는 제1조인트(43)와 제2조인트(45)의 제1회전각도(A1)와 제2회전각도(A2)를 조절해주면 핸드부(50)가 시계 방향으로 회전운동을 하게 된다.
도 6에 도시된 바와 같이, 베이스부(10)의 상부에 Y축 방향으로 설치된 레일(11) 위에서 바디부(20)가 도면상 좌측으로 직선운동을 하고, 슬라이딩 부재(30)에 구비된 제1모터(M1)에 의해 제1조인트(43)가 Y축 방향에 대해 시계 방향으로 회전하여 암부(40)를 구성하는 링크(41)가 시계 방향으로 회전되도록 하고, 링크(41)에 구비된 제2모터(M2)에 의해 제2조인트(45)가 링크(41)에 대해 반시계 방향으로 회전하여 핸드부(50)가 반시계 방향으로 회전되도록 함으로써, 핸드부(50)는 반시계 방향으로 회전운동을 하게 된다.
상기와 같이, 핸드부(50)가 반시계 방향으로 회전운동을 하기 위해서는 제1조인트(43)가 Y축 방향에 대해 회전되는 각도인 제1회전각도(A1)와 제2조인트(45)가 링크(41)에 대해 회전되는 각도인 제2회전각도(A2)를 바디부(20)가 직선운동에 의해 이동된 지점에서 핸드부(50)에 고정되는 기판 또는 웨이퍼(미도시)의 회전중심(C)까지의 수직거리(Y2)에 따라 제1모터(M1)와 제2모터(M2)에 의해 조절해 주어야 한다.
핸드부(50)가 회전운동을 할 때, 바디부(20)가 직선운동에 의해 이동된 지점에서 핸드부(50)에 고정되는 기판 또는 웨이퍼(미도시)의 회전중심(C)까지 Y축 방향으로의 수직거리(Y2), 제1회전각도(A1), 제2회전각도(A2), 제2조인트(45)에서 핸드부(50)에 고정되는 기판(미도시) 회전중심까지의 거리(R), 링크(41)의 길이(L)의 관계는 [(L * cosA1)ㅂ + (R - R * cos(A1 - A2))ㅂ = Lㅂ], [Y2 = L* cosA1 - R * sin(A1 - A2)]로 정의할 수 있다.
상기와 같이 정의되는 관계식에 맞도록 제1모터(M1)와 제2모터(M2)에 의해 구동되는 제1조인트(43)와 제2조인트(45)의 제1회전각도(A1)와 제2회전각도(A2)를 조절해주면 핸드부(50)가 반시계 방향으로 회전운동을 하게 된다.
이상에서 첨부된 도면을 참조하여 기판이송로봇(1)을 설명함에 있어 특정 형상 및 방향을 위주로 설명하였으나, 이는 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1 : 기판이송로봇
10 : 베이스부
20 : 바디부 11, 21 : 레일
30 : 슬라이딩 부재
40 : 암부 41 : 링크
43 : 제1조인트 45 : 제2조인트
50 : 핸드부
M1 : 제1모터 M2 : 제2모터
B1, B2 : 벨트
A1 : 제1회전각도 A2 : 제2회전각도
L : 링크의 길이 C : 기판 회전중심
X : 핸드부의 직선운동에 의한 이동거리
Y1 : 바디부가 직선운동에 의해 이동된 지점에서 제2조인트까지 Y축 방향으로의 수직거리
Y2 : 바디부가 직선운동에 의해 이동된 지점에서 핸드부에 고정되는 기판 또는 웨이퍼의 회전중심까지 Y축 방향으로의 수직거리
R : 제2조인트에서 핸드부에 고정되는 기판 회전중심까지의 거리

Claims (8)

  1. 상부에 레일이 설치된 베이스부;
    상기 베이스부에 설치된 상기 레일 위를 직선 왕복 이동할 수 있도록 상기 베이스부에 수직하게 결합된 바디부;
    상기 바디부에 상하 이동 가능하게 설치된 슬라이딩 부재;
    일단부가 상기 슬라이딩 부재에 회전 가능하게 결합되는 암부;
    상기 암부의 타단부에 회전 가능하게 결합되며 기판을 고정, 지지하는 핸드부;
    를 포함하고,
    상기 암부는 상기 슬라이딩 부재와 회전 가능하게 결합되도록 하는 제1조인트, 상기 핸드부와 회전 가능하게 결합되도록 하는 제2조인트, 상기 제1조인트와 상기 제2조인트를 연결하는 링크로 구성되고,
    상기 슬라이딩 부재에는 상기 제1조인트를 구동시키기 위해 상기 제1조인트와 벨트에 의해 연결되는 제1모터가 구비되고, 상기 링크에는 상기 제2조인트를 구동시키기 위해 상기 제2조인트와 벨트에 의해 연결되는 제2모터가 구비되고,
    상기 바디부의 직선운동과 상기 암부의 회전운동을 조합하여 기판이 고정, 지지된 상기 핸드부가 직선운동과 회전운동을 수행하고,
    상기 암부의 회전운동은 상기 제1모터에 의해 구동되는 상기 제1조인트의 회전과 상기 제2모터에 의해 구동되는 상기 제2조인트의 회전에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 기판이송로봇.
  2. 제 1 항에 있어서,
    기판의 Y축 방향 이송을 위해 상기 바디부는 상기 베이스부에 설치된 상기 레일을 따라 Y축 방향으로 직선운동을 하고, 기판의 투입, 배출을 위해 상기 핸드부는 X축 방향으로 직선운동을 하고, 기판의 상하 이동을 위해 상기 핸드부와 상기 암부는 상기 바디부에 설치된 상기 슬라이딩 부재에 결합되어 Z축 방향으로 상하 이동되는 것을 특징으로 하는 기판이송로봇.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 핸드부의 직선운동은 상기 제1조인트가 Y축 방향에 대해 회전되는 각도인 제1회전각도와 상기 제2조인트가 상기 링크에 대해 회전되는 각도인 제2회전각도를 각각 상기 제1모터와 상기 제2모터에 의해 조절하여 수행되는 것을 특징으로 하는 기판이송로봇.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1조인트가 Y축 방향에 대해 회전되는 각도인 제1회전각도와 상기 제2조인트가 상기 링크에 대해 회전되는 각도인 제2회전각도는 동일하도록 조절되는 것을 특징으로 하는 기판이송로봇.
  7. 삭제
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 핸드부의 회전운동은 상기 제1조인트가 Y축 방향에 대해 회전되는 각도인 제1회전각도와 상기 제2조인트가 상기 링크에 대해 회전되는 각도인 제2회전각도를 각각 상기 제1모터와 상기 제2모터에 의해 조절하여 수행되는 것을 특징으로 하는 기판이송로봇.
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