KR20060049255A - 트랜스퍼 로봇 - Google Patents

Abstract

　 워크 반송 시스템의 스케일다운 및 장치의 소형화를 도모할 수 있고, 또한, 쓰레기 등의 부착을 방지하면서 워크를 순조롭게 주고받을 수 있는 트랜스퍼 로봇을 제공한다. 트랜스퍼 로봇(Ａ1)은, 상하 방향으로 개방한 오픈 스페이스(40)를 갖는 프레임 부재(4)와, 오픈 스페이스(40)를 걸쳐 프레임 부재(4)에 대들보 모양으로 설치되어 있음과 동시에, 워크(W)의 하면을 지지하면서 수평방향으로 신축하는 복수의 슬라이드 암 기구(5)와, 복수의 슬라이드 암 기구(5)와 상하 방향으로 간섭하는 일 없이 오픈 스페이스(40) 내에 수납되도록 설치되어 있음과 동시에, 프레임 부재(4)가 하강 이동해서 소정의 위치에 있는 상태에서는, 상대적으로 오픈 스페이스(40)보다도 상방에 위치하고, 그 때, 워크(W)를 공기압에 의해 부상시켜 유지하는 에어 벤트 스테이지(6)를 구비하고 있다.

Description

트랜스퍼 로봇 {TRANSFER ROBOT}

도 1은, 본원 발명에 관련된 트랜스퍼 로봇의 일 실시예를 나타내는 전체 사시도이다.

도 2는, 도 1에 나타낸 트랜스퍼 로봇의 전체 상면도이다.

　도 3은, 도 1에 나타낸 트랜스퍼 로봇의 일부 정면도이다.

　도 4는, 도 1에 나타낸 트랜스퍼 로봇의 전체 측면도이다.

　도 5는, 도 1에 나타낸 트랜스퍼 로봇에 포함되는 에어 벤트 스테이지의 일부 절단 사시도이다.

도 6은, 도 1에 나타낸 트랜스퍼 로봇에 포함되는 에어 벤트 스테이지의 일부 단면도이다.

　도 7은, 도 1에 나타낸 트랜스퍼 로봇에 포함되는 크랭크 기구의 단면도이다.

　도 8은, 도 1에 나타낸 트랜스퍼 로봇에 포함되는 슬라이드 암 기구의 내부 구조도이다.

　도 9는, 도 1에 나타낸 트랜스퍼 로봇에 포함되는 승강 기구의 내부 구조도이다.

　도 10은, 도 1에 나타낸 트랜스퍼 로봇의 동작을 설명하기 위한 설명도이다.

　도 11은, 도 10에 나타낸 카세트부의 일부 정면도이다.

　도 12는, 도 10에 나타낸 카세트부의 내부 평면도이다.

　도 13은, 종래의 트랜스퍼 로봇을 설명하기 위한 설명도이다.

　도 14는, 종래의 트랜스퍼 로봇을 설명하기 위한 설명도이다.

<부호의 간단한 설명>

2 승강 기구 3 베이스 부재

4A 상단 핸드 스테이지 4B 하단 핸드 스테이지

4 프레임 부재 5 슬라이드 암 기구

50 가이드레일 51 제 1 슬라이드 암

52 제 2 슬라이드 암 6 에어 벤트 스테이지

62 구동 롤러 7 클램프 기구

8 공기 공급원 A1 트랜스퍼 로봇

W 워크

본원 발명은, 예를 들면 액정 패널용 유리 기판과 같은 판 모양의 워크를 수평으로 유지하면서 소정의 장소로부터 다른 장소로 주고받기 위한 트랜스퍼 로봇에 관한 것이다.

상기 종류의 트랜스퍼 로봇으로서는, 예를 들면 특허 문헌 1에 개시된 것이 있다. 상기 특허 문헌 1에 개시된 트랜스퍼 로봇은, 본원의 도 13 및 도 14에 나타낸 것과 같이, 판 모양의 워크(W)를 수평으로 유지하는 핸드(400)와, 상기 핸드(400)를 소정의 수평 직선 이동 행정(Ｓ)을 따라 전진·후퇴시키는 직선 이동 기구(300)와, 상기 직선 이동 기구(300)에 포함되는 지지 베이스(310)를, 상하 방향으로 이동시키는 승강기구(200)를 구비하고 있다. 직선 이동 기구(300)는, 지지 베이스(310) 외에, 상기 지지 베이스(310)에 기단부(基端部)가 연결된 제 1 수평 링크 암(320)과, 상기 제 1 수평 링크 암(320)의 선단부에 기단부가 연결되어 있음과 동시에, 상기 핸드(400)를 연직축 주위로 회전 가능토록 하여 선단부에 지지하는 제 2 수평 링크 암(330)을 포함해서 구성되어 있다. 승강기구(200)는, 고정 베이스(100)에 기단부가 연결된 제 1 기립(起立) 링크 암(210)과, 상기 제 1 기립 링크 암(210)의 선단부에 기단부가 연결되어 있음과 동시에, 상기 지지 베이스를 수평축 주위로 회전 가능하게 하여 선단부에 지지하는 제 2 기립 링크 암(220)을 포함해서 구성되어 있다. 지지 베이스(310)는, 제 1 및 제 2 기립 링크 암(210, 220)이 수평축 주위를 회전함으로서, 일정 자세를 유지하면서 상하 방향으로 이동된다. 핸드(400)는, 제 1 및 제 2 수평 링크 암(320, 330)이 연직축 주위를 회전함으로서, 일정 자세를 유지하면서 수평 직선 이동 행정(Ｓ)을 따라 전진·후퇴한다. 그리고, 지지 베이스(310)에는, 연직축 주위를 회전하는 회전 부재(311)가 설치되어 있고, 상기 회전 부재(311)를 개재해서 지지 베이스(310)와 제 1 수평 링크 암(320)이 연결되어 있다.

상기와 같은 트랜스퍼 로봇(X)은, 도 13에 나타낸 것과 같이, 다수의 워크(W)를 수용한 카세트부(Ｃ)로부터 버퍼부(B)를 통하여 워크(W)를 수취할 수 있도록, 버퍼부(B)에 인접한 로봇부(R)에 설치되어 있다. 카세트부(Ｃ)에는, 다수의 워크(W)가 연직 방향으로 일정 간격을 두고 겹쳐진 상태로 승강 스테이지(C1)에 유지되어 있다. 승강 스테이지(C1)가 하방으로 이동하면, 최하단에 유지된 워크(W)가 카세트부(Ｃ)의 롤러 컨베이어(C2) 상에 재치된다. 승강 스테이지(C1)에는, 롤러 컨베이어(C2) 의 반송 폭 방향을 따라 워크(W)의 하면을 지지하는 복수의 와이어(도시 생략)가 설치되어 있고, 이들 와이어는, 롤러 컨베이어(C2)의 틈으로 진입할 수 있다. 이에 따라, 승강 스테이지(C1)가 하방으로 이동했을 때에는, 롤러 컨베이어(C2)보다도 하방으로 와이어가 이동하고, 상기 와이어에 지지되어 있던 워크(W)가 롤러 컨베이어(C2) 위에 놓아둔 상태로 되어 재치된다.

그 후, 워크(W)는, 카세트부(Ｃ)의 롤러 컨베이어(C2)로부터 버퍼부(B)의 롤러 컨베이어(B1) 상으로 반송된다. 버퍼부(B)의 롤러 컨베이어(B1)에는, 도 14에 나타낸 것과 같이, 트랜스퍼 로봇(X)의 핸드(400)를 삽입 가능한 틈새부(B2)가 설치되어 있다. 트랜스퍼 로봇(X)은, 승강기구(200) 및 직선 이동 기구(300)를 작동시킴으로서, 핸드(400)를 롤러 컨베이어(B1)의 틈새부(B2)에 넣은 상태로 하고, 또한 핸드(400)를 롤러 컨베이어(B1)보다도 상방으로 들어 올린 상태로 한다. 이것에 의해, 버퍼부(B)의 롤러 컨베이어(B1) 상에 있던 워크(W)가 핸드(400) 위로 실어 옮긴다. 다시 그 후, 트랜스퍼 로봇(X)은, 핸드(400)를 로봇부(R)의 소정 위치까지 후퇴시켜서 회전 부재(311)를 예를 들면 180도 또는 90도 회전시키고, 핸드(400)를 도면 밖의 워크 처리부로 향한 자세로 다시 직선 이동 기구(300)를 작동시킨다. 이에 따라, 트랜스퍼 로봇(X)은, 카세트부(Ｃ)로부터 버퍼부(B)를 경유해서 수취한 워크(W)를 이송 장소인 워크 처리부로 전송한다.

[특허 문헌1] 일본 특허 공개 2003-275980호 공보

그러나, 상기 종래의 트랜스퍼 로봇(X)에서는, 롤러 컨베이어(B1)의 하방으로부터 워크(W)를 들어 올리도록 해서 핸드(400) 상에 실어야하므로, 로봇부(R)와 카세트부(Ｃ)와의 사이에 워크(W)를 주고받기 위한 버퍼부(B)를 설치해야한다. 즉, 버퍼부의 설비나 그 설치 스페이스를 필요로 하기 때문에, 트랜스퍼 로봇을 포함하는 워크 반송 시스템이 대규모로 되어 버린다.

또한, 도 13에 나타낸 것과 같이, 롤러 컨베이어(B1, C2)는, 카세트부(Ｃ)로부터 버퍼부(B)에로 거리(L0)를 가지고 워크(W)를 반송해야 하는 한편, 트랜스퍼 로봇(X)은, 로봇부(R)와 버퍼부(B)와의 사이에서 거리(L1)를 가지고 핸드(400)를 전진·후퇴시켜야 하고, 양자 모두 워크나 핸드에 대해서 비교적 긴 거리를 이동시켜야 한다. 특히 트랜스퍼 로봇에 대해서는, 핸드를 이동시키는 거리(L1)가 길어지면 길어질수록, 동작시의 안정성 등을 확보하는 면에서, 대형화 되어 버리는 문제가 있다.

나아가, 워크(W)는 그 하면이 롤러 컨베이어(B1, C2)나 핸드(400)에 직접 접하기 때문에, 워크(w)에 대해서 쓰레기 등이 부착되기 쉽고, 워크(W)의 하면에 상 처가 날 우려도 있다. 이와 같은 점에서, 워크(W)를 주고받을 때에는, 롤러 컨베이어(B1, C2)나 핸드(400)가 비교적 천천히 움직이도록 되어 있고, 이것으로는 워크(W)를 순조롭게 주고받을 수 없다.

본원 발명은, 상기한 사정 하에서 발명된 것으로, 워크 반송 시스템의 스케일다운 및 장치의 소형화를 도모할 수 있고, 또한, 쓰레기 등의 부착을 방지하면서 워크를 순조롭게 주고받을 수 있는 트랜스퍼 로봇을 제공하는 것을 그 과제로 하고 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본원 발명에서는, 다음의 기술적 수단을 강구하고 있다.

본원 발명에 의해 제공되는 트랜스퍼 로봇은, 판 모양의 워크를 수평으로 유지하면서 소정의 장소로부터 수취함과 동시에, 수취한 워크를 다른 장소로 인도하는 트랜스퍼 로봇에 있어서, 베이스 부재와, 상기 베이스 부재에 상하 이동 가능하게 지지되어 있는 프레임 부재와, 상기 프레임 부재에 설치되어 있음과 동시에, 워크의 하면을 지지하면서 수평 방향으로 신축하는 복수의 슬라이드 암 기구와, 상기 복수의 슬라이드 암 기구와 상하 방향으로 간섭하지 않도록 해서 상기 베이스 부재에 대해서 지지되어 있음과 동시에, 상기 프레임 부재가 하강 이동해서 소정의 위치에 있는 상태에서는, 워크를 공기압에 의해 부상시키는 에어 벤트 스테이지를 구비한 것을 특징으로 하고 있다.

바람직한 실시예로서는, 상기 에어 벤트 스테이지는, 상기 베이스 부재에 수평 이동 가능하게 지지되어 있다.

이와 같은 구성에 의하면, 예를 들면, 소정의 장소로부터 워크를 수취할 경우, 트랜스퍼 로봇은, 해당 장소에 에어 벤트 스테이지를 옆으로 갖다 댄다. 이 때, 프레임 부재는, 하강 이동해서 소정의 위치에 있는 상태로 된다. 그 때문에, 에어 벤트 스테이지는, 상대적으로 프레임 부재보다도 상방에 위치한 상태로 된다. 이것에 의해, 에어 벤트 스테이지는 프레임 부재나 슬라이드 암 기구에 걸리는 일 없이 수평 방향으로 이동할 수 있고, 상기 소정의 장소에 가장 근접한 자세를 취할 수 있다. 그렇게 한 뒤, 소정의 장소로부터 워크가 반송되어 온다. 이 때, 워크는, 에어 벤트 스테이지 상에 차례로 이동함과 동시에, 에어 벤트 스테이지 상에서는, 공기압에 의해 워크가 부상된다. 결국, 워크는, 에어 벤트 스테이지에 대해서 비접촉 상태로 에어 벤트 스테이지 상으로 이동한다. 이것에 의해, 워크에 대한 쓰레기 등의 부착을 효과적으로 방지하면서, 워크를 순조롭게 수취할 수 있다. 나아가 그 뒤, 에어 벤트 스테이지는, 워크를 지지한 채로 프레임 부재의 상방으로 되돌아간다. 그렇게 한 뒤, 프레임 부재가 상승 이동함으로서, 워크는 에어 벤트 스테이지로부터 복수의 슬라이드 암 기구에 의해 유지되도록 바꾸어 실을 수 있다. 그리고, 복수의 슬라이드 암 기구는, 워크를 지지한 채로 수평 방향으로 신장함으로서, 워크를 다른 장소로 인도한다.

따라서, 본원 발명에 관련된 트랜스퍼 로봇에 의하면, 소정의 장소에 에어 벤트 스테이지를 옆으로 갖다 댄 상태에서 워크를 수취할 수 있기 때문에, 종래의 버퍼부와 같은 설비나 그 설치 스페이스가 불필하게 되고, 워크 반송 시스템의 스케일다운을 도모할 수 있다. 또한, 트랜스퍼 로봇으로서는, 에어 벤트 스테이지나 슬라이드 암 기구에 대해서의 수평 이동 거리를 될 수 있는 한 짧게 해서 소형화를 도모할 수 있다. 나아가서는, 워크를 공기압에 의해 에어 벤트 스테이지 상에 부상시키면서, 비접촉 상태로 유지할 수 있기 때문에, 쓰레기 등의 부착을 방지하면서 워크를 순조롭게 주고받을 수 있다.

바람직한 실시예로서는, 상기 에어 벤트 스테이지에는, 워크의 하면을 지지하면서 상기 워크를 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 구동 롤러 또는 구동 벨트가 설치되어 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 예를 들면 에어 벤트 스테이지 상에 워크가 반송되어 올 때, 워크를 부상시키면서도 구동 롤러 또는 구동 벨트를 통하여 보다 순조롭게 워크를 수취할 수 있다.

바람직한 실시예로서는, 상기 베이스 부재는, 연직축 주위에 회전 가능하게 구성되어 있고, 상기 베이스 부재에는, 상기 에어 벤트 스테이지에 공기를 보내기 위한 공기 공급원이 구비되어 부착되어 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 예를 들면 에어 벤트 스테이지 상에 워크를 유지한 상태에서도, 베이스 부재를 지장 없이 회전시킬 수 있다.

바람직한 실시예로서는, 상기 슬라이드 암 기구는, 상기 프레임 부재에 직접 고정되는 가이드 레일과, 상기 가이드 레일에 슬라이드 가능하게 지지되어 있는 제 1 슬라이드 암을 포함해서 구성되어 있다. 또한, 상기 슬라이드 암 기구는 다시, 상기 제 1 슬라이드 암에 슬라이드 가능하게 지지되어 있음과 동시에, 워크의 하면 에 직접 접하는 제 2 슬라이드 암을 포함해서 구성되어 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 예를 들면 제 2 슬라이드 암 상에 유지된 워크를 인도할 때, 제 1 및 제 2 슬라이드 암을 신장시킴으로서, 워크를 수평으로 유지하면서 목적으로 하는 장소로 옮길 수 있다.

바람직한 실시예로서는, 상기 프레임 부재에는, 워크의 대각부(對角部) 또는 양측부를 협지(挾持) 가능한 클램프 기구가 설치되어 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 에어 벤트 스테이지 상이나 슬라이드 암 기구 상에 유지된 워크의 자세를 클램프 기구에 의해 교정할 수 있고, 워크의 위치 조정을 그때 마다 적절히 행할 수 있다.

바람직한 실시예로서는, 상기 프레임 부재 및 상기 복수의 슬라이드 암 기구는, 워크를 유지하면서 상하 방향 및 수평 방향으로 이동하는 핸드 스테이지를 구성하고 있고, 상기 핸드 스테이지로서, 서로 상하로 인접해서 단차 모양으로 되는 제 1 및 제 2 핸드 스테이지를 구비하고 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 2조의 핸드 스테이지를 교대로 이용해서 워크의 주고받기를 보다 효율 좋게 행할 수 있다.

바람직한 실시예로서는, 상기 베이스 부재를 상하 방향으로 이동시키는 승강 기구를 구비하고 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 각 장소의 높이에 에어 벤트 스테이지나 슬라이드 암 기구의 높이를 맞추어, 이들 장소와의 사이에서 워크를 적절히 주고받을 수 있다.

본 발명의 그 밖의 특징 및 이점은, 첨부 도면을 참조해서 이하에서 행하는 상세한 설명에 의해서, 보다 명확해 질 것이다.

< 실시 예 >

이하, 본원 발명의 바람직한 실시예를, 도면을 참조해서 구체적으로 설명한다. 도 1∼10은, 본원 발명에 관련된 트랜스퍼 로봇의 일 실시예를 나타내고 있다. 즉, 각 도에 있어서는, 구성 요소나 그 일부를 적당히 생략하고 있다.

도 １∼4에 잘 나타나 있는 것과 같이, 본 실시예의 트랜스퍼 로봇(A1)은, 크게 나누면, 승강기구(2), 승강기구(2)에 의해 상하 방향으로 이동되는 베이스 부재(3), 베이스 부재(3)에 상하 이동 가능하게 지지되어 있는 프레임 부재(4), 프레임 부재(4)에 대들보 모양으로 설치되어 있는 복수의 슬라이드 암 기구(5) 및 복수의 슬라이드 암 기구(5)와 상하 방향으로 간섭하는 일 없이 프레임 부재(4)의 오픈 스페이스(40) 내에 수납되도록 설치되어 있는 복수의 에어 벤트 스테이지(6)를 갖고 구성되어 있다. 프레임 부재(4) 및 복수의 슬라이드 암 기구(5)는, 워크(W)를 유지하면서 소정의 방향으로 이동시키는 핸드 스테이지를 구성하고 있고, 이와 같은 핸드 스테이지로서는, 서로 상하로 인접해서 단차 모양으로 되도록 상단 핸드 스테이지(4A)와 하단 핸드 스테이지(4B)가 설치되어 있다. 에어 벤트 스테이지(6)는, 베이스 부재(3)로 수평 이동 가능하게 지지되어 있다. 그리고, 이하의 설명이나 각 도에 있어서는, 워크(W)가 이동되는 수평 방향을 x축 방향, 상기 x축 방향에 직교하는 수평 방향을 y축 방향, x축 및 y축 양쪽 방향에 직교하는 상하 방향을 z축 방향으로 한다.

도 9에 잘 나타나 있는 것과 같이, 승강기구(2)는, 고정 베이스(1), 고정 베이스(1)에 설치된 제 1 승강용 모터(Ｍ1), 고정 베이스(1)에 대해서 y축 주위에 회 전 가능하게 기단부(20a)가 연결된 제 1 기립 링크 암(20), 제 1 기립 링크 암(20)의 선단부(20b)에 내장된 제 2 승강용 모터(Ｍ2), 제 1 기립 링크 암(20)의 선단부(20b)에 기단부(21a)가 연결되어 있음과 동시에, 후술하는 베이스 부재(3)의 기부(30)를 지탱하는 대좌(21c)를 선단부(20b)에 지지하는 제 2 기립 링크 암(21), 및 제 1 및 제 2 기립 링크 암(20, 21)에 연동하는 제 1 및 제 2 보조 암(22, 23)을 갖고 구성되어 있다.

제 1 기립 링크 암(20)의 기단부(20a)는, 제 1 승강용 모터(Ｍ1)로부터 감속 기구（도시 생략）를 통하여 회전력이 전달되는 것에 의해 ｙ축 주위로 회전한다. 제 2 기립 링크 암(21)의 기단부(21a)는, 제 2 승강용 모터(Ｍ2)로부터 감속 기구（도시 생략）를 통하여 회전력이 전달되는 것에 의해, 제 1 기립 링크 암(20)의 선단부(20b)를 지점으로 해서 ｙ축 주위를 회전한다. 그리고, 제 1 및 제 2 기립 링크 암(20, 21)은, 동일 각도를 가지고 서로 역방향으로 회전하도록 구성되어 있다. 제 1 및 제 2 보조 암(22, 23)은, 제 1 기립 링크 암(20)의 선단부(20b)와 제 2 기립 링크 암(21)의 기단부(21a)와의 사이에서 ｙ축 주위로 회전 가능하게 지지된 중간부재(24)를 개재해서 연결되어 있다. 이들 제 1 및 제 2 보조 암(22, 23)은, 제 1 및 제 2 기립 링크 암(20, 21)과 쌍이 되어 항상 평행 사변형을 이루도록, 각각의 일단이 고정 베이스(1) 및 대좌(對坐)(21c)에 대해서 회전 가능하게 연결되어 있다. 이것에 의해, 제 1 및 제 2 기립 링크 암(20, 21)의 기단부(20a, 21a)가 ｙ축 주위의 소정 방향으로 회전하면, 제 2 기립 링크 암(21)의 선단부(21b)가 대체로 z축 방향을 따라 변위하고, 이것에 수반해 대좌(21c) 및 베이스 부 재(3)는, 수평 자세를 유지하면서 z축 방향으로 이동한다.

도 2~4에 나타나 있는 것과 같이, 베이스 부재(3)는, 대좌(21c)에 고정되는 기부(30), 상기 기부(30) 상에 고정되어 있음과 동시에, y축 방향의 양단에 기립부(31a)를 갖는 본체 블록(31), 기립부(31a)의 내벽에 상하 이동 가능하게 지지된 한 쌍의 상하 슬라이더(32), 본체 블록(31)의 중앙 상부에 수평 이동 가능하게 지지된 수평 슬라이더(33)를 갖고 구성되어 있다.

도 4에 잘 나타나 있는 것과 같이, 베이스 부재(3)의 기부(30)는, 상하로 분할 가능한 상부(30a) 및 하부(30b)를 갖고 구성되어 있다. 하부(30b)는, 대좌(21c)에 직접 고정되어 있는 한편, 상부(30a)는, 하부(30b)에 대해서 z축 주위에 회전 가능하게 지지되어 있다. 이와 같은 기부(30)의 내부에는, 회전 구동용 모터(M3)가 설치되어 있다. 상기 회전 구동용 모터(M3)의 회전력이 감속 기구(도시 생략)를 개통하여 상부(30a)에 전달됨으로서, 상부(30a)와 함께 본체 블록(31)이 z축 주위로 회전한다. 한편, 도 3에 잘 나타나 있는 것과 같이, 본체 블록(31)의 기립부(31a)에는, z축 방향에 따른 한 쌍의 레일(31b)을 개재해서 상하 슬라이더(32)가 지지되어 있다. 상기 기립부(31a) 부근에는, 상하 슬라이더(32)를 상하 이동시키기 위한 모터(M4)가 설치되어 있다. 상기 모터(M4)의 회전축(M4a)은, 구동 벨트(32a)를 개재해서 상하 슬라이더(32)에 내장된 볼나사 축(32b)에 연결되어 있다. 상하 슬라이더(32)의 내벽 측에는, 프레임 부재(4)의 양측부가 고정되어 있다. 이것에 의해, 모터(M4)가 회전 구동하면, 레일(31b)에 따라 상하 슬라이더(32)가 z축 방향으로 이동하고, 상기 상하 슬라이더(32)와 일체로 되어 프레임 부재(4)가 z축 방향으로 이동한다. 또한, 본체 블록(31)의 중앙 상부에는, x축 방향에 따른 한 쌍의 레일(31c)에 수평 슬라이더(33)가 지지되어 있다. 수평 슬라이더(33)에는, 프레임 부재(4)의 오픈 스페이스(40)를 z축 방향으로 관통하도록 복수의 지주부(33a)가 설치되어 있고, 이들 지주부(33a)의 상부에는, 복수의 에어 벤트 스테이지(6)가 지지되어 있다. 이와 같은 본체 블록(31)의 중앙 상부와 수평 슬라이더(33)와의 사이에는, 수평 슬라이더(33)를 x축 방향으로 이동시키기 위한 볼나사 기구(33b)나 이것을 구동하기 위한 모터(도시 생략)가 설치되어 있다. 이것에 의해, 모터가 회전 구동하면, 레일(31c)을 따라 수평 슬라이더(33)가 x축 방향으로 이동하고, 상기 수평 슬라이더(33)와 일체로 되어 에어 벤트 스테이지(6)가 x축 방향으로 이동한다. 단지, 에어 벤트 스테이지(6)는, 수평 슬라이더(33)의 지주부(33a)가 프레임 부재(4)에 간섭하지 않는 범위에서 x축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.

도 2에 나타나 있는 것과 같이, 프레임 부재(4)는, z축 방향으로 개방한 평면시 직사각형상의 오픈 스페이스(40)를 가지고 있다. 도 3에 잘 나타나 있는 것과 같이, 상단 핸드 스테이지(4A)의 프레임 부재(4)와 하단 핸드 스테이지(4B)의 프레임 부재(4)는, 이들 사이에 워크(W)나 에어 벤트 스테이지(6)를 진입시키는 것이 가능한 간격을 두면서 겹쳐진 상태로 양자 모두 상하 슬라이더(32)에 고정되어 있다. 이들 프레임 부재(4)의 상부에는, x축 방향을 따라서 오픈 스페이스(40)를 걸치도록 복수(본 실시예에서는 하나의 프레임 부재당 4개)의 슬라이드 암 기구(5)가 설치되어 있다. 또한, 복수의 에어 벤트 스테이지(6)는, 프레임 부재(4)의 오픈 스페이스(40) 중, 슬라이드 암 기구(5)에 의해 걸쳐 있지 않은 지역을 점유하도록 배 치되어있다. 이것에 의해, 도 4에 나타낸 것과 같이 에어 벤트 스테이지(6)가 소정의 홈 포지션에 있는 상태에서는, 프레임 부재(4)가 상하 슬라이더(32)와 일체로 되어 z축 방향으로 이동해도, 슬라이드 암 기구(5)와 에어 벤트 스테이지(6)가 서로 간섭하는 일은 없다. 또한, 도 4에 실선으로 나타낸 것과 같이, 프레임 부재(4)가 가장 낮은 위치에 있을 때, 에어 벤트 스테이지(6)는, 상대적으로 오픈 스페이스(40)보다도 상방에 위치한 상태가 된다. 이것에 의해, 에어 벤트 스테이지(6)가 x축 방향으로 이동 가능하게 된다. 나아가, 도 2에 잘 나타나 있는 것과 같이, 프레임 부재(4)의 대각부에는, 슬라이드 암 기구(5) 또는 에어 벤트 스테이지(6) 상에 유지된 상태에 있는 워크(W)의 대각부를 협지 가능한 클램프 기구(7)가 설치되어 있다. 이와 같은 클램프 기구(7)는, 도 7에 잘 나타나 있는 것과 같이, 프레임 부재(4)의 외측부로부터 대각 방향(x축 및 y축과 대략 45°를 이루는 수평 방향)을 따라 외측으로 연장하는 수평 롯드(73a), 수평 롯드(73a)의 선단에 고정된 평면으로 보아 L자 형상의 금구(73b), 및 금구(73b)의 각 선단에 대해서 z축 주위로 회전이 자유롭게 지지된 한 쌍의 가이드 롤러(73c)를 갖고 구성되어 있다. 또한, 프레임 부재(4)의 내부에는, 수평 롯드(73a)를 대각 방향으로 움직이게 하기 위한 액추에이터(74)가 설치되어 있다. 가이드 롤러(73c)는, 당초는 워크(W)와 접하지 않는 위치에 있는 한편, 슬라이드 암 기구(5)나 에어 벤트 스테이지(6) 상에 워크(W)가 유지된 상태로 되고, 상기 워크(W)가 소정의 홈 포지션에 오면, 수평 롯드(73a)가 액추에이터(74)에 의해 프레임 부재(4) 안으로 끌려 들어간다. 이것에 의해, 가이드 롤러(73c)가 워크(W)의 대각부에 맞닿은 상태가 된다. 이와 같은 클램프 기구 (7)는, 슬라이드 암 기구(5)나 에어 벤트 스테이지(6) 상에 유지된 워크(W)의 자세를 적절히 교정하기 위해 설치되어 있다.

도 8에 나타나 있는 것과 같이, 슬라이드 암 기구(5)는, x축 방향을 따라 프레임 부재(4)(도 8에서는 도시 생략)에 직접 고정된 가이드 레일(50), 가이드 레일(50)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있는 제 1 슬라이드 암(51), 제 1 슬라이드 암(51)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있음과 동시에 워크(W)의 하면을 직접 지탱하는 제 2 슬라이드 암(52), 제 1 및 제 2 슬라이드 암(51, 52)을 x축 방향으로 슬라이드 시키기 위한 슬라이드용 모터(M5)등을 갖고 구성되어 있다.

가이드 레일(50)은, 프레임 부재(4)의 전후 양단부를 걸치도록 고정되어 있고, 상기 가이드 레일(50)의 후단부 부근에 슬라이드용 모터(M5)가 설치되어 있다(도 4참조). 도 8에 잘 나타나 있는 것과 같이, 가이드 레일(50)의 내부에는, 슬라이드용 모터(M5)에 의해 회전 구동되는 제 1 풀리 기어(50a)와, 제 1 풀리 기어(50a)를 통하여 x축 방향으로 주행하는 제 1 풀리 벨트(50b)가 설치되어 있다. 상기 제 1 풀리 벨트(50b)에는, 제 1 슬라이드 암(51)이 연결되어 있다. 또한, 가이드 레일(50)의 내부에는, 래크 기어(50c)가 설치되어 있는 한편, 제 1 슬라이드 암(51)의 내부에는, 상기 래크 기어(50c)에 맞물리는 피니언 기어(51a)가 설치되어 있다. 나아가, 제 1 슬라이드 암(51)의 내부에는, 아이들 기어(51b)를 개재해서 피니언 기어(51a)에 연결된 제 2 풀리 기어(51c)와, 제 2 풀리 기어(51c)를 개재해서 x축 방향으로 주행하는 제 2 풀리 벨트(51d)가 설치되어 있다. 상기 제 2 풀리 벨트(51d)에는, 제 2 슬라이드 암(52)이 연결되어 있다. 이에 따라, 슬라이드용 모터 (M5)가 소정 방향으로 회전 구동하면, 예를 들면 제 1 슬라이드 암(51)이 가이드 레일(50)을 따라서 신장하도록 이동하는 것과 동시에, 이것에 연동해서 제 2 슬라이드 암(52)도 제 1 슬라이드 암(51)에 따라 신장하도록 이동하고, 제 1 및 제 2 슬라이드 암(51, 52)이 동시에 신장된다. 역으로 축소되는 경우에 대해서도, 제 1 및 제 2 슬라이드 암(51, 52)이 동시에 축소되게 된다.

도 5에 나타나 있는 것과 같이, 에어 벤트 스테이지(6)는, 상면(60a)에 다수의 개구(60b)를 갖는 직사각 형상의 스테이지 본체(60), 각 개구(60b)에 삽입된 다공질 모양의 원판체(61) 등을 갖고 구성되어 있다. 각 스테이지 본체(60)는, 상기 수평 슬라이더(33)의 지주부(33a)(도 5에서는 도시 생략)의 상부에 고정되어 있고, 수평 슬라이더(33)와 일체화 되어 있다. 특히, y축 방향의 양단에 위치하는 스테이지 본체(60)의 외측부에는, 워크(W)의 측부 하면을 지지하면서 상기 워크(W)를 강제적으로 x축 방향으로 이동시키기 위한 복수의 구동 롤러(62)가 설치되어 있다(도 2 및 도 6참조). 이들 양단 스테이지 본체(60)의 적당한 곳에는, 복수의 구동 롤러(62)를 회전시키기 위한 롤러 회전용 모터(64)나 전동 벨트(66), 풀리 기어(67)가 내장되어 있다(도 6참조). 이들 구동 롤러(62)는, x축 방향을 따라 일정 간격을 두고 나열되어 있다. 또한, 도 6에 잘 나타나 있는 것과 같이, 구동 롤러(62)는, 스테이지 본체(60)의 상면(60a) 보다도 약간 상방으로 밀어 내어 워크(W)의 하면에 접하는 소직경부(小徑部)(62a)와, 상기 소직경부(62a)의 외측에서 워크(W)를 규제하는 대직경부(大徑部)(62b)를 일체적으로 갖고 구성되어 있다. 롤러 회전용 모터(64)로부터의 회전력은, 전동 벨트(66) 및 풀리 기어(67)를 통하여 복수의 구동 롤 러(62)로 전달되고, 이것에 의해 복수의 구동 롤러(62)가 동시에 회전한다. 즉, 에어 벤트 스테이지의 개구나 원판체의 형상은, 특별히 원형 모양이 아니라도 좋고, 예를 들면, 타원 모양이나 직사각형상이라도 좋다. 또한, 워크(W)를 x축 방향으로 이동시키기 위한 수단으로서는, 구동 롤러(62)를 대신해서, 예를 들면 구동 벨트를 이용한 롤러 컨베이어에 의한 것이라도 좋다.

또한, 도 5에 잘 나타나 있는 것과 같이, 각 스테이지 본체(60)의 내부에는, 상기 개구(60b)에 공기를 보내기 위한 송기관(60c)이나, 송기관(60c)으로부터 이송되어 온 공기의 공기집합을 복수의 개구(60b)의 하부에 형성하기 위한 격벽(60d)이 설치되어 있다. 이와 같은 각 스테이지 본체(60)에는, 공기 공급원(8)(도 5에 있어서는 도시 생략)으로부터 가요성 에어 파이프(80)를 경유해서 공기가 이송되어 온다. 공기 공급원(8)은, 도 2에 나타낸 것과 같이, 베이스 부재(3)의 적당한 곳에 구비되어 부착되어 있다. 이것에 의해, 베이스 부재(3)가 z축 주위를 회전해도, 각 스테이지 본체(60)와 공기 공급원(8)의 상대적인 위치 관계가 변하는 일 없이, 스테이지 본체(60)의 하부 주변에 둘러 처진 에어 파이프(80)의 자세가 일정하게 유지된다. 결국, 공기 공급원(8)으로부터 에어 파이프(80)를 통하여 스테이지 본체(60)로 공기를 보내면서도, 아무런 지장 없이 베이스 부재(3)를 회전시킬 수 있다.

에어 벤트 스테이지(6)의 스테이지 본체(60)는, 앞서 설명한 것과 같이, 프레임 부재(4)가 가장 낮은 위치에 있을 때, 상대적으로 오픈 스페이스(40)보다도 상방에 위치한 상태로 된다. 이 때, 스테이지 본체(60)는, 도 2나 도 10에 나타낸 것과 같이, 소정의 홈 포지션으로부터 x축 방향을 따라 전진되는 것에 의해, 카세 트부(C) 옆으로 갖다 댄다. 그리고, 카세트부(C)로부터 워크(W)가 이송되어 올 때에는, 공기 공급원(8)으로부터 스테이지 본체(60)로 공기가 이송된다. 공기는, 원판체(61)를 통해 스테이지 본체(60)의 상면(60a)에 분출된다. 이와 같은 원판체(61)는, 예를 들면 세라믹 소결체로 이루어지고, 개구(60b)의 하부로부터 스테이지 본체(60)의 상면(60a)으로 미소(微小) 구멍을 통해 공기를 분출해서 워크(W)를 부상시킨다. 즉, 상기 원판체(61) 대신에 소직경으로 이루어진 구멍을 복수개 스테이지 본체(60)의 상면에 설치해서 공기를 분출시키는 구성이라도, 마찬가지로 워크(W)를 부상시킬 수 있다. 또한, 이 때에는, 양단 스테이지 본체(60)에 설치된 복수의 구동 롤러(62)가 회전된다. 이것에 의해, 카세트부(Ｃ)로부터 이송되어 온 워크(W)는, 스테이지 본체(60)의 상면(60a)에 접하는 일 없이 상기 상면(60a)과의 사이에 극히 희박한 공기층을 개재해서 부상시키고, 게다가 회전하는 구동 롤러(62)에 의해서 강제적으로 x축 방향으로 이동시킨다. 이것에 의해, 워크(W)는, 에어 벤트 스테이지(6) 상에 유지된 상태로 된다. 그 후, 에어 벤트 스테이지(6)의 스테이지 본체(60)는, 카세트부(Ｃ)의 옆으로 갖다 댄 상태로부터 워크(W)를 유지한 채로 소정의 홈 포지션으로 되돌아간다. 그 후, 프레임 부재(4)가 상승 이동함으로서, 상대적으로 스테이지 본채(60)보다도 슬라이드 암 기구(5)가 상방으로 위치한 상태로 된다. 이것에 의해, 에어 벤트 스테이지(6)에 유지되고 있던 워크(W)의 하면이 슬라이드 암 기구(5)의 제 2 슬라이드 암(52)에 접한 상태로 되고, 워크(W)가 에어 벤트 스테이지(6)에서 슬라이드 암 기구(5)로 바꾸어 실을 수 있다. 그렇게 한 뒤, 슬라이드 암 기구(5)는, 베이스 부재(3)가 회전함으로서 워크(W)의 이송처로 향하 게 되고, 다시, 슬라이드 암 기구(5)의 제 1 및 제 2 슬라이드 암(51, 52)이 신장되는 것에 의해, 카세트부(Ｃ)로부터 수취한 워크(W)가 이송처인 다른 장소로 인도된다.

나아가, 상기 트랜스퍼 로봇(Ａ1)의 동작에 대해서 설명한다.

도 10에 나타나 있는 것과 같이, 트랜스퍼 로봇(Ａ1)은, 예를 들면 액정 패널용 유리 기판과 같은 워크(W)를 카세트부(Ｃ)로부터 도면 밖의 이송처인 워크 처리부로 전송하기 위해 설치되어 있다. 보다 구체적으로는, 트랜스퍼 로봇(A1)은, 워크 반송 시스템을 구성하는 주요 설비로서 카세트부(Ｃ)에 인접한 로봇부(R)에 설치되어 있다. 그리고, 트랜스퍼 로봇은, 플로어 상을 수평 이동 가능한 캐리어 베이스에 탑재된 것이라도 좋다.

카세트부(Ｃ)는, 대체로 종래의 것과 동일한 구성을 구비한 것이지만, 본 실시예의 카세트부(Ｃ)로서는, 트랜스퍼 로봇(Ａ1)과 일부에 있어서 유사한 구성이 채용되고 있다. 즉, 도 11 및 도 12에 잘 나타나 있는 것과 같이, 승강 스테이지(C1)의 워크(W)가 하강되는 소정 높이의 부분에는, 트랜스퍼 로봇(Ａ1)의 에어 벤트 스테이지(6)와 동일한 구성으로 이루어진 복수의 부상 유닛(90)이 설치되어 있다. 이들 부상 유닛(90)은, 도 12에 잘 나타나 있는 것과 같이, 워크(W)의 하면을 지지하기 위해 승강 스테이지(C1)에 설치된 와이어(도시 생략)와 교착하는 일이 없도록, 워크(W)를 송출하는 방향(반송 방향)을 따라 소정 간격을 두고 설치되어 있다. 또한, 워크(W)의 반송 방향에 따른 부상 유닛(90)의 양측에는, 워크(W)를 강제적으로 송출하기 위한 복수의 반송 롤러(91) 또는 반송 벨트가 소정 간격을 두고 설치되어 있다. 각 부상 유닛(90)에는, 에어 벤트 스테이지(6)와 동일한 개구(90a)나 원판체(60b)가 구비되어 있고, 도면 이외의 공기 공급원으로부터 부상 유닛(90) 내로 공기가 이송되도록 구성되어 있다. 이와 같은 부상 유닛(90)과 반송 롤러(91)에 의하면, 승강 스테이지(C1)로부터 하강된 워크(W)는, 부상 유닛(90)의 상면에 접하는 일 없이 상기 상면과의 사이에 극히 희박한 공기층을 개재해서 부상되고, 게다가 상기 워크(W)는, 소정 방향으로 회전하는 반송 롤러(91)에 의해 강제적으로 이동된다. 이것에 의해, 워크(w)는, 카세트부(R)의 부상 유닛(90) 상으로부터 트랜스퍼 로봇(Ａ1)이 설치된 로봇부(R)의 방향으로 송출된다. 이 때, 워크(W)는, 반송 롤러(91)에 접하는 부분을 제외하고 부상 유닛(90)에 대해서 거의 비접촉 상태로 순조롭게 송출된다. 또한, 워크(W)의 하면에 대해서 공기가 분무(噴霧)됨에 따라, 워크(W)에 대한 쓰레기 등의 부착이 효과적으로 방지된다.

카세트부(Ｃ)에 있어서 맨 앞줄에 설치된 부상 유닛(90)은, 그 전단이 카세트부(Ｃ)와 로봇부(R)의 사이에 설치된 워크 수도구(受渡口)(Ｔ) 부근에 위치하고, 워크(W)는, 그 맨 앞줄의 부상 유닛(90)의 전단을 넘을 때까지 반송 롤러(91)에 의해 반송된다. 즉, 카세트부(Ｃ)에 있어서 워크(W)가 반송되는 거리는, 대략 도 10에 나타낸 거리(L0′)로 된다.

한편, 도 10에 잘 나타나 있는 것과 같이, 로봇부(R)의 트랜스퍼 로봇(Ａ1)은, 워크(W)의 수취에 앞서, 맨 앞줄의 부상 유닛(90)의 전단에 에어 벤트 스테이지(6)를 옆으로 갖다 댄다. 이 때, 상단 핸드 스테이지(4A) 및 하단 핸드 스테이지(4B)는, 가장 낮은 위치까지 내려온 상태에 있다. 그 때문에, 에어 벤트 스테이지 (6)는, 상대적으로 프레임 부재(4)의 오픈 스페이스(40)보다도 상방에 위치함과 동시에, 수평 방향(x축 방향)을 따라 소정의 홈 포지션보다도 전진한 위치를 쉽게 취할 수 있다. 즉, 워크(W)를 수취하기 위해서 에어 벤트 스테이지(6)가 수평 방향으로 이동하는 거리는, 대략 도 10에 나타낸 거리(L1′)로 된다. 그 후, 카세트부(Ｃ)에 있어서 워크(W)의 반송이 개시되고, 에어 벤트 스테이지(6) 상에 워크(W)가 이동되어 온다.

워크(W)가 에어 벤트 스테이지(6) 상으로 이동되어 오면, 워크(W)의 하면 양측부가 회전하는 복수의 구동 롤러(62)에 지지된 상태로 되고, 워크(W)는, 이들 복수의 구동 롤러(62)에 의해 에어 벤트 스테이지(6)의 바로 위로 이동된다. 이들 구동 롤러(62)의 회전은, 워크(W)의 반송을 개시하고 나서 소정 시간 경과 후에 정지된다. 그리고, 에어 벤트 스테이지의 후단에 워크의 이동을 규제하는 스토퍼를 설치해 두고, 구동 롤러의 회전을 일정 시간 경과 후에 정지시키도록 하거나, 또는 에어 벤트 스테이지의 후단에 워크를 검출하는 센서를 설치해 두고, 상기 센서에 의해 워크가 검출된 시점에서 구동 롤러의 회전을 정지시키도록 해도 좋다. 이와 같이 해서 워크(W)가 에어 벤트 스테이지(6) 상으로 실어 옮길 때에 있어서도, 워크(W)는, 구동 롤러(62)에 접하는 부분을 제외하고 에어 벤트 스테이지(6)에 대해서 거의 비접촉 상태로 순조롭게 수취된다. 또한, 워크(W)의 하면에 대해서 에어 벤트 스테이지(6)로부터 공기가 분무됨으로서, 워크(W)에 대한 쓰레기 등의 부착이 효과적으로 방지된다.

그 후, 에어 벤트 스테이지(6)는, 워크(W)를 유지한 채로 후퇴 이동하고, 프 레임 부재(4)의 오픈 스페이스(40)의 바로 위에 위치한다. 그렇게 한 후, 예를 들면 상단 핸드 스테이지(4A)는, 상대적으로 에어 벤트 스테이지(6)보다도 상방에 위치하도록 상승 이동시킨다. 이 때, 에어 벤트 스테이지(6) 상에 유지된 워크(W)는, 슬라이드 암 기구(5)에 의해 들어 올려진 상태로 되고, 에어 벤트 스테이지(6)로부터 슬라이드 암 기구(5)의 제 2 슬라이드 암(52)으로 워크(W)를 바꾸어 실을 수 있다. 이 때, 워크(W)의 하면에 제 2 슬라이드 암(52)이 맞닿게 되고, 그 때의 충격 등에 의해서는 워크(W)의 자세가 부적절하게 되어 버리는 일이 있다. 그 때문에, 제 2 슬라이드 암(52) 상에 워크(W)가 실리면, 트랜스퍼 로봇(Ａ1)은, 클램프 기구(7)를 동작시킨다. 그 결과, 제 2 슬라이드 암(52) 상의 워크(W)는, 그 대각부의 2 개소가 클램프 기구(7)에 의해 협지된 상태로 되고, 평면시에 있어서 적정한 자세로 교정된다. 그리고, 클램프 기구(7)에 대해서는, 예를 들면, 카세트부(C)로부터 에어 벤트 스테이지(6) 상으로 워크(W)가 이동하고, 상기 에어 벤트 스테이지(6) 상에 워크(W)가 유지되어 있을 때에 작동시키도록 해도 좋다.

그렇게 한 후, 트랜스퍼 로봇(Ａ1)은, 베이스 부재(3)를 예를 들면 180도 또는 90도 회전시키고, 워크(W)를 실은 상단 핸드 스테이지(4A)의 슬라이드 암 기구(5)를 소망하는 워크 처리부로 향한 자세로 한다. 그리고, 트랜스퍼 로봇(Ａ1)은, 승강 기구(2)나 슬라이드 암 기구(5)를 작동시킴으로서, 상단 핸드 스테이지(4A)에 유지된 워크(W)를 워크 처리부로 이동시킨다. 이상과 같은 일련의 동작을 행함으로서, 트랜스퍼 로봇(Ａ1)은, 카세트부(C)로부터 이송처인 워크 처리부로 워크(W)를 효율 좋게 전송할 수 있다. 즉, 카세트부(C)로부터 워크(W)를 수취할 때의 높이와, 워크 처리부에 워크(W)를 인도할 때의 높이가 크게 다를 경우, 트랜스퍼 로봇(Ａ1)은 그 때마다, 승강 기구(2)를 작동시켜서 베이스 부재(3)의 높이를 조정한다. 이것에 의해, 카세트부(C)와 워크 처리부의 사이에 상당한 고저차이가 있어도, 카세트부(C)로부터 워크처리부로 아무런 지장 없이 워크(W)를 전송 할 수 있다. 즉, 워크 처리부로부터 카세트부(C)로 워크(W)를 이동시킬 때에는, 하단 핸드 스테이지(4B)를 이용해서 워크 처리부로부터 워크(W)를 취출하고, 그 후, 에어 벤트 스테이지(6) 등을 상기와는 역 순서가 되도록 동작시킨다. 이와 같이, 통상은, 카세트부(C)로부터 워크 처리부로 워크(W)를 이동시키기 위해서 상단 핸드 스테이지(4A)를 이용함과 동시에, 그 역 방향으로 워크(W)를 이동시킬 때에는 하단 핸드 스테이지(4B)를 이용하지만, 물론 그 반대로 이용해도 상관없다.

따라서, 본 실시예의 트랜스퍼 로봇(Ａ1)에 의하면, 카세트부(C)에 에어 벤트 스테이지(6)를 옆으로 갖다 댄 상태로 하고, 그 카세트부(C)로부터 직접 워크(W)를 수취할 수 있기 때문에, 종래의 워크 반송 시스템에서는 필요로 했던 버퍼부나 그를 위한 설치 스페이스가 불필요 하게 되고, 이것에 의해 워크 반송 시스템의 스케일다운을 도모할 수 있다.

또한, 카세트부(C)에 대해서 될 수 있는 한 가까운 위치에 트랜스퍼 로봇(Ａ1)을 설치할 수 있고, 게다가 에어 벤트 스테이지(6)를 수평으로 이동시키는 거리(L1′)를 종래의 거리(L1)(도 13참조)에 비해 상당히 짧게 할 수 있다. 그 때문에, 워크(W)를 수취할 때에는, 에어 벤트 스테이지(6)를 수평 방향으로 약간 이동시키는 것만으로 좋고, 에어 벤트 스테이지(6)를 안정한 자세로 움직이게 할 수 있다. 또는, 승강 기구(2)나 에어 벤트 스테이지(6)로서는, 작동 범위가 종래에 비해서 작게 끝나는 것으로부터, 될 수 있는 한 소형의 것을 채용할 수 있고, 이것에 의해서 로봇 그 자체의 소형화를 도모할 수 있다.

나아가, 워크(W)를 공기압에 의해 에어 벤트 스테이지(6) 상에 부상시킴으로서, 거의 비접촉 상태로 워크를 유지할 수 있기 때문에, 워크(W)에 악영향을 주는 정전기의 발생이 거의 없고, 쓰레기 등의 부착을 방지하면서 워크(W)를 순조롭게 수취할 수 있다.

그리고, 본 발명은, 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니다.

트랜스퍼 로봇으로서는, 하나의 핸드 스테이지를 구비한 것도 좋다.

또한, 카세트부로부터 워크를 수취할 때의 높이와, 워크 처리부에 워크를 인도할 때의 높이가 거의 변화되지 않는 경우에는, 특별히 승강 기구가 없어도 좋다.

승강 기구로서는, 상기 실시예와 같은 링크 기구의 것에 한정되지 않고, 예를 들면 상하 방향이나 수평 방향으로 이동시키는 것이 가능한 다른 기구라도 좋다.

상기 실시예의 에어 벤트 스테이지를 대신해서, 롤러 기구를 구비한 스테이지를 설치하는 것에 의해서도, 본 발명의 과제를 해결할 수 있다.

본원 발명은, 워크 반송 시스템의 스케일다운 및 장치의 소형화를 도모할 수 있고, 또한, 쓰레기 등의 부착을 방지하면서 워크를 순조롭게 주고받을 수 있는 트 랜스퍼 로봇을 제공할 수 있다.

Claims (9)

1. 판 모양의 워크를 수평으로 유지하면서 소정의 장소로부터 수취함과 동시에, 수취한 워크를 다른 장소로 인도하는 트랜스퍼 로봇에 있어서,

   베이스 부재와,

   상기 베이스 부재에 상하 이동 가능하게 지지되어 있는 프레임 부재와,

   상기 프레임 부재에 설치되어 있음과 동시에, 워크의 하면을 지지하면서 수평 방향으로 신축하는 복수의 슬라이드 암 기구와,

   상기 복수의 슬라이드 암 기구와 상하 방향으로 간섭하지 않도록 해서 상기 베이스 부재에 대해서 지지되어 있음과 동시에, 상기 프레임 부재가 하강 이동해서 소정의 위치에 있는 상태에서는, 워크를 공기압에 의해 부상시키는 에어 벤트 스테이지와,

   를 구비한 것을 특징으로 하는 트랜스퍼 로봇.
2. 　 제 1 항에 있어서,　

   상기 에어 벤트 스테이지는, 상기 베이스 부재에 수평 이동 가능하게 지지되어 있는 트랜스퍼 로봇.
3. 제 1 항에 있어서,　

   상기 에어 벤트 스테이지에는, 워크의 하면을 지지하면서 상기 워크를 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 구동 롤러 또는 구동 벨트가 설치되어 있는 트랜스퍼 로봇.
4. 제 1 항에 있어서,　

   상기 베이스 부재는, 연직축 주위를 회전 가능하게 구성되어 있고, 상기 베이스 부재에는, 상기 에어 벤트 스테이지로 공기를 보내기 위한 공기 공급원이 구비되어 부착되어 있는 트랜스퍼 로봇.
5. 제 1 항에 있어서,　

   상기 슬라이드 암 기구는, 상기 프레임 부재에 직접 고정되는 가이드 레일과, 상기 가이드 레일에 슬라이드 가능하게 지지되어 있는 제 1 슬라이드 암을 포함해서 구성되어 있는 트랜스퍼 로봇.
6. 제 5 항에 있어서,　

   상기 슬라이드 암 기구는 다시, 상기 제 1 슬라이드 암에 슬라이드 가능하게 지지되어 있음과 동시에, 워크의 하면에 직접 접하는 제 2 슬라이드 암을 포함해서 구성되어 있는 트랜스퍼 로봇.
7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,　

   상기 프레임 부재에는, 워크의 대각부 또는 양측부를 협지 가능한 클램프 기구가 설치되어 있는 트랜스퍼 로봇.
8. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,　　　

   상기 프레임 부재 및 상기 복수의 슬라이드 암 기구는, 워크를 유지하면서 상하 방향 및 수평 방향으로 이동하는 핸드 스테이지를 구성하고 있고, 상기 핸드 스테이지로서, 서로 상하로 인접해서 단차 모양으로 되는 제 1 및 제 2 핸드 스테이지를 구비하고 있는 트랜스퍼 로봇.
9. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,　

   상기 베이스 부재를 상하 방향으로 이동시키는 승강 기구를 구비하고 있는 트랜스퍼 로봇.

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