JPH11300659A - 薄型基板搬送多関節ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板の搬送ストロークを長くし、しかもアー
ムの旋回半径を小さくできるロボットを提供すること。 【解決手段】 ロボット１は、機台２と、機台２に回動
可能に支持される下部水平旋回アーム体３と、下部水平
旋回アーム体３に支持される移動機台７と、移動機台７
に回動可能に支持される上部水平旋回アーム体４と、を
有している。下部水平旋回アーム体３は第１下部水平旋
回アーム３１と第２下部水平旋回アーム３２とを有し
て、移動機台７を基板処理装置に沿って駆動し、上部水
平旋回アーム体４は、２組のリンク体５・６を有して基
板を基板処理装置内に搬入搬出するために、ハンド８を
直線的に移動する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ウェハやガラス
基板等の薄型基板を搬送するロボットに関し、さらに、
ロボットの機台を移動することなく基板の搬送ストロー
クを長くすることのできる薄型基板搬送多関節ロボット
に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にシリコンウェハやガラス基板等の
薄型ワークは半導体のチップとして使用されクリーンル
ーム内で処理されたり搬送されたりする。そのため、薄
型ワークを搬送するロボットもクリーンルーム内に設置
され、水平方向に旋回可能なアーム体を有して薄型ワー
クを所定の位置から処理される位置に搬送するように構
成されていた。従来、薄型ワークの搬送ロボットは、ク
リーンルーム内に配置され薄型ワークを支持するハンド
部と前記ハンド部を回動あるいは昇降する駆動部とを有
し、駆動部が機台内に配設されるように構成されてい
た。図９に示す搬送ロボット１１０は、一般的によく知
られていて、機台１１１と機台１１１に対して回動また
は昇降するとともに屈伸可能なリンク体１１２が配置さ
れ、リンク体１１２は機台１１２に回動可能に支持され
る第１リンク１１３と、第１リンク１１３の先端で回動
可能に支持される第２リンク１１４と、第２リンク１１
４の先端で回動可能に支持されるハンド１１５とを有
し、機台１１１内に配置された図示しないモータと第１
リンク１１３・第２リンク１１４内に配置された図示し
ないプーリ・ベルトとによって駆動されてハンド１１５
の吸着部が直線的に移動する。従って、ハンド１１５を
図示しないカセットあるいは加工ステージ等の基板処理
装置内に移動（Ｘ軸移動）して、基板を吸着搬送するこ
とが可能となる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の搬送ロ
ボットは２個のリンクの屈伸によりハンドの直線移動を
行なうように構成されているため、ハンドの移動範囲が
制限されていた。そのため、ワークの処理加工が数多く
ある場合、または一工程内でワークを遠距離まで移動す
る場合には、ロボットの下方にレールを設置しロボット
自体をレールに沿って移動（Ｙ軸移動）するようにして
いた。しかしロボット自体を移動することは、大きなス
ペースを必要とするばかりでなく設備費用も増大する。
この課題を解決するためにリンクの数を増やすととも
に、それぞれの旋回部の一部にモータを取り付け、リン
クの移動軌跡の自由度を高めることによって基板の搬送
ストロークを長くし、ロボット自体の移動をなくすよう
な改良を試みている。

【０００４】しかし、リンク体の移動がリンク数を単に
増やして水平旋回を行なうことは、その旋回半径を大き
くしロボットとカセット間あるいは加工工程ステージ間
との距離を大きく設定しなければならず、装置の大型化
に繋がっていた。

【０００５】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、第１の目的は、ロボット自体の移動（Ｙ軸移動）
をなくして基板の搬送ストロークを長くすることであ
り、第２の目的は、基板の搬入・搬出を行なうＸ軸移動
と長搬送ストロークのためのハンドの移動を別の駆動で
行なうことにより、リンク体の旋回半径を小さくして全
体装置をコンパクトに構成することであり、そしてその
ために改良された薄型基板搬送多関節ロボットを提供す
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明にかかわる薄型
基板搬送多関節ロボットでは、上記の課題を解決するた
めに以下のように構成するものである。すなわち、薄型
基板を支持して基板処理装置に搬送可能に構成する薄型
基板搬送多関節ロボットであって、水平方向に旋回可能
な下部水平旋回アーム群と、前記下部水平旋回アーム群
の上方に配設される上部水平旋回アーム群とを有し、前
記上部水平旋回アーム群の先端部に薄型基板を支持する
ハンドが配置され、前記下部水平旋回アーム群が機台に
支持されるとともに前記上部水平旋回アーム群と回動可
能に連結され、前記下部水平旋回アーム群が、前記ハン
ドを基板処理装置付近に移動するように駆動され、前記
上部水平旋回アーム群が、前記ハンドを基板処理装置内
に移動するように駆動されることを特徴とするものであ
る。

【０００７】またこの薄型基板搬送多関節ロボットは、
薄型基板を支持して基板処理装置に搬送可能に構成する
薄型基板搬送多関節ロボットであって、水平方向に旋回
可能な下部水平旋回アーム群と、前記下部水平旋回アー
ム群の上方に配設される上部水平旋回アーム群とを有
し、前記上部水平旋回アーム群の先端部に薄型基板を支
持するハンドが配置され、前記下部水平旋回アーム群が
機台に支持されるとともに前記上部水平旋回アーム群が
前記下部水平旋回アームに回動可能に連結される移動機
台に支持され、前記下部水平旋回アーム群が、水平方向
に旋回する２個の下部水平旋回アームを有し、一方の下
部水平旋回アームの一端が、前記機台に軸支されて回動
駆動され、前記上部水平旋回アーム群が、水平方向に旋
回する２個のリンクを有し、一方のリンクの一端が、前
記移動機台に軸支されて回動駆動されるとともに、他方
のリンクの一端には前記ハンドが回動可能に支持され、
前記移動機台が前記下部水平旋回アーム群の他方の下部
水平旋回アームの一端に軸支され、前記下部水平旋回ア
ーム群が、前記ハンドを基板処理装置付近に移動するよ
うに駆動され、前記上部水平旋回アーム群が、前記ハン
ドを基板処理装置内に移動するように駆動されることを
特徴とするものである。

【０００８】また好ましくは、前記上部水平旋回アーム
群が、前記移動機台上に対称的に配設されるとともに屈
伸可能な２組のリンク体と、それぞれのリンク体の先端
にそれぞれ回動可能に配設されるハンドと、を有し、そ
れぞれのハンドが上下方向に離隔配置するように構成さ
れていることを特徴とするものであればよい。

【０００９】さらに好ましくは、前記下部水平旋回アー
ム群が、機台の中心位置に対して一方の側に向かって偏
心した位置に軸支されるとともに、前記軸支位置から機
台の他方の側に向かって旋回するように作動されること
を特徴とするものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。

【００１１】本形態の薄型基板搬送多関節ロボット（以
下ロボットという）１は、図１の斜視図及び図２の正面
図に示すように、機台２と、機台２に一端が軸支された
下部水平旋回アーム体３と、下部水平旋回アーム体３の
上方に配置された上部水平旋回アーム体４と、下部水平
旋回アーム体３に軸支され上部水平旋回アーム体４を支
持する移動機台７とを有し、上部水平旋回アーム体４の
一端には薄型基板（以下、基板という）を支持するハン
ド部８が軸支されている。

【００１２】機台２には、機台２に支持される支持ベー
ス２１に駆動モータ２２が取り付けられ、第１駆動モー
タ２２に接続される第１シャフト２３が機台２上に突出
するように配置されている。第１シャフト２１は機台２
の中心位置より一方の側に向かって偏心した位置で機台
２に支持される。また、支持ベース２１は機台２内に配
置された図示しないモーターにより上下方向（Ｚ軸移
動）に移動される。

【００１３】下部水平旋回アーム体３は、中空状に形成
された第１下部水平旋回アーム３１・第２下部水平旋回
アーム３２からなり、第１下部水平旋回アーム３１の前
端（図２における右端側）が前述の第１シャフト２３に
固定されることによって第１駆動モータ２２の駆動を第
１下部水平旋回アーム３１に回動伝達するとともに、第
１下部水平旋回アーム３１の後端（図２における左側）
下方に第２駆動モータ３３が取り付けられている。第１
下部水平旋回アーム３１は偏心位置にある軸支位置から
機台２の長手方向の一端側に向かって旋回することによ
って、第１下部水平旋回アーム３１の機台２から突出す
る部分を少なくしている。第２駆動モータ３３に連結さ
れた第２シャフト３４が第１下部水平旋回アーム３１を
貫通して第２下部水平旋回アーム３２の先端に取り付け
られて第２駆動モータ３３の駆動を第２下部水平旋回ア
ーム３２に回動伝達する。第２下部水平旋回アーム３２
の後端に第３シャフト３５が移動機台７内に配置される
モータ３６に接続して取り付けられ、上部水平旋回アー
ム体４が第３シャフト３５を中心に回動可能に支持され
る。

【００１４】上部水平旋回アーム体４は、移動機台７
と、移動機台７上に回動可能に支持されるとともに２組
のリンク体５・６とを有し、リンク体５（６）は第１リ
ンク５３（６３）と第１リンク５３（６３）の先端で回
動可能に支持される第２リンク５４（６４）及び第２リ
ンク５４（６４）の先端で回動可能に支持されるハンド
８１（８２）とを有している。２組のリンク体５・６
は、それぞれのハンド８１・８２を直線的に移動するた
めの駆動機構が配置され、本形態では一般的に知られて
いるベルト・プーリ手段で構成される。

【００１５】なお、リンク体５に配置されているハンド
８１は、ハンド８２に吸着された基板が移動する際に、
ハンド８１に干渉しないようにハンド８２より上方に位
置するようにコ字形に形成されるとともに、それぞれの
ハンド８１・８２は平面視同一直線上を移動する。

【００１６】移動機台７は中空状に形成され、移動機台
７内には、下部にモータ３６が移動機台７に取り付けら
れ、第３シャフト３５を接続することによって、モータ
３６の駆動が移動機台７に伝達され、移動機台７が第２
下部水平旋回アーム３２に対して回動する。このモータ
３６は駆動モータ２２・第２駆動モータ３３と同期して
駆動することもでき、また、単独の作動で移動機台７を
回動させること（θ回転）もできる。移動機台７内の上
部には、２個のアーム駆動モータ５２（６２）が取り付
けられ、それぞれ第１リンク５３（６３）を移動機台７
に対して回動するように連結されている。

【００１７】２組のリンク体５・６のハンド８１・８２
を直線的に移動する構成はいずれも同様であるため、図
３に示すように、一方のリンク体５でその構成を説明す
る。第１リンク５３は中空状に形成されるとともに、一
端にアーム駆動モータ５２に接続された第１支持軸７１
に、共に回動するように固着され、第１リンク５３内に
おいて、第１支持軸７１の回りに移動機台７に固着した
第１プーリ７２が第１支持軸７１に回動可能に支持され
ている。第１リンク５３の他端に、第１リンク５３に固
着支持されるように固定軸７３が立設され、固定軸７３
は第１リンク５３を貫通して第２リンク５４の一端内部
まで延設されている。

【００１８】第１リンク５３内において固定軸７３の回
りには第２プーリ７４が第２リンク５４の壁部にその支
持軸部７４ａが固着するように配置され、第１プーリ７
２と第２プーリ７４との間にベルト７５が巻回される。
そして、第２リンク５４は第２プーリ７４とともに第１
リンク５３に対して回動する。

【００１９】固定軸７３の第２リンク５４内において、
固定軸７３の回りに第３プーリ７６が固着され、第２リ
ンク５４他端に固定軸７７に回動可能に支持された第４
プーリ７８が第３プーリ７６に一端が巻回されるベルト
７９の他端に巻回されて配置されている。第４プーリ７
８の上部に支持軸部７８ａが形成され、第２リンク５４
に回動可能に支持されるとともに上端部がハンド８１に
固着されている。従って、ハンド８１は第４プーリ７８
と共に第２リンク５４に対して回動することになる。

【００２０】ハンド部８は前述のようにリンク体５の上
部に配置されるコ字形のハンド８１とリンク体６の上部
に配置されるハンド８２とを有し、図４（ａ）（ｂ）に
示すように、それぞれのハンド（８１・８２）は第４プ
ーリ７８に連結される元部（８１ａ・８２ａ）と吸着部
（８１ｂ・８２ｂ）からなり、吸着部（８１ｂ・８２
ｂ）はいずれも基板を吸着するための吸着孔（８１ｃ・
８２ｃ）が複数個形成され、吸着孔（８１ｃ・８２ｃ）
から図示しない配管部材を介して真空装置（図示せず）
に接続される。また、一方のハンド８１の元部８１ａに
は基板検知センサ８３が光線を吸着部８１ｂ側に向ける
ように取り付けられている。基板検知センサ８３は図示
しないカセットを正面にした時に、ハンド８１を上下動
させ、カセットに収納された基板の端面をセンシングす
ることにより基板の有り無し及び基板の収納状態を検知
する。なお、基板検知センサ８３は他方のハンド８２に
装着してもよく、また両方のハンド８１・８２に装着す
るようにしてもよい。

【００２１】上記のように構成されたロボット１は、図
５に示すように、移動機台７が機台２の直上に配置され
る第１の位置（作動始めの位置）Ｐ１においては、第１
下部水平旋回アーム３１と第２下部水平旋回アーム３２
は上下方向に重なるように配置されるとともに、移動機
台７の進行方向（図５中、矢印部分）に対して直交する
方向に位置される。そして、ハンド８１・８２も同様の
方向に向かっている。駆動モータ２２・第２駆動モータ
３３・モータ３６が作動されると（図２参照）、第１下
部水平旋回アーム３１・第２下部水平旋回アーム３２が
それぞれ回転され、移動機台７はハンド８１・８２の向
きを変えずに図示しないカセットあるいは加工ステージ
等の基板処理装置に対向する位置まで、設置された基板
処理装置と略平行に、図中右側（左側でもよい）に移動
する。この移動は、基板処理装置に対して平行移動する
ばかりではなく、斜め方向に沿って移動してもよい。

【００２２】移動機台７の最大移動ストロークは、図６
に示すように、第１下部水平旋回アーム３１と第２下部
水平旋回アーム３２が一直線上に延びた状態の位置（第
２の位置Ｐ２）に達する時であり、例えば、この位置Ｐ
２で移動機台７の移動が停止した後、上部水平旋回アー
ム体４のリンク体５（または６）が基板処理装置に向か
って伸張する。リンク体５（または６）の駆動はアーム
駆動モータ５２（または６２）の作動と、第１プーリ７
２〜第４プーリ７８の伝達駆動により第１リンク５３
（または６３）・第２リンク５４（または６４）・ハン
ド８１（または８２）をそれぞれの回転支点で回転させ
ることによって行なわれ、その結果ハンド８１（または
８２）が基板に向かって移動する（図７参照）ことにな
る。この上部水平旋回アーム体４の駆動が行なわれる位
置は、下部水平旋回アーム体３の最大伸張位置（第２の
位置Ｐ２）までの範囲内で、基板処理装置の正面に対向
する位置であればどの位置でもよい。

【００２３】また、ハンド８１（または８２）がカセッ
トに収納された基板を取り出すためにカセット前に移動
した時には、基板を取り出す前に、カセット内の基板の
有り無しを検知する。この作動は、機台内に配置される
図示しない駆動装置によって行なわれ、ハンド８１（ま
たは８２）がカセットの最上段の位置から最下段の位置
に移動する間にハンド８１（または８２）に取り付けら
れた基板検知センサ８３を作動させて基板のあり無しを
検出する。

【００２４】次に、基板を加工ステージで加工処理する
ためにハンド８１（または８２）を加工ステージ前に移
動した時は、すでに加工ステージに加工された基板が装
着されていれば、基板を吸着保持していない一方のハン
ド８１（または８２）で加工ステージにある基板を取り
出すためにリンク体５（または６）を伸張させる。基板
を吸着保持したハンド８１（または８２）がリンク体５
（または６）の屈曲で復帰すると同時に、新たな基板を
吸着保持している他方のハンド８２（または８１）を加
工ステージに移動させて基板を装着する。なお、それぞ
れのハンド８１（または８２）の直線移動が平面視同一
直線上にない場合は、下部水平旋回アーム体３をその修
正分伸縮させることができる。また、それぞれのハンド
８１・８２の移動の際、交差する位置においては、それ
ぞれのハンド８１・８２は上下方向に位相差を有してい
るのでお互いに干渉することはない。

【００２５】図８に示すロボット９０は下部水平旋回ア
ームの別の形態を示すものであり、第１下部水平旋回ア
ーム９３・第２下部水平旋回アーム９４とを有する下部
水平旋回アーム体９２は、前述の図３における形態のリ
ンク体５（または６）の構成と同様にプーリとベルト手
段を採用している。つまり、機台９１に対して第１下部
水平旋回アーム９３がモータ９５によって回動駆動され
ると、第１下部水平旋回アーム９３内のプーリ９６・９
７及びベルト９８によって第２下部水平旋回アーム９４
がプーリ９７の軸部９７ａに対して回動され、さらに第
２下部水平旋回アーム９４内のプーリ９９・１００及び
ベルト１０１によって、移動機台１０２がプーリ１００
と共にプーリ１００の軸部１００ａを中心に回動され
る。一方、移動機台１０２内の上方にはリンク体５・６
を共に支持する中空状の回転ベース１０３が移動機台１
０２に回動可能に支持され、移動機台１０２内に取り付
けられたθ回転用モータ１０４が配置されている。

【００２６】上記のように構成されたロボット９０にお
いては、移動機台１０２は下部水平旋回アーム体９２の
駆動により図示しない搬送装置内に設置された基板処理
装置に対して平行に移動する（図６参照）。

【００２７】なお、上部水平旋回アーム体の構成は、上
述に限らず、他の一般的に知られているものを移動機台
上に装着するようにしてもよい。例えば、本形態のよう
に２組のリンク体５・６のものではなく１組のリンク体
で構成してもよく、また、一方のリンク体５に配置され
るハンド８１をコ字形でなく他方のリンク体６に配置さ
れるハンド８２と同形にし、一方のリンク体５を構成す
る２個のリンク（第１リンク５３・第２リンク５４）間
にスぺーサを設けて、それぞれのハンド８１・８２に上
下方向の位置差を設けるようにしたものでもよい。

【００２８】さらに、別の上部水平旋回アーム体は、上
記形態の２組のリンク体５・６を構成する第１リンク５
１・６１を１個の共通リンクとし、該共通リンクに対し
て回動駆動する２個の第２リンクを、該共通リンクに支
持されるように取り付け、それぞれの第２リンクの先端
にそれぞれハンドを上下方向に位相差を有して、それぞ
れの第２リンクに対して回動可能に支持し、しかも共通
リンクを移動機台上に回動可能に支持するように構成す
るものであってもよい。

【００２９】また、２組のリンク体でなく１組のリンク
体で２個のハンドを装着しているものでもよい。

【００３０】なお、それぞれの形態における各部の構
成、例えば、それぞれの軸とそれぞれのアームとの連結
構造、ベルトとプーリの取り付け構造、または軸受けの
種類等は本発明の要旨を変更するものでない限り設計変
更は可能である。

【００３１】

【発明の効果】本発明によれば、薄型基板を支持して基
板処理装置に搬送可能に構成する薄型基板搬送多関節ロ
ボットであって、水平方向に旋回可能な下部水平旋回ア
ーム群と、前記下部水平旋回アーム群の上方に配設され
る上部水平旋回アーム群とを有し、前記上部水平旋回ア
ーム群の先端部に薄型基板を支持するハンドが配置さ
れ、前記下部水平旋回アーム群が機台に支持されるとと
もに前記上部水平旋回アーム群が前記下部水平旋回アー
ム群に回動可能に連結される移動機台に支持され、前記
下部水平旋回アーム群が、前記ハンドを基板処理装置付
近に移動するように駆動され、前記上部水平旋回アーム
群が、前記ハンドを基板処理装置内に移動するように駆
動されている。そして下部水平旋回アーム群の伸縮でハ
ンドをＹ軸方向に移動し、上部水平旋回アーム群の伸縮
でＸ軸方向の移動を行なうことができる。そのため、従
来のロボットに比べて飛躍的に基板の搬送ストロークを
長くすることができ、ロボット自体を床面に対して移動
する必要がない。しかも、多くの加工ステージを配置さ
せた搬送システムにおいても、Ｘ軸方向の旋回を大きく
することなくコンパクトにすることができる。

【００３２】またこの薄型基板搬送多関節ロボットは、
薄型基板を支持して基板処理装置に搬送可能に構成する
薄型基板搬送多関節ロボットであって、水平方向に旋回
可能な下部水平旋回アーム群と、前記下部水平旋回アー
ム群の上方に配設される上部水平旋回アーム群とを有
し、前記上部水平旋回アーム群の先端部に薄型基板を支
持するハンドが配置され、前記下部水平旋回アーム群が
機台に支持されるとともに前記上部水平旋回アーム群が
前記下部水平旋回アームに回動可能に連結される移動機
台に支持され、前記下部水平旋回アーム群が、水平方向
に旋回する２個の下部水平旋回アームを有し、一方の下
部水平旋回アームの一端が、前記機台に軸支されて回動
駆動され、前記上部水平旋回アーム群が、水平方向に旋
回する２個のリンクを有し、一方のリンクの一端が、前
記移動機台に軸支されて回動駆動されるとともに、他方
のリンクの一端には前記ハンドが回動可能に支持され、
前記移動機台が前記下部水平旋回アーム群の他方の下部
水平旋回アームの一端に軸支されて回動駆動され、前記
下部水平旋回アーム群が、前記ハンドを基板処理装置付
近に移動するように駆動され、前記上部水平旋回アーム
群が、前記ハンドを基板処理装置内に移動するように駆
動されている。そして下部水平旋回アーム群の伸縮でハ
ンドをＹ軸方向に移動し、上部水平旋回アーム群の伸縮
でＸ軸方向の移動を行なうことができる。そのため、従
来のロボットに比べて飛躍的に基板の搬送ストロークを
長くすることができ、ロボット自体を床面に対して移動
する必要がない。しかも、多くの加工ステージを配置さ
せた搬送システムにおいても、Ｘ軸方向の旋回を大きく
することなくコンパクトにすることができる。

【００３３】またこのロボットは、前記上部水平旋回ア
ーム群が、前記移動機台上に対称的に配設されるととも
に屈伸可能な２組のリンク体と、それぞれのリンク体の
先端にそれぞれ回動可能に配設されるハンドと、を有
し、それぞれのハンドが上下方向に離隔配置するように
構成されている。そのため、２個のハンドが交互に移動
することができ、基板を効率よく加工ステージに搬入搬
出でき、加工ステージのスループットを向上することが
できる。

【００３４】さらにこのロボットは、前記下部水平旋回
アーム群が、機台の中心位置に対して一方の側に向かっ
て偏心した位置に軸支されるとともに、前記軸支位置か
ら機台の他方の側に向かって旋回するように作動され
る。そのため、搬送装置内で旋回する下部水平旋回アー
ム群の、機台から突出する部分を少なくすることがで
き、カセットと加工ステージ間をさらに短くすることが
でき、設置される搬送装置をコンパクトに構成すること
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一形態によるロボットを示す斜視図

【図２】図１の正面一部断面図

【図３】図１におけるリンク体を示す断面図

【図４】図１のロボットのハンドを示す図

【図５】図１のロボットの作用を示す図

【図６】図１のロボットの作用を示す図

【図７】図１のロボットの作用を示す図

【図８】別の形態のロボットを示す一部断面図

【図９】従来のロボットを示す正面図

【符号の説明】

１…薄型基板搬送多関節ロボット ２…機台 ３…下部水平旋回アーム体（下部水平旋回アーム群） ４…上部水平旋回アーム体（上部水平旋回アーム群） ５…リンク体 ６…リンク体 ７…移動機台 ８…ハンド部 ２２…第１駆動モータ ２３…第１シャフト ３１…第１下部水平旋回アーム ３２…第２下部水平旋回アーム ３３…第２駆動モータ ３４…第２シャフト ３５…第３シャフト ３６…モータ ５２・６２…アーム駆動モータ ５３・６３…第１リンク ５４・６４…第２リンク ８１…ハンド ８２…ハンド

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄型基板を支持して基板処理装置に搬送
   可能に構成する薄型基板搬送多関節ロボットであって、 水平方向に旋回可能な下部水平旋回アーム群と、前記下
   部水平旋回アーム群の上方に配設される上部水平旋回ア
   ーム群とを有し、前記上部水平旋回アーム群の先端部に
   薄型基板を支持するハンドが配置され、前記下部水平旋
   回アーム群が機台に支持されるとともに前記上部水平旋
   回アーム群が前記下部水平旋回アーム群に回動可能に連
   結される移動機台に支持され、 前記下部水平旋回アーム群が、前記ハンドを基板処理装
   置付近に移動するように駆動され、 前記上部水平旋回アーム群が、前記ハンドを基板処理装
   置内に移動するように駆動されることを特徴とする薄型
   基板搬送多関節ロボット。
2. 【請求項２】 薄型基板を支持して基板処理装置に搬送
   可能に構成する薄型基板搬送多関節ロボットであって、 水平方向に旋回可能な下部水平旋回アーム群と、前記下
   部水平旋回アーム群の上方に配設される上部水平旋回ア
   ーム群とを有し、前記上部水平旋回アーム群の先端部に
   薄型基板を支持するハンドが配置され、前記下部水平旋
   回アーム群が機台に支持されるとともに前記上部水平旋
   回アーム群が前記下部水平旋回アームに回動可能に連結
   される移動機台に支持され、 前記下部水平旋回アーム群が、水平方向に旋回する２個
   の下部水平旋回アームを有し、一方の下部水平旋回アー
   ムの一端が、前記機台に軸支されて回動駆動され、 前記上部水平旋回アーム群が、水平方向に旋回する２個
   のリンクを有し、一方のリンクの一端が、前記移動機台
   に軸支されて回動駆動されるとともに、他方のリンクの
   一端には前記ハンドが回動可能に支持され、 前記移動機台が前記下部水平旋回アーム群の他方の下部
   水平旋回アームの一端に軸支され、 前記下部水平旋回アーム群が、前記ハンドを基板処理装
   置付近に移動するように駆動され、 前記上部水平旋回アーム群が、前記ハンドを基板処理装
   置内に移動するように駆動されることを特徴とする薄型
   基板搬送多関節ロボット。
3. 【請求項３】 前記上部水平旋回アーム群が、前記移動
   機台上に対称的に配設されるとともに屈伸可能な２組の
   リンク体と、それぞれのリンク体の先端にそれぞれ回動
   可能に配設されるハンドと、を有し、それぞれのハンド
   が上下方向に離隔配置するように構成されていることを
   特徴とする請求項１〜２記載の薄型基板搬送多関節ロボ
   ット。
4. 【請求項４】 前記下部水平旋回アーム群が、機台の中
   心位置に対して一方の側に向かって偏心した位置に軸支
   されるとともに、前記軸支位置から機台の他方の側に向
   かって旋回するように作動されることを特徴とする請求
   項１または２記載の薄型基板搬送多関節ロボット。