JPH11265924A - 薄型基板搬送多関節ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 アームの旋回半径を小さくするとともにＺ軸
移動及びＹ軸移動装置を簡略化してコンパクトなロボッ
トを提供すること。 【解決手段】 ロボット１は機台２に回動可能に支持さ
れ垂直方向に旋回可能な垂直旋回アーム体３と、垂直旋
回アーム体３の後端部に回動可能に支持され水平方向に
旋回可能な水平旋回アーム体４とを有し、水平旋回アー
ム体４の後端にハンド部７が水平方向に旋回可能に取り
付けられている。垂直旋回アーム体３は第１垂直旋回ア
ーム３１と第２垂直旋回アーム３２とを有し、水平旋回
アーム体４は移動機台４１と移動機台４１上に水平方向
に旋回される２列のアーム体５０Ａ・５０Ｂが配置され
ている。それぞれのアーム体５０Ａ・５０Ｂ上にはハン
ド部７のハンド７１Ａ・７１Ｂが取り付けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ウェハやガラス
基板等の薄型基板を搬送するロボットに関し、さらに、
ロボットの機台を移動することなくハンドの長ストロー
クを可能とする薄型基板搬送多関節ロボットに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にシリコンウェハやガラス基板等の
薄型ワークは半導体のチップとして使用されクリーンル
ーム内で処理されたり搬送されたりする。そのため、薄
型ワークを搬送するロボットもクリーンルーム内に設置
され、水平方向に旋回可能なアーム体を有して薄型ワー
クを所定の位置から処理される位置に搬送するように構
成されていた。従来、薄型ワークの搬送ロボットは、ク
リーンルーム内に配置され薄型ワークを支持するハンド
部と前記ハンド部を回動あるいは昇降する駆動部とを有
し、駆動部が機台内に配設されるように構成されてい
た。図１４に示す搬送ロボット１１０は、一般的によく
知られていて、機台１１１と機台１１１に対して回動ま
たは昇降するとともに屈伸可能なアーム体１１２とアー
ム体１１２の先端でアーム体１１２に対して回動可能な
ハンド１１３とを有している。前記アーム体１１２は２
個のアームからなり、機台１１１内に配置された図示し
ないモータで機台１１１に対して回動される第１アーム
１１４と、第１アーム１１４に隣接された別の第２アー
ム１１５とが図示しないプーリ・ベルトで駆動伝達さ
れ、駆動伝達されることによって第２アーム１１５が第
１アーム１１４に対して回動する。このアーム体１１２
とハンド１１３を有するロボット１１０は、図示しない
カセット内に収納されている薄型ワークを吸着し直線的
に移動することによって、薄型ワークをカセットの両端
に接触させないで取り出したり取り込んだりすることが
可能となる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の搬送ロ
ボットはアーム２個の屈伸によりハンドの直線移動を行
なうように構成されているため、ハンドの移動位置が制
限されていた。そのため、ワークの処理加工が数多くあ
る場合、または一工程内でワークを遠距離まで移動する
場合には、ロボットの下方にレールを設置しロボット自
体をレールに沿って移動するようにしていた。しかしロ
ボット自体を移動することは、大きなスペースを必要と
するばかりでなく設備費用も増大する。この課題を解決
するためにアームの数を増やすとともに、それぞれの旋
回部の一部にモータを取り付け、アームの移動軌跡の自
由度を高めることによってハンドの長ストロークを確保
し、ロボット自体の移動をなくすような改良を試みてい
る。

【０００４】しかし、アーム体の移動が水平方向に行な
われることは、その旋回半径を大きくしロボットとカセ
ット間あるいは加工工程ステージ間との距離を大きく設
定しなければならず、装置の大型化に繋がっていた。さ
らにアーム体（またはハンド）のＺ軸（上下方向）の移
動はモータやボールねじ、またプーリ・ベルト等により
駆動されていたので装置が複雑になるとともに塵埃の発
生の原因にもなっていた。

【０００５】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、第１の目的は、ロボット自体の移動をなくしてハ
ンドを長ストロークで移動させるとともにアームの旋回
半径を小さくして全体装置をコンパクトに構成すること
であり、第２の目的は単独で構成されるＺ軸駆動装置を
なくして塵埃の発生を極めて少なくできるロボットを構
成することであり、そしてそのために改良された薄型基
板搬送多関節ロボットを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明にかかわる薄型
基板搬送多関節ロボットでは、上記の課題を解決するた
めに以下のように構成するものである。すなわち、薄型
基板を支持して次工程に搬送可能に構成される薄型基板
搬送多関節ロボットであって、水平方向に旋回可能な水
平旋回アーム群と、垂直方向に旋回可能な垂直旋回アー
ム群とを有し、前記水平旋回アーム群の先端部に薄型基
板を支持するハンドが配置され、前記垂直旋回アーム群
が機台に支持されるとともに前記水平旋回アーム群と回
動可能に連結されることを特徴とするものである。

【０００７】またこの薄型基板搬送多関節ロボットは、
薄型基板を支持して次工程に搬送可能に構成されるもの
であり、水平方向に旋回可能な水平旋回アーム群と、垂
直方向に旋回可能な垂直旋回アーム群とを有し、前記水
平旋回アーム群の先端部に薄型基板を支持するハンドが
配置され、前記垂直旋回アーム群が機台に支持されると
ともに前記水平旋回アーム群と回動可能に連結され前記
垂直旋回アーム群が、垂直方向に旋回する複数の垂直旋
回アームを有し、前記垂直旋回アームの１個の一端が、
前記機台に水平方向に回動可能に配設された軸に固着さ
れるとともに、前記軸に、前記機台に支持された駆動装
置が接続され、前記水平旋回アーム群が、水平方向に旋
回する複数の水平旋回アームと、前記水平旋回アームの
駆動部を備える移動機台を有し、前記移動機台が前記垂
直旋回アーム群に軸支されるとともに前記垂直旋回アー
ム群に支持された駆動装置により駆動されることを特徴
とするものである。

【０００８】また好ましくは、前記ハンドが前記機台上
に配置される作動始めの位置において、前記垂直旋回ア
ーム群の機台に支持される側の垂直旋回アームが、前記
機台に対して略水平方向に配置されることを特徴とする
ものであればよい。

【０００９】さらに、前記ハンドが前記機台上に配置さ
れる作動始めの位置において、前記垂直旋回アーム群の
機台に支持される側の垂直旋回アームが、前記機台に対
して略垂直方向に配置されることを特徴とするものであ
ってもよい。

【００１０】また、前記ハンドに薄型基板の有無センサ
が配設され、カセットに収納されている薄型基板の収納
状態に合わせて前記ハンドを傾斜可能に制御することを
特徴とするものであればなお好ましい。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。

【００１２】本形態の薄型基板搬送多関節ロボット（以
下ロボットという）１は、図１の斜視図及び図２の正面
図に示すように、機台２と、機台２に一端が軸支された
垂直旋回アーム体３と、垂直旋回アーム体３の先端部に
回動可能に支持された水平旋回アーム体４と、水平旋回
アーム体４に一端が軸支されたハンド部７と、を有して
構成されている。

【００１３】機台２は矩形の下プレート２１上に２個の
支持板２２が隙間を有するように立設され、２個の支持
板２２を水平方向に貫通するように第１軸２３が支持板
２２に回動可能に支持されている。第１軸２３の一端に
は第１モータ２４が減速機を介して接続され、第１モー
タ２４は一方の支持板２２に取り付けられている。

【００１４】垂直旋回アーム体３は、中空状に形成され
た第１垂直旋回アーム３１・第２垂直旋回アーム３２か
らなり、第１垂直旋回アーム３１の前端（図２における
右端側）が前述の機台２の２個の支持板２２間に挿通さ
れるとともに、図３に示すように、第１軸２３に固着さ
れて支持板２２に対して垂直方向に回動するように配置
されている。そのため、第１垂直旋回アーム３１は第１
モータ２４の作動により回転される。第２垂直旋回アー
ム３２は、図２に示すように、前端が第１垂直旋回アー
ム３１の後端（図２における左端側）に連結され、後端
が後述の水平旋回アーム体４の下部に配置される移動機
台４１に連結される。第１垂直旋回アーム３１の後端に
は、図４に示すように、第１垂直旋回アーム３１の側面
部に取り付けられた第２モータ３３に減速機を介して接
続される第２軸３４が、第１垂直旋回アーム３１に軸受
けを介して枢着可能に支持され、第２軸３４は第１垂直
旋回アーム３１を貫通して第２垂直旋回アーム３２の側
面部まで延設され、第２垂直旋回アーム３２の側面部で
固着される。第２垂直旋回アーム３２の後端に、図５に
示すように、第２垂直旋回アーム３２の側面に取り付け
られた第３モータ３５に減速機を介して接続された第３
軸３６が軸受けを介して枢着可能に支持され、第３軸３
６は第２垂直アーム３２を貫通して移動機台４１の内部
で移動機台に４１固着される。したがって、第２垂直旋
回アーム３２は第２モータ３４により垂直方向に旋回さ
れ、移動機台４１（水平旋回アーム体４）は第３モータ
３６により回動される。

【００１５】水平旋回アーム体４は、図２及び図６に示
すように、本形態においては２列アーム体５０を構成
し、下部に移動機台４１を有している。移動機台４１は
中空状に形成された本体部４１ａと、本体部４１ａの下
方に形成される断面Ｕ字形の取り付け部４１ｂとを有
し、本体部４１ａ内には２列アーム体５０の駆動部が配
置され、取り付け部４１ｂが前述の第２垂直旋回アーム
３２に支持されている。また、移動機台４１内には、２
列アーム体５０を移動機台４１に対して回動するための
支持ボックス４３が本体部４１ａに軸受４４を介して回
動可能に支持され、支持ボックス４３は移動機台４１の
本体部４１ａに固着支持された回動用モータ４５に接続
されている。

【００１６】移動機台４１の上方に２列アーム体５０を
支持する中空状のベース５１が配置され、前述の支持ボ
ックス４３がベース５１に固着されてベース５１が支持
ボックス４３と共に回動可能に形成される。さらにベー
ス５１内にはそれぞれのアーム体５０Ａ・５０Ｂを駆動
するためのハンド移動モータ５２Ａ・５２Ｂが配置され
ている。図６に示す断面図は一方のアーム体５０Ａを示
すものであり、他方のアーム体５０Ｂも同様の構成をし
ている。アーム体５０Ａは第１水平旋回アーム５３Ａと
第２水平旋回アーム５４Ａとを有しその節点で回動可能
に構成されるとともに、第２水平旋回アーム５４Ａの上
方に、第２水平旋回アーム５４に対して回動可能にハン
ド部７のハンド７１Ａが配置されている。なお、他方の
アーム体５０Ｂの上方に取り付けられるハンド７１Ｂ
は、ハンド７１Ａに吸着されたウェハＷが移動する際
に、ハンド７１Ｂに干渉しないようにハンド７１Ａより
上方に位置するように形成されている。

【００１７】第１水平旋回アーム５３Ａは中空状に形成
されるとともに、前端にハンド移動モータ５２Ａから減
速機を介して接続された第４軸５５Ａに、共に回動する
ように固着され、第１水平旋回アーム５３Ａ内におい
て、第４軸５５Ａの回りに第１プーリ５６Ａが第１水平
旋回アーム５３Ａに回動可能に支持されている。第１水
平旋回アーム５３Ａの後端に、第１水平旋回アーム５３
Ａに固着支持されるように第５軸５７Ａが立設され、第
５軸５７Ａは第１水平旋回アーム５３Ａを貫通して第２
水平旋回アーム５４Ａの前端内部まで延設されている。
第１水平旋回アーム５３Ａ内において第５軸５７Ａの回
りには第２プーリ５８Ａが第２水平旋回アーム５４Ａの
壁部に固着するように配置され、第１プーリ５６Ａと第
２プーリ５７Ａとの間にベルト５９Ａが巻回される。そ
して、第２水平旋回アーム５４Ａは第２プーリ５７Ａと
ともに第１水平旋回アーム５３Ａに対して回動する。第
５軸５７Ａの第２水平旋回アーム５４Ａ内において、第
５軸５７Ａの回りに第３プーリ６０Ａが固着され、第２
水平旋回アーム５４Ａ後端に回動可能に支持された第４
プーリ６１Ａにベルト６２Ａを巻回して配置されてい
る。第４プーリ６１Ａはその上部で第２水平旋回アーム
５４Ａの上方に配置されるハンド７１Ａに固着され、ハ
ンド７１Ａは第４プーリ６１Ａと共に第２水平旋回アー
ム５４Ａに対して回動することになる。

【００１８】ハンド部７は前述のようにアーム体５０Ａ
の上方に配置されるハンド７１Ａとアーム体５０Ｂの上
方に配置されるハンド７１Ｂとを有し、図７に示すよう
に、それぞれのハンド（７１Ａ・７１Ｂ）は第４プーリ
（６１Ａ・６１Ｂ）に連結される元部（７２Ａ・７２
Ｂ）と吸着部（７３Ａ・７３Ｂ）からなり、吸着部（７
３Ａ・７３Ｂ）はいずれもウェハを吸着するための吸着
孔（７３Ａ・７３Ｂ）が複数個形成され、吸着孔（７４
Ａ・７４Ｂ）から図示しない配管部材を介して真空装置
（図示せず）に接続される。また、元部（７２Ａ・７２
Ｂ）にはウェハ検知センサ（７５Ａ・７５Ｂ）が光線を
吸着部（７３Ａ・７３Ｂ）に向けるように取り付けられ
ている。ウェハ検知センサ（７５Ａ・７５Ｂ）は図示し
ないカセットを正面にした時に、ハンド（７１Ａまたは
７１Ｂ）を上下動させ、カセットに収納されたウェハの
端面の２か所をセンシングすることによりウェハの有り
無し及びウェハの収納状態を検知する。

【００１９】なお、本形態では水平旋回アーム体４は２
列アーム体５０を採用しているが、もちろん１列アーム
体に構成してもよい。

【００２０】上記のように構成されたロボット１は、図
８に示すように、移動機台４１が機台２の直上に配置さ
れる第１の位置（作動始めの位置）Ｐ１においては、第
１垂直旋回アーム３１は機台２に対して略水平方向に位
置している。この形態のロボット１においては、第１垂
直旋回アーム３１の長さは、機台２の配置されている床
面から第１軸２３の中心位置までの長さより長く、第１
垂直旋回アーム３１の旋回は上方に向かって行なわれる
とともに加工ステージに沿って順次移動する場合は、図
９の簡略図に示すように、第１垂直旋回アーム３１と第
２垂直旋回アーム３２との節点つまり第２軸３４の軌跡
は、第１垂直旋回アーム３１の旋回中心つまり機台２に
配置される第１軸２３に対して上方を旋回することにな
る。

【００２１】移動機台４１は第１の位置Ｐ１から第１モ
ータ２４、第２モータ３３により、第１垂直旋回アーム
３１が機台２に対して時計方向に旋回し、第２垂直旋回
アーム３２が第１垂直旋回アーム３１に対して反時計方
向に旋回してハンド部７が図示しない加工前カセットの
正面に対向する第２の位置Ｐ２に移動する。この際、移
動機台４１は第３モータ３５によりその上面（つまりそ
れぞれのハンド７１の上面）を水平面を維持するように
第２垂直旋回アーム３２に対して回動する。

【００２２】次に、加工前カセットに収納されたウェハ
Ｗの有り無しを検知するために、第１モータ２４・第２
モータ３３を再び作動させ、第１垂直旋回アーム３１と
第２垂直旋回アーム３２を旋回させて、移動機台４１を
加工前カセットに収納された最上段のウェハＷの位置Ｐ
２から最下段のウェハの位置Ｐ３に達するように往復移
動させる。そしてウェハＷの有りを確認したロボット１
は一方のハンド７１Ａを前進させるためにハンド移動モ
ータ５２Ａを作動させ、第１水平旋回アーム５３Ａ・第
２水平旋回アーム５４Ａを旋回させてハンド７１Ａを加
工前カセットに向かって直進的に移動させウェハＷを吸
着して元の位置に戻る ウェハＷをハンド７１Ａで吸着したロボット１は、次に
ウェハＷを加工処理するために、加工前カセットとロボ
ット１を挟んで対向する位置に配置された複数の加工ス
テージの内、第１の加工ステージの正面にハンド７１Ａ
を移動させる。そして、ウェハＷを第１の加工ステージ
に装着した後、ロボット１は再びハンド部を加工前カセ
ットの正面に移動させ次のウェハＷをいずれかのハンド
で吸着させて第１の加工ステージの正面に移動させ待機
する。第１の加工ステージで加工処理が終了すれば、ウ
ェハＷを吸着していないハンドを第１の加工ステージに
移動させウェハＷを取り出した後、ウェハＷを吸着して
いるハンドを第１の加工ステージに移動させ次のウェハ
Ｗを加工ステージに装着する。加工処理が終了したウェ
ハが第２の加工ステージあるいは加工済カセットに移動
されると、ロボットはハンドを加工前カセットの正面に
移動させ、ウェハＷを吸着した後再び第１の加工ステー
ジの正面で待機する。そして、この動作を繰り返すこと
になる。

【００２３】このように、移動機台４１のＺ軸移動（上
下移動）及びＹ軸移動（カセットまたは加工ステージの
正面までの移動）は垂直旋回アーム体３の旋回により行
なわれ、Ｘ軸移動（ハンドの伸縮移動）は水平旋回アー
ム体４の旋回により行なわれる。そのため、従来のロボ
ットのようにＺ軸駆動するモータ及びボールねじやベル
ト・プーリを削除することができ機台を簡略化すること
ができる。

【００２４】なお、加工前カセットに収納されているウ
ェハＷが水平方向に対して傾いて配置されている場合に
は、ウェハＷの傾きに合わせるように第３モータ３５を
作動させて移動機台４１を第２垂直旋回アーム３２に対
して回転させ、ハンドを傾けたまま取り出すことが可能
であり、さらに、ハンドを反転させてウェハＷをハンド
の下方に吸着させることも可能になる。

【００２５】図１０に示すロボット８１は第２の形態を
示すものであり、前述の形態と同様に機台８２に軸支さ
れて垂直旋回アーム体８３と垂直旋回アーム体８３の上
方に水平旋回アーム体８４とハンド部９２が配置されて
いる。この形態のロボット８１は、図１１に示すよう
に、前述のロボット１に対して、機台８２が筐体に形成
され機台８２内に垂直旋回アーム体８２の第１垂直旋回
アーム８５を回動する第１モータ８７が収納されること
と、第２垂直旋回アーム８６の後端部が筐体に形成され
た移動機台９１の側面部に回動可能に連結されているこ
とが異なる。さらに、第２モータ８８の取付位置が、前
述の形態のロボット１における第１垂直旋回アーム３１
側に配置されるのに対して、ロボット８１では第２垂直
旋回アーム８６側に取り付けられる。そのため、第２モ
ータ８８の軸に接続された第２軸８８ａは第１垂直旋回
アーム８５に固着され第２モータ８８の外ケース８８ｂ
が第２垂直旋回アーム８６に固着されて、第２モータ８
８の作動により固定された第２軸８８ａに対して第２モ
ータ８８の外ケース８８ｂが第２垂直旋回アーム８６と
共に回転することになる。

【００２６】水平旋回アーム体８４の２列アーム体及び
ハンドの構成はロボット１と同様である。

【００２７】上記のように構成されたロボット８１にお
いては、移動機台９１が機台の直上に配置された第１の
位置Ｐ１にある時、第１垂直旋回アーム８５と第２垂直
旋回アーム８６はいずれも機台８２に対して垂直方向に
垂下されるように構成される。そして、この形態のロボ
ット８１においては、第１垂直旋回アーム８５の長さ
は、機台８２の配置されている床面から第１軸８７ａの
中心位置までの長さより短く、加工ステージに沿って順
次移動する場合は、図１２の簡略図に示すように、第１
垂直旋回アーム８５第２垂直旋回アーム８６との節点つ
まり第２軸８８ａの軌跡は、第１垂直旋回アーム８５の
旋回中心つまり機台８２に配置される第１軸８７ａに対
して下方を、第１垂直旋回アーム８５と第２垂直旋回ア
ーム８６とを折れ畳むように旋回することになる。

【００２８】また、図１３に示される第３の形態のロボ
ット１０１は、ロボット８２の機台８２及び移動機台９
１とを有し、第１垂直旋回アーム３１と第２垂直旋回ア
ーム３２が始めの位置において、ロボット１と同様に略
水平方向に配置され、移動機台９１は図９に示すような
動作を行なう。

【００２９】従って、第１の形態のロボット１と第３の
形態のロボット１０１は、第１垂直旋回アーム３１の始
点より上方で第１垂直旋回アーム３１と第２垂直旋回ア
ーム３２の節点が旋回するのでアームの全長範囲内では
Ｚ軸高さ位置の動作範囲の制限がなく、また、第２の形
態のロボット８１では、移動機台の直線軌跡を描きやす
く制御を簡単にすることができる。また、いずれの形態
のロボットにおいても、Ｙ軸の移動（移動機台の移動）
は垂直旋回アーム体により機台上を一直線に移動できる
ので、機台と設置される加工ステージ間あるいは機台と
設置されるカセット間を短くすることができる。

【００３０】なお、それぞれの形態における各部の構
成、例えば、それぞれの軸とそれぞれのアームとの連結
構造、ベルトとプーリの取り付け構造、または軸受けの
種類等は本発明の要旨を変更するものでない限り設計変
更は可能である。

【００３１】さらに、薄型基板はウェハに限らずガラス
基板でもよく、また、それ以外の薄板状のものであれば
よい。

【００３２】

【発明の効果】本発明によれば、薄型基板搬送多関節ロ
ボットは、薄型基板を支持して次工程に搬送可能に構成
されるものであり、水平方向に旋回可能な水平旋回アー
ム群と、垂直方向に旋回可能な垂直旋回アーム群とを有
し、前記水平旋回アーム群の先端部に薄型基板を支持す
るハンドが配置され、前記垂直旋回アーム群が機台に支
持されるとともに前記水平旋回アーム群と回動可能に連
結されている。そしてハンドのＺ軸及びＹ軸の移動は前
記垂直旋回アーム群の旋回により行なわれ、Ｘ軸移動は
前記水平旋回アーム群の旋回により行なわれる。従っ
て、従来配置されたハンドのＺ軸駆動装置を削除するこ
とができロボット自体をコンパクトに構成することがで
きるとともに、ハンドのＹ軸移動を垂直旋回アーム群に
より行なうので従来のロボットに比べて飛躍的に長スト
ロークを確保することができ、しかも、多くの加工ステ
ージを配置させた搬送システムにおいても、Ｘ軸方向の
旋回を大きくすることなくコンパクトにすることができ
る。さらに、前記ハンドを水平方向に対して傾けること
ができるため、カセットに収納されたウェハが傾いたま
までも吸着して搬送することができる。また、ハンドを
反転することができるため、ウェハを上面から吸着して
搬送することも可能である。

【００３３】またこの薄型基板搬送多関節ロボットは、
薄型基板を支持して次工程に搬送可能に構成されるもの
であり、水平方向に旋回可能な水平旋回アーム群と、垂
直方向に旋回可能な垂直旋回アーム群とを有し、前記水
平旋回アーム群の先端部に薄型基板を支持するハンドが
配置され、前記垂直旋回アーム群が機台に支持されると
ともに前記水平旋回アーム群と回動可能に連結され、前
記垂直旋回アーム群が、垂直方向に旋回する複数の垂直
旋回アームを有し、前記垂直旋回アームの１個の一端
が、前記機台に水平方向に回動可能に配設された軸に固
着されるとともに、前記軸に、前記機台に支持された駆
動装置が接続され、前記水平旋回アーム群が、水平方向
に旋回する複数の水平旋回アームと、前記水平旋回アー
ムの駆動部を備える移動機台を有し、前記移動機台が前
記垂直旋回アーム群に軸支されるとともに前記垂直旋回
アーム群に支持された駆動装置により駆動するように構
成されている。

【００３４】そして前記ハンドのＺ軸及びＹ軸の移動は
前記垂直旋回アーム群の旋回により行なわれ、Ｘ軸移動
は前記水平旋回アーム群の旋回により行なわれる。従っ
て、従来配置されたハンドのＺ軸駆動装置を削除するこ
とができロボット自体をコンパクトに構成することがで
きるとともに、ハンドのＹ軸移動を垂直旋回アーム群に
より行なうので従来のロボットに比べて飛躍的に長スト
ロークを確保することができ、しかも、多くの加工ステ
ージを配置させた搬送システムにおいても、Ｘ軸方向の
旋回を大きくすることなくコンパクトにすることができ
る。さらに、前記ハンドを水平方向に対して傾けること
ができるため、カセットに収納されたウェハが傾いたま
までも吸着して搬送することができる。また、ハンドを
反転することができるため、ウェハを上面から吸着して
搬送することも可能である。

【００３５】また、前記ハンドが前記機台上に配置され
る作動始めの位置において、前記垂直旋回アーム群の機
台に支持される側の垂直旋回アームが、前記機台に対し
て略水平方向に配置されていれば、前記垂直旋回アーム
は前記機台の上方に旋回され前記垂直旋回アームの全長
範囲内ではＺ軸高さ位置の動作範囲の制限がなく作動さ
れ、前記ハンドが前記機台上に配置される作動始めの位
置において、前記垂直旋回アーム群の機台に支持される
側の垂直旋回アームが、前記機台に対して略垂直方向に
配置されていれば、前記移動機台の直線軌跡を描きやす
く制御を簡単にすることができる。

【００３６】さらにこのロボットは、カセットに収納さ
れた薄型基板が、例え傾いて収納されていても、その状
態をハンドに配置された有無センサで検出することによ
って、ハンドを薄型基板に合わせて傾けることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一形態によるロボットを示す斜視図

【図２】図１の正面一部断面図

【図３】図１のIII −III 断面図

【図４】図１のIV−IV断面図

【図５】図１のV −V 断面図

【図６】図１水平旋回アーム体の一方のアーム体を示す
断面図

【図７】図１のロボットのハンドを示す図

【図８】図１のロボットの作用を示す正面図

【図９】図８の簡略図

【図１０】別の形態のロボットを示す斜視図

【図１１】図８のロボットの側面断面図

【図１２】図８のロボットの作用を示す簡略図

【図１３】さらに別の形態のロボットを示す斜視図

【図１４】従来のロボットを示す図

【符号の説明】

１…薄型基板搬送多関節ロボット ２…機台 ３…垂直旋回アーム体（垂直旋回アーム群） ４…水平旋回アーム体（水平旋回アーム群） ７…ハンド部 ２３…第１軸 ２４…第１モータ ３１…第１垂直旋回アーム ３２…第２垂直旋回アーム ３３…第２モータ ３４…第２軸 ３５…第３モータ ３６…第３軸 ４１…移動機台 ５３…第１水平旋回アーム ５４…第２水平旋回アーム ７１…ハンド

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄型基板を支持して次工程に搬送可能に
   構成される薄型基板搬送多関節ロボットであって、 水平方向に旋回可能な水平旋回アーム群と、垂直方向に
   旋回可能な垂直旋回アーム群とを有し、前記水平旋回ア
   ーム群の先端部に薄型基板を支持するハンドが配置さ
   れ、前記垂直旋回アーム群が機台に支持されるとともに
   前記水平旋回アーム群と回動可能に連結されることを特
   徴とする薄型基板搬送多関節ロボット。
2. 【請求項２】 薄型基板を支持して次工程に搬送可能に
   構成される薄型基板搬送多関節ロボットであって、 水平方向に旋回可能な水平旋回アーム群と、垂直方向に
   旋回可能な垂直旋回アーム群とを有し、前記水平旋回ア
   ーム群の先端部に薄型基板を支持するハンドが配置さ
   れ、前記垂直旋回アーム群が機台に支持されるとともに
   前記水平旋回アーム群と回動可能に連結され、 前記垂直旋回アーム群が、垂直方向に旋回する複数の垂
   直旋回アームを有し、前記垂直旋回アームの１個の一端
   が、前記機台に水平方向に回動可能に配設された軸に固
   着されるとともに、前記軸に、前記機台に支持された駆
   動装置が接続され、 前記水平旋回アーム群が、水平方向に旋回する複数の水
   平旋回アームと、前記水平旋回アームの駆動部を備える
   移動機台を有し、前記移動機台が前記垂直旋回アーム群
   に軸支されるとともに前記垂直旋回アーム群に支持され
   た駆動装置により駆動されることを特徴とする薄型基板
   搬送多関節ロボット。
3. 【請求項３】 前記ハンドが前記機台上に配置される作
   動始めの位置において、前記垂直旋回アーム群の機台に
   支持される側の垂直旋回アームが、前記機台に対して略
   水平方向に配置されることを特徴とする請求項１または
   ２記載の薄型基板搬送多関節ロボット。
4. 【請求項４】 前記ハンドが前記機台上に配置される作
   動始めの位置において、前記垂直旋回アーム群の機台に
   支持される側の垂直旋回アームが、前記機台に対して略
   垂直方向に配置されることを特徴とする請求項１または
   ２記載の薄型基板搬送多関節ロボット。
5. 【請求項５】 前記ハンドに薄型基板の有無センサが配
   設され、カセットに収納されている薄型基板の収納状態
   に合わせて前記ハンドを傾斜可能に制御することを特徴
   とする請求項２記載の薄型基板搬送多関節ロボット。