JP2000133690A

JP2000133690A - ウエハ搬送装置

Info

Publication number: JP2000133690A
Application number: JP30392398A
Authority: JP
Inventors: Seiji Komatsu; 省二小松; Keiji Kuwata; 圭二桑田
Original assignee: Rorze Corp
Current assignee: Rorze Corp
Priority date: 1998-10-26
Filing date: 1998-10-26
Publication date: 2000-05-12

Abstract

(57)【要約】【課題】装置の設置占有面積が小さくなって低コスト
化に寄与し、また基板支持機構の耐久性を向上させると
共にモータの遮蔽が簡易に行えるものとする。【解決手段】基台３上に胴体１４を第１縦軸１３を介
し旋回自在に装着すると共に基台３又は胴体１４の何れ
かに胴体１４を第１縦軸１３回りへ旋回駆動するための
主軸モータ１１を設け、且つ、前記胴体１４に第１及び
第２モータ１６、２１を取付けると共に、胴体１４の旋
回中心から横方へ偏位した胴体上面個所にアーム１８の
一端部を第２縦軸１７を介し前記第１モータ１６による
回転駆動可能に装着するほか、アーム１８の他端部には
基板保持部１９の基端部を第３縦軸２０を介し前記第２
モータ２１による回転駆動可能に装着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ（以
下、単にウエハと称す）等を搬送するものとしたウエハ
搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来からウエハ等を搬送するための搬送
装置として、特開平８−２７４１４０号で開示されてい
るようなウエハ搬送装置が使用されている。同号のウエ
ハ搬送装置は、図１０に示すように、第１縦軸１３回り
へ回動される胴体１４の上方に２つのアーム１８ａ、１
８ｂを結合してなるアーム連結体を左右対称に装着し、
各側のアーム連結体の先端部に基板保持部１９、１９を
上下配置に装着し、ウエハが同一水平直線上で搬送され
るようになしてある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ウエハは従来より存在
している直径１５０ｍｍ又は２００ｍｍのものから、直
径３００ｍｍ又は４００ｍｍのものへと漸次大型化され
る傾向にあり、このようなウエハの搬送を可能となすた
め、ウエハ搬送装置も同様に大型化されている。

【０００４】ウエハ搬送装置の大型化は、この搬送装置
を使用したウエハ処理装置の大型化につながり、単にウ
エハ搬送装置やウエハ処理装置のコストアップにつなが
るだけでなく、クリーンルームの建設費用及び維持費用
等のコストアップに直結するため、半導体ディスクメー
カからは省スペース且つ低コストのウエハ搬送装置の開
発が強く待ち望まれている。

【０００５】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たもので、その主たる目的は装置設置時の占有面積が小
さくなって関連コストが低減するものとしたウエハ搬送
装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の第１のウエハ搬
送装置では、基台上に胴体を第１縦軸を介し旋回自在に
装着すると共に基台又は胴体の何れかに胴体を第１軸回
りへ旋回駆動するための主軸モータを設け、且つ、前記
胴体に第１及び第２モータを取付けると共に、胴体の旋
回中心から横方へ偏位した胴体上面個所にアームの一端
部を第２縦軸を介し前記第１モータによる回転駆動可能
に装着するほか、アームの他端部には基板保持部の基端
部を第３縦軸を介し前記第２モータによる回転駆動可能
に装着した構成となす。この際、基台の中心部に主軸モ
ータ及び第１縦軸を設け、胴体の内方に第１及び第２モ
ータを設けるのがよい。

【０００７】上記した搬送装置によれば、胴体の旋回中
心から横方へ偏位した胴体上面個所にアームの一端部を
装着したことが、装置作動時の最小占有面積を拡大する
ことなくアームを長くすることを可能となすのであり、
これにより基板保持部材による基板の搬送距離は装置全
体の作動時最小占有面積の大きさに対し大きな割合で増
大される。また主軸モータや第１及び第２モータは全周
囲を胴体で被われるものとなるため、各モータはゴミの
発散を阻止されると共に他物との接触による損傷を受け
難くなるのであり、さらに第１及び第２モータの質量が
アームに直接に作用しないものとなって、アームの作動
が効率的に行われると共にアーム関係機構の耐久性が向
上する。

【０００８】本発明の第２のウエハ搬送装置は次のよう
になす。即ち、基台の中心部に主軸モータ及び第１縦軸
を設けると共に、基台上にはこのモータにより第１縦軸
を介して旋回駆動される胴体を設け、且つ、前記胴体内
に第１、第２及び第３モータを設けると共に、胴体の旋
回中心から横方へ偏位した胴体上面個所にアームの一端
部を第２縦軸を介し前記第１モータによる回転駆動可能
に装着し、アームの他端部には上下２つの基板保持部を
装着するのであって、下側の基板保持部は第３縦軸を介
し前記第２モータによる回転駆動可能に装着し、一方上
側の基板保持部は第３縦軸と同心に配置された第４縦軸
を介し前記第３モータによる回転駆動可能に装着する。

【０００９】これによれば、第１のウエハ搬送装置の作
用に加えて、２つの基板保持部の各々が第３又は第４縦
軸回りへ独立的に回転駆動されるものとなって基板を効
率的に搬送できるものとなる。上記した第１及び第２の
ウエハ搬送装置の何れに於いても、胴体を上下変位させ
るための高さ調整手段を設けるのがよい。

【００１０】

【発明の実施の形態】（第１実施例）図１は本発明装置
の内部構成を示す断面説明図、図２は前記装置の斜視図
である。１は本発明装置の移動台であり、外方端部にリ
ニアブッシュ２、２が縦向きに固定してある。各リニア
ブッシュ２は基台３から起立させた案内シャフト４に摺
動変位自在に外嵌させてある。５は案内シャフト４、４
間を結合したリング板であり、これの外周縁と基台３と
は縦結合部材６で結合されている。

【００１１】７は上下駆動用モータであり、基台３上の
中心部に固定されたモータ支持台８により固定されてい
る。主軸モータ７の出力軸には縦向きのネジ軸９が結合
させてある。１０は移動台１の中心部に固定されたナッ
ト体で、内周面に形成されているボールネジ機構を介し
てネジ軸９に螺合されている。

【００１２】上記した構成が高さ調整手段をなすもの
で、上下駆動用モータ７が回転作動されると、ネジ軸９
が回転されてナット体１０及び移動台１が同体状に上下
変位されるのであり、この変位中、移動台１は案内シャ
フト４、４及びリニアブッシュ２、２により垂直方向へ
案内されるものとなされている。

【００１３】１１は主軸モータであり、移動台１の中心
部に固定されたコラム部材１２の天井面に固定されてい
る。１３は第一縦軸であり、主軸モータ１１の出力軸に
結合されると共に縦向きに保持されるものである。そし
て、１４は円筒体をなす胴体であり、円周壁部ａの上下
端に上面壁部ｂ及び下面壁部ｃを備えると共に、円周壁
部ｃの内部空間を二分するものとした中間壁部ｄを備え
てなる。この胴体１４の中間壁部ｄの中心部には上記第
一縦軸１３の上端が結合させてあり、また下面壁部ｃは
コラム部材１２の上面に設けたリング状案内部１５によ
り、特定面に沿った状態を保持するように案内されるも
のとなされている。これにより、主軸モータ１１が回転
作動されると、胴体１４は基台３上で第一縦軸１３回り
へ旋回駆動されるのである。

【００１４】１６は胴体１４の中間壁部ｄの中心から成
る可く離れた個所の下面に固定された第一モータであ
る。１７は第二縦軸であり、第一モータ１６の出力軸に
結合されると共に縦向きに保持されて胴体１４の上面壁
部ｂを回転自在に貫通したものとなされており、この第
二縦軸１７の上端にアーム１８の一端部が固定させてあ
る。これにより、第一モータ１６が回転作動されると、
アーム１８は第二縦軸１７の回りへ回転変位されるもの
となる。

【００１５】１９は基板保持部でアーム１８の他端部に
設けた第三縦軸２０を介してこの軸２０回りの回転変位
自在となされている。この基板保持部１９の上面部には
図示しない公知の真空吸着手段が形成してある。上記第
三縦軸２０はアーム１９の他端部に縦向きの一定高さと
なされ且つ回転自在に保持されるものとなされている。

【００１６】２１は胴体１４の中間壁部ｄの下面に固定
された第二モータであり、これの出力軸の上端にプーリ
２２が固定してある。２３は第二縦軸１７にこれと同心
状態で回転自在に外嵌された筒軸であり、これの上下端
にプーリ２４、２５が固定してある。そして、下側のプ
ーリ２５と、前記プーリ２２との間にタイミングベルト
２６が掛け回してあり、また上側のプーリ２４と前記第
三縦軸２０の下端に固定したプーリ２７との間にタイミ
ングベルト２８が掛け回してある。この際、プーリ２
２、２５、２４、２７間の回転比は任意なものとして差
し支えない。これにより、第二モータ２１が回転作動さ
れると、その回転がプーリ２２、プーリ２５、筒軸２
３、プーリ２４、プーリ２７及び第三縦軸２０をこの順
に伝達され、基板保持部１９は第三縦軸２０と共にこの
軸２０回りへ回転されるのである。

【００１７】２９は胴体１４の周面壁ａ下端を延長させ
るように装着された円筒形カバーである。なお、上記上
下駆動用モータ７、主軸モータ１１並びに第一及び第二
モータ１６、２１は図示しないコンピュータ制御手段で
回転制御される。

【００１８】次に上記搬送装置の作動例を説明する。図
３は上記搬送装置の第１縦軸１３の中心が、搬送対象で
あるウエハの搬送軸と一致するように設置された場合の
作動例を示すものであり、先ずこの作動例について説明
する。ここに、θＡは胴体１４の旋回角度を示し、θＢ
は胴体１４に対するアーム１８の回転角度を示し、θＣ
はアーム１８に対する基板保持部１９の回転角度を示
す。また斜線部Ｓは搬送装置やウエハＵの進入不可能領
域である。

【００１９】先ず胴体１４及び基板保持部１９が基準状
態である図３（Ａ）の状態から図３（Ｂ）の状態となさ
れるのであり、これにより基板保持部１９はこれの一定
位置に吸着固定したウエハＵを直状の搬送軸Ｘ上に合致
させる。

【００２０】次に胴体１４、アーム１８及び基板保持部
１９が図３（Ｃ）〜図３（Ｉ）までの各状態を経るよう
に動作されるのであり、これにより基板保持部１９はウ
エハＵを直状の搬送軸Ｘ上に合致させた状態で胴体１４
から離れる方向へ搬送するものとなる。

【００２１】図３に於ける（Ａ）〜（Ｉ）までの各状態
に於けるθＡ、θＢ及びθＣの具体的数値（度）を示す
と、表１の通りとなる。但し、この表中の数値は、胴体
１４の半径が２００ｍｍ、第１縦軸１３中心から第２縦
軸１７中心までの距離が１５０ｍｍ、第２縦軸１７中心
から第３縦軸２０中心までの距離が３００ｍｍ、第３縦
軸２０中心からウエハＵ中心までの距離が２００ｍｍで
ある場合のものである。

【００２２】

【表１】

【００２３】図４は上記搬送装置の第１縦軸１３の中心
がウエハＵの搬送軸Ｘに対しオフセットするように設置
された場合の作動例を示すものであるが、この作動例に
ついて説明する。ここに、図４中の符号は図３のものと
同一である。

【００２４】先ず胴体１４、アーム１８及び基板保持部
１９が基準状態である図４（Ａ）の状態から図４（Ｄ）
までの各状態を経るように動作されるのであり、これに
より基板保持部１９はこれの一定位置に吸着固定したウ
エハＵを第１縦軸１３中心からオフセットされた搬送軸
Ｘ上に合致させる。

【００２５】続いて各部が図４（Ｆ）〜図４（Ｉ）まで
の各状態を経るように動作されるのであり、これにより
基板保持部１９はウエハＵを直状の搬送軸Ｘ上に合致さ
せた状態で胴体１４から離れる方向へ搬送するものとな
る。

【００２６】図４に於ける（Ａ）〜（Ｉ）までの各状態
に於けるθＡ、θＢ及びθＣの具体的数値（度）を示す
と、表２の通りとなる。この表中の数値は、表１と同一
条件となされた場合のものである。

【００２７】

【表２】

【００２８】（第２実施例）図５は本発明装置の内部構
成を示す断面説明図、図６は前記装置の斜視図である。
本例の搬送装置の大部分は第１実施例と同様になされて
いるのであり、先のものと同一個所には同一符号を付し
て説明を省略する。

【００２９】本例では、先の基板保持部１９の上側に別
の基板保持部２９が配置してあり、この保持部２９の基
端部が先の第３縦軸２０の内方に設けられた第４縦軸３
０の上端部に固定されている。この際、第４縦軸３０は
第３縦軸２０と同心状の縦向きに保持されると共に一定
高さでの回転自在に支持される。

【００３０】３１は胴体１４の中間壁部ｄの下面に固定
された第３モータであり、これの出力軸の上端部にプー
リ３２が固定してある。３３は第２縦軸１７及び筒軸２
３と同心の回転自在に装着された筒軸であり、これの上
下端にプーリ３４、３５が固定されている。そして、下
側のプーリ３５と前記プーリ３２との間にタイミングベ
ルト３６が掛け回され、また上側のプーリ３４と第４縦
軸３０の下端に固定されたプーリ３７との間にタイミン
グベルト３８が掛け回されている。

【００３１】これにより、第３モータ３１が回転作動さ
れると、その回転がプーリ３２、プーリ３５、筒軸３
３、プーリ３４、プーリ３７及び第４縦軸３０をこの順
に伝達され、基板保持部２９は第４縦軸２９と共にこの
軸２９回りへ回転されるのである。

【００３２】次に上記搬送装置の作動例を説明する。図
７は上記搬送装置の第一縦軸１３中心がウエハＵの搬送
軸と一致するように設置された場合の作動例を示すもの
であり、先ずこの作動例について説明する。ここに、θ
Ｄはアーム１８に対する上側の基板保持部２９の回転角
度を示し、その他の符号は先のものと同一である。

【００３３】先ず胴体１４及び基板保持部１９、２９が
基準状態である図７（Ａ）の状態から図７（Ｂ）の状態
となされるのであり、これにより上側の基板保持部２９
はこれの一定位置に吸着固定したウエハＵを直状の搬送
軸Ｘ上に合致させる。

【００３４】続いて胴体１４及び上側の基板保持部２９
が図７（Ｃ）から図７（Ｅ）までの各状態を経るように
動作されて、上下の基板保持部１９、２９は正反対の向
きとなされて搬送軸軸Ｘ上に合致される。

【００３５】次に胴体１４、アーム１８及び上下の基板
保持部１９、２９が図７（Ｆ）〜図７（Ｉ）までの各状
態を経るように動作されるのであり、これにより上下の
基板保持部１９、２９は斜線部Ｓの領域と干渉すること
なくウエハＵを直状の搬送軸Ｘ上に合致させた状態で胴
体１４から離れる方向へ搬送するものとなる。

【００３６】図７に於ける（Ａ）〜（Ｉ）までの各状態
に於けるθＡ、θＢ、θＣ及びθＤの具体的数値（度）
を示すと、表３の通りとなる。但し、この表中の数値
は、表１と同一条件となされた場合のものである。

【００３７】

【表３】

【００３８】なお、この搬送装置の第一縦軸１３中心が
図４に示す場合に準じてウエハＵの搬送軸に対しオフセ
ットするように設置した場合も、上下の基板保持部１
９、２９は進入不可能領域に干渉するものとならず、ウ
エハＵを直状の搬送軸上に合致させた状態で胴体１４か
ら離れる方向へ搬送するものとなる。

【００３９】図８は上記搬送装置により異なる３位置に
存在するウエハを搬送する場合の作動例を示すものであ
るが、次にこの作動例について説明する。ここに、１
ａ、１ｂ、１ｃはウエハを示す。

【００４０】各モータ１６、２１、３１が作動すること
により、胴体１４、アーム１８及び基板保持部１９、２
９は図８（Ａ）から図８（Ｉ）までの各状態を経るもの
となり、また胴体１４は上下駆動用モータ７の作動によ
り適時に上下変位され、これにより基板保持部１９、２
９の上面は特定位置にあるウエハを吸着するのである。

【００４１】図８（Ａ）の状態では上下の基板保持部１
９、２９は基準位置に位置されており、この状態から上
側の基板保持部２９が図８（Ｂ）の状態となされて、第
１位置Ｐ１のウエハ１ａをその上面に吸着し、次に上下
の基板保持部１９、２９が基準位置に位置された図８
（Ｃ）の状態となる。

【００４２】次に下側の基板保持部１９が図８（Ｄ）の
状態となされて、その上面に第２位置Ｐ２にあるウエハ
１ｃを吸着し、その後、上下の各基板保持部１９、２９
がウエハ１ａ、１ｃを吸着したまま基準位置に位置され
た図８（Ｅ）の状態となされ、次に上側の基板保持部２
９が図８（Ｆ）の状態となされて、その上面に吸着した
ウエハ１ａを第２位置Ｐ２に解放する。

【００４３】次に上下の基板保持部１９、２９が基準位
置に位置された図８（Ｇ）の状態となされ、続いて下側
の基板保持部１９が図８（Ｈ）の状態となされて、その
上面に吸着したウエハ１ｃを第１位置Ｐ１に解放する。

【００４４】この後、上下の基板保持部２９、１９がウ
エハを吸着することなく基準位置に位置された図８
（Ｉ）の状態に復帰する。これにより、第１位置Ｐ１の
ウエハと第２位置Ｐ２のウエハの置き換えが終了する。
また第３位置Ｐ３のウエハと第２位置Ｐ２のウエハにつ
いても上記に準じて、それらの置き換えを行うことがで
きる。

【００４５】この作動例から明らかなように、本例の搬
送装置によれば同じ搬送軸上にない第１〜第３位置Ｐ
１、Ｐ２、Ｐ３のウエハであっても、搬送装置全体の横
移動を要することなく効率的にその置換えが行えるので
ある。

【００４６】次に、上記した第１及び第２実施例に係る
ウエハ搬送装置の作動時最小占有面積が、従来装置のそ
れに較べてどの程度であるかについて説明する。図９は
上記最小占有面積を比較するためのもので、Ａは本発明
の搬送装置を示し、Ｂは従来のそれを示している。

【００４７】９図Ａに於いて、Ｒは装置全体の最小旋回
半径である胴体１４の半径、Ｓは胴体１４の旋回中心
（第１縦軸１３中心）からアーム１８の取付け回転中心
（第２縦軸１７中心）までの距離、Ｄは第２縦軸１７中
心から基板保持部１９の取付け中心（第３縦軸２０中
心）までの距離、Ｅは第３縦軸２０中心から基板保持部
１９に吸着されたウエハＵの中心までの距離、Ｌは最大
搬送可能距離である。

【００４８】図９Ｂに於いて、Ｒは装置全体の最小旋回
半径、Ｄ１はアーム１８ａの取付け回転中心からアーム
１８ｂの取付け回転中心までの距離、Ｄ２はアーム１８
ｂの取付け中心から基板保持部１９の取付け中心までの
距離、Ｅは基板保持部１９の取付け中心から基板保持部
１９に吸着されたウエハＵの中心までの距離、Ｌは最大
搬送可能距離である。

【００４９】ここで、本発明装置と従来装置の最大搬送
可能距離Ｌが同一となるように且つ合理的作動の得られ
るように上記各要素の大きさを例示的に下記のように設
定する。即ち、図９Ａに於いては、Ｒ＝２００ｍｍ、Ｓ
＝１５０ｍｍ、Ｄ＝３００ｍｍ、Ｅ＝２００ｍｍ、Ｌ＝
６５０ｍｍとする。そして図９Ｂに於いては、Ｒ＝２６
５ｍｍ、Ｄ１＝１５０ｍｍ、Ｄ２＝１５０ｍｍ、Ｅ＝３
５０ｍｍ、Ｌ＝６５０ｍｍとする。

【００５０】この場合、本発明装置の作動時最小占有面
積は算式「３．１４×０．２^２」で計算されて０．１２
６ｍ^２となり、これに対して従来装置のそれは算式
「３．１４×０．６５^２」で計算されて０．２２１ｍ^２
となる。従って、本発明装置の設置時に於ける最小占有
面積は従来装置のそれに対し５７％となり大幅に小さく
なるのである。

【００５１】

【発明の効果】上記したように本発明によれば、装置の
設置占有面積が小さくなって搬送装置自体及びその関連
装置の低コスト化に寄与するものであり、またアームに
モータの質量が直接作用しないためその分だけ重い基板
の搬送が無理なく行えると共にアーム支持機構の耐久性
に優れるものとなり、さらにはモータが胴体等で被われ
てモータからの有害なゴミの発散が防止されると共に他
物との接触によるモータの損傷が防止されるものとな
る。

【００５２】また請求項３及び４の発明によれば、２つ
の基板保持部の存在により効率的な搬送が行えるものと
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係るウエハ搬送装置の
断面説明図である。

【図２】上記第１の実施例に係るウエハ搬送装置の斜視
図である。

【図３】上記第１の実施例に係るウエハ搬送装置の動作
説明図（その１）を示すものである。

【図４】上記第１の実施例に係るウエハ搬送装置の動作
説明図（その２）を示すものである。

【図５】本発明の第２の実施例に係るウエハ搬送装置の
断面説明図である。

【図６】上記第２の実施例に係るウエハ搬送装置の斜視
図である。

【図７】上記第２の実施例に係るウエハ搬送装置の動作
説明図（その１）を示すものである。

【図８】上記第２の実施例に係るウエハ搬送装置の動作
説明図（その２）を示すものである。

【図９】装置作動時の最小占有面積を比較するための説
明図であり、Ａは本発明装置の平面図、Ｂは従来装置の
平面図である。

【図１０】従来のウエハ搬送装置の斜視図である。

【符号の説明】

１移動台（高さ調整手段）３基台７上下駆動用モータ（高さ調整手段）１１主軸モータ１３第１縦軸１４胴体１６第１モータ１７第２縦軸１８アーム１９基板保持部２０第３縦軸２１第２モータ２９基板保持部３０第４縦軸３１第３モータ

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【手続補正書】

【提出日】平成１１年９月１３日（１９９９．９．１
３）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００４

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００４】ウエハ搬送装置の大型化は、この搬送装置
を使用したウエハ処理装置の大型化につながり、単にウ
エハ搬送装置やウエハ処理装置のコストアップにつなが
るだけでなく、クリーンルームの建設費用及び維持費用
等のコストアップに直結するため、半導体デバイスメー
カからは省スペース且つ低コストのウエハ搬送装置の開
発が強く待ち望まれている。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５０】この場合、本発明装置の作動時最小占有面
積は算式「３．１４×０．２^２」で計算されて０．１
２６ｍ^２となり、これに対して従来装置のそれは算式
「３．１４×０．２６５^２」で計算されて０．２２１
ｍ^２となる。従って、本発明装置の設置時に於ける最
小占有面積は従来装置のそれに対し５７％となり大幅に
小さくなるのである。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５１】

【発明の効果】上記した通り、胴体の旋回中心（第１縦
軸１３中心）からアーム１８の取付け回転中心（第２縦
軸１７中心）までの距離と、第２縦軸１７中心から基板
保持部１９の取付け中心（第３縦軸２０中心）までの距
離のとの比を１：２とすることにより、最小の占有面積
で最大の搬送距離を得ることができる。即ち、本発明に
よれば、装置の設置占有面積が小さくなって搬送装置自
体及びその関連装置の低コストに寄与するものであり、
またアームにモータの質量が直接作用しないためその分
だけ重い基板の搬送が無理なく行えると共にアーム支持
機構の耐久性に優れるものとなり、さらにはモータが胴
体等で被われてモータからの有害なゴミの発散が防止さ
れると共に他物との接触によるモータの損傷が防止され
るものとなる。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５２】また請求項２の発明によれば、２つの基板
保持部の存在により効率的な搬送が行えるものとなる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基台上に胴体を第１縦軸を介し旋回自在
に装着すると共に基台又は胴体の何れかに胴体を第１軸
回りへ旋回駆動するための主軸モータを設け、且つ、前
記胴体に第１及び第２モータを取付けると共に、胴体の
旋回中心から横方へ偏位した胴体上面個所にアームの一
端部を第２縦軸を介し前記第１モータによる回転駆動可
能に装着するほか、アームの他端部には基板保持部を第
３縦軸を介し前記第２モータによる回転駆動可能に装着
したことを特徴とするウエハ搬送装置。
【請求項２】基台の中心部に主軸モータ及び第１縦軸
を設けると共に、胴体内に第１及び第２モータを設けた
ことを特徴とする請求項１記載のウエハ搬送装置。
【請求項３】基台の中心部に主軸モータ及び第１縦軸
を設けると共に、基台上にはこのモータにより第１縦軸
を介して旋回駆動される胴体を設け、且つ、前記胴体内
に第１、第２及び第３モータを設けると共に、胴体の旋
回中心から横方へ偏位した胴体上面個所にアームの一端
部を第２縦軸を介し前記第１モータによる回転駆動可能
に装着し、アームの他端部には上下２つの基板保持部を
装着するのであって、下側の基板保持部は第３縦軸を介
し前記第２モータによる回転駆動可能に装着し、一方上
側の基板保持部は第３縦軸と同心に配置された第４縦軸
を介し前記第３モータによる回転駆動可能に装着したこ
とを特徴とするウエハ搬送装置。
【請求項４】胴体を上下変位させるものとした高さ調
整手段が設られていることを特徴とする請求項１〜３の
何れかに記載のウエハ搬送装置。