JP2002166377A - 基板搬送用ロボット - Google Patents
基板搬送用ロボットInfo
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- JP2002166377A JP2002166377A JP2000368298A JP2000368298A JP2002166377A JP 2002166377 A JP2002166377 A JP 2002166377A JP 2000368298 A JP2000368298 A JP 2000368298A JP 2000368298 A JP2000368298 A JP 2000368298A JP 2002166377 A JP2002166377 A JP 2002166377A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ロボット自体を交換することなく、アームの
交換が容易に行える基板搬送用ロボットを提供する。 【解決手段】 固定ベース部２と、固定ベース部２に旋
回可能に連結された旋回ベース部３と、旋回ベース部３
に旋回可能に連結されたアーム部４とからなり、固定ベ
ース部２は、内部に設置した旋回ベース部駆動モータ５
と、固定ベース部２の上板２ａに回転可能に取り付けら
れるとともに、旋回ベース部駆動モータ５と連結する旋
回ベース部回転軸６とを有し、旋回ベース部３は、旋回
ベース部回転軸６に着脱可能に取り付けられた平板状の
旋回台１８と、旋回台１８の上面に着脱可能に取り付け
られるとともに、アーム駆動モータ２０を備えたアーム
ベース１９とを有し、アーム部４は、アームベース１９
に取り付けられた第１アーム３０、第２アーム３１、基
板載置フォーク３２とを有して構成する。
交換が容易に行える基板搬送用ロボットを提供する。 【解決手段】 固定ベース部２と、固定ベース部２に旋
回可能に連結された旋回ベース部３と、旋回ベース部３
に旋回可能に連結されたアーム部４とからなり、固定ベ
ース部２は、内部に設置した旋回ベース部駆動モータ５
と、固定ベース部２の上板２ａに回転可能に取り付けら
れるとともに、旋回ベース部駆動モータ５と連結する旋
回ベース部回転軸６とを有し、旋回ベース部３は、旋回
ベース部回転軸６に着脱可能に取り付けられた平板状の
旋回台１８と、旋回台１８の上面に着脱可能に取り付け
られるとともに、アーム駆動モータ２０を備えたアーム
ベース１９とを有し、アーム部４は、アームベース１９
に取り付けられた第１アーム３０、第２アーム３１、基
板載置フォーク３２とを有して構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
で用いられる基板搬送用ロボットに関するものである。
で用いられる基板搬送用ロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の一般的な基板搬送用ロボットは、
固定ベースと、前記固定ベースに旋回可能に連結された
アームベースと、前記アームベースに旋回可能に連結さ
れた第１のアームと、前記第１のアームに旋回可能に連
結された第２のアームと、前記第２のアームに旋回可能
に連結された第３のアームとから構成され、前記第３の
アームに、半導体ウェハや液晶ガラス基板など薄板状の
基板を保持して搬送している。前記アームを駆動するモ
ータは、前記アームベース内に配置され、前記旋回ベー
スを駆動するモータは、前記固定ベース内に配置されて
いる。また、アームベースは中央下部に旋回軸を突出さ
せて設けており、この突出した旋回軸を、前記固定ベー
スに軸受を介して一体的に取り付けるとともに、前記固
定ベース内のモータと連結している（例えば実開平３−
１２６５８３号公報）。
固定ベースと、前記固定ベースに旋回可能に連結された
アームベースと、前記アームベースに旋回可能に連結さ
れた第１のアームと、前記第１のアームに旋回可能に連
結された第２のアームと、前記第２のアームに旋回可能
に連結された第３のアームとから構成され、前記第３の
アームに、半導体ウェハや液晶ガラス基板など薄板状の
基板を保持して搬送している。前記アームを駆動するモ
ータは、前記アームベース内に配置され、前記旋回ベー
スを駆動するモータは、前記固定ベース内に配置されて
いる。また、アームベースは中央下部に旋回軸を突出さ
せて設けており、この突出した旋回軸を、前記固定ベー
スに軸受を介して一体的に取り付けるとともに、前記固
定ベース内のモータと連結している（例えば実開平３−
１２６５８３号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の基板搬送用ロボットにおいては、固定ベー
ス、アームベース、およびアーム部が一体化されて構成
されているため、アームの長さを変えようとする場合、
あるいは、シングルアーム構成をダブルアーム構成にし
て搬送させようとした場合、ロボット自体を交換しなけ
ればならず、ロボット全体が新規設計となるという問題
があった。本発明は、このような問題を解消するために
なされたもので、ロボット自体を交換することなく、ア
ームの交換が容易に行える基板搬送用ロボットを提供す
ることを目的とするものである。
うな従来の基板搬送用ロボットにおいては、固定ベー
ス、アームベース、およびアーム部が一体化されて構成
されているため、アームの長さを変えようとする場合、
あるいは、シングルアーム構成をダブルアーム構成にし
て搬送させようとした場合、ロボット自体を交換しなけ
ればならず、ロボット全体が新規設計となるという問題
があった。本発明は、このような問題を解消するために
なされたもので、ロボット自体を交換することなく、ア
ームの交換が容易に行える基板搬送用ロボットを提供す
ることを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明は、固定ベース部と、前記固定ベース部に旋
回可能に連結された旋回ベース部と、前記旋回ベース部
に旋回可能に連結されたアーム部とからなり、前記固定
ベース部は、内部に設置した旋回ベース部駆動モータ
と、前記固定ベース部の上板に回転可能に取り付けられ
るとともに、前記旋回ベース部駆動モータと連結する旋
回ベース部回転軸とを有し、前記旋回ベース部は、前記
旋回ベース部回転軸に着脱可能に取り付けられた平板状
の旋回台と、前記旋回台の上面に着脱可能に取り付けら
れるとともに、アーム駆動モータを備えたアームベース
とを有し、前記アーム部は、前記アーム駆動モータと連
結させて前記アームベースに取り付けられたアームと、
前記アームの先端に取り付けられた基板載置フォークと
を有して構成したものである。
め、本発明は、固定ベース部と、前記固定ベース部に旋
回可能に連結された旋回ベース部と、前記旋回ベース部
に旋回可能に連結されたアーム部とからなり、前記固定
ベース部は、内部に設置した旋回ベース部駆動モータ
と、前記固定ベース部の上板に回転可能に取り付けられ
るとともに、前記旋回ベース部駆動モータと連結する旋
回ベース部回転軸とを有し、前記旋回ベース部は、前記
旋回ベース部回転軸に着脱可能に取り付けられた平板状
の旋回台と、前記旋回台の上面に着脱可能に取り付けら
れるとともに、アーム駆動モータを備えたアームベース
とを有し、前記アーム部は、前記アーム駆動モータと連
結させて前記アームベースに取り付けられたアームと、
前記アームの先端に取り付けられた基板載置フォークと
を有して構成したものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は本発明の第１の実施例における基
板搬送用ロボットを示す側面図である。図２は図１にお
ける基板搬送用ロボットの側断面図である。図３はアー
ム部を縮めた状態を示す斜視図である。図４はアーム部
を伸ばした状態を示す斜視図である。図５は固定ベース
部と、アームベース部とを切り離した状態を示す側断面
図である。図６はその斜視図である。図１に示すよう
に、本発明の基板搬送用ロボット１は、固定ベース部２
と、前記固定ベース部２に旋回可能に連結された旋回ベ
ース部３と、前記旋回ベース部３に旋回可能に連結され
たアーム部４とからなっている。前記固定ベース部２
は、図２に示すように、内部に旋回ベース部駆動モータ
５を設置するとともに、前記固定ベース部２の上板２ａ
に、旋回ベース部回転軸６を回転可能に取り付けてい
る。前記旋回ベース部回転軸６は、前記旋回ベース部駆
動モータ５とプーリ７、８とベルト９で結ばれるととも
に減速機（調和減速機）１０を介して連結している。な
お、前記固定ベース部２の上板２ａは、昇降装置１１と
連結されて上下に移動しうるようになっている。前記昇
降装置１１は、前記固定ベース２の側板２ｂに取り付け
られるとともに、回端軸端に固定したプーリ１２を有す
るた昇降用モータ１３と、同じく側板２ｂに回転可能に
取り付けられるとともに、下端部にプーリ１４を固定し
たボールネジ１５と、前記ボールネジ１５と螺合すると
ともに前記上板２ａと一体に連結されたボールネジナッ
ト１６と、前記プーリ１２とプーリ１４とを結ぶベルト
１７とで構成されている。前記旋回ベース部３は、前記
旋回ベース部回転軸６に図示しないボルト等で着脱可能
に取り付けられる平板状の旋回台１８と、前記旋回台１
８の上面に図示しないボルト等で着脱可能に取り付けら
れるアームベース１９を有している。前記アームベース
１９は、内部にアーム駆動モータ２０と、アーム回転軸
２１と、プーリ支持体２２とを有している。前記アーム
駆動モータ２０とアーム回転軸２１は、減速機（調和減
速機）２３を介して連結されている。前記アーム駆動モ
ータ２０と減速機２３は、プーリ２４、２５とベルト２
６で結ばれ、減速機２３とアーム回転軸２１は、プーリ
２７、２８とベルト２９で結ばれている。前記アーム部
４は、前記アームベース１９に旋回可能に連結された第
１アーム３０と、前記第１アーム３０に旋回可能に連結
された第２アーム３１と、前記第２アーム３１に旋回可
能に連結された第３アームとしての基板載置フォーク３
２とを有している。前記基板載置フォーク３２は、上面
に図示しない基板を載置する。また、前記第１アーム３
０の旋回中心の内部には、前記プーリ支持体２２に固定
したプーリ３３を配置し、先端部には、前記第２アーム
３１と一体的に連結されたプーリ３４を回転可能に配置
するとともに、プーリ支持体３５を固定している。前記
プーリ３３とプーリ３４は、ベルト３６で結ばれてい
る。さらに、前記第２アーム３１の旋回中心の内部に
は、前記プーリ支持体３５に固定したプーリ３７を配置
し、先端部には、前記基板載置フォーク３２と一体的に
連結されたプーリ３８を回転可能に配置している。前記
プーリ３７とプーリ３８は、ベルト３９で結ばれてい
る。なお、前記アーム部４内のプーリ３３とプーリ３４
の径の比率は２：１に設定され、プーリ３７とプーリ３
８の比率は１：２に設定されている。以下、本発明の基
板搬送用ロボット１の動作について説明する。本発明の
基板搬送用ロボット１は、旋回ベース部３がアーム部４
と一体的に上下に昇降するとともに、旋回ベース部３が
固定ベース部２上を水平方向に旋回する。また、アーム
部４は、図３および図４に示すように、旋回ベース部３
上において、第１アーム３０と第２アーム３１が伸縮動
作を行うとともに、基板載置フォーク３２が一定の向き
に直線移動する。旋回ベース部３とアーム部４の昇降
は、昇降装置１１の昇降用モータ１３を駆動させてボー
ルネジ１５を回転させ、ボールネジ１５と螺合し、かつ
固定ベース部２の上板２ａと一体に連結されたボールネ
ジナット１６を上下に移動させることにより行う。旋回
ベース部３の旋回は、旋回ベース部駆動モータ５を駆動
させて旋回ベース部回転軸６を回転させ、前記旋回ベー
ス部回転軸６に着脱可能に取り付けられた旋回台１８と
ともに前記旋回台１８の上面に着脱可能に取り付けられ
るアームベース１９を回転させることにより行う。ま
た、アーム部４の第１アーム３０と第２アーム３１の伸
縮動作と、基板載置フォーク３２の直線移動は、アーム
駆動モータ２０を駆動させて第１アームを回転させるこ
とにより行う。第２アーム３１と基板載置フォーク３２
は、前述したように、前記アーム部４内のプーリ３３と
プーリ３４の径の比率を２：１に設定し、プーリ３７と
プーリ３８の比率を１：２に設定したことにより、すで
に公知のように、第１アーム３０と第２アーム３１は伸
縮動作をし、基板載置フォーク３２は直線移動をする。
本発明の基板搬送用ロボット１においては、アームの長
さを変える必要が生じた際に、作業を長く止めたり、ロ
ボット自体を交換することなく、アームベース１９とア
ーム部４を極めて簡単に交換することができる。アーム
部４を交換するときは、図５、図６に示すように、旋回
台１８とアームベース１９とアーム部４とを１つのモジ
ュールとして、アームベース１９を旋回台１８からボル
ト等を緩めて取り外すとともに、旋回台１８を旋回ベー
ス部回転軸６からボルト等を緩めて取り外し、図示しな
い他のモジュールにおける旋回台を旋回ベース部回転軸
６に取り付けることにより行う。また、基板搬送用ロボ
ット１のアーム構成を、シングルアームからダブルアー
ム構成にしたいときも極めて簡単に実現することができ
る。この場合は、旋回台１８を旋回ベース部回転軸６か
ら取り外し、図７および図８に示すように、２つのモジ
ュールＭ１、Ｍ２を並べて載置することができる大きな
旋回台１８Ａを図示しない旋回ベース部回転軸に取り付
けるようにする。なお、この場合も２つのモジュールＭ
１、Ｍ２を他のモジュールに容易に交換することができ
る。図８において、Ｗは基板である。なお、モジュール
は、旋回台１８を除くアームベース１９とアーム部４と
で１つのモジュールを構成するようにしてもよい。この
場合は、モジュールの交換にあたって旋回台を取り外す
必要はない。 〔第２の実施例〕モジュールの交換をするにあたって、
固定ベース部２内や、アームベース１９内の気密の低下
を防ぐ場合は、図９に示すように、旋回ベース部回転軸
６と旋回台１８との間、および旋回台１８とアームベー
ス１９との間にＯリングなどのシール部材４０ａ、４０
ｂを介挿させるようにすると効果的である。
いて説明する。図１は本発明の第１の実施例における基
板搬送用ロボットを示す側面図である。図２は図１にお
ける基板搬送用ロボットの側断面図である。図３はアー
ム部を縮めた状態を示す斜視図である。図４はアーム部
を伸ばした状態を示す斜視図である。図５は固定ベース
部と、アームベース部とを切り離した状態を示す側断面
図である。図６はその斜視図である。図１に示すよう
に、本発明の基板搬送用ロボット１は、固定ベース部２
と、前記固定ベース部２に旋回可能に連結された旋回ベ
ース部３と、前記旋回ベース部３に旋回可能に連結され
たアーム部４とからなっている。前記固定ベース部２
は、図２に示すように、内部に旋回ベース部駆動モータ
５を設置するとともに、前記固定ベース部２の上板２ａ
に、旋回ベース部回転軸６を回転可能に取り付けてい
る。前記旋回ベース部回転軸６は、前記旋回ベース部駆
動モータ５とプーリ７、８とベルト９で結ばれるととも
に減速機（調和減速機）１０を介して連結している。な
お、前記固定ベース部２の上板２ａは、昇降装置１１と
連結されて上下に移動しうるようになっている。前記昇
降装置１１は、前記固定ベース２の側板２ｂに取り付け
られるとともに、回端軸端に固定したプーリ１２を有す
るた昇降用モータ１３と、同じく側板２ｂに回転可能に
取り付けられるとともに、下端部にプーリ１４を固定し
たボールネジ１５と、前記ボールネジ１５と螺合すると
ともに前記上板２ａと一体に連結されたボールネジナッ
ト１６と、前記プーリ１２とプーリ１４とを結ぶベルト
１７とで構成されている。前記旋回ベース部３は、前記
旋回ベース部回転軸６に図示しないボルト等で着脱可能
に取り付けられる平板状の旋回台１８と、前記旋回台１
８の上面に図示しないボルト等で着脱可能に取り付けら
れるアームベース１９を有している。前記アームベース
１９は、内部にアーム駆動モータ２０と、アーム回転軸
２１と、プーリ支持体２２とを有している。前記アーム
駆動モータ２０とアーム回転軸２１は、減速機（調和減
速機）２３を介して連結されている。前記アーム駆動モ
ータ２０と減速機２３は、プーリ２４、２５とベルト２
６で結ばれ、減速機２３とアーム回転軸２１は、プーリ
２７、２８とベルト２９で結ばれている。前記アーム部
４は、前記アームベース１９に旋回可能に連結された第
１アーム３０と、前記第１アーム３０に旋回可能に連結
された第２アーム３１と、前記第２アーム３１に旋回可
能に連結された第３アームとしての基板載置フォーク３
２とを有している。前記基板載置フォーク３２は、上面
に図示しない基板を載置する。また、前記第１アーム３
０の旋回中心の内部には、前記プーリ支持体２２に固定
したプーリ３３を配置し、先端部には、前記第２アーム
３１と一体的に連結されたプーリ３４を回転可能に配置
するとともに、プーリ支持体３５を固定している。前記
プーリ３３とプーリ３４は、ベルト３６で結ばれてい
る。さらに、前記第２アーム３１の旋回中心の内部に
は、前記プーリ支持体３５に固定したプーリ３７を配置
し、先端部には、前記基板載置フォーク３２と一体的に
連結されたプーリ３８を回転可能に配置している。前記
プーリ３７とプーリ３８は、ベルト３９で結ばれてい
る。なお、前記アーム部４内のプーリ３３とプーリ３４
の径の比率は２：１に設定され、プーリ３７とプーリ３
８の比率は１：２に設定されている。以下、本発明の基
板搬送用ロボット１の動作について説明する。本発明の
基板搬送用ロボット１は、旋回ベース部３がアーム部４
と一体的に上下に昇降するとともに、旋回ベース部３が
固定ベース部２上を水平方向に旋回する。また、アーム
部４は、図３および図４に示すように、旋回ベース部３
上において、第１アーム３０と第２アーム３１が伸縮動
作を行うとともに、基板載置フォーク３２が一定の向き
に直線移動する。旋回ベース部３とアーム部４の昇降
は、昇降装置１１の昇降用モータ１３を駆動させてボー
ルネジ１５を回転させ、ボールネジ１５と螺合し、かつ
固定ベース部２の上板２ａと一体に連結されたボールネ
ジナット１６を上下に移動させることにより行う。旋回
ベース部３の旋回は、旋回ベース部駆動モータ５を駆動
させて旋回ベース部回転軸６を回転させ、前記旋回ベー
ス部回転軸６に着脱可能に取り付けられた旋回台１８と
ともに前記旋回台１８の上面に着脱可能に取り付けられ
るアームベース１９を回転させることにより行う。ま
た、アーム部４の第１アーム３０と第２アーム３１の伸
縮動作と、基板載置フォーク３２の直線移動は、アーム
駆動モータ２０を駆動させて第１アームを回転させるこ
とにより行う。第２アーム３１と基板載置フォーク３２
は、前述したように、前記アーム部４内のプーリ３３と
プーリ３４の径の比率を２：１に設定し、プーリ３７と
プーリ３８の比率を１：２に設定したことにより、すで
に公知のように、第１アーム３０と第２アーム３１は伸
縮動作をし、基板載置フォーク３２は直線移動をする。
本発明の基板搬送用ロボット１においては、アームの長
さを変える必要が生じた際に、作業を長く止めたり、ロ
ボット自体を交換することなく、アームベース１９とア
ーム部４を極めて簡単に交換することができる。アーム
部４を交換するときは、図５、図６に示すように、旋回
台１８とアームベース１９とアーム部４とを１つのモジ
ュールとして、アームベース１９を旋回台１８からボル
ト等を緩めて取り外すとともに、旋回台１８を旋回ベー
ス部回転軸６からボルト等を緩めて取り外し、図示しな
い他のモジュールにおける旋回台を旋回ベース部回転軸
６に取り付けることにより行う。また、基板搬送用ロボ
ット１のアーム構成を、シングルアームからダブルアー
ム構成にしたいときも極めて簡単に実現することができ
る。この場合は、旋回台１８を旋回ベース部回転軸６か
ら取り外し、図７および図８に示すように、２つのモジ
ュールＭ１、Ｍ２を並べて載置することができる大きな
旋回台１８Ａを図示しない旋回ベース部回転軸に取り付
けるようにする。なお、この場合も２つのモジュールＭ
１、Ｍ２を他のモジュールに容易に交換することができ
る。図８において、Ｗは基板である。なお、モジュール
は、旋回台１８を除くアームベース１９とアーム部４と
で１つのモジュールを構成するようにしてもよい。この
場合は、モジュールの交換にあたって旋回台を取り外す
必要はない。 〔第２の実施例〕モジュールの交換をするにあたって、
固定ベース部２内や、アームベース１９内の気密の低下
を防ぐ場合は、図９に示すように、旋回ベース部回転軸
６と旋回台１８との間、および旋回台１８とアームベー
ス１９との間にＯリングなどのシール部材４０ａ、４０
ｂを介挿させるようにすると効果的である。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明は、固定ベー
スに固定された旋回台に、アームベースが着脱可能に取
り付けられているので、アーム部のみを交換することが
でき、基板搬送用ロボットのアーム長さを簡単に変える
ことができるとともに、アームの本数を簡単に変えるこ
とができる。したがって、ロボットを新規設計する必要
がなく、半導体製造における作業効率を大きく向上させ
ることができるという効果がある。
スに固定された旋回台に、アームベースが着脱可能に取
り付けられているので、アーム部のみを交換することが
でき、基板搬送用ロボットのアーム長さを簡単に変える
ことができるとともに、アームの本数を簡単に変えるこ
とができる。したがって、ロボットを新規設計する必要
がなく、半導体製造における作業効率を大きく向上させ
ることができるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例における基板搬送用ロボ
ットを示す側面図である。
ットを示す側面図である。
【図２】図１における基板搬送用ロボットの側断面図で
ある。
ある。
【図３】図１における基板搬送用ロボットのアーム部を
縮めた状態を示す斜視図である。
縮めた状態を示す斜視図である。
【図４】図１における基板搬送用ロボットのアーム部を
伸ばした状態を示す斜視図である。
伸ばした状態を示す斜視図である。
【図５】図１における基板搬送用ロボットの固定ベース
部と、アームベース部とを切り離した状態を示す側断面
図である。
部と、アームベース部とを切り離した状態を示す側断面
図である。
【図６】図５の斜視図である。
【図７】ダブルアームに交換する場合を示す要部の背面
図である。
図である。
【図８】図７の平面図である。
【図９】本発明の第２の実施例の要部を示す側断面図で
ある。
ある。
１ 基板搬送用ロボット、 ２ 固定ベース部、 ２ａ 上板、 ２ｂ 側板、 ３ 旋回ベース部、 ４ アーム部、 ５ 旋回ベース部駆動モータ、 ６ 旋回ベース部回転軸、 ７、８ プーリ、 ９ ベルト、 １０ 減速機、 １１ 昇降装置、 １２ プーリ、 １３ 昇降用モータ、 １４ プーリ、 １５ ボールネジ、 １６ ボールネジナット、 １７ ベルト、 １８ 旋回台、 １９ アームベース、 ２０ アーム駆動モータ、 ２１ アーム回転軸、 ２２ プーリ支持体、 ２３ 減速機、 ２４、２５ プーリ、 ２６ ベルト、 ２７、２８ プーリ、 ２９ ベルト、 ３０ 第１アーム、 ３１ 第２アーム、 ３２ 基板載置フォーク、 ３３、３４ プーリ、 ３５ プーリ支持体、 ３６ ベルト、 ３７、３８ プーリ、 ３９ ベルト、 ４０ａ、４０ｂ シール部材、 Ｍ１、Ｍ２ モジュール、 Ｗ 基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 DS01 ES00 ES01 EV05 GS01 NS09 3F060 AA01 AA07 CA21 DA03 EB02 EB12 EC02 EC12 FA03 GA05 GA13 GB02 3F061 AA01 BA00 BA01 BE05 DA01 DB04 5F031 CA02 GA43 GA44 GA47 LA07 PA06
Claims (4)
- 【請求項１】 固定ベース部と、前記固定ベース部に旋
回可能に連結された旋回ベース部と、前記旋回ベース部
に旋回可能に連結されたアーム部とからなり、 前記固定ベース部は、内部に設置した旋回ベース部駆動
モータと、 前記固定ベース部の上板に回転可能に取り付けられると
ともに、前記旋回ベース部駆動モータと連結する旋回ベ
ース部回転軸とを有し、 前記旋回ベース部は、前記旋回ベース部回転軸に着脱可
能に取り付けられた平板状の旋回台と、前記旋回台の上
面に着脱可能に取り付けられるとともに、アーム駆動モ
ータを備えたアームベースとを有し、 前記アーム部は、前記アーム駆動モータと連結させて前
記アームベースに取り付けられたアームと、前記アーム
の先端に取り付けられた基板載置フォークとを有する、
ことを特徴とする基板搬送用ロボット。 - 【請求項２】 前記旋回台の上面に、２個のアームベー
スを着脱可能に取り付け、それぞれのアームベースに、
アームを可動可能に取り付けたことを特徴とする請求項
１に記載の基板搬送用ロボット。 - 【請求項３】 前記固定ベースが、昇降装置を有してい
ることを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送
用ロボット。 - 【請求項４】 前記旋回ベース部回転軸６と旋回台１８
との間、および旋回台１８とアームベース１９との間に
Ｏリングなどのシール部材３８を介挿させたことを特徴
とする請求項１から３のいずれかの項に記載の基板搬送
用ロボット。
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| JP2000368298A JP2002166377A (ja) | 2000-12-04 | 2000-12-04 | 基板搬送用ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP2000368298A JP2002166377A (ja) | 2000-12-04 | 2000-12-04 | 基板搬送用ロボット |
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|---|---|---|---|
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Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007030086A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Shinko Engineering Kk | 多関節ロボット |
| JP2007229906A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 清潔空間用ロボット |
| JP2007289056A (ja) * | 2006-04-25 | 2007-11-08 | Shinko Engineering Kk | 植物栽培システム |
| CN100382937C (zh) * | 2004-10-14 | 2008-04-23 | 东芝机械株式会社 | 工业用机器人 |
| WO2009066573A1 (ja) * | 2007-11-21 | 2009-05-28 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | 搬送ロボット、それを備えた局所クリーン化された筐体、及びそれを備えた半導体製造装置 |
| JP2010023195A (ja) * | 2008-07-22 | 2010-02-04 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
| JP2011000658A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Sinfonia Technology Co Ltd | 基板搬送ロボット |
| JP2012030361A (ja) * | 2011-10-28 | 2012-02-16 | Daihen Corp | 搬送装置 |
| KR101512912B1 (ko) | 2010-11-30 | 2015-04-16 | 가와사키 쥬코교 가부시키가이샤 | 반송 로봇 |
| CN104942794A (zh) * | 2015-07-01 | 2015-09-30 | 西北工业大学（张家港）智能装备技术产业化研究院有限公司 | 一种送料机器人 |
| CN115070743A (zh) * | 2022-08-18 | 2022-09-20 | 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 | 一种半导体设备机械臂 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6263078A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-03-19 | フアナツク株式会社 | 工業用ロボツトにおけるモジユ−ル方式 |
| JPS6268293A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-28 | 株式会社明電舎 | マニピユレ−タ肩機構 |
| JPH02198782A (ja) * | 1989-01-23 | 1990-08-07 | Sony Corp | 多関節型ロボット |
| JPH02232191A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-09-14 | Pentel Kk | ダイレクトドライブロボットのストッパ装置 |
| JPH10277987A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-10-20 | Ckd Corp | 搬送ロボット |
| JPH10337683A (ja) * | 1997-06-06 | 1998-12-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | マニピュレータ |
| WO2000041855A1 (en) * | 1999-01-15 | 2000-07-20 | Asyst Technologies, Inc. | Workpiece handling robot |
-
2000
- 2000-12-04 JP JP2000368298A patent/JP2002166377A/ja active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6263078A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-03-19 | フアナツク株式会社 | 工業用ロボツトにおけるモジユ−ル方式 |
| JPS6268293A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-28 | 株式会社明電舎 | マニピユレ−タ肩機構 |
| JPH02198782A (ja) * | 1989-01-23 | 1990-08-07 | Sony Corp | 多関節型ロボット |
| JPH02232191A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-09-14 | Pentel Kk | ダイレクトドライブロボットのストッパ装置 |
| JPH10277987A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-10-20 | Ckd Corp | 搬送ロボット |
| JPH10337683A (ja) * | 1997-06-06 | 1998-12-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | マニピュレータ |
| WO2000041855A1 (en) * | 1999-01-15 | 2000-07-20 | Asyst Technologies, Inc. | Workpiece handling robot |
| JP2002534820A (ja) * | 1999-01-15 | 2002-10-15 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | ワークピース取扱いロボット |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100382937C (zh) * | 2004-10-14 | 2008-04-23 | 东芝机械株式会社 | 工业用机器人 |
| JP4590322B2 (ja) * | 2005-07-26 | 2010-12-01 | 新光エンジニアリング株式会社 | 多関節ロボット |
| JP2007030086A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Shinko Engineering Kk | 多関節ロボット |
| JP2007229906A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 清潔空間用ロボット |
| JP2007289056A (ja) * | 2006-04-25 | 2007-11-08 | Shinko Engineering Kk | 植物栽培システム |
| WO2009066573A1 (ja) * | 2007-11-21 | 2009-05-28 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | 搬送ロボット、それを備えた局所クリーン化された筐体、及びそれを備えた半導体製造装置 |
| JP2013051443A (ja) * | 2007-11-21 | 2013-03-14 | Yaskawa Electric Corp | 搬送ロボット、筐体、半導体製造装置およびソータ装置 |
| JP2013049133A (ja) * | 2007-11-21 | 2013-03-14 | Yaskawa Electric Corp | 搬送ロボット、筐体、半導体製造装置およびソータ装置 |
| JP2010023195A (ja) * | 2008-07-22 | 2010-02-04 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
| JP2011000658A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Sinfonia Technology Co Ltd | 基板搬送ロボット |
| KR101512912B1 (ko) | 2010-11-30 | 2015-04-16 | 가와사키 쥬코교 가부시키가이샤 | 반송 로봇 |
| JP2012030361A (ja) * | 2011-10-28 | 2012-02-16 | Daihen Corp | 搬送装置 |
| CN104942794A (zh) * | 2015-07-01 | 2015-09-30 | 西北工业大学（张家港）智能装备技术产业化研究院有限公司 | 一种送料机器人 |
| CN115070743A (zh) * | 2022-08-18 | 2022-09-20 | 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 | 一种半导体设备机械臂 |
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