JPH10277987A

JPH10277987A - 搬送ロボット

Info

Publication number: JPH10277987A
Application number: JP10000819A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Kuge; 淑雄公家
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 1997-02-10
Filing date: 1998-01-06
Publication date: 1998-10-20

Abstract

(57)【要約】【課題】回転体等を分離しやすくすることにより、優
れたメインテナンス性を有する搬送ロボットを提供する
こと。【解決手段】基盤に設けられた回転駆動体により回転
可能な回転体と、回転体上に設けられ搬送物を把持する
把持部材とを有する搬送ロボットにおいて、（ａ）回転
体が、回転基体５０と回転上部体５５とに分離されると
共に、（ｂ）回転基体５０の上面に固定された第一配線
コネクタＡ４２と、回転上部体５５の下面に固定され、
第一配線コネクタＡ４２と接続される第一配線コネクタ
Ｂ４３とを有し、（ｃ）回転上部体５５が、回転基体５
０を含む基盤に対して、第一配線コネクタ４２，４３に
より分離されるユニットを構成している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程に
おいてウエハ等を搬送するための搬送ロボットに関し、
さらに詳細には、分解修理等のメインテナンス性に優れ
た搬送ロボットに関するするものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程においては、ウエハを搬
送するために搬送ロボットが使用されている。搬送ロボ
ットの一例として、特開平８−２７４１４０号公報に記
載されたものを、図２０に示す。この搬送ロボットは、
上下移動機構を持たず、基盤１０１に設けられたモータ
１０２により、回転体１０３を回転させている。回転体
１０３に設けられた一対のモータ１０４により、回転体
１０３の上面に設けられた一対のアームがウエハを把持
する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
搬送ロボットには、次のような問題点があった。すなわ
ち、搬送ロボットの回転体１０３には、モータ１０４や
センサ等が取り付けられているため、複数本の配線を接
続する必要がある。従来は、それらの配線がコネクタに
より各別に接続されていたので、回転体１０３を基盤１
０１から分離するには、その各コネクタを外して回転体
１０３を外さなければならないため、手間がかかってい
た。また、回転体１０３とモータ１０２の回転軸とが、
ボルト等で連結されているため、分解するのに工具を必
要とし、手間がかかっていた。具体的には、回転体１０
３を取り付けているボルトを外し回転体を外した時点
で、回転体１０３を持ち上げたままでコネクタを外す作
業が必要となるため、少なくとも２人または３人の人手
を必要とした。

【０００４】そこで、本発明は上記の問題点を解決する
ためになされたものであり、回転体等を分離しやすくす
ることにより、優れたメインテナンス性を有する搬送ロ
ボットを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明の搬送ロボットは、次の構成を有してい
る。（１）基盤に設けられた回転駆動体により回転可能な回
転体と、回転体上に設けられ搬送物を把持する把持部材
とを有する搬送ロボットにおいて、（ａ）回転体が、回
転基体と回転上部体とに分離されると共に、（ｂ）回転
基体の上面に固定された第一配線コネクタＡと、回転上
部体の下面に固定され、第一配線コネクタＡと接続され
る第一配線コネクタＢとを有し、（ｃ）回転上部体が、
回転基体を含む基盤に対して、第一配線コネクタにより
分離されるユニットを構成している。

【０００６】（２）（１）に記載する搬送ロボットにお
いて、（ａ）前記回転上部体の下端部に凸状ガイドが形
成され、前記回転基体の上端部に凹状ガイドが形成さ
れ、（ｂ）前記回転上部体と前記回転基体とが、前記ガ
イドで嵌合され回転方向に位置決めされると共に、
（ｃ）前記回転上部体と前記回転基体とが、上下方向で
ワンタッチ式ファスナで結合されることを特徴とする。
ここで、凸状ガイドと凹状ガイドとを入れ替えて配置し
たとしても同様である。

【０００７】（３）（１）に記載する搬送ロボットにお
いて、前記回転上部体の下端部に凸状ガイドが形成さ
れ、前記回転基体の上端部に凹状ガイドが形成され、前
記回転上部体と前記回転基体とが、前記ガイドで嵌合さ
れ回転方向に位置決めされると共に、前記回転基体に設
けられた第一溝と、前記回転上部体に設けられるととも
に前記回転上部体が前記回転基体に組み付られた際には
前記第一溝と連通することによって結合溝を形成する第
二溝と、前記回転基体に一端側が回動自在に持設される
ことによって前記結合溝に対して嵌脱自在であるボルト
と、前記ボルトの他端側に螺接されるとともに前記ボル
トが前記結合溝に嵌合された際には前記回転上部体側の
前記結合溝から突出するナットとを備え、前記回転上部
体と前記回転基体とが、上下方向で前記第一溝、前記第
二溝、前記ボルト、前記ナットで結合されることを特徴
とする。ここで、凸状ガイドと凹状ガイドとを入れ替え
て配置したとしても同様である。

【０００８】（４）（１）又は（２）に記載する搬送ロ
ボットにおいて、前記凸状ガイド及び前記凹状ガイド
が、非点対称位置に配置されていることを特徴とする。

【０００９】（５）（１）乃至（４）に記載する搬送ロ
ボットのいずれか１つにおいて、（ａ）前記基盤が、基
体と基体に対して上下方向に移動する上下移動体とを備
えると共に、（ｂ）前記上下移動体の上面に固定された
第二配線コネクタＡと、前記回転駆動体の下面に固定さ
れ、前記第二配線コネクタＡと接続される第二配線コネ
クタＢとを有し、（ｃ）前記上下移動体、前記回転上部
体、及び前記回転基体を含む前記回転駆動体が、前記第
一配線コネクタ及び前記第二配線コネクタにより分離さ
れるユニットを構成することを特徴とする。

【００１０】（６）また、（５）に記載する搬送ロボッ
トにおいて、（ａ）前記回転駆動体の下端部に凸状ガイ
ドが形成され、前記上下移動体の上端部に凹状ガイドが
形成され、（ｃ）前記回転駆動体と前記上下移動体と
が、前記ガイドで嵌合され回転方向に位置決めされると
共に、（ｄ）前記回転駆動体と前記上下移動体とが、上
下方向でワンタッチ式ファスナで結合されることを特徴
とする。ここで、凸状ガイドと凹状ガイドとを入れ替え
て配置したとしても同様である。

【００１１】（７）（５）に記載する搬送ロボットにお
いて、前記回転駆動体の下端部に凸状ガイドが形成さ
れ、前記上下移動体の上端部に凹状ガイドが形成され、
前記回転駆動体と前記上下移動体とが、前記ガイドで嵌
合され回転方向に位置決めされると共に、前記上下移動
体に設けられた第一溝と、前記回転駆動体に設けられる
とともに前記回転駆動体が前記上下移動体に組み付られ
た際には前記第一溝と連通することによって結合溝を形
成する第二溝と、前記上下移動体に一端側が回動自在に
持設されることによって前記結合溝に対して嵌脱自在で
あるボルトと、前記ボルトの他端側に螺接されるととも
に前記ボルトが前記結合溝に嵌合された際には前記回転
駆動体側の前記結合溝から突出するナットとを備え、前
記回転駆動体と前記上下移動体とが、上下方向で前記第
一溝、前記第二溝、前記ボルト、前記ナットで結合され
ることを特徴とする。ここで、凸状ガイドと凹状ガイド
とを入れ替えて配置したとしても同様である。

【００１２】上記構成を有する搬送ロボットは、次のよ
うに作用する。基体は固定されるか、またはレール等で
移動可能に設置される。上下移動体は、基体に対して、
上下方向に移動する。これにより、把持部材が上下可能
となる。回転体は、回転駆動体が固設された上下移動体
に対して回転する。これにより、把持部材が回転可能と
なり、例えば、周囲に配置されたワークステーションに
対して作業が可能となる。把持部材は、例えば、直線移
動タイプの先端部にチャックを備えたものでも良いし、
従来技術で説明したようなチャック自体が前進しながら
把持するタイプでも良い。

【００１３】次に、メインテナンス時の分解作業につい
て説明する。回転上部体は、上部に取り付けられた把持
部材と共に、回転上部体を回転基体に結合させているワ
ンタッチ式ファスナを外すことにより、ユニットとして
着脱できる。回転上部体は、凸状ガイドと凹状ガイドと
で嵌合しているので、ワンタッチ式ファスナを外した
後、回転上部体を垂直に持ち上げることで両者は分離さ
れる。

【００１４】配線は、回転上部体の下面に固定された第
一配線コネクタＢと、回転駆動体に回転可能に保持され
ている回転基体の上面に固定された第一配線コネクタＡ
とが上下方向で連結されているので、回転上部体を垂直
に持ち上げることにより、第一配線コネクタＢが第一配
線コネクタＡから作業者が意識しないでも容易に外され
る。コネクタを構成するコネクタピンは弱い構造で有
り、コネクタ同士を真っ直ぐに移動させないと破損する
恐れがあるが、本発明の構造によれば、コネクタは、必
ず真っ直ぐに移動するため、コネクタピンを破損する恐
れがない。また、回転上部体を回転基体に取り付けると
きにも、凸状ガイドと凹状ガイドとを嵌合させて、据え
付けるだけで、人手をかけずに第一配線コネクタＢを第
一配線コネクタＡに結合できるので、作業効率が高く、
余分な人手を必要としない。

【００１５】これにより、回転上部体を基盤からユニッ
トとして、配線を含めて容易に外すことが可能となる。
ここで、凸状ガイドと凹状ガイドとが、非点対称位置に
配置されているので、間違った位置では、嵌合できない
ため、結合させる位置を誤ってコネクタピンを破損する
恐れがない。

【００１６】また、回転基体を保持している回転駆動体
を上下移動体から、取り外すときにも、回転駆動体の側
壁に取り付けられているワンタッチ式ファスナを外すこ
とにより、ユニットとして着脱できる。配線は、回転駆
動体の下面に固定された第二配線コネクタＢと、上下移
動体の上面に固定された第二配線コネクタＡとが上下方
向で連結されているので、回転駆動体を垂直に持ち上げ
ることにより、第二配線コネクタＢが第二配線コネクタ
Ａから作業者が意識しないでも容易に外される。コネク
タを構成するコネクタピンは弱い構造で有り、コネクタ
同士を真っ直ぐに移動させないと破損する恐れがある
が、本発明の構造によれば、コネクタは、必ず真っ直ぐ
に移動するため、コネクタピンを破損する恐れがない。
また、回転駆動体を上下移動体に取り付けるときにも、
凸状ガイドと凹状ガイドとを嵌合させて、据え付けるだ
けで、人手をかけずに第二配線コネクタＢを第二配線コ
ネクタＡに結合できるので、作業効率が高く、余分な人
手を必要としない。これにより、回転駆動体を上下移動
体からユニットとして、配線を含めて容易に外すことが
可能となる。

【００１７】さらに、回転駆動体と上下移動体とを、上
下方向で第一溝、第二溝、ボルト、ナットで結合する場
合には、上記構成を有する搬送ロボットは、次のように
作用する。すなわち、上下移動体に回転駆動体を組み付
けた際において、上下移動体の第一溝と回転駆動体の第
二溝が連通することによって結合溝が形成される。そし
て、上下移動体に一端側を回動自在に持設されたボルト
を回動させることによって、かかる結合溝にボルトを嵌
合させる。このとき、ボルトの他端側に螺接されたナッ
トが回転駆動体側の結合溝から突出した状態になるの
で、かかるナットを締め付けて回転駆動体側の結合溝の
端面に圧接させることによって、搬送ロボットの上下移
動体に回転駆動体を取り付けることができる（結合され
た状態である）。

【００１８】一方、搬送ロボットの上下移動体から回転
駆動体を取り外す際には、締め付けられたナットを緩め
て回転駆動体側の結合溝の端面から離間させた後に、結
合溝に嵌合されたボルトを逆方向に回動させ、結合溝か
らボルトを抜脱する。これにより、搬送ロボットの上下
移動体から回転駆動体を取り外すことができる（結合が
解除された状態である）。

【００１９】すなわち、上下移動体に回転駆動体を組み
付けた後において、上下移動体と回転駆動体の取り付け
や取り外しの操作を、上下移動体に一端側を回動自在に
持設されたボルトの回動と、ボルトの他端側に螺接され
たナットの緊緩により行っているので、上下移動体と回
転駆動体の取り付けや取り外しの操作が容易であり、さ
らに、上下移動体に一端側を回動自在に持設されたボル
トを結合溝に嵌合させた際において、回転駆動体側の結
合溝から突出した状態にあるナットを締め付けて回転駆
動体側の結合溝の端面に圧接させることにより、回転駆
動体を上下移動体とナットでボルトを介して挟持するよ
うにして、搬送ロボットの上下移動体に回転駆動体を取
り付けているので、上下移動体に回転駆動体を取り付け
たときには必要な結合力を確保することができる。

【００２０】また、上下移動体と回転駆動体に渡って形
成される結合溝に対して、上下移動体に一端側を回動自
在に持設されたボルトを嵌合させているので、結合溝に
対して垂直な方向の慣性力が上下移動体又は回転移動体
に作用しても、回転駆動体が上下移動体に対して不安定
な状態となることはない。さらに、回転駆動体側の結合
溝から突出した状態にあるナットを締め付けて回転駆動
体側の結合溝の端面に圧接させているので、結合溝に対
して平行な方向の慣性力が上下移動体又は回転駆動体に
作用しても、回転駆動体が上下移動体に対して不安定な
状態となることはない。従って、上下移動体及び回転駆
動体が直線移動したり又は回動したりして慣性力があら
ゆる方向に作用しても、回転駆動体が上下移動体に対し
て動くことはない。

【００２１】また、ボルトはその一端が上下移動体に回
動自在に持設されているので、かかるボルトを結合溝に
嵌合させた際において、回転駆動体側の結合溝から突出
した状態にあるナットを手作業で締め付けても、上下移
動体に回転駆動体を取り付けたときに必要な結合力を確
保することができる。

【００２２】さらに、第一溝は上下移動体に設けられ、
第二溝は回転駆動体に設けられ、結合溝は上下移動体と
回転駆動体から形成され、ボルトはその一端が回動自在
に上下移動体に持設され、ナットはボルトの他端側に螺
接されているので、回転駆動体と上下移動体とを上下方
向で結合する場合に用いられる第一溝、第二溝、ボル
ト、ナットがばらばらになることはない。

【００２３】尚、回転上部体と回転基体とを、上下方向
で第一溝、第二溝、ボルト、ナットで結合する場合につ
いても、同様である。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の搬送ロボットにつ
いて、具体化した実施の形態を挙げ、図面に基づいて詳
細に説明する。先ず、第１の実施の形態について説明す
る。図１に、搬送ロボット１１の全体正面図を示し、図
２に全体側面図を示し、図３に全体平面図を示す。搬送
ロボット１１は、基盤１４、回転体１３、把持部材１２
から構成されている。図４（ａ）に、基盤１４のみを側
面図で示す。また、図１２に図４（ａ）の側断面図を示
す。また、図１３に図１２を右方向から見た正面断面図
を示す。基盤１４の中心には、ボールネジ２１が回転可
能に保持固設されている。ボールネジ２１は、モータ２
４とギア列２５により連結されている。また、２本のガ
イド棒２２，２３がボールネジ２１と平行に固設されて
いる。ボールネジ２１、ガイド棒２２，２３、モータ２
４、プーリ列２５、下カバー２７等により、基体が構成
されている。

【００２５】ガイド棒２２，２３には、スライドガイド
３２，３３を介して、上下移動体３４が上下方向に摺動
可能に保持されている。上下移動体３４は、上板２６、
下板２９、側板３０から構成されている。スライドガイ
ド３２，３３及びボールネジナット３１が、下板２９に
固設されている。上板２６には、上カバー２８が、基盤
１４の外周を覆う下カバー２７を囲んで取り付けられて
いる。また、上板２６の上面中央には、上向きに第二配
線コネクタＡ３５が固設されている。第二配線コネクタ
Ａ３５を含む配線系を図４（ｂ）に示す。上下配線板３
６が上下移動体３４に固設されている。また、固定配線
板３９が、基体側に固設されている。そして、上下配線
板３６と固定配線板３９との間に、配線のたるみ３７が
設けられている。配線のたるみ３７は、上下移動体３４
が上下に移動したときの配線の余裕を採るためのもので
ある。配線は、外部コネクタ３８により、外部と接続さ
れる。また、上板２６の上端面には、２カ所に凹ガイド
８１が形成されている。また、上板２６の中央部には、
第二配線コネクタＡ３５が上向きに固設されている。

【００２６】以上説明した基盤１４の作用を説明する。
モータ２４が駆動されることにより、ボールネジ２１が
回転され、ボールネジナット３１を介して、上下移動体
３４が上下方向に移動する。この駆動部は、全て下カバ
ー２７により覆われているので、ウエハのラップ加工等
により、研削液等が飛散しても駆動部にかかることがな
い。

【００２７】次に、回転体１３について説明する。図１
０に回転体１３及び回転駆動体の構造を断面図で示す。
また、図５（ａ）に回転体１３及び回転駆動体の外観図
を示し、（ｂ）に配線斜視図を示す。回転基体を含む回
転駆動体は、回転駆動本体４１内にユニットとして収納
されている。回転駆動本体４１の側面には、３カ所にカ
フスラッチタイプファスナ５１が付設されている。ま
た、上板２６の側面のカフスラッチタイプファスナ５１
に対応する部位に、係合部が形成されている。また、回
転駆動本体４１の下面には、凹状ガイド８１に対応する
位置に、凸状ガイド８０が２カ所に付設されている。回
転駆動本体４１には、回転駆動モータ４７が固設されて
いる。回転駆動モータ４７の出力軸は、プーリ４８、タ
イミングベルト４９を介して回転基体５０を駆動する。
また、回転駆動モータ４７の出力軸と反対側には、エン
コーダ４６が取り付けられ、フォトセンサ４５により、
回転位置が検出されている。

【００２８】また、回転駆動モータ４７の上部内側に
は、ベアリング５２，５３を介して、回転基体５０を回
転可能に保持している。回転基体５０の中央には、上向
きに第一配線コネクタＡ４２が固設されている。また、
回転基体５０の下面には、回転側ブラケット６１が固設
されている。また、回転駆動本体４１の内側には、回転
側ブラケット６１と平行に固定ブラケット６２が固設さ
れている。回転側ブラケット６１を出た配線は、図５
（ｂ）及び図１５に示すように、回転側ブラケット６１
の周りに二重に円筒状に巻かれた後、回転駆動本体４１
の下面に、下向きに固定された第二配線コネクタＢ４４
に接続している。配線を二重に円筒状に巻いているの
は、回転基体５０が回転したときに、配線の余裕を採る
ためである。図示しないが、二重に円筒状に巻かれた配
線を受けるためのブラケットが、配線の落下を防止して
いる。

【００２９】回転基体５０の上には、回転上部体５５が
連結されている。その連結は、図１１に示すように、回
転上部体５５の外壁下端に３カ所形成された凸状ガイド
５９を、それに対応して回転基体５０外壁上端に形成さ
れた凹状ガイドを嵌合させ、回転上部体５５の段付部が
回転基体５０の上端に当接させている。さらに、回転上
部体５５を回転基体５０に対して固定するために、ワン
タッチ式ファスナとしてカフスラッチタイプファスナ６
３を３カ所に取り付けている。カフスラッチタイプファ
スナ６３を、図１４（ａ）に側面図で示し、（ｂ）に底
面図で示す。支点７０を中心に回転可能な内枠７３と、
内枠７３の先端支点７１を中心に回転可能な外枠７２と
でリンクを構成し、外枠７２の先端部を相手側の係合部
７４に引っかけ、外枠７２及び内枠７３を回転させ、リ
ンクを閉じた状態で、外枠７２を内枠７３外側に嵌合さ
せロックするファスナである。これを図１０に示すよう
に、回転上部体５５側壁に上下方向に取り付け、回転基
体５０側壁の対応する部位に係合部を取り付けている。

【００３０】回転上部体５５の内側にはブラケット５４
が固設され、ブラケット５４の下面には、第一配線コネ
クタＢ４３が固設されている。また、回転上部体５５の
上には、把持装置を載せるための回転平板５６が付設さ
れている。回転平板５６の下面には、位置検出ブラケッ
ト５８が付設されている。また、回転駆動本体４１に
は、位置検出ブラケット５８に対応する位置のセンサ５
７が固設されている。

【００３１】次に、把持部材１２について説明する。図
８に把持部材１２の側面図を示し、図９に把持部材１２
の正面図を示す。回転平板５６の上には、水平方向に一
対の直線ガイド６５が固設されている。直線ガイド６５
に沿ってスライドする直線スライド６６が摺動可能に取
り付けられている。直線スライド６６の上面に把持装置
を付設するのであるが、把持装置は一般的なチャックで
あるので、図面では省略している。

【００３２】次に、上記構成を有する搬送ロボット１１
をメインテナンス時に分解する場合の作用を説明する。
把持部材１２を回転体１３から切り離すには、３カ所あ
るカフスラッチタイプファスナ６３を開放する。これ
は、特別な工具を必要とすることなく素手で操作可能な
ため、作業性が良い。次に、回転平板５６の下面を持っ
て、回転上部体５５を回転基体５０から引き抜く。この
とき、回転上部体５５の凸状ガイド５９が、回転基体５
０の凹状ガイドと嵌合しているので、水平方向の位置関
係を変化させることなく、回転上部体５５を回転基体５
０から切り離すことができる。

【００３３】ここで、配線は、回転上部体５５の下面に
付設されたブラケット５４の下面に固定された第一配線
コネクタＢ４３と、回転駆動本体４１に回転可能に保持
されている回転基体５０の上面に固定された第一配線コ
ネクタＡ４２とが上下方向で連結されているので、回転
上部体５５を垂直に持ち上げることにより、第一配線コ
ネクタＢ４３が第一配線コネクタＡ４２から作業者が意
識しないでも容易に外される。配線コネクタを構成する
コネクタピンは弱い構造で有り、コネクタ同士を真っ直
ぐに移動させないと破損する恐れがあるが、上記構造に
よれば、コネクタは、必ず真っ直ぐに移動するため、コ
ネクタピンを破損する恐れがない。

【００３４】また、回転上部体を回転基体に取り付ける
ときにも、凸状ガイド５９と凹状ガイドとを嵌合させ
て、据え付けるだけで、人手をかけずに第一配線コネク
タＢ４３を第一配線コネクタＡ４２に接続できるので、
作業効率が高く、余分な人手を必要としない。これによ
り、把持部材１２を回転体１３からユニットとして、配
線を含めて容易に外すことが可能となる。ここで、凸状
ガイド５９と凹状ガイドとが、非点対称位置に配置され
ているので、間違った位置では、嵌合できないため、結
合させる位置を誤ってコネクタピンを破損する恐れがな
い。

【００３５】次に、回転体１３を基盤１４から分離する
作用を説明する。回転体１３を基盤１４から切り離すに
は、３カ所あるカフスラッチタイプファスナ５１を開放
する。これは、特別な工具を必要とすることなく素手で
操作可能なため、作業性が良い。次に、回転駆動本体４
１の側面を持って、回転駆動本体４１を上板２６から分
離する。ここで、配線は、回転駆動本体４１の下面に固
定された第二配線コネクタＢ４４と、上板２６の上面に
固定された第二配線コネクタＡ３５とが上下方向で連結
されているので、回転駆動本体４１を垂直に持ち上げる
ことにより、第二配線コネクタＢ４４が第二配線コネク
タＡ３５から作業者が意識しないでも容易に外される。
配線コネクタを構成するコネクタピンは弱い構造で有
り、コネクタ同士を真っ直ぐに移動させないと破損する
恐れがあるが、上記構造によれば、コネクタは、必ず真
っ直ぐに移動するため、コネクタピンを破損する恐れが
ない。これにより、回転体１３を基盤１４からユニット
として、配線を含めて容易に外すことが可能となる。

【００３６】以上詳細に説明したように、第１の実施の
形態の搬送ロボット１１によれば、（ａ）回転体が、回
転基体５０と回転上部体５５とに分離されると共に、
（ｂ）回転基体５０の上面に固定された第一配線コネク
タＡ４２と、回転上部体５５の下面に固定され、第一配
線コネクタＡ４２と接続される第一配線コネクタＢ４３
とを有し、（ｃ）回転上部体５５が、回転基体５０に対
して、第一配線コネクタ４２，４３により分離されるユ
ニットを構成しているので、把持部材１２を含む回転上
部体５５を、配線も含めて一体的に分離して取り外すこ
とができるため、作業性が高くなる。

【００３７】また、（ａ）回転上部体５５の下端部に凸
状ガイドが形成され、前記回転基体の下端部に凹状ガイ
ドが形成され、（ｂ）前記回転上部体と前記回転基体と
が、前記ガイドで嵌合され回転方向に位置決めされると
共に、（ｃ）前記回転上部体と前記回転基体とが、上下
方向でワンタッチ式ファスナで結合しているので、回転
上部体５５を回転基体５０から引き抜くとき、水平方向
の位置関係を変化させることなく、回転上部体５５を回
転基体５０から切り離すことができる。そして、配線
は、回転上部体５５の下面に付設されたブラケット５４
の下面に固定された第一配線コネクタＢ４３と、回転駆
動本体４１に回転可能に保持されている回転基体５０の
上面に固定された第一配線コネクタＡ４２とが上下方向
で連結されているので、回転上部体５５を垂直に持ち上
げることにより、第一配線コネクタＢ４３が第一配線コ
ネクタＡ４２から作業者が意識しないでも容易に外され
る。

【００３８】また、配線コネクタを構成するコネクタピ
ンは弱い構造で有り、コネクタ同士を真っ直ぐに移動さ
せないと破損する恐れがあるが、上記構造によれば、コ
ネクタは、必ず真っ直ぐに移動するため、コネクタピン
を破損する恐れがない。また、凸状ガイド５９ａ，５９
ｂ，５９ｃ及び凹状ガイドが、非点対称位置に配置され
ているので、間違った位置では、嵌合できないため、結
合させる位置を誤ってコネクタピンを破損する恐れがな
い。

【００３９】さらに、（ａ）基盤が、基体と基体に対し
て上下方向に移動する上下移動体３４とを備えると共
に、（ｂ）上下移動体３４の上板２６上面に固定された
第二配線コネクタＡ３５と、回転駆動本体４１の下面に
固定され、第二配線コネクタＡ３５と接続される第二配
線コネクタＢ４４とを有し、（ｃ）上下移動体３４、回
転上部体５５、及び回転基体５０を含む回転駆動本体４
１が、第一配線コネクタ４２，４３及び第二配線コネク
タ３５，４４により分離されるユニットを構成している
ので、回転駆動本体４１を、配線も含めて一体的に分離
して取り外すことができるため、作業性が高くなる。

【００４０】また、（ａ）回転駆動本体４１の下端部に
凸状ガイド８０が形成され、上板２６の上端部に凹状ガ
イドが形成され、（ｂ）回転駆動本体４１と上下移動体
３４とが、前記ガイドで嵌合され回転方向に位置決めさ
れると共に、（ｃ）回転駆動本体４１と上下移動体３４
とが、上下方向でワンタッチ式ファスナで結合している
ので、回転駆動本体４１を上下移動体３４から引き抜く
とき、水平方向の位置関係を変化させることなく、回転
駆動本体４１を上下移動体３４から切り離すことができ
る。

【００４１】そして、配線は、回転駆動本体４１の下面
に固定された第二配線コネクタＢ４４と、上板２６の上
面に固定された第二配線コネクタＡ３５とが上下方向で
連結されているので、回転駆動本体４１を垂直に持ち上
げることにより、第二配線コネクタＢ４４が第二配線コ
ネクタＡ３５から作業者が意識しないでも容易に外され
る。また、配線コネクタを構成するコネクタピンは弱い
構造で有り、コネクタ同士を真っ直ぐに移動させないと
破損する恐れがあるが、上記構造によれば、コネクタ
は、必ず真っ直ぐに移動するため、コネクタピンを破損
する恐れがない。

【００４２】第１の実施の形態では、ワンタッチ式ファ
スナとして、カフスラッチタイプファスナ５１を使用す
ることによって、回転駆動本体４１と上下移動体３４を
上下方向に結合していた。次の第２の実施の形態では、
第一溝、第二溝、ボルト、ナットを用いて結合する場合
について説明する。以下、その構造を、「搬送ロボット
の着脱構造」と呼ぶ。

【００４３】図１９に示すように、第２の実施の形態の
搬送ロボットの着脱構造１は、搬送ロボット１１のカフ
スラッチタイプファスナ５１に代わるものであり（図１
参照）、上板２６（上下移動体３４の一部）と回転駆動
本体４１とを着脱させるものである。

【００４４】ここで、第２の実施の形態の搬送ロボット
の着脱構造１について、図１８を参照にして説明する。
図１８は、回転駆動本体４１が上板２６（上下移動体３
４の一部）に組み付けられた際の状態を示す。図１８に
示すように、第２の実施の形態の搬送ロボットの着脱構
造１は、上板２６（上下移動体３４の一部）に設けられ
た第一溝３と、回転駆動本体４１に設けられるとともに
回転駆動本体４１が上板２６（上下移動体３４の一部）
に組み付けられた際には第一溝３と連通することによっ
て結合溝４を形成する第二溝２と、上板２６（上下移動
体３４の一部）に一端側が回動自在に持設されることに
よって結合溝４に対して嵌脱自在であるボルト５と、ボ
ルト５の他端側に螺接されるとともにボルト５が結合溝
４に嵌合された際には回転駆動本体４１側の結合溝２か
ら突出するナット８とを備えている。

【００４５】結合溝４については、上板２６（上下移動
体３４の一部）に設けられた凸状ガイド８０（図１０参
照）と、回転駆動本体４１に設けられた凹状ガイド８１
（図１２、図１３参照）との嵌合によって、上板２６
（上下移動体３４の一部）と回転駆動本体４１が位置決
めされながら組み付けられるので、回転駆動本体４１が
上板２６（上下移動体３４の一部）に組み付けられた際
には、常に形成させることができる。

【００４６】ボルト５については、回動軸７で軸支され
た回動体６にその一端側が固着されることによって、上
板２６（上下移動体３４の一部）に一端側が回動自在に
持設される。また、回動体６が第一溝３内において軸支
されており、ボルト５を図１８の矢印のように回動させ
ることによって、結合溝４に対して嵌脱自在となる。

【００４７】ナット８については、図１７に示すよう
に、ボルト５が結合溝４に嵌合された際には回転駆動本
体４１側の結合溝２から突出した状態となる。

【００４８】次に、搬送ロボット１１の上板２６（上下
移動体３４の一部）に回転駆動本体４１を取り付ける手
順について説明する。先ず、図１８に示すように、上板
２６（上下移動体３４の一部）に回転駆動本体４１を組
み付け、上板２６（上下移動体３４の一部）の第一溝３
と回転駆動本体４１の第二溝２を連通させることによっ
て結合溝４を形成する。

【００４９】そして、図１７に示すように、上板２６
（上下移動体３４の一部）に一端側を回動自在に持設さ
れたボルト５を回動させることによって、かかる結合溝
４にボルト５を嵌合させる。このとき、ボルト５の他端
側に螺接されたナット８が回転駆動本体４１側の結合溝
４から突出した状態になるので、図１６に示すように、
かかるナット８を締め付けて回転駆動本体４１側の結合
溝４の端面に圧接させる。これにより、搬送ロボット１
１の上板２６（上下移動体３４の一部）に回転駆動本体
４１を取り付けることができる（結合された状態であ
る）。

【００５０】一方、搬送ロボット１１の上板２６（上下
移動体３４の一部）から回転駆動本体４１を取り外す際
には、図１７に示すように、締め付けられたナット８を
緩めて回転駆動本体４１側の結合溝４の端面から離間さ
せた後に、図１９に示すように、結合溝４に嵌合された
ボルト８を逆方向に回動させ、結合溝４からボルト５を
抜脱する。これにより、搬送ロボット１１の上板２６
（上下移動体３４の一部）から回転駆動本体４１を取り
外すことができる（結合が解除された状態である）。

【００５１】すなわち、第２の実施の形態の搬送ロボッ
トの着脱構造１では、上板２６（上下移動体３４の一
部）に回転駆動本体４１を組み付けた後において、上板
２６（上下移動体３４の一部）と回転駆動本体４１の取
り付けや取り外しの操作を、上板２６（上下移動体３４
の一部）に一端側を回動自在に持設されたボルト５の回
動（図１８の矢印）と、ボルト５の他端側に螺接された
ナット８の緊緩（図１７の矢印）により行っているの
で、上板２６（上下移動体３４の一部）と回転駆動本体
４の取り付けや取り外しの操作が容易である。

【００５２】さらに、上板２６（上下移動体３４の一
部）に一端側を回動自在に持設されたボルト５を結合溝
４に嵌合させた際において、回転駆動本体４１側の結合
溝４から突出した状態にあるナット８を締め付けて回転
駆動本体４１側の結合溝４の端面に圧接させることによ
り、回転駆動本体４１を上板２６（上下移動体３４の一
部）とナット８でボルト５を介して挟持するようにし
て、搬送ロボット１１の上板２６（上下移動体３４の一
部）に回転駆動本体４１を取り付けているので、上板２
６（上下移動体３４の一部）に回転駆動本体４１を取り
付けたときには必要な結合力を確保することができる。

【００５３】また、上板２６（上下移動体３４の一部）
と回転駆動本体４１に渡って形成される結合溝４に対し
て、上板２６（上下移動体３４の一部）に一端側を回動
自在に持設されたボルト５を嵌合させているので、結合
溝４に対して垂直な方向の慣性力が上板２６（上下移動
体３４の一部）又は回転駆動本体４１に作用しても、回
転駆動本体４１が上板２６（上下移動体３４の一部）に
対して不安定な状態となることはない。

【００５４】さらに、回転駆動本体４１側の結合溝４か
ら突出した状態にあるナット８を締め付けて回転駆動本
体４１側の結合溝４の端面に圧接させているので、結合
溝４に対して平行な方向の慣性力が上板２６（上下移動
体３４の一部）又は回転駆動本体４１に作用しても、回
転駆動本体４１が上板２６（上下移動体３４の一部）に
対して不安定な状態となることはない。従って、上板２
６（上下移動体３４の一部）及び回転駆動本体４１にが
直線移動したり又は回動したりして慣性力があらゆる方
向に作用しても、回転駆動本体４１が上板２６（上下移
動体３４の一部）に対して動くことはない。

【００５５】また、ボルト８はその一端が上板２６（上
下移動体３４の一部）に回動自在に持設されているの
で、かかるボルト８を結合溝４に嵌合させた際におい
て、回転駆動本体４１側の結合溝４から突出した状態に
あるナット８を手作業で締め付けても、上板２６（上下
移動体３４の一部）に回転駆動本体４１を取り付けたと
きに必要な結合力を確保することができる。従って、工
具の作業スペースを考慮する必要はない。

【００５６】さらに、第一溝３は上板２６（上下移動体
３４の一部）に設けられ、第二溝２は回転駆動本体４１
に設けられ、結合溝４は第一溝３と第二溝２から形成さ
れ、ボルト５はその一端が回動自在に上板２６（上下移
動体３４の一部）に持設され、ナット８はボルト５の他
端側に螺接されているので、第２の実施の形態の搬送ロ
ボットの着脱構造１の第一溝３、第二溝２、ボルト５、
ナット８がばらばらになることはない。

【００５７】尚、本発明は上記実施の形態に限定される
ものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が
可能である。例えば、ガイドとして凸状ガイドと凹状ガ
イドを用いたが、丸棒等をガイドに用いても良い。ま
た、第１の実施の形態では、ワンタッチ式ファスナとし
て、カフスラッチタイプファスナを使用したが、蝶ネジ
等工具を必要としない方法で連結すれば同様である。

【００５８】さらに、第２の実施の形態の搬送ロボット
の着脱構造１においては、ボルト５の一端側が固着され
た回動体６が第一溝３内において軸支されることによっ
て、ボルト５が結合溝４に対して嵌脱自在となってい
る。しかし、上板２６（上下移動体３４の一部）にボル
ト５の一端側が回動自在に持設されることによって、ボ
ルト５が結合溝４に対して嵌脱自在となるならば、ボル
ト５の一端側を直に軸支してもよい。また、回動体６が
第一溝３外において軸支されてもよい。

【００５９】また、搬送ロボット１１においては、上板
２６（上下移動体３４の一部）に設けられた凸状ガイド
８０（図１０参照）と、回転駆動本体４１に設けられた
凹状ガイド８１（図１２、図１３参照）との嵌合によっ
て、上板２６（上下移動体３４の一部）と回転駆動本体
４１が位置決めされながら組み付けられている。従っ
て、第２の実施の形態の搬送ロボットの着脱構造１にお
いては、結合溝４に対してボルト５が緩嵌されていて
も、結合溝４に対して垂直な方向の慣性力が上板２６
（上下移動体３４の一部）又は回転駆動本体４１に作用
した場合に、回転駆動本体４１が上板２６（上下移動体
３４の一部）に対して不安定な状態になることはない。

【００６０】また、第２の実施の形態の搬送ロボットの
着脱構造１は、搬送ロボット１１の上板２６（上下移動
体３４の一部）に回転駆動本体４１を取り付けたり、搬
送ロボット１１の上板２６（上下移動体３４の一部）か
ら回転駆動本体４１を取り外したりするものであるが、
搬送ロボット１１の回転駆動本体４１に上板２６（上下
移動体３４の一部）を取り付けたり、搬送ロボット１１
の回転駆動本体４１から上板２６（上下移動体３４の一
部）を取り外したりすることについても、同様である。

【００６１】また、第２の実施の形態の搬送ロボットの
着脱構造１は、搬送ロボット１１のカフスラッチタイプ
ファスナ５１に代わるものであったが（図１参照）、図
１９に示す搬送ロボットの着脱構造９のように、カフス
ラッチタイプファスナ６３に代わるものでもよい（図１
参照）。このとき、回転基体５０と回転上部体５５が、
上下方向に結合される。

【００６２】

【発明の効果】本発明の搬送ロボットによれば、（ａ）
回転体が、回転基体と回転上部体とに分離されると共
に、（ｂ）回転基体の上面に固定された第一配線コネク
タＡと、回転上部体の下面に固定され、第一配線コネク
タＡと接続される第一配線コネクタＢとを有し、（ｃ）
回転上部体が、回転基体に対して、第一配線コネクタに
より分離されるユニットを構成しているので、把持部材
を含む回転上部体を、配線も含めて一体的に分離して取
り外すことができるため、作業性が高くなる。

【００６３】さらに、（ａ）基盤が、基体と基体に対し
て上下方向に移動する上下移動体とを備えると共に、
（ｂ）上下移動体の上面に固定された第二配線コネクタ
Ａと、回転駆動本体の下面に固定され、第二配線コネク
タＡと接続される第二配線コネクタＢとを有し、（ｃ）
上下移動体、回転上部体、及び回転基体を含む回転駆動
体が、第一配線コネクタ及び第二配線コネクタにより分
離されるユニットを構成しているので、回転駆動体を、
配線も含めて一体的に分離して取り外すことができるた
め、作業性が高くなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の搬送ロボット１１の全体正面図であ
る。

【図２】搬送ロボット１１の全体側面図である。

【図３】搬送ロボット１１の平面図である。

【図４】基盤１４の側面図である。

【図５】回転体１３及び回転駆動本体４１の外観図であ
る。

【図６】把持部材１２の側面図である。

【図７】搬送ロボット１１内の配線系統を示す模式図で
ある。

【図８】把持部材１２の側部分断面図である。

【図９】把持部材１２の正面図である。

【図１０】回転上部体５５が取り付けられた状態での回
転駆動本体４１を示す断面図である。

【図１１】回転基体５０を含む回転駆動本体４１の平面
図である。

【図１２】図４（ａ）の側断面図である。

【図１３】図１２を右方向から見た正面断面図である。

【図１４】カフスラッチタイプファスナ６３の外観図で
ある。

【図１５】回転駆動本体４１内での配線の状態を示す平
面図である。

【図１６】搬送ロボット１１の上板２６（上下移動体３
４の一部）に回転駆動体４１を取り付けた状態を示した
図である。

【図１７】搬送ロボット１１の上板２６（上下移動体３
４の一部）に回転駆動体４１を取り付ける直前の状態、
又は、搬送ロボット１１の上板２６（上下移動体３４の
一部）から回転駆動体４１を取り外した直後の状態を示
した図である。

【図１８】搬送ロボット１１の上板２６（上下移動体３
４の一部）から回転駆動体４１を取り外した状態（搬送
用ロボット１１の上板２６（上下移動体３４の一部）に
回転駆動体４１を組み付けた状態）を示した図である。

【図１９】第一溝３、第二溝２、ボルト５、ナット８を
備えた搬送ロボット１１の全体正面図である。

【図２０】従来の搬送ロボットを示す断面図である。

【符号の説明】

２第二溝３第一溝４結合溝５ボルト８ナット１１搬送ロボット１２把持部材１３回転体１４基盤２６上板（上下移動体の一部）３４上下移動体３５第二配線コネクタＡ４１回転駆動本体４２第一配線コネクタＡ４３第一配線コネクタＢ３４４第二配線コネクタＢ５０回転基体５５回転上部体５９凸状ガイド６３カフスラッチタイプファスナ８０凸状ガイド８１凹状ガイド

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基盤に設けられた回転駆動体により回転
可能な回転体と、回転体上に設けられ搬送物を把持する
把持部材とを有する搬送ロボットにおいて、前記回転体が、回転基体と回転上部体とに分離されると
共に、前記回転基体の上面に固定された第一配線コネクタＡ
と、前記回転上部体の下面に固定され、前記第一配線コネク
タＡと接続される第一配線コネクタＢとを有し、前記回転上部体が、前記回転基体を含む前記基盤に対し
て、前記第一配線コネクタにより分離されるユニットを
構成することを特徴とする搬送ロボット。
【請求項２】請求項１に記載する搬送ロボットにおい
て、前記回転上部体の下端部に凸状ガイドが形成され、前記回転基体の上端部に凹状ガイドが形成され、前記回転上部体と前記回転基体とが、前記ガイドで嵌合
され回転方向に位置決めされると共に、前記回転上部体と前記回転基体とが、上下方向でワンタ
ッチ式ファスナで結合されることを特徴とする搬送ロボ
ット。
【請求項３】請求項１に記載する搬送ロボットにおい
て、前記回転上部体の下端部に凸状ガイドが形成され、前記回転基体の上端部に凹状ガイドが形成され、前記回転上部体と前記回転基体とが、前記ガイドで嵌合
され回転方向に位置決めされると共に、前記回転基体に設けられた第一溝と、前記回転上部体に設けられるとともに前記回転上部体が
前記回転基体に組み付られた際には前記第一溝と連通す
ることによって結合溝を形成する第二溝と、前記回転基体に一端側が回動自在に持設されることによ
って前記結合溝に対して嵌脱自在であるボルトと、前記ボルトの他端側に螺接されるとともに前記ボルトが
前記結合溝に嵌合された際には前記回転上部体側の前記
結合溝から突出するナットとを備え、前記回転上部体と前記回転基体とが、上下方向で前記第
一溝、前記第二溝、前記ボルト、前記ナットで結合され
ることを特徴とする搬送ロボット。
【請求項４】請求項２又は請求項３に記載する搬送ロ
ボットにおいて、前記凸状ガイド及び前記凹状ガイドが、非点対称位置に
配置されていることを特徴とする搬送ロボット。
【請求項５】請求項１乃至請求項４に記載する搬送ロ
ボットのいずれか１つにおいて、前記基盤が、基体と、基体に対して上下方向に移動する
上下移動体とを備えると共に、前記上下移動体の上面に固定された第二配線コネクタＡ
と、前記回転駆動体の下面に固定され、前記第二配線コネク
タＡと接続される第二配線コネクタＢとを有し、前記上下移動体、前記回転上部体、及び前記回転基体を
含む前記回転駆動体が、前記第一配線コネクタ及び前記
第二配線コネクタにより分離されるユニットを構成する
ことを特徴とする搬送ロボット。
【請求項６】請求項５に記載する搬送ロボットにおい
て、前記回転駆動体の下端部に凸状ガイドが形成され、前記上下移動体の上端部に凹状ガイドが形成され、前記回転駆動体と前記上下移動体とが、前記ガイドで嵌
合され回転方向に位置決めされると共に、前記回転駆動体と前記上下移動体とが、上下方向でワン
タッチ式ファスナで結合されることを特徴とする搬送ロ
ボット。
【請求項７】請求項５に記載する搬送ロボットにおい
て、前記回転駆動体の下端部に凸状ガイドが形成され、前記上下移動体の上端部に凹状ガイドが形成され、前記回転駆動体と前記上下移動体とが、前記ガイドで嵌
合され回転方向に位置決めされると共に、前記上下移動体に設けられた第一溝と、前記回転駆動体に設けられるとともに前記回転駆動体が
前記上下移動体に組み付られた際には前記第一溝と連通
することによって結合溝を形成する第二溝と、前記上下移動体に一端側が回動自在に持設されることに
よって前記結合溝に対して嵌脱自在であるボルトと、前記ボルトの他端側に螺接されるとともに前記ボルトが
前記結合溝に嵌合された際には前記回転駆動体側の前記
結合溝から突出するナットとを備え、前記回転駆動体と前記上下移動体とが、上下方向で前記
第一溝、前記第二溝、前記ボルト、前記ナットで結合さ
れることを特徴とする搬送ロボット。