JPWO2009034795A1 - 基板搬送ロボット、真空処理装置 - Google Patents

基板搬送ロボット、真空処理装置 Download PDF

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Abstract

載置位置が多様な処理室との基板受渡を短時間で行なう。Ａ回転部材（１３）やＢ回転部材（１４）が静止した状態で、第一〜第四の駆動軸（１１１〜１１４）が回転すると、第一〜第四の載置部（１５１〜１５４）は、その一辺の延長線上を直線移動する。第一の駆動軸（１１１）とＡ回転部材（１３）、第二の駆動軸（１１２）とＢ回転部材（１４）、第三の駆動軸（１１３）とＡ回転部材（１３）、第四の駆動軸（１１４）とＢ回転部材（１４）が同一角度同一方向に回転すると、第一〜第四の載置部（１５１〜１５４）は回転移動される。直線移動と回転移動を組み合わせると、第一〜第四の載置部（１５１〜１５４）を所望の場所に移動させることができる。

Description

本発明は、基板搬送ロボットの技術分野にかかり、特に、多数枚数の基板を搬送できる基板搬送ロボットに関する。
従来から、半導体製造装置において、各種加工処理を行うプロセスチャンバに基板を出し入れする基板搬送ロボットが用いられている。
例えば特許文献１に記載された基板搬送ロボットでは、二本の腕部がそれぞれ異なる駆動軸に取り付けられ、各駆動軸を回転させると独立に伸縮移動するように構成されており、また、二本の腕部は同一の回転軸に取り付けられ、この回転軸が回転すると、一緒に回転移動するように構成されている。
このような基板搬送ロボットは、三軸で二本の腕部を効率よく動作させており、簡単な構成で複数枚の基板を搬送できるようになっている。
特開２００６−１３３７１号公報
しかしながら上記のような構成では、二本の腕部が同じ回転軸に固定されているため、腕部間の角度が固定されており、従って、二本の腕部に載置された基板間の距離を変えることができない。
基板搬送ロボットが処理室に基板を搬出入する際、処理室内の載置位置が、基板搬送ロボット上に配置された基板の間隔と異なる場合、基板を一枚ずつしか受け渡しできず、搬送時間の遅延を招いていた。
本発明は、このような従来技術の課題を解決するために創作されたものであり、少ない軸数で、複数の基板を短時間で受け渡しできる基板搬送ロボットを提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明は、それぞれ同一の主回転軸線を中心軸線とし、前記主回転軸線を中心に回転するように配置された第一、第二の駆動軸と、Ａ回転部材と、Ｂ回転部材と、それぞれ前記主回転軸線を中心に回転する第一、第二の腕部と、前記第一、第二の腕部に設けられ、前記第一、第二の腕部の伸縮によって直線移動する第一、第二の載置部とが設けられた基板搬送ロボットであって、前記主回転軸線からそれぞれ離間した位置には、前記Ａ回転部材の回転によって前記主回転軸線を中心に回転移動される第一の副回転軸線と、前記Ｂ回転部材の回転によって前記主回転軸線を中心に回転移動される第二の副回転軸線とが設けられ、前記第一、第二の腕部には、第一、第二の主能動アームと、第一、第二の補助能動アームと、第一、第二の主従動アームとがそれぞれ設けられ、前記第一、第二の主能動アームは、前記第一、第二の駆動軸にそれぞれ固定され、前記第一、第二の補助能動アームは、前記第一、第二の副回転軸線を中心にそれぞれ回動可能に配置され、前記第一、第二の載置部は、前記第一、第二の主従動アームを介して前記第一、第二の主能動アームにそれぞれ取り付けられ、前記第一、第二の載置部は、前記第一、第二の駆動軸の前記主回転軸線を中心とする回転によってそれぞれ直線移動するように構成され、前記第一、第二の主能動アームは、規制部材を介して前記第一、第二の補助能動アームにそれぞれ接続され、前記第一、第二の回転軸の回転に従ってそれぞれ回転し、前記第一、第二の載置部が前記主回転軸線廻りにそれぞれ回転移動するように構成された基板搬送ロボットである。
また、本発明は、前記第一の主能動アームと前記第一の補助能動アームは平行に配置され、前記第二の主能動アームと前記第二の補助能動アームは平行に配置され、前記第一、第二の主能動アームの先端と前記第一、第二の補助能動アームの先端はそれぞれ第一、第二の規制部材に回動可能に取り付けられ、前記第一の主従動アームには第一の補助従動アームが平行に配置され、前記第二の主従動アームには第二の補助従動アームが平行に配置され、前記第一、前記第二の主従動アームと前記第一、第二の補助従動アームの根本は前記第一、第二の規制部材に回動可能に取り付けられ、前記第一、前記第四の主従動アームと前記第一〜第四の補助従動アームの先端は、前記第一〜第四の載置部に回動可能に取り付けられた基板搬送ロボットである。
また、本発明は、前記第一、第二の主能動アームはそれぞれ異なる高さに配置され、前記第一、第二の主従動アームはそれぞれ異なる高さに配置され、前記第一、第二の載置部はそれぞれ異なる高さに配置され、前記第一、第二の載置部は、それぞれ衝突せずに、前記主回転軸線回りに回転可能に構成された基板搬送ロボットである。
また、本発明は、それぞれ同一の主回転軸線を中心軸線とし、前記主回転軸線を中心に回転するように配置された第一、第三の駆動軸と、Ａ回転部材とそれぞれ前記主回転軸線を中心に回転する第一、第三の腕部と、前記第一、第三の腕部に設けられ、前記第一、第三の腕部の伸縮によって直線移動する第一、第三の載置部とが設けられた基板搬送ロボットであって、前記主回転軸線からそれぞれ離間した位置には、前記Ａ回転部材の回転によって前記主回転軸線を中心に回転移動される第一、第三の副回転軸線が設けられ、前記第一、第三の腕部には、第一、第三の主能動アームと、第一、第三の補助能動アームと、第一、第三の主従動アームとがそれぞれ設けられ、前記第一、第三の主能動アームは、前記第一、第三の駆動軸にそれぞれ固定され、前記第一、第三の補助能動アームは、前記第一、第三の副回転軸線を中心にそれぞれ回動可能に配置され、前記第一、第三の載置部は、前記第一、第三の主従動アームを介して前記第一、第三の主能動アームにそれぞれ取り付けられ、前記第一、第三の載置部は、前記第一、第三の駆動軸の前記主回転軸線を中心とする回転によってそれぞれ直線移動するように構成され、前記第一、第三の主能動アームは、規制部材を介して前記第一、第三の補助能動アームにそれぞれ接続され、前記第一、第三の回転軸の回転に従ってそれぞれ回転し、前記第一、第三の載置部が前記主回転軸線廻りにそれぞれ回転移動するように構成された基板搬送ロボットである。
また、本発明は、前記第一の主能動アームと前記第一の補助能動アームは平行に配置され、前記第三の主能動アームと前記第三の補助能動アームは平行に配置され、前記第一、第三の主能動アームの先端と前記第一、第三の補助能動アームの先端はそれぞれ第一、第三の規制部材に回動可能に取り付けられ、前記第一の主従動アームには第一の補助従動アームが平行に配置され、前記第三の主従動アームには第三の補助従動アームが平行に配置され、前記第一、前記第三の主従動アームと前記第一、第三の補助従動アームの根本は前記第一、第三の規制部材に回動可能に取り付けられ、前記第一、前記第四の主従動アームと前記第一〜第四の補助従動アームの先端は、前記第一〜第四の載置部に回動可能に取り付けられた基板搬送ロボットである。
また、本発明は、前記第一、第三の主能動アームはそれぞれ異なる高さに配置され、前記第一、第三の主従動アームはそれぞれ異なる高さに配置され、前記第一、第三の載置部同士はそれぞれ異なる高さに配置され、前記第一、第三の載置部は、それぞれ衝突せずに、前記主回転軸線回りに回転可能に構成された基板搬送ロボットである。
また、本発明は、前記第一、第三の副回転軸線は、離間した位置に配置された基板搬送ロボットである。
また、本発明は、前記第一、第三の副回転軸線は、一致した位置に配置された基板搬送ロボットである。
また、本発明は、それぞれ同一の主回転軸線を中心軸線とし、前記主回転軸線を中心に回転するように配置された第一〜第四の駆動軸と、Ａ回転部材と、Ｂ回転部材と、それぞれ前記主回転軸線を中心に回転する第一〜第四の腕部と、前記第一〜第四の腕部に設けられ、前記第一〜第四の腕部の伸縮によって直線移動する第一〜第四の載置部とが設けられた基板搬送ロボットであって、前記主回転軸線からそれぞれ離間した位置には、前記Ａ回転部材の回転によって前記主回転軸線を中心に回転移動される第一、第三の副回転軸線と、前記Ｂ回転部材の回転によって前記主回転軸線を中心に回転移動される第二、第四の副回転軸線とが設けられ、前記第一〜第四の腕部には、第一〜第四の主能動アームと、第一〜第四の補助能動アームと、第一〜第四の主従動アームとがそれぞれ設けられ、前記第一〜第四の主能動アームは、前記第一〜第四の駆動軸にそれぞれ固定され、前記第一、第三の補助能動アームは前記第一、第三の副回転軸線を中心にそれぞれ回動可能に配置され、前記第二、第四の補助能動アームは前記第二、第四の副回転軸線を中心にそれぞれ回動可能に配置され、前記第一〜第四の載置部は、前記第一〜第四の主従動アームを介して前記第一〜第四の主能動アームにそれぞれ取り付けられ、前記第一〜第四の載置部は、前記第一〜第四の駆動軸の前記主回転軸線を中心とする回転によってそれぞれ直線移動するように構成され、前記第一〜第四の主能動アームは、規制部材を介して前記第一〜第四の補助能動アームにそれぞれ接続され、前記第一〜第四の回転軸の回転に従ってそれぞれ回転し、前記第一〜第四の載置部が前記主回転軸線廻りにそれぞれ回転移動するように構成された基板搬送ロボットである。
また、本発明は、前記第一の主能動アームと前記第一の補助能動アームは平行に配置され、前記第二の主能動アームと前記第二の補助能動アームは平行に配置され、前記第三の主能動アームと前記第三の補助能動アームは平行に配置され、前記第四の主能動アームと前記第四の補助能動アームは平行に配置され、前記第一〜第四の主能動アームの先端と前記第一〜第四の補助能動アームの先端はそれぞれ第一〜第四の規制部材に回動可能に取り付けられ、前記第一の主従動アームには第一の補助従動アームが平行に配置され、前記第二の主従動アームには第二の補助従動アームが平行に配置され、前記第三の主従動アームには第三の補助従動アームが平行に配置され、前記第四の主従動アームには第四の補助従動アームが平行に配置され、前記第一〜前記第四の主従動アームと前記第一〜第四の補助従動アームの根本は前記第一〜第四の規制部材に回動可能に取り付けられ、前記第一〜前記第四の主従動アームと前記第一〜第四の補助従動アームの先端は、前記第一〜第四の載置部に回動可能に取り付けられた基板搬送ロボットである。
前記第一〜第四の主能動アームはそれぞれ異なる高さに配置され、前記第一〜第四の主従動アームはそれぞれ異なる高さに配置され、前記第一〜第四の載置部同士はそれぞれ異なる高さに配置され、前記第一〜第四の載置部は、それぞれ衝突せずに、前記主回転軸線回りに回転可能に構成された基板搬送ロボット。
また、本発明は、前記第一の副回転軸線と前記第三の副回転軸線は離間した位置に配置され、前記第二の副回転軸線と前記第二の副回転軸線は離間した位置に配置された基板搬送ロボットである。
また、本発明は、前記第一の副回転軸線と前記第三の副回転軸線は一致した位置に配置され、前記第二の副回転軸線と前記第二の副回転軸線は一致した位置に配置された基板搬送ロボットである。
また、本発明は、真空排気可能な搬送室と、前記搬送室に接続され、処理対象物を真空雰囲気中で処理する処理室とを有する真空処理装置であって、前記搬送室内には上記いずれかの基板搬送ロボットが配置された真空処理装置である。
基板搬送ロボットに載置された第一、第三の基板間の距離と、第二、第四の基板間の距離をそれぞれ変更できるので、載置位置が多様な処理室との基板受渡を短時間で行なうことができる。
本発明の真空処理装置を模式的に示す平面図 本発明の一例の基板搬送ロボットの平面図 本発明の一例の基板搬送ロボットの側面図 第一、第二の腕部を示す平面図 第三、第四の腕部を示す平面図 第一〜第四の腕部の各部材の結合状態を示す模式図
符号の説明
Ｏ……主回転軸線 ｓ1〜ｓ4……第一〜第四の副回転軸線 １……真空処理装置 １０……基板搬送ロボット １１1〜１１4……第一〜第四の駆動軸 １３……Ａ回転部材 １５1〜１５4……第一〜第四の載置部 ２０1〜２０4……第一〜第四の腕部 ２１1〜２１4……第一〜第四の主能動アーム ２２1〜２２4……第一〜第四の補助能動アーム ２３1〜２３4……第一〜第四の主従動アーム ２５1〜２５4……第一〜第四の規制部材
図１の符号１は本発明の真空処理装置の模式的な平面図である。この真空処理装置１は、搬送室２と、搬送室２にそれぞれ接続された１又は複数の処理室３〜８と、搬送室２内部に配置された本発明の搬送ロボット１０とを有している。
図２は、本発明の一例の基板搬送ロボット１０の平面図であり、図３は側面図である。
この基板搬送ロボット１０は、第一〜第四の駆動軸１１1〜１１4と、Ａ回転部材１３と、Ｂ回転部材１４とを有している。
第一〜第四の駆動軸１１1〜１１4と、Ａ回転部材１３と、Ｂ回転部材１４は鉛直且つ同心に配置されており、各軸の中心軸線である同一の主回転軸線Ｏを中心にそれぞれ独立に回転できるように構成されている。
また、基板搬送ロボット１０は、第一〜第四の腕部２０1〜２０4と、第一〜第四の載置部１５1〜１５4を有している。
第一〜第四の腕部２０1〜２０4は、第一〜第四の主能動アーム２１1〜２１4と、第一〜第四の補助能動アーム２２1〜２２4と、第一〜第四の主従動アーム２３1〜２３4と、第一〜第四の補助従動アーム２４1〜２４4と、プレート状の第一〜第四の規制部材２５1〜２５4とをそれぞれ有している。
第一〜第四の主能動アーム２１1〜２１4の根本部分は、第一〜第四の駆動軸１１1〜１１4にそれぞれ固定されており、第一〜第四の駆動軸１１1〜１１4が回転すると、第一〜第四の主能動アーム２１1〜２１4が第一〜第四の駆動軸１１1〜１１4の回転角度と同一角度同方向に水平面内で回転するように構成されている。
Ａ回転部材１３との主回転軸線Ｏから離間した位置には、第一、第三の副回転軸線ｓ1、ｓ3が設けられており、同様に、Ｂ回転部材１４の、主回転軸線Ｏから離間した位置には、第二、第四の副回転軸線ｓ2、ｓ4が設けられている。主回転軸線Ｏと第一〜第四の副回転軸線ｓ1〜ｓ4は鉛直にされている。
Ａ回転部材１３のうちの主回転軸線Ｏと第一、第三の副回転軸線ｓ1、ｓ3との間の部分をそれぞれ第一、第三の回転アーム１６1、１６3とし、Ｂ回転部材１４の主回転軸線Ｏと第二、第四の副回転軸線ｓ2、ｓ4との間の部分をそれぞれ第二、第四の回転アーム１６2、１６4とすると、第一〜第四の回転アーム１６1〜１６4の先端には、第一〜第四の補助能動アーム２２1〜２２4の根本部分が、第一〜第四の副回転軸線ｓ1〜ｓ4を中心として水平面内で回動可能にそれぞれ取り付けられている。
但し、この実施例では、第一、第三の副回転軸線ｓ1、ｓ3は一致し、同様に、第二、第四の副回転軸線ｓ2、ｓ4も一致しており、第一、第三の回転アーム１６1、１６3と、第二、第四の回転アーム１６2、１６4は、それぞれＡ、Ｂ回転部材１３、１４の同一部分で構成されており、第一、第三の補助能動アーム２２1、２２3はそれぞれ、同一の回転軸線(第一、第三の副回転軸線ｓ1、ｓ3)を中心に回動し、第二、第四の補助能動アーム２２2、２２4もそれぞれ、同一の回転軸線(第二、第四の副回転軸線ｓ2、ｓ4)を中心に回動するように構成されている。
但し、第一、第三の副回転軸線ｓ1、ｓ3を離間して設け、第二、第四の副回転軸線ｓ2、ｓ4を離間して設けてもよい。例えば、主回転軸線Ｏを中心として、第一、第三の副回転軸線ｓ1、ｓ3を１８０°離間した位置に配置し、第二、第四の副回転軸線ｓ2、ｓ4を１８０°離間した位置に配置することができる。
第一の主能動アーム２１1の先端と第一の補助能動アーム２２1の先端には、第一の主能動アーム２１1と第一の補助能動アーム２２1が回動可能に第一の規制部材２５1が設けられている。
この第一の規制部材２５1には、第一の主従動アーム２３1の根本部分と第一の補助従動アーム２４1の根本部分が水平面内で回動可能に取り付けられており、更に、第一の主従動アーム２３1の先端部分と第一の補助従動アーム２４1の先端部分には、第一の主従動アーム２３1と第一の補助従動アーム２４1が水平面内で回動可能に第一の載置部１５1が取り付けられている。
同様に、第二、第四の主能動アーム２１2、２１4の先端と第二、第四の補助能動アーム２２2、２２4の先端には、第二、第四の主能動アーム２１2、２１4と第二、第四の補助能動アーム２２2、２２4が水平面内で回動可能に、第二、第四の規制部材２５2、２５4がそれぞれ取り付けられている。
また、第二、第四の規制部材２５2、２５4には、第二、第四の主従動アーム２３2、２３4の根本部分と第二、第四の補助従動アーム２４2、２４4の根本部分とが、水平面内で回動可能にそれぞれ取り付けられており、更に、第二、第四の主従動アーム２３2、２３4の先端部分と第二、第四の補助従動アーム２４2、２４4の先端部分には、水平面内で回動可能に第二、第四の載置部１５2、１５4がそれぞれ取り付けられている。
本実施例では、第一〜第四の規制部材２５1〜２５4上で、第一〜第四の主従動アーム２３1〜２３4の根本部分は第一〜第四の主能動アーム２１1〜２１4の先端部分と同じ場所に接続され、第一〜第四の補助従動アーム２４1〜２４4の根本部分は第一〜第四の補助能動アーム２２1〜２２4の先端部分と同じ場所に接続されており、第一〜第四の主能動アーム２１1〜２１4と第一〜第四の主従動アーム２３1〜２３4は、それら中心軸線を通る同一の回動軸線廻りにそれぞれ回動するように構成され、第一〜第四の補助能動アーム２２1〜２２4と第一〜第四の補助従動アーム２４1〜２４4も、それら中心軸線を通る同一の回動軸線廻りにそれぞれ回動するように構成されている。
各能動及び従動アーム２１1〜２１4、２２1〜２２4、２３1〜２３4、２４1〜２４4の回動中心は鉛直であり、主回転軸線Ｏと第一〜第四の副回転軸線ｓ1〜ｓ4に対し、平行にされており、各アーム１６1〜１６4、２１1〜２１4、２２1〜２２4、２３1〜２３4、２４1〜２４4と第一〜第四の載置部１５1〜１５4は、各アーム１６1〜１６4、２１1〜２１4、２２1〜２２4、２３1〜２３4、２４1〜２４4が回動すると、水平面内で移動できるように構成されており、第一〜第四の載置部１５1〜１５4にそれぞれ設けられた、後述する第一〜第四の支持アーム１８1〜１８4の先端上に基板３０を配置すると、基板３０を運搬することができる。
特に、第一の駆動軸１１1とＡ回転部材１３とが同一角度同方向に回転すると、第一の副回転軸線ｓ1と、第一の腕部２０1内の各アーム２１1、２２1、２３1、２４1と、第一の規制部材２５1と、第一の載置部１５1とが、互いに相対的に静止した状態で一緒に回転し、基板３０は主回転軸線Ｏを中心に回転移動する。
しかし、このとき、Ａ回転部材１３に設けられた第三の副回転軸線ｓ3も同一方向に同一角度回転してしまうため、第三の腕部２０3上の基板３０も移動してしまい、第一の載置部１５1を第三の載置部１５3上の基板３０と独立して移動させることができない。第二の載置部１５2と第四の載置部１５4との間も同様であり、独立して移動させることができない。
他方、Ａ回転部材１３とＢ回転部材１４はそれぞれ独立に回転することができるから、第一の載置部１５1と第二の載置部１５2と独立して移動させることができる。第三の載置部１５3と第四の載置部１５4の間も同じである。
本発明では、第一、第二の腕部２０1、２０2を一組とし、第三、第四の腕部２０3、２０4を他の一組とすると、Ａ回転部材１３とＢ回転部材１４との間の角度を変えることで、第一の載置部１５1と第二の載置部１５2の間、又は第三の載置部１５3と第四の載置部１５4の間の距離や相対的な位置を変更することができる。
図４は、第一、第二の腕部２０1、２０2を示した平面図であり、図５は、第三、第四の腕部２０3、２０4を示した平面図である。図６は各部材の結合状態を示す模式図である。
この図４〜図６には、回動軸線間の距離や主回転軸線Ｏと回動軸線間の距離を示す符号が記載されている。
符号ａ1〜ａ4は、第一〜第四の主能動アーム２１1〜２１4の第一〜第四の規制部材２５1〜２５4に対する回動軸線であり、符号ｒ1〜ｒ4は第一〜第四の補助能動アーム２２1〜２２4の第一〜第四の規制部材２５1〜２５4に対する回動軸線である。
各回転軸線Ｏ、ｓ1〜ｓ4と、各回動軸線ａ1〜ａ4、ｒ1〜ｒ4は、垂直に配置されている。
第一〜第四の腕部２０1〜２０4に関し、主回転軸線Ｏと、第一〜第四の副回転軸線ｓ1〜ｓ4と、回動軸線ａ1〜ａ4、ｒ1〜ｒ4を水平に結んで形成される四角形Ｏｓ1ｒ1ａ1、Ｏｓ2ｒ2ａ2、Ｏｓ3ｒ3ａ3、Ｏｓ4ｒ4ａ4は、平行四辺形(正方形、長方形、菱形を含む)になるように、軸線間の距離が設定されている。
更に、この実施例では、主回転軸線Ｏと第一〜第四の主能動アーム２１1〜２１4の回動軸線ａ1〜ａ4間の距離Ｏａ1〜Ｏａ4は同一の距離Ｏａにされており、従って、それと平行な、第一〜第四の副回転軸線ｓ1〜ｓ4と、第一〜第四の補助能動アーム２２1〜２２4の回動軸線ｒ1〜ｒ4間の距離ｓ1ｒ1〜ｓ4ｒ4も、主回転軸線Ｏと第一〜第四の主能動アーム２１1〜２１4の回動軸線ａ1〜ａ4間の距離Ｏａと同一の距離ｓｒになっている(Ｏａ＝ｓｒ)。
同様に、第一〜第四の主能動アーム２１1〜２１4と第一〜第四の補助能動アーム２２1〜２２4間の距離に関し、主回転軸線Ｏと第一〜第四の副回転軸線ｓ1〜ｓ4の距離Ｏｓ1〜Ｏｓ4は同一の距離Ｏｓにされており(上述したように、この実施例では、第一、第三の副回転軸線ｓ1、ｓ3は一致しており、第二、第四の副回転軸線ｓ2、ｓ4も一致している）、従って、第一〜第四の主能動アーム２１1〜２１4の回動軸線ａ1〜ａ4と第一〜第四の補助能動アーム２２1〜２２4の回動軸線ｒ1〜ｒ4間の距離ａ1ｒ1〜ａ4ｒ4は、その距離Ｏｓと同一の距離ａｒになっている(Ｏｓ＝ａｒ)。
次に、図４〜６中の符号ｃ1〜ｃ4は、第一〜第四の主従動アーム２３1〜２３4の第一〜第四の規制部材２５1〜２５4に対する回動軸線を示しており、符号ｄ1〜ｄ4は第一〜第四の補助従動アーム２４1〜２４4の第一〜第四の規制部材２５1〜２５4に対する回動軸線を示している(上述したように、この実施例では、第一〜第四の主従動アーム２３1〜２３4の回動軸線ｃ1〜ｃ4は第一〜第四の主能動アーム２１1〜２１4の回動軸線ａ1〜ａ4と一致しており、第一〜第四の補助従動アーム２４1〜２４4の回動軸線ｄ1〜ｄ4は第一〜第四の補助能動アーム２２1〜２２4の回動軸線ｒ1〜ｒ4と一致している。)。
また、符号ｈ1〜ｈ4は第一〜第四の主従動アーム２３1〜２３4の第一〜第四の載置部１５1〜１５4に対する回動軸線を示しており、符号ｉ1〜ｉ4は第一〜第四の補助従動アーム２４1〜２４4の第一〜第四の載置部１５1〜１５4に対する回動軸線を示している。
各回動軸線ｃ1〜ｃ4、ｄ1〜ｄ4、ｈ1〜ｈ4、ｉ1〜ｉ4は、垂直に配置されており、第一〜第四の主従動アーム２３1〜２３4の両端の回動軸線ｃ1〜ｃ4、ｈ1〜ｈ4と第一〜第四の補助従動アーム２４1〜２４4の両端の回動軸線ｄ1〜ｄ4、ｉ1〜ｉ4を水平に結んで形成される四角形ｃ1ｈ1ｉ1ｄ1、ｃ2ｈ2ｉ2ｄ2、ｃ3ｈ3ｉ3ｄ3、ｃ4ｈ4ｉ4ｄ4が平行四辺形(正方形、長方形、菱形を含む)になるように、回動軸線間の距離が設定されている。
また、この実施例では、第一〜第四の主従動アーム２３1〜２３4に関し、その両端の回動軸線ｃ1〜ｃ4、ｈ1〜ｈ4間の距離ｃ1ｈ1〜ｃ4ｈ4は同一の距離ｃｈにされており、従って、第一〜第四の補助従動アーム２４1〜２４4に関し、その両端の回動軸線ｄ1〜ｄ4、ｉ1〜ｉ4間の距離ｄ1ｉ1〜ｄ4ｉ4は、その距離ｃｈと同一の距離ｄｉになっている(ｃｈ＝ｄｉ)。
同様に、第一〜第四の規制部材２５1〜２５4と第一〜第四の載置部１５1〜１５4に関し、第一〜第四の規制部材２５1〜２５4上の回動軸線ｃ1〜ｃ4、ｄ1〜ｄ4間の距離ｃ1ｄ1〜ｃ4ｄ4は同一の距離ｃｄにされており、従って、第一〜第四の載置部１５1〜１５4上の回動軸線ｈ1〜ｈ4、ｉ1〜ｉ4間の距離ｈ1ｉ1〜ｈ4ｉ4は、その距離ｃｄと同一の距離ｈｉになっている(ｃｄ＝ｈｉ)。
第一〜第四の主能動アーム２１1〜２１4を含む平行四辺形Ｏｓ1ｒ1ａ1、Ｏｓ2ｒ2ａ2、Ｏｓ3ｒ3ａ3、Ｏｓ4ｒ4ａ4中の第一〜第四の回転アーム１６1〜１６4の両端の辺Ｏｓ1〜Ｏｓ4と、第一〜第四の規制部材２５1〜２５4上の一辺ａ1ｒ1〜ａ4ｒ4とは平行であり、第一〜第四の主従動アーム２３1〜２３4を含む平行四辺形ｃ1ｈ1ｉ1ｄ1、ｃ2ｈ2ｉ2ｄ2、ｃ3ｈ3ｉ3ｄ3、ｃ4ｈ4ｉ4ｄ4中の第一〜第四の規制部材２５1〜２５4上の一辺ｃ1ｄ1〜ｃ4ｄ4は、一辺ａ1ｒ1〜ａ4ｒ4と平行にされている(ここでは、辺ｃ1ｄ1〜ｃ4ｄ4とａ1ｒ1〜ａ4ｒ4とは一致しており、距離ｃｄ＝距離ａｒである)。
Ａ回転部材１３やＢ回転部材１４が静止し、従って、第一〜第四の回転アーム１６1〜１６4が静止した状態で、第一〜第四の駆動軸１１1〜１１4が回転すると、第一〜第四の腕部２０1〜２０4の平行四辺形は変形する。
各腕部２０1〜２０4の二個の平行四辺形Ｏｓ1ｒ1ａ1、Ｏｓ2ｒ2ａ2、Ｏｓ3ｒ3ａ3、Ｏｓ4ｒ4ａ4、ｃ1ｈ1ｉ1ｄ1、ｃ2ｈ2ｉ2ｄ2、ｃ3ｈ3ｉ3ｄ3、ｃ4ｈ4ｉ4ｄ4中の、互いに平行な四辺Ｏｓ1〜Ｏｓ4、ａ1ｒ1〜ａ4ｒ4、ｃ1ｄ1〜ｃ4ｄ4、ｈ1ｉ1〜ｈ4ｉ4の長さは等しいから、他の四辺Ｏａ1〜Ｏａ4、ｓ1ｒ1〜ｓ4ｒ4、ｃ1ｈ1〜ｃ4ｈ4、ｄ1ｉ1〜ｄ4ｉ4の長さが等しければ、第一〜第四の載置部１５1〜１５4上の回動軸線を水平に結ぶ一辺は、その辺の延長線上を直線移動する。
第一〜第四の載置部１５1〜１５4は直線移動する辺に対して固定されているから、Ａ回転部材１３やＢ回転部材１４が静止した状態で、第一〜第四の駆動軸１１1〜１１4が回転すると、第一〜第四の載置部１５1〜１５4は、その一辺の延長線上を直線移動する。
他方、第一の駆動軸１１1とＡ回転部材１３が同一角度同一方向に回転する場合には、第一の腕部２０1と第一の載置部１５1が、主回転軸線Ｏの廻りに同一方向に同一角度回転し、同様に、第二の駆動軸１１2とＢ回転部材１４、第三の駆動軸１１3とＡ回転部材１３、第四の駆動軸１１4とＢ回転部材１４が同一角度同一方向に回転すると、第二〜第四の腕部２０2〜２０4と第二〜第四の載置部１５2〜１５4は、主回転軸線Ｏ廻りに同一方向に同一角度回転するから、第一〜第四の載置部１５1〜１５4は回転移動される。
従って、直線移動と回転移動を組み合わせると、第一〜第四の載置部１５1〜１５4を所望の場所に移動させることができる。
特に、第一、第二の腕部２０1、２０2を一組とし、第三、第四の腕部２０3、２０4を他の一組とすると、Ａ回転部材１３とＢ回転部材１４との間の角度を変えることで、同じ組の載置部１５1〜１５4間(第一の載置部１５1と第二の載置部１５2の間、又は第三の載置部１５3と第四の載置部１５4の間)の間隔や相対的な位置を変化させることができるので、同じ処理室３〜８内には同じ組の載置部１５1〜１５4を挿入するようにすると、二枚の基板３０を一緒に搬出入することができる。
処理室３〜８内に上下動可能な移載機構を設けておくと、搬入の際には、第一〜第四の載置部１５1〜１５4の先端に乗せた基板３０を移載機構の上方に位置させ、移載機構を上昇させて第一〜第四の載置部１５1〜１５4上の基板を移載機構に移載し、搬出の際には、移載機構上に乗せた基板３０の下方に第一〜第四の載置部１５1〜１５4の先端を挿入し、移載機構を降下させて基板３０を第一〜第四の載置部１５1〜１５4上に移載することができる。
また、第一〜第四の駆動軸１１1〜１１4と、Ａ回転部材１３と、Ｂ回転部材１４とを上下移動可能に構成しておき、搬入の際には、第一〜第四の載置部１５1〜１５4の先端に乗せた基板３０を移載機構の上方に位置させ、第一〜第四の載置部１５1〜１５4を降下させて第一〜第四の載置部１５1〜１５4上の基板３０を移載機構に移載し、搬出の際には、移載機構上に乗せた基板３０の下方に第一〜第四の載置部１５1〜１５4の先端を挿入し、第一〜第四の載置部１５1〜１５4を上昇させて載置部１５1〜１５4上に基板３０を移載することができる。
なお、各アーム１６1〜１６4、２１1〜２１4、２２1〜２２4、２３1〜２３4、２４1〜２４4は異なる高さに配置されており、第一〜第四の規制部材２５1〜２５4や第一〜第四の載置部１５1〜１５4と異なる高さのアーム１６1〜１６4、２１1〜２１4、２２1〜２２4、２３1〜２３4、２４1〜２４4は、鉛直に配置された連結管２７1〜２７4によって、第一〜第四の規制部材２５1〜２５4や第一〜第四の載置部１５1〜１５4に接続されている。
各アーム１６1〜１６4、２１1〜２１4、２２1〜２２4、２３1〜２３4、２４1〜２４4と各載置部１５1〜１５4は、高さが異なるため、第一〜第四の載置部１５1〜１５4が水平面内で移動する際に、各アーム１６1〜１６4、２１1〜２１4、２２1〜２２4、２３1〜２３4、２４1〜２４4と各載置部１５1〜１５4が衝突しないようになっている。
各腕部２０1〜２０4の二個の平行四辺形Ｏｓ1ｒ1ａ1、Ｏｓ2ｒ2ａ2、Ｏｓ3ｒ3ａ3、Ｏｓ4ｒ4ａ4、ｃ1ｈ1ｉ1ｄ1、ｃ2ｈ2ｉ2ｄ2、ｃ3ｈ3ｉ3ｄ3、ｃ4ｈ4ｉ4ｄ4の辺のうち、四辺Ｏｓ1〜Ｏｓ4、ａ1ｒ1〜ａ4ｒ4、ｃ1ｄ1〜ｃ4ｄ4、ｈ1ｉ1〜ｈ4ｉ4の長さが等しく、(Ｏｓ＝ａｒ＝ｃｄ＝ｈｉ)、一辺(ａ1ｒ1〜ａ4ｒ4、ｃ1ｄ1〜ｃ4ｄ4)を共通にしている(他の四辺Ｏａ1〜Ｏａ4、ｓ1ｒ1〜ｓ4ｒ4、ｃ1ｈ1〜ｃ4ｈ4、ｄ1ｉ1〜ｄ4ｉ4の長さも等しい(Ｏａ＝ｓｒ＝ｃｈ＝ｄｉ))。
この場合、主回転軸線Ｏを中心に、第一、第三の副回転軸線ｓ1、ｓ3を主回転軸線Ｏの片側に配置し、第二、第四の副回転軸線ｓ2、ｓ4を反対側に配置し、主回転軸線Ｏと、第一〜第四の副回転軸線ｓ1〜ｓ4とを同一の鉛直面内に位置させると、第一〜第四の載置部１５1〜１５4上の回動軸線ｈ1〜ｈ4、ｉ1〜ｉ4もその鉛直面内に位置する。
第一、第三の規制部材２５1、２５3は、その鉛直面の片側に位置し、第二、第四の規制部材２５2、２５4は反対側に位置しており、第一〜第四の載置部１５1〜１５4には、鉛直面の、第一〜第四の規制部材２５1〜２５4が配置された側に伸びた第一〜第四の支持アーム１８1〜１８4が設けられており、第一〜第四の支持アーム１８1〜１８4の先端には基板３０を配置できるように構成されている。
主回転軸線Ｏと、第一〜第四の副回転軸線ｓ1〜ｓ4とが同一の鉛直面内に位置する状態では、第一〜第四の載置部１５1〜１５4上に配置された基板３０は、その鉛直面と交差せず、互いに離間して位置するようにされている。
また、第一の載置部１５1と第二の載置部１５2は、主回転軸線Ｏを通り、前記鉛直面に対して垂直な平面に対して同じ側に位置しており、第一、第二の載置部１５1、１５2が同一方向に同距離直線移動すると、第一、第二の載置部１５1、１５2が同一の処理室３〜８内に挿入又は抜去されるように構成されている。
同様に、第三の副回転軸線ｓ3と、第四の副回転軸線ｓ4が、主回転軸線Ｏを中心にして反対側にあり、第三の副回転軸線ｓ3と、第四の副回転軸線ｓ4と、主回転軸線Ｏとが同一平面上にある場合、第三の載置部１５3と第四の載置部１５4は、その平面に対して互いに反対側に位置しており、且つ、主回転軸線Ｏを通り、その平面とは垂直な平面に対して同じ側に位置している。
この例では、第一、第三の副回転軸線ｓ1、ｓ3は一致しており、第二、第四の副回転軸線ｓ2、ｓ4も一致しているが、第一、第二の載置部１５1、１５2は、主回転軸線Ｏを通り、第一、第三の副回転軸線ｓ1、ｓ3と主回転軸線Ｏと第二、第四の副回転軸線ｓ2、ｓ4を通る平面に対して垂直な平面を中央にして、第三、第四の載置部１５3、１５4とは、反対側に位置している。
従って、一台の処理室３〜８内に第一の載置部１５1と第二の載置部１５2、又は、第三の載置部１５3と第四の載置部１５4を搬入すると、一回の搬入動作で二枚の基板３０を処理室３〜８内に搬入又は搬出することができる。
なお、第一の補助能動アーム２２1と第三の補助能動アーム２２3が成す角度と、第二の補助能動アーム２２2と第四の補助能動アーム２２4が成す角度は等しくされており、従って、第一、第二の補助能動アーム２２1、２２2が成す角度と、第三、第四の補助能動アーム２２3、２２4が成す角度は等しい。
また、上記実施例では、各回転軸線Ｏ、ｓ1〜ｓ4間をアーム１６1〜１６4、２１1〜２１4、２２1〜２２4、２３1〜２３4、２４1〜２４4によって、距離が変化しないように連結したが、アームではなく、ギヤで連結することができる。また、ベルトによって回転力を伝達させてもよい。
上記実施例では、第一〜第四の腕部２０1〜２０4及び第一〜第四の載置部１５1〜１５4を有する基板搬送ロボット１０について説明したが、本発明の基板搬送ロボットは、第三、第四の載置部１５3、１５4を設けず、副回転軸線が別の回転部材(Ａ回転部材とＢ回転部材)に設けられた第一、第二の腕部２０1、２０2、及び第一、第二の載置部１５1、１５2によって基板搬送ロボットを構成してもよい。
また、第二、第四の載置部１５2、１５4を設けず、副回転軸線が同じ回転部材(Ａ回転部材又はＢ回転部材)に設けられている第一、第三の腕部２０1、２０3、及び第一、第三の載置部１５1、１５3によって基板搬送ロボットを構成してもよい。この場合、第一、第三の副回転軸線ｓ1、ｓ3は離間した位置に配置してもよいし、一致した位置に配置してもよい。

Claims (16)

  1. それぞれ同一の主回転軸線を中心軸線とし、前記主回転軸線を中心に回転するように配置された第一、第二の駆動軸と、Ａ回転部材と、Ｂ回転部材と、
    それぞれ前記主回転軸線を中心に回転する第一、第二の腕部と、
    前記第一、第二の腕部に設けられ、前記第一、第二の腕部の伸縮によって直線移動する第一、第二の載置部とが設けられた基板搬送ロボットであって、
    前記主回転軸線からそれぞれ離間した位置には、前記Ａ回転部材の回転によって前記主回転軸線を中心に回転移動される第一の副回転軸線と、前記Ｂ回転部材の回転によって前記主回転軸線を中心に回転移動される第二の副回転軸線とが設けられ、
    前記第一、第二の腕部には、第一、第二の主能動アームと、第一、第二の補助能動アームと、第一、第二の主従動アームとがそれぞれ設けられ、
    前記第一、第二の主能動アームは、前記第一、第二の駆動軸にそれぞれ固定され、
    前記第一、第二の補助能動アームは、前記第一、第二の副回転軸線を中心にそれぞれ回動可能に配置され、
    前記第一、第二の載置部は、前記第一、第二の主従動アームを介して前記第一、第二の主能動アームにそれぞれ取り付けられ、
    前記第一、第二の載置部は、前記第一、第二の駆動軸の前記主回転軸線を中心とする回転によってそれぞれ直線移動するように構成され、
    前記第一、第二の主能動アームは、規制部材を介して前記第一、第二の補助能動アームにそれぞれ接続され、前記第一、第二の回転軸の回転に従ってそれぞれ回転し、前記第一、第二の載置部が前記主回転軸線廻りにそれぞれ回転移動するように構成された基板搬送ロボット。
  2. 前記第一の主能動アームと前記第一の補助能動アームは平行に配置され、
    前記第二の主能動アームと前記第二の補助能動アームは平行に配置され、
    前記第一、第二の主能動アームの先端と前記第一、第二の補助能動アームの先端はそれぞれ第一、第二の規制部材に回動可能に取り付けられ、
    前記第一の主従動アームには第一の補助従動アームが平行に配置され、
    前記第二の主従動アームには第二の補助従動アームが平行に配置され、
    前記第一、前記第二の主従動アームと前記第一、第二の補助従動アームの根本は前記第一、第二の規制部材に回動可能に取り付けられ、前記第一、前記第四の主従動アームと前記第一〜第四の補助従動アームの先端は、前記第一〜第四の載置部に回動可能に取り付けられた請求項１記載の基板搬送ロボット。
  3. 前記第一、第二の主能動アームはそれぞれ異なる高さに配置され、
    前記第一、第二の主従動アームはそれぞれ異なる高さに配置され、
    前記第一、第二の載置部はそれぞれ異なる高さに配置され、
    前記第一、第二の載置部は、それぞれ衝突せずに、前記主回転軸線回りに回転可能に構成された請求項１記載の基板搬送ロボット。
  4. 真空排気可能な搬送室と、
    前記搬送室に接続され、処理対象物を真空雰囲気中で処理する処理室とを有する真空処理装置であって、
    前記搬送室内には請求項１記載の基板搬送ロボットが配置された真空処理装置。
  5. それぞれ同一の主回転軸線を中心軸線とし、前記主回転軸線を中心に回転するように配置された第一、第三の駆動軸と、Ａ回転部材と
    それぞれ前記主回転軸線を中心に回転する第一、第三の腕部と、
    前記第一、第三の腕部に設けられ、前記第一、第三の腕部の伸縮によって直線移動する第一、第三の載置部とが設けられた基板搬送ロボットであって、
    前記主回転軸線からそれぞれ離間した位置には、前記Ａ回転部材の回転によって前記主回転軸線を中心に回転移動される第一、第三の副回転軸線が設けられ、
    前記第一、第三の腕部には、第一、第三の主能動アームと、第一、第三の補助能動アームと、第一、第三の主従動アームとがそれぞれ設けられ、
    前記第一、第三の主能動アームは、前記第一、第三の駆動軸にそれぞれ固定され、
    前記第一、第三の補助能動アームは、前記第一、第三の副回転軸線を中心にそれぞれ回動可能に配置され、
    前記第一、第三の載置部は、前記第一、第三の主従動アームを介して前記第一、第三の主能動アームにそれぞれ取り付けられ、
    前記第一、第三の載置部は、前記第一、第三の駆動軸の前記主回転軸線を中心とする回転によってそれぞれ直線移動するように構成され、
    前記第一、第三の主能動アームは、規制部材を介して前記第一、第三の補助能動アームにそれぞれ接続され、前記第一、第三の回転軸の回転に従ってそれぞれ回転し、前記第一、第三の載置部が前記主回転軸線廻りにそれぞれ回転移動するように構成された基板搬送ロボット。
  6. 前記第一の主能動アームと前記第一の補助能動アームは平行に配置され、
    前記第三の主能動アームと前記第三の補助能動アームは平行に配置され、
    前記第一、第三の主能動アームの先端と前記第一、第三の補助能動アームの先端はそれぞれ第一、第三の規制部材に回動可能に取り付けられ、
    前記第一の主従動アームには第一の補助従動アームが平行に配置され、
    前記第三の主従動アームには第三の補助従動アームが平行に配置され、
    前記第一、前記第三の主従動アームと前記第一、第三の補助従動アームの根本は前記第一、第三の規制部材に回動可能に取り付けられ、前記第一、前記第四の主従動アームと前記第一〜第四の補助従動アームの先端は、前記第一〜第四の載置部に回動可能に取り付けられた請求項５記載の基板搬送ロボット。
  7. 前記第一、第三の主能動アームはそれぞれ異なる高さに配置され、
    前記第一、第三の主従動アームはそれぞれ異なる高さに配置され、
    前記第一、第三の載置部同士はそれぞれ異なる高さに配置され、
    前記第一、第三の載置部は、それぞれ衝突せずに、前記主回転軸線回りに回転可能に構成された請求項５記載の基板搬送ロボット。
  8. 前記第一、第三の副回転軸線は、離間した位置に配置された請求項５記載の基板搬送ロボット。
  9. 前記第一、第三の副回転軸線は、一致した位置に配置された請求項５記載の基板搬送ロボット。
  10. 真空排気可能な搬送室と、
    前記搬送室に接続され、処理対象物を真空雰囲気中で処理する処理室とを有する真空処理装置であって、
    前記搬送室内には請求項５記載の基板搬送ロボットが配置された真空処理装置。
  11. それぞれ同一の主回転軸線を中心軸線とし、前記主回転軸線を中心に回転するように配置された第一〜第四の駆動軸と、Ａ回転部材と、Ｂ回転部材と、
    それぞれ前記主回転軸線を中心に回転する第一〜第四の腕部と、
    前記第一〜第四の腕部に設けられ、前記第一〜第四の腕部の伸縮によって直線移動する第一〜第四の載置部とが設けられた基板搬送ロボットであって、
    前記主回転軸線からそれぞれ離間した位置には、前記Ａ回転部材の回転によって前記主回転軸線を中心に回転移動される第一、第三の副回転軸線と、前記Ｂ回転部材の回転によって前記主回転軸線を中心に回転移動される第二、第四の副回転軸線とが設けられ、
    前記第一〜第四の腕部には、第一〜第四の主能動アームと、第一〜第四の補助能動アームと、第一〜第四の主従動アームとがそれぞれ設けられ、
    前記第一〜第四の主能動アームは、前記第一〜第四の駆動軸にそれぞれ固定され、
    前記第一、第三の補助能動アームは前記第一、第三の副回転軸線を中心にそれぞれ回動可能に配置され、
    前記第二、第四の補助能動アームは前記第二、第四の副回転軸線を中心にそれぞれ回動可能に配置され、
    前記第一〜第四の載置部は、前記第一〜第四の主従動アームを介して前記第一〜第四の主能動アームにそれぞれ取り付けられ、
    前記第一〜第四の載置部は、前記第一〜第四の駆動軸の前記主回転軸線を中心とする回転によってそれぞれ直線移動するように構成され、
    前記第一〜第四の主能動アームは、規制部材を介して前記第一〜第四の補助能動アームにそれぞれ接続され、前記第一〜第四の回転軸の回転に従ってそれぞれ回転し、前記第一〜第四の載置部が前記主回転軸線廻りにそれぞれ回転移動するように構成された基板搬送ロボット。
  12. 前記第一の主能動アームと前記第一の補助能動アームは平行に配置され、
    前記第二の主能動アームと前記第二の補助能動アームは平行に配置され、
    前記第三の主能動アームと前記第三の補助能動アームは平行に配置され、
    前記第四の主能動アームと前記第四の補助能動アームは平行に配置され、
    前記第一〜第四の主能動アームの先端と前記第一〜第四の補助能動アームの先端はそれぞれ第一〜第四の規制部材に回動可能に取り付けられ、
    前記第一の主従動アームには第一の補助従動アームが平行に配置され、
    前記第二の主従動アームには第二の補助従動アームが平行に配置され、
    前記第三の主従動アームには第三の補助従動アームが平行に配置され、
    前記第四の主従動アームには第四の補助従動アームが平行に配置され、
    前記第一〜前記第四の主従動アームと前記第一〜第四の補助従動アームの根本は前記第一〜第四の規制部材に回動可能に取り付けられ、前記第一〜前記第四の主従動アームと前記第一〜第四の補助従動アームの先端は、前記第一〜第四の載置部に回動可能に取り付けられた請求項１０記載の基板搬送ロボット。
  13. 前記第一〜第四の主能動アームはそれぞれ異なる高さに配置され、
    前記第一〜第四の主従動アームはそれぞれ異なる高さに配置され、
    前記第一〜第四の載置部同士はそれぞれ異なる高さに配置され、
    前記第一〜第四の載置部は、それぞれ衝突せずに、前記主回転軸線回りに回転可能に構成された請求項１０記載の基板搬送ロボット。
  14. 前記第一の副回転軸線と前記第三の副回転軸線は離間した位置に配置され、
    前記第二の副回転軸線と前記第二の副回転軸線は離間した位置に配置された請求項１０記載の基板搬送ロボット。
  15. 前記第一の副回転軸線と前記第三の副回転軸線は一致した位置に配置され、
    前記第二の副回転軸線と前記第二の副回転軸線は一致した位置に配置された請求項１０記載の基板搬送ロボット。
  16. 真空排気可能な搬送室と、
    前記搬送室に接続され、処理対象物を真空雰囲気中で処理する処理室とを有する真空処理装置であって、
    前記搬送室内には請求項１０記載の基板搬送ロボットが配置された真空処理装置。
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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE496738T1 (de) * 2008-01-23 2011-02-15 R & W Antriebselemente Gmbh Ausgleichselement für eine positioniereinrichtung
CN102092045B (zh) * 2009-12-15 2012-09-05 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种基片处理系统及其机械手臂装置
JP5286451B2 (ja) * 2010-08-24 2013-09-11 株式会社アルバック 搬送装置
CN102569140A (zh) * 2010-12-17 2012-07-11 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 真空机械手和晶片处理系统
JP5871550B2 (ja) * 2011-10-07 2016-03-01 株式会社アルバック 搬送ロボット及び真空装置
JP2013084823A (ja) * 2011-10-11 2013-05-09 Ulvac Japan Ltd 搬送ロボット及び真空装置
US8814239B2 (en) * 2012-02-15 2014-08-26 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Techniques for handling media arrays
US9190306B2 (en) * 2012-11-30 2015-11-17 Lam Research Corporation Dual arm vacuum robot
JP6336467B2 (ja) * 2012-11-30 2018-06-06 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 不等長の前腕部を備えた多軸ロボット装置、電子デバイス製造システム、及び、電子デバイス製造において基板を搬送するための方法
KR101506188B1 (ko) * 2013-08-30 2015-03-26 주식회사 로보스타 멀티플 암을 구비한 반송 로봇
CN104617028B (zh) * 2013-11-04 2017-09-15 沈阳芯源微电子设备有限公司 一种方形基片和圆形基片兼容的定位结构
WO2016035837A1 (ja) * 2014-09-03 2016-03-10 株式会社アルバック 搬送装置及び真空装置
US9889567B2 (en) * 2015-04-24 2018-02-13 Applied Materials, Inc. Wafer swapper
JP6649768B2 (ja) * 2015-12-28 2020-02-19 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
CN107327551B (zh) * 2017-07-13 2024-04-30 四川昆仑石油设备制造有限公司 一种基于平行四边形原理的联动器及移送装置
NL2020044B1 (en) * 2017-12-08 2019-06-19 Vdl Enabling Tech Group B V A planar multi-joint robot arm system
CN109552881A (zh) * 2018-12-04 2019-04-02 武汉华星光电技术有限公司 一种显示面板真空吸取系统
KR102240925B1 (ko) * 2019-07-17 2021-04-15 세메스 주식회사 기판 처리 설비 및 기판 반송 장치
CN116238895B (zh) * 2022-12-12 2023-11-07 常州市大成真空技术有限公司 一种旋转避位装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63252439A (ja) * 1986-12-19 1988-10-19 アプライド　マテリアルズインコーポレーテッド 多チャンバの統合処理システム
JPH10249757A (ja) * 1997-03-18 1998-09-22 Komatsu Ltd 搬送用ロボット
JP2000323554A (ja) * 1999-05-14 2000-11-24 Tokyo Electron Ltd 処理装置
JP2002362738A (ja) * 2001-06-04 2002-12-18 Jel:Kk 搬送アーム
JP2006120659A (ja) * 2004-10-19 2006-05-11 Jel:Kk 基板搬送装置
JP2007015023A (ja) * 2005-07-05 2007-01-25 Daihen Corp リンク装置および搬送ロボット

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07223180A (ja) * 1994-02-10 1995-08-22 Tescon:Kk 水平多関節ロボット
TW365568B (en) * 1996-03-22 1999-08-01 Komatsu Mfg Co Ltd Robotic machine for transporting articles
JPH11188671A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Daihen Corp ２アーム方式の搬送用ロボット装置
US6132165A (en) * 1998-02-23 2000-10-17 Applied Materials, Inc. Single drive, dual plane robot
JP3519595B2 (ja) * 1998-03-31 2004-04-19 松下電器産業株式会社 ウエハ搬送装置
US6267549B1 (en) * 1998-06-02 2001-07-31 Applied Materials, Inc. Dual independent robot blades with minimal offset
JP2002166376A (ja) * 2000-11-30 2002-06-11 Hirata Corp 基板搬送用ロボット
JP3929364B2 (ja) * 2002-06-26 2007-06-13 エスペック株式会社 基板支持及び出し入れ装置
JP4411025B2 (ja) * 2003-07-11 2010-02-10 株式会社ダイヘン ２アーム式搬送ロボット
US7837425B2 (en) * 2003-07-16 2010-11-23 Tokyo Electron Limited Transportation apparatus and drive mechanism
JP4732716B2 (ja) * 2004-06-29 2011-07-27 株式会社アルバック 搬送装置及びその制御方法並びに真空処理装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63252439A (ja) * 1986-12-19 1988-10-19 アプライド　マテリアルズインコーポレーテッド 多チャンバの統合処理システム
JPH10249757A (ja) * 1997-03-18 1998-09-22 Komatsu Ltd 搬送用ロボット
JP2000323554A (ja) * 1999-05-14 2000-11-24 Tokyo Electron Ltd 処理装置
JP2002362738A (ja) * 2001-06-04 2002-12-18 Jel:Kk 搬送アーム
JP2006120659A (ja) * 2004-10-19 2006-05-11 Jel:Kk 基板搬送装置
JP2007015023A (ja) * 2005-07-05 2007-01-25 Daihen Corp リンク装置および搬送ロボット

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KR20100052525A (ko) 2010-05-19
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TWI394647B (zh) 2013-05-01

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