KR20100052525A - 기판 반송 로봇, 진공 처리 장치 - Google Patents

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KR20100052525A
KR20100052525A KR1020107005257A KR20107005257A KR20100052525A KR 20100052525 A KR20100052525 A KR 20100052525A KR 1020107005257 A KR1020107005257 A KR 1020107005257A KR 20107005257 A KR20107005257 A KR 20107005257A KR 20100052525 A KR20100052525 A KR 20100052525A
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겐지 아고
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가부시키가이샤 알박
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Abstract

탑재 위치가 다양한 처리실과의 기판 수수를 단시간에 실시한다. A 회전 부재 (13) 나 B 회전 부재 (14) 가 정지된 상태에서, 제 1 ∼ 제 ４ 구동축 (111 ∼ 114) 이 회전하면, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 는, 그 1 변의 연장선 상을 직선 이동한다. 제 1 구동축 (111) 과 A 회전 부재 (13), 제 2 구동축 (112) 과 B 회전 부재 (14), 제 ３ 구동축 (113) 과 A 회전 부재 (13), 제 ４ 구동축 (114) 과 B 회전 부재 (14) 가 동일 각도 동일 방향으로 회전하면, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 는 회전 이동된다. 직선 이동과 회전 이동을 조합하면, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 를 원하는 장소로 이동시킬 수 있다.

Description

기판 반송 로봇, 진공 처리 장치{SUBSTRATE TRANSFER ROBOT AND VACUUM PROCESSING APPARATUS}
본 발명은, 기판 반송 로봇의 기술 분야에 관한 것으로, 특히, 다수 장의 기판을 반송할 수 있는 기판 반송 로봇에 관한 것이다.
종래부터, 반도체 제조 장치에 있어서, 각종 가공 처리를 실시하는 프로세스 챔버에 기판을 출입시키는 기판 반송 로봇이 사용되고 있다.
예를 들어 특허 문헌 1 에 기재된 기판 반송 로봇에서는, 2 개의 아암부가 각각 상이한 구동축에 장착되고, 각 구동축을 회전시키면 독립적으로 신축 이동하도록 구성되어 있고, 또, 2 개의 아암부는 동일한 회전축에 장착되고, 이 회전축이 회전하면, 함께 회전 이동하도록 구성되어 있다.
이와 같은 기판 반송 로봇은, 3 축으로 2 개의 아암부를 효율적으로 동작시키고, 간단한 구성으로 복수 장의 기판을 반송할 수 있게 되어 있다.
일본공개특허공보2006-13371호
그러나 상기와 같은 구성에서는, 2 개의 아암부가 동일한 회전축에 고정되어 있기 때문에, 아암부 사이의 각도가 고정되어 있고, 따라서, 2 개의 아암부에 탑재 된 기판 간의 거리를 바꿀 수가 없다.
기판 반송 로봇이 처리실에 기판을 반출입할 때, 처리실 내의 탑재 위치가, 기판 반송 로봇 상에 배치된 기판의 간격과 상이한 경우, 기판을 1 장씩밖에 수수(授受) 할 수 없어, 반송 시간의 지연을 초래하고 있었다.
본 발명은, 이와 같은 종래 기술의 과제를 해결하기 위해서 창작된 것으로서, 적은 축 수로, 복수의 기판을 단시간에 수수할 수 있는 기판 반송 로봇을 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 각각 동일한 주회전 축선을 중심 축선으로 하고, 상기 주회전 축선을 중심으로 회전하도록 배치된 제 1, 제 2 구동축과, A 회전 부재와, B 회전 부재와, 각각 상기 주회전 축선을 중심으로 회전하는 제 1, 제 2 아암부와, 상기 제 1, 제 2 아암부에 형성되고, 상기 제 1, 제 2 아암부의 신축에 의해 직선 이동하는 제 1, 제 2 탑재부가 형성된 기판 반송 로봇으로서, 상기 주회전 축선으로부터 각각 이간된 위치에는, 상기 A 회전 부재의 회전에 의해 상기 주회전 축선을 중심으로 회전 이동되는 제 1 부회전 축선과, 상기 B 회전 부재의 회전에 의해 상기 주회전 축선을 중심으로 회전 이동되는 제 2 부회전 축선이 형성되고, 상기 제 1, 제 2 아암부에는, 제 1, 제 2 주능동 아암과, 제 1, 제 2 보조능동 아암과, 제 1, 제 2 주종동 아암이 각각 형성되고, 상기 제 1, 제 2 주능동 아암은, 상기 제 1, 제 2 구동축에 각각 고정되고, 상기 제 1, 제 2 보조능동 아암은, 상기 제 1, 제 2 부회전 축선을 중심으로 각각 회전 운동 가능하게 배치되고, 상기 제 1, 제 2 탑재부는, 상기 제 1, 제 2 주종동 아암을 개재하여 상기 제 1, 제 2 주능동 아암에 각각 장착되고, 상기 제 1, 제 2 탑재부는, 상기 제 1, 제 2 구동축의 상기 주회전 축선을 중심으로 하는 회전에 의해 각각 직선 이동하도록 구성되고, 상기 제 1, 제 2 주능동 아암은, 규제 부재를 개재하여 상기 제 1, 제 2 보조능동 아암에 각각 접속되고, 상기 제 1, 제 2 회전축의 회전에 따라 각각 회전하고, 상기 제 1, 제 2 탑재부가 상기 주회전 축선 둘레로 각각 회전 이동하도록 구성된 기판 반송 로봇이다.
또, 본 발명은, 상기 제 1 주능동 아암과 상기 제 1 보조능동 아암은 평행하게 배치되고, 상기 제 2 주능동 아암과 상기 제 2 보조능동 아암은 평행하게 배치되고, 상기 제 1, 제 2 주능동 아암의 선단 (先端) 과 상기 제 1, 제 2 보조능동 아암의 선단은 각각 제 1, 제 2 규제 부재에 회전 운동 가능하게 장착되고, 상기 제 1 주종동 아암에는 제 1 보조종동 아암이 평행하게 배치되고, 상기 제 2 주종동 아암에는 제 2 보조종동 아암이 평행하게 배치되고, 상기 제 1, 상기 제 2 주종동 아암과 상기 제 1, 제 2 보조종동 아암의 근본은 상기 제 1, 제 2 규제 부재에 회전 운동 가능하게 장착되고, 상기 제 1, 상기 제 ４ 주종동 아암과 상기 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암의 선단은, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부에 회전 운동 가능하게 장착된 기판 반송 로봇이다.
또, 본 발명은, 상기 제 1, 제 2 주능동 아암은 각각 상이한 높이로 배치되고, 상기 제 1, 제 2 주종동 아암은 각각 상이한 높이로 배치되고, 상기 제 1, 제 2 탑재부는 각각 상이한 높이로 배치되고, 상기 제 1, 제 2 탑재부는, 각각 충돌하지 않게, 상기 주회전 축선 둘레로 회전 가능하게 구성된 기판 반송 로봇이다.
또, 본 발명은, 각각 동일한 주회전 축선을 중심 축선으로 하고, 상기 주회전 축선을 중심으로 회전하도록 배치된 제 1, 제 ３ 구동축과, A 회전 부재와 각각 상기 주회전 축선을 중심으로 회전하는 제 1, 제 ３ 아암부와, 상기 제 1, 제 ３ 아암부에 형성되고, 상기 제 1, 제 ３ 아암부의 신축에 의해 직선 이동하는 제 1, 제 ３ 탑재부가 형성된 기판 반송 로봇으로서, 상기 주회전 축선으로부터 각각 이간된 위치에는, 상기 A 회전 부재의 회전에 의해 상기 주회전 축선을 중심으로 회전 이동되는 제 1, 제 ３ 부회전 축선이 형성되고, 상기 제 1, 제 ３ 아암부에는, 제 1, 제 ３ 주능동 아암과, 제 1, 제 ３ 보조능동 아암과, 제 1, 제 ３ 주종동 아암이 각각 형성되고, 상기 제 1, 제 ３ 주능동 아암은, 상기 제 1, 제 ３ 구동축에 각각 고정되고, 상기 제 1, 제 ３ 보조능동 아암은, 상기 제 1, 제 ３ 부회전 축선을 중심으로 각각 회전 운동 가능하게 배치되고, 상기 제 1, 제 ３ 탑재부는, 상기 제 1, 제 ３ 주종동 아암을 개재하여 상기 제 1, 제 ３ 주능동 아암에 각각 장착되고, 상기 제 1, 제 ３ 탑재부는, 상기 제 1, 제 ３ 구동축의 상기 주회전 축선을 중심으로 하는 회전에 의해 각각 직선 이동하도록 구성되고, 상기 제 1, 제 ３ 주능동 아암은, 규제 부재를 개재하여 상기 제 1, 제 ３ 보조능동 아암에 각각 접속되고, 상기 제 1, 제 ３ 회전축의 회전에 따라 각각 회전하고, 상기 제 1, 제 ３ 탑재부가 상기 주회전 축선 둘레로 각각 회전 이동하도록 구성된 기판 반송 로봇이다.
또, 본 발명은, 상기 제 1 주능동 아암과 상기 제 1 보조능동 아암은 평행하게 배치되고, 상기 제 ３ 주능동 아암과 상기 제 ３ 보조능동 아암은 평행하게 배치되고, 상기 제 1, 제 ３ 주능동 아암의 선단과 상기 제 1, 제 ３ 보조능동 아암의 선단은 각각 제 1, 제 ３ 규제 부재에 회전 운동 가능하게 장착되고, 상기 제 1 주종동 아암에는 제 1 보조종동 아암이 평행하게 배치되고, 상기 제 ３ 주종동 아암에는 제 ３ 보조종동 아암이 평행하게 배치되고, 상기 제 1, 상기 제 ３ 주종동 아암과 상기 제 1, 제 ３ 보조종동 아암의 근본은 상기 제 1, 제 ３ 규제 부재에 회전 운동 가능하게 장착되고, 상기 제 1, 상기 제 ４ 주종동 아암과 상기 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암의 선단은, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부에 회전 운동 가능하게 장착된 기판 반송 로봇이다.
또, 본 발명은, 상기 제 1, 제 ３ 주능동 아암은 각각 상이한 높이로 배치되고, 상기 제 1, 제 ３ 주종동 아암은 각각 상이한 높이로 배치되고, 상기 제 1, 제 ３ 탑재부끼리는 각각 상이한 높이로 배치되고, 상기 제 1, 제 ３ 탑재부는, 각각 충돌하지 않게, 상기 주회전 축선 둘레로 회전 가능하게 구성된 기판 반송 로봇이다.
또, 본 발명은, 상기 제 1, 제 ３ 부회전 축선은, 이간된 위치에 배치된 기판 반송 로봇이다.
또, 본 발명은, 상기 제 1, 제 ３ 부회전 축선은, 일치한 위치에 배치된 기판 반송 로봇이다.
또, 본 발명은, 각각 동일한 주회전 축선을 중심 축선으로 하고, 상기 주회전 축선을 중심으로 회전하도록 배치된 제 1 ∼ 제 ４ 구동축과, A 회전 부재와, B 회전 부재와, 각각 상기 주회전 축선을 중심으로 회전하는 제 1 ∼ 제 ４ 아암부와, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 아암부에 형성되고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 아암부의 신축에 의해 직선 이동하는 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부가 형성된 기판 반송 로봇으로서, 상기 주회전 축선으로부터 각각 이간된 위치에는, 상기 A 회전 부재의 회전에 의해 상기 주회전 축선을 중심으로 회전 이동되는 제 1, 제 ３ 부회전 축선과, 상기 B 회전 부재의 회전에 의해 상기 주회전 축선을 중심으로 회전 이동되는 제 2, 제 ４ 부회전 축선이 형성되고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 아암부에는, 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암과, 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암과, 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암이 각각 형성되고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암은, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 구동축에 각각 고정되고, 상기 제 1, 제 ３ 보조능동 아암은 상기 제 1, 제 ３ 부회전 축선을 중심으로 각각 회전 운동 가능하게 배치되고, 상기 제 2, 제 ４ 보조능동 아암은 상기 제 2, 제 ４ 부회전 축선을 중심으로 각각 회전 운동 가능하게 배치되고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부는, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암을 개재하여 상기 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암에 각각 장착되고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부는, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 구동축의 상기 주회전 축선을 중심으로 하는 회전에 의해 각각 직선 이동하도록 구성되고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암은, 규제 부재를 개재하여 상기 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암에 각각 접속되고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 회전축의 회전에 따라 각각 회전하고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부가 상기 주회전 축선 둘레로 각각 회전 이동하도록 구성된 기판 반송 로봇이다.
또, 본 발명은, 상기 제 1 주능동 아암과 상기 제 1 보조능동 아암은 평행하게 배치되고, 상기 제 2 주능동 아암과 상기 제 2 보조능동 아암은 평행하게 배치되고, 상기 제 ３ 주능동 아암과 상기 제 ３ 보조능동 아암은 평행하게 배치되고, 상기 제 ４ 주능동 아암과 상기 제 ４ 보조능동 아암은 평행하게 배치되고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암의 선단과 상기 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암의 선단은 각각 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재에 회전 운동 가능하게 장착되고, 상기 제 1 주종동 아암에는 제 1 보조종동 아암이 평행하게 배치되고, 상기 제 2 주종동 아암에는 제 2 보조종동 아암이 평행하게 배치되고, 상기 제 ３ 주종동 아암에는 제 ３ 보조종동 아암이 평행하게 배치되고, 상기 제 ４ 주종동 아암에는 제 ４ 보조종동 아암이 평행하게 배치되고, 상기 제 1 ∼ 상기 제 ４ 주종동 아암과 상기 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암의 근본은 상기 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재에 회전 운동 가능하게 장착되고, 상기 제 1 ∼ 상기 제 ４ 주종동 아암과 상기 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암의 선단은, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부에 회전 운동 가능하게 장착된 기판 반송 로봇이다.
또, 본 발명은, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암은 각각 상이한 높이로 배치되고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암은 각각 상이한 높이로 배치되고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부끼리는 각각 상이한 높이로 배치되고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부는, 각각 충돌하지 않게, 상기 주회전 축선 둘레로 회전 가능하게 구성된 기판 반송 로봇이다.
또, 본 발명은, 상기 제 1 부회전 축선과 상기 제 ３ 부회전 축선은 이간된 위치에 배치되고, 상기 제 2 부회전 축선과 상기 제 4 부회전 축선은 이간된 위치에 배치된 기판 반송 로봇이다.
또, 본 발명은, 상기 제 1 부회전 축선과 상기 제 ３ 부회전 축선은 일치된 위치에 배치되고, 상기 제 2 부회전 축선과 상기 제 4 부회전 축선은 일치된 위치에 배치된 기판 반송 로봇이다.
또, 본 발명은, 진공 배기 가능한 반송실과, 상기 반송실에 접속되고, 처리 대상물을 진공 분위기 중에서 처리하는 처리실을 갖는 진공 처리 장치로서, 상기 반송실내에는 상기 어느 것의 기판 반송 로봇이 배치된 진공 처리 장치이다.
기판 반송 로봇에 탑재된 제 1, 제 ３ 기판 간의 거리와, 제 2, 제 ４ 기판 간의 거리를 각각 변경할 수 있으므로, 탑재 위치가 다양한 처리실과의 기판 수수를 단시간에 실시할 수가 있다.
도 1 은 본 발명의 진공 처리 장치를 모식적으로 나타내는 평면도.
도 2 는 본 발명의 일례의 기판 반송 로봇의 평면도.
도 3 은 본 발명의 일례의 기판 반송 로봇의 측면도.
도 4 는 제 1, 제 2 아암부를 나타내는 평면도.
도 5 는 제 3, 제 ４ 아암부를 나타내는 평면도.
도 6 은 제 1 ∼ 제 ４ 아암부의 각 부재의 결합 상태를 나타내는 모식도.
[부호의 설명]
O……주회전 축선
s1 ∼ s4……제 1 ∼ 제 ４ 부회전 축선
1……진공 처리 장치
10……기판 반송 로봇
111 ∼ 114……제 1 ∼ 제 ４ 구동축
13……A 회전 부재
151 ∼ 154……제 1 ∼ 제 ４ 탑재부
201 ∼ 204……제 1 ∼ 제 ４ 아암부
211 ∼ 214……제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암
221 ∼ 224……제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암
231 ∼ 234……제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암
251 ∼ 254……제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재
도 1 의 부호 1 은 본 발명의 진공 처리 장치의 모식적인 평면도이다. 이 진공 처리 장치 (1) 는, 반송실 (2) 과, 반송실 (2) 에 각각 접속된 1 또는 복수의 처리실 (3 ∼ 8) 과, 반송실 (2) 내부에 배치된 본 발명의 반송 로봇 (10) 을 가지고 있다.
도 2 는 본 발명의 일례의 기판 반송 로봇 (10) 의 평면도이며, 도 3 은 측면도이다.
이 기판 반송 로봇 (10) 은, 제 1 ∼ 제 ４ 구동축 (111 ∼ 114) 과, A 회전 부재 (13) 와, B 회전 부재 (14) 를 가지고 있다.
제 1 ∼ 제 ４ 구동축 (111 ∼ 114) 과, A 회전 부재 (13) 와, B 회전 부재 (14) 는 연직 또한 동심으로 배치되어 있고, 각 축의 중심 축선인 동일한 주회전 축선 (O) 을 중심으로 각각 독립적으로 회전할 수 있도록 구성되어 있다.
또, 기판 반송 로봇 (10) 은, 제 1 ∼ 제 ４ 아암부 (201 ∼ 204) 와, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 를 가지고 있다.
제 1 ∼ 제 ４ 아암부 (201 ∼ 204) 는, 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암 (211 ∼ 214) 과 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암 (221 ∼ 224) 과 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암 (231 ∼ 234) 과 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암 (241 ∼ 244) 과 플레이트 형상의 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재 (251 ∼ 254) 를 각각 가지고 있다.
제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암 (211 ∼ 214) 의 근본 부분은, 제 1 ∼ 제 ４ 구동축 (111 ∼ 114) 에 각각 고정되어 있고, 제 1 ∼ 제 ４ 구동축 (111 ∼ 114) 이 회전하면, 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암 (211 ∼ 214) 이 제 1 ∼ 제 ４ 구동축 (111 ∼ 114) 의 회전 각도와 동일 각도 동일 방향으로 수평면내에서 회전하도록 구성되어 있다.
A 회전 부재 (13) 의 주회전 축선 (O) 으로부터 이간된 위치에는, 제 1, 제 ３ 부회전 축선 (s1, s3) 이 형성되어 있고, 동일하게, B 회전 부재 (14) 의, 주회전 축선 (O) 으로부터 이간된 위치에는, 제 2, 제 ４ 부회전 축선 (s2, s4) 이 형성되어 있다. 주회전 축선 (O) 과 제 1 ∼ 제 ４ 부회전 축선 (s1 ∼ s4) 은 연직으로 되어 있다.
A 회전 부재 (13) 중 주회전 축선 (O) 과 제 1, 제 ３ 부회전 축선 (s1, s3) 사이의 부분을 각각 제 1, 제 ３ 회전 아암 (161, 163) 으로 하고, B 회전 부재 (14) 의 주회전 축선 (O) 과 제 2, 제 ４ 부회전 축선 (s2, s4) 사이의 부분을 각각 제 2, 제 ４ 회전 아암 (162, 164) 으로 하면, 제 1 ∼ 제 ４ 회전 아암 (161 ∼ 164) 의 선단에는, 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암 (221 ∼ 224) 의 근본 부분이, 제 1 ∼ 제 ４ 부회전 축선 (s1 ∼ s4) 을 중심으로 하여 수평면내에서 회전 운동 가능하게 각각 장착되어 있다.
단, 이 실시예에서는, 제 1, 제 ３ 부회전 축선 (s1, s3) 은 일치하고, 동일하게, 제 2, 제 ４ 부회전 축선 (s2, s4) 도 일치하고, 제 1, 제 ３ 회전 아암 (161, 163) 과, 제 2, 제 ４ 회전 아암 (162, 164) 은, 각각 A, B 회전 부재 (13, 14) 의 동일 부분에서 구성되어 있고, 제 1, 제 ３ 보조능동 아암 (221, 223) 은 각각, 동일한 회전 축선 (제 1, 제 ３ 부회전 축선 (s1, s3)) 을 중심으로 회전 운동하고, 제 2, 제 ４ 보조능동 아암 (222, 224) 도 각각, 동일한 회전 축선 (제 2, 제 ４ 부회전 축선 (s2, s4)) 을 중심으로 회전 운동하도록 구성되어 있다.
단, 제 1, 제 ３ 부회전 축선 (s1, s3) 을 이간하여 형성하고, 제 2, 제 ４ 부회전 축선 (s2, s4) 을 이간하여 형성해도 된다. 예를 들어, 주회전 축선 (O) 을 중심으로 하여 제 1, 제 ３ 부회전 축선 (s1, s3) 을 180о 이간된 위치에 배치하고, 제 2, 제 ４ 부회전 축선 (s2, s4) 을 180о 이간된 위치에 배치할 수 있다.
제 1 주능동 아암 (211) 의 선단과 제 1 보조능동 아암 (221) 의 선단에는, 제 1 주능동 아암 (211) 과 제 1 보조능동 아암 (221) 이 회전 운동 가능하게 제 1 규제 부재 (251) 가 형성되어 있다.
이 제 1 규제 부재 (251) 에는, 제 1 주종동 아암 (231) 의 근본 부분과 제 1 보조종동 아암 (241) 의 근본 부분이 수평면내에서 회전 운동 가능하게 장착되어 있고 또한, 제 1 주종동 아암 (231) 의 선단 부분과 제 1 보조종동 아암 (241) 의 선단 부분에는, 제 1 주종동 아암 (231) 과 제 1 보조종동 아암 (241) 이 수평면내에서 회전 운동 가능하게 제 1 탑재부 (151) 가 장착되어 있다.
동일하게, 제 2, 제 ４ 주능동 아암 (212, 214) 의 선단과 제 2, 제 ４ 보조능동 아암 (222, 224) 의 선단에는, 제 2, 제 ４ 주능동 아암 (212, 214) 과 제 2, 제 ４ 보조능동 아암 (222, 224) 이 수평면내에서 회전 운동 가능하게, 제 2, 제 ４ 규제 부재 (252, 254) 가 각각 장착되어 있다.
또, 제 2, 제 ４ 규제 부재 (252, 254) 에는, 제 2, 제 ４ 주종동 아암 (232, 234) 의 근본 부분과 제 2, 제 ４ 보조종동 아암 (242, 244) 의 근본 부분이, 수평면내에서 회전 운동 가능하게 각각 장착되어 있고 또한, 제 2, 제 ４ 주종동 아암 (232, 234) 의 선단 부분과 제 2, 제 ４ 보조종동 아암 (242, 244) 의 선단 부분에는, 수평면내에서 회전 운동 가능하게 제 2, 제 ４ 탑재부 (152, 154) 가 각각 장착되어 있다.
본 실시예에서는, 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재 (251 ∼ 254) 상에서, 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암 (231 ∼ 234) 의 근본 부분은 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암 (211 ∼ 214) 의 선단 부분과 동일한 장소에 접속되고, 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암 (241 ∼ 244) 의 근본 부분은 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암 (221 ∼ 224) 의 선단 부분과 동일한 장소에 접속되어 있고, 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암 (211 ∼ 214) 과 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암 (231 ∼ 234) 은, 그들 중심 축선을 통과하는 동일한 회전 운동 축선 방향으로 각각 회전 운동하도록 구성되고, 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암 (221 ∼ 224) 과 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암 (241 ∼ 244) 도, 그들 중심 축선을 통과하는 동일한 회전 운동 축선 방향으로 각각 회전 운동하도록 구성되어 있다.
각 능동 및 종동 아암 (211 ∼ 214, 221 ∼ 224, 231 ∼ 234, 241 ∼ 244) 의 회전 운동 중심은 연직이며, 주회전 축선 (O) 과 제 1 ∼ 제 ４ 부회전 축선 (s1 ∼ s4) 에 대해 평행하게 되어 있고, 각 아암 (161 ∼ 164, 211 ∼ 214, 221 ∼ 224, 231 ∼ 234, 241 ∼ 244) 과 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 는, 각 아암 (161 ∼ 164, 211 ∼ 214, 221 ∼ 224, 231 ∼ 234, 241 ∼ 244) 이 회전 운동하면, 수평면내에서 이동할 수 있도록 구성되어 있고, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 에 각각 형성된, 후술하는 제 1 ∼ 제 ４ 지지 아암 (181 ∼ 184) 의 선단 위에 기판 (30) 을 배치하면, 기판 (30) 을 운반할 수 있다.
특히, 제 1 구동축 (111) 과 A 회전 부재 (13) 가 동일 각도 동일 방향으로 회전하면, 제 1 부회전 축선 (s1) 과, 제 1 아암부 (201) 내의 각 아암 (211, 221, 231, 241) 과, 제 1 규제 부재 (251) 와, 제 1 탑재부 (151) 가, 서로 상대적으로 정지 (靜止) 한 상태에서 함께 회전하고, 기판 (30) 은 주회전 축선 (O) 을 중심으로 회전 이동한다.
그러나, 이 때, A 회전 부재 (13) 에 형성된 제 ３ 부회전 축선 (s3) 도 동일 방향으로 동일 각도 회전하기 때문에, 제 ３ 아암부 (203) 상의 기판 (30) 도 이동하여, 제 1 탑재부 (151) 를 제 ３ 탑재부 (153) 상의 기판 (30) 과 독립적으로 이동시킬 수 없다. 제 2 탑재부 (152) 와 제 ４ 탑재부 (154) 사이도 동일하여, 독립적으로 이동시킬 수 없다.
한편, A 회전 부재 (13) 와 B 회전 부재 (14) 는 각각 독립적으로 회전할 수 있기 때문에, 제 1 탑재부 (151) 와 제 2 탑재부 (152) 를 독립적으로 이동시킬 수 있다. 제 ３ 탑재부 (153) 와 제 ４ 탑재부 (154) 사이도 동일하다.
본 발명에서는, 제 1, 제 2 아암부 (201, 202) 를 1 조로 하고, 제 3, 제 ４ 아암부 (203, 204) 를 다른 1 조로 하면, A 회전 부재 (13) 와 B 회전 부재 (14) 사이의 각도를 바꿈으로써, 제 1 탑재부 (151) 와 제 2 탑재부 (152) 사이, 또는 제 ３ 탑재부 (153) 와 제 ４ 탑재부 (154) 사이의 거리나 상대적인 위치를 변경할 수 있다.
도 4 는, 제 1, 제 2 아암부 (201, 202) 를 나타낸 평면도이며, 도 5 는, 제 3, 제 ４ 아암부 (203, 204) 를 나타낸 평면도이다. 도 6 은 각 부재의 결합 상태를 나타내는 모식도이다.
이 도 4 ∼ 도 6 에는, 회전 운동 축선 간의 거리나 주회전 축선 (O) 과 회전 운동 축선 간의 거리를 나타내는 부호가 기재되어 있다.
부호 (a1 ∼ a4) 는, 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암 (211 ∼ 214) 의 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재 (251 ∼ 254) 에 대한 회전 운동 축선이며, 부호 (r1 ∼ r4) 는 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암 (221 ∼ 224) 의 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재 (251 ∼ 254) 에 대한 회전 운동 축선이다.
각 회전 축선 (O, s1 ∼ s4) 과, 각 회전 운동 축선 (a1 ∼ a4, r1 ∼ r4) 은, 수직으로 배치되어 있다.
제 1 ∼ 제 ４ 아암부 (201 ∼ 204) 에 대해, 주회전 축선 (O) 과, 제 1 ∼ 제 ４ 부회전 축선 (s1 ∼ s4) 과, 회전 운동 축선 (a1 ∼ a4, r1 ∼ r4) 을 수평으로 연결하여 형성되는 사각형 (Os1r1a1, Os2r2a2, Os3r3a3, Os4r4a4) 은, 평행 사변형 (정방형, 직사각형, 마름모꼴을 포함한다) 이 되도록, 축선 간의 거리가 설정되어 있다.
또한, 이 실시예에서는, 주회전 축선 (O) 과 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암 (211 ∼ 214) 의 회전 운동 축선 (a1 ∼ a4) 간의 거리 (Oa1 ∼ Oa4) 는 동일한 거리 (Oa) 로 되어 있고, 따라서, 그것과 평행한, 제 1 ∼ 제 ４ 부회전 축선 (s1 ∼ s4) 과, 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암 (221 ∼ 224) 의 회전 운동 축선 (r1 ∼ r4) 간의 거리 (s1r1 ∼ s4r4) 도, 주회전 축선 (O) 과 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암 (211 ∼ 214) 의 회전 운동 축선 (a1 ∼ a4) 간의 거리 (Oa) 와 동일한 거리 (sr) 로 되어 있다 (Oa ＝ sr).
동일하게, 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암 (211 ∼ 214) 과 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암 (221 ∼ 224) 사이의 거리에 대해, 주회전 축선 (O) 과 제 1 ∼ 제 ４ 부회전 축선 (s1 ∼ s4) 의 거리 (Os1 ∼ Os4) 는 동일한 거리 (Os) 로 되어 있고 (상기 서술한 바와 같이, 이 실시예에서는, 제 1, 제 ３ 부회전 축선 (s1, s3) 은 일치하고, 제 2, 제 ４ 부회전 축선 (s2, s4) 도 일치한다), 따라서, 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암 (211 ∼ 214) 의 회전 운동 축선 (a1 ∼ a4) 과 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암 (221 ∼ 224) 의 회전 운동 축선 (r1 ∼ r4) 간의 거리 (a1r1 ∼ a4r4) 는, 그 거리 (Os) 와 동일한 거리 (ar) 로 되어 있다 (Os ＝ ar).
다음으로, 도 4 ∼ 6 중의 부호 (c1 ∼ c4) 는, 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암 (231 ∼ 234) 의 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재 (251 ∼ 254) 에 대한 회전 운동 축선을 나타내고 있고, 부호 (d1 ∼ d4) 는 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암 (241 ∼ 244) 의 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재 (251 ∼ 254) 에 대한 회전 운동 축선을 나타내고 있다 (상기 서술한 바와 같이, 이 실시예에서는, 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암 (231 ∼ 234) 의 회전 운동 축선 (c1 ∼ c4) 은 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암 (211 ∼ 214) 의 회전 운동 축선 (a1 ∼ a4) 과 일치하고, 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암 (241 ∼ 244) 의 회전 운동 축선 (d1 ∼ d4) 은 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암 (221 ∼ 224) 의 회전 운동 축선 (r1 ∼ r4) 과 일치한다).
또, 부호 (h1 ∼ h4) 는 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암 (231 ∼ 234) 의 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 에 대한 회전 운동 축선을 나타내고 있고, 부호 (i1 ∼ i4) 는 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암 (241 ∼ 244) 의 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 에 대한 회전 운동 축선을 나타내고 있다.
각 회전 운동 축선 (c1 ∼ c4, d1 ∼ d4, h1 ∼ h4, i1 ∼ i4) 은, 수직으로 배치되어 있고, 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암 (231 ∼ 234) 의 양 단의 회전 운동 축선 (c1 ∼ c4, h1 ∼ h4) 과 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암 (241 ∼ 244) 의 양 단의 회전 운동 축선 (d1 ∼ d4, i1 ∼ i4) 을 수평으로 연결하여 형성되는 사각형 (c1h1i1d1, c2h2i2d2, c3h3i3d3, c4h4i4d4) 이 평행 사변형 (정방형, 직사각형, 마름모꼴을 포함한다) 이 되도록, 회전 운동 축선 간의 거리가 설정되어 있다.
또, 이 실시예에서는, 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암 (231 ∼ 234) 에 대해, 그 양 단의 회전 운동 축선 (c1 ∼ c4, h1 ∼ h4) 간의 거리 (c1h1 ∼ c4h4) 는 동일한 거리 (ch) 로 되어 있고, 따라서, 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암 (241 ∼ 244) 에 대해, 그 양 단의 회전 운동 축선 (d1 ∼ d4, i1 ∼ i4) 간의 거리 (d1i1 ∼ d4i4) 는, 그 거리 (ch) 와 동일한 거리 (di) 로 되어 있다 (ch ＝ di).
동일하게, 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재 (251 ∼ 254) 와 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 에 대해, 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재 (251 ∼ 254) 상의 회전 운동 축선 (c1 ∼ c4, d1 ∼ d4) 간의 거리 (c1d1 ∼ c4d4) 는 동일한 거리 (cd) 로 되어 있고, 따라서, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 상의 회전 운동 축선 (h1 ∼ h4, i1 ∼ i4) 간의 거리 (h1i1 ∼ h4i4) 는, 그 거리 (cd) 와 동일한 거리 (hi) 로 되어 있다 (cd ＝ hi).
제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암 (211 ∼ 214) 을 포함하는 평행 사변형 (Os1r1a1, Os2r2a2, Os3r3a3, Os4r4a4) 중의 제 1 ∼ 제 ４ 회전 아암 (161 ∼ 164) 인 변 (Os1 ∼ Os4) 과, 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재 (251 ∼ 254) 상의 1 변 (a1r1 ∼ a4r4) 은 평행하며, 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암 (231 ∼ 234) 을 포함하는 평행 사변형 (c1h1i1d1, c2h2i2d2, c3h3i3d3, c4h4i4d4) 중의 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재 (251 ∼ 254) 상의 1 변 (c1d1 ∼ c4d4) 은, 1 변 (a1r1 ∼ a4r4) 과 평행하게 되어 있다 (여기서는, 변 (c1d1 ∼ c4d4) 와 (a1r1 ∼ a4r4) 는 길이가 일치하고, 거리 (cd) ＝ 거리 (ar) 이다).
A 회전 부재 (13) 나 B 회전 부재 (14) 가 정지하고, 따라서, 제 1 ∼ 제 ４ 회전 아암 (161 ∼ 164) 이 정지된 상태에서, 제 1 ∼ 제 ４ 구동축 (111 ∼ 114) 이 회전하면, 제 1 ∼ 제 ４ 아암부 (201 ∼ 204) 의 평행 사변형은 변형한다.
각 아암부 (201 ∼ 204) 의 2 개의 평행 사변형 (Os1r1a1, Os2r2a2, Os3r3a3, Os4r4a4, c1h1i1d1, c2h2i2d2, c3h3i3d3, c4h4i4d4) 중의, 서로 평행하는 4 변 (Os1 ∼ Os4, a1r1 ∼ a4r4, c1d1 ∼ c4d4, h1i1 ∼ h4i4) 의 길이는 동일하므로, 다른 4 변 (Oa1 ∼ Oa4, s1r1 ∼ s4r4, c1h1 ∼ c4h4, d1i1 ∼ d4i4) 의 길이가 동일하면, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 상의 회전 운동 축선을 수평으로 연결하는 1 변은, 그 변의 연장선 상을 직선 이동한다.
제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 는 직선 이동하는 변에 대해 고정되어 있기 때문에, A 회전 부재 (13) 나 B 회전 부재 (14) 가 정지된 상태에서, 제 1 ∼ 제 ４ 구동축 (111 ∼ 114) 이 회전하면, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 는, 그 1 변의 연장선 상을 직선 이동한다.
한편, 제 1 구동축 (111) 과 A 회전 부재 (13) 가 동일 각도 동일 방향으로 회전하는 경우에는, 제 1 아암부 (201) 와 제 1 탑재부 (151) 가, 주회전 축선 (O) 방향으로 동일 방향으로 동일 각도 회전하고, 동일하게, 제 2 구동축 (112) 과 B 회전 부재 (14), 제 ３ 구동축 (113) 과 A 회전 부재 (13), 제 ４ 구동축 (114) 과 B 회전 부재 (14) 가 동일 각도 동일 방향으로 회전하면, 제 2 ∼ 제 ４ 아암부 (202 ∼ 204) 와 제 2 ∼ 제 ４ 탑재부 (152 ∼ 154) 는, 주회전 축선 (O) 방향으로 동일 방향으로 동일 각도 회전하기 때문에, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 는 회전 이동된다.
따라서, 직선 이동과 회전 이동을 조합하면 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 를 원하는 장소로 이동시킬 수 있다.
특히, 제 1, 제 2 아암부 (201, 202) 를 1 조로 하고, 제 3, 제 ４ 아암부 (203, 204) 를 다른 1 조로 하면, A 회전 부재 (13) 와 B 회전 부재 (14) 사이의 각도를 바꿈으로써, 동일한 조의 탑재부 (151 ∼ 154) 간 (제 1 탑재부 (151) 와 제 2 탑재부 (152) 사이, 또는 제 ３ 탑재부 (153) 와 제 ４ 탑재부 (154) 사이) 의 간격이나 상대적인 위치를 변화시킬 수 있기 때문에, 동일한 처리실 (3 ∼ 8) 내에는 동일한 조의 탑재부 (151 ∼ 154) 를 삽입하도록 하면, 2 장의 기판 (30) 을 함께 반출입할 수 있다.
처리실 (3 ∼ 8) 내에 상하이동 가능한 이동 탑재 기구를 형성해 두고, 반입시에는, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 의 선단에 실은 기판 (30) 을 이동 탑재 기구의 상방에 위치시키고, 이동 탑재 기구를 상승시켜 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 상의 기판을 이동 탑재 기구에 이동 탑재하고, 반출시에는, 이동 탑재 기구 상에 실은 기판 (30) 의 하방에 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 의 선단을 삽입하고, 이동 탑재 기구를 강하시켜 기판 (30) 을 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 상에 이동 탑재할 수 있다.
또, 제 1 ∼ 제 ４ 구동축 (111 ∼ 114) 과, A 회전 부재 (13) 와, B 회전 부재 (14) 를 상하 이동 가능하게 구성해 두고, 반입시에는, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 의 선단에 실은 기판 (30) 을 이동 탑재 기구의 상방에 위치시키고, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 를 강하시켜 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 상의 기판 (30) 을 이동 탑재 기구에 이동 탑재하고, 반출시에는, 이동 탑재 기구 상에 실은 기판 (30) 의 하방에 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 의 선단을 삽입하고, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 를 상승시켜 탑재부 (151 ∼ 154) 상에 기판 (30) 을 이동 탑재할 수 있다.
또한, 각 아암 (161 ∼ 164, 211 ∼ 214, 221 ∼ 224, 231 ∼ 234, 241 ∼ 244) 은 상이한 높이로 배치되어 있고, 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재 (251 ∼ 254) 나 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 와 상이한 높이의 아암 (161 ∼ 164, 211 ∼ 214, 221 ∼ 224, 231 ∼ 234, 241 ∼ 244) 은, 연직으로 배치된 연결관 (271 ∼ 274) 에 의해, 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재 (251 ∼ 254) 나 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 에 접속되어 있다.
각 아암 (161 ∼ 164, 211 ∼ 214, 221 ∼ 224, 231 ∼ 234, 241 ∼ 244) 과 각 탑재부 (151 ∼ 154) 는, 높이가 상이하기 때문에, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 가 수평면내에서 이동할 때에, 각 아암 (161 ∼ 164, 211 ∼ 214, 221 ∼ 224, 231 ∼ 234, 241 ∼ 244) 과 각 탑재부 (151 ∼ 154) 가 충돌하지 않도록 되어 있다.
각 아암부 (201 ∼ 204) 의 2 개의 평행 사변형 (Os1r1a1, Os2r2a2, Os3r3a3, Os4r4a4, c1h1i1d1, c2h2i2d2, c3h3i3d3, c4h4i4d4) 의 변 중, 4 변 (Os1 ∼ Os4, a1r1 ∼ a4r4, c1d1 ∼ c4d4, h1i1 ∼ h4i4) 의 길이가 동일하고, (Os ＝ ar ＝ cd ＝ hi), 1 변 (a1r1 ∼ a4r4, c1d1 ∼ c4d4) 을 공통으로 하고 있다 (다른 4 변 (Oa1 ∼ Oa4, s1r1 ∼ s4r4, c1h1 ∼ c4h4, d1i1 ∼ d4i4) 의 길이도 동일하다 (Oa ＝ sr ＝ ch ＝ di)).
이 경우, 주회전 축선 (O) 을 중심으로, 제 1, 제 ３ 부회전 축선 (s1, s3) 을 주회전 축선 (O) 의 편측에 배치하고, 제 2, 제 ４ 부회전 축선 (s2, s4) 을 반대측에 배치하고, 주회전 축선 (O) 과 제 1 ∼ 제 ４ 부회전 축선 (s1 ∼ s4) 을 동일한 연직면 내에 위치시키면, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 상의 회전 운동 축선 (h1 ∼ h4, i1 ∼ i4) 도 그 연직면내에 위치한다.
제 1, 제 ３ 규제 부재 (251, 253) 는, 그 연직면의 편측에 위치하고, 제 2, 제 ４ 규제 부재 (252, 254) 는 반대측에 위치하고, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 에는, 연직면의, 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재 (251 ∼ 254) 가 배치된 측으로 신장된 제 1 ∼ 제 ４ 지지 아암 (181 ∼ 184) 이 형성되어 있고, 제 1 ∼ 제 ４ 지지 아암 (181 ∼ 184) 의 선단에는 기판 (30) 을 배치할 수 있도록 구성되어 있다.
주회전 축선 (O) 과, 제 1 ∼ 제 ４ 부회전 축선 (s1 ∼ s4) 이 동일한 연직면내에 위치하는 상태에서는, 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 상에 배치된 기판 (30) 은, 그 연직면과 교차하지 않고, 서로 이간되어 위치하도록 되어 있다.
또, 제 1 탑재부 (151) 와 제 2 탑재부 (152) 는, 주회전 축선 (O) 을 통과하여, 상기 연직면에 대해 수직인 평면에 대해 동일한 측에 위치하고, 제 1, 제 2 탑재부 (151, 152) 가 동일 방향으로 동일 거리 직선 이동하면, 제 1, 제 2 탑재부 (151, 152) 가 동일한 처리실 (3 ∼ 8) 내에 삽입 또는 발거 (拔去) 되도록 구성되어 있다.
동일하게, 제 ３ 부회전 축선 (s3) 과, 제 ４ 부회전 축선 (s4) 이, 주회전 축선 (O) 을 중심으로 하여 반대측에 있고, 제 ３ 부회전 축선 (s3) 과, 제 ４ 부회전 축선 (s4) 과, 주회전 축선 (O) 이 동일 평면 상에 있는 경우, 제 ３ 탑재부 (153) 와 제 ４ 탑재부 (154) 는, 그 평면에 대해 서로 반대측에 위치하고 있고, 또한, 주회전 축선 (O) 을 통과하여, 그 평면과는 수직인 평면에 대해 동일한 측에 위치하고 있다.
이 예에서는, 제 1, 제 ３ 부회전 축선 (s1, s3) 은 일치하고, 제 2, 제 ４ 부회전 축선 (s2, s4) 도 일치하고 있는데, 제 1, 제 2 탑재부 (151, 152) 는, 주회전 축선 (O) 을 통과하여, 제 1, 제 ３ 부회전 축선 (s1, s3) 과 주회전 축선 (O) 과 제 2, 제 ４ 부회전 축선 (s2, s4) 을 통과하는 평면에 대해 수직인 평면을 중앙으로 하고, 제 3, 제 ４ 탑재부 (153, 154) 는, 반대측에 위치하고 있다.
따라서, 1 대의 처리실 (3 ∼ 8) 내에 제 1 탑재부 (151) 와 제 2 탑재부 (152), 또는, 제 ３ 탑재부 (153) 와 제 ４ 탑재부 (154) 를 반입하면, 1 회의 반입 동작에 의해 2 장의 기판 (30) 을 처리실 (3 ∼ 8) 내에 반입 또는 반출할 수 있다.
또한, 제 1 보조능동 아암 (221) 과 제 ３ 보조능동 아암 (223) 이 이루는 각도와, 제 2 보조능동 아암 (222) 과 제 ４ 보조능동 아암 (224) 이 이루는 각도는 동일하게 되어 있고, 따라서, 제 1, 제 2 보조능동 아암 (221, 222) 이 이루는 각도와, 제 3, 제 ４ 보조능동 아암 (223, 224) 이 이루는 각도는 동일하다.
또, 상기 실시예에서는, 각 회전 축선 (O, s1 ∼ s4) 간을 아암 (161 ∼ 164, 211 ∼ 214, 221 ∼ 224, 231 ∼ 234, 241 ∼ 244) 에 의해, 거리가 변화하지 않게 연결했으나, 아암이 아니고, 기어로 연결할 수 있다. 또, 벨트에 의해 회전력을 전달시켜도 된다.
상기 실시예에서는, 제 1 ∼ 제 ４ 아암부 (201 ∼ 204) 및 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부 (151 ∼ 154) 를 갖는 기판 반송 로봇 (10) 에 대해 설명했는데, 본 발명의 기판 반송 로봇은, 제 3, 제 ４ 탑재부 (153, 154) 를 형성하지 않고, 부회전 축선이 다른 회전 부재 (A 회전 부재와, B 회전 부재) 에 형성된 제 1, 제 2 아암부 (201, 202), 및 제 1, 제 2 탑재부 (151, 152) 에 의해 기판 반송 로봇을 구성해도 된다.
또, 제 2, 제 ４ 탑재부 (152, 154) 를 형성하지 않고, 부회전 축선이 동일한 회전 부재 (A 회전 부재 또는 B 회전 부재) 에 형성되어 있는 제 1, 제 ３ 아암부 (201, 203), 및 제 1, 제 ３ 탑재부 (151, 153) 에 의해 기판 반송 로봇을 구성해도 된다. 이 경우, 제 1, 제 ３ 부회전 축선 (s1, s3) 은 이간된 위치에 배치해도 되고, 일치된 위치에 배치해도 된다.

Claims (6)

  1. 각각 동일한 주회전 축선을 중심 축선으로 하고, 상기 주회전 축선을 중심으로 회전하도록 배치된 제 1 ∼ 제 ４ 구동축과, A 회전 부재와, B 회전 부재와,
    각각 상기 주회전 축선을 중심으로 회전하는 제 1 ∼ 제 ４ 아암부와,
    상기 제 1 ∼ 제 ４ 아암부에 형성되고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 아암부의 신축에 의해 직선 이동하는 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부가 형성된 기판 반송 로봇으로서,
    상기 주회전 축선으로부터 각각 이간된 위치에는, 상기 A 회전 부재의 회전에 의해 상기 주회전 축선을 중심으로 회전 이동되는 제 1, 제 ３ 부회전 축선과, 상기 B 회전 부재의 회전에 의해 상기 주회전 축선을 중심으로 회전 이동되는 제 2, 제 ４ 부회전 축선이 형성되고,
    상기 제 1 ∼ 제 ４ 아암부에는, 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암과, 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암과, 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암이 각각 형성되고,
    상기 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암은, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 구동축에 각각 고정되고,
    상기 제 1, 제 ３ 보조능동 아암은 상기 제 1, 제 ３ 부회전 축선을 중심으로 각각 회전 운동 가능하게 배치되고,
    상기 제 2, 제 ４ 보조능동 아암은 상기 제 2, 제 ４ 부회전 축선을 중심으로 각각 회전 운동 가능하게 배치되고,
    상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부는, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암을 개재하여 상기 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암에 각각 장착되고,
    상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부는, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 구동축의 상기 주회전 축선을 중심으로 하는 회전에 의해 각각 직선 이동하도록 구성되고,
    상기 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암은, 규제 부재를 개재하여 상기 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암에 각각 접속되고, 제 1 ∼ 제 ４ 회전축의 회전에 따라 각각 회전하고, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부가 상기 주회전 축선의 둘레로 각각 회전 이동하도록 구성된, 기판 반송 로봇.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 주능동 아암과 상기 제 1 보조능동 아암은 평행하게 배치되고,
    상기 제 2 주능동 아암과 상기 제 2 보조능동 아암은 평행하게 배치되고,
    상기 제 ３ 주능동 아암과 상기 제 ３ 보조능동 아암은 평행하게 배치되고,
    상기 제 ４ 주능동 아암과 상기 제 ４ 보조능동 아암은 평행하게 배치되고,
    상기 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암의 선단과 상기 제 1 ∼ 제 ４ 보조능동 아암의 선단은 각각 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재에 회전 운동 가능하게 장착되고,
    상기 제 1 주종동 아암에는 제 1 보조종동 아암이 평행하게 배치되고,
    상기 제 2 주종동 아암에는 제 2 보조종동 아암이 평행하게 배치되고,
    상기 제 ３ 주종동 아암에는 제 ３ 보조종동 아암이 평행하게 배치되고,
    상기 제 ４ 주종동 아암에는 제 ４ 보조종동 아암이 평행하게 배치되고,
    상기 제 1 ∼ 상기 제 ４ 주종동 아암과 상기 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암의 근본은 상기 제 1 ∼ 제 ４ 규제 부재에 회전 운동 가능하게 장착되고, 상기 제 1 ∼ 상기 제 ４ 주종동 아암과 상기 제 1 ∼ 제 ４ 보조종동 아암의 선단은, 상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부에 회전 운동 가능하게 장착된, 기판 반송 로봇.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 ∼ 제 ４ 주능동 아암은 각각 상이한 높이로 배치되고,
    상기 제 1 ∼ 제 ４ 주종동 아암은 각각 상이한 높이로 배치되고,
    상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부끼리는 각각 상이한 높이로 배치되고,
    상기 제 1 ∼ 제 ４ 탑재부는, 각각 충돌하지 않게, 상기 주회전 축선의 둘레로 회전 가능하게 구성된, 기판 반송 로봇.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 부회전 축선과 상기 제 ３ 부회전 축선은 이간된 위치에 배치되고,
    상기 제 2 부회전 축선과 상기 제 ４ 부회전 축선은 이간된 위치에 배치된, 기판 반송 로봇.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 부회전 축선과 상기 제 ３ 부회전 축선은 일치된 위치에 배치되고,
    상기 제 2 부회전 축선과 상기 제 ４ 부회전 축선은 일치된 위치에 배치된, 기판 반송 로봇.
  6. 진공 배기 가능한 반송실과,
    상기 반송실에 접속되고, 처리 대상물을 진공 분위기 중에서 처리하는 처리실을 갖는 진공 처리 장치로서,
    상기 반송실내에는 제 1 항에 기재된 기판 반송 로봇이 배치된, 진공 처리 장치.
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