KR20130039303A - 반송 로봇 및 진공 장치 - Google Patents
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Abstract
[과제] 복수의 반송 기구를 갖는 반송 로봇에 있어서, 스루풋을 향상시킴과 함께, 반송 로봇 및 이것을 배치하는 진공 장치의 높이를 낮게 억제하는 기술을 제공한다.
[해결 수단] 회전축 (O) 을 중심으로 하여 동심상으로 배치되고 수평면 내에서 각각 독립적으로 회전 가능하게 형성된 제 1 ～ 3 구동축 (11 ～ 13) 과, 제 1 구동축 (11) 에 의해 구동되어 신축하는 상측 반송 기구 (1A) 와, 상측 반송 기구 (1A) 에 대해 하방에 배치됨과 함께, 제 2 구동축 (12) 에 의해 구동되어 신축하는 좌하측 반송 기구 (2L) 와, 상측 반송 기구 (1A) 에 대해 하방에서 좌하측 반송 기구 (2L) 와 동일한 높이 위치에 배치됨과 함께, 제 3 구동축 (13) 에 의해 구동되어 신축하는 우하측 반송 기구 (2R) 를 구비한다. 좌하측 반송 기구 (2L) 로 우하측 반송 기구 (2R) 가, 제 1 ～ 제 3 구동축 (11 ～ 13) 을 사이에 두고 기판 반송 방향 (P) 의 양측에 배치되어 있다.
[해결 수단] 회전축 (O) 을 중심으로 하여 동심상으로 배치되고 수평면 내에서 각각 독립적으로 회전 가능하게 형성된 제 1 ～ 3 구동축 (11 ～ 13) 과, 제 1 구동축 (11) 에 의해 구동되어 신축하는 상측 반송 기구 (1A) 와, 상측 반송 기구 (1A) 에 대해 하방에 배치됨과 함께, 제 2 구동축 (12) 에 의해 구동되어 신축하는 좌하측 반송 기구 (2L) 와, 상측 반송 기구 (1A) 에 대해 하방에서 좌하측 반송 기구 (2L) 와 동일한 높이 위치에 배치됨과 함께, 제 3 구동축 (13) 에 의해 구동되어 신축하는 우하측 반송 기구 (2R) 를 구비한다. 좌하측 반송 기구 (2L) 로 우하측 반송 기구 (2R) 가, 제 1 ～ 제 3 구동축 (11 ～ 13) 을 사이에 두고 기판 반송 방향 (P) 의 양측에 배치되어 있다.
Description
본 발명은, 예를 들어 기판 등의 반송물을 반송하는 반송 장치에 관한 것으로서, 특히, 반도체 제조 장치 등에 있어서의 진공 장치에 바람직한 반송 로봇의 기술에 관한 것이다.
종래, 이 종류의 반송 로봇으로는, 스루풋을 향상시키기 위하여, 기판 재치부를 각각 갖는 2 개의 반송 기구를 형성한 것이 알려져 있다.
그러나, 반송 기구를 2 개 형성하는 경우에는, 반송 기구끼리의 접촉을 피하기 위하여 반송 기구를 상하에 배치할 필요가 있고, 그 결과, 반송 로봇을 배치하는 진공 장치의 높이가 높아진다는 문제가 있다.
본 발명은, 이와 같은 종래의 기술의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 복수의 반송 기구를 갖는 반송 로봇에 있어서, 스루풋을 향상시킴과 함께, 반송 로봇 및 이것을 배치하는 진공 장치의 높이를 낮게 억제하는 기술을 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 이루어진 본 발명은, 소정의 회전축을 중심으로 하여 동심상으로 배치되고 수평면 내에서 각각 독립적으로 회전 가능하게 형성된 아암 신축용 제 1, 제 2 및 제 3 구동축과, 상기 제 1 구동축에 의해 구동되어 신축하고, 제 1 반송부를 반송물 반송 방향을 따라 반송하는 제 1 반송 기구와, 상기 제 1 반송 기구에 대해 상이한 높이 위치에 배치됨과 함께, 상기 제 2 구동축에 의해 구동되어 신축하고, 제 2 반송부를 상기 반송물 반송 방향을 따라 반송하는 제 2 반송 기구와, 상기 제 1 반송 기구에 대해 상이한 높이 위치에서 상하 방향에 관하여 상기 제 2 반송 기구와 동일한 측에 배치됨과 함께, 상기 제 3 구동축에 의해 구동되어 신축하고, 제 3 반송부를 상기 반송물 반송 방향을 따라 반송하는 제 3 반송 기구를 구비하고, 상기 제 2 반송 기구와, 상기 제 3 반송 기구가, 상기 제 1 ～ 제 3 구동축을 사이에 두고 상기 반송물 반송 방향의 양측에 배치되어 있는 반송 로봇이다.
본 발명에서는, 상기 제 2 및 제 3 반송 기구가, 동일한 높이 위치에 배치되어 있는 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 제 2 및 제 3 반송 기구가, 상기 제 1 반송 기구의 하방에 배치되어 있는 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 제 1 ～ 제 3 구동축과 동심상으로 배치된 선회용 보조 구동축을 갖고, 상기 제 1 ～ 제 3 구동축 및 당해 보조 구동축의 회전에 의해 선회하도록 구성되어 있는 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 제 1 반송 기구는, 상기 제 2 및 제 3 반송 기구의 상측에 배치된 상측 반송 기구로서, 상기 제 1 구동축에 고정된 상측 구동 아암과, 상기 보조 구동축에 고정된 상측 보조 구동 아암과, 상기 상측 구동 아암 및 상기 상측 보조 구동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 1 상측 종동 아암 및 제 2 상측 종동 아암으로 이루어지는 제 1 상측 평행 크랭크 기구와, 상기 제 1 상측 종동 아암과, 상기 제 1 상측 종동 아암의 양 단부에 있어서 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 3 상측 종동 아암 및 제 4 상측 종동 아암과, 상기 제 3 상측 종동 아암 및 상기 제 4 상측 종동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 5 상측 종동 아암과, 상기 제 5 종동 아암의 선단부에 장착된 상측 반송부를 갖는 제 2 상측 평행 크랭크 기구를 구비하고, 상기 제 2 반송 기구는, 상기 제 1 ～ 제 3 구동축 및 상기 보조 구동축에 대하여 상기 반송물 반송 방향의 좌하측에 배치된 좌하측 반송 기구로서, 상기 제 2 구동축에 고정된 좌하측 구동 아암과, 상기 보조 구동축에 고정된 좌하측 보조 구동 아암과, 상기 좌하측 구동 아암 및 상기 좌하측 보조 구동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 1 좌하측 종동 아암 및 제 2 좌하측 종동 아암으로 이루어지는 제 1 좌하측 평행 크랭크 기구와, 상기 제 1 좌하측 종동 아암과, 상기 제 1 좌하측 종동 아암의 양 단부에 있어서 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 3 좌하측 종동 아암 및 제 4 좌하측 종동 아암과, 상기 제 3 좌하측 종동 아암 및 상기 제 4 좌하측 종동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 5 좌하측 종동 아암과, 상기 제 5 좌하측 종동 아암의 선단부에 장착된 좌하측 반송부를 갖는 제 2 좌하측 평행 크랭크 기구를 구비하고, 상기 제 3 반송 기구는, 상기 제 1 ～ 제 3 구동축 및 상기 보조 구동축에 대하여 상기 반송물 반송 방향의 우하측에 배치된 우하측 반송 기구로서, 상기 제 2 구동축에 고정된 우하측 구동 아암과, 상기 보조 구동축에 고정된 우하측 보조 구동 아암과, 상기 우하측 구동 아암 및 상기 우하측 보조 구동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 1 우하측 종동 아암 및 제 2 우하측 종동 아암으로 이루어지는 제 1 우하측 평행 크랭크 기구와, 상기 제 1 우하측 종동 아암과, 상기 제 1 우하측 종동 아암의 양 단부에 있어서 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 3 우하측 종동 아암 및 제 4 우하측 종동 아암과, 상기 제 3 우하측 종동 아암 및 상기 제 4 우하측 종동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 5 우하측 종동 아암과, 상기 제 5 우하측 종동 아암의 선단부에 장착된 우하측 반송부를 갖는 제 2 우하측 평행 크랭크 기구를 구비한 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 제 1 반송부가, 2 개의 재치부를 갖고 있는 경우에도 효과적이다.
또, 본 발명은, 진공조와, 상기 진공조 내에 형성된 상기 중 어느 하나의 반송 로봇을 갖는 진공 장치이다.
본 발명의 경우, 소정의 회전축을 중심으로 하여 동심상으로 배치되고 수평면 내에서 각각 독립적으로 회전 가능하게 형성된 아암 신축용 제 1, 제 2 및 제 3 구동축과 제 1 구동축에 의해 구동되어 신축하고, 제 1 반송부를 반송물 반송 방향을 따라 반송하는 제 1 반송 기구와, 제 1 반송 기구에 대해 상이한 높이 위치에 배치됨과 함께, 제 2 구동축에 의해 구동되어 신축하고, 제 2 반송부를 반송물 반송 방향을 따라 반송하는 제 2 반송 기구와, 제 1 반송 기구에 대해 상이한 높이 위치에서 상하 방향에 관하여 제 2 반송 기구와 동일한 측에 배치됨과 함께, 제 3 구동축에 의해 구동되어 신축하고, 제 3 반송부를 반송물 반송 방향을 따라 반송하는 제 3 반송 기구를 구비함과 함께, 제 2 반송 기구와 제 3 반송 기구가, 제 1 ～ 제 3 구동축을 사이에 두고 반송물 반송 방향의 양측에 배치되고, 제 1 ～ 제 3 구동축은 동심상으로 배치되고 수평면 내에서 각각 독립적으로 회전 가능하게 형성되어 있는 점에서, 제 1 ～ 제 3 반송 기구를 서로 접촉시키는 일 없이 동시에 신축시킬 수 있다.
그 결과, 본 발명에 의하면, 복수의 반송물을 동시에 반송함으로써 스루풋을 향상시킴과 함께, 2 세트의 반송 기구를 상하 방향으로 배치함으로써 반송 로봇 및 이것을 배치하는 진공 장치의 높이를 낮게 억제할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 제 1 ～ 제 3 반송 기구를 독립적으로 신축 동작 시킬 수 있기 때문에, 반송 로봇을 배치하는 진공 장치의 크기를 작게 할 수 있음과 함께, 반송 기구끼리 사이의 진동을 억제할 수 있고, 이로써 정확한 반송물의 반송을 실시할 수 있다.
본 발명에 의하면, 복수의 반송 기구를 갖는 반송 로봇에 있어서, 스루풋을 향상시킴과 함께, 반송 로봇 및 이것을 배치하는 진공 장치의 높이 및 크기를 낮게 억제하는 기술을 제공할 수 있다.
도 1 의 (a) 는 본 발명에 관련된 반송 로봇의 실시형태의 구성을 나타내는 평면도이고, (b) 는 동반송 로봇의 구성을 나타내는 정면도이다.
도 2 는, 동반송 로봇의 상측 반송 기구를 나타내는 평면도이다.
도 3 은, 동반송 로봇의 하측 반송 기구를 나타내는 평면도이다.
도 4 는, 동반송 로봇의 상측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 1) 이다.
도 5 는, 동반송 로봇의 상측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 2) 이다.
도 6 은, 동반송 로봇의 상측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 3) 이다.
도 7 은, 동반송 로봇의 좌하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 1) 이다.
도 8 은, 동반송 로봇의 좌하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 2) 이다.
도 9 는, 동반송 로봇의 좌하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 3) 이다.
도 10 은, 동반송 로봇의 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 1) 이다.
도 11 은, 동반송 로봇의 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 2) 이다.
도 12 는, 동반송 로봇의 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 3) 이다.
도 13 은, 동반송 로봇의 좌하측 반송 기구 및 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 1) 이다.
도 14 는, 동반송 로봇의 좌하측 반송 기구 및 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 2) 이다.
도 15 는, 동반송 로봇의 좌하측 반송 기구 및 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 3) 이다.
도 16 의 (a) (b) 는 동반송 로봇의 상측 반송 기구 그리고 하측 반송 기구의 좌하측 반송 기구 및 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 1) 이다.
도 17 은, 동반송 로봇의 상측 반송 기구 그리고 하측 반송 기구의 좌하측 반송 기구 및 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 2) 이다.
도 2 는, 동반송 로봇의 상측 반송 기구를 나타내는 평면도이다.
도 3 은, 동반송 로봇의 하측 반송 기구를 나타내는 평면도이다.
도 4 는, 동반송 로봇의 상측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 1) 이다.
도 5 는, 동반송 로봇의 상측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 2) 이다.
도 6 은, 동반송 로봇의 상측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 3) 이다.
도 7 은, 동반송 로봇의 좌하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 1) 이다.
도 8 은, 동반송 로봇의 좌하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 2) 이다.
도 9 는, 동반송 로봇의 좌하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 3) 이다.
도 10 은, 동반송 로봇의 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 1) 이다.
도 11 은, 동반송 로봇의 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 2) 이다.
도 12 는, 동반송 로봇의 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 3) 이다.
도 13 은, 동반송 로봇의 좌하측 반송 기구 및 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 1) 이다.
도 14 는, 동반송 로봇의 좌하측 반송 기구 및 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 2) 이다.
도 15 는, 동반송 로봇의 좌하측 반송 기구 및 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 3) 이다.
도 16 의 (a) (b) 는 동반송 로봇의 상측 반송 기구 그리고 하측 반송 기구의 좌하측 반송 기구 및 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 1) 이다.
도 17 은, 동반송 로봇의 상측 반송 기구 그리고 하측 반송 기구의 좌하측 반송 기구 및 우하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 2) 이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시형태를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1(a) 는, 본 발명에 관련된 반송 로봇의 실시형태의 구성을 나타내는 평면도, 도 1(b) 는, 동반송 로봇의 구성을 나타내는 정면도이다.
도 2 는, 동반송 로봇의 상측 반송 기구를 나타내는 평면도, 도 3 은, 동반송 로봇의 하측 반송 기구를 나타내는 평면도이다.
도 1(a) (b) 에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 반송 로봇 (1) 은, 예를 들어 진공조 (도시하지 않음) 내에 있어서 반송물인 기판 (10) 의 반송을 실시함으로써, 도 2 에 나타내는 상측 반송 기구 (1A) 와, 도 3 에 나타내는 하측 반송 기구 (1B) 를 갖고 있다.
여기서, 상측 반송 기구 (1A) 는, 제 1 반송 기구에 상당한다. 또, 하측 반송 기구 (1B) 는, 제 2 반송 기구에 상당하는 좌하측 반송 기구 (2L) 와, 제 3 반송 기구에 상당하는 우하측 반송 기구 (2R) 를 갖고 있다.
본 실시형태의 경우, 좌하측 반송 기구 (2L) 와, 우하측 반송 기구 (2R) 는, 상측 반송 기구 (1A) 에 대해, 상하 방향에 관하여 동일한 측인 하방에 배치되어 있다.
도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 독립적인 구동원 (도시하지 않음) 으로부터 각각 시계 회전 방향 또는 반시계 회전 방향의 회전 동력이 전달되는 동심상의 제 1, 제 2 및 제 3 구동축 (11, 12, 13) 그리고 보조 구동축 (14) 을 갖고 있다.
여기서, 제 1, 제 2 및 제 3 구동축 (11 ～ 13) 은, 아암 구동용이고, 보조 구동축 (14) 은, 로봇 선회용이다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 상측 반송 기구 (1A) 는, 각각 직선상으로 연장되는, 상측 구동 아암 (21) 과, 상측 보조 구동 아암 (22) 과, 제 1 상측 종동 아암 (31) 과, 제 2 상측 종동 아암 (32) 에 의해 구성되는 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 를 갖고 있다.
여기서, 상측 구동 아암 (21) 은 제 1 구동축 (11) 에 연결되고, 상측 보조 구동 아암 (22) 은, 상측 구동 아암 (21) 의 상방에 있어서 보조 구동축 (14) 에 연결되어 있다.
상측 구동 아암 (21) 의 타방의 단부 (선단부) 에는, 제 1 상측 종동 아암 (31) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 상측 구동 아암 (21) 의 상방에 있어서 지축 (A) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
또, 상측 보조 구동 아암 (22) 의 타방의 단부 (선단부) 에는, 제 2 상측 종동 아암 (32) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 상측 보조 구동 아암 (22) 의 하방에 있어서 지축 (B) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
또한, 제 2 상측 종동 아암 (32) 의 타방의 단부 (선단부) 는, 제 1 상측 종동 아암 (31) 의 하방에 있어서 지축 (C) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
본 실시형태의 경우, 지축 (AC) 간의 축간 거리는, 회전축 (O) 및 지축 (B) 간의 축간 거리와 동일해지도록 설정되어 있다. 또, 지축 (BC) 간의 축간 거리는, 회전축 (O) 및 지축 (A) 간의 축간 거리와 동일해지도록 설정되어 있다.
또한, 지축 (AC) 간의 축간 거리와 회전축 (O) 및 지축 (B) 간의 축간 거리가, 지축 (BC) 간의 축간 거리와 회전축 (O) 및 지축 (A) 간의 축간 거리보다 짧아지도록 구성되어 있다.
제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 의 선단부 즉 동작측 단부에는, 제 2 상측 평행 크랭크 기구 (5) 가 연결되어 있다.
이 제 2 상측 평행 크랭크 기구 (5) 는, 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 의 제 1 상측 종동 아암 (31) 과, 제 3 상측 종동 아암 (33) 과, 제 4 상측 종동 아암 (34) 과, 제 1 반송부인 상측 엔드 이펙터 (40) 의 지지부 (제 5 상측 종동 아암) (41) 에 의해 구성되어 있다.
여기서, 제 1 상측 종동 아암 (31) 의 상측 구동 아암 (21) 측의 단부에는, 제 1 상측 종동 아암 (31) 의 상방에 있어서, 제 3 상측 종동 아암 (33) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 상기 서술한 지축 (A) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
또, 제 1 상측 종동 아암 (31) 의 제 2 상측 종동 아암 (32) 측의 단부에는, 제 1 상측 종동 아암 (31) 의 상방에 있어서, 제 4 상측 종동 아암 (34) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 상기 서술한 지축 (C) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
또한, 제 3 및 제 4 상측 종동 아암 (33, 34) 의 타방의 단부 (선단부) 는, 상측 엔드 이펙터 (40) 의 지지부 (41) 의 하방에 있어서, 지축 (AC) 간의 축간 거리와 동일한 축간 거리를 갖는 위치에 형성된 지축 (D, E) 을 중심으로 하여 각각 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
또, 지축 (AD) 및 지축 (CE) 간의 축간 거리는, 회전축 (O) 및 지축 (A) 간의 축간 거리와 동일해지도록 설정되어 있다.
본 실시형태에서는, 제 1 상측 종동 아암 (31) 에, 상측 구동 아암 (21) 과 제 4 상측 종동 아암 (34) 의 회전 방향이 반대 방향이며 또한 동일한 각도가 되도록 구성된 기어 박스로 이루어지는 동력 전달 기구 (35) 가 형성되어 있다.
즉, 상측 구동 아암 (21) 의 동력이 제 1 상측 종동 아암 (31) 의 동력 전달 기구 (35) 를 통하여 전달되고, 제 4 상측 종동 아암 (34) 이 상측 구동 아암 (21) 과 동일 각도로 반대 방향으로 회전하도록 구성되어 있다.
그리고, 이와 같은 구성에 의해, 제 2 상측 평행 크랭크 기구 (5) 의 동작 선단부의 지축 (D, E) 이 기판 반송 방향 (반송물 반송 방향) (P) 을 따라 직진하여, 회전축 (O) 상을 통과하게 되어 있다.
본 실시형태의 상측 엔드 이펙터 (40) 는, 상기 서술한 지축 (D, E) 에 대해 기판 반송 방향 (P) 의 하류측 선단부에, 기판 (10) 을 재치하는 기판 재치부 (42, 43) 가 각각 형성되어 있다.
한편, 도 1(b) 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 하측 반송 기구 (1B) 는, 상기 서술한 회전축 (O) 으로부터 기판 반송 방향 (P) 으로 연장되는 직선의 양측, 즉, 여기서는 좌측에 형성된 좌하측 반송 기구 (2L) 와, 우측에 형성된 우하측 반송 기구 (2R) 를 갖고 있다.
좌하측 반송 기구 (2L) 는, 각각 직선상으로 연장되는, 좌하측 구동 아암 (51) 과, 좌하측 보조 구동 아암 (52) 과, 제 1 좌하측 종동 아암 (61) 과, 제 2 좌하측 종동 아암 (62) 에 의해 구성되는 제 1 좌하측 평행 크랭크 기구 (6) 를 갖고 있다.
여기서, 좌하측 구동 아암 (51) 은 제 2 구동축 (12) 에 연결되고, 좌하측 보조 구동 아암 (52) 은, 좌하측 구동 아암 (51) 의 상방에 있어서 보조 구동축 (14) 에 연결되어 있다.
이 좌하측 구동 아암 (51) 은, 회전축 (O) 을 통과하여 기판 반송 방향 (P) 과 평행하게 연장되는 직선에 대해 좌측방측에 위치하도록 그 동작 범위가 제어되게 되어 있다. 또, 좌하측 보조 구동 아암 (52) 은, 회전축 (O) 에 대해 기판 반송 방향 (P) 의 하류측으로 연장되도록 형성되어 있다.
좌하측 구동 아암 (51) 의 타방의 단부 (선단부) 에는, 제 1 좌하측 종동 아암 (61) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 좌하측 구동 아암 (51) 의 상방에 있어서 지축 (F) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
또, 좌하측 보조 구동 아암 (52) 의 타방의 단부 (선단부) 에는, 제 2 좌하측 종동 아암 (62) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 좌하측 보조 구동 아암 (52) 의 하방에 있어서 지축 (G) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
또한, 제 2 좌하측 종동 아암 (62) 의 타방의 단부 (선단부) 는, 제 1 좌하측 종동 아암 (61) 의 하방에 있어서 지축 (H) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
본 실시형태의 경우, 지축 (FH) 간의 축간 거리는, 회전축 (O) 및 지축 (G) 간의 축간 거리와 동일해지도록 설정되어 있다. 또, 지축 (GH) 간의 축간 거리는, 회전축 (O) 및 지축 (F) 간의 축간 거리와 동일해지도록 설정되어 있다.
또한, 지축 (FH) 간의 축간 거리와 회전축 (O) 및 지축 (G) 간의 축간 거리가, 지축 (GH) 간의 축간 거리와 회전축 (O) 및 지축 (F) 간의 축간 거리보다 짧아지도록 구성되어 있다.
제 1 좌하측 평행 크랭크 기구 (6) 의 선단부 즉 동작측 단부에는, 제 2 좌하측 평행 크랭크 기구 (7) 가 연결되어 있다.
이 제 2 좌하측 평행 크랭크 기구 (7) 는, 제 1 좌하측 평행 크랭크 기구 (6) 의 제 1 좌하측 종동 아암 (61) 과, 제 3 좌하측 종동 아암 (63) 과, 제 4 좌하측 종동 아암 (64) 과, 제 2 반송부인 좌하측 엔드 이펙터 (70L) 의 지지부 (제 5 좌하측 종동 아암) (71L) 에 의해 구성되어 있다.
여기서, 제 1 좌하측 종동 아암 (61) 의 좌하측 구동 아암 (51) 측의 단부에는, 제 1 좌하측 종동 아암 (61) 의 상방에 있어서, 제 3 좌하측 종동 아암 (63) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 상기 서술한 지축 (F) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
또, 제 1 좌하측 종동 아암 (61) 의 제 2 좌하측 종동 아암 (62) 측의 단부에는, 제 1 좌하측 종동 아암 (61) 의 상방에 있어서, 제 4 좌하측 종동 아암 (64) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 상기 서술한 지축 (H) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
또한, 제 3 및 제 4 좌하측 종동 아암 (63, 64) 의 타방의 단부 (선단부) 는, 좌하측 엔드 이펙터 (70L) 의 지지부 (71L) 의 하방에 있어서, 지축 (FH) 간의 축간 거리와 동일한 축간 거리만큼 이간한 위치에 형성된 지축 (I, J) 을 중심으로 하여 각각 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. 이들 제 3 및 제 4 좌하측 종동 아암 (63, 64) 은, 각각의 지축 (I, J) 이, 제 1 좌하측 종동 아암 (61) 에 대해, 회전축 (O) 을 통과하여 기판 반송 방향 (P) 과 평행하게 연장되는 직선측에 위치하도록 구성되어 있다.
본 실시형태에서는, 제 1 좌하측 종동 아암 (61) 에, 좌하측 구동 아암 (51) 과 제 4 좌하측 종동 아암 (64) 의 회전 방향이 반대 방향이며 또한 동일한 각도가 되도록 구성된 기어 박스로 이루어지는 동력 전달 기구 (65) 가 형성되어 있다.
즉, 좌하측 구동 아암 (51) 의 동력이 제 1 좌하측 종동 아암 (61) 의 동력 전달 기구 (65) 를 통하여 전달되고, 제 4 좌하측 종동 아암 (64) 이 좌하측 구동 아암 (51) 과 동일 각도로 반대 방향으로 회전하도록 구성되어 있다.
본 실시형태의 경우, 지축 (FI) 간의 축간 거리와 지축 (HJ) 간의 축간 거리가 동일해지도록 설정되어 있다.
또한, 지축 (IJ) 간의 축간 거리와 지축 (HF) 간의 축간 거리가, 지축 (FI) 간의 축간 거리와 지축 (HJ) 간의 축간 거리보다 짧아지도록 구성되어 있다.
그 한편으로, 본 실시형태에서는, 지축 (FI) 그리고 지축 (HJ) 간의 축간 거리가, 회전축 (O) 및 지축 (F) 간의 축간 거리, 그리고, 지축 (GH) 간의 축간 거리보다 짧아지도록 각각의 축간 거리가 설정되어 있다.
그리고, 이와 같은 구성에 의해, 좌하측 반송 기구 (2L) 를 기판 반송 방향 (P) 을 따라 동작시킨 경우에, 각 부재가 제 1 ～ 제 3 구동축 (11 ～ 13) 및 보조 구동축 (14) 에 접촉하지 않도록 되어 있다.
본 실시형태의 좌하측 엔드 이펙터 (70L) 는, 상기 서술한 지축 (I, J) 에 대해 기판 반송 방향 (P) 의 하류측에 위치하는 지지부 (71L) 의 선단부에, 기판 (10) 을 재치하는 기판 재치부 (72L) 가 형성되어 있다.
한편, 본 실시형태의 우하측 반송 기구 (2R) 는, 각각 직선상으로 연장되는, 우하측 구동 아암 (81) 과, 우하측 보조 구동 아암 (82) 과, 제 1 우하측 종동 아암 (91) 과, 제 2 우하측 종동 아암 (92) 에 의해 구성되는 제 1 우하측 평행 크랭크 기구 (8) 를 갖고 있다.
여기서, 우하측 구동 아암 (81) 은 제 3 구동축 (13) 에 연결되고, 우하측 보조 구동 아암 (82) 은, 우하측 구동 아암 (81) 의 상방에 있어서 보조 구동축 (14) 에 연결되어 있다.
이 우하측 구동 아암 (81) 은, 회전축 (O) 을 통과하여 기판 반송 방향 (P) 과 평행하게 연장되는 직선에 대해 우측방측에 위치하도록 그 동작 범위가 제어되게 되어 있다. 또, 우하측 보조 구동 아암 (82) 은, 회전축 (O) 에 대해 기판 반송 방향 (P) 의 상류측으로 연장되도록 형성되어 있다.
우하측 구동 아암 (81) 의 타방의 단부 (선단부) 에는, 제 1 우하측 종동 아암 (91) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 우하측 구동 아암 (81) 의 상방에 있어서 지축 (K) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
또, 우하측 보조 구동 아암 (82) 의 타방의 단부 (선단부) 에는, 제 2 우하측 종동 아암 (92) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 우하측 보조 구동 아암 (82) 의 하방에 있어서 지축 (L) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
또한, 제 2 우하측 종동 아암 (92) 의 타방의 단부 (선단부) 는, 제 1 우하측 종동 아암 (91) 의 하방에 있어서 지축 (M) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
본 실시형태의 경우, 지축 (KM) 간의 축간 거리는, 회전축 (O) 및 지축 (L) 간의 축간 거리와 동일해지도록 설정되어 있다. 또, 지축 (LM) 간의 축간 거리는, 회전축 (O) 및 지축 (K) 간의 축간 거리와 동일해지도록 설정되어 있다.
또한, 지축 (KM) 간의 축간 거리와 회전축 (O) 및 지축 (L) 간의 축간 거리가, 지축 (LM) 간의 축간 거리와 회전축 (O) 및 지축 (K) 간의 축간 거리보다 짧아지도록 구성되어 있다.
제 1 우하측 평행 크랭크 기구 (8) 의 선단부 즉 동작측 단부에는, 제 2 우하측 평행 크랭크 기구 (9) 가 연결되어 있다.
이 제 2 우하측 평행 크랭크 기구 (9) 는, 제 1 우하측 평행 크랭크 기구 (8) 의 제 1 우하측 종동 아암 (91) 과, 제 3 우하측 종동 아암 (93) 과, 제 4 우하측 종동 아암 (94) 과, 제 3 반송부인 우하측 엔드 이펙터 (70R) 의 지지부 (제 5 우하측 종동 아암) (71R) 에 의해 구성되어 있다.
여기서, 제 1 우하측 종동 아암 (91) 의 우하측 구동 아암 (81) 측의 단부에는, 제 1 우하측 종동 아암 (91) 의 상방에 있어서, 제 3 우하측 종동 아암 (93) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 상기 서술한 지축 (K) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
또, 제 1 우하측 종동 아암 (91) 의 제 2 우하측 종동 아암 (92) 측의 단부에는, 제 1 우하측 종동 아암 (91) 의 상방에 있어서, 제 4 우하측 종동 아암 (94) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 상기 서술한 지축 (M) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다.
또한, 제 3 및 제 4 우하측 종동 아암 (93, 94) 의 타방의 단부 (선단부) 는, 우하측 엔드 이펙터 (70R) 의 지지부 (71R) 의 하방에 있어서, 지축 (MK) 간의 축간 거리와 동일한 축간 거리만큼 이간한 위치에 형성된 지축 (N, Q) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. 이들 제 3 및 제 4 좌하측 종동 아암 (93, 94) 은, 각각의 지축 (Q, N) 이, 제 1 우하측 종동 아암 (91) 에 대해, 회전축 (O) 을 통과하여 기판 반송 방향 (P) 과 평행하게 연장되는 직선측에 위치하도록 구성되어 있다.
본 실시형태에서는, 제 1 우하측 종동 아암 (91) 에, 우하측 구동 아암 (81) 과 제 4 우하측 종동 아암 (94) 의 회전 방향이 반대 방향이며 또한 동일한 각도가 되도록 구성된 기어 박스로 이루어지는 동력 전달 기구 (95) 가 형성되어 있다.
즉, 우하측 구동 아암 (81) 의 동력이 제 1 우하측 종동 아암 (91) 의 동력 전달 기구 (95) 를 통하여 전달되고, 제 4 우하측 종동 아암 (94) 이 우하측 구동 아암 (81) 과 동일 각도로 반대 방향으로 회전하도록 구성되어 있다.
본 실시형태의 경우, 지축 (MN) 간의 축간 거리와 지축 (KQ) 간의 축간 거리가 동일해지도록 설정되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 지축 (NQ) 간의 축간 거리와 지축 (MK) 간의 축간 거리가, 지축 (MN) 간의 축간 거리와 지축 (KQ) 간의 축간 거리보다 짧아지도록 구성되어 있다.
그 한편으로, 지축 (MN) 그리고 지축 (KQ) 간의 축간 거리가, 회전축 (O) 및 지축 (K) 간의 축간 거리, 그리고, 지축 (LM) 간의 축간 거리보다 짧아지도록 각각의 축간 거리가 설정되어 있다.
그리고, 이와 같은 구성에 의해, 우하측 반송 기구 (2R) 를 기판 반송 방향 (P) 을 따라 동작시킨 경우에, 각 부재가 제 1 ～ 제 3 구동축 (11 ～ 13) 및 보조 구동축 (14) 에 접촉하지 않도록 되어 있다.
또한, 본 실시형태의 경우, 좌하측 반송 기구 (2L) 의 제 1 좌하측 평행 크랭크 기구 (6) 와, 우하측 반송 기구 (2R) 의 제 1 우하측 평행 크랭크 기구 (8) 는, 각각 대응하는 아암의 축간 거리가 동일해지도록 구성되어 있다.
또, 좌하측 반송 기구 (2L) 의 제 2 좌하측 평행 크랭크 기구 (7) 와, 우하측 반송 기구 (2R) 의 제 2 우하측 평행 크랭크 기구 (9) 는, 각각 대응하는 아암의 축간 거리가 동일해지도록 구성되어 있다.
본 실시형태의 우하측 엔드 이펙터 (70R) 는, 상기 서술한 지축 (N, Q) 에 대해 기판 반송 방향 (P) 의 하류측에 위치하는 지지부 (71R) 의 선단부에, 기판 (10) 을 재치하는 기판 재치부 (72R) 가 형성되어 있다.
여기서, 우하측 엔드 이펙터 (70R) 는, 회전축 (O) 에 대한 기판 재치부 (72) 의 거리가, 좌하측 엔드 이펙터 (70L) 에 있어서의 회전축 (O) 에 대한 기판 재치부 (72L) 의 거리와 동등해지도록, 기판 반송 방향 (P) 에 대한 지지부 (71R) 의 길이가 좌하측 엔드 이펙터 (70L) 의 지지부 (71L) 의 길이보다 길어지도록 구성되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 도 1(b) 에 나타내는 바와 같이, 좌하측 엔드 이펙터 (70L) 의 높이 위치와, 우하측 엔드 이펙터 (70R) 의 높이 위치가 동등해지도록 좌하측 반송 기구 (2L) 및 우하측 반송 기구 (2R) 의 각 부재의 형상 그리고 배치 구성이 정해져 있다.
이하, 본 실시형태의 동작에 대해 설명한다.
먼저, 도 1(a) (b) 에 나타내는 홈 포지션으로부터 상측 반송 기구 (1A) 를 신장시키는 경우에 대해, 도 4 ～ 도 6 을 참조하여 설명한다.
이 경우에는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 제 1 구동축 (11) 만을 구동하여, 상측 구동 아암 (21) 을 시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킨다.
이로써, 제 1 구동축 (11) 에 연결된 상측 구동 아암 (21) 의 회전 동력에 의해, 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 와 제 2 상측 평행 크랭크 기구 (5) 가 기판 반송 방향 (P) 으로 탄성지지되어 이동하고, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 상측 엔드 이펙터 (40) 가 회전축 (O) 에 대해 기판 반송 방향 (P) 의 하류측에 배치된다.
한편, 하측 반송 기구 (1B) 는, 동력이 부여되지 않기 때문에 정지한 채로 있다.
그리고, 이상의 동작에 의해, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 상측 반송 기구 (1A) 만을 신장시킬 수 있다.
또한, 도 1(b) 에 나타내는 바와 같이, 상측 반송 기구 (1A) 의 각 부재는, 하측 반송 기구 (1B) 보다 높은 위치에 형성되어 있기 때문에, 상측 반송 기구 (1A) 와 하측 반송 기구 (1B) 는 접촉하지 않는다.
한편, 상측 반송 기구 (1A) 를 홈 포지션으로 되돌리는 경우에는, 제 1 구동축 (11) 을 반시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시키고, 상측 반송 기구 (1A) 의 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 와 제 2 상측 평행 크랭크 기구 (5) 를 기판 반송 방향 (P) 의 상류측으로 이동시킴으로써 실시할 수 있다.
다음으로, 도 1(a) (b) 에 나타내는 홈 포지션으로부터 하측 반송 기구 (1B) 를 신장시키는 경우에 대해, 도 7 ～ 도 15 를 참조하여 설명한다.
도 7 ～ 도 9 는, 하측 반송 기구 (1B) 의 좌하측 반송 기구 (2L) 의 신장 동작을 나타내는 것이다.
이 경우에는, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 제 2 구동축 (12) 만을 시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킨다.
이로써, 제 2 구동축 (12) 에 연결된 좌하측 구동 아암 (51) 의 회전 동력에 의해, 제 1 좌하측 평행 크랭크 기구 (6) 와 제 2 좌하측 평행 크랭크 기구 (7) 가 기판 반송 방향 (P) 에 탄성지지되어 이동하고, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 좌하측 엔드 이펙터 (70L) 가 회전축 (O) 에 대해 기판 반송 방향 (P) 의 하류측에 배치된다.
한편, 상측 반송 기구 (1A) 및 하측 반송 기구 (1B) 의 우하측 반송 기구 (2R) 는, 동력이 부여되지 않기 때문에 정지한 채로 있다.
그리고, 이상의 동작에 의해, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 하측 반송 기구 (1B) 의 좌하측 반송 기구 (2L) 만을 신장시킬 수 있다.
또한, 도 1(a) (b) 에 나타내는 바와 같이, 하측 반송 기구 (1B) 의 좌하측 반송 기구 (2L) 의 각 부재는, 상측 반송 기구 (1A) 보다 낮은 위치에 형성됨과 함께, 회전축 (O) 을 사이에 두고 우하측 반송 기구 (2R) 에 대해 반대측의 측방에 위치하고 있기 때문에, 좌하측 반송 기구 (2L) 는, 상측 반송 기구 (1A) 및 우하측 반송 기구 (2R) 에는 접촉하지 않는다.
한편, 하측 반송 기구 (1B) 의 좌하측 반송 기구 (2L) 를 홈 포지션으로 되돌리는 경우에는, 제 2 구동축 (12) 을 반시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시켜, 좌하측 반송 기구 (2L) 의 제 1 좌하측 평행 크랭크 기구 (6) 와 제 2 좌하측 평행 크랭크 기구 (7) 를 기판 반송 방향 (P) 의 상류측으로 이동시킴으로써 실시할 수 있다.
또한, 본 실시형태의 경우, 제 3 좌하측 종동 아암 (63) 및 제 4 좌하측 종동 아암 (64) 의 축간 거리가, 좌하측 구동 아암 (51) 및 제 2 좌하측 종동 아암 (62) 의 축간 거리보다 짧기 때문에, 좌하측 엔드 이펙터 (70L) 는 곡선을 그리듯이 이동한다.
도 10 ～ 도 12 는, 하측 반송 기구 (1B) 의 우하측 반송 기구 (2R) 의 신장 동작을 나타내는 것이다.
이 경우에는, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 제 3 구동축 (13) 만을 반시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킨다.
이로써, 제 3 구동축 (13) 에 연결된 우하측 구동 아암 (81) 의 회전 동력에 의해, 제 1 우하측 평행 크랭크 기구 (8) 와 제 2 우하측 평행 크랭크 기구 (9) 가 기판 반송 방향 (P) 으로 탄성지지되어 이동하고, 도 11 에 나타내는 바와 같이, 우하측 엔드 이펙터 (70R) 가 회전축 (O) 에 대해 기판 반송 방향 (P) 의 하류측에 배치된다.
한편, 상측 반송 기구 (1A) 및 하측 반송 기구 (1B) 의 좌하측 반송 기구 (2L) 는, 동력이 부여되지 않기 때문에 정지한 채로 있다.
그리고, 이상의 동작에 의해, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 하측 반송 기구 (1B) 의 우하측 반송 기구 (2R) 만을 신장시킬 수 있다.
또한, 도 1(a) (b) 에 나타내는 바와 같이, 하측 반송 기구 (1B) 의 우하측 반송 기구 (2R) 의 각 부재는, 상측 반송 기구 (1A) 보다 낮은 위치에 형성됨과 함께, 회전축 (O) 을 사이에 두고 좌하 반송 기구 (2L) 에 대해 반대측의 측방에 위치하고 있기 때문에, 우하측 반송 기구 (2R) 는, 상측 반송 기구 (1A) 및 좌하 반송 기구 (2L) 에는 접촉하지 않는다.
한편, 하측 반송 기구 (1B) 의 우하측 반송 기구 (2R) 를 홈 포지션으로 되돌리는 경우에는, 제 3 구동축 (13) 을 시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시켜, 우하측 반송 기구 (2R) 의 제 1 우하측 평행 크랭크 기구 (8) 와 제 2 우하측 평행 크랭크 기구 (9) 를 기판 반송 방향 (P) 의 상류측으로 이동시킴으로써 실시할 수 있다.
또한, 본 실시형태의 경우, 제 3 우하측 종동 아암 (93) 및 제 4 우하측 종동 아암 (94) 의 축간 거리가, 우하측 구동 아암 (81) 및 제 2 우하측 종동 아암 (92) 의 축간 거리보다 짧기 때문에, 우하측 엔드 이펙터 (70R) 는 곡선을 그리듯이 이동한다.
도 13 ～ 도 15 는, 하측 반송 기구 (1B) 의 좌하측 반송 기구 (2L) 및 우하측 반송 기구 (2R) 의 신장 동작을 나타내는 것이다.
이 경우에는, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 제 2 구동축 (12) 을 시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킴과 함께, 제 3 구동축 (13) 을 반시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킨다.
이로써, 제 2 구동축 (12) 에 연결된 좌하측 구동 아암 (51) 의 회전 동력에 의해, 제 1 좌하측 평행 크랭크 기구 (6) 와 제 2 좌하측 평행 크랭크 기구 (7) 가 기판 반송 방향 (P) 에 탄성지지되어 이동한다.
또, 제 3 구동축 (13) 에 연결된 우하측 구동 아암 (81) 의 회전 동력에 의해, 제 1 우하측 평행 크랭크 기구 (8) 와 제 2 우하측 평행 크랭크 기구 (9) 가 기판 반송 방향 (P) 에 탄성지지되어 이동한다.
그리고, 이상의 동작에 의해, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 좌하측 엔드 이펙터 (70L) 와 우하측 엔드 이펙터 (70R) 가 함께 회전축 (O) 에 대해 기판 반송 방향 (P) 의 하류측에 배치된다.
한편, 상측 반송 기구 (1A) 는, 동력이 부여되지 않기 때문에 정지한 채로 있다.
이상으로부터, 본 실시형태에 의하면, 도 15 에 나타내는 바와 같이, 하측 반송 기구 (1B) 의 좌하측 반송 기구 (2L) 및 우하측 반송 기구 (2R) 를 동시에 신장시킬 수 있다.
한편, 하측 반송 기구 (1B) 의 좌하측 반송 기구 (2L) 와 우하측 반송 기구 (2R) 를 홈 포지션으로 되돌리는 경우에는, 상기 서술한 바와 같이, 제 2 구동축 (12) 을 반시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킴과 함께, 제 3 구동축 (13) 을 시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킴으로써 실시할 수 있다.
도 16(a) (b) 및 도 17 은, 상측 반송 기구 (1A) 그리고 하측 반송 기구 (1B) 의 좌하측 반송 기구 (2L) 및 우하측 반송 기구 (2R) 의 신장 동작을 나타내는 것이다.
이 경우에는, 도 16(a) (b) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 구동축 (11) 을 시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킴과 함께, 제 2 구동축 (12) 을 시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시키고, 또한, 제 3 구동축 (13) 을 반시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킨다.
이로써, 제 1 구동축 (11) 에 연결된 상측 구동 아암 (21) 의 회전 동력에 의해, 상측 반송 기구 (1A) 에 있어서, 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 와 제 2 상측 평행 크랭크 기구 (5) 가 기판 반송 방향 (P) 에 탄성지지되어 이동하고, 상측 엔드 이펙터 (40) 가 회전축 (O) 에 대해 기판 반송 방향 (P) 의 하류측에 배치된다.
또, 제 2 구동축 (12) 에 연결된 좌하측 구동 아암 (51) 의 회전 동력에 의해, 하측 반송 기구 (1B) 에 있어서, 제 1 좌하측 평행 크랭크 기구 (6) 와 제 2 좌하측 평행 크랭크 기구 (7) 가 기판 반송 방향 (P) 으로 탄성지지되어 이동함과 함께, 제 3 구동축 (13) 에 연결된 우하측 구동 아암 (81) 의 회전 동력에 의해, 제 1 우하측 평행 크랭크 기구 (8) 와 제 2 우하측 평행 크랭크 기구 (9) 가 기판 반송 방향 (P) 으로 탄성지지되어 이동한다.
그리고, 이상의 동작에 의해, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 좌하측 엔드 이펙터 (70L) 와 우하측 엔드 이펙터 (70R) 가 함께 회전축 (O) 에 대해 기판 반송 방향 (P) 의 하류측에 배치된다.
이상으로부터, 본 실시형태에 의하면, 도 15 에 나타내는 바와 같이, 상측 반송 기구 (1A) 그리고 하측 반송 기구 (1B) 의 좌하측 반송 기구 (2L) 및 우하측 반송 기구 (2R) 를 동시에 신장시킬 수 있다.
한편, 상측 반송 기구 (1A) 그리고 하측 반송 기구 (1B) 의 좌하측 반송 기구 (2L) 와 우하측 반송 기구 (2R) 를 홈 포지션으로 되돌리는 경우에는, 상기 서술한 바와 같이, 제 1 구동축 (11) 을 반시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킴과 함께, 제 2 구동축 (12) 을 반시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시키고, 또한, 제 3 구동축 (13) 을 시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킴으로써 실시할 수 있다.
한편, 반송 로봇 (1) 을 선회시키는 경우에는, 홈 포지션 상태에 있어서, 제 1 ～ 제 3 구동축 (11 ～ 13) 및 보조 구동축 (14) 을 동시에 동일 방향으로 동일한 각도 회전시키면 된다.
이상 서술한 바와 같이 본 실시형태에 있어서는, 회전축 (O) 을 중심으로 하여 동심상으로 배치되고 수평면 내에서 각각 독립적으로 회전 가능하게 형성된 아암 신축용 제 1 ～ 3 구동축 (11 ～ 13) 과, 제 1 구동축 (11) 에 의해 구동되어 신축하고, 상측 엔드 이펙터 (40) 를 기판 반송 방향 (P) 을 따라 반송하는 상측 반송 기구 (1A) 와, 상측 반송 기구 (1A) 에 대해 하방에 배치됨과 함께, 제 2 구동축 (12) 에 의해 구동되어 신축하고, 좌하측 엔드 이펙터 (70L) 를 기판 반송 방향 (P) 을 따라 반송하는 좌하측 반송 기구 (2L) 와, 상측 반송 기구 (1A) 에 대해 하방에서 좌하측 반송 기구 (2L) 와 동일한 높이 위치에 배치됨과 함께, 제 3 구동축 (13) 에 의해 구동되어 신축하고, 우하측 엔드 이펙터 (70R) 를 기판 반송 방향 (P) 을 따라 반송하는 우하측 반송 기구 (2R) 를 구비함과 함께, 좌하측 반송 기구 (2L) 와, 우하측 반송 기구 (2R) 가, 제 1 ～ 제 3 구동축 (11 ～ 13) 을 사이에 두고 기판 반송 방향 (P) 의 양측에 배치되어 있는 점에서, 상측 반송 기구 (1A), 좌하측 반송 기구 (2L) 및 우하측 반송 기구 (2R) 를 서로 접촉시키는 일 없이 동시에 신축시킬 수 있다.
그 결과, 본 실시형태에 의하면, 복수의 기판 (10) 을 동시에 반송함으로써 스루풋을 향상시킴과 함께, 2 세트의 반송 기구 (상측 반송 기구 (1A), 하측 반송 기구 (1B)) 를 상하 방향으로 배치함으로써 반송 로봇 (1) 및 이것을 배치하는 진공 장치의 높이를 낮게 억제할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 의하면, 상측 반송 기구 (1A), 좌하측 반송 기구 (2L) 및 우하측 반송 기구 (2R) 를 독립적으로 신축 동작시킬 수 있기 때문에, 반송 로봇 (1) 을 배치하는 진공 장치의 크기를 작게 할 수 있음과 함께, 상측 반송 기구 (1A), 좌하측 반송 기구 (2L) 및 우하측 반송 기구 (2R) 끼리 사이의 진동을 억제할 수 있고, 이로써 정확한 기판의 반송을 실시할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 서술한 실시형태에 한정되는 일 없이, 여러 가지의 변경을 실시할 수 있다.
예를 들어, 상기 실시형태에서는, 제 1 반송 기구로서 상측 반송 기구 (1A) 를 형성하고, 제 2 및 제 3 반송 기구로서 좌하측 반송 기구 (2L), 우하측 반송 기구 (2R) 를 형성하도록 했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 제 2 및 제 3 반송 기구를 제 1 반송 기구보다 상방에 배치할 수도 있다.
또한, 상기 실시형태에서는, 상측 반송 기구 (1A) 에 재치부를 2 개 형성하고, 좌하측 반송 기구 (2L), 우하측 반송 기구 (2R) 에 재치부를 형성하도록 했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 각 반송 기구에 있어서 재치부를 1 개 또는 3 개 이상 형성할 수도 있다.
1 : 반송 로봇
1A : 상측 반송 기구 (제 1 반송 기구)
1B : 하측 반송 기구
2L : 좌하측 반송 기구 (제 2 반송 기구)
2R : 우하측 반송 기구 (제 3 반송 기구)
4 : 제 1 상측 평행 크랭크 기구
5 : 제 2 상측 평행 크랭크 기구
6 : 제 1 좌하측 평행 크랭크 기구
7 : 제 2 좌하측 평행 크랭크 기구
8 : 제 1 우하측 평행 크랭크 기구
9 : 제 2 우하측 평행 크랭크 기구
10 : 기판 (반송물)
11 : 제 1 구동축
12 : 제 2 구동축
13 : 제 3 구동축
14 : 보조 구동축
21 : 상측 구동 아암
22 : 상측 보조 구동 아암
31 : 제 1 상측 종동 아암
32 : 제 2 상측 종동 아암
33 : 제 3 상측 종동 아암
34 : 제 4 상측 종동 아암
40 : 상측 엔드 이펙터 (제 1 반송부, 상측 반송부)
41 : 지지부 (제 5 상측 종동 아암)
51 : 좌하측 구동 아암
52 : 좌하측 보조 구동 아암
61 : 제 1 좌하측 종동 아암
62 : 제 2 좌하측 종동 아암
63 : 제 3 좌하측 종동 아암
64 : 제 4 좌하측 종동 아암
70L : 좌하측 엔드 이펙터 (제 2 반송부, 좌하측 반송부)
70R : 우하측 엔드 이펙터 (제 3 반송부, 우하측 반송부)
71L : 지지부 (제 5 좌하측 종동 아암)
71R : 지지부 (제 5 우하측 종동 아암)
81 : 우하측 구동 아암
82 : 우하측 보조 구동 아암
91 : 제 1 우하측 종동 아암
92 : 제 2 우하측 종동 아암
93 : 제 3 우하측 종동 아암
94 : 제 4 우하측 종동 아암
P : 기판 반송 방향 (반송물 반송 방향)
1A : 상측 반송 기구 (제 1 반송 기구)
1B : 하측 반송 기구
2L : 좌하측 반송 기구 (제 2 반송 기구)
2R : 우하측 반송 기구 (제 3 반송 기구)
4 : 제 1 상측 평행 크랭크 기구
5 : 제 2 상측 평행 크랭크 기구
6 : 제 1 좌하측 평행 크랭크 기구
7 : 제 2 좌하측 평행 크랭크 기구
8 : 제 1 우하측 평행 크랭크 기구
9 : 제 2 우하측 평행 크랭크 기구
10 : 기판 (반송물)
11 : 제 1 구동축
12 : 제 2 구동축
13 : 제 3 구동축
14 : 보조 구동축
21 : 상측 구동 아암
22 : 상측 보조 구동 아암
31 : 제 1 상측 종동 아암
32 : 제 2 상측 종동 아암
33 : 제 3 상측 종동 아암
34 : 제 4 상측 종동 아암
40 : 상측 엔드 이펙터 (제 1 반송부, 상측 반송부)
41 : 지지부 (제 5 상측 종동 아암)
51 : 좌하측 구동 아암
52 : 좌하측 보조 구동 아암
61 : 제 1 좌하측 종동 아암
62 : 제 2 좌하측 종동 아암
63 : 제 3 좌하측 종동 아암
64 : 제 4 좌하측 종동 아암
70L : 좌하측 엔드 이펙터 (제 2 반송부, 좌하측 반송부)
70R : 우하측 엔드 이펙터 (제 3 반송부, 우하측 반송부)
71L : 지지부 (제 5 좌하측 종동 아암)
71R : 지지부 (제 5 우하측 종동 아암)
81 : 우하측 구동 아암
82 : 우하측 보조 구동 아암
91 : 제 1 우하측 종동 아암
92 : 제 2 우하측 종동 아암
93 : 제 3 우하측 종동 아암
94 : 제 4 우하측 종동 아암
P : 기판 반송 방향 (반송물 반송 방향)
Claims (7)
- 소정의 회전축을 중심으로 하여 동심상으로 배치되고 수평면 내에서 각각 독립적으로 회전 가능하게 형성된 아암 신축용 제 1, 제 2 및 제 3 구동축과,
상기 제 1 구동축에 의해 구동되어 신축하고, 제 1 반송부를 반송물 반송 방향을 따라 반송하는 제 1 반송 기구와,
상기 제 1 반송 기구에 대해 상이한 높이 위치에 배치됨과 함께, 상기 제 2 구동축에 의해 구동되어 신축하고, 제 2 반송부를 상기 반송물 반송 방향을 따라 반송하는 제 2 반송 기구와,
상기 제 1 반송 기구에 대해 상이한 높이 위치에서 상하 방향에 관하여 상기 제 2 반송 기구와 동일한 측에 배치됨과 함께, 상기 제 3 구동축에 의해 구동되어 신축하고, 제 3 반송부를 상기 반송물 반송 방향을 따라 반송하는 제 3 반송 기구를 구비하고,
상기 제 2 반송 기구와, 상기 제 3 반송 기구가, 상기 제 1 ～ 제 3 구동축을 사이에 두고 상기 반송물 반송 방향의 양측에 배치되어 있는 반송 로봇. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 및 제 3 반송 기구가, 동일한 높이 위치에 배치되어 있는 반송 로봇. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 및 제 3 반송 기구가, 상기 제 1 반송 기구의 하방에 배치되어 있는 반송 로봇. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 ～ 제 3 구동축과 동심상으로 배치된 선회용 보조 구동축을 갖고, 상기 제 1 ～ 제 3 구동축 및 당해 보조 구동축의 회전에 의해 선회하도록 구성되어 있는 반송 로봇. - 제 4 항에 있어서,
상기 제 1 반송 기구는, 상기 제 2 및 제 3 반송 기구의 상측에 배치된 상측 반송 기구로서,
상기 제 1 구동축에 고정된 상측 구동 아암과, 상기 보조 구동축에 고정된 상측 보조 구동 아암과, 상기 상측 구동 아암 및 상기 상측 보조 구동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 1 상측 종동 아암 및 제 2 상측 종동 아암으로 이루어지는 제 1 상측 평행 크랭크 기구와,
상기 제 1 상측 종동 아암과, 상기 제 1 상측 종동 아암의 양 단부에 있어서 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 3 상측 종동 아암 및 제 4 상측 종동 아암과, 상기 제 3 상측 종동 아암 및 상기 제 4 상측 종동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 5 상측 종동 아암과, 상기 제 5 종동 아암의 선단부에 장착된 상측 반송부를 갖는 제 2 상측 평행 크랭크 기구를 구비하고,
상기 제 2 반송 기구는, 상기 제 1 ～ 제 3 구동축 및 상기 보조 구동축에 대하여 상기 반송물 반송 방향의 좌하측에 배치된 좌하측 반송 기구로서,
상기 제 2 구동축에 고정된 좌하측 구동 아암과, 상기 보조 구동축에 고정된 좌하측 보조 구동 아암과, 상기 좌하측 구동 아암 및 상기 좌하측 보조 구동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 1 좌하측 종동 아암 및 제 2 좌하측 종동 아암으로 이루어지는 제 1 좌하측 평행 크랭크 기구와,
상기 제 1 좌하측 종동 아암과, 상기 제 1 좌하측 종동 아암의 양 단부에 있어서 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 3 좌하측 종동 아암 및 제 4 좌하측 종동 아암과, 상기 제 3 좌하측 종동 아암 및 상기 제 4 좌하측 종동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 5 좌하측 종동 아암과, 상기 제 5 좌하측 종동 아암의 선단부에 장착된 좌하측 반송부를 갖는 제 2 좌하측 평행 크랭크 기구를 구비하고,
상기 제 3 반송 기구는, 상기 제 1 ～ 제 3 구동축 및 상기 보조 구동축에 대하여 상기 반송물 반송 방향의 우하측에 배치된 우하측 반송 기구로서,
상기 제 2 구동축에 고정된 우하측 구동 아암과, 상기 보조 구동축에 고정된 우하측 보조 구동 아암과, 상기 우하측 구동 아암 및 상기 우하측 보조 구동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 1 우하측 종동 아암 및 제 2 우하측 종동 아암으로 이루어지는 제 1 우하측 평행 크랭크 기구와,
상기 제 1 우하측 종동 아암과, 상기 제 1 우하측 종동 아암의 양 단부에 있어서 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 3 우하측 종동 아암 및 제 4 우하측 종동 아암과, 상기 제 3 우하측 종동 아암 및 상기 제 4 우하측 종동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 5 우하측 종동 아암과, 상기 제 5 우하측 종동 아암의 선단부에 장착된 우하측 반송부를 갖는 제 2 우하측 평행 크랭크 기구를 구비한 반송 로봇. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 반송부가, 2 개의 재치부를 갖고 있는 반송 로봇. - 진공조와,
상기 진공조 내에 형성된 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 기재된 반송 로봇을 갖는 진공 장치.
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|---|---|---|---|---|
| KR20160042401A (ko) * | 2014-09-03 | 2016-04-19 | 가부시키가이샤 알박 | 반송 장치 및 진공 장치 |
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- 2011-10-11 JP JP2011224412A patent/JP2013084823A/ja active Pending
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- 2012-10-10 KR KR1020120112263A patent/KR20130039303A/ko not_active Application Discontinuation
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| JP2013084823A (ja) | 2013-05-09 |
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