JP2011161629A - 基板搬送ロボット - Google Patents
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Abstract
【課題】 位置決め精度を向上するとともに、外部の物体との干渉を防ぐことができる基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 第1および第2アーム部36,37は、互いに相対的に旋回可能に設けられる。第1および第2アーム部36,37間の関節には、第2旋回駆動手段42が設けられる。第2旋回駆動手段42は、第2モータ76と、第2動力伝達部77とを有する。第2モータ76は、第1アーム部36に固定される固定部78と、固定部78に対して、第1アーム部36の延在方向に略平行な回転軸線L22まわりに回転する回転部79とを有する。第2動力伝達部77は、第2モータ76と第2アーム部37との間に介在し、第2モータ76の動力を、第2モータ76の回転部79から第2アーム部37に伝達する。このような第2旋回駆動手段42によって、第1および第2アーム部36,37が互いに相対的に旋回駆動される。
【選択図】 図1
Description
このような従来技術は、手首の駆動におけるイナーシャの低下および剛性の向上を目的としており、前記第1および第2の従来技術で生じる各問題については考慮されていない。
基板を把持するロボットハンドと、
延在して形成される中空状の複数のアーム部を有し、各アーム部は一連に連結され、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互い連結される2つのアーム部は互いに相対的に旋回可能に設けられるロボットアームと、
互いに連結される2つのアーム部間の関節毎に設けられ、互いに連結される2つのアーム部を互いに相対的に旋回駆動する旋回駆動手段とを含み、
旋回駆動手段は、
互いに連結される2つのアーム部の一方に固定される固定部と、固定部に対して、前記一方のアーム部の延在方向に略平行な回転軸線まわりに回転する回転部とを有し、前記一方のアーム部の内部空間に収容されるモータと、
前記一方のアーム部の内部空間に収容され、モータと前記互いに連結される2つのアーム部の他方との間に介在し、モータの動力を、モータの回転部から前記他方のアーム部に伝達する動力伝達部とを含むことを特徴とする基板搬送ロボットである。
また本発明は、動力伝達部は、モータの動力を、複数の歯車によって、モータの回転部から前記他方のアーム部に伝達することを特徴とする。
モータの回転部に、回転部の回転軸線と同軸に固定される第1歯車と、
前記他方のアーム部に、前記一方および他方のアーム部の旋回軸線と同軸に固定される第2歯車と、
第1および第2歯車間に介在する複数の中間歯車と、
前記一方のアーム部に固定され、各中間歯車が、各中間歯車の回転軸線まわりに回転可能な状態で収容される歯車収容箱とを有することを特徴とする。
ロボットハンドを前記一端のアーム部に対して相対的に旋回駆動する他の旋回駆動手段を含み、
他の旋回駆動手段は、
前記一端のアーム部に設けられる固定部と、固定部に対して、前記一端のアーム部の延在方向に略平行な回転軸線まわりに回転する回転部とを有し、前記一端のアーム部の内部空間に収容される他のモータと、
前記一端のアーム部の内部空間に収容され、他のモータとロボットハンドとの間に介在し、他のモータの動力を、他のモータの回転部からロボットハンドに伝達する他の動力伝達部とを含むことを特徴とする。
半導体ウェハが収容される容器と半導体ウェハを処理する処置装置との間で、半導体ウェハを搬送することを特徴とする。
SCARA)形の水平多関節ロボットによって実現される。基板搬送ロボット31は、ロボットアーム33と、ロボットアーム33の基端部33aが連結される基台34と、ロボットアーム33の先端部33bが連結され、ウェハ32を把持するロボットハンド35とを含む。
称FOUP)と呼ばれる容器(以下、「フープ」という)102に収容される。フープ102は、極所クリーン化技術に関し、クリーン環境におけるミニエンバイロメント用基板容器である。フープ102には、複数のウェハ32が収容される。フープ102に収容される各ウェハ32は、水平な状態で、上下方向Zに等間隔をあけて配置される。
2の向きを調整するアライナ119と、準備空間116に満たされる雰囲気気体を調整する準備空間調整装置120とを含む。準備空間調整装置120は、ファンフィルタユニットなどによって実現される。
本発明において、略平行は、平行を含む。
33 半導体ウェハ
34 基台
35 ロボットハンド
36 第1アーム部
37 第2アーム部
41,177 第1旋回駆動手段
42,166 第2旋回駆動手段
43 第3旋回駆動手段
71 第1モータ
72 第1動力伝達部
76 第2モータ
77,186 第2動力伝達部
81 第3モータ
82 第3動力伝達部
Claims (6)
- 基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
延在して形成される中空状の複数のアーム部を有し、各アーム部は一連に連結され、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互い連結される2つのアーム部は互いに相対的に旋回可能に設けられるロボットアームと、
互いに連結される2つのアーム部間の関節毎に設けられ、互いに連結される2つのアーム部を互いに相対的に旋回駆動する旋回駆動手段とを含み、
旋回駆動手段は、
互いに連結される2つのアーム部の一方に固定される固定部と、固定部に対して、前記一方のアーム部の延在方向に略平行な回転軸線まわりに回転する回転部とを有し、前記一方のアーム部の内部空間に収容されるモータと、
前記一方のアーム部の内部空間に収容され、モータと前記互いに連結される2つのアーム部の他方との間に介在し、モータの動力を、モータの回転部から前記他方のアーム部に伝達する動力伝達部とを含むことを特徴とする基板搬送ロボット。 - 前記一方のアーム部は、基台側のアーム部であることを特徴とする請求項1記載の基板搬送ロボット。
- 動力伝達部は、モータの動力を、複数の歯車によって、モータの回転部から前記他方のアーム部に伝達することを特徴とする請求項1または2記載の基板搬送ロボット。
- 動力伝達部は、
モータの回転部に、回転部の回転軸線と同軸に固定される第1歯車と、
前記他方のアーム部に、前記一方および他方のアーム部の旋回軸線と同軸に固定される第2歯車と、
第1および第2歯車間に介在する複数の中間歯車と、
前記一方のアーム部に固定され、各中間歯車が、各中間歯車の回転軸線まわりに回転可能な状態で収容される歯車収容箱とを有することを特徴とする請求項3記載の基板搬送ロボット。 - ロボットハンドが前記一端のアーム部に対して相対的に旋回可能に設けられる基板搬送ロボットであって、
ロボットハンドを前記一端のアーム部に対して相対的に旋回駆動する他の旋回駆動手段を含み、
他の旋回駆動手段は、
前記一端のアーム部に設けられる固定部と、固定部に対して、前記一端のアーム部の延在方向に略平行な回転軸線まわりに回転する回転部とを有し、前記一端のアーム部の内部空間に収容される他のモータと、
前記一端のアーム部の内部空間に収容され、他のモータとロボットハンドとの間に介在し、他のモータの動力を、他のモータの回転部からロボットハンドに伝達する他の動力伝達部とを含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の基板搬送ロボット。 - 基板として半導体ウェハを搬送する基板搬送ロボットであって、
半導体ウェハが収容される容器と半導体ウェハを処理する処置装置との間で、半導体ウェハを搬送することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の基板搬送ロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011125564A JP2011161629A (ja) | 2011-06-03 | 2011-06-03 | 基板搬送ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011125564A JP2011161629A (ja) | 2011-06-03 | 2011-06-03 | 基板搬送ロボット |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007114742A Division JP4980127B2 (ja) | 2007-04-24 | 2007-04-24 | 基板搬送ロボット |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013143470A Division JP5819356B2 (ja) | 2013-07-09 | 2013-07-09 | 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011161629A true JP2011161629A (ja) | 2011-08-25 |
JP2011161629A5 JP2011161629A5 (ja) | 2011-10-06 |
Family
ID=44592910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011125564A Withdrawn JP2011161629A (ja) | 2011-06-03 | 2011-06-03 | 基板搬送ロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2011161629A (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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