JP2011161629A5 - - Google Patents
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- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 11
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- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims 1
Claims (16)
- 開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置であって、
間隔をあけて配置され、それぞれ開口を有する第1壁と第2壁と、
第1壁と第2壁の間に配置される基板搬送ロボットとを含み、
基板搬送ロボットは、
第1旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第1旋回軸線まわりに旋回でき、第1旋回軸線に平行な第2旋回軸線が設定される第1アーム部と、
第1アーム部に連結され、第2旋回軸線まわりに旋回でき、第2旋回軸線に平行な第3旋回軸線が設定される第2アーム部と、
第2アーム部に連結され、第3旋回軸線まわりに旋回でき、第1旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第1アーム部、第2アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
第1旋回軸線は第1壁寄りに配置され、
第1アーム部を第1旋回軸線まわりに旋回させた場合に第1アーム部が第2壁に干渉せず、かつ第2旋回軸線が第2壁近傍を通過でき、
第2旋回軸線を第2壁に最も近付けた状態で第2アーム部を第2旋回軸線まわりに旋回させた場合に第2アーム部が第1壁に干渉せず、かつ第3旋回軸線が第1壁近傍を通過でき、
第2旋回軸線を第2壁に最も近付け、かつ第3旋回軸線を第1壁に最も近付けた状態でロボットハンドを第3旋回軸線まわりに旋回させた場合にロボットハンドが第2壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送装置。 - 開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置であって、
間隔をあけて配置され、それぞれ開口を有する第1壁と第2壁と、
第1壁と第2壁の間に配置される基板搬送ロボットとを含み、
基板搬送ロボットは、
第1旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第1旋回軸線まわりに旋回でき、第1旋回軸線に平行な第2旋回軸線が設定される第1アーム部と、
第1アーム部に連結され、第2旋回軸線まわりに旋回でき、第2旋回軸線に平行な第3旋回軸線が設定される第2アーム部と、
第2アーム部に連結され、第3旋回軸線まわりに旋回でき、第1旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第1アーム部、第2アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
第1旋回軸線は第1壁寄りに配置され、
第1アーム部が第1旋回軸線から第2壁に向かって延在し、かつ第2アーム部が第2旋回軸線から第1壁に向かって延在する状態で、第2旋回軸線が第2壁の近傍に位置し、かつ第3旋回軸線が第1壁の近傍に位置し、かつ第1アーム部と第2アーム部が第1壁および第2壁のいずれにも干渉せず、かつロボットハンドが第2壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送装置。 - 開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置であって、
間隔をあけて配置され、それぞれ開口を有する第1壁と第2壁と、
第1壁と第2壁の間に配置される基板搬送ロボットとを含み、
基板搬送ロボットは、
第1旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第1旋回軸線まわりに旋回でき、第1旋回軸線に平行な第2旋回軸線が設定される第1アーム部と、
第1アーム部に連結され、第2旋回軸線まわりに旋回でき、第2旋回軸線に平行な第3旋回軸線が設定される第2アーム部と、
第2アーム部に連結され、第3旋回軸線まわりに旋回でき、第1旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第1アーム部、第2アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
第1旋回軸線は第1壁寄りに配置され、
第1旋回軸線から第2旋回軸線に向かう方向を第1壁から第2壁に向かう方向とし、かつ第1旋回軸線から第2旋回軸線に向かう方向と第2旋回軸線から第3旋回軸線に向かう方向をそれぞれ第2壁と垂直な方向かつ互いに逆方向とした場合に、第2旋回軸線が第2壁の近傍に位置し、かつ第3旋回軸線が第1壁の近傍に位置し、かつ第1アーム部と第2アーム部が第1壁および第2壁のいずれにも干渉せず、かつロボットハンドが第2壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送装置。 - 第1壁に第1壁側の外部の物体が含まれ、第2壁に第2壁側の外部の物体が含まれることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の基板搬送装置。
- 第1アーム部は昇降軸を介して基台に連結されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の基板搬送装置。
- 基板搬送装置はフロントエンドモジュール装置であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の基板搬送装置。
- 第1壁または第2壁の少なくとも一方に開口が4つ並べて設けられることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の基板搬送装置。
- 少なくとも1つの開口にFOUPオープナが設けられることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の基板搬送装置。
- それぞれ開口を有する第1壁と第2壁が間隔をあけて配置され、各前記開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置に適用できる基板搬送ロボットであって、
第1旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第1旋回軸線まわりに旋回でき、第1旋回軸線に平行な第2旋回軸線が設定される第1アーム部と、
第1アーム部に連結され、第2旋回軸線まわりに旋回でき、第2旋回軸線に平行な第3旋回軸線が設定される第2アーム部と、
第2アーム部に連結され、第3旋回軸線まわりに旋回でき、第1旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第1アーム部、第2アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
基板搬送装置への少なくとも1つの設置状態において、
第1旋回軸線が第1壁と第2壁の間かつ第1壁寄りに配置され、
第1アーム部を第1旋回軸線まわりに旋回させた場合に第1アーム部が第2壁に干渉せず、かつ第2旋回軸線が第2壁近傍を通過でき、
第2旋回軸線を第2壁に最も近付けた状態で第2アーム部を第2旋回軸線まわりに旋回させた場合に第2アーム部が第1壁に干渉せず、かつ第3旋回軸線が第1壁近傍を通過でき、
第2旋回軸線を第2壁に最も近付け、かつ第3旋回軸線を第1壁に最も近付けた状態でロボットハンドを第3旋回軸線まわりに旋回させた場合にロボットハンドが第2壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送ロボット。 - それぞれ開口を有する第1壁と第2壁が間隔をあけて配置され、各前記開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置に適用できる基板搬送ロボットであって、
第1旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第1旋回軸線まわりに旋回でき、第1旋回軸線に平行な第2旋回軸線が設定される第1アーム部と、
第1アーム部に連結され、第2旋回軸線まわりに旋回でき、第2旋回軸線に平行な第3旋回軸線が設定される第2アーム部と、
第2アーム部に連結され、第3旋回軸線まわりに旋回でき、第1旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第1アーム部、第2アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
基板搬送装置への少なくとも1つの設置状態において、
第1旋回軸線が第1壁と第2壁の間かつ第1壁寄りに配置され、
第1アーム部が第1旋回軸線から第2壁に向かって延在し、かつ第2アーム部が第2旋回軸線から第1壁に向かって延在する状態で、第2旋回軸線が第2壁の近傍に位置し、かつ第3旋回軸線が第1壁の近傍に位置し、かつ第1アーム部と第2アーム部が第1壁および第2壁のいずれにも干渉せず、かつロボットハンドが第2壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送ロボット。 - それぞれ開口を有する第1壁と第2壁が間隔をあけて配置され、前記開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置に適用できる基板搬送ロボットであって、
第1旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第1旋回軸線まわりに旋回でき、第1旋回軸線に平行な第2旋回軸線が設定される第1アーム部と、
第1アーム部に連結され、第2旋回軸線まわりに旋回でき、第2旋回軸線に平行な第3旋回軸線が設定される第2アーム部と、
第2アーム部に連結され、第3旋回軸線まわりに旋回でき、第1旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第1アーム部、第2アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
基板搬送装置への少なくとも1つの設置状態において、
第1旋回軸線が第1壁と第2壁の間かつ第1壁寄りに配置され、
第1旋回軸線から第2旋回軸線に向かう方向を第1壁から第2壁に向かう方向とし、かつ第1旋回軸線から第2旋回軸線に向かう方向と第2旋回軸線から第3旋回軸線に向かう方向をそれぞれ第2壁と垂直な方向かつ互いに逆方向とした場合に、第2旋回軸線が第2壁の近傍に位置し、かつ第3旋回軸線が第1壁の近傍に位置し、かつ第1アーム部と第2アーム部が第1壁および第2壁のいずれにも干渉せず、かつロボットハンドが第2壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送ロボット。 - 第1壁に第1壁側の外部の物体が含まれ、第2壁に第2壁側の外部の物体が含まれることを特徴とする請求項9〜11のいずれか1つに記載の基板搬送ロボット。
- 第1アーム部は昇降軸を介して基台に連結されることを特徴とする請求項9〜12のいずれか1つに記載の基板搬送ロボット。
- 基板搬送装置はフロントエンドモジュール装置であることを特徴とする請求項9〜13のいずれか1つに記載の基板搬送装置ロボット。
- 第1壁または第2壁の少なくとも一方に開口が4つ並べて設けられることを特徴とする請求項9〜14のいずれか1つに記載の基板搬送ロボット。
- 少なくとも1つの開口にFOUPオープナが設けられることを特徴とする請求項9〜15のいずれか1つに記載の基板搬送ロボット。
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JP2011125564A JP2011161629A (ja) | 2011-06-03 | 2011-06-03 | 基板搬送ロボット |
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