JP2012035408A5 - 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、ウェハなどの基板を搬送するための基板搬送ロボットおよび基板搬送装置に関する。

本発明の目的は、位置決め精度を向上するとともに、外部の物体との干渉を防ぐことができる基板搬送ロボットおよび基板搬送装置を提供することである。

本発明は、基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であるロボットアームとを含み、
基台に連結されたアーム部は、基台に対して上下方向に延びる旋回軸線まわりに旋回可能であり、
前記旋回軸線が、上方から見て基台の中心からオフセットした位置に設けられ、
予め定める前後方向に配置される２つの壁を備え、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる基板搬送装置において、前記２つの壁および前記開閉装置を含む外部の物体の間に配置される基板搬送ロボットであって、
前記旋回軸線が上方から見て基台の中心からオフセットしている方向に存在する基台の側面が、前記予め定める前後方向において、前記外部の物体寄りに配置された状態において、前記一方の壁に設けられた複数の基板収容容器から基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボットである。

また本発明は、基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であるロボットアームとを含み、
基台に連結されたアーム部は、基台に対して上下方向に延びる旋回軸線まわりに旋回可能であり、
基台に連結されたアーム部の基台に対する予め定める旋回範囲において、基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部と、基台の側面の一部とが、上方から見て略一致した位置に配置され、
予め定める前後方向に配置される２つの壁を備え、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる基板搬送装置において、前記２つの壁および前記開閉装置を含む外部の物体の間に配置される基板搬送ロボットであって、
基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部に対して上方から見て略一致した位置に配置される基台の側面が、前記予め定める前後方向において、前記外部の物体寄りに配置された状態において、前記一方の壁に設けられた複数の基板収容容器から基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボットである。
また本発明は基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が壁に複数設けられた基板搬送装置に設けられ、前記複数の基板収容容器から基板を搬送することが可能な基板搬送ロボットであって、
基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であるロボットアームとを含み、
基台に連結されたアーム部は、基台に対して上下方向に延びる旋回軸線まわりに旋回可能であり、
前記旋回軸線が、上方から見て基台の中心からオフセットした位置に設けられ、
基台に連結されたアーム部の基台に対する予め定める旋回範囲において、基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部と、基台の側面の一部とが、上方から見て略一致した位置に配置され、
前記旋回軸線が上方から見て基台の中心からオフセットしている方向に存在する基台の側面が、基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部に対して上方から見て略一致した位置に配置される基台の側面に一致していることを特徴とする基板搬送ロボットである。

また本発明は、基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であり、各アーム部は内部空間を有するロボットアームと、
減速機を有し、互いに連結されたアーム部を互いに相対的に旋回駆動する駆動手段とを含み、
前記減速機は、前記複数のアーム部のうちのいずれかのアーム部の内部空間に収容され、
予め定める前後方向に配置される２つの壁を備え、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる基板搬送装置において、前記２つの壁および前記開閉装置を含む外部の物体の間に配置される基板搬送ロボットであって、
前記外部の物体寄りに配置された状態において、前記一方の壁に設けられた複数の基板収容容器から基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボットである。

また本発明は、前記駆動手段は、前記アーム部に固定されることを特徴とする。

また本発明は、前記駆動手段は、回転部と該回転部以外の部分とから成るモータを有し、少なくとも前記回転部が前記アーム部の内部空間に存在することを特徴とする。
また本発明は、複数並べられた基板収容容器から基板を搬送することができる基板搬送ロボットであって、
基台と、
延在して形成され、一端が基台に連結された第１アーム部と、
延在して形成され、一端が第１アーム部に連結された第２アーム部と、
第２アーム部に連結される、基板を把持するためのロボットハンドとを有し、
第１アーム部の長手方向の長さと、第２アーム部の長手方向の長さと、基板を把持した状態のロボットハンドの長手方向の長さとが略同一であることを特徴とする基板搬送ロボットである。
また本発明は、予め定める前後方向に配置される２つの壁であって、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる２つの壁と、基板搬送ロボットとを含む基板搬送装置であって、
前記基板搬送ロボットは、
基台と、
延在して形成され、一端が基台に連結された第１アーム部と、
延在して形成され、一端が第１アーム部に連結された第２アーム部と、
第２アーム部に連結される、基板を把持するためのロボットハンドとを有し、
前記基板搬送ロボットは、前記２つの壁の間に配置され、
前記基板搬送ロボットの第１アーム部の長手方向の長さと、第２アーム部の長手方向の長さと、基板を把持した状態のロボットハンドの長手方向の長さとが、前記前後方向における前記２つの壁の間隔よりわずかに小さな長さに設定されていることを特徴とする基板搬送装置である。

本発明によれば、基板搬送ロボットと外部の物体との干渉を防ぐことができる。

Claims (8)

1. 基台と、
   基板を把持するロボットハンドと、
   一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であるロボットアームとを含み、
   基台に連結されたアーム部は、基台に対して上下方向に延びる旋回軸線まわりに旋回可能であり、
   前記旋回軸線が、上方から見て基台の中心からオフセットした位置に設けられ、
   予め定める前後方向に配置される２つの壁を備え、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる基板搬送装置において、前記２つの壁および前記開閉装置を含む外部の物体の間に配置される基板搬送ロボットであって、
   前記旋回軸線が上方から見て基台の中心からオフセットしている方向に存在する基台の側面が、前記予め定める前後方向において、前記外部の物体寄りに配置された状態において、前記一方の壁に設けられた複数の基板収容容器から基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボット。
2. 基台と、
   基板を把持するロボットハンドと、
   一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であるロボットアームとを含み、
   基台に連結されたアーム部は、基台に対して上下方向に延びる旋回軸線まわりに旋回可能であり、
   基台に連結されたアーム部の基台に対する予め定める旋回範囲において、基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部と、基台の側面の一部とが、上方から見て略一致した位置に配置され、
   予め定める前後方向に配置される２つの壁を備え、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる基板搬送装置において、前記２つの壁および前記開閉装置を含む外部の物体の間に配置される基板搬送ロボットであって、
   基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部に対して上方から見て略一致した位置に配置される基台の側面が、前記予め定める前後方向において、前記外部の物体寄りに配置された状態において、前記一方の壁に設けられた複数の基板収容容器から基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボット。
3. 基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が壁に複数設けられた基板搬送装置に設けられ、前記複数の基板収容容器から基板を搬送することが可能な基板搬送ロボットであって、
   基台と、
   基板を把持するロボットハンドと、
   一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であるロボットアームとを含み、
   基台に連結されたアーム部は、基台に対して上下方向に延びる旋回軸線まわりに旋回可能であり、
   前記旋回軸線が、上方から見て基台の中心からオフセットした位置に設けられ、
   基台に連結されたアーム部の基台に対する予め定める旋回範囲において、基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部と、基台の側面の一部とが、上方から見て略一致した位置に配置され、
   前記旋回軸線が上方から見て基台の中心からオフセットしている方向に存在する基台の側面が、基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部に対して上方から見て略一致した位置に配置される基台の側面に一致していることを特徴とする基板搬送ロボット。
4. 基台と、
   基板を把持するロボットハンドと、
   一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であり、各アーム部は内部空間を有するロボットアームと、
   減速機を有し、互いに連結されたアーム部を互いに相対的に旋回駆動する駆動手段とを含み、
   前記減速機は、前記複数のアーム部のうちのいずれかのアーム部の内部空間に収容され、
   予め定める前後方向に配置される２つの壁を備え、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる基板搬送装置において、前記２つの壁および前記開閉装置を含む外部の物体の間に配置される基板搬送ロボットであって、
   前記外部の物体寄りに配置された状態において、前記一方の壁に設けられた複数の基板収容容器から基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボット。
5. 前記駆動手段は、前記アーム部に固定されることを特徴とする請求項４に記載の基板搬送ロボット。
6. 前記駆動手段は、回転部と該回転部以外の部分とから成るモータを有し、少なくとも前記回転部が前記アーム部の内部空間に存在することを特徴とする請求項４に記載の基板搬送ロボット。
7. 複数並べられた基板収容容器から基板を搬送することができる基板搬送ロボットであって、
   基台と、
   延在して形成され、一端が基台に連結された第１アーム部と、
   延在して形成され、一端が第１アーム部に連結された第２アーム部と、
   第２アーム部に連結される、基板を把持するためのロボットハンドとを有し、
   第１アーム部の長手方向の長さと、第２アーム部の長手方向の長さと、基板を把持した状態のロボットハンドの長手方向の長さとが略同一であることを特徴とする基板搬送ロボット。
8. 予め定める前後方向に配置される２つの壁であって、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる２つの壁と、基板搬送ロボットとを含む基板搬送装置であって、
   前記基板搬送ロボットは、
   基台と、
   延在して形成され、一端が基台に連結された第１アーム部と、
   延在して形成され、一端が第１アーム部に連結された第２アーム部と、
   第２アーム部に連結される、基板を把持するためのロボットハンドとを有し、
   前記基板搬送ロボットは、前記２つの壁の間に配置され、
   前記基板搬送ロボットの第１アーム部の長手方向の長さと、第２アーム部の長手方向の長さと、基板を把持した状態のロボットハンドの長手方向の長さとが、前記前後方向における前記２つの壁の間隔よりわずかに小さな長さに設定されていることを特徴とする基板搬送装置。