JP6499826B2 - 産業用ロボット - Google Patents

Description

本発明は、水平多関節ロボット等の産業用ロボットに関する。

従来、半導体ウエハを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体ウエハが搭載される２個のハンドと、２個のハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。アームは、本体部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部と、第２アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともに２個のハンドが先端側に連結される第３アーム部とから構成されている。

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、本体部に対して第１アーム部を回動させるとともに第１アーム部に対して第２アーム部を回動させるための第１駆動用モータが本体部の内部に配置されている。第２アーム部の内部には、第２アーム部に対して第３アーム部を回動させるための第２駆動用モータが配置されている。第３アーム部の内部には、第３アーム部に対して２個のハンドをそれぞれ個別に回動させるための２個のハンド駆動用モータが配置されている。

また、特許文献１に記載の産業用ロボットは、第１駆動用モータの回転位置を検出するエンコーダである第１エンコーダと、第２駆動用モータの回転位置を検出するエンコーダである第２エンコーダと、ハンド駆動用モータの回転位置を検出するエンコーダであるハンド用エンコーダとを備えている。この産業用ロボットが半導体の製造システムに設置されると、産業用ロボットの調整が行われて、第１駆動用モータの絶対回転位置の情報が第１エンコーダに記憶され、第２駆動用モータの絶対回転位置の情報が第２エンコーダに記憶され、ハンド駆動用モータの絶対回転位置の情報がハンド用エンコーダに記憶される。

特開２０１１−２３０２５６号公報

産業用ロボットには、真空チャンバー内に配置されて使用されるものがあるが、近年、真空チャンバー内に配置される産業用ロボットは大型化する傾向にある。そのため、真空チャンバー内に産業用ロボットを配置した後に、比較的狭い真空チャンバーの中で、大型化する産業用ロボットのハンドやアームを動作させて、モータの絶対回転位置の情報をエンコーダに記憶させるための調整を行うことが困難な状況が生じつつある。また、一般に、真空チャンバーの外側から真空チャンバーの内部を目視で確認することはできないため、従来、真空チャンバーの中で産業用ロボットのハンドやアームを動作させて、モータの絶対回転位置の情報をエンコーダに記憶させるための調整を行うことは困難である。

ここで、たとえば、特許文献１に記載の産業用ロボットの本体部に、第１エンコーダ、第２エンコーダおよびハンド用エンコーダが接続されるバッテリーを配置するとともに、組立工場での産業用ロボットの組立完了後に産業用ロボットの調整を行って、第１駆動用モータの絶対回転位置の情報を第１エンコーダに記憶し、第２駆動用モータの絶対回転位置の情報を第２エンコーダに記憶し、ハンド駆動用モータの絶対回転位置の情報をハンド用エンコーダに記憶すれば、産業用ロボットが組立工場から出荷されて半導体の製造システムに設置されるまでの間、バッテリーから供給される電力によって、各エンコーダに記憶された各モータの絶対回転位置の情報を保持することが可能である。そのため、この場合には、特許文献１に記載の産業用ロボットのハンドやアームを真空チャンバーの中で動作させて、モータの絶対回転位置の情報をエンコーダに記憶させるための調整を行う必要がなくなる。

一方で、上述のように、真空チャンバー内に配置される産業用ロボットは大型化する傾向にある。そのため、組立工場で組立、調整を行った後の産業用ロボットを、たとえば、ハンドとアームと本体部とに分解してから真空チャンバー内に搬入し、真空チャンバー内で再び組み立てないと、大型化する産業用ロボットを真空チャンバー内に配置できないといった状況が生じつつある。

特許文献１に記載の産業用ロボットにおいて、組立、調整後の産業用ロボットを、たとえば、ハンドとアームと本体部とに分解すると、本体部にバッテリーが配置されていても、第２エンコーダに記憶された第２駆動用モータの絶対回転位置の情報およびハンド用エンコーダに記憶されたハンド駆動用モータの絶対回転位置の情報がリセットされてしまう。そのため、大型化した特許文献１に記載の産業用ロボットが真空チャンバーに配置される場合には、真空チャンバー内での組立後に、産業用ロボットを再調整して、第２駆動用モータの絶対回転位置の情報を第２エンコーダに記憶させ、ハンド駆動用モータの絶対回転位置の情報をハンド用エンコーダに記憶させなければならない。しかしながら、上述のように、真空チャンバーの中で、大型化する産業用ロボットのハンドやアームを動作させて、モータの絶対回転位置の情報をエンコーダに記憶させるための調整を行うことは困難である。

そこで、本発明の課題は、組立、調整後に分解されて再組立される場合であっても、再組立後に、モータの絶対回転位置の情報をエンコーダに記憶させるための調整を不要とすることが可能な産業用ロボットを提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、ハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、ハンドおよびアームを駆動するための複数のモータとを備える産業用ロボットにおいて、少なくともハンドおよびアームが真空チャンバーの中に配置され、アームの内部の圧力は大気圧となっており、アームは、互いに相対回動可能に連結される第１アーム部と第２アーム部とから構成され、第１アーム部の基端側は、本体部に回動可能に連結され、第１アーム部の先端側には、第２アーム部の基端側が回動可能に連結され、第２アーム部の先端側には、ハンドが回動可能に連結され、産業用ロボットは、位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって連結されるとともに分割可能な２個以上の分割体によって構成され、ハンド、アームおよび本体部が分割体となっており、アームの内部と本体部の内部とに、モータと、モータの回転位置を検出するエンコーダと、エンコーダが接続されるバッテリーとが配置され、アームの内部には、第１アーム部に対して第２アーム部を回動させるためのモータとしての第１モータと、第２アーム部に対してハンドを回動させるためのモータとしての第２モータと、第１モータの回転位置を検出するエンコーダとしての第１エンコーダと、第２モータの回転位置を検出するエンコーダとしての第２エンコーダと、第１エンコーダおよび第２エンコーダが接続されるバッテリーとしての第１バッテリーとが配置され、本体部の内部には、本体部に対して第１アーム部を回動させるためのモータとしての第３モータと、アームを昇降させるためのモータとしての第４モータと、第３モータの回転位置を検出するエンコーダとしての第３エンコーダと、第４モータの回転位置を検出するエンコーダとしての第４エンコーダと、第３エンコーダおよび第４エンコーダが接続されるバッテリーとしての第２バッテリーとが配置されていることを特徴とする。また、上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、ハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、ハンドおよびアームを駆動するための複数のモータとを備える産業用ロボットにおいて、少なくともハンドおよびアームが真空チャンバーの中に配置され、アームの内部の圧力は大気圧となっており、アームは、互いに相対回動可能に連結される第１アーム部と第２アーム部とから構成され、第１アーム部の基端側は、本体部に回動可能に連結され、第１アーム部の先端側には、第２アーム部の基端側が回動可能に連結され、第２アーム部の先端側には、ハンドが回動可能に連結され、ハンドは、搬送対象物が搭載されるハンドフォークと、ハンドフォークが固定されるとともにアームの先端側に連結されるハンド基部とを備え、産業用ロボットは、位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって連結されるとともに分割可能な２個以上の分割体によって構成され、ハンドフォーク、ハンド基部、アームおよび本体部が分割体となっており、アームの内部と本体部の内部とに、モータと、モータの回転位置を検出するエンコーダと、エンコーダが接続されるバッテリーとが配置され、アームの内部には、第１アーム部に対して第２アーム部を回動させるためのモータとしての第１モータと、第２アーム部に対してハンドを回動させるためのモータとしての第２モータと、第１モータの回転位置を検出するエンコーダとしての第１エンコーダと、第２モータの回転位置を検出するエンコーダとしての第２エンコーダと、第１エンコーダおよび第２エンコーダが接続されるバッテリーとしての第１バッテリーとが配置され、本体部の内部には、本体部に対して第１アーム部を回動させるためのモータとしての第３モータと、アームを昇降させるためのモータとしての第４モータと、第３モータの回転位置を検出するエンコーダとしての第３エンコーダと、第４モータの回転位置を検出するエンコーダとしての第４エンコーダと、第３エンコーダおよび第４エンコーダが接続されるバッテリーとしての第２バッテリーとが配置されていることを特徴とする。

本発明の産業用ロボットは、分割可能な２個以上の分割体によって構成されており、モータおよびエンコーダが配置される分割体の内部には、エンコーダが接続されるバッテリーが配置されている。そのため、本発明では、組立工場で組立、調整された後の産業用ロボットが２個以上の分割体に分割されても、モータおよびエンコーダが配置される分割体の内部のバッテリーから供給される電力によって、組立工場で記憶されたモータの絶対回転位置の情報をエンコーダで保持し続けることが可能になる。したがって、本発明では、産業用ロボットが組立、調整後に分解されて再組立される場合であっても、再組立後に、モータの絶対回転位置の情報をエンコーダに記憶させるための調整を不要とすることが可能になる。また、大型化する産業用ロボットのハンドやアームを狭い真空チャンバー内で動かして、モータの絶対回転位置の情報をエンコーダに記憶させるための調整を行うことは困難であるが、本発明では、真空チャンバー内における、モータの絶対回転位置の情報をエンコーダに記憶させるための調整を不要とすることが可能になる。また、本発明では、分割体同士が、位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって連結されているため、産業用ロボットの再組立が容易になる。

また、本発明では、ハンド、アームおよび本体部が分割体となっており、アームの内部と本体部の内部とに、モータとエンコーダとバッテリーとが配置されている。また、本発明では、ハンドは、搬送対象物が搭載されるハンドフォークと、ハンドフォークが固定されるとともにアームの先端側に連結されるハンド基部とを備え、ハンドフォーク、ハンド基部、アームおよび本体部が分割体となっており、アームの内部と本体部の内部とに、モータとエンコーダとバッテリーとが配置されている。そのため、産業用ロボットを比較的容易に分割することが可能になる。

本発明において、たとえば、上下方向から見たときに、本体部に対する第１アーム部の回動中心と第１アーム部に対する第２アーム部の回動中心との距離と、第１アーム部に対する第２アーム部の回動中心と第２アーム部に対するハンドの回動中心との距離とが等しくなっており、本体部と、本体部に対する第１アーム部の回動中心と第２アーム部に対するハンドの回動中心とが上下方向で重なった状態のアームと、ハンドとが下側からこの順番に配置されて組み立てられる。この場合には、本体部に対する第１アーム部の回動中心および第２アーム部に対するハンドの回動中心の軸心上に、本体部とアームとハンドとを順番に配置することで産業用ロボットの組立を行うことが可能になる。したがって、産業用ロボットの組立が比較的容易になる。

以上のように、本発明では、産業用ロボットが組立、調整後に分解されて再組立される場合であっても、再組立後に、モータの絶対回転位置の情報をエンコーダに記憶させるための調整を不要とすることが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットが有機ＥＬディスプレイの製造システムに組み込まれた状態を示す平面図である。 図１に示す産業用ロボットの図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。 図２に示す産業用ロボットのアームが縮んでいる状態の平面図である。 図２に示す産業用ロボットの内部構造を側面から説明するための断面図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１が有機ＥＬディスプレイの製造システム３に組み込まれた状態を示す平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。図３は、図２に示す産業用ロボット１のアーム９が縮んでいる状態の平面図である。図４は、図２に示す産業用ロボット１の内部構造を側面から説明するための断面図である。

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するためのロボットである。このロボット１は、図１に示すように、有機ＥＬディスプレイの製造システム３に組み込まれて使用される水平多関節ロボットである。

製造システム３は、中心に配置されるトランスファーチャンバー４（以下、「チャンバー４」とする。）と、チャンバー４を囲むように配置される複数のプロセスチャンバー５（以下、「チャンバー５」とする。）とを備えている。チャンバー４、５の内部は、真空になっている。すなわち、チャンバー４、５は、真空チャンバーである。チャンバー４の内部には、ロボット１の一部が配置されている。ロボット１を構成する後述のハンドフォーク１６がチャンバー５内に入り込むことで、ロボット１は、複数のチャンバー５の間で基板２を搬送する。チャンバー５には、各種の装置等が配置されており、ロボット１で搬送された基板２が収容される。また、チャンバー５では、基板２に対して各種の処理が行われる。

図２〜図４に示すように、ロボット１は、基板２が搭載されるハンド８と、ハンド８がその先端側に回動可能に連結されるアーム９と、アーム９の基端側が回動可能に連結される本体部１０とを備えている。本体部１０は、アーム９の基端側が連結される昇降部１１と、昇降部１１を昇降させる昇降機構１２と、昇降部１１および昇降機構１２が収容されるケース体１３とを備えている。ケース体１３は、略有底円筒状に形成されている。ケース体１３の上端には、円板状に形成されたフランジ１４が固定されている。フランジ１４には、昇降部１１の上端側部分が配置される貫通孔が形成されている。

ハンド８およびアーム９は、本体部１０の上側に配置されている。上述のように、ロボット１の一部は、チャンバー４の内部に配置されている。具体的には、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分がチャンバー４の内部に配置されている。すなわち、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分は、真空領域ＶＲの中に配置されており、ハンド８およびアーム９は、真空チャンバー内（真空中）に配置されている。一方、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも下側の部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されている。

ハンド８は、アーム９の先端側に連結されるハンド基部１５と、基板２が搭載される４本のハンドフォーク１６とを備えている。ハンドフォーク１６は、直線状に形成されている。４本のハンドフォーク１６のうちの２本のハンドフォーク１６は、互いに所定の間隔をあけた状態で平行に配置されている。この２本のハンドフォーク１６は、ハンド基部１５から水平方向の一方側へ突出するようにハンド基部１５に固定されている。残りの２本のハンドフォーク１６は、ハンド基部１５から水平方向の一方側へ突出する２本のハンドフォーク１６と反対側に向かってハンド基部１５から突出するようにハンド基部１５に固定されている。

アーム９は、互いに相対回動可能に連結される第１アーム部１８と第２アーム部１９との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１８および第２アーム部１９は、中空状に形成されている。すなわち、アーム９の全体は、中空状に形成されている。第１アーム部１８の基端側は、本体部１０に回動可能に連結されている。第１アーム部１８の先端側には、第２アーム部１９の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１９の先端側には、ハンド８が回動可能に連結されている。第２アーム部１９は、第１アーム部１８よりも上側に配置されている。また、ハンド８は、第２アーム部１９よりも上側に配置されている。

アーム９と本体部１０との連結部（すなわち、第１アーム部１８と本体部１０との連結部）は、関節部２０となっている。第１アーム部１８と第２アーム部１９との連結部は、関節部２１となっている。アーム９とハンド８との連結部（すなわち、第２アーム部１９とハンド８との連結部）は、関節部２２となっている。本体部１０に対する第１アーム部１８の回動中心と第１アーム部１８に対する第２アーム部１９の回動中心との距離は、第１アーム部１８に対する第２アーム部１９の回動中心と第２アーム部１９に対するハンド８の回動中心との距離と等しくなっている。

中空状に形成される第１アーム部１８の内部には、第１アーム部１８に対して第２アーム部１９を回動させるためのモータ２３と、第２アーム部１９に対してハンド８を回動させるためのモータ２４とが配置されている。また、第１アーム部１８の内部には、モータ２３の回転位置を検出するエンコーダ（図示省略）と、モータ２４の回転位置を検出するエンコーダ（図示省略）と、この２個のエンコーダが接続されるバッテリー２５とが配置されている。本形態のモータ２３は第１モータであり、モータ２４は第２モータである。また、モータ２３の回転位置を検出するエンコーダは第１エンコーダであり、モータ２４の回転位置を検出するエンコーダは第２エンコーダであり、バッテリー２５は第１バッテリーである。

関節部２１には、モータ２３の回転を減速して第２アーム部１９に伝達する減速機２６が配置されている。また、関節部２１には、中空回転軸２７が配置されている。減速機２６は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機であり、中空回転軸２７は、減速機２６の内周側に配置されている。減速機２６の入力側には、プーリおよびベルトを介してモータ２３が連結されている。減速機２６の出力側は、第２アーム部１９の基端側に連結されている。減速機２６のケース体は、第１アーム部１８の先端側に連結されている。モータ２３が回転すると、減速機２６等を介してモータ２３の動力が第２アーム部１９の基端側に伝達されて、第２アーム部１９が回動する。

中空回転軸２７の下端側には、プーリおよびベルトを介してモータ２４が連結されている。関節部２２には、モータ２４の回転を減速してハンド８に伝達する減速機２８が配置されている。減速機２８は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。減速機２８の入力側には、プーリおよびベルトを介して中空回転軸２７の上端側が連結されている。減速機２８の出力側は、ハンド８のハンド基部１５に連結されている。減速機２８のケース体は、第２アーム部１９の先端側に連結されている。モータ２４が回転すると、中空回転軸２７および減速機２８等を介してモータ２４の動力がハンド８のハンド基部１５に伝達されて、ハンド８が回動する。

第１アーム部１８の内部および第２アーム部１９の内部は密閉されており、第１アーム部１８の内部の圧力および第２アーム部１９の内部の圧力は大気圧となっている。すなわち、モータ２３、２４、減速機２６、２８およびバッテリー２５は、大気中に配置されている。また、バッテリー２５は、第１アーム部１８の基端側の内部に配置されている。関節部２１には、第１アーム部１８の内部の密閉状態を確保するための磁性流体シールが配置され、関節部２２には、第２アーム部１９の内部の密閉状態を確保するための磁性流体シールが配置されている。なお、第１アーム部１８の内部と第２アーム部１９の内部とは、中空回転軸２７の内周側を介して通じている。

昇降部１１には、本体部１０に対して第１アーム部１８を回動させるためのモータ３１が取り付けられている。また、昇降部１１は、第１アーム部１８の基端側が固定される中空回転軸３２と、モータ３１の回転を減速して第１アーム部１８に伝達する減速機３３と、減速機３３のケース体を保持するとともに中空回転軸３２を回動可能に保持する略円筒状の保持部材３４とを備えている。

減速機３３は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。この減速機３３は、その貫通孔の軸中心と中空回転軸３２の軸中心とが一致するように配置されている。減速機３３の入力側には、プーリおよびベルトを介してモータ３１が連結されている。減速機３３の出力側には、中空回転軸３２の下端が固定されている。中空回転軸３２の上端には、第１アーム部１８の基端側の下面が固定されている。中空回転軸３２は、保持部材３４の内周側に配置されており、中空回転軸３２の外周面と保持部材３４の内周面との間には軸受が配置されている。モータ３１が回転すると、中空回転軸３２および減速機３３等を介してモータ３１の動力が第１アーム部１８に伝達されて、第１アーム部１８が回動する。

昇降機構１２は、上下方向を軸方向として配置されるネジ部材３８と、ネジ部材３８に係合するナット部材３９と、ネジ部材３８を回転させるモータ４０とを備えている。ネジ部材３８は、ケース体１３の底面側に回転可能に取り付けられている。モータ４０は、ケース体１３の底面側に取り付けられている。ネジ部材３８は、プーリおよびベルトを介してモータ４０に連結されている。ナット部材３９は、所定のブラケットを介して昇降部１１に取り付けられている。モータ４０が回転すると、ネジ部材３８が回転して、昇降部１１がナット部材３９と一緒に昇降する。すなわち、モータ４０が回転すると、アーム９が昇降部１１と一緒に昇降する。

ケース体１３の内部の圧力は、大気圧となっている。関節部２０には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐ磁性流体シールが配置されている。また、関節部２０には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐためのベローズが配置されている。なお、第１アーム部１８の基端側の下面には、中空回転軸３２の内周側に通じる貫通孔が形成されており、第１アーム部１８の内部は、大気圧となっているケース体１３の内部に通じている。

ケース体１３の内部には、モータ３１の回転位置を検出するエンコーダ（図示省略）と、モータ４０の回転位置を検出するエンコーダ（図示省略）と、この２個のエンコーダが接続されるバッテリー４５とが配置されている。すなわち、本体部１０の内部には、モータ３１の回転位置を検出するエンコーダと、モータ４０の回転位置を検出するエンコーダと、この２個のエンコーダが接続されるバッテリー４５とが配置されている。本形態のモータ３１は第３モータであり、モータ４０は第４モータである。また、モータ３１の回転位置を検出するエンコーダは第３エンコーダであり、モータ４０の回転位置を検出するエンコーダは第４エンコーダであり、バッテリー４５は第２バッテリーである。

以上のように構成されたロボット１では、組立工場内での組立が完了すると、調整が行われて、モータ２３、２４、３１、４０の絶対回転位置の情報がそれぞれのエンコーダに記憶される。また、組立工場で組立、調整を行った後のロボット１は、組立工場からの出荷時に、本体部１０、アーム９、ハンド基部１５およびハンドフォーク１６に分解されて製造システム３まで搬送される。あるいは、組立工場で組立、調整を行った後のロボット１は、製造システム３に設置される前に、本体部１０、アーム９、ハンド基部１５およびハンドフォーク１６に分解される。この分解状態で、本体部１０がチャンバー４のフレームに固定されるとともに、アーム９、ハンド基部１５およびハンドフォーク１６がチャンバー４の中に搬入されて、ロボット１が再組立される。

本形態のロボット１は、組立工場での組立、調整後に、本体部１０とアーム９とハンド基部１５と４本のハンドフォーク１６とに分解されることを前提として、図４に示すように、本体部１０とアーム９とハンド基部１５と４本のハンドフォーク１６とに分割可能となっている。具体的には、本体部１０とアーム９とが（より具体的には、第１アーム部１８と中空回転軸３２とが）、位置決めピン等の位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって互いに連結され、アーム９とハンド基部１５とが（より具体的には、第２アーム部１９に保持される減速機２８の出力側とハンド基部１５とが）、位置決めピン等の位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって互いに連結され、ハンド基部１５と４本のハンドフォーク１６とは、位置決めピン等の位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって互いに連結されている。本形態の本体部１０、アーム９、ハンド基部１５およびハンドフォーク１６は、位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって連結されるとともに分割可能な分割体である。

また、本形態のロボット１は、本体部１０と、本体部１０に対する第１アーム部１８の回動中心と第２アーム部１９に対するハンド８の回動中心とが上下方向で重なった状態のアーム９（図３参照）と、ハンド８とが下側からこの順番に配置されることで組み立てられる。すなわち、ロボット１は、本体部１０と、縮んでいる状態のアーム９と、ハンド基部１５と、４本のハンドフォーク１６とが下側からこの順番に配置されることで組み立てられる。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって連結されるとともに分割可能な本体部１０、アーム９、ハンド基部１５および４本のハンドフォーク１６によってロボット１が構成されている。また、本形態では、モータ２３、２４およびモータ２３、２４の回転位置を検出するエンコーダが配置されるアーム９の内部にバッテリー２５が配置され、モータ３１、４０およびモータ３１、４０の回転位置を検出するエンコーダが配置される本体部１０の内部にバッテリー４５が配置されている。

そのため、本形態では、組立工場で組立、調整された後のロボット１が、本体部１０とアーム９とハンド基部１５と４本のハンドフォーク１６とに分解されても、バッテリー２５から供給される電力によって、組立工場で記憶されたモータ２３、２４の絶対回転位置の情報をエンコーダで保持し続けることが可能になるとともに、バッテリー４５から供給される電力によって、組立工場で記憶されたモータ３１、４０の絶対回転位置の情報をエンコーダで保持し続けることが可能になる。したがって、本形態では、ロボット１が組立、調整後に分解されて再組立される場合であっても、再組立後に、モータ２３、２４、３１、４０の絶対回転位置の情報をそれぞれのエンコーダに記憶させるための調整を不要とすることが可能になる。すなわち、本形態では、比較的狭いチャンバー４の中でハンド８やアーム９を動かして、モータ２３、２４、３１、４０の絶対回転位置の情報をそれぞれのエンコーダに記憶させるための調整を不要とすることが可能になる。

また、本形態では、本体部１０とアーム９とが位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって互いに連結され、アーム９とハンド基部１５とが位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって互いに連結され、ハンド基部１５と４本のハンドフォーク１６とが位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって互いに連結されているため、ロボット１の再組立が容易になる。

本形態では、本体部１０と、本体部１０に対する第１アーム部１８の回動中心と第２アーム部１９に対するハンド８の回動中心とが上下方向で重なった状態のアーム９と、ハンド基部１５と、４本のハンドフォーク１６とが下側からこの順番に配置されることで、ロボット１が組み立てられている。そのため、本形態では、本体部１０に対する第１アーム部１８の回動中心および第２アーム部１９に対するハンド８の回動中心の軸心上に、本体部１０とアーム９とハンド８とを順番に配置することで、ロボット１の組立を行うことが可能になる。したがって、本形態では、ロボット１の組立が比較的容易になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態では、第１アーム部１８の内部にバッテリー２５が配置されているが、第２アーム部１９の内部にバッテリー２５が配置されても良い。また、上述した形態では、第１アーム部１８の内部にモータ２３、２４が配置されているが、第２アーム部１９の内部にモータ２３および／またはモータ２４が配置されても良い。この場合には、バッテリー２５は、第１アーム部１８の内部に配置されても良いし、第２アーム部１９の内部に配置されても良い。

上述した形態では、ロボット１は、組立工場での組立、調整後に、本体部１０とアーム９とハンド基部１５と４本のハンドフォーク１６とに分解されることを前提として、本体部１０とアーム９とハンド基部１５と４本のハンドフォーク１６とに分割可能となっている。この他にもたとえば、組立工場でのロボット１の組立、調整後に、本体部１０とアーム９とハンド８とに分解されることを前提として、ロボット１は、本体部１０とアーム９とハンド８とに分割可能となっていても良い。この場合には、ハンド基部１５と４本のハンドフォーク１６とが互いに位置決め部材によって位置決めされていなくても良い。また、この場合には、本体部１０、アーム９およびハンド８が、位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって連結されるとともに分割可能な分割体となる。

また、組立工場での組立、調整後に、本体部１０と第１アーム部１８と第２アーム部１９とハンド基部１５と４本のハンドフォーク１６とに分解されることを前提として、ロボット１は、本体部１０と第１アーム部１８と第２アーム部１９とハンド基部１５と４本のハンドフォーク１６とに分割可能となっていても良い。この場合には、第１アーム部１８と第２アーム部１９とが、位置決めピン等の位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって互いに連結される。また、この場合には、本体部１０、第１アーム部１８、第２アーム部１９、ハンド基部１５およびハンドフォーク１６が、位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって連結されるとともに分割可能な分割体となる。

また、この場合には、モータ２３、２４は、第１アーム部１８の内部に配置されても良いし、第２アーム部１９の内部に配置されても良い。また、この場合には、たとえば、モータ２３が第１アーム部１８の内部に配置され、モータ２４が第２アーム部１９の内部に配置されても良い。モータ２３、２４が第１アーム部１８の内部に配置される場合には、バッテリー２５は第１アーム部１８の内部に配置され、モータ２３、２４が第２アーム部１９の内部に配置される場合には、バッテリー２５は第２アーム部１９の内部に配置される。また、モータ２３が第１アーム部１８の内部に配置され、モータ２４が第２アーム部１９の内部に配置される場合には、モータ２３のエンコーダが接続されるバッテリーが第１アーム部１８の内部に配置され、モータ２４のエンコーダが接続されるバッテリーが第２アーム部１９の内部に配置される。

上述した形態では、ロボット１は、第１アーム部１８に対して第２アーム部１９を回動させるためのモータ２３と、第２アーム部１９に対してハンド８を回動させるためのモータ２４とを備えている。この他にもたとえば、１台のモータによって、第１アーム部１８に対して第２アーム部１９が回動し、かつ、第２アーム部１９に対してハンド８が回動するように、モータからアーム９およびハンド８への動力の伝達機構が構成されても良い。また、上述した形態では、本体部１０は、昇降機構１２を備えているが、本体部１０は、昇降機構１２を備えていなくても良い。

上述した形態では、アーム９は、第１アーム部１８と第２アーム部１９との２個のアーム部によって構成されているが、アーム９は、３個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態では、アーム９は、１個の第１アーム部１８と１個の第２アーム部１９とによって構成されているが、アーム９は、１個の第１アーム部１８と、２個の第２アーム部１９とによって構成されても良い。この場合には、第１アーム部１８は、略Ｖ形状あるいは直線状に形成されており、その中心部が本体部１０に回動可能に連結される基端部となっている。また、第１アーム部１８の２個の先端側のそれぞれに第２アーム部１９が回動可能に連結されている。また、上述した形態では、ロボット１は、１本のアーム９を備えているが、ロボット１は、本体部１０にその基端側が回動可能に連結される２本のアーム９を備えていても良い。

上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は有機ＥＬディスプレイ用の基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、半導体ウエハ等であっても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、搬送対象物を搬送するための水平多関節ロボットであるが、ロボット１は、他の用途で使用される水平多関節ロボットであっても良いし、溶接等の用途で使用される垂直多関節ロボットであっても良い。

１ ロボット（産業用ロボット）
４ チャンバー（トランスファーチャンバー、真空チャンバー）
８ ハンド（分割体）
９ アーム（分割体）
１０ 本体部（分割体）
１５ ハンド基部（分割体）
１６ ハンドフォーク（分割体）
１８ 第１アーム部
１９ 第２アーム部
２３ モータ（第１モータ）
２４ モータ（第２モータ）
２５ バッテリー（第１バッテリー）
３１ モータ（第３モータ）
４０ モータ（第４モータ）
４５ バッテリー（第２バッテリー）

Claims (3)

1. ハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記ハンドおよび前記アームを駆動するための複数のモータとを備える産業用ロボットにおいて、
   少なくとも前記ハンドおよび前記アームが真空チャンバーの中に配置され、
   前記アームの内部の圧力は大気圧となっており、
   前記アームは、互いに相対回動可能に連結される第１アーム部と第２アーム部とから構成され、
   前記第１アーム部の基端側は、前記本体部に回動可能に連結され、前記第１アーム部の先端側には、前記第２アーム部の基端側が回動可能に連結され、前記第２アーム部の先端側には、前記ハンドが回動可能に連結され、
   前記産業用ロボットは、位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって連結されるとともに分割可能な２個以上の分割体によって構成され、
   前記ハンド、前記アームおよび前記本体部が前記分割体となっており、
   前記アームの内部と前記本体部の内部とに、前記モータと、前記モータの回転位置を検出するエンコーダと、前記エンコーダが接続されるバッテリーとが配置され、
   前記アームの内部には、前記第１アーム部に対して前記第２アーム部を回動させるための前記モータとしての第１モータと、前記第２アーム部に対して前記ハンドを回動させるための前記モータとしての第２モータと、前記第１モータの回転位置を検出する前記エンコーダとしての第１エンコーダと、前記第２モータの回転位置を検出する前記エンコーダとしての第２エンコーダと、前記第１エンコーダおよび前記第２エンコーダが接続される前記バッテリーとしての第１バッテリーとが配置され、
   前記本体部の内部には、前記本体部に対して前記第１アーム部を回動させるための前記モータとしての第３モータと、前記アームを昇降させるための前記モータとしての第４モータと、前記第３モータの回転位置を検出する前記エンコーダとしての第３エンコーダと、前記第４モータの回転位置を検出する前記エンコーダとしての第４エンコーダと、前記第３エンコーダおよび前記第４エンコーダが接続される前記バッテリーとしての第２バッテリーとが配置されていることを特徴とする産業用ロボット。
2. ハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記ハンドおよび前記アームを駆動するための複数のモータとを備える産業用ロボットにおいて、
   少なくとも前記ハンドおよび前記アームが真空チャンバーの中に配置され、
   前記アームの内部の圧力は大気圧となっており、
   前記アームは、互いに相対回動可能に連結される第１アーム部と第２アーム部とから構成され、
   前記第１アーム部の基端側は、前記本体部に回動可能に連結され、前記第１アーム部の先端側には、前記第２アーム部の基端側が回動可能に連結され、前記第２アーム部の先端側には、前記ハンドが回動可能に連結され、
   前記ハンドは、搬送対象物が搭載されるハンドフォークと、前記ハンドフォークが固定されるとともに前記アームの先端側に連結されるハンド基部とを備え、
   前記産業用ロボットは、位置決め部材によって位置決めされた状態でネジによって連結されるとともに分割可能な２個以上の分割体によって構成され、
   前記ハンドフォーク、前記ハンド基部、前記アームおよび前記本体部が前記分割体となっており、
   前記アームの内部と前記本体部の内部とに、前記モータと、前記モータの回転位置を検出するエンコーダと、前記エンコーダが接続されるバッテリーとが配置され、
   前記アームの内部には、前記第１アーム部に対して前記第２アーム部を回動させるための前記モータとしての第１モータと、前記第２アーム部に対して前記ハンドを回動させるための前記モータとしての第２モータと、前記第１モータの回転位置を検出する前記エンコーダとしての第１エンコーダと、前記第２モータの回転位置を検出する前記エンコーダとしての第２エンコーダと、前記第１エンコーダおよび前記第２エンコーダが接続される前記バッテリーとしての第１バッテリーとが配置され、
   前記本体部の内部には、前記本体部に対して前記第１アーム部を回動させるための前記モータとしての第３モータと、前記アームを昇降させるための前記モータとしての第４モータと、前記第３モータの回転位置を検出する前記エンコーダとしての第３エンコーダと、前記第４モータの回転位置を検出する前記エンコーダとしての第４エンコーダと、前記第３エンコーダおよび前記第４エンコーダが接続される前記バッテリーとしての第２バッテリーとが配置されていることを特徴とする産業用ロボット。
3. 上下方向から見たときに、前記本体部に対する前記第１アーム部の回動中心と前記第１アーム部に対する前記第２アーム部の回動中心との距離と、前記第１アーム部に対する前記第２アーム部の回動中心と前記第２アーム部に対する前記ハンドの回動中心との距離とが等しくなっており、
   前記本体部と、前記本体部に対する前記第１アーム部の回動中心と前記第２アーム部に対する前記ハンドの回動中心とが上下方向で重なった状態の前記アームと、前記ハンドとが下側からこの順番に配置されて組み立てられることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。

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