KR101694602B1 - 산업용 로봇 - Google Patents

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KR101694602B1
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다카유키 야자와
요시키 시무라
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6638878B2 (ja) * 2015-12-01 2020-01-29 株式会社安川電機 ロボット、ロボットシステム、ロボットのメンテナンス方法
JP2018001313A (ja) * 2016-06-29 2018-01-11 セイコーエプソン株式会社 ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム
JP6915269B2 (ja) * 2016-12-27 2021-08-04 セイコーエプソン株式会社 ロボット
KR102327388B1 (ko) * 2016-12-29 2021-11-16 현대중공업지주 주식회사 진공로봇
JP2019010691A (ja) * 2017-06-29 2019-01-24 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット
JP6902422B2 (ja) 2017-07-28 2021-07-14 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP6869137B2 (ja) 2017-07-28 2021-05-12 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP7074494B2 (ja) 2018-02-16 2022-05-24 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットの補正値算出方法
JP7129788B2 (ja) * 2018-02-16 2022-09-02 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットの補正値算出方法
JP6999443B2 (ja) 2018-02-16 2022-01-18 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットの補正値算出方法
JP6998790B2 (ja) 2018-02-16 2022-01-18 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットの調整方法
JP7094115B2 (ja) 2018-02-16 2022-07-01 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットの補正値算出方法
JP7080068B2 (ja) * 2018-02-16 2022-06-03 日本電産サンキョー株式会社 ロボットの位置情報復元方法
JP6999444B2 (ja) 2018-02-16 2022-01-18 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットの補正値算出方法
JP7097722B2 (ja) 2018-03-20 2022-07-08 日本電産サンキョー株式会社 ロボットの位置情報復元方法
JP6798591B2 (ja) * 2019-08-30 2020-12-09 株式会社安川電機 ロボット、ロボットシステム、ロボットのメンテナンス方法
JP2022158392A (ja) * 2021-04-02 2022-10-17 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0230484A (ja) * 1988-07-15 1990-01-31 Hitachi Ltd マニピユレータ
JPH0567490U (ja) * 1992-12-24 1993-09-07 ファナック株式会社 産業用ロボット
JPH0819985A (ja) * 1994-07-04 1996-01-23 Mitsubishi Electric Corp ロボット装置
JPH08216072A (ja) * 1995-02-20 1996-08-27 Tokico Ltd 工業用ロボット
US5794487A (en) * 1995-07-10 1998-08-18 Smart Machines Drive system for a robotic arm
GB9706625D0 (en) * 1997-04-01 1997-05-21 Khairallah Charles Hyper-redundant robot
JPH11254378A (ja) * 1998-03-13 1999-09-21 Ebara Corp 基板ハンドリングロボット
JP3955499B2 (ja) * 2001-08-07 2007-08-08 日本電産サンキョー株式会社 ハンドの位置合わせ方法およびその装置
US6605914B2 (en) * 2001-08-24 2003-08-12 Xerox Corporation Robotic toy modular system
JP3756095B2 (ja) * 2001-10-01 2006-03-15 日本サーボ株式会社 多関節型の産業用ロボット及び当該ロボットのアームユニット
JP2005051188A (ja) * 2003-07-28 2005-02-24 Yasuhito Itagaki 搬送工程レイアウト方法並び複合機能ロボット及び完全密閉構造を成したクランプ方式アライナ装置。
JP4605560B2 (ja) * 2005-12-05 2011-01-05 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
CN201027091Y (zh) * 2006-08-03 2008-02-27 陈延行 仓库管理机器人
CN100562410C (zh) * 2006-11-10 2009-11-25 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种平面多关节机器人
CN101583852B (zh) * 2007-02-26 2011-03-16 株式会社安川电机 绝对值编码器装置及多转检测方法
WO2008111410A1 (ja) * 2007-03-14 2008-09-18 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki 基板搬送ロボット
US20090084927A1 (en) * 2007-09-27 2009-04-02 Fanuc Ltd Industrial robot
TWI471531B (zh) * 2008-08-26 2015-02-01 尼康股份有限公司 Encoder system, signal processing method
JP5462064B2 (ja) 2010-04-28 2014-04-02 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP5344315B2 (ja) * 2010-11-04 2013-11-20 株式会社安川電機 ロボットの手首構造及びロボット
JP5803173B2 (ja) * 2011-03-17 2015-11-04 株式会社デンソーウェーブ ロボット制御装置およびキャリブレーション方法
JP2013027948A (ja) * 2011-07-28 2013-02-07 Seiko Epson Corp ロボット装置及びロボット装置の制御方法
JP5403021B2 (ja) * 2011-09-08 2014-01-29 株式会社安川電機 ロボット、ロボットの設置方法および製造装置
JP2012035408A (ja) * 2011-11-09 2012-02-23 Kawasaki Heavy Ind Ltd 基板搬送ロボット
JP5472283B2 (ja) * 2011-12-21 2014-04-16 株式会社安川電機 ロボットのアーム構造およびロボット
CN103465275A (zh) * 2013-09-24 2013-12-25 昆山泰丰自动化技术有限公司 一种机械手编码器供电系统

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Publication number Publication date
CN110808225A (zh) 2020-02-18
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JP2015139854A (ja) 2015-08-03
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