KR101694602B1 - Industrial robot - Google Patents

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KR101694602B1
KR101694602B1 KR1020150004095A KR20150004095A KR101694602B1 KR 101694602 B1 KR101694602 B1 KR 101694602B1 KR 1020150004095 A KR1020150004095 A KR 1020150004095A KR 20150004095 A KR20150004095 A KR 20150004095A KR 101694602 B1 KR101694602 B1 KR 101694602B1
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motor
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다카유키 야자와
요시키 시무라
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 조립, 조정 후에 분해되고 재조립되는 경우에도, 재조립 후에 모터의 절대 회전 위치의 정보를 인코더에 기억시키기 위한 조정을 필요치 않게 하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다.
로봇(1)은 핸드(8) 및 아암(9)을 구동하기 위한 복수의 모터(23, 24, 31, 40)를 구비하고 있다. 본체부(10)와 아암(9)은 위치 결정 부재로 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 연결되고, 아암(9)과 핸드(8)는 위치 결정 부재로 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 연결되어 있으며, 본체부(10)와 아암(9)과 핸드(8)는 분할 가능하게 되어 있다. 로봇(1)에서는, 모터(23, 24)와, 모터(23, 24)의 인코더와, 이 인코더가 접속되는 배터리(25)가 아암(9)의 내부에 배치되고, 모터(31, 40)와, 모터(31, 40)의 인코더와, 이 인코더가 접속되는 배터리(45)가 본체부(10)의 내부에 배치되어 있다.The present invention provides an industrial robot capable of making it unnecessary to make an adjustment to store information on the absolute rotation position of the motor to the encoder after reassembly even when disassembled and reassembled after assembly, adjustment, and the like.
The robot 1 is provided with a plurality of motors 23, 24, 31, 40 for driving the hand 8 and the arm 9. The main body 10 and the arm 9 are connected by a screw in a state of being positioned by the positioning member and the arm 9 and the hand 8 are connected by a screw in a state of being positioned by the positioning member, The main body 10, the arm 9, and the hand 8 are divisible. In the robot 1, motors 23 and 24, an encoder of the motors 23 and 24, and a battery 25 to which the encoder is connected are disposed inside the arm 9, An encoder of the motors 31 and 40 and a battery 45 to which the encoder is connected are disposed inside the main body 10. [

Description

산업용 로봇 {INDUSTRIAL ROBOT}INDUSTRIAL ROBOT

본 발명은 수평 다관절 로봇 등의 산업용 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to an industrial robot such as a horizontal articulated robot.

종래, 반도체 웨이퍼를 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 반도체 웨이퍼가 탑재되는 2개의 핸드와, 2개의 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 아암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 아암은, 본체부에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부와, 제1 아암부의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 아암부와, 제2 아암부의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 2개의 핸드가 선단측에 연결되는 제3 아암부로 구성되어 있다.Conventionally, an industrial robot for transporting a semiconductor wafer is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot disclosed in Patent Document 1 has two hands on which a semiconductor wafer is mounted, an arm in which two hands are rotatably connected to the distal end side, and a body portion in which the base end side of the arm is rotatably connected. The arm includes a first arm portion rotatably connected to the proximal end side of the main body portion, a second arm portion rotatably connected to the proximal end side of the first arm portion, a second arm portion rotatably connected to the proximal end side of the second arm portion, And a third arm portion to which the two hands are connected to the distal end side.

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 본체부에 대하여 제1 아암부를 회동시킴과 함께, 제1 아암부에 대하여 제2 아암부를 회동시키기 위한 제1 구동용 모터가 본체부의 내부에 배치되어 있다. 제2 아암부의 내부에는, 제2 아암부에 대하여 제3 아암부를 회동시키기 위한 제2 구동용 모터가 배치되어 있다. 제3 아암부의 내부에는, 제3 아암부에 대하여 2개의 핸드를 각각 개별적으로 회동시키기 위한 2개의 핸드 구동용 모터가 배치되어 있다.In the industrial robot disclosed in Patent Document 1, a first driving motor for rotating the first arm portion with respect to the main body portion and rotating the second arm portion with respect to the first arm portion is disposed inside the main body portion. Inside the second arm portion, a second drive motor for rotating the third arm portion relative to the second arm portion is disposed. Inside the third arm portion, two hand driving motors for individually rotating the two hands with respect to the third arm portion are disposed.

또한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 제1 구동용 모터의 회전 위치를 검출하는 인코더인 제1 인코더와, 제2 구동용 모터의 회전 위치를 검출하는 인코더인 제2 인코더와, 핸드 구동용 모터의 회전 위치를 검출하는 인코더인 핸드용 인코더를 구비하고 있다. 이 산업용 로봇이 반도체의 제조 시스템에 설치되면, 산업용 로봇의 조정이 행해져, 제1 구동용 모터의 절대 회전 위치의 정보가 제1 인코더에 기억되고, 제2 구동용 모터의 절대 회전 위치의 정보가 제2 인코더에 기억되며, 핸드 구동용 모터의 절대 회전 위치의 정보가 핸드용 인코더에 기억된다.The industrial robot disclosed in Patent Document 1 includes a first encoder as an encoder for detecting the rotational position of the first driving motor, a second encoder as an encoder for detecting the rotational position of the second driving motor, Which is an encoder for detecting the rotation position of the hand. When this industrial robot is installed in the semiconductor manufacturing system, the industrial robot is adjusted, information of the absolute rotation position of the first drive motor is stored in the first encoder, and information of the absolute rotation position of the second drive motor is stored And information on the absolute rotation position of the hand drive motor is stored in the hand encoder.

일본 특허 공개 제2011-230256호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-230256

산업용 로봇 중에는 진공 챔버 내에 배치되어 사용되는 것이 있는데, 최근 들어, 진공 챔버 내에 배치되는 산업용 로봇은 대형화되는 경향이 있다. 그 때문에, 진공 챔버 내에 산업용 로봇을 배치한 후에, 비교적 좁은 진공 챔버 내에서, 대형화되는 산업용 로봇의 핸드나 아암을 동작시켜 모터의 절대 회전 위치의 정보를 인코더에 기억시키기 위한 조정을 행하는 것이 곤란한 상황이 점점 발생하고 있다. 또한 일반적으로 진공 챔버의 외측에서 진공 챔버의 내부를 육안으로 확인할 수는 없기 때문에, 종래, 진공 챔버 중에서 산업용 로봇의 핸드나 아암을 동작시켜 모터의 절대 회전 위치의 정보를 인코더에 기억시키기 위한 조정을 행하는 것은 곤란하다.Industrial robots are used in a vacuum chamber. In recent years, industrial robots disposed in a vacuum chamber tend to be large-sized. Therefore, it is difficult to operate the hand or arm of the enlarged industrial robot in the relatively narrow vacuum chamber after arranging the industrial robot in the vacuum chamber, and to make adjustment for storing the information of the absolute rotation position of the motor in the encoder This is happening more and more. In general, since the inside of the vacuum chamber can not be visually confirmed from the outside of the vacuum chamber, conventionally, an adjustment for storing the information of the absolute rotation position of the motor in the encoder by operating the hand or arm of the industrial robot in the vacuum chamber It is difficult to do.

여기서, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇의 본체부에, 제1 인코더, 제2 인코더 및 핸드용 인코더가 접속되는 배터리를 배치함과 함께, 조립 공장에서의 산업용 로봇의 조립 완료 후에 산업용 로봇의 조정을 행하여, 제1 구동용 모터의 절대 회전 위치의 정보를 제1 인코더에 기억하고, 제2 구동용 모터의 절대 회전 위치의 정보를 제2 인코더에 기억하며, 핸드 구동용 모터의 절대 회전 위치의 정보를 핸드용 인코더에 기억하면, 산업용 로봇이 조립 공장에서 출하되어 반도체의 제조 시스템에 설치되기까지의 사이, 배터리로부터 공급되는 전력에 의하여, 각 인코더에 기억된, 각 모터의 절대 회전 위치의 정보를 유지하는 것이 가능하다. 그로 인하여 이 경우에는, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇의 핸드나 아암을 진공 챔버 중에서 동작시켜 모터의 절대 회전 위치의 정보를 인코더에 기억시키기 위한 조정을 행할 필요가 없게 된다.Here, for example, a battery to which the first encoder, the second encoder, and the hand encoder are connected is disposed in the main body of the industrial robot described in Patent Document 1, and after the assembling of the industrial robot in the assembly factory, Information on the absolute rotation position of the first drive motor is stored in the first encoder, information on the absolute rotation position of the second drive motor is stored in the second encoder, and absolute rotation When the information of the position is stored in the hand encoder, it is possible to detect the absolute rotation position of each motor, which is stored in each encoder, by the electric power supplied from the battery during the time when the industrial robot is shipped from the assembly factory and installed in the semiconductor manufacturing system It is possible to maintain the information of " Therefore, in this case, it is not necessary to operate the hand or arm of the industrial robot described in Patent Document 1 in the vacuum chamber to make an adjustment to store the absolute rotation position information of the motor in the encoder.

한편, 상술한 바와 같이 진공 챔버 내에 배치되는 산업용 로봇은 대형화되는 경향이 있다. 그 때문에, 조립 공장에서 조립, 조정을 행한 후의 산업용 로봇을, 예를 들어 핸드와 아암과 본체부로 분해하고 난 후 진공 챔버 내에 반입하여 진공 챔버 내에서 다시 조립하지 않으면, 대형화되는 산업용 로봇을 진공 챔버 내에 배치할 수 없다는 등의 상황이 점점 발생하고 있다.On the other hand, as described above, the industrial robots disposed in the vacuum chamber tend to be large-sized. Therefore, if the industrial robot after assembly and adjustment in the assembling factory is disassembled into, for example, a hand and an arm and a body part, and then brought into the vacuum chamber and assembled again in the vacuum chamber, It can not be placed in a room.

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에 있어서, 조립, 조정 후의 산업용 로봇을, 예를 들어 핸드와 아암과 본체부로 분해하면, 본체부에 배터리가 배치되어 있더라도, 제2 인코더에 기억된 제2 구동용 모터의 절대 회전 위치의 정보, 및 핸드용 인코더에 기억된 핸드 구동용 모터의 절대 회전 위치의 정보가 리셋되어 버린다. 그 때문에, 대형화되는, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇이 진공 챔버에 배치되는 경우에는 진공 챔버 내에서의 조립 후에 산업용 로봇을 재조정하여, 제2 구동용 모터의 절대 회전 위치의 정보를 제2 인코더에 기억시키고, 핸드 구동용 모터의 절대 회전 위치의 정보를 핸드용 인코더에 기억시켜야 한다. 그러나 상술한 바와 같이 진공 챔버 내에서, 대형화되는 산업용 로봇의 핸드나 아암을 동작시켜 모터의 절대 회전 위치의 정보를 인코더에 기억시키기 위한 조정을 행하는 것은 곤란하다.In the industrial robot disclosed in Patent Document 1, if the assembled and adjusted industrial robot is decomposed into, for example, a hand and an arm and a body portion, even if a battery is disposed in the body portion, The information of the absolute rotation position of the hand driving motor and the information of the absolute rotation position of the hand driving motor stored in the hand encoder are reset. Therefore, when the industrial robot described in Patent Document 1 is placed in the vacuum chamber, the industrial robot is readjusted after the assembly in the vacuum chamber, and information on the absolute rotation position of the second driving motor is supplied to the second encoder And information on the absolute rotation position of the hand drive motor must be stored in the hand encoder. However, as described above, it is difficult to operate the hand or arm of the industrial robot that is to be enlarged in the vacuum chamber to make an adjustment for storing the absolute rotation position information of the motor in the encoder.

따라서 본 발명의 과제는 조립, 조정 후에 분해되고 재조립되는 경우에도, 재조립 후에 모터의 절대 회전 위치의 정보를 인코더에 기억시키기 위한 조정을 필요치 않게 하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.It is therefore an object of the present invention to provide an industrial robot capable of making it unnecessary to make an adjustment to store information on an absolute rotation position of a motor after reassembly in an encoder even if it is disassembled and reassembled after assembly and adjustment.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 산업용 로봇은, 핸드와, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 아암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 핸드 및 아암을 구동하기 위한 복수의 모터를 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇은, 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 연결됨과 함께, 분할 가능한 둘 이상의 분할체로 구성되고, 적어도 2개의 분할체의 내부에, 모터와, 모터의 회전 위치를 검출하는 인코더가 배치됨과 함께, 모터 및 인코더가 배치되는 분할체의 내부에, 인코더가 접속되는 배터리가 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an industrial robot including: a hand; an arm rotatably connected to a distal end of the hand; a main body rotatably connected to a proximal end of the arm; An industrial robot including a plurality of motors, wherein the industrial robot is connected by a screw in a state where it is positioned by a positioning member, and is constituted by at least two divided bodies capable of being divided, And an encoder for detecting the rotational position of the motor, and a battery to which the encoder is connected is disposed inside the divided body where the motor and the encoder are disposed.

본 발명의 산업용 로봇은, 분할 가능한 둘 이상의 분할체로 구성되어 있으며, 모터 및 인코더가 배치되는 분할체의 내부에는, 인코더가 접속되는 배터리가 배치되어 있다. 그로 인하여 본 발명에서는, 조립 공장에서 조립, 조정된 후의 산업용 로봇이 둘 이상의 분할체로 분할되더라도, 모터 및 인코더가 배치되는 분할체의 내부의 배터리로부터 공급되는 전력에 의하여, 조립 공장에서 기억된 모터의 절대 회전 위치의 정보를 인코더에서 계속하여 유지하는 것이 가능해진다. 따라서 본 발명에서는, 산업용 로봇이 조립, 조정 후에 분해되고 재조립되는 경우에도, 재조립 후에 모터의 절대 회전 위치의 정보를 인코더에 기억시키기 위한 조정을 필요치 않게 하는 것이 가능해진다. 또한 본 발명에서는, 분할체끼리가 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 연결되어 있기 때문에, 산업용 로봇의 재조립이 용이해진다.The industrial robot of the present invention is constituted by two or more segmentable bodies that can be divided, and a battery to which an encoder is connected is disposed in a divided body where a motor and an encoder are disposed. Therefore, in the present invention, even if the industrial robot after being assembled and adjusted in the assembling factory is divided into two or more divided bodies, by the electric power supplied from the battery inside the divided body in which the motor and the encoder are disposed, The information of the absolute rotation position can be continuously held in the encoder. Therefore, in the present invention, even when the industrial robot is disassembled and reassembled after assembly and adjustment, it becomes possible to make it unnecessary to make an adjustment to store information on the absolute rotation position of the motor after reassembly in the encoder. Further, in the present invention, since the divided bodies are connected by screws in a state where they are positioned by the positioning member, reassembly of the industrial robot is facilitated.

본 발명에 있어서, 예를 들어 핸드, 아암 및 본체부가 분할체로 되어 있고, 아암의 내부와 본체부의 내부에 모터와 인코더와 배터리가 배치되어 있다. 또한 본 발명에 있어서, 핸드는 반송 대상물이 탑재되는 핸드 포크와, 핸드 포크가 고정됨과 함께, 아암의 선단측에 연결되는 핸드 기부를 구비하고, 핸드 포크, 핸드 기부, 아암 및 본체부가 분할체로 되어 있으며, 아암의 내부와 본체부의 내부에 모터와 인코더와 배터리가 배치되어 있어도 된다. 이 경우에는 산업용 로봇을 비교적 용이하게 분할하는 것이 가능해진다.In the present invention, for example, the hand, the arm, and the main body portion are divided bodies, and the motor, the encoder, and the battery are disposed inside the arm and the body portion. Further, in the present invention, the hand includes a hand fork on which the object to be transported is mounted, and a hand base connected to the distal end side of the arm with the hand fork being fixed, and the hand fork, the hand base, A motor, an encoder, and a battery may be disposed inside the arm and inside the body. In this case, it becomes possible to divide the industrial robot relatively easily.

본 발명에 있어서, 예를 들어 아암은 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부와 제2 아암부로 구성되고, 제1 아암부의 기단측은 본체부에 회동 가능하게 연결되고, 제1 아암부의 선단측에는 제2 아암부의 기단측이 회동 가능하게 연결되며, 제2 아암부의 선단측에는 핸드가 회동 가능하게 연결되고, 아암의 내부에는, 제1 아암부에 대하여 제2 아암부를 회동시키기 위한 모터로서의 제1 모터와, 제2 아암부에 대하여 핸드를 회동시키기 위한 모터로서의 제2 모터와, 제1 모터의 회전 위치를 검출하는 인코더로서의 제1 인코더와, 제2 모터의 회전 위치를 검출하는 인코더로서의 제2 인코더와, 제1 인코더 및 제2 인코더가 접속되는 배터리로서의 제1 배터리가 배치되고, 본체부의 내부에는, 본체부에 대하여 제1 아암부를 회동시키기 위한 모터로서의 제3 모터와, 아암을 승강시키기 위한 모터로서의 제4 모터와, 제3 모터의 회전 위치를 검출하는 인코더로서의 제3 인코더와, 제4 모터의 회전 위치를 검출하는 인코더로서의 제4 인코더와, 제3 인코더 및 제4 인코더가 접속되는 배터리로서의 제2 배터리가 배치되어 있다.In the present invention, for example, the arm is composed of a first arm portion and a second arm portion connected to each other so as to be rotatable relative to each other, the base end side of the first arm portion is rotatably connected to the main body portion, A hand is pivotally connected to the distal end side of the second arm portion and a first motor as a motor for rotating the second arm portion with respect to the first arm portion is rotatably connected to the proximal end side of the second arm portion, A second motor as a motor for rotating the hand with respect to the second arm portion, a first encoder as an encoder for detecting the rotational position of the first motor, and a second encoder as an encoder for detecting the rotational position of the second motor. And a first battery as a battery to which the first encoder and the second encoder are connected and a third battery as a motor for rotating the first arm with respect to the main body, A third encoder as an encoder for detecting the rotational position of the third motor, a fourth encoder as an encoder for detecting the rotational position of the fourth motor, and a fourth encoder as an encoder for detecting the rotational position of the fourth motor. And a second battery as a battery to which the fourth encoder is connected.

본 발명에 있어서, 예를 들어 아암은 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부와 제2 아암부로 구성되고, 제1 아암부의 기단측은 본체부에 회동 가능하게 연결되고, 제1 아암부의 선단측에는 제2 아암부의 기단측이 회동 가능하게 연결되며, 제2 아암부의 선단측에는 핸드가 회동 가능하게 연결되고, 상하 방향에서 보았을 때, 본체부에 대한 제1 아암부의 회동 중심과 제1 아암부에 대한 제2 아암부의 회동 중심의 거리와, 제1 아암부에 대한 제2 아암부의 회동 중심과 제2 아암부에 대한 핸드의 회동 중심의 거리가 같게 되어 있으며, 본체부와, 본체부에 대한 제1 아암부의 회동 중심과 제2 아암부에 대한 핸드의 회동 중심이 상하 방향으로 중첩된 상태의 아암과, 핸드가 하측으로부터 이 순서대로 배치되어 조립된다. 이 경우에는, 본체부에 대한 제1 아암부의 회동 중심 및 제2 아암부에 대한 핸드의 회동 중심의 축심 상에 본체부와 아암과 핸드를 순서대로 배치함으로써, 산업용 로봇의 조립을 행하는 것이 가능해진다. 따라서 산업용 로봇의 조립이 비교적 용이해진다.In the present invention, for example, the arm is composed of a first arm portion and a second arm portion connected to each other so as to be rotatable relative to each other, the base end side of the first arm portion is rotatably connected to the main body portion, The first arm portion is rotatably connected to the proximal end side of the second arm portion and the hand is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion so that the rotation center of the first arm portion with respect to the main body portion, The distance between the center of rotation of the second arm portion and the distance between the center of rotation of the second arm portion with respect to the first arm portion and the center of rotation of the hand with respect to the second arm portion, An arm in which the pivotal center of the arm portion and the pivotal center of the hand with respect to the second arm portion are overlapped in the vertical direction, and hands are arranged in this order from the lower side. In this case, the industrial robot can be assembled by sequentially arranging the main body, the arm, and the hand on the central axis of the pivotal center of the first arm portion with respect to the main body portion and the pivotal center of the hand with respect to the second arm portion . Therefore, the assembling of the industrial robot becomes relatively easy.

본 발명에서는, 예를 들어 적어도 핸드 및 아암이 진공 챔버 내에 배치되어 있다. 대형화되는 산업용 로봇의 핸드나 아암을 좁은 진공 챔버 내에서 움직여 모터의 절대 회전 위치의 정보를 인코더에 기억시키기 위한 조정을 행하는 것은 곤란하지만, 본 발명에서는, 진공 챔버 내에 있어서의, 모터의 절대 회전 위치의 정보를 인코더에 기억시키기 위한 조정을 필요치 않게 하는 것이 가능해진다.In the present invention, for example, at least a hand and an arm are disposed in a vacuum chamber. It is difficult to move the hand or the arm of the industrial robot to be enlarged in a narrow vacuum chamber so as to make an adjustment to store the information of the absolute rotation position of the motor in the encoder. However, in the present invention, It is possible to make it unnecessary to make an adjustment for storing the information of the encoder in the encoder.

이상과 같이 본 발명에서는, 산업용 로봇이 조립, 조정 후에 분해되고 재조립되는 경우에도, 재조립 후에 모터의 절대 회전 위치의 정보를 인코더에 기억시키기 위한 조정을 필요치 않게 하는 것이 가능해진다.As described above, according to the present invention, even when the industrial robot is disassembled and reassembled after assembling and adjusting, it becomes possible to make it unnecessary to make an adjustment for storing the absolute rotation position information of the motor after reassembly in the encoder.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에 내장된 상태를 도시하는 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시하는 산업용 로봇의 아암이 수축되어 있는 상태의 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시하는 산업용 로봇의 내부 구조를 측면으로부터 설명하기 위한 단면도이다.1 is a plan view showing a state in which an industrial robot according to an embodiment of the present invention is embedded in a manufacturing system of an organic EL display.
Fig. 2 is a view of the industrial robot shown in Fig. 1, (A) is a plan view, and Fig. 2 (B) is a side view.
Fig. 3 is a plan view of the arm of the industrial robot shown in Fig. 2 in a contracted state.
Fig. 4 is a sectional view for explaining the internal structure of the industrial robot shown in Fig. 2 from the side; Fig.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로봇의 구성)(Configuration of industrial robot)

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장된 상태를 도시하는 평면도이다. 도 2는 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다. 도 3은 도 2에 도시하는 산업용 로봇(1)의 아암(9)이 수축되어 있는 상태의 평면도이다. 도 4는 도 2에 도시하는 산업용 로봇(1)의 내부 구조를 측면으로부터 설명하기 위한 단면도이다.1 is a plan view showing a state in which an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention is embedded in a manufacturing system 3 of an organic EL display. Fig. 2 is a view of the industrial robot 1 shown in Fig. 1, wherein (A) is a plan view and (B) is a side view. Fig. 3 is a plan view of the arm 9 of the industrial robot 1 shown in Fig. 2 in a contracted state. Fig. 4 is a sectional view for explaining the internal structure of the industrial robot 1 shown in Fig. 2 from the side.

본 실시 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라고 함)은 반송 대상물인 유기 EL(유기 일렉트로루미네센스) 디스플레이용 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라고 함)을 반송하기 위한 로봇이다. 이 로봇(1)은 도 1에 도시한 바와 같이 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템(3)에 내장되어 사용되는 수평 다관절 로봇이다.(Hereinafter referred to as " substrate 2 ") for an organic EL (organic electro luminescence) display, which is an object to be transported, of the industrial robot 1 of the present embodiment Quot;). 1, the robot 1 is a horizontal articulated robot used in a manufacturing system 3 of an organic EL display.

제조 시스템(3)은, 중심에 배치되는 트랜스퍼 챔버(4)(이하, 「챔버(4)」라고 함)와, 챔버(4)를 둘러싸도록 배치되는 복수의 프로세스 챔버(5)(이하, 「챔버(5)」라고 함)를 구비하고 있다. 챔버(4, 5)의 내부는 진공으로 되어 있다. 즉, 챔버(4, 5)는 진공 챔버이다. 챔버(4)의 내부에는 로봇(1)의 일부가 배치되어 있다. 로봇(1)을 구성하는, 후술하는 핸드 포크(16)가 챔버(5) 내에 인입함으로써, 로봇(1)은 복수의 챔버(5) 사이에서 기판(2)을 반송한다. 챔버(5)에는 각종 장치 등이 배치되어 있으며, 로봇(1)에 의하여 반송된 기판(2)이 수용된다. 또한 챔버(5)에서는 기판(2)에 대하여 각종 처리가 행해진다.The manufacturing system 3 includes a transfer chamber 4 (hereinafter referred to as a " chamber 4 ") disposed centrally, a plurality of process chambers 5 Quot; chamber 5 "). The inside of the chambers 4 and 5 is evacuated. That is, the chambers 4 and 5 are vacuum chambers. A part of the robot 1 is disposed inside the chamber 4. The robot 1 carries the substrate 2 between the plurality of chambers 5 as the hand fork 16 constituting the robot 1 is drawn into the chamber 5. [ Various devices and the like are disposed in the chamber 5, and the substrate 2 carried by the robot 1 is accommodated. In the chamber 5, various kinds of processing are performed on the substrate 2.

도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이 로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 핸드(8)와, 핸드(8)가 그 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암(9)과, 아암(9)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(10)를 구비하고 있다. 본체부(10)는, 아암(9)의 기단측이 연결되는 승강부(11)와, 승강부(11)를 승강시키는 승강 기구(12)와, 승강부(11) 및 승강 기구(12)가 수용되는 케이스체(13)를 구비하고 있다. 케이스체(13)는 대략 바닥이 있는 원통형으로 형성되어 있다. 케이스체(13)의 상단부에는 원판형으로 형성된 플랜지(14)가 고정되어 있다. 플랜지(14)에는, 승강부(11)의 상단측 부분이 배치되는 관통 구멍이 형성되어 있다.2 to 4, the robot 1 includes a hand 8 on which the substrate 2 is mounted, an arm 9 rotatably connected to the distal end of the hand 8, (10) to which a proximal end side of the main body (9) is rotatably connected. The main body portion 10 includes a lift portion 11 to which a proximal end side of the arm 9 is connected, a lift mechanism 12 to lift the lift portion 11, a lift portion 11 and a lift mechanism 12, And a case body 13 in which the case body 13 is accommodated. The case body 13 is formed into a substantially cylindrical shape having a bottom. A circular plate-shaped flange 14 is fixed to the upper end of the housing 13. The flange 14 is formed with a through hole through which the upper end portion of the elevation portion 11 is disposed.

핸드(8) 및 아암(9)은 본체부(10)의 상측에 배치되어 있다. 상술한 바와 같이 로봇(1)의 일부는 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단면보다 상측의 부분이 챔버(4)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단면보다 상측의 부분은 진공 영역(VR) 내에 배치되어 있으며, 핸드(8) 및 아암(9)은 진공 챔버 내(진공 중)에 배치되어 있다. 한편, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단면보다 하측의 부분은 대기 영역(AR) 내(대기 중)에 배치되어 있다.The hand 8 and the arm 9 are arranged on the upper side of the main body 10. As described above, a part of the robot 1 is disposed inside the chamber 4. Specifically, a portion of the robot 1 on the upper side than the lower end face of the flange 14 is disposed inside the chamber 4. [ That is, the upper portion of the robot 1 on the upper side than the lower end face of the flange 14 is disposed in the vacuum region VR, and the hand 8 and the arm 9 are disposed in the vacuum chamber . On the other hand, a portion of the robot 1 below the lower end surface of the flange 14 is disposed in the waiting area AR (in the air).

핸드(8)는, 아암(9)의 선단측에 연결되는 핸드 기부(15)와, 기판(2)이 탑재되는 4개의 핸드 포크(16)를 구비하고 있다. 핸드 포크(16)는 직선형으로 형성되어 있다. 4개의 핸드 포크(16) 중 2개의 핸드 포크(16)는 서로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. 이 2개의 핸드 포크(16)는 핸드 기부(15)로부터 수평 방향의 일방측으로 돌출되도록 핸드 기부(15)에 고정되어 있다. 나머지 2개의 핸드 포크(16)는, 핸드 기부(15)로부터 수평 방향의 일방측으로 돌출된 2개의 핸드 포크(16)와 반대측을 향하여 핸드 기부(15)로부터 돌출되도록 핸드 기부(15)에 고정되어 있다.The hand 8 has a hand base 15 connected to the distal end side of the arm 9 and four hand forks 16 on which the substrate 2 is mounted. The hand fork 16 is formed in a straight line. The two hand forks 16 of the four hand forks 16 are arranged in parallel with a predetermined spacing therebetween. The two hand forks 16 are fixed to the hand base 15 so as to protrude from the hand base 15 in one direction in the horizontal direction. The remaining two hand forks 16 are fixed to the hand base 15 so as to protrude from the hand base 15 toward the opposite side of the two hand forks 16 protruding from the hand base 15 in one direction in the horizontal direction have.

아암(9)은, 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부(18)와 제2 아암부(19)의 2개의 아암부로 구성되어 있다. 제1 아암부(18) 및 제2 아암부(19)는 중공형으로 형성되어 있다. 즉, 아암(9)의 전체는 중공형으로 형성되어 있다. 제1 아암부(18)의 기단측은 본체부(10)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제1 아암부(18)의 선단측에는 제2 아암부(19)의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 아암부(19)의 선단측에는 핸드(8)가 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 아암부(19)는 제1 아암부(18)보다 상측에 배치되어 있다. 또한 핸드(8)는 제2 아암부(19)보다 상측에 배치되어 있다.The arm 9 is composed of two arm portions, i.e., a first arm portion 18 and a second arm portion 19, which are rotatably connected to each other. The first arm portion 18 and the second arm portion 19 are formed in a hollow shape. That is, the entire arm 9 is formed in a hollow shape. The base end side of the first arm portion 18 is rotatably connected to the main body portion 10. On the tip end side of the first arm portion 18, the base end side of the second arm portion 19 is rotatably connected. A hand 8 is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 19. The second arm portion (19) is disposed above the first arm portion (18). Further, the hand 8 is disposed above the second arm 19.

아암(9)과 본체부(10)의 연결부(즉, 제1 아암부(18)와 본체부(10)의 연결부)는 관절부(20)로 되어 있다. 제1 아암부(18)와 제2 아암부(19)의 연결부는 관절부(21)로 되어 있다. 아암(9)과 핸드(8)의 연결부(즉, 제2 아암부(19)와 핸드(8)의 연결부)는 관절부(22)로 되어 있다. 본체부(10)에 대한 제1 아암부(18)의 회동 중심과 제1 아암부(18)에 대한 제2 아암부(19)의 회동 중심의 거리는, 제1 아암부(18)에 대한 제2 아암부(19)의 회동 중심과 제2 아암부(19)에 대한 핸드(8)의 회동 중심의 거리와 같게 되어 있다.The connecting portion between the arm 9 and the main body portion 10 (that is, the connecting portion between the first arm portion 18 and the main body portion 10) is the joint portion 20. The connecting portion between the first arm portion 18 and the second arm portion 19 is a joint portion 21. [ The connecting portion between the arm 9 and the hand 8 (that is, the connecting portion between the second arm portion 19 and the hand 8) is the joint portion 22. The distance between the center of rotation of the first arm portion 18 with respect to the main body portion 10 and the center of rotation of the second arm portion 19 with respect to the first arm portion 18, 2 arm portion 19 and the center of rotation of the hand 8 with respect to the second arm portion 19, as shown in Fig.

중공형으로 형성되는 제1 아암부(18)의 내부에는, 제1 아암부(18)에 대하여 제2 아암부(19)를 회동시키기 위한 모터(23)와, 제2 아암부(19)에 대하여 핸드(8)를 회동시키기 위한 모터(24)가 배치되어 있다. 또한 제1 아암부(18)의 내부에는, 모터(23)의 회전 위치를 검출하는 인코더(도시 생략)와, 모터(24)의 회전 위치를 검출하는 인코더(도시 생략)와, 이 2개의 인코더가 접속되는 배터리(25)가 배치되어 있다. 본 실시 형태의 모터(23)는 제1 모터이며, 모터(24)는 제2 모터이다. 또한 모터(23)의 회전 위치를 검출하는 인코더는 제1 인코더이고, 모터(24)의 회전 위치를 검출하는 인코더는 제2 인코더이며, 배터리(25)는 제1 배터리이다.A motor 23 for rotating the second arm portion 19 with respect to the first arm portion 18 and a motor 23 for rotating the second arm portion 19 are provided in the first arm portion 18 formed in a hollow shape, A motor 24 for rotating the hand 8 is disposed. An encoder (not shown) for detecting the rotational position of the motor 23, an encoder (not shown) for detecting the rotational position of the motor 24, and an encoder And a battery 25 to which a battery 25 is connected. The motor 23 of the present embodiment is a first motor, and the motor 24 is a second motor. The encoder for detecting the rotational position of the motor 23 is the first encoder, the encoder for detecting the rotational position of the motor 24 is the second encoder, and the battery 25 is the first battery.

관절부(21)에는 모터(23)의 회전을 감속하여 제2 아암부(19)에 전달하는 감속기(26)가 배치되어 있다. 또한 관절부(21)에는 중공 회전축(27)이 배치되어 있다. 감속기(26)는 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이며, 중공 회전축(27)은 감속기(26)의 내주측에 배치되어 있다. 감속기(26)의 입력측에는 풀리 및 벨트를 통하여 모터(23)가 연결되어 있다. 감속기(26)의 출력측은 제2 아암부(19)의 기단측에 연결되어 있다. 감속기(26)의 케이스체는 제1 아암부(18)의 선단측에 연결되어 있다. 모터(23)가 회전하면, 감속기(26) 등을 통하여 모터(23)의 동력이 제2 아암부(19)의 기단측에 전달되어 제2 아암부(19)가 회동한다.A decelerator 26 for decelerating the rotation of the motor 23 and transmitting the decelerated rotation to the second arm portion 19 is disposed in the joint 21. Further, a hollow rotary shaft 27 is disposed in the joint part 21. The speed reducer 26 is a hollow speed reducer having a through hole at its center in the radial direction and the hollow rotary shaft 27 is disposed on the inner peripheral side of the speed reducer 26. A motor 23 is connected to the input side of the speed reducer 26 through a pulley and a belt. The output side of the speed reducer (26) is connected to the base end side of the second arm portion (19). The casing of the speed reducer 26 is connected to the tip end side of the first arm portion 18. [ When the motor 23 rotates, the power of the motor 23 is transmitted to the base end side of the second arm portion 19 through the speed reducer 26 and the like, and the second arm portion 19 rotates.

중공 회전축(27)의 하단부측에는 풀리 및 벨트를 통하여 모터(24)가 연결되어 있다. 관절부(22)에는 모터(24)의 회전을 감속하여 핸드(8)에 전달하는 감속기(28)가 배치되어 있다. 감속기(28)는 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. 감속기(28)의 입력측에는 풀리 및 벨트를 통하여 중공 회전축(27)의 상단측이 연결되어 있다. 감속기(28)의 출력측은 핸드(8)의 핸드 기부(15)에 연결되어 있다. 감속기(28)의 케이스체는 제2 아암부(19)의 선단측에 연결되어 있다. 모터(24)가 회전하면, 중공 회전축(27) 및 감속기(28) 등을 통하여 모터(24)의 동력이 핸드(8)의 핸드 기부(15)에 전달되어 핸드(8)가 회동한다.A motor 24 is connected to the lower end side of the hollow rotary shaft 27 through a pulley and a belt. A speed reducer 28 for transmitting the rotation of the motor 24 to the hand 8 is disposed in the joint part 22. [ The speed reducer (28) is a hollow speed reducer having a through hole at the center in the radial direction thereof. The upper end side of the hollow rotary shaft 27 is connected to the input side of the speed reducer 28 through a pulley and a belt. The output side of the speed reducer 28 is connected to the hand base 15 of the hand 8. The case body of the speed reducer 28 is connected to the distal end side of the second arm portion 19. When the motor 24 rotates, the power of the motor 24 is transmitted to the hand base 15 of the hand 8 through the hollow rotary shaft 27 and the speed reducer 28, and the hand 8 rotates.

제1 아암부(18)의 내부 및 제2 아암부(19)의 내부는 밀폐되어 있으며, 제1 아암부(18)의 내부의 압력 및 제2 아암부(19)의 내부의 압력은 대기압으로 되어 있다. 즉, 모터(23, 24), 감속기(26, 28) 및 배터리(25)는 대기 중에 배치되어 있다. 또한 배터리(25)는 제1 아암부(18)의 기단측의 내부에 배치되어 있다. 관절부(21)에는 제1 아암부(18)의 내부 밀폐 상태를 확보하기 위한 자성 유체 시일이 배치되고, 관절부(22)에는 제2 아암부(19)의 내부 밀폐 상태를 확보하기 위한 자성 유체 시일이 배치되어 있다. 또한 제1 아암부(18)의 내부와 제2 아암부(19)의 내부는 중공 회전축(27)의 내주측을 통하여 연통하고 있다.The inside of the first arm portion 18 and the inside of the second arm portion 19 are sealed and the pressure inside the first arm portion 18 and the pressure inside the second arm portion 19 are set at atmospheric pressure . That is, the motors 23 and 24, the speed reducers 26 and 28, and the battery 25 are disposed in the atmosphere. The battery 25 is disposed inside the base end side of the first arm portion 18. A magnetic fluid seal for securing an internal sealing state of the first arm portion 18 is disposed in the joint portion 21 and a magnetic fluid seal for securing an internal sealing state of the second arm portion 19 is provided in the joint portion 22. [ Respectively. The inside of the first arm portion 18 and the inside of the second arm portion 19 are communicated with each other through the inner peripheral side of the hollow rotary shaft 27.

승강부(11)에는 본체부(10)에 대하여 제1 아암부(18)를 회동시키기 위한 모터(31)가 설치되어 있다. 또한 승강부(11)는 제1 아암부(18)의 기단측이 고정되는 중공 회전축(32)과, 모터(31)의 회전을 감속하여 제1 아암부(18)에 전달하는 감속기(33)와, 감속기(33)의 케이스체를 보유 지지함과 함께 중공 회전축(32)을 회동 가능하게 보유 지지하는 대략 원통형 보유 지지 부재(34)를 구비하고 있다.The elevator 11 is provided with a motor 31 for rotating the first arm 18 with respect to the main body 10. The elevating portion 11 includes a hollow rotary shaft 32 to which the base end of the first arm portion 18 is fixed and a speed reducer 33 for transmitting the rotation of the motor 31 to the first arm portion 18, And a substantially cylindrical holding member 34 for holding the housing of the speed reducer 33 and holding the hollow rotary shaft 32 rotatably.

감속기(33)는 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. 이 감속기(33)는 그 관통 구멍의 축 중심과 중공 회전축(32)의 축 중심이 일치하도록 배치되어 있다. 감속기(33)의 입력측에는 풀리 및 벨트를 통하여 모터(31)가 연결되어 있다. 감속기(33)의 출력측에는 중공 회전축(32)의 하단부가 고정되어 있다. 중공 회전축(32)의 상단부에는 제1 아암부(18)의 기단측의 하면이 고정되어 있다. 중공 회전축(32)은 보유 지지 부재(34)의 내주측에 배치되어 있으며, 중공 회전축(32)의 외주면과 보유 지지 부재(34)의 내주면 사이에는 베어링이 배치되어 있다. 모터(31)가 회전하면, 중공 회전축(32) 및 감속기(33) 등을 통하여 모터(31)의 동력이 제1 아암부(18)에 전달되어 제1 아암부(18)가 회동한다.The decelerator (33) is a hollow decelerator having a through hole formed at the center in the radial direction thereof. The speed reducer 33 is disposed so that the axial center of the through hole and the axial center of the hollow rotary shaft 32 coincide with each other. A motor 31 is connected to the input side of the speed reducer 33 through a pulley and a belt. The lower end of the hollow rotary shaft 32 is fixed to the output side of the speed reducer 33. The lower surface of the base end side of the first arm portion 18 is fixed to the upper end of the hollow rotary shaft 32. The hollow rotary shaft 32 is disposed on the inner peripheral side of the holding member 34 and a bearing is disposed between the outer peripheral surface of the hollow rotary shaft 32 and the inner peripheral surface of the holding member 34. When the motor 31 rotates, the power of the motor 31 is transmitted to the first arm portion 18 through the hollow rotary shaft 32 and the speed reducer 33 to rotate the first arm portion 18.

승강 기구(12)는, 상하 방향을 축 방향으로 하여 배치되는 나사 부재(38)와, 나사 부재(38)에 걸어 결합하는 너트 부재(39)와, 나사 부재(38)를 회전시키는 모터(40)를 구비하고 있다. 나사 부재(38)는 케이스체(13)의 저면측에 회전 가능하게 설치되어 있다. 모터(40)는 케이스체(13)의 저면측에 설치되어 있다. 나사 부재(38)는 풀리 및 벨트를 통하여 모터(40)에 연결되어 있다. 너트 부재(39)는 소정의 브래킷을 개재하여 승강부(11)에 설치되어 있다. 모터(40)가 회전하면 나사 부재(38)가 회전하고, 승강부(11)가 너트 부재(39)와 함께 승강한다. 즉, 모터(40)가 회전하면, 아암(9)이 승강부(11)와 함께 승강한다.The lifting mechanism 12 includes a screw member 38 arranged in the vertical direction as an axial direction, a nut member 39 engaged with the screw member 38, and a motor 40 . The screw member (38) is rotatably provided on the bottom surface side of the case body (13). The motor 40 is provided on the bottom surface side of the case body 13. The screw member 38 is connected to the motor 40 through a pulley and a belt. The nut member 39 is provided on the elevating portion 11 via a predetermined bracket. When the motor 40 rotates, the screw member 38 rotates, and the elevation portion 11 ascends and descends together with the nut member 39. That is, when the motor 40 rotates, the arm 9 moves up and down together with the elevating portion 11. [

케이스체(13)의 내부의 압력은 대기압으로 되어 있다. 관절부(20)에는 진공 영역(VR)으로의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일이 배치되어 있다. 또한 관절부(20)에는 진공 영역(VR)으로의 공기의 유출을 방지하기 위한 벨로즈가 배치되어 있다. 또한 제1 아암부(18)의 기단측의 하면에는 중공 회전축(32)의 내주측으로 통하는 관통 구멍이 형성되어 있고, 제1 아암부(18)의 내부는, 대기압으로 되어 있는 케이스체(13)의 내부로 통하고 있다.The pressure inside the case body 13 is at atmospheric pressure. The joint portion 20 is provided with a magnetic fluid seal for preventing the outflow of air to the vacuum region VR. Further, a bellows for preventing the outflow of air to the vacuum region (VR) is disposed in the joint portion (20). A through hole communicating with the inner circumferential side of the hollow rotary shaft 32 is formed on the bottom surface of the base end side of the first arm portion 18. The inside of the first arm portion 18 is filled with the housing 13, As shown in FIG.

케이스체(13)의 내부에는, 모터(31)의 회전 위치를 검출하는 인코더(도시 생략)와, 모터(40)의 회전 위치를 검출하는 인코더(도시 생략)와, 이 2개의 인코더가 접속되는 배터리(45)가 배치되어 있다. 즉, 본체부(10)의 내부에는, 모터(31)의 회전 위치를 검출하는 인코더와, 모터(40)의 회전 위치를 검출하는 인코더와, 이 2개의 인코더가 접속되는 배터리(45)가 배치되어 있다. 본 실시 형태의 모터(31)는 제3 모터이며, 모터(40)는 제4 모터이다. 또한 모터(31)의 회전 위치를 검출하는 인코더는 제3 인코더이고, 모터(40)의 회전 위치를 검출하는 인코더는 제4 인코더이며, 배터리(45)는 제2 배터리이다.An encoder (not shown) for detecting the rotational position of the motor 31, an encoder (not shown) for detecting the rotational position of the motor 40, and an encoder A battery 45 is disposed. An encoder for detecting the rotational position of the motor 40 and a battery 45 to which the two encoders are connected are disposed in the main body 10, . The motor 31 of the present embodiment is a third motor, and the motor 40 is a fourth motor. The encoder for detecting the rotational position of the motor 31 is the third encoder, the encoder for detecting the rotational position of the motor 40 is the fourth encoder, and the battery 45 is the second battery.

이상과 같이 구성된 로봇(1)에서는, 조립 공장 내에서의 조립이 완료되면 조정이 행해져, 모터(23, 24, 31, 40)의 절대 회전 위치의 정보가 각각의 인코더에 기억된다. 또한 조립 공장에서 조립, 조정을 행한 후의 로봇(1)은 조립 공장에서의 출하 시에 본체부(10), 아암(9), 핸드 기부(15) 및 핸드 포크(16)로 분해되어 제조 시스템(3)까지 반송된다. 또는 조립 공장에서 조립, 조정을 행한 후의 로봇(1)은 제조 시스템(3)에 설치되기 전에 본체부(10), 아암(9), 핸드 기부(15) 및 핸드 포크(16)로 분해된다. 이 분해 상태에서 본체부(10)가 챔버(4)의 프레임에 고정됨과 함께, 아암(9), 핸드 기부(15) 및 핸드 포크(16)가 챔버(4) 내로 반입되어 로봇(1)이 재조립된다.In the robot 1 configured as described above, adjustment is performed when the assembling in the assembling factory is completed, and information of the absolute rotation positions of the motors 23, 24, 31, and 40 is stored in the respective encoders. The robot 1 after being assembled and adjusted at the assembling factory is disassembled into the main body 10, the arm 9, the hand base 15 and the hand fork 16 at the time of shipment from the assembling factory, 3). The robot 1 is disassembled into the main body 10, the arm 9, the hand base 15 and the hand fork 16 before being installed in the manufacturing system 3. The main body 10 is fixed to the frame of the chamber 4 and the arm 9, the hand base 15 and the hand fork 16 are brought into the chamber 4 and the robot 1 Reassembled.

본 실시 형태의 로봇(1)은 조립 공장에서의 조립, 조정 후에 본체부(10)와 아암(9)과 핸드 기부(15)와 4개의 핸드 포크(16)로 분해되는 것을 전제로 하여, 도 4에 도시한 바와 같이 본체부(10)와 아암(9)과 핸드 기부(15)와 4개의 핸드 포크(16)로 분할 가능하게 되어 있다. 구체적으로는 본체부(10)와 아암(9)(보다 구체적으로는 제1 아암부(18)와 중공 회전축(32))이, 위치 결정 핀 등의 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 서로 연결되고, 아암(9)과 핸드 기부(15)(보다 구체적으로는 제2 아암부(19)에 보유 지지되는 감속기(28)의 출력측과 핸드 기부(15))가, 위치 결정 핀 등의 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 서로 연결되며, 핸드 기부(15)와 4개의 핸드 포크(16)는, 위치 결정 핀 등의 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 서로 연결되어 있다. 본 실시 형태의 본체부(10), 아암(9), 핸드 기부(15) 및 핸드 포크(16)는 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 연결됨과 함께, 분할 가능한 분할체이다.The robot 1 of the present embodiment is assumed to be disassembled into the main body 10, the arm 9, the hand base 15 and the four hand forks 16 after assembly and adjustment in the assembly factory, 4, the main body 10, the arm 9, the hand base 15 and the four hand forks 16, as shown in Fig. Specifically, when the main body 10 and the arm 9 (more specifically, the first arm 18 and the hollow rotary shaft 32) are positioned by a positioning member such as a positioning pin, And the arm 9 and the hand base 15 (more specifically the output side of the reducer 28 and the hand base 15 held by the second arm 19) And the hand base 15 and the four hand forks 16 are connected to each other by a screw in a state where they are positioned by a positioning member such as a positioning pin, It is connected. The main body 10, the arm 9, the hand base 15 and the hand fork 16 of the present embodiment are connected by a screw in a state where they are positioned by the positioning member and are dividable bodies.

또한 본 실시 형태의 로봇(1)은, 본체부(10)와, 본체부(10)에 대한 제1 아암부(18)의 회동 중심과 제2 아암부(19)에 대한 핸드(8)의 회동 중심이 상하 방향으로 중첩된 상태의 아암(9)(도 3 참조)과, 핸드(8)가 하측으로부터 이 순서대로 배치됨으로써 조립된다. 즉, 로봇(1)은, 본체부(10)와, 수축되어 있는 상태의 아암(9)과, 핸드 기부(15)와, 4개의 핸드 포크(16)가 하측으로부터 이 순서대로 배치됨으로써 조립된다.The robot 1 according to the present embodiment includes the main body 10 and the pivotal center of the first arm 18 with respect to the main body 10 and the center of rotation of the hand 8 with respect to the second arm 19. [ An arm 9 (see Fig. 3) in which the pivot center is superimposed in the vertical direction, and a hand 8 are arranged in this order from the lower side. That is, the robot 1 is assembled by arranging the main body 10, the arm 9 in a contracted state, the hand base 15, and the four hand forks 16 in this order from the bottom .

(본 실시 형태의 주된 효과)(Main effect of the present embodiment)

이상 설명한 바와 같이 본 실시 형태에서는, 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 연결됨과 함께, 분할 가능한 본체부(10), 아암(9), 핸드 기부(15) 및 4개의 핸드 포크(16)에 의하여 로봇(1)이 구성되어 있다. 또한 본 실시 형태에서는, 모터(23, 24) 및 모터(23, 24)의 회전 위치를 검출하는 인코더가 배치되는 아암(9)의 내부에 배터리(25)가 배치되고, 모터(31, 40) 및 모터(31, 40)의 회전 위치를 검출하는 인코더가 배치되는 본체부(10)의 내부에 배터리(45)가 배치되어 있다.As described above, in the present embodiment, the movable body 10, the arm 9, the hand base 15 and the four hand forks 16 The robot 1 is constituted. In this embodiment, the battery 25 is disposed inside the arm 9 in which the encoder for detecting the rotation position of the motors 23, 24 and the motors 23, 24 is disposed, the motors 31, And a battery 45 is disposed inside the main body 10 in which an encoder for detecting the rotational position of the motors 31 and 40 is disposed.

그로 인하여 본 실시 형태에서는, 조립 공장에서 조립, 조정된 후의 로봇(1)이 본체부(10)와 아암(9)과 핸드 기부(15)와 4개의 핸드 포크(16)로 분해되더라도, 배터리(25)로부터 공급되는 전력에 의하여, 조립 공장에서 기억된 모터(23, 24)의 절대 회전 위치의 정보를 인코더에서 계속하여 유지하는 것이 가능해짐과 함께, 배터리(45)로부터 공급되는 전력에 의하여, 조립 공장에서 기억된 모터(31, 40)의 절대 회전 위치의 정보를 인코더에서 계속하여 유지하는 것이 가능해진다. 따라서 본 실시 형태에서는, 로봇(1)이 조립, 조정 후에 분해되고 재조립되는 경우에도, 재조립 후에 모터(23, 24, 31, 40)의 절대 회전 위치의 정보를 각각의 인코더에 기억시키기 위한 조정을 필요치 않게 하는 것이 가능해진다. 즉, 본 실시 형태에서는, 비교적 좁은 챔버(4) 내에서 핸드(8)나 아암(9)을 움직여 모터(23, 24, 31, 40)의 절대 회전 위치의 정보를 각각의 인코더에 기억시키기 위한 조정을 필요치 않게 하는 것이 가능해진다.Therefore, in the present embodiment, even if the robot 1 assembled and adjusted in the assembly factory is disassembled into the body 10, the arm 9, the hand base 15 and the four hand forks 16, It is possible to continuously keep the information of the absolute rotation position of the motors 23 and 24 stored in the assembly factory by the electric power supplied from the battery 45, The information of the absolute rotation position of the motors 31 and 40 stored in the assembly factory can be continuously held in the encoder. Therefore, in the present embodiment, even when the robot 1 is disassembled and reassembled after assembly and adjustment, information on the absolute rotation position of the motors 23, 24, 31, 40 after reassembly is stored in each encoder It becomes possible to make the adjustment unnecessary. That is, in the present embodiment, in order to store the information of the absolute rotation position of the motors 23, 24, 31, 40 in the respective encoders by moving the hand 8 or the arm 9 in the relatively narrow chamber 4 It becomes possible to make the adjustment unnecessary.

또한 본 실시 형태에서는, 본체부(10)와 아암(9)이 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 서로 연결되고, 아암(9)과 핸드 기부(15)가 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 서로 연결되며, 핸드 기부(15)와 4개의 핸드 포크(16)가 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 서로 연결되어 있기 때문에, 로봇(1)의 재조립이 용이해진다.In the present embodiment, the main body 10 and the arm 9 are connected to each other by screws in a state where they are positioned by the positioning member, and the arm 9 and the hand base 15 are positioned Since the hand base 15 and the four hand forks 16 are connected to each other by screws in a state where they are positioned by the positioning member, the reassembly of the robot 1 It becomes easy.

본 실시 형태에서는, 본체부(10)와, 본체부(10)에 대한 제1 아암부(18)의 회동 중심과 제2 아암부(19)에 대한 핸드(8)의 회동 중심이 상하 방향으로 중첩된 상태의 아암(9)과, 핸드 기부(15)와, 4개의 핸드 포크(16)가 하측으로부터 이 순서대로 배치됨으로써, 로봇(1)이 조립되어 있다. 그로 인하여 본 실시 형태에서는, 본체부(10)에 대한 제1 아암부(18)의 회동 중심 및 제2 아암부(19)에 대한 핸드(8)의 회동 중심의 축심 상에 본체부(10)와 아암(9)과 핸드(8)를 순서대로 배치함으로써, 로봇(1)의 조립을 행하는 것이 가능해진다. 따라서 본 실시 형태에서는 로봇(1)의 조립이 비교적 용이해진다.The rotation center of the first arm portion 18 with respect to the main body portion 10 and the rotation center of the hand 8 with respect to the second arm portion 19 are arranged in the vertical direction The robot 1 is assembled by arranging the arm 9 in the overlapped state, the hand base 15, and the four hand forks 16 in this order from the lower side. The main body portion 10 is formed on the center of rotation of the first arm portion 18 with respect to the main body portion 10 and the center of the rotation center of the hand 8 with respect to the second arm portion 19, And the arm 9 and the hand 8 are arranged in this order, the robot 1 can be assembled. Therefore, in this embodiment, assembly of the robot 1 is relatively easy.

(다른 실시 형태)(Other Embodiments)

상술한 형태는 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 다양한 변형 실시가 가능하다.Although the above-described embodiment is an example of a suitable form of the present invention, it is not limited thereto, and various modifications are possible without changing the gist of the present invention.

상술한 형태에서는, 제1 아암부(18)의 내부에 배터리(25)가 배치되어 있지만, 제2 아암부(19)의 내부에 배터리(25)가 배치되어도 된다. 또한 상술한 형태에서는 제1 아암부(18)의 내부에 모터(23, 24)가 배치되어 있지만, 제2 아암부(19)의 내부에 모터(23) 및/또는 모터(24)가 배치되어도 된다. 이 경우에는, 배터리(25)는 제1 아암부(18)의 내부에 배치되어도 되고, 제2 아암부(19)의 내부에 배치되어도 된다.In the above-described embodiment, the battery 25 is disposed inside the first arm portion 18, but the battery 25 may be disposed inside the second arm portion 19. In the above embodiment, the motors 23 and 24 are disposed inside the first arm portion 18. However, when the motor 23 and / or the motor 24 are disposed inside the second arm portion 19 do. In this case, the battery 25 may be disposed inside the first arm portion 18 or inside the second arm portion 19.

상술한 형태에서는, 로봇(1)은 조립 공장에서의 조립, 조정 후에, 본체부(10)와 아암(9)과 핸드 기부(15)와 4개의 핸드 포크(16)로 분해되는 것을 전제로 하여, 본체부(10)와 아암(9)과 핸드 기부(15)와 4개의 핸드 포크(16)로 분할 가능하게 되어 있다. 이 밖에도, 예를 들어 조립 공장에서의 로봇(1)의 조립, 조정 후에, 본체부(10)와 아암(9)과 핸드(8)로 분해되는 것을 전제로 하여, 로봇(1)은 본체부(10)와 아암(9)과 핸드(8)로 분해 가능하게 되어 있어도 된다. 이 경우에는, 핸드 기부(15)와 4개의 핸드 포크(16)가 서로 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정되어 있지 않아도 된다. 또한 이 경우에는, 본체부(10), 아암(9) 및 핸드(8)가 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 연결됨과 함께, 분할 가능한 분할체로 된다.It is assumed that the robot 1 is disassembled into the main body 10, the arm 9, the hand base 15 and the four hand forks 16 after assembly and adjustment in the assembling factory The main body 10 and the arm 9, the hand base 15, and the four hand forks 16, respectively. In addition, assuming that the robot 1 is disassembled into the main body 10, the arm 9 and the hand 8 after assembly and adjustment of the robot 1 at the assembly factory, for example, The arm 9, and the hand 8, as shown in Fig. In this case, the hand base 15 and the four hand forks 16 may not be positioned with respect to each other by the positioning members. In this case, the main body 10, the arm 9 and the hand 8 are connected by a screw in a state where they are positioned by the positioning member, and become a dividable body.

또한 조립 공장에서의 조립, 조정 후에, 본체부(10)와 제1 아암부(18)와 제2 아암부(19)와 핸드 기부(15)와 4개의 핸드 포크(16)로 분해되는 것을 전제로 하여, 로봇(1)은 본체부(10)와 제1 아암부(18)와 제2 아암부(19)와 핸드 기부(15)와 4개의 핸드 포크(16)로 분해 가능하게 되어 있어도 된다. 이 경우에는, 제1 아암부(18)와 제2 아암부(19)가 위치 결정 핀 등의 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 서로 연결된다. 또한 이 경우에는, 본체부(10), 제1 아암부(18), 제2 아암부(19), 핸드 기부(15) 및 핸드 포크(16)가 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 연결됨과 함께, 분할 가능한 분할체로 된다.It is also assumed that after being assembled and adjusted in the assembling factory, the main body portion 10, the first arm portion 18, the second arm portion 19, the hand base portion 15, and the four hand forks 16, The robot 1 may be disassembled into the main body 10, the first arm 18, the second arm 19, the hand base 15 and the four hand forks 16 . In this case, the first arm portion 18 and the second arm portion 19 are connected to each other by a screw in a state where they are positioned by a positioning member such as a positioning pin. In this case, in a state where the main body 10, the first arm 18, the second arm 19, the hand base 15 and the hand fork 16 are positioned by the positioning member, And becomes a dividable divided body.

또한 이 경우에는, 모터(23, 24)는 제1 아암부(18)의 내부에 배치되어도 되고, 제2 아암부(19)의 내부에 배치되어도 된다. 또한 이 경우에는, 예를 들어 모터(23)가 제1 아암부(18)의 내부에 배치되고, 모터(24)가 제2 아암부(19)의 내부에 배치되어도 된다. 모터(23, 24)가 제1 아암부(18)의 내부에 배치되는 경우에는, 배터리(25)는 제1 아암부(18)의 내부에 배치되고, 모터(23, 24)가 제2 아암부(19)의 내부에 배치되는 경우에는, 배터리(25)는 제2 아암부(19)의 내부에 배치된다. 또한 모터(23)가 제1 아암부(18)의 내부에 배치되고, 모터(24)가 제2 아암부(19)의 내부에 배치되는 경우에는, 모터(23)의 인코더가 접속되는 배터리가 제1 아암부(18)의 내부에 배치되고, 모터(24)의 인코더가 접속되는 배터리가 제2 아암부(19)의 내부에 배치된다.In this case, the motors 23 and 24 may be disposed inside the first arm portion 18 or inside the second arm portion 19, respectively. In this case, for example, the motor 23 may be disposed inside the first arm portion 18, and the motor 24 may be disposed inside the second arm portion 19. When the motors 23 and 24 are disposed inside the first arm portion 18, the battery 25 is disposed inside the first arm portion 18 and the motors 23 and 24 are disposed inside the first arm portion 18, When disposed inside the arm portion 19, the battery 25 is disposed inside the second arm portion 19. When the motor 23 is disposed inside the first arm portion 18 and the motor 24 is disposed inside the second arm portion 19, the battery to which the encoder of the motor 23 is connected A battery to which the encoder of the motor 24 is connected is disposed inside the first arm portion 18 and the battery is disposed inside the second arm portion 19. [

상술한 형태에서는, 로봇(1)은, 제1 아암부(18)에 대하여 제2 아암부(19)를 회동시키기 위한 모터(23)와, 제2 아암부(19)에 대하여 핸드(8)를 회동시키기 위한 모터(24)를 구비하고 있다. 이 밖에도, 예를 들어 1대의 모터에 의하여, 제1 아암부(18)에 대하여 제2 아암부(19)가 회동하고, 또한 제2 아암부(19)에 대하여 핸드(8)가 회동하도록 모터로부터 아암(9) 및 핸드(8)에의 동력의 전달 기구가 구성되어도 된다. 또한 상술한 형태에서는, 본체부(10)는 승강 기구(12)를 구비하고 있지만, 본체부(10)는 승강 기구(12)를 구비하고 있지 않아도 된다.The robot 1 is provided with the motor 23 for rotating the second arm portion 19 with respect to the first arm portion 18 and the motor 23 for rotating the second arm portion 19 with respect to the second arm portion 19. [ And a motor 24 for rotating the motor. The second arm portion 19 is rotated with respect to the first arm portion 18 and the motor 8 is rotated with respect to the second arm portion 19 by one motor, A mechanism for transmitting the power to the arm 9 and the hand 8 may be constituted. In the above embodiment, the main body 10 includes the lifting mechanism 12, but the main body 10 may not be provided with the lifting mechanism 12.

상술한 형태에서는, 아암(9)은 제1 아암부(18)와 제2 아암부(19)의 2개의 아암부로 구성되어 있지만, 아암(9)은 3개 이상의 아암부로 구성되어도 된다. 또한 상술한 형태에서는, 아암(9)은 1개의 제1 아암부(18)와 1개의 제2 아암부(19)로 구성되어 있지만, 아암(9)은 1개의 제1 아암부(18)와, 2개의 제2 아암부(19)로 구성되어도 된다. 이 경우에는, 제1 아암부(18)는 대략 V자형 또는 직선형으로 형성되어 있으며, 그 중심부가 본체부(10)에 회동 가능하게 연결되는 기단부로 되어 있다. 또한 제1 아암부(18)의 2개의 선단측의 각각에 제2 아암부(19)가 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한 상술한 형태에서는, 로봇(1)은 1개의 아암(9)을 구비하고 있지만, 로봇(1)은 본체부(10)에 그 기단측이 회동 가능하게 연결되는 2개의 아암(9)을 구비하고 있어도 된다.In the above-described embodiment, the arm 9 is composed of two arm portions of the first arm portion 18 and the second arm portion 19, but the arm 9 may be composed of three or more arms. In the above embodiment, the arm 9 is composed of one first arm portion 18 and one second arm portion 19, but the arm 9 has one first arm portion 18 and one second arm portion 19, And two second arm portions 19, as shown in Fig. In this case, the first arm portion 18 is formed in a substantially V-shape or a rectilinear shape, and its central portion is a base end portion rotatably connected to the main body portion 10. The second arm portion 19 is rotatably connected to each of the two tip ends of the first arm portion 18. [ In the above-described embodiment, the robot 1 is provided with one arm 9, but the robot 1 is provided with the two arms 9 to which the base end side is rotatably connected to the main body portion 10 .

상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의하여 반송되는 반송 대상물은 유기 EL 디스플레이용 기판(2)이지만, 로봇(1)에 의하여 반송되는 반송 대상물은 액정 디스플레이용 유리 기판이어도 되고, 반도체 웨이퍼 등이어도 된다. 또한 상술한 형태에서는, 로봇(1)은 반송 대상물을 반송하기 위한 수평 다관절 로봇이지만, 로봇(1)은 다른 용도로 사용되는 수평 다관절 로봇이어도 되고, 용접 등의 용도로 사용되는 수직 다관절 로봇이어도 된다.In the above-described aspect, the object to be transported by the robot 1 is the substrate 2 for the organic EL display, but the object to be transported by the robot 1 may be a glass substrate for a liquid crystal display, a semiconductor wafer or the like . In the above-described embodiment, the robot 1 is a horizontal articulated robot for carrying the object to be transported. However, the robot 1 may be a horizontal articulated robot used for other purposes, Or a robot.

1: 로봇(산업용 로봇)
4: 챔버(트랜스퍼 챔버, 진공 챔버)
8: 핸드(분할체)
9: 아암(분할체)
10: 본체부(분할체)
15: 핸드 기부(분할체)
16: 핸드 포크(분할체)
18: 제1 아암부
19: 제2 아암부
23: 모터(제1 모터)
24: 모터(제2 모터)
25: 배터리(제1 배터리)
31: 모터(제3 모터)
40: 모터(제4 모터)
45: 배터리(제2 배터리)1: Robot (industrial robot)
4: chamber (transfer chamber, vacuum chamber)
8: Hand (divided body)
9: arm (divided body)
10: main body part (divided body)
15: Hand base (divided body)
16: Hand fork (divided body)
18: first arm portion
19: second arm arm
23: motor (first motor)
24: motor (second motor)
25: Battery (first battery)
31: Motor (third motor)
40: motor (fourth motor)
45: Battery (second battery)

Claims (6)

핸드와, 상기 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 상기 아암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 상기 핸드 및 상기 아암을 구동하기 위한 복수의 모터를 구비하는 산업용 로봇에 있어서,
상기 산업용 로봇은, 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 연결됨과 함께, 분할 가능한 둘 이상의 분할체로 구성되고,
적어도 2개의 상기 분할체의 내부에, 상기 모터와, 상기 모터의 회전 위치를 검출하는 인코더가 배치됨과 함께, 상기 모터 및 상기 인코더가 배치되는 상기 분할체의 내부에, 상기 인코더가 접속되는 배터리가 배치되어 있고,
상기 핸드, 상기 아암 및 상기 본체부가 상기 분할체로 되어 있고,
상기 아암의 내부와 상기 본체부의 내부에 상기 모터와 상기 인코더와 상기 배터리가 배치되어 있으며,
상기 아암은 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부와 제2 아암부로 구성되고,
상기 제1 아암부의 기단측은 상기 본체부에 회동 가능하게 연결되고, 상기 제1 아암부의 선단측에는 상기 제2 아암부의 기단측이 회동 가능하게 연결되며, 상기 제2 아암부의 선단측에는 상기 핸드가 회동 가능하게 연결되고,
상기 아암의 내부에는, 상기 제1 아암부에 대하여 상기 제2 아암부를 회동시키기 위한 상기 모터로서의 제1 모터와, 상기 제2 아암부에 대하여 상기 핸드를 회동시키기 위한 상기 모터로서의 제2 모터와, 상기 제1 모터의 회전 위치를 검출하는 상기 인코더로서의 제1 인코더와, 상기 제2 모터의 회전 위치를 검출하는 상기 인코더로서의 제2 인코더와, 상기 제1 인코더 및 상기 제2 인코더가 접속되는 상기 배터리로서의 제1 배터리가 배치되고,
상기 본체부의 내부에는, 상기 본체부에 대하여 상기 제1 아암부를 회동시키기 위한 상기 모터로서의 제3 모터와, 상기 아암을 승강시키기 위한 상기 모터로서의 제4 모터와, 상기 제3 모터의 회전 위치를 검출하는 상기 인코더로서의 제3 인코더와, 상기 제4 모터의 회전 위치를 검출하는 상기 인코더로서의 제4 인코더와, 상기 제3 인코더 및 상기 제4 인코더가 접속되는 상기 배터리로서의 제2 배터리가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.An industrial robot comprising: a hand; an arm rotatably connected to the distal end of the hand; a main body portion rotatably connected to the proximal end of the arm; and a plurality of motors for driving the hand and the arm As a result,
Wherein the industrial robot is composed of at least two divided bodies which are connected by a screw in a state of being positioned by the positioning member,
The motor and the encoder for detecting the rotational position of the motor are disposed in at least two of the divided bodies, and a battery to which the encoder is connected is disposed in the divided body in which the motor and the encoder are disposed Respectively,
Wherein the hand, the arm, and the main body portion are the divided bodies,
The motor, the encoder and the battery are disposed inside the arm and inside the body,
Wherein the arm is constituted by a first arm portion and a second arm portion connected to each other so as to be rotatable relative to each other,
Wherein a proximal end side of the first arm portion is rotatably connected to the main body portion, a proximal end side of the second arm portion is rotatably connected to a distal end side of the first arm portion, and the distal end side of the second arm portion is rotatably Lt; / RTI >
A first motor serving as the motor for rotating the second arm portion with respect to the first arm portion; a second motor serving as the motor for rotating the hand with respect to the second arm portion; A first encoder as the encoder for detecting a rotational position of the first motor; a second encoder as the encoder for detecting a rotational position of the second motor; The first battery is disposed,
A third motor as the motor for rotating the first arm with respect to the main body, a fourth motor as the motor for raising and lowering the arm, and a second motor for detecting the rotational position of the third motor A third encoder as the encoder, a fourth encoder as the encoder for detecting the rotational position of the fourth motor, and a second battery as the battery to which the third encoder and the fourth encoder are connected Features industrial robots. 핸드와, 상기 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 상기 아암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 상기 핸드 및 상기 아암을 구동하기 위한 복수의 모터를 구비하는 산업용 로봇에 있어서,
상기 산업용 로봇은, 위치 결정 부재에 의하여 위치 결정된 상태에서 나사에 의하여 연결됨과 함께, 분할 가능한 둘 이상의 분할체로 구성되고,
적어도 2개의 상기 분할체의 내부에, 상기 모터와, 상기 모터의 회전 위치를 검출하는 인코더가 배치됨과 함께, 상기 모터 및 상기 인코더가 배치되는 상기 분할체의 내부에, 상기 인코더가 접속되는 배터리가 배치되어 있고,
상기 핸드는 반송 대상물이 탑재되는 핸드 포크와, 상기 핸드 포크가 고정됨과 함께, 상기 아암의 선단측에 연결되는 핸드 기부를 구비하고,
상기 핸드 포크, 상기 핸드 기부, 상기 아암 및 상기 본체부가 상기 분할체로 되어 있으며,
상기 아암의 내부와 상기 본체부의 내부에 상기 모터와 상기 인코더와 상기 배터리가 배치되어 있으며,
상기 아암은 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부와 제2 아암부로 구성되고,
상기 제1 아암부의 기단측은 상기 본체부에 회동 가능하게 연결되고, 상기 제1 아암부의 선단측에는 상기 제2 아암부의 기단측이 회동 가능하게 연결되며, 상기 제2 아암부의 선단측에는 상기 핸드가 회동 가능하게 연결되고,
상기 아암의 내부에는, 상기 제1 아암부에 대하여 상기 제2 아암부를 회동시키기 위한 상기 모터로서의 제1 모터와, 상기 제2 아암부에 대하여 상기 핸드를 회동시키기 위한 상기 모터로서의 제2 모터와, 상기 제1 모터의 회전 위치를 검출하는 상기 인코더로서의 제1 인코더와, 상기 제2 모터의 회전 위치를 검출하는 상기 인코더로서의 제2 인코더와, 상기 제1 인코더 및 상기 제2 인코더가 접속되는 상기 배터리로서의 제1 배터리가 배치되고,
상기 본체부의 내부에는, 상기 본체부에 대하여 상기 제1 아암부를 회동시키기 위한 상기 모터로서의 제3 모터와, 상기 아암을 승강시키기 위한 상기 모터로서의 제4 모터와, 상기 제3 모터의 회전 위치를 검출하는 상기 인코더로서의 제3 인코더와, 상기 제4 모터의 회전 위치를 검출하는 상기 인코더로서의 제4 인코더와, 상기 제3 인코더 및 상기 제4 인코더가 접속되는 상기 배터리로서의 제2 배터리가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.An industrial robot comprising: a hand; an arm rotatably connected to the distal end of the hand; a main body portion rotatably connected to the proximal end of the arm; and a plurality of motors for driving the hand and the arm As a result,
Wherein the industrial robot is composed of at least two divided bodies which are connected by a screw in a state of being positioned by the positioning member,
The motor and the encoder for detecting the rotational position of the motor are disposed in at least two of the divided bodies, and a battery to which the encoder is connected is disposed in the divided body in which the motor and the encoder are disposed Respectively,
Wherein the hand comprises a hand fork on which the object to be transported is mounted and a hand base connected to the distal end of the arm with the hand fork being fixed,
Wherein the hand fork, the hand base, the arm, and the main body portion are the divided bodies,
The motor, the encoder and the battery are disposed inside the arm and inside the body,
Wherein the arm is constituted by a first arm portion and a second arm portion connected to each other so as to be rotatable relative to each other,
Wherein a proximal end side of the first arm portion is rotatably connected to the main body portion, a proximal end side of the second arm portion is rotatably connected to a distal end side of the first arm portion, and the distal end side of the second arm portion is rotatably Lt; / RTI >
A first motor serving as the motor for rotating the second arm portion with respect to the first arm portion; a second motor serving as the motor for rotating the hand with respect to the second arm portion; A first encoder as the encoder for detecting a rotational position of the first motor; a second encoder as the encoder for detecting a rotational position of the second motor; The first battery is disposed,
A third motor as the motor for rotating the first arm with respect to the main body, a fourth motor as the motor for raising and lowering the arm, and a second motor for detecting the rotational position of the third motor A third encoder as the encoder, a fourth encoder as the encoder for detecting the rotational position of the fourth motor, and a second battery as the battery to which the third encoder and the fourth encoder are connected Features industrial robots. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 아암은 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부와 제2 아암부로 구성되고,
상기 제1 아암부의 기단측은 상기 본체부에 회동 가능하게 연결되고, 상기 제1 아암부의 선단측에는 상기 제2 아암부의 기단측이 회동 가능하게 연결되며, 상기 제2 아암부의 선단측에는 상기 핸드가 회동 가능하게 연결되고,
상하 방향에서 보았을 때, 상기 본체부에 대한 상기 제1 아암부의 회동 중심과 상기 제1 아암부에 대한 상기 제2 아암부의 회동 중심의 거리와, 상기 제1 아암부에 대한 상기 제2 아암부의 회동 중심과 상기 제2 아암부에 대한 상기 핸드의 회동 중심의 거리가 같게 되어 있으며,
상기 본체부와, 상기 본체부에 대한 상기 제1 아암부의 회동 중심과 상기 제2 아암부에 대한 상기 핸드의 회동 중심이 상하 방향으로 중첩된 상태의 상기 아암과, 상기 핸드가 하측으로부터 이 순서대로 배치되어 조립되는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.[3] The apparatus of claim 1 or 2, wherein the arm is composed of a first arm portion and a second arm portion,
Wherein a proximal end side of the first arm portion is rotatably connected to the main body portion, a proximal end side of the second arm portion is rotatably connected to a distal end side of the first arm portion, and the distal end side of the second arm portion is rotatably Lt; / RTI >
The distance between the center of rotation of the first arm portion with respect to the main body portion and the center of rotation of the second arm portion with respect to the first arm portion and the distance between the center of rotation of the second arm portion with respect to the first arm portion The distance between the center and the center of rotation of the hand relative to the second arm portion is the same,
The arm being in a state in which the pivotal center of the first arm portion with respect to the main body portion and the pivotal center of the hand with respect to the second arm portion are overlapped with each other in the vertical direction; And the robot is assembled and assembled. 제1항 또는 제2항에 있어서, 적어도 상기 핸드 및 상기 아암이 진공 챔버 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.3. The industrial robot according to claim 1 or 2, wherein at least said hand and said arm are disposed in a vacuum chamber. 제3항에 있어서, 적어도 상기 핸드 및 상기 아암이 진공 챔버 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.The industrial robot according to claim 3, wherein at least the hand and the arm are disposed in a vacuum chamber. 삭제delete
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