CN110808225A - 工业用机器人 - Google Patents

Abstract

一种工业用机器人，即使在组装、调整后被分解并再次组装，在再次组装后，也不必进行用于将马达的绝对旋转位置信息存储于编码器的调整。机器人(1)包括用于驱动手(8)和臂(9)的多个马达(23、24、31、40)。主体部(10)与臂(9)在被定位部件定位的状态下借助螺钉连接，臂(9)与手(8)在被定位部件定位的状态下借助螺钉连接，主体部(10)、臂(9)以及手(8)能够分割。在机器人(1)中，马达(23、24)、马达(23、24)的编码器以及与这些编码器连接的电池(25)配置在臂(9)的内部，马达(31、40)、马达(31、40)的编码器以及与这些编码器连接的电池(45)配置在主体部(10)的内部。

Description

工业用机器人

本申请是申请人于2015年1月27日提交的、申请号为“201510039803.2”、名称为“工业用机器人”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种水平多关节机器人等工业用机器人。

背景技术

以往，公知有一种搬运半导体晶圆的工业用机器人(例如参照专利文献1)。专利文献1中记载的工业用机器人包括装载半导体晶圆的两个手、两个手能够转动地与其末端侧连接的臂以及臂的基端侧能够转动地与其连接的主体部。臂由第一臂部、第二臂部以及第三臂部构成，所述第一臂部的基端侧能够转动地与主体部连接，所述第二臂部的基端侧能够转动地与第一臂部的末端侧连接，所述第三臂部的基端侧能够转动地与第二臂部的末端侧连接，且两个手与所述第三臂部的末端侧连接。

在专利文献1记载的工业用机器人中，第一驱动用马达配置在主体部的内部，所述第一驱动用马达用于使第一臂部相对于主体部转动且使第二臂部相对于第一臂部转动。在第二臂部的内部配置有用于使第三臂部相对于第二臂部转动的第二驱动用马达。在第三臂部的内部配置有使两个手分别相对于第三臂部转动的两个手驱动用马达。

并且，专利文献1中记载的工业用机器人包括作为检测第一驱动用马达的旋转位置的编码器的第一编码器、作为检测第二驱动用马达的旋转位置的编码器的第二编码器以及作为检测手驱动用马达的旋转位置的编码器的手用编码器。在将该工业用机器人设置于半导体的制造系统时，对工业用机器人进行调整，将第一驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于第一编码器，将第二驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于第二编码器，将手驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于手用编码器。

专利文献1：日本特开2011-230256号公报

在工业用机器人中有配置于真空腔室内而使用的工业用机器人，但近年来配置于真空腔室内的工业用机器人有大型化的趋势。因此，在将工业用机器人配置在真空腔室内之后，在比较狭窄的真空腔室中，用于使大型的工业用机器人的手和臂动作并将马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整越发困难。并且，由于一般不能从真空腔室的外侧通过目视确认真空腔室的内部，因此，以往在真空腔室中进行用于使工业用机器人的手和臂动作并将马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整较困难。

在此，例如若在专利文献1中记载的工业用机器人的主体部配置与第一编码器、第二编码器以及手用编码器连接的电池，且在组装工厂组装完工业用机器人之后对工业用机器人进行调整，将第一驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于第一编码器，将第二驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于第二编码器，将手驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于手用编码器，则在工业用机器人从组装工厂发货到设置在半导体的制造系统期间，能够通过从电池提供的电力来保持存储于各编码器的各马达的绝对旋转位置的信息。因此，在这种情况下，不必进行用于使专利文献1中记载的工业用机器人的手和臂在真空腔室动作，并使马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整。

另一方面，如上所述，配置在真空腔室内的工业用机器人有大型化的趋势。因此，例如若不将在组装工厂进行了组装、调整之后的工业用机器人分解成手、臂以及主体部之后搬入真空腔室，且在真空腔室再次进行组装，则无法将大型的工业用机器人配置在真空腔室内，这样的状况一直在发生。

在专利文献1记载的工业用机器人中，例如若将进行了组装、调整之后的工业用机器人分解成手、臂以及主体部，则即使在主体部配置有电池，存储于第二编码器的第二驱动用马达的绝对旋转位置的信息以及存储于手用编码器的手驱动用马达的绝对旋转位置的信息也会被重置。因此，在将专利文献1中记载的大型的工业用机器人配置在真空腔室的情况下，在真空腔室内进行组装之后，必须对工业用机器人进行再调整，将第二驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于第二编码器，并将手驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于手用编码器。但是，如上所述，在真空腔室中，用于使大型的工业用机器人的手或臂动作并将马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整很难进行。

发明内容

因此，本发明的课题是提供一种工业用机器人，所述工业用机器人即使在组装、调整后被分解并被再次组装，在再次组装之后，也不必进行用于将马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整。

为了解决上述课题，本发明的工业用机器人包括手、臂、主体部以及多个马达，手能够转动地与所述臂的末端侧连接，臂的基端侧能够转动地与所述主体部连接，所述多个马达用于驱动手以及臂，工业用机器人的特征在于，工业用机器人由在被定位部件定位的状态下借助螺钉连接且能够分割的两个以上的分割体构成，在至少两个分割体的内部配置有马达以及用于检测马达的旋转位置的编码器，且在配置有马达以及编码器的分割体的内部配置有与编码器连接的电池。

本发明的工业用机器人由能够分割的两个以上的分割体构成，在配置有马达以及编码器的分割体的内部配置有与编码器连接的电池。因此，在本发明中，即使在组装工厂进行了组装、调整之后的工业用机器人被分割成两个以上的分割体，也能够通过从配置有马达以及编码器的分割体的内部的电池提供的电力，将在组装工厂存储的马达绝对旋转位置的信息继续保持于编码器。因此，在本发明中，即使工业用机器人在组装、调整后被分解并被再次组装，也能够在再次组装之后不必进行用于将马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整。并且，在本发明中，分割体彼此在被定位部件定位的状态下借助螺钉连接，因此容易再次组装工业用机器人。

在本发明中，例如，手、臂以及主体部成为分割体，在臂的内部和主体部的内部配置有马达、编码器以及电池。并且，在本发明中，也可以是手包括装载搬运对象物的手叉以及固定有手叉且与臂的末端侧连接的手基部，手叉、手基部、臂以及主体部成为分割体，且在臂的内部和主体部的内部配置有马达、编码器以及电池。在这种情况下，能够较容易地分割工业用机器人。

在本发明中，例如臂由相互能够相对转动地连接的第一臂部与第二臂部构成，第一臂部的基端侧能够转动地与主体部连接，第二臂部的基端侧能够转动地与第一臂部的末端侧连接，手能够转动地与第二臂部的末端侧连接，在臂的内部配置有作为用于使第二臂部相对于第一臂部转动的马达的第一马达、作为用于使手相对于第二臂部转动的马达的第二马达、作为检测第一马达的旋转位置的编码器的第一编码器、作为检测第二马达的旋转位置的编码器的第二编码器以及作为与第一编码器以及第二编码器连接的电池的第一电池，在主体部的内部配置有作为用于使第一臂部相对于主体部转动的马达的第三马达、作为用于使臂升降的马达的第四马达、作为检测第三马达的旋转位置的编码器的第三编码器、作为检测第四马达的旋转位置的编码器的第四编码器以及作为与第三编码器以及第四编码器连接的电池的第二电池。

在本发明中，例如臂由相互能够相对转动地连接的第一臂部与第二臂部构成，第一臂部的基端侧能够转动地与主体部连接，第二臂部的基端侧能够转动地与第一臂部的末端侧连接，手能够转动地与第二臂部的末端侧连接，从上下方向观察时，第一臂部相对于主体部的转动中心与第二臂部相对于第一臂部的转动中心之间的距离同第二臂部相对于第一臂部的转动中心与手相对于第二臂部的转动中心之间的距离相等，且从下侧起依次配置并组装本体部、臂以及手，所述臂处于第一臂部相对于主体部的转动中心与手相对于第二臂部的转动中心在上下方向上重叠的状态。在这种情况下，通过在第一臂部相对于主体部的转动中心以及手相对于第二臂部的转动中心的轴心上按顺序配置主体部、臂以及手，能够组装工业用机器人。因此，较容易组装工业用机器人。

在本发明中，例如至少手以及臂配置在真空腔室中。用于使大型的工业用机器人的手和臂在狭窄的真空腔室内动作并将马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整较困难，但在本发明中，能够不必在真空腔室内进行用于将马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整。

发明效果

如上所述，在本发明中，即使工业用机器人在组装、调整后被分解并再次组装，也能够在再次组装之后不必进行用于将马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整。

附图说明

图1是示出将本发明的实施方式所涉及的工业用机器人组装到有机EL显示器的制造系统的状态的俯视图。

图2(A)、(B)是图1所示的工业用机器人的图，图2(A)是俯视图，图2(B)是侧视图。

图3是图2所示的工业用机器人的臂呈收缩状态的俯视图。

图4是用于从侧面说明图2所示的工业用机器人的内部结构的剖视图。

(符号说明)

1 机器人(工业用机器人)

4 腔室(过渡腔室、真空腔室)

8 手(分割体)

9 臂(分割体)

10 主体部(分割体)

15 手基部(分割体)

16 手叉(分割体)

18 第一臂部

19第二臂部

23 马达(第一马达)

24 马达(第二马达)

25 电池(第一电池)

31 马达(第三马达)

40 马达(第四马达)

45 电池(第二电池)

具体实施方式

以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的结构)

图1是示出将本发明的实施方式所涉及的工业用机器人1组装到有机EL显示器的制造系统3的状态的俯视图。图2(A)、(B)是图1所示的工业用机器人1的图，图2(A)是俯视图，图2(B)是侧视图。图3是图2所示的工业用机器人1的臂9呈收缩状态的俯视图。图4是用于从侧面说明图2所示的工业用机器人1的内部结构的剖视图。

本方式中的工业用机器人1(以下称作“机器人1”)是用于搬运作为搬运对象物的有机EL(有机场致发光)显示器用的玻璃基板2(以下称作“基板2”)的机器人。如图1所示，该机器人1是组装到有机EL显示器的制造系统3而使用的水平多关节机器人。

制造系统3包括配置在中心的过渡腔室4(以下称作“腔室4”)以及以包围腔室4的方式配置的多个制程腔室5(以下称作“腔室5”)。腔室4、5的内部为真空。即，腔室4、5是真空腔室。在腔室4的内部配置有机器人1的一部分。机器人1通过构成机器人1的后述的手叉16伸入腔室5内，在多个腔室5之间搬运基板2。在腔室5配置有各种装置等，且收纳有被机器人1搬运的基板2。并且，在腔室5对基板2进行各种处理。

如图2(A)至图4所示，机器人1包括装载基板2的手8、手8能够转动地与其末端侧连接的臂9以及能够转动地与臂9的基端侧连接的主体部10。主体部10包括与臂9的基端侧连接的升降部11、使升降部11升降的升降机构12以及收纳升降部11以及升降机构12的壳体13。壳体13形成为大致有底圆筒状。在壳体13的上端固定有形成为圆板状的凸缘14。在凸缘14形成有用于配置升降部11的上端侧部分的贯通孔。

手8以及臂9配置在主体部10的上侧。如上所述，机器人1的一部分配置在腔室4的内部。具体地说，机器人1的比凸缘14的下端面靠上侧的部分配置在腔室4的内部。即，机器人1的比凸缘14的下端面靠上侧的部分配置在真空区域VR中，手8以及臂9配置在真空腔室内(真空中)。而机器人1的比凸缘14的下端面靠下侧的部分配置在大气区域AR中(大气中)。

手8包括与臂9的末端侧连接的手基部15以及装载基板2的四个手叉16。手叉16形成为直线状。四个手叉16中的两个手叉16以相互隔着指定的间隔的状态平行地配置。这两个手叉16以从手基部15向水平方向的一侧突出的方式固定在手基部15。剩下的两个手叉16以从手基部15朝向与从手基部15向水平方向的一侧突出的两个手叉16相反的一侧突出的方式固定于手基部15。

臂9由相互能够相对转动地连接的第一臂部18与第二臂部19这两个臂部构成。第一臂部18以及第二臂部19形成为中空状。即，臂9整体形成为中空状。第一臂部18的基端侧能够转动地与主体部10连接。第二臂部19的基端侧能够转动地与第一臂部18的末端侧连接。手8能够转动地与第二臂部19的末端侧连接。第二臂部19配置在比第一臂部18靠上侧的位置。并且，手8配置在比第二臂部19靠上侧的位置。

臂9与主体部10的连接部(即第一臂部18与主体部10的连接部)成为关节部20。第一臂部18与第二臂部19的连接部成为关节部21。臂9与手8的连接部(即第二臂部19与手8的连接部)成为关节部22。第一臂部18相对于主体部10的转动中心与第二臂部19相对于第一臂部18的转动中心之间的距离同第二臂部19相对于第一臂部18的转动中心与手8相对于第二臂部19的转动中心之间的距离相等。

在形成为中空状的第一臂部18的内部配置有用于使第二臂部19相对于第一臂部18转动的马达23以及用于使手8相对于第二臂部19转动的马达24。并且，在第一臂部18的内部配置有检测马达23的旋转位置的编码器(省略图示)、检测马达24的旋转位置的编码器(省略图示)以及与这两个编码器连接的电池25。本方式中的马达23是第一马达，马达24是第二马达。并且，检测马达23的旋转位置的编码器是第一编码器，检测马达24的旋转位置的编码器是第二编码器，电池25是第一电池。

在关节部21配置有将马达23的旋转减速并传递至第二臂部19的减速机26。并且，在关节部21配置有中空旋转轴27。减速机26是在径向的中心形成有贯通孔的中空减速机，且中空旋转轴27配置在减速机26的内周侧。马达23借助带轮以及传动带与减速机26的输入侧连接。减速机26的输出侧与第二臂部19的基端侧连接。减速机26的壳体与第一臂部18的末端侧连接。当马达23旋转时，马达23的动力通过减速机26等传递至第二臂部19的基端侧，第二臂部19转动。

马达24借助带轮以及传动带与中空旋转轴27的下端侧连接。在关节部22配置有将马达24的旋转减速并传递至手8的减速机28。减速机28是在径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。中空旋转轴27的上端侧借助带轮以及传动带与减速机28的输入侧连接。减速机28的输出侧与手8的手基部15连接。减速机28的壳体与第二臂部19的末端侧连接。当马达24旋转时，马达24的动力通过中空旋转轴27以及减速机28等传递至手8的手基部15，手8转动。

第一臂部18的内部以及第二臂部19的内部被密封，且第一臂部18的内部压力以及第二臂部19的内部压力为大气压。即，马达23、24、减速机26、28以及电池25配置在大气中。并且，电池25配置在第一臂部18的基端侧的内部。在关节部21配置有用于确保第一臂部18的内部的密封状态的磁流体密封件，在关节部22配置有用于确保第二臂部19的内部的密封状态的磁流体密封件。另外，第一臂部18的内部与第二臂部19的内部通过中空旋转轴27的内周侧连通。

在升降部11安装有用于使第一臂部18相对于主体部10转动的马达31。并且，升降部11包括固定于第一臂部18的基端侧的中空旋转轴32、将马达31的旋转减速并传递至第一臂部18的减速机33以及保持减速机33的壳体且将中空旋转轴32保持为能够转动的大致圆筒状的保持部件34。

减速机33是在径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。该减速机33以贯通孔的轴中心与中空旋转轴32的轴中心一致的方式配置。马达31借助带轮以及传动带与减速机33的输入侧连接。在减速机33的输出侧固定有中空旋转轴32的下端。第一臂部18的基端侧的下表面固定在中心旋转轴32的上端。中空旋转轴32配置在保持部件34的内周侧，且在中空旋转轴32的外周面与保持部件34的内周面之间配置有轴承。当马达31旋转时，马达31的动力通过中空旋转轴32以及减速机33等传递至第一臂部18，第一臂部18转动。

升降机构12包括以上下方向作为轴向配置的螺钉部件38、与螺钉部件38卡合的螺母部件39以及使螺钉部件38旋转的马达40。螺钉部件38能够旋转地安装于壳体13的底面侧。马达40安装在壳体13的底面侧。螺钉部件38借助带轮以及传动带与马达40连接。螺母部件39借助指定的托架安装于升降部11。当马达40旋转时，螺钉部件38旋转，升降部11与螺母部件39一同升降。即，当马达40旋转时，臂9与升降部11一同升降。

壳体13的内部压力为大气压。在关节部20配置有防止空气向真空区域VR流出的磁流体密封件。并且，在关节部20配置有用于防止空气向真空区域VR流出的伸缩囊。另外，在第一臂部18的基端侧的下表面形成有与中空旋转轴32的内周侧连通的贯通孔，第一臂部18的内部与为大气压的壳体13的内部连通。

在壳体13的内部配置有检测马达31的旋转位置的编码器(省略图示)、检测马达40的旋转位置的编码器(省略图示)以及与这两个编码器连接的电池45。即，在主体部10的内部配置有检测马达31的旋转位置的编码器、检测马达40的旋转位置的编码器以及与这两个编码器连接的电池45。本方式中的马达31是第三马达，马达40是第四马达。并且，检测马达31的旋转位置的编码器是第三编码器，检测马达40的旋转位置的编码器是第四编码器，电池45是第二电池。

在像这样构成的机器人1中，当在组装工厂完成组装时，进行调整，将马达23、24、31以及40的绝对旋转位置的信息分别存储于各自的编码器。并且，在组装工厂完成组装、调整之后，从组装工厂对机器人1进行发货时，将机器人1分解成主体部10、臂9、手基部15以及手叉16，并搬运至制造系统3。或在组装工厂进行了组装、调整之后，在将机器人1设置在制造系统3之前，将机器人1分解成主体部10、臂9、手基部15以及手叉16。在该分解状态下，主体部10固定于腔室4的框架，且臂9、手基部15以及手叉16被搬入腔室4中，对机器人1进行再次组装。

以在组装工厂组装、调整后将机器人1分解成主体部10、臂9、手基部15以及四个手叉16作为前提，如图4所示，本方式的机器人1能够分割成主体部10、臂9、手基部15以及四个手叉16。具体地说，主体部10与臂9(更具体地说，第一臂部18与中空旋转轴32)在被定位销等定位部件定位的状态下借助螺钉相互连接，臂9与手基部15(更具体地说，保持于第二臂部19的减速机28的输出侧与手基部15)在被定位销等定位部件定位的状态下借助螺钉相互连接，手基部15与四个手叉16在被定位销等定位部件定位的状态下借助螺钉相互连接。本方式中的主体部10、臂9、手基部15以及手叉16是在被定位销定位的状态下借助螺钉连接且能够分割的分割体。

并且，本方式的机器人1能够通过从下侧起依次配置主体部10、臂9(参照图3)以及手8组装而成，所述臂9处于第一臂部18相对于主体部10的转动中心与手8相对于第二臂部19的转动中心在上下方向重叠的状态。即，机器人1能够通过从下侧起依次配置主体部10、收缩状态的臂9、手基部15以及四个手叉16组装而成。

(本方式的主要效果)

如以上说明，在本方式中，通过主体部10、臂9、手基部15以及四个手叉16构成机器人1，所述主体部10、臂9、手基部15以及四个手叉16在被定位部件定位的状态下借助螺钉连接且能够分割。并且，在本方式中，在配置有马达23、24以及检测马达23、24的旋转位置的编码器的臂9的内部配置有电池25，在配置有马达31、40以及检测马达31、40的旋转位置的编码器的主体部10的内部配置有电池45。

因此，在本方式中，即使在组装工厂进行了组装、调整之后的工业用机器人1被分解成主体部10、臂9、手基部15以及四个手叉16，也能够通过从电池25提供的电力，将在组装工厂存储的马达23、24的绝对旋转位置的信息继续保持于编码器，且通过从电池45提供的电力，将在组装工厂存储的马达31、40的绝对旋转位置的信息继续保持于编码器。因此，在本方式中，即使机器人1在进行组装、调整之后被分解并再次组装，在再组装之后，也能够不必进行用于将马达23、24、31以及40的绝对旋转位置的信息分别存储于各自的编码器的调整。即，在本方式中，能够不必在较窄的腔室4中使手8和臂9动作，将马达23、24、31以及40的绝对旋转位置的信息分别存储于各自的编码器中。

并且，在本方式中，由于主体部10与臂9在被定位部件定位的状态下借助螺钉相互连接，臂9与手基部15在被定位部件定位的状态下借助螺钉相互连接，手基部15与四个手叉16在被定位部件定位的状态下借助螺钉相互连接，因此容易对机器人1进行再组装。

在本方式中，通过从下侧起依次配置主体部10、臂9、手基部15以及四个手叉16来组装机器人1，所述臂9处于第一臂部18相对于主体部10的转动中心与手8相对于第二臂部19的转动中心在上下方向重叠的状态。因此，在本方式中，通过将主体部10、臂9以及手8按顺序配置在第一臂部18相对于主体部10的转动中心与手8相对于第二臂部19的转动中心的轴心上，能够组装机器人1。因此，在本方式中，较容易组装机器人1。

(其他实施方式)

上述方式是本发明的优选方式的一个例子，但本发明不限于此，在不变更本发明的主旨的范围内能够进行各种变更。

在上述方式中，电池25配置在第一臂部18的内部，但电池25也可以配置在第二臂部19的内部。并且，在上述方式中，马达23、24配置在第一臂部18的内部，但马达23和/或马达24也可以配置在第二臂部19的内部。在这种情况下，电池25既可以配置在第一臂部18的内部，也可以配置在第二臂部19的内部。

在上述方式中，以在组装工厂组装、调整后将机器人1分解成主体部10、臂9、手基部15以及四个手叉16为前提，能够将机器人1分解成主体部10、臂9、手基部15以及四个手叉16。除此之外，例如也可以在组装工厂组装、调整后将机器人1分解成主体部10、臂9以及手8为前提，机器人1能够分解成主体部10、臂9以及手8。在这种情况下，手基部15与四个手叉16也可以不被定位部件相互定位。并且，在这种情况下，主体部10、臂9以及手8成为在被定位部件定位的状态下借助螺钉连接且能够分割的分割体。

并且，也可以在组装工厂组装、调整后将机器人1分解成主体部10、第一臂部18、第二臂部19、手基部15以及四个手叉16为前提，机器人1能够分割成主体部10、第一臂部18、第二臂部19、手基部15以及四个手叉16。在这种情况下，第一臂部18与第二臂部19在被定位销等定位部件定位的状态下借助螺钉相互连接。并且，在这种情况下，主体部10、第一臂部18、第二臂部19、手基部15以及手叉16成为在被定位部件定位的状态下借助螺钉连接且能够分割的分割体。

并且，在这种情况下，马达23、24既可以配置在第一臂部18的内部，也可以配置在第二臂部19的内部。并且，在这种情况下，例如也可以是马达23配置在第一臂部18的内部，马达24配置在第二臂部19的内部。在马达23、24配置于第一臂部18的内部时，电池25配置在第一臂部18的内部，在马达23、24配置在第二臂部19的内部时，电池25配置在第二臂部19的内部。并且，在马达23配置在第一臂部18的内部，马达24配置在第二臂部19的内部时，与马达23的编码器连接的电池配置在第一臂部18的内部，与马达24的编码器连接的电池配置在第二臂部19的内部。

在上述方式中，机器人1包括用于使第二臂部19相对于第一臂部18转动的马达23以及使手8相对于第二臂部19转动的马达24。除此之外，例如也可以通过一台马达构成从马达至臂9以及手8的动力的传递机构，以使第二臂部19相对于第一臂部18转动，且使手8相对于第二臂部19转动。并且，在上述方式中，主体部10具有升降机构12，但主体部10也可以不具有升降机构12。

在上述方式中，臂9由第一臂部18和第二臂部19这两个臂部构成，但臂部9也可以由三个以上的臂部构成。并且，在上述方式中，臂9由一个第一臂部18和一个第二臂部19构成，但臂9也可以由一个第一臂部18和两个第二臂部19构成。在这种情况下，第一臂部18形成为大致V形状或直线状，且第一臂部18的中心部成为能够转动地与主体部10连接的基端部。并且，第二臂部19分别能够转动地与第一臂部18的两个末端侧连接。并且，在上述方式中，机器人1具有一个臂9，但机器人1也可以具有基端侧能够转动地与主体部10连接的两个臂9。

在上述方式中，利用机器人1搬运的搬运对象物是有机EL显示器用的基板2，但利用机器人1搬运的搬运对象物既可以是液晶显示器用的玻璃基板，也可以是半导体晶圆等。并且，在上述方式中，机器人1是用于搬运搬运对象物的水平多关节机器人，但机器人1既可以是用于其他用途的水平多关节机器人，也可以是用于焊接等用途的垂直多关节机器人。

Claims (6)

1.一种工业用机器人，包括手、臂、主体部以及多个马达，所述手能够转动地与所述臂的末端侧连接，所述臂的基端侧能够转动地与所述主体部连接，所述多个马达用于驱动所述手以及所述臂，其特征在于，

所述工业用机器人由在被定位部件定位的状态下借助螺钉连接且能够分割的两个以上的分割体构成，

在至少两个所述分割体的内部配置有所述马达以及用于检测所述马达的旋转位置的编码器，且在配置有所述马达以及所述编码器的所述分割体的内部配置有与所述编码器连接的电池。

2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

所述手、所述臂以及所述主体部成为所述分割体，

在所述臂的内部以及所述主体部的内部配置有所述马达、所述编码器以及所述电池。

3.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

所述手包括用于装载搬运对象物的手叉以及固定有所述手叉并与所述臂的末端侧连接的手基部,

所述手叉、所述手基部、所述臂以及所述主体部成为所述分割体，

在所述臂的内部以及所述主体部的内部配置有所述马达、所述编码器以及所述电池。

4.根据权利要求2或3所述的工业用机器人，其特征在于，

所述臂由相互能够相对转动地连接的第一臂部与第二臂部构成，

所述第一臂部的基端侧能够转动地与所述主体部连接，所述第二臂部的基端侧能够转动地与所述第一臂部的末端侧连接，所述手能够转动地与所述第二臂部的末端侧连接，

在所述臂的内部配置有：

第一马达，所述第一马达作为用于使所述第二臂部相对于所述第一臂部转动的所述马达；

第二马达，所述第二马达作为用于使所述手相对于所述第二臂部转动的所述马达；

第一编码器，所述第一编码器作为检测所述第一马达的旋转位置的所述编码器；

第二编码器，所述第二编码器作为检测所述第二马达的旋转位置的所述编码器；以及

第一电池，所述第一电池作为与所述第一编码器以及所述第二编码器连接的所述电池，

在所述主体部的内部配置有：

第三马达，所述第三马达作为用于使所述第一臂部相对于所述主体部转动的所述马达；

第四马达，所述第四马达作为用于使所述臂升降的所述马达；

第三编码器，所述第三编码器作为检测所述第三马达的旋转位置的所述编码器；

第四编码器，所述第四编码器作为检测所述第四马达的旋转位置的所述编码器；以及

第二电池，所述第二电池作为与所述第三编码器以及所述第四编码器连接的所述电池。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的马达，其特征在于，

所述臂由相互能够相对转动地连接的第一臂部与第二臂部构成，

所述第一臂部的基端侧能够转动地与所述主体部连接，所述第二臂部的基端侧能够转动地与所述第一臂部的末端侧连接，所述手能够转动地与所述第二臂部的末端侧连接，

从上下方向观察时，所述第一臂部相对于所述主体部的转动中心与所述第二臂部相对于所述第一臂部的转动中心之间的距离同所述第二臂部相对于所述第一臂部的转动中心与所述手相对于所述第二臂部的转动中心之间的距离相等，

从下侧起依次配置并组装所述主体部、所述臂以及所述手，所述臂处于所述第一臂部相对于所述主体部的转动中心与所述手相对于所述第二臂部的转动中心在上下方向重叠的状态。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的马达，其特征在于，

至少所述手以及所述臂配置在真空腔室中。

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