JP2009033018A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る搬送装置A1は、中央に開口132Bを有する天井壁13を備え、天井壁13が真空室に対して連結固定される固定ベース1と、筒部21を有し、筒部21が開口132Bから出没するように固定ベース1に昇降可能に支持された昇降ベース2と、昇降ベース2に搭載され、水平面内の移動行程に沿ってワークを移動させる直線移動機構6と、筒部21を取り囲むように配置され、天井壁13および昇降ベース2に対して端部が取り付けられてこれらの間を気密シールする筒状のベローズ14と、を備え、天井壁13は、第1部分131および環状の第2部分132を含み、第1部分131が上記真空室に対して連結固定される一方、第2部分132が第1部分131に対して分離可能に連結され、第2部分132にベローズ14の一端部が取り付けられている。
【選択図】図3
Description
GL 移動行程
W ワーク
1 固定ベース
2 昇降ベース
6 直線移動機構
7A,7B ハンド
13 天井壁
14 ベローズ
21 内側筒部(筒部)
131 外側フランジ(第1部分)
132 内側フランジ(第2部分)
132B 中心開口(開口)
134 シール機構
Claims (3)
- 中央に開口を有する天井壁を備え、この天井壁が真空室に対して連結固定される固定ベースと、筒部を有し、この筒部が上記開口から出没するように上記固定ベースに対して昇降可能に支持された昇降ベースと、この昇降ベースに搭載され、水平面内の所望の移動行程に沿ってワークを移動させるための直線移動機構と、上記筒部を取り囲むように配置され、上記天井壁および上記昇降ベースのそれぞれに対して端部が取り付けられることにより、上記天井壁と上記昇降ベースとの間を気密シールする筒状のベローズと、を備えた搬送装置であって、
上記天井壁は、第1部分および環状を有する第2部分を含み、上記第1部分が上記真空室に対して連結固定される一方、上記第2部分が上記第1部分に対して分離可能に連結されており、
上記第2部分に対して上記ベローズの一端部が取り付けられていることを特徴とする、搬送装置。 - 上記第2部分は、上記第1部分に対して、上方から載置させられた状態で連結されている、請求項1に記載の搬送装置。
- 上記第1部分と上記第2部分との間には、環状のシール機構が介装されている、請求項2に記載の搬送装置。
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