JP5770498B2 - 回転駆動装置及び搬送装置 - Google Patents
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上記第1の回転伝達機構は、第1のハウジングと、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の駆動軸と、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の軸方向に延びる第1の従動軸と、上記第1の駆動軸の回転を上記第1の従動軸に伝達する第1の伝達部とを有する。
上記第1の駆動源は、上記第1の駆動軸に回転動力を供給する。
上記第2の回転伝達機構は、上記第1のハウジングに上記第1の軸方向に積層された第2のハウジングと、上記第2のハウジングに回転可能に設けられた第2の駆動軸と、上記第2のハウジングに回転可能に設けられ上記第1の従動軸と同軸である第2の従動軸と、上記第1の伝達部と同一の構造を有し上記第2の駆動軸の回転を上記第2の従動軸に伝達する第2の伝達部とを有する。
上記第2に駆動源は、上記第2の駆動軸に回転動力を供給する。
上記第1の回転伝達機構は、第1のハウジングと、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の駆動軸と、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の軸方向に延びる第1の従動軸と、上記第1の駆動軸の回転を上記第1の従動軸に伝達する第1の伝達部とを有する。
上記第1の駆動源は、上記第1の駆動軸に回転動力を供給する。
上記第2の回転伝達機構は、上記第1のハウジングに上記第1の軸方向に積層された第2のハウジングと、上記第2のハウジングに回転可能に設けられた第2の駆動軸と、上記第2のハウジングに回転可能に設けられ上記第1の従動軸と同軸である第2の従動軸と、上記第1の伝達部と同一の構造を有し上記第2の駆動軸の回転を上記第2の従動軸に伝達する第2の伝達部とを有する。
上記第2に駆動源は、上記第2の駆動軸に回転動力を供給する。
上記アームユニットは、上記第1の従動軸及び上記第2の従動軸に接続され、上記第1の従動軸及び上記第2の従動軸の回転によって伸縮及び旋回が可能である。
上記駆動軸は、上記ハウジングに回転可能に設けられ、回転動力を生成する駆動源によって回転駆動される。
上記従動軸は、上記ハウジングに回転可能に設けられている。
上記伝達部は、上記駆動軸の回転を上記従動軸に伝達する。
上記第1の回転伝達機構は、第1のハウジングと、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の駆動軸と、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の軸方向に延びる第1の従動軸と、上記第1の駆動軸の回転を上記第1の従動軸に伝達する第1の伝達部とを有する。
上記第1の駆動源は、上記第1の駆動軸に回転動力を供給する。
上記第2の回転伝達機構は、上記第1のハウジングに上記第1の軸方向に積層された第2のハウジングと、上記第2のハウジングに回転可能に設けられた第2の駆動軸と、上記第2のハウジングに回転可能に設けられ上記第1の従動軸と同軸である第2の従動軸と、上記第1の伝達部と同一の構造を有し上記第2の駆動軸の回転を上記第2の従動軸に伝達する第2の伝達部とを有する。
上記第2に駆動源は、上記第2の駆動軸に回転動力を供給する。
をさらに具備していてもよい。
上記第1の回転伝達機構は、第1のハウジングと、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の駆動軸と、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の軸方向に延びる第1の従動軸と、上記第1の駆動軸の回転を上記第1の従動軸に伝達する第1の伝達部とを有する。
上記第1の駆動源は、上記第1の駆動軸に回転動力を供給する。
上記第2の回転伝達機構は、上記第1のハウジングに上記第1の軸方向に積層された第2のハウジングと、上記第2のハウジングに回転可能に設けられた第2の駆動軸と、上記第2のハウジングに回転可能に設けられ上記第1の従動軸と同軸である第2の従動軸と、上記第1の伝達部と同一の構造を有し上記第2の駆動軸の回転を上記第2の従動軸に伝達する第2の伝達部とを有する。
上記第2に駆動源は、上記第2の駆動軸に回転動力を供給する。
上記アームユニットは、上記第1の従動軸及び上記第2の従動軸に接続され、上記第1の従動軸及び上記第2の従動軸の回転によって伸縮及び旋回が可能である。
上記駆動軸は、上記ハウジングに回転可能に設けられ、回転動力を生成する駆動源によって回転駆動される。
上記従動軸は、上記ハウジングに回転可能に設けられている。
上記伝達部は、上記駆動軸の回転を上記従動軸に伝達する。
本実施形態に係る基板搬送装置の構成について説明する。
図1は、搬送装置1の外観を示す図である。図1(a)は概略構成を示す斜視図であり、図1(b)はその平面図である。なお、以下の説明では、空間上の一方向をX方向とし、X方向に直交する一方向をY方向、X方向及びY方向に直交する方向をZ方向とする。
同図2に示すように、駆動部2は、固定板11、第1モータ31、第2モータ41、第1ハウジング32、第2ハウジング42、第1駆動軸33、第2駆動軸43、第1駆動ギヤ34、第2駆動ギヤ44、第1従動ギヤ35、第2従動ギヤ45、第1従動軸36、第2従動軸46及び複数の軸受け12を有する。これらの各構成は真空容器10に収容されている。なお、真空容器10には、搬送チャンバの底面に係合するためのフランジ部10aが形成されている。
搬送装置1の動作について説明する。
図示しない制御装置から、第1モータ31及び第2モータ41に駆動電力が印加されると、第1モータ31が第1駆動軸33を回転駆動し、第2モータ41が第2駆動軸43を回転駆動する。この際、第1モータ31と第2モータ41の回転駆動方向は逆回転方向とすることができる。
2…駆動部
3…アーム
3a…第1レバー
3b…第2レバー
10…真空容器
11…固定板
30…第1ギヤユニット
31…第1モータ
32…第1ハウジング
33…第1駆動軸
34…第1駆動ギヤ
35…第1従動ギヤ
36…第1従動軸
40…第2ギヤユニット
41…第2モータ
42…第2ハウジング
43…第2駆動軸
44…第2駆動ギヤ
45…第2従動ギヤ
46…第2従動軸
Claims (7)
- 第1のハウジングと、前記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の駆動軸と、前記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の方向に延びる第1の従動軸と、前記第1の駆動軸の回転を前記第1の従動軸に伝達する第1の伝達部とを有する第1の回転伝達機構と、
前記第1の駆動軸の端部に接続され、前記第1の駆動軸に回転動力を供給する第1の駆動源と、
前記第1のハウジングに前記第1の方向に積層された第2のハウジングと、前記第2のハウジングに回転可能に設けられた第2の駆動軸と、前記第2のハウジングに回転可能に設けられ前記第1の方向に延びる第2の従動軸と、前記第1の伝達部と同一の構造を有し前記第2の駆動軸の回転を前記第2の従動軸に伝達する第2の伝達部とを有する第2の回転伝達機構と、
前記第2の駆動軸の端部に接続され、前記第2の駆動軸に回転動力を供給する第2の駆動源と
を具備し、
前記第1の伝達部及び前記第2の伝達部は、前記第1の従動軸の少なくとも一部を挿通することが可能な内径を有する中空部を備え、
前記第2の従動軸は、中空であり、前記第2のハウジングとは反対側の端部において第1の被駆動体に接続され、
前記第1の従動軸は、前記第2の伝達部の中空部及び前記第2のハウジングを挿通し、前記第2の従動軸に前記第1の従動軸と同軸となるように挿通され、前記第1のハウジングとは反対側の端部において第2の被駆動体に接続されている
回転駆動装置。 - 請求項1に記載の回転駆動装置であって、
前記第1のハウジングは、前記第1の従動軸と所定の距離を空けて離間し、前記第1の従動軸に平行に延びる前記第1の駆動軸を支持し、
前記第2のハウジングは、前記第2の従動軸と所定の距離を空けて離間し、前記第2の従動軸に平行に延びる前記第2の駆動軸を支持する
回転駆動装置。 - 請求項1に記載の回転駆動装置であって、
前記第1の伝達部は、前記第1の駆動軸に設けられ、前記第1の駆動軸を回転軸とする第1の駆動ギヤと、前記第1の従動軸に設けられ、前記第1の従動軸を回転軸とし、前記第1の駆動ギヤに噛合する第1の従動ギヤとを有し、
前記第2の伝達部は、前記第2の駆動軸に設けられ、前記第2の駆動軸を回転軸とする第2の駆動ギヤと、前記第2の従動軸に設けられ、前記第2の従動軸を回転軸とし、前記第2の駆動ギヤに噛合する第2の従動ギヤとを有する
回転駆動装置。 - 請求項1に記載の回転駆動装置であって、
前記第1の回転伝達機構、前記第1の駆動源、前記第2の回転伝達機構及び前記第2の駆動源を収容し、内部を真空に維持することが可能な真空容器
をさらに具備する回転駆動装置。 - 請求項1に記載の回転駆動装置であって、
前記第1のハウジングは、前記第2のハウジングが積層された第1の面と、前記第1の面の反対側の第2の面を有し、
前記第1の駆動軸及び前記第2の駆動軸は前記第1のハウジングを挿通し、
前記回転駆動装置は、前記第1のハウジングの前記第2の面に積層される固定板をさらに具備し、前記第1の駆動源と前記第2の駆動源は、いずれも前記固定板に固定されている
回転駆動装置。 - 第1のハウジングと、前記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の駆動軸と、前記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の方向に延びる第1の従動軸と、前記第1の駆動軸の回転を前記第1の従動軸に伝達する第1の伝達部とを有する第1の回転伝達機構と、
前記第1の駆動軸の端部に接続され、前記第1の駆動軸に回転動力を供給する第1の駆動源と、
前記第1のハウジングに前記第1の方向に積層された第2のハウジングと、前記第2のハウジングに回転可能に設けられた第2の駆動軸と、前記第2のハウジングに回転可能に設けられ、前記第1の方向に延びる第2の従動軸と、前記第1の伝達部と同一の構造を有し前記第2の駆動軸の回転を前記第2の従動軸に伝達する第2の伝達部とを有する第2の回転伝達機構と、
前記第2の駆動軸の端部に接続され、前記第2の駆動軸に回転動力を供給する第2の駆動源と
前記第1の従動軸に接続された第1のアームと、前記第2の従動軸に接続された第2のアームを備え、前記第1の従動軸及び前記第2の従動軸の回転によって伸縮及び旋回が可能なアームユニットと
を具備し、
前記第1の伝達部及び前記第2の伝達部は、前記第1の従動軸の少なくとも一部を挿通することが可能な内径を有する中空部を備え、
前記第2の従動軸は中空であり、前記第2のハウジングとは反対側の端部において前記第2のアームに接続され、
前記第1の従動軸は、前記第2の伝達部の中空部及び前記第2のハウジングを挿通し、前記第2の従動軸に前記第1の従動軸と同軸となるように挿通され、前記第1のハウジングとは反対側の端部において前記第1のアームに接続されている
搬送装置。 - ハウジングと、
前記ハウジングに回転可能に設けられ、回転動力を生成する駆動源によって回転駆動される駆動軸と、
前記ハウジングに回転可能に設けられた従動軸と、
前記駆動軸の回転を前記従動軸に伝達する伝達部であって、前記従動軸の少なくとも一部を挿通することが可能な内径を有する中空部を備える伝達部と
を備える回転伝達機構を複数具備し、
各回転伝達機構は、各回転伝達機構が備える従動軸が前記中空部に挿通されることにより同軸上となるように積層され、
前記複数の回転伝達機構に積層され、各回転伝達機構が備える駆動源が固定される固定板を具備する
回転駆動装置。
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