JP2012195335A - 回転駆動装置、搬送装置及び回転伝達機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の回転伝達装置2は、第1の回転伝達機構と、第2の回転伝達機構とを具備する。
第1の回転伝達機構は、第1のハウジング32と、第1の駆動源31によって回転駆動される第1の駆動軸33と、第1の従動軸36と、第1の駆動軸33の回転を第1の従動軸36に伝達する第1の伝達部34、35とを有する。
第2の回転伝達機構は、第2のハウジング42と、第2の駆動源41によって回転駆動される第2の駆動軸43と、第1の従動軸36と同軸である第2の従動軸46と、第1の伝達部34、35と同一の構造を有し第2の駆動軸43の回転を第2の従動軸46に伝達する第2の伝達部44、45とを有する。
【選択図】図2
Description
上記第1の回転伝達機構は、第1のハウジングと、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の駆動軸と、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の軸方向に延びる第1の従動軸と、上記第1の駆動軸の回転を上記第1の従動軸に伝達する第1の伝達部とを有する。
上記第1の駆動源は、上記第1の駆動軸に回転動力を供給する。
上記第2の回転伝達機構は、上記第1のハウジングに上記第1の軸方向に積層された第2のハウジングと、上記第2のハウジングに回転可能に設けられた第2の駆動軸と、上記第2のハウジングに回転可能に設けられ上記第1の従動軸と同軸である第2の従動軸と、上記第1の伝達部と同一の構造を有し上記第2の駆動軸の回転を上記第2の従動軸に伝達する第2の伝達部とを有する。
上記第2に駆動源は、上記第2の駆動軸に回転動力を供給する。
上記第1の回転伝達機構は、第1のハウジングと、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の駆動軸と、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の軸方向に延びる第1の従動軸と、上記第1の駆動軸の回転を上記第1の従動軸に伝達する第1の伝達部とを有する。
上記第1の駆動源は、上記第1の駆動軸に回転動力を供給する。
上記第2の回転伝達機構は、上記第1のハウジングに上記第1の軸方向に積層された第2のハウジングと、上記第2のハウジングに回転可能に設けられた第2の駆動軸と、上記第2のハウジングに回転可能に設けられ上記第1の従動軸と同軸である第2の従動軸と、上記第1の伝達部と同一の構造を有し上記第2の駆動軸の回転を上記第2の従動軸に伝達する第2の伝達部とを有する。
上記第2に駆動源は、上記第2の駆動軸に回転動力を供給する。
上記アームユニットは、上記第1の従動軸及び上記第2の従動軸に接続され、上記第1の従動軸及び上記第2の従動軸の回転によって伸縮及び旋回が可能である。
上記駆動軸は、上記ハウジングに回転可能に設けられ、回転動力を生成する駆動源によって回転駆動される。
上記従動軸は、上記ハウジングに回転可能に設けられている。
上記伝達部は、上記駆動軸の回転を上記従動軸に伝達する。
上記第1の回転伝達機構は、第1のハウジングと、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の駆動軸と、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の軸方向に延びる第1の従動軸と、上記第1の駆動軸の回転を上記第1の従動軸に伝達する第1の伝達部とを有する。
上記第1の駆動源は、上記第1の駆動軸に回転動力を供給する。
上記第2の回転伝達機構は、上記第1のハウジングに上記第1の軸方向に積層された第2のハウジングと、上記第2のハウジングに回転可能に設けられた第2の駆動軸と、上記第2のハウジングに回転可能に設けられ上記第1の従動軸と同軸である第2の従動軸と、上記第1の伝達部と同一の構造を有し上記第2の駆動軸の回転を上記第2の従動軸に伝達する第2の伝達部とを有する。
上記第2に駆動源は、上記第2の駆動軸に回転動力を供給する。
をさらに具備していてもよい。
上記第1の回転伝達機構は、第1のハウジングと、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の駆動軸と、上記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の軸方向に延びる第1の従動軸と、上記第1の駆動軸の回転を上記第1の従動軸に伝達する第1の伝達部とを有する。
上記第1の駆動源は、上記第1の駆動軸に回転動力を供給する。
上記第2の回転伝達機構は、上記第1のハウジングに上記第1の軸方向に積層された第2のハウジングと、上記第2のハウジングに回転可能に設けられた第2の駆動軸と、上記第2のハウジングに回転可能に設けられ上記第1の従動軸と同軸である第2の従動軸と、上記第1の伝達部と同一の構造を有し上記第2の駆動軸の回転を上記第2の従動軸に伝達する第2の伝達部とを有する。
上記第2に駆動源は、上記第2の駆動軸に回転動力を供給する。
上記アームユニットは、上記第1の従動軸及び上記第2の従動軸に接続され、上記第1の従動軸及び上記第2の従動軸の回転によって伸縮及び旋回が可能である。
上記駆動軸は、上記ハウジングに回転可能に設けられ、回転動力を生成する駆動源によって回転駆動される。
上記従動軸は、上記ハウジングに回転可能に設けられている。
上記伝達部は、上記駆動軸の回転を上記従動軸に伝達する。
本実施形態に係る基板搬送装置の構成について説明する。
図1は、搬送装置1の外観を示す図である。図1(a)は概略構成を示す斜視図であり、図1(b)はその平面図である。なお、以下の説明では、空間上の一方向をX方向とし、X方向に直交する一方向をY方向、X方向及びY方向に直交する方向をZ方向とする。
同図2に示すように、駆動部2は、固定板11、第1モータ31、第2モータ41、第1ハウジング32、第2ハウジング42、第1駆動軸33、第2駆動軸43、第1駆動ギヤ34、第2駆動ギヤ44、第1従動ギヤ35、第2従動ギヤ45、第1従動軸36、第2従動軸46及び複数の軸受け12を有する。これらの各構成は真空容器10に収容されている。なお、真空容器10には、搬送チャンバの底面に係合するためのフランジ部10aが形成されている。
搬送装置1の動作について説明する。
図示しない制御装置から、第1モータ31及び第2モータ41に駆動電力が印加されると、第1モータ31が第1駆動軸33を回転駆動し、第2モータ41が第2駆動軸43を回転駆動する。この際、第1モータ31と第2モータ41の回転駆動方向は逆回転方向とすることができる。
2…駆動部
3…アーム
3a…第1レバー
3b…第2レバー
10…真空容器
11…固定板
30…第1ギヤユニット
31…第1モータ
32…第1ハウジング
33…第1駆動軸
34…第1駆動ギヤ
35…第1従動ギヤ
36…第1従動軸
40…第2ギヤユニット
41…第2モータ
42…第2ハウジング
43…第2駆動軸
44…第2駆動ギヤ
45…第2従動ギヤ
46…第2従動軸
Claims (8)
- 第1のハウジングと、前記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の駆動軸と、前記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の軸方向に延びる第1の従動軸と、前記第1の駆動軸の回転を前記第1の従動軸に伝達する第1の伝達部とを有する第1の回転伝達機構と、
前記第1の駆動軸に回転動力を供給する第1の駆動源と、
前記第1のハウジングに前記第1の軸方向に積層された第2のハウジングと、前記第2のハウジングに回転可能に設けられた第2の駆動軸と、前記第2のハウジングに回転可能に設けられ前記第1の従動軸と同軸である第2の従動軸と、前記第1の伝達部と同一の構造を有し前記第2の駆動軸の回転を前記第2の従動軸に伝達する第2の伝達部とを有する第2の回転伝達機構と、
前記第2の駆動軸に回転動力を供給する第2の駆動源と
を具備する回転駆動装置。 - 請求項1に記載の回転駆動装置であって、
前記第1のハウジングは、前記第1の軸方向に垂直な方向に前記第1の従動軸と所定の距離を空けて離間した前記第1の軸方向に平行な第2の軸方向に沿って前記第1の駆動軸を支持し、
前記第2のハウジングは、前記第1の軸方向に垂直な方向に前記第1の軸方向と前記所定の距離を空けて離間した前記第1の軸方向に平行な前記第2の軸方向とは異なる第3の軸方向に沿って前記第2の駆動軸を支持する
回転駆動装置。 - 請求項1に記載の回転駆動装置であって、
前記第1の伝達部は、前記第1の駆動軸に設けられ前記第2の軸方向を回転軸とする第1の駆動ギヤと、前記第1の従動軸に設けられ前記第1の軸方向を回転軸とする前記第1の駆動ギヤに噛合する第1の従動ギヤとを有し、
前記第2の伝達部は、前記第2の駆動軸に設けられ前記第3の軸方向を回転軸とする第2の駆動ギヤと、前記第2の従動軸に設けられ前記第1の軸方向を回転軸とする前記第2の駆動ギヤに噛合する第2の従動ギヤとを有する
回転駆動装置。 - 請求項1に記載の回転駆動装置であって、
前記第1の回転伝達機構、前記第1の駆動源、前記第2の回転伝達機構及び前記第2の駆動源を収容し、内部を真空に維持することが可能な真空容器
をさらに具備する回転駆動装置。 - 請求項1に記載の回転駆動装置であって、
前記第1のハウジングは、前記第2のハウジングが積層された第1の面と、前記第1の面の反対側の第2の面を有し、
前記第1の駆動軸及び前記第2の駆動軸は前記第1のハウジングを挿通し、
前記回転駆動装置は、前記第1のハウジングの前記第2の面に積層され、前記第1の駆動軸と接続された前記第1の駆動源と、前記第2の駆動軸と接続された前記第2の駆動源とを固定する固定板をさらに具備する
回転駆動装置。 - 第1のハウジングと、前記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の駆動軸と、前記第1のハウジングに回転可能に設けられた第1の従動軸と、前記第1の駆動軸の回転を前記第1の従動軸に伝達する第1の伝達部とを有する第1の回転伝達機構と、
前記第1の駆動軸に回転動力を供給する第1の駆動源と、
前記第1のハウジングに積層された第2のハウジングと、前記第2のハウジングに回転可能に設けられた第2の駆動軸と、前記第2のハウジングに回転可能に設けられ前記第1の従動軸と同軸である第2の従動軸と、前記第1の伝達部と同一の構造を有し前記第2の駆動軸の回転を前記第2の従動軸に伝達する第2の伝達部とを有する第2の回転伝達機構と、
前記第2の駆動軸に回転動力を供給する第2の駆動源と
前記第1の従動軸及び前記第2の従動軸に接続され、前記第1の従動軸及び前記第2の従動軸の回転によって伸縮及び旋回が可能なアームユニットと
を具備する搬送装置。 - ハウジングと、
前記ハウジングに回転可能に設けられ、回転動力を生成する駆動源によって回転駆動される駆動軸と、
前記ハウジングに回転可能に設けられた従動軸と、
前記駆動軸の回転を前記従動軸に伝達する伝達部と
を具備する回転伝達機構。 - 請求項7に記載の回転伝達機構を複数有し、
前記複数の回転伝達機構は同軸上に積層されていることを特徴とする回転駆動装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115057226A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-09-16 | 安费诺嘉力讯(海盐)连接技术有限公司 | 多轴同步旋转真空吸取机构 |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61194841U (ja) * | 1985-05-29 | 1986-12-04 | ||
JPS63246533A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-13 | Topia Kogyo Kk | 減速装置 |
JPH0874945A (ja) * | 1994-09-08 | 1996-03-19 | Tsubakimoto Chain Co | 遊星歯車装置 |
JPH08219251A (ja) * | 1995-02-13 | 1996-08-27 | Kiyoushiyou Kk | 駆動力伝達機構 |
JPH10311384A (ja) * | 1997-05-09 | 1998-11-24 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 遊星歯車減速機及びその組立方法 |
JPH1137226A (ja) * | 1997-07-23 | 1999-02-12 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 小型遊星歯車減速機及びその組立方法 |
JPH11156767A (ja) * | 1997-12-02 | 1999-06-15 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
JP2000042954A (ja) * | 1998-07-25 | 2000-02-15 | Daihen Corp | 搬送用ロボット装置 |
JP2000186750A (ja) * | 1990-11-14 | 2000-07-04 | Seiko Epson Corp | 小型減速機およびカメラのフィルム巻上げ装置 |
JP2000218585A (ja) * | 1999-01-29 | 2000-08-08 | Komatsu Ltd | 回転駆動装置 |
JP2000274496A (ja) * | 1999-03-25 | 2000-10-03 | Yamazaki Kyoiku Kizai Kk | 遊星ギヤユニット及び駆動コントロールボックス |
JP2000317867A (ja) * | 1999-05-07 | 2000-11-21 | Komatsu Ltd | 回転駆動装置 |
JP2002503323A (ja) * | 1997-06-12 | 2002-01-29 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板搬送装置駆動システム |
JP2008307682A (ja) * | 2008-07-18 | 2008-12-25 | Nabtesco Corp | 真空状態に減圧された処理室内部のアームを駆動する搬送装置 |
JP2012189120A (ja) * | 2011-03-09 | 2012-10-04 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | バックラッシュを制御した遊星歯車減速装置 |
-
2011
- 2011-03-15 JP JP2011056269A patent/JP5770498B2/ja active Active
Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61194841U (ja) * | 1985-05-29 | 1986-12-04 | ||
JPS63246533A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-13 | Topia Kogyo Kk | 減速装置 |
JP2000186750A (ja) * | 1990-11-14 | 2000-07-04 | Seiko Epson Corp | 小型減速機およびカメラのフィルム巻上げ装置 |
JPH0874945A (ja) * | 1994-09-08 | 1996-03-19 | Tsubakimoto Chain Co | 遊星歯車装置 |
JPH08219251A (ja) * | 1995-02-13 | 1996-08-27 | Kiyoushiyou Kk | 駆動力伝達機構 |
JPH10311384A (ja) * | 1997-05-09 | 1998-11-24 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 遊星歯車減速機及びその組立方法 |
JP2002503323A (ja) * | 1997-06-12 | 2002-01-29 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板搬送装置駆動システム |
JPH1137226A (ja) * | 1997-07-23 | 1999-02-12 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 小型遊星歯車減速機及びその組立方法 |
JPH11156767A (ja) * | 1997-12-02 | 1999-06-15 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
JP2000042954A (ja) * | 1998-07-25 | 2000-02-15 | Daihen Corp | 搬送用ロボット装置 |
JP2000218585A (ja) * | 1999-01-29 | 2000-08-08 | Komatsu Ltd | 回転駆動装置 |
JP2000274496A (ja) * | 1999-03-25 | 2000-10-03 | Yamazaki Kyoiku Kizai Kk | 遊星ギヤユニット及び駆動コントロールボックス |
JP2000317867A (ja) * | 1999-05-07 | 2000-11-21 | Komatsu Ltd | 回転駆動装置 |
JP2008307682A (ja) * | 2008-07-18 | 2008-12-25 | Nabtesco Corp | 真空状態に減圧された処理室内部のアームを駆動する搬送装置 |
JP2012189120A (ja) * | 2011-03-09 | 2012-10-04 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | バックラッシュを制御した遊星歯車減速装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115057226A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-09-16 | 安费诺嘉力讯(海盐)连接技术有限公司 | 多轴同步旋转真空吸取机构 |
CN115057226B (zh) * | 2022-06-24 | 2023-08-15 | 安费诺嘉力讯(海盐)连接技术有限公司 | 多轴同步旋转真空吸取机构 |
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