JP6098187B2 - 回転機構および搬送装置 - Google Patents
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Description
図1は、この発明の実施の形態にかかる回転機構を示す構成図である。同図は、回転機構1の軸方向断面図を示している。また、図中の一点鎖線Oは、回転機構1の回転軸を示している。
図2は、図1に記載した回転機構における第二回転ユニットの弾性支持構造を示す拡大図である。同図は、回転機構1の回転軸Oの片側領域を示している。
図1の構成では、上記のように、第一室A1と第二室A2とが、隔壁Wを介して区画される。また、第一室A1と第二室A2とは、相互に異なる雰囲気を有する。例えば、半導体製造装置では、第一室A1に特殊環境(例えば、減圧環境、真空環境、プロセスガス充填環境など)が形成され、第二室A2に外気が導入される。
図7および図8は、図1に記載した回転機構の適用例を示す説明図である。これらの図において、図7は、回転機構1がステージ駆動装置10に適用された例を示し、図8は、図7のステージ駆動装置10における回転機構1の拡大図を示している。
以上説明したように、この回転機構1は、第一シャフト22を有する第一回転ユニット2と、第二ハウジング31と、第一シャフト22に対して固定して連結される第二シャフト32と、この第二シャフト32を第二ハウジング31に対して回転可能に支持する第二軸受33とを有する第二回転ユニット3と、第二ハウジング31を弾性変位可能に支持する弾性支持構造4(弾性部材41)とを備える(図1および図2参照)。
Claims (6)
- 第一ハウジングと、第一シャフトと、前記第一シャフトを前記第一ハウジングに対して回転可能に支持する第一軸受とを有する第一回転ユニットと、
前記第一ハウジングと間隔を有して前記第一ハウジングに囲まれて配置される第二ハウジングと、前記第一シャフトに対して固定して連結される第二シャフトと、前記第二シャフトを前記第二ハウジングに対して回転可能に支持する第二軸受とを有する第二回転ユニットと、
前記第二ハウジングに対し前記第一シャフトの反対側に設けられる第一弾性部材と、前記第二ハウジングに対し前記第一弾性部材の反対側に設けられる第二弾性部材とを有し、前記第一弾性部材と前記第二弾性部材とで前記第二ハウジングを軸方向に挟み込み、前記第一ハウジングに対して前記第二ハウジングを弾性変位可能に支持する弾性支持構造とを備えることを特徴とする回転機構。 - 前記第二シャフトの端部が、前記第一シャフトの端部と接して固定される請求項1に記載の回転機構。
- 前記第一ハウジングの前記軸方向の端部に設けられたベース部材を備え、
前記第一ハウジングは、前記第一ハウジングの内周面から径方向内側に突出するとともに前記第二ハウジングに対して前記ベース部材の反対側に対向する係止部を含み、
前記第一弾性部材は、前記ベース部材と前記第二ハウジングとの間に介在して前記第二ハウジングを支持し、
前記第二弾性部材は、前記第一ハウジングの前記係止部と前記第二ハウジングとの間に介在して前記第一ハウジングを支持する請求項1または2に記載の回転機構。 - 前記第一弾性部材及び前記第二弾性部材が、前記第一弾性部材及び前記第二弾性部材のそれぞれの配置位置の隙間を封止するシール部材を兼ねる請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の回転機構。
- 前記第一弾性部材及び前記第二弾性部材は、Oリングである請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の回転機構。
- 請求項1〜5のいずれか一つに記載の回転機構を備えることを特徴とする搬送装置。
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