WO2013187152A1 - 磁性流体シール - Google Patents

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WO2013187152A1
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housing
magnetic fluid
fluid seal
magnetic flux
magnetic
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Inventor
大樹 住川
功太郎 大下
Original Assignee
イーグル工業株式会社
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    • F16J15/40—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid
    • F16J15/43—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid kept in sealing position by magnetic force
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/72—Sealings
    • F16C33/76—Sealings of ball or roller bearings
    • F16C33/762—Sealings of ball or roller bearings by means of a fluid
    • F16C33/763—Sealings of ball or roller bearings by means of a fluid retained in the sealing gap
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/40—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid

Definitions

  • the present invention relates to a magnetic fluid seal used for a transmission unit for movement into a sealed space.
  • a magnetic fluid seal is used that can keep oil mist and the like from a bearing less intruded and keep the inside of the device clean (Patent Literature). 1 etc.).
  • the magnetic fluid seal is also applied to a bearing portion of a transfer robot used in a clean environment because of the same advantages, and further expansion of application fields is expected in the future.
  • the magnetic fluid seal according to the prior art has a problem that when a large load is applied to the rotating shaft of the device to which the magnetic fluid is applied, the magnetic fluid seal bears a large part of the load. Therefore, when it is assumed that a large load is applied to the rotating shaft, the magnetic fluid seal according to the prior art is very large as a bearing that can be supported by the load or incorporated in the magnetic fluid seal. It is necessary to use an expensive bearing, and there are problems in terms of downsizing and cost.
  • the present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a magnetic fluid seal that can be suitably applied to a rotating shaft to which a load is applied.
  • a housing arranged to be relatively movable in the radial direction of And a magnetic fluid held in the minute gap by the magnetic flux generated by the magnetic flux generation means.
  • the magnetic fluid seal according to the prior art has a structure in which the housing is fixed to the apparatus and the rotating shaft is firmly supported through the bearing and the housing because of the necessity of maintaining a gap in which the magnetic fluid is interposed, the load is received. It had the problem of being easy.
  • the housing is disposed so as to be relatively movable in the radial direction of the rotary shaft with respect to the device end portion, for example, a large load is applied to the rotary shaft, and the inclination or radial direction is increased. Even when vibration is generated, the entire magnetic fluid seal can follow the movement of the rotating shaft, and the magnetic fluid seal can be prevented from receiving a load.
  • the housing may be movable relative to the device end in the rotation direction of the rotary shaft,
  • the relative movement range of the housing relative to the device end may be limited by a rotation stopper connected to the device end and engageable with the housing.
  • the magnetic fluid seal in which the housing is relatively movable in both the radial direction and the rotational direction is realized by a simple mode in which the housing is not fixed to the apparatus end, so that the structure is simple, easy to manufacture and durable. Excellent in properties. Further, since the rotation stop portion limits the relative movement range of the housing, the housing itself does not rotate indefinitely.
  • the magnetic fluid seal according to the present invention may have a secondary seal portion that seals between the housing and the device end.
  • the secondary seal portion seals between the housing and the device end so that the airtightness in the device is kept good.
  • the magnetic fluid seal according to the present invention may have a bearing portion that supports the housing so as to be rotatable relative to the rotating shaft.
  • the magnetic fluid seal according to the present invention is an embodiment in which the housing is not at least completely fixed to the device end.
  • the bearing portion supports the housing with respect to the rotating shaft, the entire magnetic fluid seal is attached to the rotating shaft, and the magnetic fluid seal can be more effectively avoided from receiving a load. .
  • FIG. 1 is a schematic view of an apparatus to which a magnetic fluid seal according to an embodiment of the present invention is applied.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of the magnetic fluid seal shown in FIG.
  • FIG. 3 is a plan view of the magnetic fluid seal shown in FIG. 2 as viewed from the outside of the machine.
  • FIG. 1 is a schematic view of a manufacturing apparatus to which a magnetic fluid seal 20 according to an embodiment of the present invention is applied.
  • the magnetic fluid seal 20 seals between the apparatus flange 14 (apparatus end) provided in the chamber 18 of the manufacturing apparatus and the rotary shaft 16 penetrating the apparatus flange 14.
  • the outer end of the rotating shaft 16 is connected to a driving device 12 such as a motor or a gear box, and the rotating shaft 16 is rotated by the rotational force of the driving device 12.
  • the end of the rotary shaft 16 on the inside of the machine is located inside the chamber 18 and is connected to the arm 19.
  • the manufacturing apparatus can keep the inside of the chamber 18 in an airtight state with respect to the outside of the chamber 18, and switches and maintains the negative pressure state, the pressurized state, and the atmospheric pressure state as necessary.
  • an arm 19 driven via the rotary shaft 16 can carry the member and the like.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of the magnetic fluid seal 20 shown in FIG.
  • the magnetic fluid seal 20 includes a housing 38 including a permanent magnet 28 and pole pieces 24 and 26, a shaft 22, bearings 34 and 36, O-rings 40 and 42, a rotation prevention pin 46, and the like.
  • the shaft 22 has a bottomless cylindrical shape.
  • the shaft 22 is fixed to the outer peripheral surface of the rotating shaft 16 and rotates together with the rotating shaft 16.
  • the method for fixing the shaft 22 is not particularly limited, and the shaft 22 is fixed to the rotating shaft 16 using, for example, a set collar, a key, a bolt, or the like.
  • An O-ring for sealing is provided between the shaft 22 and the rotating shaft 16.
  • the shaft 22 is made of a magnetic material, and a magnetic flux generated by a permanent magnet 28 described later passes through the shaft 22.
  • the shaft 22 and the rotating shaft 16 correspond to the rotating shaft in the claims.
  • the shaft 22 may not be used. In this case, the rotating shaft 16 corresponds to the rotating shaft.
  • the housing 38 has a cylindrical portion inserted into a through-hole formed in the apparatus flange 14 and a flange portion connected to the end portion on the machine outside of the cylindrical portion and protruding in the outer diameter direction. Between the outer peripheral surface of the cylindrical portion of the housing 38 and the inner peripheral surface of the apparatus flange 14, O-rings 40 and 42 are disposed as secondary seals for sealing between the housing 38 and the apparatus flange 14.
  • the inner peripheral surface 38a of the cylindrical portion of the housing 38 is provided with permanent magnets 28 as magnetic flux generating means and pole pieces 24 and 26 as magnetic flux transmitting means.
  • the permanent magnet 28 generates a magnetic flux, and the magnetic flux is transmitted by the pole pieces 24 and 26 arranged around the permanent magnet 28, the shaft 22 and the magnetic fluid, thereby forming a magnetic path.
  • the permanent magnet 28 is connected to the pole pieces 24, 26 or to the housing 38.
  • the pole pieces 24 and 26 are ring-shaped, arranged on both sides with the permanent magnet 28 sandwiched in the axial direction, and are made of a magnetic material.
  • the pole pieces 24 and 26 transmit magnetic flux generated by the permanent magnet 28.
  • the outer peripheral ends of the pole pieces 24 and 26 are attached to the inner peripheral surface 38 a of the cylindrical portion of the housing 38, and the pole pieces 24 and 26 are attached so as not to rotate relative to the housing 38.
  • the inner peripheral ends of the pole pieces 24 and 26 are opposed to the outer peripheral surface 22a of the shaft 22 with a minute gap formed therebetween.
  • the magnetic fluid 44 is held by the magnetic flux generated by the permanent magnet 28.
  • the magnetic fluid 44 include those in which magnetic ultrafine particles having a particle size of about 5 to 50 nm are dispersed in a solvent or oil (base oil) using a surfactant, and move along the magnetic flux. And has a characteristic of being trapped in a magnetic field. The magnetic fluid 44 can ensure the sealing performance between the pole pieces 24 and 26 and the outer peripheral surface 22 a of the shaft 22.
  • Irregularities may be formed on one or both of the inner peripheral ends of the pole pieces 24 and 26 and the outer peripheral surface 22a of the shaft 22 facing the pole pieces 24 and 26. By forming such irregularities, the magnetic fluid 44 is easily held in the minute gap.
  • FIG. 3 is a plan view of the magnetic fluid seal 20 as viewed from the outside of the machine.
  • a notch 38 b is formed in the flange portion of the housing 38.
  • a detent pin 46 that can be engaged with the notch 38b of the housing 38 is disposed in the notch 38b. As shown in FIG. 2, the detent pin 46 is screwed to the device flange 14, and can engage with the notch 38 b of the housing 38 to limit the relative movement range of the housing 38 in the rotational direction. it can.
  • bearings 34 and 36 that are bearing portions are arranged.
  • the bearings 34 and 36 are disposed on both sides in the axial direction with the hole pieces 24 and 26 and the permanent magnet 28 interposed therebetween.
  • Non-magnetic spacers 30 and 32 are sandwiched between the bearings 34 and 36 and the pole pieces 24 and 26 to prevent the magnetic flux generated by the permanent magnet 28 from leaking from the pole pieces 24 and 26. Yes.
  • the inner peripheral surfaces of the bearings 34 and 36 are connected to the outer peripheral surface 22a of the shaft 22, and the outer peripheral surfaces of the bearings 34 and 36 are connected to the inner peripheral surface 38a of the housing 38. 38 is supported so as to be rotatable relative to the shaft 22.
  • the housing 38 is not fixed to the apparatus flange 14. Therefore, the housing 38 can move relative to the apparatus flange 14 in the radial direction, the axial direction, and the rotational direction 50 of the rotary shaft 16.
  • the housing 38 can move relative to the apparatus flange 14 in the radial direction of the rotating shaft 16, even when a large load is applied to the rotating shaft 16 and tilt or radial vibration occurs, the magnetic force is also reduced.
  • the entire fluid seal 20 can follow the movement of the rotary shaft 16.
  • the magnetic fluid seal 20 can preferably avoid receiving a load via the rotating shaft 16, which is advantageous for downsizing and is preferably applied to the rotating shaft 16 that is loaded. Can do.
  • the magnetic fluid seal 20 does not need to use a bearing having high durability as the bearings 34 and 36, and has an advantage in cost.
  • the O-rings 40 and 42 disposed between the housing 38 and the apparatus flange 14 are made of a material having an appropriate elasticity such as an elastomer. It is preferable to be produced. Thereby, the O-rings 40 and 42 can seal between the housing 38 and the apparatus flange 14 more suitably, and the magnetic fluid seal 20 can keep the airtight state in the apparatus flange 14 suitably.
  • the magnetic fluid seal 20 fixes the housing 38 and the device flange 14 to each other. It is realized by a simple structure that does not. Therefore, the magnetic fluid seal 20 is easy to assemble and manufacture and has high durability.
  • the rotation prevention pin 46 fixed to the device flange 14 limits the relative movement range of the housing 38, so that the housing 38 does not rotate more than a predetermined rotation angle. (See FIG. 3). Accordingly, the magnetic fluid seal 20 can perform an appropriate movement following the rotation shaft 16 in a situation where the rotation shaft 16 is deformed or the rotation shaft 16 and the shaft 22 vibrate.
  • the space between the device flanges 14 can be suitably sealed.
  • the bearings 34 and 36 support the housing 38 so as to be rotatable relative to the shaft 22, the ferrofluid seal 20 is interposed via the shaft 22 even when the housing 38 is not fixed to the apparatus flange 14.
  • the rotary shaft 16 is appropriately supported.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)

Abstract

【課題】荷重がかかる回転軸に対しても好適に適用できる磁性流体シールを提供する。 【解決手段】 装置端部（１４）と、前記装置端部を貫通する回転シャフト（２２）との間を封止する磁性流体シール（２０）であって、磁束を発生する磁束発生手段（２８）と、前記回転シャフトに対して微少隙間を形成して対向しており前記磁束を伝達する磁束伝達手段（２４，２６）と、を備えており、前記装置端部に対して前記回転シャフトの径方向に相対移動可能に配置されるハウジング（３８）と、前記磁束発生手段により発生された前記磁束により前記微少隙間に保持される磁性流体（４４）と、を有する。

Description

磁性流体シール
　本発明は、密閉空間内への運動の伝達部等に使用される磁性流体シールに関する。
　例えば半導体デバイスの製造工程や、コーティング・エッチング工程に用いられる装置では、軸受けからのオイルミスト等の侵入が少なく、装置内を清浄に保ことが可能な磁性流体シールが用いられている（特許文献１等参照）。また、磁性流体シールは、同様の利点から、クリーンな環境で用いられる搬送用ロボットの軸受け部等にも適用されており、今後さらなる適用分野の拡大が見込まれる。
　しかし、従来技術に係る磁性流体シールは、適用対象である装置の回転軸に大きな荷重がかかる場合、その荷重の多くを磁性流体シールが負ってしまうという問題点を有している。そのため、従来技術に係る磁性流体シールは、回転軸に大きな荷重がかかることが想定される場合には、荷重を支えられるようにサイズを大きくしたり、磁性流体シール内部に組み込まれる軸受けとして非常に高価な軸受けを使用する必要があり、小型化やコストの面で課題を有している。
特開平９－３１７８９９号公報
　本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、荷重がかかる回転軸に対しても好適に適用できる磁性流体シールを提供することである。
　上述の目的を達成するために、本発明に係る磁性流体シールは、
装置端部と、前記装置端部を貫通する回転シャフトとの間を封止する磁性流体シールであって、
磁束を発生する磁束発生手段と、前記回転シャフトに対して微少隙間を形成して対向しており前記磁束を伝達する磁束伝達手段と、を備えており、前記装置端部に対して前記回転シャフトの径方向に相対移動可能に配置されるハウジングと、
前記磁束発生手段により発生された前記磁束により前記微少隙間に保持される磁性流体と、を有する。
　従来技術に係る磁性流体シールは、磁性流体を介在させる隙間を維持する必要性等から、ハウジングを装置に固定し、軸受け及びハウジングを介して回転軸を強固に支える構造であったため、荷重を受けやすいという問題を有していた。本発明に係る磁性流体シールは、ハウジングが、前記装置端部に対して前記回転軸の径方向に相対移動可能に配置されているため、例えば回転軸に大きな荷重がかかり、傾きや径方向の振動を生じた場合にも、磁性流体シール全体で回転軸の移動に追従することが可能であり、磁性流体シールが荷重を受けることを回避できる。
　また、例えば、前記ハウジングは、前記装置端部に対して、前記回転シャフトの回転方向に相対移動可能であっても良く、
前記ハウジングは、前記装置端部に接続しており前記ハウジングと係合可能な回転止め部によって、前記装置端部に対する前記回転方向の相対移動範囲を制限されても良い。
　ハウジングが、径方向にも回転方向にも相対移動可能である磁性流体シールは、ハウジングを装置端部に固定しないというシンプルな態様によって実現されるため、構造が単純であり、製造が容易で耐久性に優れている。また回転止め部がハウジングの相対移動範囲を制限するため、ハウジング自体が無制限に回転することはない。
　また、例えば、本発明に係る磁性流体シールは、前記ハウジングと前記装置端部の間を封止する２次シール部を有しても良い。
　ハウジングが装置端部に対して移動可能であっても、２次シール部がハウジングと装置端部の間を封止することにより、装置内の気密性は良好に保たれる。
　また、例えば、本発明に係る磁性流体シールは、前記ハウジングを前記回転シャフトに対して相対回転可能に支持する軸受け部を有しても良い。
　本発明に係る磁性流体シールは、ハウジングが装置端部に対して、少なくとも完全には固定されていない態様である。これに加えて、軸受け部が、ハウジングを回転シャフトに対して支持することにより、磁性流体シール全体が、回転シャフトに取り付けられる態様となり、磁性流体シールが荷重を受けることをより効果的に回避できる。
図１は、本発明の一実施形態に係る磁性流体シールを適用した装置の概略図である。 図２は、図１に示す磁性流体シールの要部断面図である。 図３は、図２に示す磁性流体シールを、機外側から見た平面図である。
第１実施形態
　図１は、本発明の一実施形態に係る磁性流体シール２０を適用した製造装置の概略図である。磁性流体シール２０は、製造装置のチャンバ１８に設けられた装置フランジ１４（装置端部）と、装置フランジ１４を貫通する回転軸１６との間を封止する。回転軸１６の機外側の端部は、モータやギヤボックス等の駆動装置１２に接続されており、回転軸１６は、駆動装置１２の回転力によって回転する。回転軸１６の機内側の端部は、チャンバ１８内部に位置しており、アーム１９に接続されている。製造装置は、チャンバ１８の内部を、チャンバ１８の外部に対して気密状態に保つことが可能であり、必要に応じて負圧状態、加圧状態、大気圧状態に切り換え及び維持する。チャンバ１８の内部では、回転軸１６を介して駆動されるアーム１９が、部材の搬送等を行うことができる。
　図２は、図１に示す磁性流体シール２０の要部断面図である。磁性流体シール２０は、永久磁石２８及びポールピース２４，２６を備えるハウジング３８、シャフト２２、ベアリング３４，３６、Ｏリング４０，４２、回り止めピン４６等を有する。シャフト２２は、無底の円筒形状である。シャフト２２は、回転軸１６の外周面に固定されており、回転軸１６と伴に回転する。シャフト２２の固定方法は特に限定されず、例えばセットカラー、キー、ボルト等を用いて回転軸１６に固定される。シャフト２２と回転軸１６との間には、封止のためのＯリングが設けられている。
　シャフト２２は磁性材料によって構成されており、後述する永久磁石２８が発生する磁束は、シャフト２２を通過する。なお、磁性流体シール２０では、シャフト２２及び回転軸１６が、特許請求の範囲における回転シャフトに相当するが、例えば回転軸１６自体が磁性材料である場合には、シャフト２２を用いない態様もあり、その場合は回転軸１６が回転シャフトに相当する。
　ハウジング３８は、装置フランジ１４に形成された貫通孔に挿入されている円筒部と、円筒部分の機外側の端部に接続されており、外径方向へ突出する鍔部とを有する。ハウジング３８における円筒部の外周面と装置フランジ１４の内周面の間には、ハウジング３８と装置フランジ１４の間を封止する２次シールとしてのＯリング４０，４２が配置されている。
　ハウジング３８における円筒部の内周面３８ａには、磁束発生手段としての永久磁石２８と、磁束伝達手段としてのポールピース２４，２６が備えられている。永久磁石２８は磁束を発生し、永久磁石２８の周辺に配置されたポールピース２４，２６、シャフト２２及び磁性流体によって磁束が伝達され、磁路が形成される。永久磁石２８は、ポールピース２４，２６に接続されるか、又はハウジング３８に接続される。
　ポールピース２４，２６はリング状であり、永久磁石２８を軸方向に挟んで両側に配置されており、磁性材料によって構成される。ポールピース２４，２６は、永久磁石２８で発生された磁束を伝達する。ポールピース２４，２６の外周端部は、ハウジング３８の円筒部における内周面３８ａに取り付けられており、ポールピース２４，２６は、ハウジング３８に対して相対回転しないように取り付けられている。ポールピース２４，２６の内周端部は、シャフト２２の外周面２２ａに対して、微少隙間を形成して対向している。
　ポールピース２４，２６とシャフト２２の外周面２２ａとの間に形成されている微少隙間には、磁性流体４４が、永久磁石２８によって発生された磁束により保持されている。磁性流体４４としては、例えば、粒径約５～５０ｎｍ程度の磁性超微粒子を、界面活性剤を使用して溶媒や油（基油）中に分散させたものが挙げられ、磁束に沿って移動し、磁場にトラップされる特性を有する。磁性流体４４は、ポールピース２４，２６とシャフト２２の外周面２２ａとの間の密封性を確保することができる。
　ポールピース２４，２６の内周端部及びこれと対向するシャフト２２の外周面２２ａのいずれか一方又は双方には、凹凸が形成されていてもよい。このような凹凸を形成することにより、微少隙間に磁性流体４４が保持されやすくなる。
　図３は、磁性流体シール２０を、機外側から見た平面図である。ハウジング３８の鍔部には、切り欠き３８ｂが形成されている。切り欠き３８ｂの中には、ハウジング３８の切り欠き３８ｂと係合可能な回り止めピン４６が配置されている。図２に示すように、回り止めピン４６は、装置フランジ１４に螺旋止めされており、ハウジング３８の切り欠き３８ｂと係合することにより、ハウジング３８の回転方向の相対移動範囲を制限することができる。
　ハウジング３８における円筒部の内周面３８ａとシャフト２２の外周面２２ａの間には、軸受け部であるベアリング３４，３６が配置されている。ベアリング３４，３６は、ホールピース２４，２６及び永久磁石２８を挟んで軸方向の両側に配置されている。ベアリング３４，３６とポールピース２４，２６との間には、非磁性材料のスペーサ３０，３２が挟まれており、永久磁石２８で発生した磁束がポールピース２４，２６から漏れるのを防止している。
　ベアリング３４，３６の内周面は、シャフト２２の外周面２２ａに接続しており、ベアリング３４，３６の外周面はハウジング３８の内周面３８ａに接続しており、ベアリング３４，３６は、ハウジング３８をシャフト２２に対して相対回転可能に支持している。
　図１～図３に示す磁性流体シール２０は、ハウジング３８が装置フランジ１４に対して固定されていない。そのためハウジング３８は、回転軸１６の径方向、軸方向及び回転方向５０に、装置フランジ１４に対して相対移動可能である。特に、ハウジング３８が、装置フランジ１４に対して、回転軸１６の径方向に相対移動可能であるため、回転軸１６に大きな荷重がかかり、傾きや径方向の振動を生じた場合にも、磁性流体シール２０全体で回転軸１６の移動に追従することが可能である。これにより、磁性流体シール２０は、回転軸１６を介して荷重を受けることを好適に回避することができ、小型化に対して有利であり、荷重のかかる回転軸１６にも好適に適用することができる。また、ベアリング３４，３６にかかる荷重も軽減されるため、磁性流体シール２０は、ベアリング３４，３６として特別耐久性の高いものを使用しなくても良く、コスト面での利点を有する。
　なお、ハウジング３８が装置フランジ１４に対して径方向に移動するため、ハウジング３８と装置フランジ１４の間に配置されるＯリング４０，４２は、例えばエラストマー等のような適度な弾性を有する材料によって作製されることが好ましい。これにより、Ｏリング４０，４２は、ハウジング３８と装置フランジ１４の間をより好適に封止することができ、磁性流体シール２０は、装置フランジ１４内の気密状態を好適に保つことができる。
　また、ハウジング３８は、回転軸１６における径方向以外の回転方向及び軸方向に関しても、装置フランジ１４に対して相対移動可能であるため、磁性流体シール２０は、ハウジング３８と装置フランジ１４とを固定しないという単純な構造によって実現されている。したがって、磁性流体シール２０は、組み立て及び製造が簡単であり、耐久性が高い。
　ただし、ハウジング３８は、装置フランジ１４に対して固定されている回り止めピン４６が、ハウジング３８の相対移動範囲を制限するため、装置フランジ１４に対して所定の回転角度以上に回転することはない（図３参照）。これにより、磁性流体シール２０は、回転軸１６の変形や、回転軸１６及びシャフト２２の振動が生じる状況で、これに追従する適度な移動を行うことが可能であり、かつ、回転軸１６と装置フランジ１４の間を好適にシールすることができる。
　またさらに、ベアリング３４，３６が、ハウジング３８をシャフト２２に対して相対回転可能に支持するため、磁性流体シール２０は、ハウジング３８が装置フランジ１４に固定されていなくても、シャフト２２を介して回転軸１６に適切に支持される。
　１２…駆動装置
　１４…装置フランジ
　１６…回転軸
　１８…チャンバ
　１９…アーム
　２０…磁性流体シール
　２２…シャフト
　２２ａ…シャフト外周面
　２４，２６…ポールピース
　２８…永久磁石
　３０，３２…スペーサ
　３４，３６…ベアリング
　３８…ハウジング
　３８ａ…ハウジング内周面
　３８ｂ…切り欠き
　４０，４２…Ｏリング
　４４…磁性流体
　４６…回り止めピン
　５０…回転方向

Claims (4)

  1. 　装置端部と、前記装置端部を貫通する回転シャフトとの間を封止する磁性流体シールであって、
    　磁束を発生する磁束発生手段と、前記回転シャフトに対して微少隙間を形成して対向しており前記磁束を伝達する磁束伝達手段と、を備えており、前記装置端部に対して前記回転シャフトの径方向に相対移動可能に配置されるハウジングと、
    　前記磁束発生手段により発生された前記磁束により前記微少隙間に保持される磁性流体と、を有する磁性流体シール。
  2. 　前記ハウジングは、前記装置端部に対して、前記回転シャフトの回転方向に相対移動可能であって、
    　前記ハウジングは、前記装置端部に接続しており前記ハウジングと係合可能な回転止め部によって、前記装置端部に対する前記回転方向の相対移動範囲を制限される請求項１に記載の磁性流体シール。
  3. 　前記ハウジングと前記装置端部の間を封止する２次シール部を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の磁性流体シール。
  4. 　前記ハウジングを前記回転シャフトに対して相対回転可能に支持する軸受け部を有することを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかに記載の磁性流体シール。
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