KR20220071717A - 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치 - Google Patents

블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치에 관한 것으로, 외부에 설치된 구동장치로부터 구동력을 전달받아 일정속도로 회전하는 메인 샤프트와, 상기 메인 샤프트 일측면에 배치된 제1 베어링과, 상기 메인 샤프트 타측면에 배치되며, 상기 제1 베어링과 일정 거리 이격되어 배치된 제2 베어링과, 상기 제1 베어링 및 상기 제2 베어링 사이에 위치한 자성 유체 부재와, 상기 제1 베어링과 연결되며, 상기 메인 샤프트의 외주면을 감싸며 상부에 요철부를 포함하는 더스트 링과, 상기 더스트 링보다 큰 직경을 가지며, 상기 더스트 링 상부를 덮는 더스트 링 보완 커버를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치{MAGNETIC FLUID SEAL APPARATUS FOR BLOW MOTOR}
본 발명은 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 기술에 관한 것으로, 보다 상세 하게는, 더스트의 침입 및 배출을 방지하는 더스트 링을 포함하는 자성 유체 밀봉 장치에 관한 것이다.
자성 유체란 초미립의 강자성 미립자를 액체 중에 분산시킨 다음 계 면활성제를 첨가한 유체이다. 자성 유체는 원심력이나 자기장에서도 고액분리가 일어나지 않고 액체 자체로 자성을 갖는 것처럼 거동하는 자성콜로이드를 말한다. 1965년 미국의 아폴로 계획의 일환으로 개발하여 현재는 반도체, LCD, OLED 제조 등에 적용되고 있다.
한국 등록특허공보 제10-1639784(2016.07.08)호는 자성 유체 밀봉장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 회전가능한 샤프트; 상기 샤프트의 외주면에 마련되고 상기 샤프트와 함께 회전하는 슬리브; 상기 샤프트 및 슬리브가 관통하는 하우징; 및 상기 샤프트의 회전은 허용하면서 자성 유체를 이용하여 상기 샤프트와 상기 하우징 사이가 밀봉상태를 유지할 수 있도록 하는 자성 유체 밀봉유닛을 포함하되, 상기 자성 유체 밀봉유닛은, 상기 샤프트에 이격되어 배치되고 자력을 발생시 키는 영구자석과, 상기 영구자석의 주변에 상기 슬리브와 마주보도록 배치되고 상 기 영구자석의 자력을 상기 슬리브 쪽으로 전달하는 폴피스와, 상기 폴피스에 의해 전달되는 자력에 의하여, 상기 슬리브와 상기 폴피스 사이에 마련된 틈새에 유지되는 자성 유체를 포함하고, 상기 폴피스가 상기 슬리브와 마주보는 면적이, 상기 슬리브가 상기 샤프트와 접촉하는 면적보다 큰 것을 특징으로 하는 자성 유체 밀봉장치에 대한 것이다.
한국 등록특허공보 제10-1564341(2015.10.23)호는 자성 유체 씰링 장치에 관한 것으로, 상기 자성 유체 씰링 장치는 회전 운동 및 직선 운동하는 샤프트의 상기 샤프트가 관통하는 하우징; 상기 샤프트의 외주면의 일부분을 감싸도록 상기 하우징 내에 설치된 슬리브; 상기 슬리브 및 상기 하우징의 사이에 개재되고, 상기 샤프트의 길이 방향으로 자력을 발생시 키는 자력발생부; 상기 하우징 내에 설치되고, 상기 샤프트의 외주면을 감싸도록 상기 샤프트와 결합되고, 제1 베어링부재 및 제2 베어링부재를 포함하는 샤프트 지지부재; 및 상기 자력발생부에 의해 발생된 자력에 의해 상기 슬리브 및 상기 자력발생부의 사이에 유지되어 상기 슬리브 및 상기 자력발생부 사이의 공간을 밀봉시키는 자성 유체를 포함하고, 상기 제1 베어링부재는 상기 샤프트와 결합되어 상기 샤프트가 선형 왕복 운동이 자유롭 도록 구성되고, 상기 제2 베어링부재는 상기 제1 베어링부재의 둘레에 설치되어 상기 샤프트가 회전되는 경우 상기 제1 베어링부재 및 상기 샤프트가 함께 자유롭게 회전되도록 구성된 것을 특징으로 한다.
한국 등록특허공보 제10-1639784(2016.07.08)호 한국 등록특허공보 제10-1564341(2015.10.23)호
본 발명의 일 실시예는 더스트의 침입 및 배출을 방지하는 더스트 링과 더스트 링을 덮는 보완 커버를 설치하고 에어트랩을 단가공하여 자성 유체 밀봉 장치의 성능을 향상시키고, 수명을 증가시키는 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치를 제공한다.
실시예들 중에서, 본 발명에 따른 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치는 외부에 설치된 구동장치로부터 구동력을 전달받아 일정속도로 회전하는 메인 샤프트와, 상기 메인 샤프트 일측면에 배치된 제1 베어링과, 상기 메인 샤프트 타측면에 배치되며, 상기 제1 베어링과 일정 거리 이격되어 배치된 제2 베어링과, 상기 제1 베어링 및 상기 제2 베어링 사이에 위치한 자성 유체 부재와, 상기 제1 베어링과 연결되며, 상기 메인 샤프트의 외주면을 감싸며 상부에 요철부를 포함하는 더스트 링과, 상기 더스트 링보다 큰 직경을 가지며, 상기 더스트 링 상부를 덮는 더스트 링 보완 커버를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 더스트 링과 상기 더스트 링 보완 커버 사이에 단가공 에어 트랩 영역을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 자성 유체 부재는 내부에 자성 유체 및 자석을 포함하며, 상기 자성 유체는 상기 자석에 의해 밀집되고, 상기 자석의 표면은 돌기가 있는 톱니바퀴의 형태로 구현되는 것을 특징으로 한다.
상기 더스트 링 보완 커버는 상기 더스트 링 상부의 요철부와 맞물려 상기 더스트 링과 전면 접촉되는 것을 특징으로 한다.
상기 메인 샤프트, 상기 자성 유체 부재, 상기 더스트 링 및 상기 더스트 링 보완 커버를 둘러싼 마그네틱 씰 하우징을 더 포함하며, 상기 더스트 링 보완 커버는 볼트에 의해 상기 마그네틱 씰 하우징에 고정되는 것을 특징으로 한다.
상기 메인 샤프트의 외주면의 일부분을 감싸도록 설치된 슬리브를 더 포함하며, 상기 슬리브는 상기 메인 샤프트의 외주면에 끼워져 있는 원통 형상으로 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 마그네틱 씰 하우징 일측 단부에 결합 영역이 구비되고, 상기 결합 영역에 블로우 모터가 결착되는 것을 특징으로 한다.
상기 자성 유체 부재를 기준으로 상기 자성 유체 부재 상단 및 하단에 상기 메인 샤프트를 감싸는 오링을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
개시된 기술은 다음의 효과를 가질 수 있다. 다만, 특정 실시예가 다음의 효과를 전부 포함하여야 한다 거나 다음의 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 개시된 기술의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치는 더스트의 침입 및 배출을 방지하는 더스트 링과 더스트 링을 덮는 보완 커버를 설치하고 에어트랩을 단가공하여 자성 유체 밀봉 장치의 성능을 향상시키고, 수명을 증가시키는 효과를 제공한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치가 블로우 모터에 결합되는 형상을 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치를 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치의 에어 트랩 영역을 확대 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 블로우 모터와 결합된 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치를 도시한 도면.
본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다 거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
한편, 본 출원에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어"있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에" 와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
각 단계들에 있어 식별부호(예를 들어, a, b, c 등)는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않는 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치가 블로우 모터에 결합되는 형상을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치(100)는 블로우 모터(110)에 결합되어 사용할 수 있다. 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치(100)와 블로우 모터(110)를 관통하는 메인 샤프트(120)가 구비되고, 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치(100)는 블로우 모터(110)와 결착되어 블로우 모터(110) 일단을 밀봉하기 위한 역할을 수행할 수 있다. 이때, 결합되는 장치는 반드시 블로우 모터에 한정되는 것은 아니고, 모터를 포함하는 구성 요소라면 어떠한 장치라도 적용 가능하다.
또한, 이온주입설비 등 반도체 제조 공정의 각종 설비 및 장치를 포함한 다양한 산업분야에서 자성 유체에 의한 씰링이 필요하면서도 메인 샤프트의 선형 구동이 필요한 다양한 사용처에 널리 사용될 수 있게 된다. 예컨대, 챔버를 포함하는 반도체 장비, OLED 또는 LCD 장비 또는 태양광 장비등에 적용할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치를 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치(200)는 자성 유체 부재(240), 자성 유체 부재(240)를 포함하는 마그네틱 씰 하우징(290), 마그네틱 씰 하우징(290)을 관통하는 메인 샤프트(210), 메인 샤프트(210) 외주면을 감싸는 더스트 링(250) 및 더스트 링(250) 상부를 덮는 더스트 링 보완 커버(260)를 포함한다.
먼저, 메인 샤프트(210)는 원통 형상으로 구현될 수 있고 회전축을 기준으로 회전 운동 및 왕복 운동을 할 수 있다. 일 실시예에서, 메인 샤프트(210)는 외부에 설치된 구동장치, 예컨대, 블로우 모터 등과 같은 장치로부터 구동력을 전달받아 일정 속도로 회전될 수 있다.
제1 베어링(220) 및 제2 베어링(225)은 각각 메인 샤프트(210) 일측면 및 타측면에 배치되며, 제1 베어링(220)과 제2 베어링(225)은 서로 일정 거리 이격되어 배치된다. 이때, 각각의 제1 베어링(220) 및 제2 베어링(225)은 하나 이상의 볼 베어링을 포함할 수 있다.
또한, 제1 베어링(220)과 제2 베어링(225)은 서로 다른 직경으로 구비될 수 있다. 여기서는 제1 베어링(220)이 제2 베어링(225)에 비해 큰 직경인 것으로 도시되어 있으나, 베어링의 직경에 관련된 구조는 이에 한정하지 않는다. 이러한 제1 베어링(220) 및 제2 베어링(225)은 메인 샤프트의 회전시에 발생되는 열을 최소화하도록 할 수 있다.
자성 유체 부재(240)는 제1 베어링(220) 및 제2 베어링(225) 사이에 위치한다. 자성 유체 부재(240)는 그 내부에 자성 유체 및 자석을 포함하며, 메인 샤프트(210) 일부 영역을 둘러싸는 원형의 링 형태로 형성된다.
이때, 자성 유체는 자석에 의해 밀집되고, 자석의 표면은 돌기가 있는 톱니바퀴의 형태로 구현될 수 있다. 자성 유체는 액체 속에 자성 분말을 콜로이드(Colloid) 모양으로 안정, 분산시킨 다음 침전이나 응집이 생기지 않도록 계면활성제를 첨가한 유체로, 자성 유체는 자석의 표면의 형태에 따라 그 모양이 달라질 수 있다. 자성 분말은 0.01~0.02㎛의 초미립자 분말로 브라운 운동을 하며 자기장, 중력, 원심력이 가해져도 유체속의 자성 입자의 농도는 일정하게 유지된다. 자성 유체를 이용한 밀봉 장치는 정지되어 있는 자석과 회전축 사이에 자력형성을 유도하여 밀봉하는 것이다.
자성 유체의 너비는 아래의 수학식에 따라 설계될 수 있다.
[수학식1]
W = (W_magnet/r_shaft) *M
상기 W는 자성 유체의 너비, 상기 W_magnet는 자석의 너비, 상기 r_shaft는 메인 샤프트의 회전수, 상기 M은 자성 유체의 몰질량당 자성나노입자의 비율에 관한 상수에 해당한다.
자성 유체 부재(240) 내 자성 유체의 깊이는 아래의 수학식에 따라 설계될 수 있다.
[수학식2]
D = (r_shaft/H_magnet) *M
상기 D는 자성 유체의 깊이, 상기 H_magnet는 자석의 높이, 상기 r_shaft는 메인 샤프트의 회전수, 상기 M은 자성 유체의 몰질량당 자성나노입자의 비율에 관한 상수에 해당한다.
자성 유체의 깊이는 자석의 높이에 반비례하고, 메인 샤프트(210)의 회전수에 비례할 수 있다. M은 자성 유체의 몰질량당 자성 나노 입자의 비율에 관한 상수에 해당하고, 자성 유체에 포함되는 자 성물질의 종류에 따라 달라질 수 있다. 일 실시예에서, 자성 유체 부재 내 자성 유체의 부피는 아래의 수학식을 따라 설계될 수 있다.
[수학식3]
V = (r_max - r_min)*W*D*V_magnet
V는 자성 유체의 부피, r_max은 자성 유체의 최대 반지름, r_min은 자 성유체의 최소 반지름, W는 자성 유체의 너비, D은 자성 유체의 깊이 및 V_magnet은 자석의 형태에 따른 변수에 해당한다.
일 실시예에서, 자성 유체의 부피는 자석의 형태에 따라 달라질 수 있으며, 자성 유체의 질량 및 자성물질의 종류에 따라 달라질 수 있다
그리고, 메인 샤프트(210)의 일단에 메인 샤프트(210)의 외주면을 감싸는 더스트 링(250)이 구비된다. 더스트 링(250)은 더스트 링(250)은 상부면에 일정 깊이의 홈을 포함하는 요철부가 구비된다. 메인 샤프트(210)의 일단에 더스트 링(250)이 구비됨에 따라 미세한 이물질들이 외부로 배출되거나 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
더스트 링(250) 상부에는 더스트 링(250)보다 큰 직경을 가지며, 더스트 링(250) 상부 및 측면을 덮는 더스트 링 보완 커버(260)가 구비된다. 더스트 링 보완 커버(260)는 더스트 링(250)의 홈에 결합되는 돌출부를 포함하며, 볼트 결합 부재(285)를 통해 마그네틱 씰 하우징(290)과 결합되어 있다.
더스트 링(250)과 더스트 링 보완 커버(260) 사이에는 단가공 에어트랩(270) 영역을 더 포함한다.
자성 유체 부재(240)와 메인 샤프트(210) 사이에는 자성 유체 밀봉 슬리브(280)를 더 포함할 수 있다. 자성 유체 밀봉 슬리브(280)는 메인 샤프트(210)의 외주면을 감싸도록 설치되며, 자성 유체 밀봉 슬리브(280)의 외측은 자성 유체 부재(240)와 접촉되어 있다.
자성 유체 밀봉 슬리브(280)는 파이프 형태의 원통 형상으로 형성될 수 있으며, 자성 유체 밀봉 슬리브(280)는 자기회로 형성을 위해 자성 재료로 형성될 수 있다. 자성 유체 밀봉 슬리브(280)는 메인 샤프트(210)를 보호하기 위해 설치될 수 있다.
메인 샤프트(210)의 축방향으로 자력 발생 시 자성 유체를 자성 유체 밀봉 슬리브(280) 및 자성 유체 부재(240) 사이로 밀집시켜서 자성 유체가 마이크로 씰 하우징(290)의 내부를 씰링하게 됨에 따라, 예를 들면, 긴밀한 밀봉이 요구되는 진공 공간 내에 설치되어 진공 공간 및 대기 공간 사이에 긴밀한 밀봉이 이루어질 수 있도록 한다.
자성 유체 부재(240) 외부에는 자성 유체 부재(240)를 둘러싸는 마그네틱 씰 하우징(290)이 배치된다. 마그네틱 씰 하우징(290)은 메인 샤프트(210) 외주면을 감싸는 자성 유체 부재(240), 더스트 링(250) 및 더스트 링 보완 커버(260)를 감싸는 형태로 구성된다.
또한, 메인 샤프트(210)는 하나 이상의 오링(230)을 포함할 수 있다. 여기서는 자성 유체 부재(240)를 기준으로 자성 유체 부재(240) 상부 및 하부에 두 개의 오링(230)을 배치하고 있다. 오링(230)은 유입수 또는 유출수로 인해 발생될 수 있는 누수가 자성 유체 부재(240)에 전달되는 것을 방지하는 역할을 한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치의 에어 트랩 영역을 확대 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 더스트 링(310)은 더스트 링(310)은 상부면에 일정 깊이의 홈을 포함하는 요철부가 구비된다.
더스트 링(310) 상부에는 더스트 링(310)보다 큰 직경을 가지며, 더스트 링(310) 상부 및 측면을 덮는 더스트 링 보완 커버(320)가 구비된다. 더스트 링 보완 커버(320)는 더스트 링(310)의 홈에 결합되는 돌출부를 포함한다.
더스트 링(310)과 더스트 링 보완 커버(320) 사이에는 'U'자 형태의 단가공 에어트랩 영역(330)이 형성되며, 에어 트랩 영역(330)은 외부와의 압을 조절하여 이물질들이 외부로 배출되거나 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
도 4은 본 발명에 일실시예에 따른 블로우 모터와 결합된 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치를 도시한 단면도이다.
도 4를 참조하면, 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치(400)는 외부에 설치된 구동장치로부터 구동력을 전달받아 일정속도로 회전하는 메인 샤프트를 포함한다.
그리고, 메인 샤프트 일측면 및 타측면에 배치된 제1 베어링 및 제2 베어링이 일정 거리 이격되어 배치된다. 제1 베어링 및 상기 제2 베어링 사이에 위치한 자성 유체 부재가 구비된다.
메인 샤프트의 일측에 메인 샤프트의 외주면을 감싸며 상부에 요철부를 포함하는 더스트 링을 포함한다. 그리고, 더스트 링보다 큰 직경을 가지며, 상기 더스트 링 상부를 덮는 더스트 링 보완 커버가 구비된다. 더스트 링과 더스트 링 보완 커버가 구비됨에 따라 미세한 이물질들이 외부로 배출되거나 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
설명한 바와 같은 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치(400) 끝단에 블로우 모터(410)가 결착된다. 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치(400)는 블로우 모터(410) 일단을 밀봉하기 위한 역할을 수행할 수 있다.
블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치(400)는 블로우 모터(410) 일단의 결합 부재를 통해 연결될 수 있으며, 더욱 자세하게는 볼트 결합 부재(420)를 사용하여 블로우 모터(410)에 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치(400)가 완전히 고정되도록 할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본원 발명에 따른 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치는 더스트의 침입 및 배출을 방지하는 더스트 링과 더스트 링을 덮는 보완 커버를 설치하고 에어트랩을 단가공하여 자성 유체 밀봉 장치의 성능을 향상시키고, 수명을 증가시키는 효과를 제공한다.
상기에서는 본 출원의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 통상의 기술자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 출원을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100, 200, 300 : 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치
110, 310 : 블로우 모터 120, 210 : 메인 샤프트
220 : 제1 베어링 225 : 제2 베어링
230 : 오링 240 : 자성 유체 부재
250 : 더스트 링 260 : 더스트 링 보완 커버
270 : 에어 트랩 280 : 자성 유체 밀봉 슬리브
285 : 볼트 결합 부재 290 : 마그네틱 씰 하우징

Claims (8)

  1. 외부에 설치된 구동장치로부터 구동력을 전달받아 일정속도로 회전하는 메인 샤프트;
    상기 메인 샤프트 일측면에 배치된 제1 베어링;
    상기 메인 샤프트 타측면에 배치되며, 상기 제1 베어링과 일정 거리 이격되어 배치된 제2 베어링;
    상기 제1 베어링 및 상기 제2 베어링 사이에 위치한 자성 유체 부재;
    상기 제1 베어링과 연결되며, 상기 메인 샤프트의 외주면을 감싸며 상부에 요철부를 포함하는 더스트 링; 및
    상기 더스트 링보다 큰 직경을 가지며, 상기 더스트 링 상부를 덮는 더스트 링 보완 커버
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 더스트 링과 상기 더스트 링 보완 커버 사이에 단가공 에어 트랩 영역을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 자성 유체 부재는 내부에 자성 유체 및 자석을 포함하며, 상기 자성 유체는 상기 자석에 의해 밀집되고, 상기 자석의 표면은 돌기가 있는 톱니바퀴의 형태로 구현되는 것을 특징으로 하는 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 더스트 링 보완 커버는 상기 더스트 링 상부의 요철부와 맞물려 상기 더스트 링과 전면 접촉되는 것을 특징으로 하는 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 메인 샤프트, 상기 자성 유체 부재, 상기 더스트 링 및 상기 더스트 링 보완 커버를 둘러싼 마그네틱 씰 하우징을 더 포함하며,
    상기 더스트 링 보완 커버는 볼트에 의해 상기 마그네틱 씰 하우징에 고정되는 것을 특징으로 하는 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 메인 샤프트의 외주면의 일부분을 감싸도록 설치된 슬리브를 더 포함하며, 상기 슬리브는 상기 메인 샤프트의 외주면에 끼워져 있는 원통 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 마그네틱 씰 하우징 일측 단부에 결합 영역이 구비되고, 상기 결합 영역에 블로우 모터가 결착되는 것을 특징으로 하는 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 자성 유체 부재를 기준으로 상기 자성 유체 부재 상단 및 하단에 상기 메인 샤프트를 감싸는 오링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 블로우 모터용 자성 유체 밀봉 장치.
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