JP4885490B2 - 磁性流体シール装置 - Google Patents
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Description
特に、同軸上で2軸回転する磁性流体シール装置(以下、2軸回転磁性流体シール装置と称する)は、半導体ウェーハに対して真空中で各種のプロセス処理をする半導体製造装置、X線回折装置、及び真空中で基板等を搬送する真空搬送ロボットなどの回転駆動用部品として広く適用される。
同図に示すように、2軸回転磁性流体シール装置1は、2軸が同軸状に挿入される軸受孔2を内部に有する非磁性材料からなる円筒状のケース10を備えている。また、ケース10の内周面に設けた一対の外側軸受11により回転自在に支持され、非磁性材料からなる円筒状の外側回転軸20を備えている。さらに、外側回転軸20の中空部内周面に一対の内側軸受21設けて回転自在に支持され、磁性材料で中間部31と一体に製作される円柱状の内側回転軸30又は中間部31を磁性材料で覆った非磁性材料で円柱状の内側回転軸30を含む構成である。
なお、磁性材料とは、磁石や電流などの磁場により磁化しやすい性質をもつ材料であり、逆に非磁性材料は、磁化しにくい性質をもつ材料である。
このようにして、磁石13は、磁化された外側磁性部材12、磁性流体、および外側回転軸中間部28を経由した外側磁気回路15を形成させる。また、磁石23は、磁化された内側磁性部材22、磁性流体、および内側回転軸30の中間部31を経由した内側磁気回路25を形成させる。その結果、磁性流体が凸部14、24と各回転軸20、30の外周面との間に保持されるため、これら各回転軸20,30と外側磁性部材12及び内側磁性部材22の間の微小隙間を磁性流体が非接触でシールすることができる。
このような構成の場合、複数の回転軸に対して、それぞれ磁気回路を形成するための磁石が別個に必要となるため、部品点数が多く構造が複雑化するとともに、装置が大形化する問題があった。
ここで、ケース、外側回転軸、および内側回転軸は、それ自身が直接、磁気回路を形成することを可能とするために、磁性材料で製作される。これにより、装置の小形化や部品点数の低減を図ることができる。
なお、本実施形態において、先に示した従来技術と同一部分または相当する部分には同一符号を付し、その部分の詳細な説明は省略する。
同図に示すように、外側回転軸20の外周面には、環状の磁石埋設溝26が径方向に掘り下げて形成してある。磁石埋設溝26は、外側回転軸20の内周面近くまで深く掘り下げてあり、内部に磁石23が挿入される。磁石埋設溝26の底部は磁力飽和領域27を形成している。この磁力飽和領域27は、外側回転軸20の肉厚が薄い状態となっており、しかも対向する内側回転軸30の中間部31との間に隙間27aが形成してある。この隙間27a内は透磁率が小さい。よって、磁力飽和領域27では、軸方向に形成される磁気回路がすぐに飽和状態となり、それ以上の磁力のロスを防ぐことができる。
なお、本実施形態では、磁石埋設溝26を外側回転軸20の外周面に設けたが、逆に外側回転軸20の内周面に設けた構成であってもよい。
挿入される磁石23は、周辺にある磁性材料や磁性流体を磁化させて磁気回路を形成するため、一定以上の磁力が要求される。このため、磁石23は、例えばネオジウム鉄ボロン系,ネオジウム鉄系などの強力な磁力を発する材料を適用することが好ましい。また、磁石埋設溝26の容量を変化させて、磁石23の体積を必要に応じて増減し、磁力を強力にすることもできる。
外側磁気回路15は、磁石23から発した磁力によって形成される磁場内において、ケース10、磁性流体、外側回転軸20をそれぞれ磁化させて、磁性流体を微小隙間に保持させる。ここで、隙間部分に存在する磁性流体は、高い磁束密度を形成している凸部14が微小隙間をいっそう狭小としているため、磁力が凸部14に集中し、その結果、凸部14の先端に磁性流体が引き寄せられて、その部分で保持される。
なお、磁力の集中がおきる凸部は、図示のように、断面三角形状または山形状に限定されるものではなく、磁性流体を封じ込める場所の断面積が縮小される構造であればよい。
図3は、本発明の変形例を示す要部拡大断面図である。
同図に示す構成では、外側回転軸20に、磁石を2個並べて埋設してある。すなわち、外側回転軸20に磁石埋設溝26を同軸方向に一定間隔をあけて2箇所に設け、2個の磁石23を同一磁極面が対向するように埋め込んである。この構成によれば、外側磁気回路15と内側磁気回路25とを、軸方向の2箇所に形成することができる。同一極面が対向した間の磁力は互いに反発しあうため、外側回転軸20の外周面や内周面方向に磁束が極所的に分布して磁性流体を引き寄せることが可能となる。したがって、より強力な磁場が形成されて磁性流体の保持力を向上させることができる。
上述した変形例1の構成では、複数の磁石を使用しているが、そのいずれも外側回転軸20に埋設してあるため、装置が大型化することはなく、しかもケース10と内側回転軸30の構造が簡素化されるため全体として製作が容易となる利点がある。
図4は、本発明の他の変形例を示す要部拡大側面断面図である。
同図に示す構成は、外側回転軸20の外周面と内周面の双方から磁石埋設溝26を形成し、各磁石埋設溝26内に磁石23を磁極面同一方向に向けて埋め込んである。各磁石埋設溝23に挟まれた外側回転軸20の中間壁部は、薄肉の磁力飽和領域27を形成している。各磁石23から発生した磁力は、磁石飽和領域27を挟んで反発し合うため、対向面側へは磁力が進みにくくなる。よって、外側磁気回路15および内側磁気回路25を形成する磁力をいっそう強めることが可能となる。
上述した変形例2の構成でも、変形例1と同様、複数の磁石を使用しているが、そのいずれも外側回転軸20に埋設してあるため、装置が大型化することはなく、しかもケース10と内側回転軸30の構造が簡素化されるため全体として製作が容易となる利点がある。
10:ケース、11:外側軸受、12:外側磁性部材、13、23:磁石
14、24:凸部、15:外側磁気回路、
20:外側回転軸、21:内側軸受、22:内側磁性部材、25:内側磁気回路、
26:磁石埋設溝、27:磁力飽和領域、27a:隙間、28:外側回転軸中間部
30:内側回転軸、31:中間部
Claims (3)
- 軸受孔が形成され、当該軸受孔の内周面に外側軸受を備えたケースと、
前記軸受孔内で前記外側軸受により回転自在に支持される円筒状の外側回転軸と、
前記外側回転軸の中空部内周面に設けられた内側軸受と、
前記外側回転軸の中空部内で前記内側軸受により回転自在に支持される内側回転軸と、を含む2軸回転構造において、
前記外側回転軸に形成された磁石埋設溝と、
前記磁石埋設溝に挿入された磁石と、
前記ケースと前記外側回転軸との間に形成され、磁性流体が充填してある第一の微小隙間と、
前記外側回転軸と前記内側回転軸との間に形成され、磁性流体が充填してある第二の微小隙間とを備え、
前記磁石は、前記ケース、前記第一の微小隙間に充填された磁性流体、及び前記外側回転軸を、それぞれ磁化させて外側磁気回路を形成するとともに、
更に、前記磁石は、前記外側回転軸、前記第二の微小隙間に充填された磁性流体、及び前記内側回転軸を、それぞれ磁化させて内側磁気回路を形成する構成であり、
且つ、前記ケース、外側回転軸、および内側回転軸は、少なくとも前記外側磁気回路または内側磁気回路の形成領域を磁性材料で構成し、
前記外側回転軸には、内周面または外周面に開口する環状の磁石埋設溝が径方向に掘り下げて形成してあり、当該磁石埋設溝の内部に前記磁石を配置するとともに、
前記磁石埋設溝の形成部分は、前記外側回転軸の肉厚が薄い磁力飽和領域を形成している磁性流体シール装置。 - 前記外側磁気回路の形成領域であって前記磁性流体の充填部分は、前記ケースの内周面または前記外側回転軸の外周面に複数の凸部が平行に並べて形成してある請求項1の磁性流体シール装置。
- 前記内側磁気回路の形成領域であって前記磁性流体の充填部分は、前記外側回転軸の内周面または前記内側回転軸の外周面に複数の凸部が平行に並べて形成してある請求項1又は2の磁性流体シール装置。
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