KR101648921B1 - 자성유체실링 - Google Patents

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Abstract

하중이 걸리는 회전축에 대해서도 바람직하게 적용할 수 있는 자성유체실링을 제공한다. 장치 단부(14)와, 상기 장치 단부를 관통하는 회전 샤프트(22) 사이를 실링하는 자성유체실링(20)에 있어서, 자속을 발생하는 자속발생수단(28)과, 상기 회전 샤프트에 대해서 미소 틈새를 형성하여 대향하고 있어 상기 자속을 전달하는 자속전달수단(24,26)을 구비하고 있으며, 상기 장치 단부에 대해서 상기 회전 샤프트의 직경방향으로 상대이동 가능하게 배치되는 하우징(38)과, 상기 자속발생수단에 의해 발생된 상기 자속에 의해 상기 미소 틈새에 홀딩되는 자성유체(44)를 가진다.

Description

자성유체실링{MAGNETIC FLUID SEAL}
본 발명은 밀폐공간 내로의 운동의 전달부 등에 사용되는 자성유체실링에 관한 것이다.
예를 들어 반도체 디바이스의 제조공정이나, 코팅. 에칭공정에 이용되는 장치에서는 베어링으로부터의 오일 미스트 등의 침입이 적고, 장치 내를 청정하게 유지하는 것이 가능한 자성유체실링이 이용되고 있다（특허문헌 1 등 참조). 또한 자성유체실링은 마찬가지의 이점에서 깨끗한 환경에서 이용되는 반송용 로봇의 베어링부 등에도 적용되고 있으며, 금후 한층 더 적용 분야가 확대될 것으로 예상된다. 그러나 종래기술에 따른 자성유체실링은 적용 대상인 장치의 회전축에 큰 하중이 걸리는 경우, 그 하중의 대부분을 자성유체실링이 부담해 버린다는 문제점을 가지고 있다. 그 때문에 종래기술에 따른 자성유체실링은 회전축에 큰 하중이 걸리는 것이 상정되는 경우에는 하중을 지탱할 수 있도록 사이즈를 크게 하거나, 자성유체실링 내부에 편입된 베어링으로서 대단히 고가의 베어링을 사용할 필요가 있어, 소형화나 코스트 면에서 과제를 가지고 있다.
특허문헌 1 : 특개평 9-317899호 공보
본 발명은 이러한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 하중이 걸리는 회전축에 대해서도 바람직하게 적용할 수 있는 자성유체실링을 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 자성유체실링은,
장치 단부와, 상기 장치 단부를 관통하는 회전 샤프트 사이를 실링하는 자성유체실링에 있어서,
자속을 발생하는 자속발생수단과, 상기 회전 샤프트에 대해서 미소 틈새를 형성하여 대향하고 있으며 상기 자속을 전달하는 자속전달수단을 구비하고 있고, 상기 장치 단부에 대해서 상기 회전 샤프트의 직경방향으로 상대이동 가능하게 배치되는 하우징과,
상기 자속발생수단에 의해 발생된 상기 자속에 의해 상기 미소 틈새에 홀딩되는 자성유체를 가진다.
종래 기술에 따른 자성유체실링은 자성유체를 개재시키는 틈새를 유지할 필요성 등으로부터 하우징을 장치에 고정하여, 베어링 및 하우징을 통해 회전축을 강고하게 지탱하는 구조였으므로 하중을 받기쉽다는 문제를 가지고 있었다. 본 발명에 따른 자성유체실링은 하우징이 상기 장치 단부에 대해서 상기 회전축의 직경방향으로 상대이동 가능하게 배치되어 있으므로, 예를들어 회전축에 큰 하중이 걸리고, 경사나 직경방향의 진동을 발생시킨 경우에도 자성유체실링 전체에서 회전축의 이동에 추종하는 것이 가능하여, 자성유체실링이 하중을 받는 것을 회피할 수 있다.
또한 예를들어 상기 하우징은 상기 장치 단부에 대해서 상기 회전 샤프트의 회전방향으로 상대이동 가능해도 좋으며,
상기 하우징은 상기 장치 단부에 접속하고 있으며 상기 하우징과 걸어맞춤 가능한 회전멈춤부에 의해, 상기 장치 단부에 대한 상기 회전방향의 상대이동범위를 제한받아도 좋다.
하우징이 직경방향으로도 회전 방향으로도 상대이동 가능한 자성유체실링은, 하우징을 장치 단부에 고정하지 않는다는 심플한 태양에 의해 실현되므로. 구조가 단순하며, 제조가 용이하고 내구성이 우수하다. 또한 회전멈춤부가 하우징의 상대이동 범위를 제한하므로, 하우징 자체가 무제한으로 회전하는 일은 없다.
또한 예를들어 본 발명에 따른 자성유체실링은 상기 하우징과 상기 장치 단부 사이를 실링하는 2차 실링부를 가져도 좋다.
하우징이 장치 단부에 대해서 이동 가능하다 하더라도, 2차 실링부가 하우징과 장치 단부 사이를 실링함으로써 장치 내의 기밀성은 양호하게 유지된다.
또한 예를들어 본 발명에 따른 자성유체실링은 상기 하우징을 상기 회전 샤프트에 대해서 상대이동 가능하게 지지하는 베어링부를 가져도 된다.
본 발명에 따른 자성유체실링은 하우징이 장치 단부에 대해서 적어도 완전하게는 고정되어 있지 않는 태양이다. 이에 더하여 베어링부가 하우징을 회전샤프트에 대해서 지지함으로써 자성유체실링 전체가 회전샤프트에 부착되는 태양이 되어 자성유체실링이 하중을 받는 것을 보다 효과적으로 회피할 수 있다.
도1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 자성유체실링을 적용한 장치의 개략도이다.
도2는 도1에 도시한 자성유체실링의 요부 단면도이다.
도3은 도2에 도시한 자성유체실링을 기외측(機外側)으로부터 본 평면도이다.
제1 실시형태
도1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 자성유체실링(20)을 적용한 제조장치의 개략도이다. 자성유체실링(20)은 제조장치의 챔버(18)에 마련된 장치 플랜지(14) （장치 단부）와, 장치 플랜지(14)를 관통하는 회전축(16) 사이를 실링한다. 회전축(16)의 기외측(機外側) 단부는 모터나 기어박스 등의 구동장치(12)에 접속되어 있으며, 회전축(16)은 구동장치(12)의 회전력에 의해 회전한다. 회전축(16)의 기내측(機內側)의 단부는 챔버(18) 내부에 위치하고 있으며, 아암(19)에 접속되어 있다. 제조장치는 챔버(18)의 내부를 챔버(18)의 외부에 대해서 기밀상태로 유지하는 것이 가능하며, 필요에 따라 부압상태, 가압상태, 대기압상태로 절환 및 유지한다. 챔버(18)의 내부에서는 회전축(16)을 통해 구동되는 아암(19)이 부재의 반송 등을 행할 수 있다.
도2는 도1에 도시한 자성유체실링(20)의 요부 단면도이다. 자성유체실링(20)은 영구자석(28) 및 폴피스(pole piece)(24),(26)를 구비하는 하우징(38), 샤프트(22), 베어링(34),(36), O링(40), (42), 회전멈춤핀(46) 등을 가진다. 샤프트(22)는 바닥이 없는(無底) 원통형상이다. 샤프트(22)는 회전축(16)의 외주면에 고정되어 있으며, 회전축(16)과 함께 회전한다. 샤프트(22)의 고정방법은 특별히 한정되지 않으며, 예를들어 세트컬러(set collar), 키, 볼트 등을 이용하여 회전축(16)에 고정된다. 샤프트(22)와 회전축(16) 사이에는 실링을 위한 O링이 마련되어 있다.
샤프트(22)는 자성재료에 의해 구성되어 있으며, 후술하는 영구자석(28)이 발생하는 자속은 샤프트(22)를 통과한다. 그리고 자성유체실링(20)에서는 샤프트(22) 및 회전축(16)이 특허청구의 범위에 있어서의 회전 샤프트에 상당하는데, 예를들어 회전축(16) 자체가 자성재료인 경우에는 샤프트(22)를 이용하지 않는 태양도 있으며, 그러한 경우에는 회전축(16)이 회전 샤프트에 상당한다.
하우징(38)은 장치 플랜지(14)에 형성된 관통공에 삽입되어 있는 원통부와, 원통 부분의 기외측의 단부에 접속되어 있으며, 외직경방향으로 돌출하는 플랜지부를 가진다. 하우징(38)에 있어서의 원통부의 외주면과 장치 플랜지(14)의 내주면 사이에는 하우징(38)과 장치 플랜지(14) 사이를 실링하는 2차 실링으로서의 O링(40, 42)이 배치되어 있다.
하우징(38)에 있어서의 원통부의 내주면(38a)에는 자속발생수단으로서의 영구자석(28)과, 자속전달수단으로서의 폴피스(24, 26)가 구비되어 있다. 영구자석(28)은 자속을 발생하며, 영구자석(28)의 주변에 배치된 폴피스(24, 26), 샤프트(22) 및 자성유체에 의해 자속이 전달되어 자로가 형성된다. 영구자석(28)은 폴피스(24),(26)에 접속되거나 또는 하우징(38)에 접속된다.
폴피스(24),(26)는 링상이며, 영구자석(28)을 축방향으로 사이에 두고 양측에 배치되어 있으며, 자성재료에 의해 구성된다. 폴피스(24),(26)는 영구자석(28)에서 발생된 자속을 전달한다. 폴피스(24),(26)의 외주 단부는 하우징(38)의 원통부에 있어서의 내주면(38a)에 부착되어 있으며, 폴피스(24),(26)은 하우징(38)에 대해서 상대 회전하지 않도록 부착되어 있다. 폴피스(24),(26)의 내주 단부는 샤프트(22)의 외주면(22a)에 대해서 미소 틈새를 형성하여 대향하고 있다.
폴피스(24),(26)와 샤프트(22)의 외주면(22a) 사이에 형성되어 있는 미소 틈새에는 자성유체(44)가 영구자석(28)에 의해 발생된 자속에 의해 홀딩되어 있다. 자성유체(44)로서는 에를들어 입경 약 5∼50nm 정도의 자성초미립자를 계면활성제를 사용하여 용매나 오일(基油）중에 분산시킨 것을 들 수 있으며, 자속을 따라 이동하여 자장에 트랩되는 특성을 가진다. 자성유체(44)는 폴피스(24),(26)와 샤프트(22)의 외주면(22a) 사이의 밀봉성을 확보할 수 있다.
폴피스(24),(26)의 내주 단부 및 이와 대향하는 샤프트(22)의 외주면(22a)의 어느 한쪽 또는 쌍방에는 요철이 형성되어 있어도 된다. 이러한 요철을 형성함으로써 미소 틈새에 자성유체(44)가 홀딩되기 쉬워진다.
도3은 자성유체실링(20)을 기외측으로부터 본 평면도이다. 하우징(38)의 플랜지부에는 절결(notch,38b)이 형성되어 있다. 절결(38b) 중에는 하우징(38)의 절결(38b)과 걸어맞춤 가능한 회전멈춤핀(46)이 배치되어 있다. 도2에 도시한 바와 같이, 회전멈춤핀(46)은 장치 플랜지(14)에 나선멈춤되어 있으며, 하우징(38)의 절결(38b)과 걸어맞춤함으로써 하우징(38)의 회전 방향의 상대이동범위를 제한할 수 있다.
하우징(38)에 있어서의 원통부의 내주면(38a)과 샤프트(22)의 외주면(22a) 사이에는 베어링부인 베어링(34),(36)이 배치되어 있다. 베어링(34),(36)은 폴피스(24),(26) 및 영구자석(28)을 사이에 두고 축방향의 양측에 배치되어 있다. 베어링(34),(36)과 폴피스(24),(26) 사이에는 비자성재료의 스페이서(30),(32)가 끼워져 있으며, 영구자석(28)에서 발생한 자속이 폴피스(24),(26)로부터 새는 것을 방지하고 있다.
베어링(34),(36)의 내주면은 샤프트(22)의 외주면(22a)에 접속하고 있고, 베어링(34),(36)의 외주면은 하우징(38)의 내주면(38a)에 접속하고 있으며, 베어링(34),(36)은 하우징(38)을 샤프트(22)에 대해서 상대회전 가능하게 지지하고 있다.
도１∼도3에 도시한 자성유체실링(20)은 하우징(38)이 장치 플랜지(14)에 대해서 고정되어 있지 않다. 그 때문에 하우징(38)은 회전축(16)의 직경방향, 축방향 및 회전방향(50)으로 장치 플랜지(14)에 대해서 상대이동 가능하다. 특히 하우징(38)이 장치 플랜지(14)에 대해서 회전축(16)의 직경방향으로 상대이동 가능하므로 회전축(16)에 큰 하중이 걸리며 경사나 직경방향의 진동을 발생시킨 경우에도 자성유체실링(20) 전체로서 회전축(16)의 이동에 추종하는 것이 가능하다. 이로써 자성유체실링(20)은 회전축(16)을 통해 하중을 받는 것을 바람직하게 회피할 수 있고, 소형화에 대해서 유리하며, 하중이 걸리는 회전축(16)에도 바람직하게 적용할 수 있다. 또한 베어링(34),(36)에 걸리는 하중도 경감되므로, 자성유체실링(20)은 베어링(34),(36)으로서 특별히 내구성이 높은 것을 사용하지 않아도 되어 코스트면에서의 이점을 가진다.
그리고 하우징(38)이 장치 플랜지(14)에 대해서 직경방향으로 이동하므로, 하우징(38)과 장치 플랜지(14) 사이에 배치되는 O링(40),(42)은 예를들어 엘라스토머 등과 같은 적당한 탄성을 가지는 재료에 의해 제작되는 것이 바람직하다. 이로써 O링(40),(42)은 하우징(38)과 장치 플랜지(14) 사이를 보다 바람직하게 실링할 수 있으며, 자성유체실링(20)은 장치 플랜지(14) 내의 기밀 상태를 바람직하게 유지할 수 있다.
또한 하우징(38)은 회전축(16)에 있어서의 직경방향 이외의 회전방향 및 축방향에 관해서도 장치 플랜지(14)에 대해서 상대이동 가능하므로, 자성유체실링(20)은 하우징(38)과 장치 플랜지(14)를 고정하지 않는다는 단순한 구조에 의해 실현되어 있다. 따라서 자성유체실링(20)은 조립 및 제조가 간단하며 내구성이 높다.
단, 하우징(38)은 장치 플랜지(14)에 대해서 고정되어 있는 회전멈춤핀(46)이 하우징(38)의 상대이동범위를 제한하므로, 장치 플랜지(14)에 대해서 소정의 회전각도 이상으로 회전하는 일은 없다(도3 참조). 이로써 자성유체실링(20)은 회전축(16)의 변형이나, 회전축(16) 및 샤프트(22)의 진동이 발생하는 상황에서, 이를 추종하는 적당한 이동을 행하는 것이 가능함과 동시에 회전축(16)과 장치 플랜지(14) 사이를 바람직하게 실링할 수 있다.
또한 베어링(34),(36)이 하우징(38)을 샤프트(22)에 대해서 상대 회전 가능하게 지지하므로, 자성유체실링(20)은 하우징(38)이 장치 플랜지(14)에 고정되어 있지 않더라도 샤프트(22)를 통해 회전축(16)에 적절히 지지된다.
12: 구동장치 14: 장치 플랜지
16: 회전축 18: 챔버
19: 아암 20: 자성유체실링
22: 샤프트 22a: 샤프트 외주면
24, 26: 폴피스 28: 영구자석
30, 32: 스페이서 34, 36: 베어링
38: 하우징 38a: 하우징 내주면
38b: 절결 40, 42: O링
44: 자성유체 46: 회전멈춤핀
50: 회전방향

Claims (4)

  1. 장치 플랜지(14)와, 하우징(38)을 통해 상기 장치 플랜지(14)를 관통하는 회전축(16)과의 사이를 실링함과 동시에 상기 하우징(38)이 상기 장치 플랜지(14)에 고정되어 있지 않은 자성유체실링에 있어서,
    상기 하우징(38)은 상기 장치 플랜지(14)에 형성된 관통공에 삽입되어 있는 원통부와, 상기 원통부의 기외측 단부에 접속되어 있으며 외경방향으로 돌출되는 플랜지부를 가지며,
    상기 하우징(38)의 상기 원통부의 내주면(38a)은 자속을 발생하는 자속발생수단으로서의 영구자석(28)과, 상기 영구자석(28)을 축방향으로 사이에 두고 양측으로 배치되어 상기 회전축(16)에 대해서 미소 틈새를 형성하여 대향하고 있으며 상기 자속을 전달하는 자속전달수단으로서의 폴피스(24, 26)를 구비하며,
    상기 하우징(38)의 상기 플랜지부에는 절결(38b)이 형성되고, 상기 절결(38b) 중에 상기 장치 플랜지(14)에 고정된 회전멈춤핀(46)이 상기 절결(38b)에 걸어맞춤 가능하게 배치되어, 상기 회전멈춤핀(46)이 상기 절결(38b)과 걸어맞춤 함으로써 상기 하우징(38)의 회전방향의 상대이동범위를 제한하는 범위 내에 있어서, 상기 회전축(16)의 이동에 추종하여 상기 하우징(38)이 상기 장치 플랜지(14)에 대해서 직경방향, 회전방향 및 축방향으로 상대이동 가능하며,
    상기 폴피스(24, 26)에 의해 발생된 상기 자속에 의해 상기 미소 틈새에 홀딩되는 자성유체(44)를 가지며,
    상기 하우징(38)에 있어서의 상기 원통부의 외주면과 상기 장치 플랜지(14)의 내주면과의 사이에는 상기 하우징(38)과 상기 장치 플랜지(14)와의 사이을 실링하는 2차 실링으로서의 o링(40, 42)이 배치되어 있는 자성유체실링.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하우징을 상기 회전축에 대해서 상대회전 가능하게 지지하는 베어링(34, 36)을 가지는 것을 특징으로 하는 자성유체실링.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6608752B2 (ja) * 2016-03-31 2019-11-20 グローブライド株式会社 魚釣用スピニングリール
CN112178203B (zh) * 2020-10-21 2021-05-14 清华大学 磁性液体密封装置
CN112555288B (zh) * 2020-12-11 2022-04-08 自贡兆强密封制品实业有限公司 一种磁性液体密封总成
CN113494608B (zh) * 2021-08-02 2022-07-22 北京交通大学 一种能耐轴向和径向振动的磁性液体密封装置
US11905947B2 (en) * 2021-10-29 2024-02-20 Gd Energy Products, Llc Fluid end of a hydraulic fluid pump and method of assembling the same
KR102612086B1 (ko) * 2022-09-05 2023-12-11 주식회사 셀비드 파티클 프리 원격플라즈마소스 차단밸브

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000002339A (ja) * 1998-06-12 2000-01-07 Nok Corp 磁性流体を利用した密封装置
JP2000002338A (ja) 1998-06-12 2000-01-07 Nok Corp 磁性流体を利用した密封装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4486026A (en) * 1982-02-10 1984-12-04 Nippon Seiko K.K. Sealing and bearing means by use of ferrofluid
JPS61266873A (ja) * 1984-12-29 1986-11-26 Nippon Fueroo Furuideikusu Kk 磁性流体シ−ル装置
US5007513A (en) * 1990-04-03 1991-04-16 Lord Corporation Electroactive fluid torque transmission apparatus with ferrofluid seal
JPH0771620A (ja) * 1993-06-11 1995-03-17 Nippon Seiko Kk 磁性流体シール装置
JPH09317899A (ja) * 1996-05-31 1997-12-12 Nippon Steel Corp 磁性流体シール装置
JP3256458B2 (ja) 1997-01-31 2002-02-12 エヌオーケー株式会社 磁性流体を利用した密封装置
JP4073064B2 (ja) * 1997-12-02 2008-04-09 株式会社リガク 耐磁場磁性流体シール装置
JP4072742B2 (ja) * 1998-11-12 2008-04-09 ニッタ株式会社 過負荷保護装置
JP4106172B2 (ja) 2000-03-27 2008-06-25 新明和工業株式会社 搬送ロボット及び真空チャンバ
JP4111698B2 (ja) * 2001-08-31 2008-07-02 イーグル工業株式会社 メカニカルシール装置
US7338049B2 (en) * 2004-08-26 2008-03-04 Ferrotec (Usa) Corporation Self-cooling ferrfluid seal
JP5271260B2 (ja) * 2007-04-12 2013-08-21 イーグル工業株式会社 メカニカルシール装置
JP5346945B2 (ja) * 2007-10-18 2013-11-20 リガク イノベイティブ テクノロジーズ インコーポレイテッド 流体量の精密制御を伴う磁性流体シールの製造方法
EP2455641B1 (en) * 2009-07-16 2015-09-09 Eagle Industry Co., Ltd. Mechanical sealing device
US8328199B2 (en) * 2009-09-24 2012-12-11 Eagle Industry Co., Ltd. Seal device
CN101776149A (zh) * 2010-03-01 2010-07-14 北京交通大学 低温小直径磁性液体密封装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000002339A (ja) * 1998-06-12 2000-01-07 Nok Corp 磁性流体を利用した密封装置
JP2000002338A (ja) 1998-06-12 2000-01-07 Nok Corp 磁性流体を利用した密封装置

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