JP4106172B2 - 搬送ロボット及び真空チャンバ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空チャンバやクリーンルーム等内で用いられる関節型搬送ロボット、及びその搬送ロボットを備えた真空チャンバに関する技術分野に属する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、真空チャンバ内で用いられる関節型の搬送ロボットにおいては、そのアームやハンドを駆動するためのギヤ、チェーン、ベルト等の駆動機構からの発塵が真空チャンバに漏れ出ないようにする必要があり、その1つの手段として、ロボット内部を真空チャンバと同じ真空状態とすることで、ロボット内外の圧力差をなくしてロボット内の発塵が外部の真空チャンバに出ないようにする方法がある。しかし、この場合、駆動機構がロボット内で真空状態に晒されるので、その耐久性や信頼性が不十分となるのは避けられない。
【0003】
そこで、駆動機構が収容されるロボット内部を真空チャンバ外と同じ大気圧とした上で、アーム同士やアームとハンドとの関節部をシールして密閉構造とすることにより、ロボット内部の駆動機構からの発塵が真空チャンバに漏れ出るのを防ぐようにする対策が知られている。
【0004】
このような関節部では、例えばアーム等の支持部材先端に例えばハンド等の揺動部材が支持軸(関節軸)を介して揺動可能に支持されており、この関節部の密閉シール構造として、従来、例えば特開平5―193741号や特開平10―209244号の各公報等に示されるように、支持軸をその一端部にて複数のローラベアリング(又は1つのクロスローラ型ベアリング)により支持部材に支持する一方、他端側と支持部材との間に磁気シール等のシール部材を介在させて、このシール部材によりロボットの内部空間をロボット外に気密シールすることが提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記提案のものでは、支持軸が一端部のみの片持ち状態で支持部材に支持されているので、ハンド等の揺動部材が受ける負荷により支持軸に曲げモーメントが作用する。そして、この揺動部材の負荷が大きくて支持軸の曲げモーメントが増大すると、支持軸が撓んで支持軸又は支持部材とシール部材との間の間隙が変化し、この間隙が例えば6μm程度に広がると、ロボット内外の圧力差が加わってシール不良が生じたり、シール部材が磁気シールである場合にはその磁性流体が流出したりする等の虞れがある。
【0006】
本発明は斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、上記のように支持部材に揺動部材が支持軸を介して揺動可能に支持された関節部を持つ搬送ロボットに対し、その関節部のシール構造に改良を加えることにより、揺動部材の高負荷により大きな曲げモーメントが加わって支持軸が撓んだときでも、その支持軸の撓みによる間隙の増大変化を吸収するようにして、関節部のシール性の確保や磁気シールである場合の磁性流体の流出等を有効に防止することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の目的の達成のため、この発明では、シール手段として、磁気シールとラジアル軸受とを備えてなる磁気シールユニットを用い、その磁気シールユニットを支持軸と支持部材との間に弾性シール材を介して配置することで、支持軸の撓みによる間隙の増大変化を弾性シール材により吸収するようにした。
【0008】
具体的には、請求項1の発明では、支持部材に揺動部材が支持軸(関節軸)を介して揺動可能に支持された関節部を有し、その関節部がシールされて密閉構造とされている搬送ロボットであって、上記支持軸が少なくとも一端部にて支持部材に対し軸受を介して揺動可能に支持されており、この軸受の位置とは異なる位置の支持軸と支持部材との間に、磁気シールとラジアル軸受とを備えてなる磁気シールユニットが弾性シール材を介して装着されていることを特徴とする。
【0009】
上記の構成により、支持軸と支持部材との間に磁気シールユニットが装着されているので、揺動部材の揺動と共に支持軸が揺動するときに、磁気シールユニットにおける磁気シールによりロボット内外の間がシールされる。
【0010】
また、上記磁気シールユニットは支持軸と支持部材との間に弾性シール材を介して装着されているので、揺動部材の負荷による曲げモーメントにより支持軸が撓んで支持軸又は支持部材と磁気シールユニットとの間の間隙が変化したとしても、その間隙の増大変化は弾性シール材の弾性変形により吸収される。このため、たとえロボット内外の圧力差があってもシール不良が生じることはなく、磁気シールユニットの磁性流体が流出するのも防止することができる。
【0011】
請求項2の発明では、支持軸は一端部のみにてクロスローラ型軸受により支持部材に支持され、支持軸の他端側と支持部材との間に磁気シールユニットが設けられている構成とする。この構成でも、上記請求項1の発明と同様の作用効果を奏することができる。
【0012】
請求項3の発明では、磁気シールユニットの内面側又は外面側の一方に1対の弾性シール材が軸方向に間隔をあけて設けられている一方、他方に少なくとも1つの弾性シール材が設けられている構成とする。こうすると、弾性シール材の望ましい配置レイアウトが得られる。
【0013】
請求項4の発明は真空チャンバに係るもので、この真空チャンバは、上記請求項1〜3のいずれか1つの搬送ロボットが内部に設置されていることを特徴とする。このことで、本発明の効果が有効に発揮される最適な搬送ロボット及びそれを備えた真空チャンバが得られる。
【0014】
【発明の実施の形態】
図3において、1は図示しない基板に対し蒸着処理等の成膜処理を行うための処理チャンバ、2は該処理チャンバ1に隣接して設置された真空チャンバであって、両チャンバ1,2は各々の側壁の開口に連通する連通部3を介して接続されており、この連通部3は真空ゲート弁4により開閉される。上記真空チャンバ2内には、多数枚の基板を載置支持するカセット(図示せず)を収容するための多段の棚からなるストッカ6と、基板を成膜処理するために、このストッカ6の各棚からカセットを取り出して上記連通部3を経て処理チャンバ1に搬入し、或いは基板の成膜処理の後に処理チャンバ1からカセットを取り出してストッカ6の棚に戻す搬送動作を行う本発明の実施形態に係る真空用搬送ロボット8とが設置されている。
【0015】
上記真空チャンバ2の下部には他の部分と同様に真空状態に保たれる駆動部収容室5が区画形成され、この駆動部収容室5には上記搬送ロボット8の基部9と、この基部9を後述するアーム20,22及びハンド24と共に棒ねじ15の回転を介して昇降移動する正逆転可能な昇降モータ14を有する昇降駆動機構16とが収容されている。
【0016】
上記基部9には駆動部収容室5の上壁を貫通して真空チャンバ2内に突出する上下方向の円筒状の支持軸としての外側駆動軸10と、その内部に同心に配置支持された内側駆動軸(図示せず)とがそれぞれ独立して揺動可能に設けられ、外側駆動軸10は正逆転可能な第1揺動モータ11により、また内側駆動軸は同様の第2揺動モータ12によりそれぞれ歯付ベルト伝動機構(図示せず)を介して駆動されて揺動する。尚、上記基部9の各モータ11,12と駆動軸10との間の伝動機構(図示せず)や上記昇降駆動機構16は密閉ハウジング17により、また外側駆動軸10の周りはベローズ18によりそれぞれ外部の空間(駆動部収容室5)から気密状に区画されており、これらハウジング17及びベローズ18の内部空間は大気圧とされている。
【0017】
上記外側駆動軸10の上端部には、内部に空洞を有する角筒状の第1アーム20の基端部が揺動一体に取付固定され、この第1アーム20の先端部にはその上面から突出する円筒状の第1支持軸21が揺動可能に支持され、この第1支持軸21の上端部には第1アーム20と同様の筒構造の第2アーム22の基端部が揺動一体に取付固定されている。また、この第2アーム22の先端部にはその上面から突出する第2支持軸23が揺動可能に支持され、この第2支持軸23の上端部には上記各カセットを係止状態で載置支持するハンド24が揺動一体に取付固定されている。
【0018】
そして、上記第1アーム20の基端部内に位置する内側駆動軸上端部と、第1アーム20の先端部内に位置する第1支持軸21下端部とは図外のチェーン伝動機構を介して駆動連結されている。また、第1支持軸21内には上下方向に同心に延びる中間軸(図示せず)が相対回転可能に支持され、この中間軸の上端部は第2アーム22の基端部内に位置し、この中間軸上端部と、第2アーム22の先端部内に位置する第2支持軸23下端部とは同様の図外のチェーン伝動機構を介して駆動連結されており、昇降モータ14により基部9、第1及び第2アーム20,22並びにハンド24を昇降させる一方、第1揺動モータ11により外側駆動軸10を介して第1及び第2アーム20,22及びハンド24を外側駆動軸10回りに、また第2揺動モータ12により内側駆動軸、支持軸21,23及びチェーン伝動機構を介して第2アーム22及びハンド24を第1支持軸21回りにそれぞれ揺動させるようにしている。
【0019】
上記第1及び第2アーム20,22の各内部は大気圧に保たれており、このアーム20,22内の大気圧空間と真空チャンバ2内の真空空間とを遮断するために、第1アーム20の先端部に第2アーム22の基端部が第1支持軸21を介して揺動可能に支持されている、第1及び第2アーム20,22間の関節部J1と、第2アーム22の先端部にハンド24の基端部が第2支持軸23を介して揺動可能に支持されている、第2アーム22及びハンド24間の関節部J2とはいずれもシールされて密閉構造とされている。
【0020】
上記2つの関節部J1,J2の構造はいずれも同じであるので、ここでは後者の第2アーム22及びハンド24間の関節部J2について説明する。すなわち、図1及び図2に示すように、第2アーム22の先端部上面は開口されて、この開口には上下方向の軸心を有する円筒状の軸受部27が嵌合され、この軸受部27は上端部にて第2アーム22の上壁に気密状に取付固定されている。軸受部27内には上記第2支持軸23が嵌挿され、この第2支持軸23は下端部にて第1アーム20の軸受部27に対しクロスローラ型軸受28を介して揺動可能に支持されている。上記クロスローラ型軸受28は、インナ及びアウタレース28a,28b間に回転中心が両レース28a,28bの対向方向に対し鉛直面内で対称に例えば45°だけ両側に傾いた2種類のローラ28c,28c,…を周方向に交互に配置したものであり、ラジアル方向及びスラスト方向の荷重とモーメント荷重とを1つの軸受により受け得るようになっている。
【0021】
一方、上記クロスローラ型軸受28の位置とは異なる位置である第2支持軸23の上端側、つまり上下中間部の外周面と軸受部27内周面の上半部との間には磁気シールユニット31が2対の弾性シール材37,37,38,38を介して装着されている。この磁気シールユニット31は、円筒状の外筒部材32と、この外筒部材32内に同心に配置された内筒部材33とを備えていて、両部材32,33間の両端部に1対のラジアル軸受34,34を、また両ラジアル軸受34,34間の中間部に磁気シール35をそれぞれ配置したものであり、その磁気シール35により第2アーム22の内外の空間を遮断している。
【0022】
具体的には、軸受部27の上半部内周面には他の部分よりも大径の大径部27aが、また第2支持軸23の上半部外周面には他の部分よりも小径の小径部23aがそれぞれ段差状に形成され、これら大径部27a及び小径部23aの間に磁気シールユニット31が外筒部材32を大径部27aに、また内筒部材33を小径部23aにそれぞれ嵌合した状態で装着されている。
【0023】
そして、例えば上記磁気シールユニット31の内筒部材33は第2支持軸23の小径部23aに密嵌合されているが、外筒部材32は軸受部27の大径部27aに上記内筒部材33と小径部23aとの間の隙間よりも大きい隙間をあけて嵌合されている(尚、逆に、磁気シールユニット31の外筒部材32を軸受部27の大径部27aに密嵌合し、内筒部材33を第2支持軸23の小径部23aに外筒部材32と大径部27aとの間の隙間よりも大きい隙間をあけて嵌合してもよい)。
【0024】
上記各弾性シール材37,38はいずれもOリングからなるもので、上記磁気シールユニット31の内面側及び外面側の双方、つまり磁気シールユニット31の内筒部材33内周面と第2支持軸23の小径部23a外周面との間、及び外筒部材32外周面と軸受部27の大径部27a内周面との間にそれぞれ軸方向(上下方向)に所定の間隔をあけて1対ずつ設けられている。
【0025】
図1及び図2中、40は第2支持軸23の下端部に回転一体に固定されているスプロケットで、上記チェーン伝動機構の一部をなしている。また、42は磁気シールユニット31の外筒部材32を軸受部27に回り止めするためのピン、43は同じく磁気シールユニット31の内筒部材33を第2支持軸23に回り止めするためのムシねじである。
【0026】
また、図示しないが、上記クロスローラ型軸受28及び磁気シールユニット31のシール構造は、上記のようにアーム20,22間の関節部J1と第2アーム22及びハンド24間の関節部J2との他、基部9における外側駆動軸10周りの関節部にも用いられている。
【0027】
したがって、この実施形態においては、第1及び第2アーム20,22間の関節部J1における第1支持軸21と第2アーム22先端の軸受部27との間、並びに第2アーム22及びハンド24間の関節部J2における第2支持軸23と第2アーム22先端の軸受部27との間にそれぞれ磁気シールユニット31が装着されているので、第2アーム22及びハンド24の揺動と共にそれぞれ第1及び第2支持軸21,23が揺動するときに、各磁気シールユニット31における磁気シール35によりアーム20,22内の空間が外部に対し遮断シールされる。このことで、アーム20,22内のチェーン伝動機構からの発塵がアーム20,22外の真空チャンバ2内に漏れ出るのを防止することができる。
【0028】
また、上記各磁気シールユニット31は支持軸21,23の外周面と軸受部27の内周面との間にそれぞれ1対の弾性シール材37,37,38,38を介して装着されているので、例えば第2アーム22及びハンド24間の関節部J2で説明すると、そのハンド24の負荷による曲げモーメントにより第2支持軸23が撓んで、その支持軸23の小径部23a外周面と磁気シールユニット31の内筒部材33内周面との間の間隙、又は軸受部27の大径部27a内周面と磁気シールユニット31の外筒部材32外周面との間の間隙が変化したとしても、その間隙の増大変化を上記弾性シール材37,37,38,38の変形により吸収することができる。このため、たとえアーム20,22の内外で大気圧及び真空の間の圧力差があったとしても、アーム20,22内外のシール不良が生じることはなく、このシール不良により磁気シールユニット31における磁気シール35の磁性流体が真空チャンバ2に流出するのを防止することができる。
【0029】
尚、上記実施形態では、各支持軸21,23を下端部のみにてアーム20,22の軸受部27に1つのクロスローラ型軸受28により支持しているが、上下の複数箇所でクロスローラ型軸受28以外の通常の軸受を用いて支持するようにしてもよく、上記実施形態と同様の作用効果が得られる。
【0030】
また、上記実施形態では、磁気シールユニット31の内外面の双方にそれぞれ1対の弾性シール材37,37,38,38を配置しているが、磁気シールユニット31の内面側又は外面側の一方、つまり磁気シールユニット31の内筒部材33内周面と支持軸23外周面との間の間隙又は磁気シールユニット31の外筒部材32外周面と軸受部27内周面との間の間隙のうちの大きい側(上記実施形態の構造では、後者の磁気シールユニット31の外筒部材32外周面と軸受部27内周面との間の間隙)に軸方向に間隔をあけて1対の弾性シール材38,38を設け、他方、つまり上記間隙のうちの小さい側(同じく、前者の磁気シールユニット31の内筒部材33内周面と支持軸23外周面との間の間隙)には1つの弾性シール材37を設けてもよい。こうすると、弾性シール材37,38の必要数を少なくしてコストダウンを図りながら、支持軸21,23の撓みによる間隙の増大変化を弾性シール材37,38により吸収してシール性の確保を図ることができる。
【0031】
さらに、上記実施形態では、ハンド24や第2アーム22が支持軸21,23と直交する方向に延びている搬送ロボット8に適用しているが、本発明は、ハンドやアームが支持軸と平行に延びていて支持軸回りの揺動により捩り動作をする搬送ロボットに対しても適用することができる。
【0032】
また、本発明は、上記実施形態の如き真空用搬送ロボット8の他、クリーンルームで使用されるクリーンルーム用の搬送ロボットにも適用することができる。
【0033】
【発明の効果】
以上説明した如く、請求項1の発明では、支持部材と、その支持部材に支持軸を介して揺動可能に支持された揺動部材とを有する関節部がシールされて密閉構造とされている搬送ロボットに対し、支持軸を少なくとも一端部にて支持部材に軸受を介して揺動可能に支持し、この軸受位置とは異なる位置の支持軸と支持部材との間に、磁気シールとラジアル軸受とを備えてなる磁気シールユニットを弾性シール材を介して装着した。また、請求項2の発明では、支持軸を一端部のみにてクロスローラ型軸受により支持部材に支持し、支持軸の他端側と支持部材との間に磁気シールユニットを設けた。これらの発明によれば、支持軸の揺動に伴うシールを磁気シールユニットにおける磁気シールにより行いつつ、揺動部材の負荷により支持軸が撓んで支持軸又は支持部材と磁気シールユニットとの間の間隙が変化したとしても、その間隙の増大変化を弾性シール材により吸収して、ロボット内外のシール性の確保及び磁気シールユニットの磁性流体の流出の防止を図ることができる。
【0034】
請求項3の発明によると、磁気シールユニットの内面側又は外面側の一方に1対の弾性シール材を軸方向に間隔をあけて設ける一方、他方に少なくとも1つの弾性シール材を設けたことにより、弾性シール材の望ましい配置レイアウトが得られる。
【0035】
請求項4の発明によると、搬送ロボットが内部に設置されている真空チャンバとしたことにより、本発明の効果が有効に発揮される最適な搬送ロボット及び真空チャンバが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態に係る搬送ロボットの関節部を拡大して示す断面図である。
【図2】 搬送ロボットのアーム及びハンドを示す断面図である。
【図3】 搬送ロボットの設置箇所を示す断面図である。
【符号の説明】
1 処理チャンバ
2 真空チャンバ
8 真空用搬送ロボット
9 基部(支持部材)
10 外側駆動軸(支持軸)
20 第1アーム(揺動部材、支持部材)
21 第1支持軸
22 第2アーム(揺動部材、支持部材)
23 第2支持軸
24 ハンド(揺動部材)
27 軸受部
28 クロスローラ型軸受
31 磁気シールユニット
34 ラジアル軸受
35 磁気シール
37,38 弾性シール材
Claims (4)
- 支持部材に揺動部材が支持軸を介して揺動可能に支持された関節部を有し、該関節部がシールされて密閉構造とされている搬送ロボットであって、
上記支持軸が少なくとも一端部にて支持部材に対し軸受を介して揺動可能に支持されており、
上記軸受の位置とは異なる位置の支持軸と支持部材との間に、磁気シールとラジアル軸受とを備えてなる磁気シールユニットが弾性シール材を介して装着されていることを特徴とする搬送ロボット。 - 請求項1の搬送ロボットにおいて、
支持軸は一端部のみにてクロスローラ型軸受により支持部材に支持され、
支持軸の他端側と支持部材との間に磁気シールユニットが設けられていることを特徴とする搬送ロボット。 - 請求項1又は2の搬送ロボットにおいて、
磁気シールユニットの内面側又は外面側の一方に1対の弾性シール材が軸方向に間隔をあけて設けられている一方、他方に少なくとも1つの弾性シール材が設けられていることを特徴とする搬送ロボット。 - 請求項1〜3のいずれか1つの搬送ロボットが内部に設置されていることを特徴とする真空チャンバ。
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