JP2001088065A - 基板搬送方法と基板搬送装置とフラットパネルディスプレイの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多関節型基板搬送装置による基板を撓みな
く支持し搬送できるようにし、且つ基板を支持する移載
台を回転自在に支持する軸受に移載台及び基板の荷重が
アンバランスにかかることを防止する。 【解決手段】モータ３により回転せしめられる第１アー
ム６と、アーム６の回動端に回転自在に設けられた第２
アーム１１と、アーム１１の回動端に回転自在に支持さ
れた移載台１７と、タイミングプーリ７、１２、９、１
８及びタイミングベルト１３、１９による１軸の多関節
型基板搬送装置の移載台１７にて基板２１を支持して搬
送を行うこととし、第２アーム１１による移載台１７の
回転自在の支持をその移載台１７の重心にて行うように
する。移載台１７の平面形状は例えばＨ字状にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板搬送方法と、
その実施に用いる基板搬送装置と、上記基板搬送方法を
用いたフラットパネルディスプレイの製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来のＬＣＤ（液晶デバイス）真空処理
プロセス装置（例えば薄膜形成、イオン注入、エッチン
グ等を行う装置）は、生産性を重視するために、図５に
示すようにマルチチャンバ方式の構成をとるのが主流で
あった（特開平９−８０９４号公報、特開平７−１４２
４０８号公報、特開平６−２５２２４５号公報）。

【０００３】図５において、ａは基板搬送室で、その周
りに複数例えば６個のチャンバｂ〜ｇが配置されてお
り、そのうち、チャンバｂがインロードロックチャン
バ、ｇがアウトロックチャンバであり、このマルチチャ
ンバには、基板（ガラス板）ｈがインロードロックチャ
ンバｂを通じて供給され、基板搬送室ａ内の搬送機構ｉ
によりプロセスチャンバに送られてそのチャンバにて例
えば薄膜形成等の処理を施され、それが終わると、その
基板ｈはその搬送機構によりそのチャンバから他のチャ
ンバに搬送され、そこでまた別の処理を施されるという
ように順次処理が進められ、最後にアウトロックチャン
バｇからマルチチャンバ外にその基板ｈが排出されるよ
うになっている。

【０００４】上記搬送機構ｉは、支点を中心に回転可能
な第１アームｊと、その回動端部に一端部が回転可能に
取り付けられた第２アームと、該第２アームの回動端部
に取り付けられた基板移載台ｌと図示しないタイミング
プーリ及びタイミングベルトを主要素とする多関節型の
搬送機構であり、全体的に回転、即ち旋回が可能とされ
ており、上記基板ｈは上記フォーク状の基板移載台ｌに
支持されるようになっている。即ち、第１アームｊと第
２アームｋの回動動作によりアーム伸縮動作が行われ、
それにより基板ｈは旋回中心ｏから離れたりそれに近づ
いたりする方向に移動せしめられ、旋回によりその移動
の向きが変化せしめられ、その二つの動作（伸縮と旋
回）の繰り返し、組合せにより基板ｈの搬送が行われる
のである。

【０００５】ところで、図５に示すマルチチャンバ装置
は非常に大規模な装置となり、導入に非常に大きなリス
クが伴う。即ち、例えばＬＣＤ等フラットパネルディス
プレイは非常に可能性に富んだ分野であるとはいえ、種
類が多く、どの種類のものが主流になるか等においては
未知数のところが多いのである。従って、或る特定の種
類のものを前提として巨額の投資をすることは、一般の
半導体業界においては一時期盛んに行われ、成功を収め
た面があったが、フラットパネルディスプレイの分野で
は許されない。投資額を極力抑え、見通しがついたらそ
れに伴って必要最小限の追加投資を行うというように、
手探りで技術の動向を見極めながら、生産性の向上を図
るということが必要であり、いきなり図５に示すような
マルチチャンバを購入して生産を始めるということは許
されなくなりつつある。

【０００６】そのため、製造装置のリーン化（贅肉をと
るというような意味）の必要性が認識され、その必要性
へ応えようとするものが、図６に示すものである。同図
において、ａは基板搬送室、ｂはロードロックチャン
バ、ｃはプロセスチャンバ、ｉは搬送機構で、図５に示
す搬送機構ｉと同じものが使用されていた。即ち、該搬
送機構ｉは多関節型搬送機構で、全体として回転（旋
回）が可能であり、図５の搬送機構ｉの第１アームｊ、
第２アームｋ、フォーク状移載台ｌ等を有し、該移載台
ｌに基板ｈが載置されて搬送される。

【０００７】この種のものは、特開平６−２８５７８０
号公報にも紹介されている。図７は該公報の技術につい
ての必要な説明をするために該公報の図３（Ａ）〜
（Ｄ）を模写したものである。尚、この図の符号と、本
願の他の図面の符号との混乱を避けるため、図７の符号
は括弧書きとした。従って、括弧書きの符号とそうでな
い符号とは対応するものを指すわけではない。この公報
に紹介されたものは、本願添付図面図６に示すものより
も更にリーン化が進んでいる。というのは、その搬送機
構は旋回せず、単に第１アーム（１３）と第２アーム
（１４）の回動によるアームの伸縮のみで基板（１１）
をその向きを変えることなく一方向に沿って搬送できる
ようになっているからである。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、本願図６に
示すものも、上記特開平６−２８５７８０号公報に示す
ものも、第２アームの回動端部により移載台の中心を支
えるようにはなっていない。具体的には、先ず、本願図
６に示すものの場合は、移載台を平面形状フォーク状
（Ｕ字状）に形成していたため、どうしてもＵ字状の移
載台をその底部中央部分にて第２アームで移載台を支持
せざるを得ない。

【０００９】また、上記特開平６−２８５７８０号公報
の技術においては、図７（公報中の図番によれば、図
３）に示すように、基板（１１）を支持する移載台（１
５）をその中心で支持するようにはなっておらず、移載
台（１５）一側辺の近くで支えるようになっていた。こ
れは、次の理由による。

【００１０】即ち、該公報に示すものの場合は、第１ア
ーム（１３）については約１８０度回転すれば伸縮動作
が可能であり、そのような第１アーム（１３）の回転中
心を搬送チャンバ（４）の真ん中に配置するのことは、
搬送チャンバ（４）面積を無駄に使用することになる。
そこで、かかる無駄をなくすため、その回転中心を搬送
チャンバ（４）の真ん中よりも一辺側にかなり寄ったと
ころに位置させたため、移載台（１５）を支持する点の
基板搬送に伴い描く軌跡が各チャンバ（１）、の中心か
らかなりずれたところを通ることになる。その結果、各
チャンバを無駄に広くすることなく使用しようとする
と、第１アーム（１３）により移載台（１５）を真ん中
で支持することができ無くなったのである。

【００１１】ところで、そのように基板を移載台を介し
て真ん中から大きくずれた周縁近傍にて支持すると、移
載台が謂わば片持ちで軸受により支持される結果、撓み
が生じやすくなる。特に、フラットパネルディスプレイ
は大型化の一途を辿っており、対角長が例えば１メート
ルに達するガラス板を基板とするものも出現しつつある
ので、そのような大型なガラス板を搬送する移載台はそ
れに伴って当然に大型化するが、大型化すればする程、
片持ち的に支持された移載台は支持された点から離れる
ほど下方に撓みやすくなる。これは必然的にそれにより
支持された基板、例えばガラス板が撓むことを招き、で
きるだけ平坦に支持して各種処理を施す必要性があるこ
とから鑑み好ましくない。

【００１２】というのは、そのように撓みが生じた状態
で、基板、例えばフラットパネルディスプレイ用のガラ
ス製パネルの表面に薄膜の形成、イオン注入、エッチン
グ等を行うと、これらの処理は、正常に行うことができ
ず、例えば薄膜の膜厚が不均一になる等の問題が生じ、
フラットパネルディスプレイの不良率の増大、信頼性の
低下等の原因になり得る。

【００１３】これは、移載台がフォーク状のものでも同
様におこるが、この場合には、更に、ガラス板はフォー
ク状移載台の一対のフォーク片の間において真ん中によ
る程位置が低くなるという撓みも生じる。勿論、これは
更に問題である。また、片持ち的に移載台を支持する方
（第２アーム）の軸受もアンバランスな荷重を受けるの
で、摩耗が激しく、寿命が短く、メンテナンスや交換の
頻度が大きいという問題もあった。

【００１４】本発明は、このような問題を解決すべく為
されたもので、基板を撓みなく支持し搬送できるように
し、且つ基板を支持する移載台を回転自在に支持する軸
受に移載台及び基板の荷重がアンバランスにかかること
を防止することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】請求項１の基板搬送方法
は、第１アーム、第２アーム及び移載台並びにタイミン
グベルトを用いた１軸の多関節型基板搬送装置により上
記移載台にて基板を搬送を行うこととし、上記第２アー
ムにより上記移載台をその重心にて回転自在に支持する
ことを特徴とする。

【００１６】従って、請求項１の基板搬送方法によれ
ば、第２アームの上記移載台及びそれに載置された基板
を回転自在に支持する支持部（軸受）がその移載台及び
基板からバランス良く荷重を受けるようにでき、支持部
の摩耗が少なくなり、故障が少なくなると共に、移載台
に支持された基板を撓みにくくできる。

【００１７】請求項２の基板搬送装置は、第１アーム、
第２アーム及び移載台並びにタイミングベルトを用いた
１軸の多関節型基板搬送装置において、上記第２アーム
により上記移載台を回転自在に支持する支持点をその移
載台の重心にしたことを特徴とする。尚、上記移載台の
平面形状は、その移載台の重心を搬送方向に沿って通る
ラインを中心として線対称の形状であり、且つ、そのラ
インと上記重心にて直交するラインを中心としても線対
称の形状（例えばＨ字状、Ｘ字状）にすると好ましい。

【００１８】従って、請求項２の基板搬送装置によれ
ば、上記第２アームの上記移載台を回転自在に支持する
支持部（軸受）がその移載台及び基板からバランス良く
荷重を受けるようにでき、従来におけるように片持ちの
ように移載台を支持する場合に比較して支持部の摩耗が
少なくなり、故障が少なくなると共に、移載台に支持さ
れた基板を撓みにくくできる。

【００１９】又、上記移載台の平面形状を、その移載台
の重心を搬送方向に沿って通るラインを中心として線対
称であり、且つ、そのラインと上記重心にて直交するラ
インを中心としても線対称の形状（例えばＨ字状、Ｘ字
状）にした場合には、基板の支持点或いは支持ラインを
上述したように線対称に配置でき、バランス良く支持で
きる。従って、基板を移載台により撓み無く支持して搬
送することができる。

【００２０】請求項５のフラットパネルディスプレイの
製造方法は、フラットパネルディスプレイを製造する過
程で、上述した請求項１の基板搬送方法によるフラット
パネルディスプレイ用パネルの搬送を行うことを特徴と
する。

【００２１】従って、請求項５のフラットパネルディス
プレイの製造方法によれば、パネルの搬送を、請求項１
の搬送方法により行うので、例えば薄膜の形成、イオン
注入、エッチング等の処理は、撓みのないパネルに対し
て施すことができ、延いては、正常に行うことができ
る。従って、撓みにより例えば薄膜の膜厚が不均一にな
る等の問題が生じるおそれがなくなり、フラットパネル
ディスプレイの不良率の減少、信頼性の向上を図ること
ができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】本発明は、基本的には、第１アー
ムと、該アームの他端部に一端部を回転自在に支持され
た第２アームと、該アームの他端部に重心にて回転自在
に支持された移載台と、上記第１アームの回転支点と同
軸の固定タイミングプーリと、上記第２アームの上記一
端部に設けられ、その回転軸と同軸の第２アーム回転タ
イミングプーリと、上記二つのプーリに巻かれた第１タ
イミングベルトと、上記第１アームの上記他端部に固定
され上記第２アームの回転軸と同軸の第１固定軸タイミ
ングプーリと、上記移載台に設けられ、その回転軸と同
軸の移載台回転用タイミングプーリと、該プーリ及び上
記第１固定軸タイミングプーリに巻かれた第２タイミン
グベルトと、を有し、上記固定タイミングプーリと第２
アーム回転タイミングプーリとの歯数比又はプーリ比
と、第１固定軸タイミングプーリと上記移載台回転用タ
イミングプーリとの歯数比又はプーリ比とを逆比にした
基板搬送装置であって、上記移載台がその重心にて上記
第２アームの上記他端部に回転自在に支持されている基
板搬送装置、或いはそれを用いた基板搬送方法、或いは
その搬送方法によりフラットパネルディスプレイ用のパ
ネルを搬送する方法を用いたフラットパネルディスプレ
イの製造方法である。

【００２３】上記固定タイミングプーリと第２アーム回
転タイミングプーリとの歯数比又はプーリ比は例えば
２：１であり、そのようにした場合には、第１固定軸タ
イミングプーリと上記移載台回転用タイミングプーリと
の歯数比又はプーリ比は上記比２：１の逆比である１：
２にする。このようにすると、移載台をその向きを変え
ることなく第１アーム及び第２アームによる伸縮により
一方向に移動させることができる。尚、上記歯数比又は
プーリ比は必ずしも２：１とその逆比１：２にすること
は不可欠ではなく、例えば３：１とその逆比１：３とい
うように他の比にしても良い。但し、上記歯数比又はプ
ーリ比の比どうしは上述したように逆比になっていなけ
ればならない。

【００２４】移載台の平面形状は、その重心を搬送方向
に沿って通るラインを中心として線対称で、且つ、その
ラインと上記重心にて直交するラインを中心としても線
対称の形状にするのが好ましいが、それの最もよい例
は、Ｈ字形状である。というのは、先ず、Ｈ字状の真ん
中を横に走るラインにて基板の重心を保持でき、更に、
両側の縦に走るラインにて基板の両側縁近傍を保持でき
るから、中心に寄る程低くなるという撓みが生ぜず、し
かもバランス良く基板を支持できるからである。

【００２５】尚、本発明による搬送の対称となる基板
は、板状のものであれば総て含まれるが、その好適例
は、年々大型化が進むフラットパネルディスプレイ（Ｆ
ＰＤ）用のパネル（一般にガラス板）である。フラット
パネルディスプレイ（ＦＰＤ）には、ＬＣＤ（液晶ディ
スプレイ）、ＰＤ（プラズマディスプレイ）、ＦＥＤ
（フィールドエミッションディスプレイ）、有機ＥＬ
（有機エレクトロルミネッセンス）等がある。尚、本発
明によるフラットパネルディスプレイ用パネルの搬送
は、主として真空処理室でパネルに対する処理を行う場
合における搬送であるが、必ずしもそれに限定されるも
のではない。

【００２６】

【実施例】以下、本発明を図示実施例に従って詳細に説
明する。図１〜図３は本発明の一つの実施例を説明する
ためのものであり、図１は基板搬送装置の断面図、図２
は基板搬送装置の平面図、図３（Ａ）〜（Ｄ）は動作を
示す平面図である。

【００２７】図面において、１は真空搬送室であり、こ
の内部に多関節型基板搬送機構が設けられている。２は
該搬送機構を支持する支持部である。３は真空搬送室外
部に固定された伸縮直動用モータであり、図示しない減
速器を内蔵しており、後述する第１アーム（６）を直接
回転することを通じて多関節搬送機構を駆動する動力源
である。４はその駆動軸であり、その先端部は連結板５
を介して第１アーム６に固定されている。

【００２８】上記モータ３の上記駆動軸４は機密保持手
段により気密を保たれた状態で上記第１アーム４に連結
板５を介して連結され、モータ３により該第１アーム４
を直接回転できるようになっている。尚、便宜上気密保
持手段についての説明は省略する。７は上記駆動軸４と
同軸の固定タイミングプーリで、上記支持部２に固定さ
れている。

【００２９】８は第１アーム６の先端（回動端）近傍に
設けられた第１固定軸で、上記モータ３の駆動軸４と平
行に設けられており、この平行な軸４と固定軸８との間
の軸間距離は例えば６７０ｍｍである。９は該第１固定
軸８の上部に固着された第１固定軸タイミングプーリ、
１０は第２アーム回転軸で、上記第１固定軸８に対して
同軸で、回転自在に設けられており、該第２アーム回転
軸１０に第２アーム１１の一端部が固定されている。１
２は上記第２アーム回転軸に設けられた第２アーム回転
軸タイミングプーリであり、該プーリ１２と上記固定タ
イミングプーリ７に第１タイミングベルト１３が巻かれ
ている。この固定タイミングプーリ７と第２アーム回転
軸タイミングプーリ１２との歯数比（或いはプーリ比）
は例えば２：１に設定されている。

【００３０】１５は第２アーム１１の先端（回動端）近
傍に設けられた第２固定軸で、上記第１固定軸８と平行
に設けられており、この平行な第２固定軸１５と第１固
定軸８との間の軸間距離は、上記モータ３の駆動軸４と
第１固定軸８との軸間距離と同じ６７０ｍｍに設定され
ている。

【００３１】１６は該第２固定軸１５に対して同軸で、
且つ回転自在に設けられた移載台（ハンド）回転軸であ
り、該移載台回転軸１６には移載台１７の重心となる部
分が固定されている。１８は移載台回転軸１６に固定さ
れた移載台回転用タイミングプーリで、該プーリ１８と
上記第１固定軸タイミングプーリ９に第２タイミングベ
ルト１９が巻かれている。そして、第１固定軸タイミン
グプーリ９と移載台回転用タイミングプーリ１８との歯
数比（或いはプーリ比）は前記歯数比（或いはプーリ
比）の逆比である１：２に設定されている。

【００３２】上記移載台１７は基板（例えばフラットパ
ネルディスプレイ用パネル）２１を支持するもので、該
基板２１を傷付けず、且つ耐熱性に優れ、真空環境下で
の使用に適した材質、例えばフッ素ゴム又はバーフロロ
エラストマーからなり、その平面形状は例えば図４
（Ａ）に示すように、Ｈ字状を有している。そして、そ
のＨ字状体の中心２６にて第２アーム１１に支持されて
いる。そのようにすれば、第２アーム１１の移載台１７
を回転自在に支持する部分は、移載台１７上が空の時は
その移載台１７の重心になり、基板２１をきちんと載せ
たときは基板２１と移載台１７の重心になり、第２アー
ム１１の移載台１７を支持する関節（軸受）にはバラン
ス良く荷重がかかり、摩耗や故障が生じにくい。

【００３３】また、移載台１７に載置された基板２１も
撓みを極めて小さくできる。即ち、基板２１が重心にて
保持され、しかも、移載台１７がＨ字状なので、両側縁
ｓ、ｓ近傍及び中央部ｏが支えられ、フォーク状の移載
台を使用していたときのように基板が真ん中に寄る程下
がる大きな撓みが生じるということはない。尚、移載台
１７のＨ字状の平面形状の例は、図４（Ａ）に示すもの
には必ずしも限定されず、例えば図４（Ｂ）、（Ｃ）に
示すような形状であっても良いし、これ以外の形状もあ
り得る。また、必ずしも、移載台１７の形状はＨ字状に
限定されるものではなく、例えばＸ字状でも良い。とい
うのは、先ず、重心（中心）での支持が可能な形状であ
り、中心を通る搬送方向のラインを中心として線対称で
あり、そのラインと直交するラインを中心としても線対
称であり、且つ基板をその中心（重心）の他、少なくと
も４隅近傍においても支持でき、基板２１を極めてバラ
ンス良く、且つ撓みが大きくならないように支持できる
からである。

【００３４】尚、第１アーム６及び第２アーム１１内の
雰囲気は連通しているが、回転連結部を防塵シールする
防塵用磁性シールを設けることにより、真空搬送室１内
の雰囲気とは隔てられている。各関節の軸受はアームの
重量を充分に支えることができ、真空中でも使用可能な
円筒ころ軸受が用いられている。第１アーム６とその天
板とは、及び第２アーム１１とその天板とは、それぞれ
Ｏリングを用いて概略密封構造になるようにしている
が、各々一部分に特殊フィルタを取り付ける開口部があ
り、該特殊フィルタは該開口部に図示しないガスケット
で固定されており、前記真空搬送室１内の排気工程及び
給気工程時に前記第１アーム６内及び第２アーム１１内
の雰囲気と真空搬送室１内の雰囲気との圧力差を最小に
し、且つアーム６、１１内の塵を該真空搬送室１内に出
さないようにしている。この特殊フィルタは、例えば材
質がグラスファイバで、例えば０．５μｍのメッシュか
らなる。

【００３５】また、第１アーム６内にはタイミングベル
ト張力調整用ユニット２７、２８、２９が設けられ、第
２アーム１１内にも同様にタイミングベルト張力調整用
ユニット３０、３１、３２が設けられている。ユニット
２７、３０は張力調整用のプーリであり、ユニット２７
は各ブロック２９ａ、２９ｂ上に回転自在に設けられ、
ユニット３０は各々ブロック３２ａ、３２ｂ上に回転自
在に設けられている。例えば、前記ブロック２９ａ及び
３２ａには右雌ネジ、ブロック２９ｂ及び３２ｂには左
雌ネジがあり、左右の雄ネジをその両端に有するユニッ
ト２８、３１を回すことにより第１タイミングベルト１
９及び第２タイミングベルト２０に均等且つ適正に張力
調整ができる構造になっており、また、その位置も前記
特殊フィルム用の開口部の直下にされている。

【００３６】次に、図１、図２に示す基板搬送機構の搬
送動作を図３（Ａ）〜（Ｄ）に従って説明する。図３に
おいて、２２はロードロック室、１は真空搬送室、２３
は処理室であり、該ロードロック室２２、真空搬送室
１、処理室２３がその順で一直線上に並んで配置されて
いる。図３（Ａ）待機状態を示し、この状態でロードロ
ック室２２に基板２１が供給される。このロードロック
室２２内の基板２１を処理室２３内に搬送する動作を図
３が示している。

【００３７】モータ３の回転により第１アーム６により
図３（Ｂ）に示すように時計回り方向に回転させる。す
ると、それに伴って第２アーム１１はその反対方向、即
ち反時計回り方向に回転し、その回転角度は第１アーム
６の回転角度の２倍になる。というのは、上記第２アー
ム回転タイミングプーリ１２と上記固定タイミングプー
リ７に第１タイミングベルト１３が巻かれており、プー
リ７とプーリ１２との歯数比（プーリ直径比）が２：１
なっているからである。

【００３８】また、上述したように第２アーム１１が回
転するとそれに応じて移載台１７が該第２アーム１１に
対してその回転方向と逆方向（時計回り方向）に回転
し、その移載台１７の回転角度は第２アーム１１の回転
角度の２分の１になる。というのは、第１固定軸タイミ
ングプーリ９と移載台回転用タイミングプーリ１８との
間に第２タイミングプーリ１９が巻かれており、そのプ
ーリ９とプーリ１８との歯数比（プーリ直径比）が１：
２になっているからである。

【００３９】ところで、移載台１７は第２のアーム１１
に対してはその回転方向（反時計回り方向）の逆に回
り、その回転角度は第２アーム１１の回転角度の半分で
あるが、しかし、第２アーム１１自身は第１アーム６の
回転方向に対して逆方向に回転し、その回転角度は第１
アーム６の回転角度の２倍なので、第１アーム６を回転
可能に保持する真空処理装置１を基準に考えると、移載
台１７はその方向を全く変えることなく、第１アーム６
と第２アーム１１の伸縮動作により一直線上を移動せし
められる。その結果、移載台１７は、図３における左方
向に移動せしめられ、図３（Ｂ）に示すようにロードロ
ック室２２内に位置した状態になる。そこで、移載台１
７にて基板２１を受け取る。

【００４０】次に、モータ３で第１アーム６を今度は反
時計回り方向に回転させる。すると、今度は逆の動作が
行われ、移載台１７は基板２１を載置したままその方向
を変えることなく図３における右方向に移動する。図３
（Ｃ）はその移動途中における、移載台１７が真空搬送
室１内に位置した状態を示している。その移動動作を進
めると、図３（Ｄ）に示すように、処理室２３に移載台
１７が入り、そこで基板２１を処理室２３内に置く。２
４、２４、・・・は基板２１を受ける位置決め用受けピ
ンである。そして、モータ３で第１アーム６を時計回り
方向に回転させて、図３（Ａ）に示す元の待機状態に戻
す。その後は、図示はしないが、処理室２３での処理が
終わると、移載台１７を処理室２３内に送り、処理が終
わった基板２１を受け取り、真空搬送室１越しにロード
ロック室２２に移載する。以後、上述した動作を繰り返
す。

【００４１】本実施例によれば、基板搬送機構が旋回す
る機構を有さず、駆動軸が１軸となるので、気密保持の
ための真空シールも１軸分で良く、旋回機構を有し駆動
軸が２軸の図５、図６に示す従来例に比較して構造や制
御が簡単で済む。また、搬送サイクルも旋回時間が不要
のため、サイクルタイムを改善できる。

【００４２】また、上述したように、移載台１７の中心
を第２アーム１１の先端部にて回転自在に支持するの
で、その移載台１７及び基板２１により軸受にバランス
良く荷重がかかるようにできる。従って、摩耗や故障が
生じにくい。また、移載台１７に載置された基板２１も
撓みを極めて小さくできる。

【００４３】そして、基板としてフラットパネルディス
プレイ、例えばＬＣＤ（液晶ディスプレイ）用のパネル
（一般にガラスからなる）を上述した基板搬送装置によ
り搬送して真空下での処理、例えば薄膜の形成、イオン
注入、エッチング等を行うことにより、これらの処理を
撓みなく支持した平坦な状態のパネルに対して施すこと
ができ、正常な処理ができる。従って、撓みにより例え
ば薄膜の膜厚が不均一になる等の問題が生じるおそれが
なくなり、フラットパネルディスプレイの不良率の減
少、信頼性の向上を図ることができる。

【００４４】

【発明の効果】請求項１の基板搬送方法によれば、上記
第２アームの上記移載台及びそれに載置された基板を回
転自在に支持する支持部（軸受）がその移載台及び基板
からバランス良く荷重を受けるようにでき、支持部の摩
耗が少なくなり、故障が少なくなると共に、移載台に支
持された基板を撓みにくくできる。

【００４５】請求項２の基板搬送装置によれば、上記第
２アームの上記移載台を回転自在に支持する支持部（軸
受）がその移載台及び基板からバランス良く荷重を受け
るようにでき、従来におけるように片持ちのように移載
台を支持する場合に比較して支持部の摩耗が少なくな
り、故障が少なくなると共に、移載台に支持された基板
を撓みにくくできる。

【００４６】請求項３の基板搬送装置によれば、移載台
の平面形状は、その重心を搬送方向に沿って通るライン
を中心として線対称で、且つ、そのラインと上記重心に
て直交するラインを中心としても線対称の形状にしたの
で、基板をバランス良く支持できる。

【００４７】請求項４の基板搬送装置によれば、移載台
の平面形状がＨ字状或いはＸ字状なので、基板を重心
（中心）にて支持することができるし、又、その重心を
搬送方向に沿って通るラインを中心として線対称の形状
で、且つ、そのラインと上記重心にて直交するラインを
中心としても線対称の形状であるので、バランス良く基
板を支持できる略理想的な形状といえる。

【００４８】請求項５のフラットパネルディスプレイの
製造方法によれば、パネルの搬送を、請求項１の搬送方
法により行うので、例えば薄膜の形成、イオン注入、エ
ッチング等の処理は、撓みのないパネルに対して施すこ
とができるので、正常に行うことができる。従って、撓
みにより例えば薄膜の膜厚が不均一になる等の問題が生
じるおそれがなくなり、フラットパネルディスプレイの
不良率の減少、信頼性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明基板搬送装置の一つの実施例を示す断面
図である。

【図２】上記実施例の平面図である。

【図３】（Ａ）〜（Ｄ）は上記基板搬送装置の動作を説
明するための平面図である。

【図４】（Ａ）〜（Ｃ）は移載台の各別の平面形状例を
示す平面図である。

【図５】従来の基板搬送装置を用いたマルチチャンバを
示す平面図である。

【図６】従来の基板搬送装置を用いたリーン化基板処理
装置を示す平面図である。

【図７】（Ａ）〜（Ｄ）は従来例である、特開平６−２
８５７８０号公報に記載された技術の説明図である。

【符号の説明】

１・・・真空搬送室、３・・・モータ、４・・・駆動
軸、６・・・第１アーム、７・・・固定タイミングプー
リ、８・・・第１固定軸、９・・・第１固定軸タイミン
グプーリ、１０・・・第２アーム回転軸、１１・・・第
２アーム、１２・・・第２アーム回転軸タイミングプー
リ、１３・・・第１タイミングベルト、１５・・・第２
固定軸、１６・・・移載台回転軸、１７・・・移載台、
１８・・・移載台回転用タイミングプーリ 、１９・・
・第２タイミングベルト、２１・・・基板（フラットパ
ネルディスプレイ用パネル）。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一端部を支点にモータにより回転せしめ
   られる第１アームと、該第１アームの他端部に一端部を
   回転自在に支持された第２アームと、該第２アームの他
   端部に重心にて回転自在に支持された移載台と、上記第
   １アームの回転支点と同軸の固定タイミングプーリと、
   上記第２アームの上記一端部に設けられ、その回転軸と
   同軸の第２アーム回転タイミングプーリと、その二つの
   プーリに巻かれた第１タイミングベルトと、上記第１ア
   ームの上記他端部に固定され上記第２アームの回転軸と
   同軸の第１固定軸タイミングプーリと、上記移載台に設
   けられ、その回転軸と同軸の移載台回転用タイミングプ
   ーリと、該プーリ及び上記第１固定軸タイミングプーリ
   に巻かれた第２タイミングベルトとを設け、更に、上記
   固定タイミングプーリと上記第２アーム回転タイミング
   プーリとの歯数比又はプーリ比と第１固定軸タイミング
   プーリと上記移載台回転用タイミングプーリとの歯数比
   又はプーリ比とを逆比にし、 上記モータを回転させて上記移載台を一方向にその向き
   を変えることなく移動させ、該モータの回転方向を変え
   て移動方向を向きを逆にするようにし、 上記移載台に基板を載置して搬送することを特徴とする
   基板搬送方法。
2. 【請求項２】 一端部を支点にモータにより回転せしめ
   られる第１アームと、 上記第１アームの他端部に一端部を回転自在に支持され
   た第２アームと、 上記第２アームの他端部に回転自在に支持された移載台
   と、 上記第１アームの回転支点と同軸の固定タイミングプー
   リと、 上記第２アームの上記一端部に設けられ、その回転軸と
   同軸の第２アーム回転タイミングプーリと、 上記二つのプーリに巻かれた第１タイミングベルトと、 上記第１アームの上記他端部に固定され上記第２アーム
   の回転軸と同軸の第１固定軸タイミングプーリと、 上記移載台に設けられ、その回転軸と同軸の移載台回転
   用タイミングプーリと、 上記移載台回転用タイミングプーリ及び上記第１固定軸
   タイミングプーリに巻かれた第２タイミングベルトと、 を有し、 上記固定タイミングプーリと第２アーム回転タイミング
   プーリとの歯数比又はプーリ比と第１固定軸タイミング
   プーリと上記移載台回転用タイミングプーリとの歯数比
   又はプーリ比とを逆比にした基板搬送装置であって、 上記移載台がその重心にて上記第２アームの上記他端部
   に回転自在に支持されていることを特徴とする基板搬送
   装置。
3. 【請求項３】 上記移載台の平面形状が、その重心を搬
   送方向に沿って通るラインを中心として線対称の形状で
   あり、且つ、そのラインと上記重心にて直交するライン
   を中心としても線対称の形状であることを特徴とする請
   求項２記載の基板搬送装置。
4. 【請求項４】 上記移載台の平面形状がＨ字状又はＸ字
   状であることを特徴とする請求項３又は４記載の基板搬
   送装置。
5. 【請求項５】 一端部を支点にモータにより回転せしめ
   られる第１アームと、該第１アームの他端部に一端部を
   回転自在に支持された第２アームと、該第２アームの他
   端部に重心にて回転自在に支持された移載台と、上記第
   １アームの回転支点と同軸の固定タイミングプーリと、
   上記第２アームの上記一端部に設けられ、その回転軸と
   同軸の第２アーム回転タイミングプーリと、その二つの
   プーリに巻かれた第１タイミングベルトと、上記第１ア
   ームの上記他端部に固定され上記第２アームの回転軸と
   同軸の第１固定軸タイミングプーリと、上記移載台に設
   けられ、その回転軸と同軸の移載台回転用タイミングプ
   ーリと、該プーリ及び上記第１固定軸タイミングプーリ
   に巻かれた第２タイミングベルトとを設け、更に、上記
   固定タイミングプーリと上記第２アーム回転タイミング
   プーリとの歯数比又はプーリ比と第１固定軸タイミング
   プーリと上記移載台回転用タイミングプーリとの歯数比
   又はプーリ比とを逆比にし、 上記モータを回転させて上記移載台を一方向にその向き
   を変えることなく移動させ、該モータの回転方向を変え
   て移動方向を向きを逆にするようにし、 上記移載台に基板を載置して搬送する基板搬送方法によ
   り、基板としてフラットパネルディスプレイ用パネルを
   搬送する方法を用いたことを特徴とするフラットパネル
   ディスプレイの製造方法。