JP2001500320A - バッチローダアーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、一端に配された複数のエンドエフェクタ（64）を有するリンケージ（60）を用いた改善された搬送機構（36）に関する。第１の回転方向に駆動リンケージ（92、96、98）が動くことにより、エンドエフェクタ（64）は反対方向に回転し、エンドエフェクタ（64）によって搬送される物体の中央は、第１及び第２の位置間を直線路で動く。

Description

【発明の詳細な説明】 バッチローダアーム 発明の分野 本発明による装置は、材料の搬送装置に関する。搬送される材料は、これに限 定されるものではないが、シリコンやガリウム-ヒ素のような半導体ウェーハ、 高密度結合素子のような半導体パッケージング基板、マスクやレチクルのような 半導体製造工程に使用されるイメージングプレート及びアクティブマトリクスＬ ＣＤ基板のような大領域ディスプレイパネルを含み得る。 関連出願についてのクロス・リファレンス 最初の発明は、1995年７月６日にムカ（Muka）らによって出願された「ロード ロック用ロードアーム(Load Arm For A Load Lock)」と名付けられた同時係属出 願番号第08/498,835号に関連し、該出願は、本発明の譲受人に通常に譲渡されて いる。 発明の背景 本発明は、材料の搬送装置に関し、特に、半導体ウェーハを形成する基板及び フラットパネル若しくは他の基板や媒体の製造に使用される材料の搬送装置に関 する。 例えば、半導体産業で使用されるウェーハやパネルの製造で使用されるような 限られたフットプリント（footprint）内に厳しく限定された範囲内の離れた区 間で、基板または製造中の製品を移動することのできる高ス ループットの輸送装置の需要は高い。これは半導体産業だけではなく、製造業の 製造工程においては、ある位置から次の位置まで製造中の製品を移動する場合、 高スループットを得るだけではなく、製造中の製品を反復して正確に支持面上に 所定方向に配置することをも要求されるのである。さらにあり得ないことではな く、粉塵の量を極限に抑えたクリーンルーム環境において動作可能な位置決め機 械を組み立てるという要求もある。 そこで、ステーション間で基板を直線運動させ得る線形運動ロボットアームを 回転運動させる位置決め装置の製造が試みられてきた。このようなアームは、米 国特許第4,897,015号に開示されている。該特許において、直線上のある位置か ら他の位置へシリコンウェーハのような基板を搬送できるエンドエフェクタが開 示されている。これは、関節を有する部品を回動させる2つのピボットリンケー ジとこれに駆動自在に接続した一組のプーリによって構成されている。しかしな がら、このデュアルプーリシステムは、2つの従動的に接続された駆動装置が、 エンドエフェクタの動きを制御することによる予期せぬエラーの可能性を含み、 駆動装置の各々が、ベルト／プーリでの滑動の可能性を介して独立してエラーを 起こす可能性を有している。米国特許第4,897,015号に開示の装置において、こ の滑動の問題は、駆動機構を関節を有して接合するのに用いられている狭幅ベル トにおいてさらに問題となる。 以上を鑑みて、本発明の目的は、直線路に沿った第１及び第２ステーション間 を反復動するように原料を搬送する物体搬送機構を提供することである。 本発明のさらなる目的は、積層した基板を一群として、ある位置から次の位置 まで移動する上記タイプの搬送装置を提供することであって、また処理動作のよ り大きなスループットを得ることである。 本発明のさらなる目的は、上記したタイプの搬送機構を提供することであって 、該機構は、一群として扱われる複数の基板を積層したホルダーであって、該ホ ルダーを用いて一連の動作をなすようなホルダーの提供である。 また、本発明のさらなる目的は、クリーンルーム環境においても機能しうる搬 送機構を提供することである。 本発明のさらなる目的および利点は、以下の発明の詳細な説明および請求の範 囲から明らかになるだろう。 図面の簡単な説明 図１は、本発明の搬送装置を使用し得るタイプの一組の並んだ処理ステーショ ンの部分平面図である。 図２は、本発明の搬送装置の実施例を用いた図１の処理ステーションの１つを 拡大した平面図である。 図３は、図2に示した処理ステーションの正面図である。 図４は、拡張状態の搬送装置のエンドエフェクタを示している図3に示した処 理ステーションの一部を切り取って横方向から見た立面図である。 図5A及び図5Bは、本発明の搬送装置の部分垂直断面図である。 図６は、搬送機構を達成するリンケージの平面図である。 図７は、装置が拡張及び収縮位置間において屈曲動した時のリンケージの幾つ かの位置の移動線を示す平面図である。 図８は、被駆動プーリ周囲のベルトの一端の略図である。 発明の概要 第１および第２の位置間の直線路内で物体を移動するための装置は、以下を含 む： ベース及び駆動アームは、第1のピボット軸に互いにピボット動可能に接続され ている。駆動手段は、その周りに回動する第1のピボット軸で駆動アームに接続 している。駆動アームは自由端を有し、これは第1のピボット軸と平行に配され た第２のピボット軸を有する。駆動アームの自由端は、第2のピボット軸につい て回動自在に配された少なくとも１つの物体を保持する部材をさらに含む。該手 段は、少なくとも１つの物体を保持する部材をベースに回動自在に結合するよう に与え、駆動手段の回動により、駆動アームは、一方向へ回転し、そして少なく とも１つの物体保持部材は、他の方向へ回転する。 最適な実施例の詳細な説明 図を参照して、図１に示すように、一連の処理システム20は、ウェーハ及びフ ラットパネルを含み得る平面基板上 で操作する。前述したように、「ウェーハ」または「基板」の語は、この種の基 板を称する一貫した目的で使用されるが、幅広い内容でもって全ての基板に適用 されることを意図していることを解されるだろう。処理システム20は、例えば、 壁24によって外側の環境から隔離された「クリーンルーム」22内に横に並んでい る。隔離された環境としてクリーンルームを除いて、その代わりにシステム20内 及びシステムと入出力を行う各手段内で所望のクリーン環境を保つことも可能で ある。 いずれの場合であっても、カセット26内若しくは制御された環境内にあるキャ リアボックス内の多くの基板または製造中の製品25（図２）を運ぶことが慣習的 になされる。このような例において、複数の基板は、カセット内に載置され、こ こで各々が、一定に離間して積層、支持されて、そして手動若しくはその他の方 法で搬送される。そして、処理に入るまで待機する付随システム20に隣接する棚 28に配置する。エントリドア34（図2、3、4）が、載置ポート35（図4）を通って 接近して開動したとき、あらかじめカセットは、手動若しくはロボットで、外部 からロードロック32内の待機室30に配されている。記載の如き搬送装置36によっ て、カセット26内の複数の基板25は、カセットの棚から持ち上げられ、そして装 置36の1回の動作でロードロックステーション32のチャンバ30内に積み上げるよ うに移動される。続いて、もう一つの装置によって、基板25は一つ ずつ搬送室38へ、そして、そこから複数の処理ステーション40のうちの少なくと も1つに移動する。 図4および5に示したように、搬送装置36は、矢印で示したＺ軸に沿って垂直動 するようにエレベータ機構44の上部に取り付けられる。エレベータ機構44は、ス テーション32の中で支持されて、制御されて且つ選択的に装置36を異なる高さの 位置に配する。図5に示すように、この目的のためにエレベータ機構44は、昇降 シャフト56を含み、これは、Ｚ軸に沿って垂直方向にシャフト56を移動すること を担っている昇降チューブ54に駆動自在に接続している。昇降シャフト56の頂部 には据え付けブロック51が配され、据え付けブロック51は、ねじ切りされたボル トの適当な一組によってシャフト56に動かないように固定されている。 図5に示されるような方法で、据え付けブロック51の表面に片持支持された支 持アーム52は、回転しないように据え付けブロック51に固着されている。支持ア ーム52の自由端53は、図示された軸AXについて回転自在に駆動アーム60を枢支し ている。駆動アーム60の自由端61は、一定間隔で積み重ねられ且つ図示した軸MX について回転自在であるエンドエフェクタ66の複数64を個々に支持している。駆 動アーム60と異なり、支持アーム52は、Z-軸方向の動き以外は固定されている。 しかしながら、駆動アーム60及びエンドエフェクタの複数64は、支持アーム52に 関して回転動及び線形動するのである。 駆動アーム60及び複数のエンドエフェクタ64間の相対運動及び支持アーム52に 対してのこれら部材間の相対運動は、模式的に示されたロータリーアクチュエー タ70によって達成される。アクチュエータ70は、ステーション32のハウジングに 固着され、そして回転軸AXに平行な出力軸74を有し、これによって、駆動カップ リング手段71を介して図示された軸AXについて駆動アーム60を直接回転させてい る。実施例において最適なロータリーアクチュエータ70は、市販のものであって 、ニューヨークにあるハウパージ社（Hauppauge）製のハーモニックドライブと して売られている。 駆動カップリング手段71は、モータ70の出力軸74に対して軸AXについての回転 を固定されたクレイドル76を含み、さらにシャフト84に従属する一般的なＴ形コ ネクタ82を含み、そして駆動アーム60に駆動自在に接続されている。シャフト84 は、支持アーム52の自由端53に形成された開口49内に配される軸受アセンブリ72 の一部分であって、軸受アセンブリ72は、図示された軸AXについてシャフト84を 回動自在に枢支している。シャフト84の一部のＴ形部分は、出力軸74および被駆 動シャフト84とを回転自在に結合するのに十分な深さを有するクレイドル76に形 成された切欠き80内に受けられていて、図示したZ-軸に沿った支持アーム52の垂 直動を制限している。 軸受アセンブリ72は、さらに支持アーム52の環状の開口 部内に回動自在に取り付けられたボス86を含み、その中で環状レースベアリング 88によって支持されている。底部でボス86は、図示した軸AXについて同心に駆動 回転するよう被駆動シャフト84に回転しないように接続している。また、頂部で ボス86は、かしめナット90を介して駆動アーム60の並置された端部に回転しない ように接続している。したがっで、軸AXに関してロータリーアクチュエータ70が 回転し、シャフト84は、出力軸74の回転に関して１対１の角度比になるよう駆動 アーム60を回転させるように回転駆動せしめられる。 滑らかな表面の円筒形のベースプーリ92は、回転軸AXについて同心且つボス86 について同心に支持アーム52の自由端に回転しないように据え付けられている。 ベースプーリ92は、ギャップ91によって駆動アーム60の対峙する表面から離間さ れており、ギャップ91はこれらの2つの相対運動する部品間の摩擦による干渉を 防いでいる。 駆動アーム60の自由端61で、据え付けシャフト62を軸受接続し、図示した軸MX に関して回動するように配されている。据え付けシャフト62は、ベアリングアセ ンブリ94内に軸受接続されており、このベアリングアセンブリ94は、駆動アーム 60の自由端に形成された開口部95の中に据え付けられている。据え付けシャフト 62は、これと回転しないように固着している頂部プレート97を有し、一定間隔に 離間されて配置されたエンドエフェクタ66をその上に据え付け ている。 各エンドエフェクタは、互いを離間する端部ブロック99を含んでいて、故に、 間隔Sで積み重ねられた配列をなす。各エンドエフェクタ端部ブロックは、対を なす開口部100を有しており、これらは、隣接するエンドエフェクタの並置され た１つにおいて開口するように配列されており、その中に細長いねじ切りされた 部材93を受け入れて構成されている。各ねじ切りされた部材93の下端は、頂部プ レート97へ嵌入され、各上端は、図示した方法でロックナットによって固定され ている。間隔Sは、基板25を並列に並べたエンドエフェクタ66の間の間隔内に受 け入れるのに十分である点に注目し、またそれらの間を滑るプレート状の昇降ア ームのようなツールであってもよい。 据え付けシャフト62の底端部には、ベースプーリ92で発生する動きに連動する 滑らかな表面の円筒形の被駆動プーリ96が与えられている。駆動プーリ92及び被 駆動プーリ96は、幅WDを有する薄い薄板の金属バンド98を介して互いに連結され ており、金属バンド98は、ベース及び被駆動プーリ92、96の有効な駆動及び被駆 動表面を完全に覆っている。 詳細は後述するが、ベースプーリ92の直径は、被駆動プーリ96の直径の２倍であ ると理解すべきである。 また、バンド98は、参照番号98A、98Bおよび98Cの3つの区分から成り立ってい る。セグメント98Aの一端は、それぞれ点UおよびVでそれぞれベースプーリ92お よび被駆動プ ーリ96の表面に固着している。セグメント98Bの一端は、また、点Uでベースプー リ92に固着し、故に、セグメント98Aと共通の終点である。セグメント98Cの一端 は、点Wで被駆動プーリ96の表面に固着している。セグメント98Bおよび98Cの他 方の端部は、引っ張り装置110によって互いに接続されている。ある程度の幅WD を有する薄板の金属バンドを用いることは、剛性を増す目的に有益である。また 、例えば１インチの厚さの薄板の金属バンドを使用することは、バンドがその幅 全体の半分を切られたとしても、まだその剛性を維持することができる。これは 、特にセグメント98Aおよび98Cにおいて役に立ち、図８に示すように、一端が半 分にカットされている故、カットされた幅を有する端部は、並んで配置されてお り、被駆動プーリ96の表面の一部を共有し、異なる角度位置でアンカーを構成す る。 図６および７に示したように、駆動アーム60は、さらに格納ばね100を介して 支持アーム52に接続している。例えば、図７に示したように、位置101に参照軸M Xがある条件で格納ばね100は、格納された位置にあって、駆動アーム60にバイア スをかけるために用いられている。 図７の位置A-Bに示したように、動作中に、搬送装置36は、略直線路に沿って 複数の積み重ねられた基板25（または単一の基板であってもよい）の中央Cを移 動することができる。位置A-Bは、カセット28（位置A）及びロッキングステーシ ョン32の内部境界（位置B）間における基板25の 移動を示す直線LLによって結ばれている。 軸MXの動きによって、複数のエンドエフェクタ64と関連して駆動アーム60の関 節を有した動きがわかるだろう。屈曲状態において、複数のエンドエフェクタ64 は、図示したようにロードステーション32内に収納されており、軸MXは10時位置 101にある。ロータリーアクチュエータ70の出力軸74が反時計方向に回転するこ とによって、駆動アーム60は、図７に示された10時位置から、位置102のMX軸の 中間の通常位置に対応する8時位置に移動する。 位置101から102まで駆動アーム60を回転させる際において、エンドエフェクタ 66に対する効果は、据え付けシャフト62が反対の時計回りの方向CWへ回転させら れるということである。ベースプーリ92の直径が被駆動プーリ96の直径の２倍で ある故、回転運動をエンドエフェクタ66に変換し、66によって、基板25の中心C は直線経路LLに沿って位置104で図示される展開位置に移動する。時計回り方向 に駆動アーム60が回転すると、据え付けシャフト62に関し及び駆動アーム60の回 転の２倍の値で反対方向に回転する。このように、回転している間、基板25の中 心Cは、作用線LLに沿った直線形路を移動する。 駆動アーム及び複数のエンドエフェクタの屈曲にあっては、前述のプロセスの 反対によって達成され、反時計回りの方向に回転する代わりにロータリーアクチ ュエータ70は、時計方向に回転して、番号101によって示される位置へ戻 って、駆動アームを屈曲位置にさせられる。 エンドエフェクタ66の積み重ね配列の有効性は、プラットホームとして搬送装 置36を用いたシステムをなすことであって、次の動作は、ステーション38に１つ １つ運ばれた基板を操作することが出来るのである。すなわち、従来、全カセッ ト28を図７の点Aから点Bまで移動してから、基板25を一つずつ操作するためにカ セット内の多数の棚の間を垂直に移動し若しくはカセットをステーション38に関 して垂直方向に移動するステーション38内のツールに頼る必要があった。しかし ながら、本発明によって、点Aから点Bまでカセット28を移動するステップが省か れることにより、高いスループット及び使用効率がもたらされるのである。 従来例より改良された搬送装置を、最適な実施例を用いて記載してきた。しか しながら、本発明の精神から逸脱することなく、多数の変更の態様及び置換が可 能である。特に、本発明は、反時計回り若しくは時計回り、垂直、水平及び他の 角の名称を参照して記載されている。しかし、この種の名称は、説明のみに使わ れており、これらの方向に本発明の範囲を制限するものではない。 それゆえに、本発明は、図によって記載される通りであって、限定されるもの ではない。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】平成１０年６月２２日（１９９８．６．２２） 【補正内容】 16． 物体を搬送する方法であって、 カセット内に複数の物体を供給して、垂直方向の積み重ね配列に物体を配 列するステップと、 互いに一定間隔に配列された複数のエンドエフェクタを有する搬送機構を 与え、前記エンドエフェクタの各々は、基板を保持する配列された中央を有し、 前記複数のエンドエフェクタは、前記搬送機構に隣接して位置するカセット内の 位置に対応する第１の位置と、カセットの遠方に配され且つ前記複数の物体に基 づいて１つずつを配置するツールに近接した位置である第２の位置と、の間で移 動するステップと、 エンドエフェクタをカセット内に移動して前記物体を移動し、前記物体の １つ以上を受け取り、カセットからその上に物体をのせた複数のエンドエフェク タを再び移動し、そして前記第２の位置に複数のエンドエフェクタを移動し、前 記第２の位置にあるとき、複数のエンドエフェクタを一定間隔で垂直方向に積み 重ねた配置に保持するステップと、 第２のステーションで１つずつ操作されて保持された複数の物体に対する ホルダとして複数のエンドエフェクタを用いるステップと、 駆動バンドを用いて前記第１及び第２の位置間で前記複数のエフェクタを 駆動して、前記駆動エフェクタの中央が、前記第１及び第２の位置間で直線とな るように移動 するステップと、からなることを特徴とする処理ステーション内の1点から次へ 物体を搬送する方法。 17． 真空帯内で１つずつ操作されて隣接位置に複数のエンドエフェクタを配置 するステップをさらに含むことを特徴とする請求項16記載の方法。 18． 第1ピボット軸について互いにピボット動可能に接続されたベース及び駆 動アームと、 前記第1ピボット軸について、その周りに回動自在に接続された駆動手段 と、 結合手段と、からなり、 前記駆動アームは、前記第1のピボット軸と平行に配された第２のピボッ ト軸を自由端に有し、 前記駆動アームの自由端は、前記第2のピボット軸について回動自在に配 された少なくとも１つの物体保持部材をさらに含み、 前記結合手段は、前記駆動手段の回転の際に、前記駆動アームが一方向へ 回転するとともに前記少なくとも１つの物体保持部材は反対方向に回転するよう に前記複数の物体保持部材を前記ベースに結合し、さらに、前記結合手段は、複 数の部分からなるベルトループを含み、減じられた幅を有する少なくとも２つの 部分は、前記第１及び第２のピボット軸のうちの１つの周りの複数の位置で重な って接続している、ことを特徴とする装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ， ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，Ｓ Ｄ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ， ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，Ｆ Ｉ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＨＵ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ， ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，Ｍ Ｘ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ， ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ (72)発明者 キレイ クリストファー シー. アメリカ合衆国 マサチューセッツ州 01773 リンカーン インディアンキャン プレーン 42ビー.

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 第1ピボット軸について互いの一端をピボット動可能に接続されたベース 及び駆動アームと、 前記第1ピボット軸で、その周りに回転自在に前記駆動アームに接続され た駆動手段と、 結合手段と、からなり、 前記駆動アームは、前記第1のピボット軸と平行に配された第2のピボット 軸を自由端に有し、 前記駆動アームの自由端は、前記第2のピボット軸について回転自在に配 された少なくとも１つの物体保持部材をさらに含み、 前記結合手段は、前記駆動手段の回転の際、前記駆動アームが一方向へ回 転するとともに前記少なくとも１つの物体保持部材は反対方向に回転するように 前記少なくとも１つの物体保持部材を前記ベースに回動自在に結合し、さらに前 記結合手段は、複数の部分からなるベルトループを含み、減じられた幅を有する 少なくとも２つの部分は、前記第１及び第２のピボット軸のうちの１つの周りの 複数の位置で重なって接続している、ことを特徴とする装置。 ２． 前記ベースは、前記駆動アームが回転自在に枢支された軸受手段を有して いることを特徴とする請求項１記載の装置。 ３． 前記軸受手段は、前記第１のピボット軸に回動自在に枢支されているボス を含み、前記ボスは、前記駆動アー ムを前記駆動手段に回動自在に結合し、前記駆動アームは、前記駆動手段の出力 と同方向に回転することを特徴とする請求項２記載の装置。 ４． 前記軸受手段は、前記ベースに固着したベースプーリをさらに含むことを 特徴とする請求項３記載の装置。 ５． 前記駆動アームの前記自由端は、前記ベースプーリと一直線上に配され且 つ前記ベルトループを介して接続された被駆動プーリをさらに含むことを特徴と する請求項４記載の装置。 ６． 前記ベースプーリの直径は、前記被駆動プーリの直径の２倍であることを 特徴とする請求項５記載の装置。 ７． 前記少なくとも１つの物体保持部材は、積み重ね配列され且つ据え付けシ ャフト上に互いの間隔を均等に支持された複数の物体保持部材を含むことを特徴 とする請求項６記載の装置。 ８． 前記据え付けシャフトは、前記複数の物体保持部材をその上に固定した天 板を含むことを特徴とする請求項７記載の装置。 ９． 前記駆動手段は、変化した高さ位置で前記ボスを回転自在であって垂直方 向に従属する結合手段を介して前記ボスと接続することを特徴とする請求項８記 載の装置。 10． 前記垂直方向に従属する結合手段は、前記駆動手段を構成する駆動モータ の出力軸に非回転に結合するクレイドル部材と、前記ボスに従動し且つ前記クレ イドル部材に 調整自在且つ移動自在に接続されたＴ字型プロジェクションと、を含むことを特 徴とする請求項９記載の装置。 11． バッチローダであって、 第１端と反対の第２端とを有し、前記第１端は、支持スタンドの動きに対 して固定されており、前記第２端は、第１回転軸について駆動アームをピボット 回転させる軸受部材を固定するベースアーム機構と、 エンドエフェクタと、からなり、 前記第１回転軸と同一の位置に位置し、前記ベースアームを介して駆動ア ームを同一の回転方向に駆動的に回転する駆動部材と、からなり、 前記駆動アームは、第２回転軸について回転する積み重ね配列された複数 のエンドエフェクタを据え付けた他端を有し、 前記複数のエンドエフェクタは、前記駆動手段が第１の方向に回転の際、 複数のエンドエフェクタを第２のピボット軸について２倍の角度だけ反対方向に 回転するように、前記ベースアームの前記第１の端部に通常において位置する前 記ベースプーリに掛けられた金属ベルトを介して前記ベースアームに関して回動 自在に結合し、さらに、前記金属ベルトは、複数の部分からなり、減じられた幅 を有する少なくとも２つの部分は、前記ベースアーム機構及び被駆動プーリのう ちの１つの周りの複数の位置で重なって接続している、ことを特徴とするバッチ ローダ。 12． 前記ベースアームは、異なった水平面に垂直移動する前記支持スタンドに 支持されていることを特徴とする請求項11記載のバッチローダ装置。 13． 垂直方向に従属する結合手段は、変化した高さ位置で前記駆動アームを回 動自在に駆動させることを特徴とする請求項11記載のバッチローダ。 14． 前記ベースプーリは、前記複数のエンドエフエクタに駆動自在に結合する 被駆動プーリに接続し、前記ベースプーリは、前記支持スタンドに固着している ことを特徴とする請求項11記載のバッチローダ。 15． 前記少なくとも２つの部分は、減じられた幅を有し、異なった角度位置で 被駆動プーリについて重なって接続している、ことを特徴とする請求項11記載の バッチローダ。 16． 物体を搬送する方法であって、 カセット内に複数の物体を供給して、垂直方向の積み重ね配列に物体を配 列するステップと、 互いに一定間隔に配列された複数のエンドエフェクタを有する搬送機構を 与え、前記搬送機構は、前記搬送機構に隣接して位置するカセット内の位置に対 応する第１の位置と、カセットの遠方に配され且つ複数の物体に基づいて１つず つを配置するツールに近接した位置である第２の位置と、の間で移動するステッ プと、 エンドエフェクタをカセット内に移動して前記物体を移動し、前記物体の １つ以上を受け取り、その上に物体 をのせた複数のエンドエフェクタを再び移動し、そして前記第２の位置に複数の エンドエフェクタを移動し、前記第２の位置にあるとき、複数のエンドエフェク タを一定間隔で垂直方向に積み重ねた配置に保持するステップと、 第２のステーションで１つずつ操作されて保持された複数の物体に対する ホルダとして複数のエンドエフェクタを用いるステップと、からなることを特徴 とする処理ステーション内の1点から次へ物体を搬送する方法。 17． 複数のエンドエフェクタを保持する垂直方向に移動可能なスタンドを与え るステップをさらに含むことを特徴とする請求項16記載の方法。 18． 真空内で１つずつ操作されて隣接位置に複数のエンドエフェクタを配する ステップをさらに含むことを特徴とする請求項16記載の方法。