KR102153608B1

KR102153608B1 - 전자 디바이스 제조 시스템들에서 기판들을 운송하기 위한 붐 구동 장치, 멀티-아암 로봇 장치, 전자 디바이스 프로세싱 시스템들, 및 방법들

Info

Publication number: KR102153608B1
Application number: KR1020157003085A
Authority: KR
Inventors: 제프리 씨. 허진스; 이즈야 크레머맨; 제프리 에이. 브로딘
Original assignee: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Priority date: 2012-07-05
Filing date: 2013-06-21
Publication date: 2020-09-08
Also published as: TW201410414A; CN104428884A; WO2014008009A1; JP2015526896A; JP6285926B2; US20140010625A1; KR20150038000A; CN104428884B; TWI577510B; US9033644B2

Abstract

기판 운송 시스템들 및 방법들을 위한 붐 구동 장치가 설명된다. 붐 구동 장치는, 기판들을 효율적으로 두거나 피킹하기 위해서 붐에 회전식으로 장착된 하나 또는 그 초과의 멀티-아암 로봇들을 구동하도록 이루어진다. 붐 구동 장치는 허브, 웹, 웹 위의 제 1 파일럿, 및 웹 아래의 제 2 파일럿을 포함하는 붐, 제 1 파일럿에 회전식으로 장착된 제 1 구동 부재, 제 2 파일럿에 회전식으로 장착된 제 2 구동 부재, 웹 위의 붐에 회전식으로 장착된 제 1 피구동 부재, 웹 아래의 붐에 회전식으로 장착된 제 2 피구동 부재, 및 구동 부재들을 붐 상의 선외부에 로케이팅된 피구동 부재들에 커플링시키는 제 1 및 제 2 전달 부재들을 갖는다. 다양한 다른 양태들이 제공된다.

Description

전자 디바이스 제조 시스템들에서 기판들을 운송하기 위한 붐 구동 장치, 멀티-아암 로봇 장치, 전자 디바이스 프로세싱 시스템들, 및 방법들 {BOOM DRIVE APPARATUS, MULTI-ARM ROBOT APPARATUS, ELECTRONIC DEVICE PROCESSING SYSTEMS, AND METHODS FOR TRANSPORTING SUBSTRATES IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS}

본원은, "BOOM DRIVE APPARATUS, MULTI-ARM ROBOT APPARATUS, ELECTRONIC DEVICE PROCESSING SYSTEMS, AND METHODS FOR TRANSPORTING SUBSTRATES IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTMES" 라는 명칭으로 2012년 7월 5일 출원된 미국 가 특허 출원 제 61/668,118 호(대리인 문서 번호 제 17112-L/FEG/SYNX/CROCKER S)의 우선권을 주장하고, 상기 미국 가 특허 출원의 개시내용은 그 전체가 인용에 의해 본원에 포함된다.

본 발명은 전자 디바이스 제조에 관한 것으로, 더 구체적으로, 기판들을 운송하기 위한 장치, 시스템들, 및 방법들에 관한 것이다.

종래의 전자 디바이스 제조 시스템들은 다중 프로세스 챔버들 및 로드 록(load lock) 챔버들을 포함할 수 있다. 그러한 챔버들은 클러스터 툴들에 포함될 수 있고, 클러스터 툴들에서는 복수의 챔버들이, 예를 들어 이송 챔버 주위에 제공될 수 있다. 이러한 시스템들 및 툴들은 로봇을 채용할 수 있고, 로봇은, 예를 들어 여러 가지 프로세스 챔버들과 로드 록 챔버들 사이에서 기판들을 운송하기 위해서, 이송 챔버에 하우징될 수 있다. 예를 들어, 로봇은 기판들을 프로세스 챔버로부터 프로세스 챔버로, 로드 록 챔버로부터 프로세스 챔버로, 그리고/또는 프로세스 챔버로부터 로드 록 챔버로 운송할 수 있다. 여러 가지 시스템 챔버들 사이에서 기판들의 효율적이고 정밀한 운송은 시스템 처리량을 개선하기 위해, 그리고 따라서 전체 작동 비용을 낮추기 위해 바람직할 수 있다. 본 발명과 관련된 선행기술문헌으로는 US 2001/0036398A1 (2001-11-01 공개), US 2012/0141235A1 (2012-06-07 공개), US 8,016,542B2 (2011-09-13 공개), US 06105454A (2000-08-22 공개), 및 JP 2008/272864A (2008-11-13 공개)가 있다.

따라서, 기판들의 효율적이고 정밀한 이동을 위한 시스템들, 장치, 및 방법들이 요구된다.

일 양태에서, 붐 구동(boom drive) 장치가 제공된다. 붐 구동 장치는, 허브(hub), 및 허브로부터 연장되는 웹(web)을 포함하는 붐 － 허브는 웹 위의 제 1 방향으로 연장되는 제 1 파일럿(pilot), 및 웹 아래의 제 2 방향으로 연장되는 제 2 파일럿을 가짐 －, 제 1 파일럿에 회전식으로(rotationally) 장착된 제 1 구동(driving) 부재, 제 2 파일럿에 회전식으로 장착된 제 2 구동 부재, 제 1 선외(outboard) 위치에서 웹 위의 붐에 회전식으로 장착된 제 1 피구동(driven) 부재, 제 2 선외 위치에서 웹 아래의 붐에 회전식으로 장착된 제 2 피구동 부재, 제 1 구동 부재를 웹 위의 제 1 피구동 부재에 커플링시키는 제 1 전달(transmission) 부재, 및 제 2 구동 부재를 웹 아래의 제 2 피구동 부재에 커플링시키는 제 2 전달 부재를 포함한다.

다른 양태에서, 로봇 장치가 제공된다. 로봇 장치는 붐 구동 장치, 제 1 멀티-아암 로봇, 및 제 2 멀티-아암 로봇을 포함하고, 붐 구동 장치는 주(primary) 회전 축을 중심으로 회전되도록 이루어진 붐 － 붐은 허브, 및 허브로부터 방사상으로 연장되는 웹을 포함하고, 허브는 웹 위의 제 1 방향으로 연장되는 제 1 파일럿, 및 웹 아래의 제 2 방향으로 연장되는 제 2 파일럿을 가짐 －, 제 1 파일럿에 회전식으로 장착된 제 1 구동 부재, 제 2 파일럿에 회전식으로 장착된 제 2 구동 부재, 웹 위의 제 1 선외 단부에서 붐에 회전식으로 장착된 제 1 피구동 부재, 웹 아래의 제 1 선외 단부에서 붐에 회전식으로 장착된 제 2 피구동 부재, 제 1 구동 부재를 웹 위의 제 1 피구동 부재에 커플링시키는 제 1 전달 부재, 및 제 2 구동 부재를 웹 아래의 제 2 피구동 부재에 커플링시키는 제 2 전달 부재를 가지며, 제 1 멀티-아암 로봇은 제 1 선외 단부에서 붐에 회전식으로 커플링되고, 그리고, 제 1 피구동 부재에 커플링된 제 1 상부 아암, 제 1 포어아암(forearm), 제 1 리스트(wrist) 부재, 및 제 1 기판을 지지하도록 이루어진 제 1 엔드 이펙터(end effector)를 가지며, 제 2 멀티-아암 로봇은 제 1 선외 단부에서 붐에 회전식으로 커플링되고, 그리고, 제 2 피구동 부재에 커플링된 제 2 상부 아암, 제 2 포어아암, 제 2 리스트 부재, 및 제 2 기판을 지지하도록 이루어진 제 2 엔드 이펙터를 갖는다.

다른 양태에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템이 제공된다. 시스템은 이송 챔버, 이송 챔버에 수용되고 다수의 기판들을 운송하도록 이루어진 로봇 장치를 포함하고, 로봇 장치는 붐 구동 장치, 제 1 멀티-아암 로봇, 및 제 2 멀티-아암 로봇을 가지며, 붐 구동 장치는 주 회전 축을 중심으로 회전되도록 이루어진 붐 － 붐은 허브, 및 허브로부터 방사상으로 연장되는 웹을 포함하고, 허브는 웹 위의 제 1 방향으로 연장되는 제 1 파일럿, 및 웹 아래의 제 2 방향으로 연장되는 제 2 파일럿을 가짐 －, 제 1 파일럿에 회전식으로 장착된 제 1 구동 부재, 제 2 파일럿에 회전식으로 장착된 제 2 구동 부재, 웹 위의 선외 단부에서 붐에 회전식으로 장착된 제 1 피구동 부재, 웹 아래의 선외 단부에서 붐에 회전식으로 장착된 제 2 피구동 부재, 제 1 구동 부재를 웹 위의 제 1 피구동 부재에 커플링시키는 제 1 전달 부재, 및 제 2 구동 부재를 웹 아래의 제 2 피구동 부재에 커플링시키는 제 2 전달 부재를 가지고, 제 1 멀티-아암 로봇은 제 1 선외 단부에서 붐에 회전식으로 커플링되고, 그리고, 제 1 피구동 부재에 커플링된 제 1 상부 아암, 제 1 포어아암, 제 1 리스트 부재, 및 제 1 기판을 지지하도록 이루어진 제 1 엔드 이펙터를 가지며, 제 2 멀티-아암 로봇은 제 1 선외 단부에서 붐에 회전식으로 커플링되고, 그리고, 제 2 피구동 부재에 커플링된 제 2 상부 아암, 제 2 포어아암, 제 2 리스트 부재, 및 제 2 기판을 지지하도록 이루어진 제 2 엔드 이펙터를 갖는다.

다른 양태에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 운송하는 방법이 제공된다. 방법은 붐 구동 장치를 제공하는 단계 ― 붐 구동 장치는, 허브, 및 허브로부터 방사상으로 연장되는 웹을 포함하는 붐 － 허브는 웹 위의 제 1 방향으로 연장되는 제 1 파일럿, 및 웹 아래의 제 2 방향으로 연장되는 제 2 파일럿을 가짐 －, 제 1 파일럿에 회전식으로 장착된 제 1 구동 부재, 제 2 파일럿에 회전식으로 장착된 제 2 구동 부재, 웹 위의 제 1 선외 단부에서 붐에 회전식으로 장착된 제 1 피구동 부재, 웹 아래의 제 1 선외 단부에서 붐에 회전식으로 장착된 제 2 피구동 부재, 제 1 구동 부재를 웹 위의 제 1 피구동 부재에 커플링시키는 제 1 전달 부재, 및 제 2 구동 부재를 웹 아래의 제 2 피구동 부재에 커플링시키는 제 2 전달 부재를 가짐 ―, 제 1 멀티-아암 로봇을 붐의 제 1 선외 단부에 커플링시키는 단계, 제 2 멀티-아암 로봇을 붐의 제 1 선외 단부에 커플링시키는 단계, 제 1 구동 부재를 구동하는 것에 의해서 제 1 멀티-아암 로봇을 구동하는 단계, 그리고 제 2 구동 부재를 구동하는 것에 의해서 제 2 멀티-아암 로봇을 구동하는 단계를 포함한다.

본 발명의 이러한 그리고 다른 실시예들에 따라 수많은 다른 양태들이 제공된다. 본 발명의 실시예들의 다른 특징들 및 양태들이 이하의 상세한 설명, 첨부된 청구항들, 및 첨부된 도면들로부터 더 완전히 자명해질 것이다.

도 1은 실시예들에 따른 붐 구동 장치를 구비한 멀티-아암 로봇 장치를 포함하는 전자 디바이스 프로세싱 시스템의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 2는 실시예들에 따른 붐 구동 장치를 포함하는 멀티-아암 로봇 장치의 부분적인 측단면도를 도시한다.
도 3a는 실시예들에 따른 붐 구동 장치에 의해서 구동되고 장착되도록 이루어진 이중(dual) 멀티-아암 로봇 장치의 등각도(isometric view)를 도시한다.
도 3b는 실시예들에 따른 붐 구동 장치를 포함하는 멀티-아암 로봇 장치의 밑면(underside) 등각도를 도시한다.
도 3c는 실시예들에 따른 붐 구동 장치를 포함하는 멀티-아암 로봇 장치의 상면 등각도를 도시한다.
도 3d는 실시예들에 따른, 홈 포지션(home position)으로 도시된 붐 구동 장치를 포함하는 멀티-아암 로봇 장치의 평면도를 도시한다.
도 3e는 실시예들에 따른, 연장된 포지션으로 도시된 붐 구동 장치를 포함하는 멀티-아암 로봇 장치의 평면도를 도시한다.
도 4는 실시예들에 따른 멀티-아암 로봇의 구성의 측단면도를 도시한다.
도 5a는 실시예들에 따른, 정상부 커버의 중앙 부분이 제거된 붐 구동 장치의 상면 등각도를 도시한다.
도 5b는 실시예들에 따른 붐 구동 장치의 상면 등각도를 도시한다.
도 5c는 실시예들에 따른, 붐으로부터 제거된 붐 구동 장치의 구동 컴포넌트들의 밑면 등각도를 도시한다.
도 5d는 실시예들에 따른 붐의 상면 등각도를 도시한다.
도 5e는 실시예들에 따른 붐의 밑면 등각도를 도시한다.
도 6은 실시예들에 따른 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 운송하는 방법을 서술하는 흐름도이다.

전자 디바이스 제조는 여러 가지 위치들 사이에서 기판들의 매우 정밀하고 빠른 운송을 필요로 할 수 있다. 특히, 몇몇 실시예들에서, 이중 엔드 이펙터들을 포함하는 멀티-아암 로봇 장치는 로봇 장치의 하나 또는 그 초과의 측들(sides)에 부착될 수 있고, 엔드 이펙터들 위에 놓인 기판들을 전자 디바이스 프로세싱 시스템의 트윈(twin) 챔버들로 그리고 그러한 챔버들로부터 운송하도록 이루어질 수 있다. 그러한 시스템들은, 픽 앤 플레이스(pick and place) 작동들이 챔버에서 일어날 수 있도록, 구성 위에/아래에 배열된 멀티-아암 로봇들을 포함할 수 있다. 몇몇 개의(so many) 이동하는 로봇 아암들 및 엔드 이펙터들의 상대적으로 높은 질량(mass)을 고려해 볼 때, 로봇 메커니즘의 조립(assembly) 및 강성(rigidity)에 대한 요구 사항들이 중요해질 수 있다.

따라서, 하나 또는 그 초과의 실시예들에서, 전자 디바이스 제조에서 기판들을 챔버들(예를 들어, 트윈 챔버들)로 그리고 그러한 챔버들로부터 운송하는데 사용될 수 있는 로봇 장치가 제공될 수 있다.

본 발명의 하나 또는 그 초과의 실시예들에 따라, 붐 구동 장치가 제공된다. 붐 구동 장치는 붐의 선외 단부에 부착된 하나 또는 그 초과의 멀티-아암 로봇들을 구동하도록 작동하면서, 조립의 용이성 및 적합한 강성을 제공한다. 붐 구동 장치는, 허브, 및 허브로부터 연장되는 웹을 포함하는 붐, 웹 위에 회전식으로 장착된 제 1 구동 부재, 웹 아래에 회전식으로 장착된 제 2 구동 부재, 웹 위의 선외 단부에 회전식으로 장착된 제 1 피구동 부재, 웹 하래의 선외 단부에 회전식으로 장착된 제 2 피구동 부재, 및 각각의 구동 부재들을 웹 위의 및 아래의 피구동 부재들에 커플링시키는 전달 부재들을 포함한다.

본 발명의 하나 또는 그 초과의 실시예들에 따라, 로봇 붐 구동 장치를 포함하는 로봇 장치 및 전자 디바이스 프로세싱 시스템들이 제공된다.

본 발명의 하나 또는 그 초과의 부가적인 실시예들에 따라, 붐 구동 장치를 포함하는 전자 디바이스 프로세싱 시스템을 이용해 기판들을 이송하는 방법들이 제공된다.

본 발명의 예시적인 실시예들의 추가적인 세부 사항들은 도 1-6을 참조하여 설명된다.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)의 예시적인 실시예의 개략적인 블럭도이다. 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)은 이송 챔버(102)를 정의하는 벽들을 갖는 하우징(101)을 포함할 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 멀티-아암 로봇 장치(103)가 이송 챔버(102) 내에 적어도 부분적으로 하우징될 수 있다. 특히, 이동 가능한 아암들이 이송 챔버(102)에 하우징될 수 있는 한편, 구동 모터들은 이송 챔버(102)의 외부에 상주할 수 있다. 멀티-아암 로봇 장치(103)는 본원에서 이하에서 완전히 설명되는 붐 구동 장치(104)의 작동을 통해서 기판들(105A, 105B, 및 105C, 105D)을 목적지들로 그리고 그러한 목적지들로부터 위치시키거나 빼내도록(extract) 이루어질 수 있다. 목적지들은 이송 챔버(102)에 커플링되고 이송 챔버로부터 액세스 가능한 트윈 챔버들(예를 들어, 트윈 챔버들(106A, 106B); 트윈 챔버들(106C, 106D); 및/또는 트윈 챔버들(106E, 106F))일 수 있다. 트윈 챔버들은 나란히(side-by-side) 상주하고, 대체로(generally) 평행한 패싯들(facets)을 갖는다. 선택적으로, 목적지들은 나란한 로드 록 챔버들(108)일 수 있고, 로드 록 챔버들은 이송 챔버(102)에 커플링될 수 있다.

프로세스 챔버들(106A-106F)은 임의의 개수의 프로세스 단계들, 예컨대 증착, 산화, 질화, 에칭, 폴리싱, 세정, 또는 리소그래피(lithography) 등을 수행하도록 이루어질 수 있다. 다른 프로세스들이 프로세스 챔버들에서 수행될 수 있다. 로드 록 챔버들(108)은 팩토리 인터페이스(factory interface; 110)와 인터페이싱 하도록, 팩토리 인터페이스로부터 기판들을 수용하도록, 또는 팩토리 인터페이스에 기판들을 제공하도록 이루어질 수 있다. 로드 록 챔버들(108)은 팩토리 인터페이스(110)의 로드 포트들에 도킹된(docked) 기판 캐리어들(112)로부터 하나 또는 그 초과의 기판들을 수용할 수 있다. 기판들은 팩토리 인터페이스(110)의 로봇(113)(점선으로 도시됨)에 의해 이송될 수 있고 그리고 이송은 화살표(114)에 의해 표시된 바와 같이 임의의 시퀀스 또는 방향으로 일어날 수 있다. 본원에서 사용되는 바와 같은 기판들은 전자 디바이스들 또는 회로 컴포넌트들을 만드는데 사용되는 물품들(articles), 예컨대 실리콘-함유 웨이퍼들, 박형(thinned) 웨이퍼들, 실리콘 웨이퍼 서브조립체들(subassemblies), 실리콘 관통 비아(through silicon via; TSV) 및 웨이퍼 레벨 패키징(WLP)과 같은 실리콘 웨이퍼 패키지들 및 조립체들, 사파이어 웨이퍼들 및/또는 웨이퍼 캐리어들, 유리 플레이트들, 유리 마스크들, 또는 유리 패널들 등을 의미할 것이다. 로봇(103)은 또한, 기판 캐리어들을 이송하는데 사용될 수 있다.

몇몇 실시예들에서, 이송 챔버(102)는 예를 들어, 진공 하에서 작동될 수 있다. 로드 록 챔버들(108) 및 프로세스 챔버들(106A-106F)의 각각은 챔버들의 입구/출구에 슬릿 밸브들(109)을 포함할 수 있고, 슬릿 밸브들은 기판들(105A-105D)을 로드 록 챔버들(108) 및 프로세스 챔버들(106A-106F)에 그리고 그러한 챔버들로부터 위치시키거나 빼낼 때 입구/출구를 개방 및 폐쇄하도록 이루어질 수 있다. 슬릿 밸브들(109)은 임의의 적합한 종래의 구조물(construction)일 수 있다. 이하에서 분명해질 바와 같이, 제어기(115)로부터의 멀티-아암 로봇 장치(103)에 대한 적합한 커맨드들(commands)에 의해, 멀티-아암 로봇 장치(103)의 여러 가지 컴포넌트들의 움직임이 제어될 수 있다.

이제 도 2를 참조하면, 붐 구동 장치(104)를 갖는 멀티-아암 로봇 장치(103)의 부분적인 단면도가 도시된다. 멀티-아암 로봇 장치(103)는 하우징(101)의 벽(예를 들어, 바닥)에 부착되도록 이루어질 수 있는 베이스(216)를 포함할 수 있다. 따라서, 로봇 장치(103)는 하우징(101)에 의해서 적어도 부분적으로 지지될 수 있다. 로봇 장치(103)는 또한, 작동 가능하게 구성되고 따라서 붐(222)에 커플링된 하나 또는 그 초과의 멀티-아암 로봇들(예를 들어, 멀티-아암 로봇들(220A, 220B, 220C, 220D))(멀티-아암 로봇들(220A, 220B, 220C, 220D)의 단지 일부만 도시됨)을 구동하도록 이루어진 붐 구동 장치(104)를 포함한다. 멀티-아암 로봇들(220A, 220B, 220C, 220D)은 선택적으로 명령에 따르는 관절식 로봇 조립체(selective compliance articulated robot assembly; SCARA) 로봇들일 수 있다. 멀티-아암 로봇들(220C, 220D)의 구성의 대표도는 도 3a 및 4에 도시된다. SCARA 로봇들(220C, 220D)은, 도 3a 및 4에 도시된 것으로부터 여러 가지 아암들이 배향이 역전된다(reversed)(반전된다(mirrored))는 점을 제외하고, 도시된 실시예에서 도 3a에 도시된 로봇에 대해 동일하다. 붐 구동 장치(104)에 의해서 다른 유형들의 멀티-아암 로봇들이 구동될 수 있다. 도 2의 도시된 실시예에서, 붐 구동 장치(104)는 제 1 및 제 2 붐 부분들(222L, 222R)을 갖는 붐(222)을 포함하고, 제 1 및 제 2 붐 부분들은 붐(222)의 주 회전 축(225)으로부터 방사상 외향으로 대체로 반대 방향들로 연장될 수 있다.

도시된 실시예에서, 트윈 멀티-아암 로봇들(220A, 220B)은 붐(222)의 제 1 붐 부분(222L)의 제 1 선외 단부(224L)에 장착된다. 유사하게, 트윈 멀티-아암 로봇들(220C, 220D)은 붐(222)의 제 2 붐 부분(222R)의 제 2 선외 단부(224R)에 장착될 수 있다. 그러나, 붐 구동 장치(104) 및 로봇 장치(103)는, 오직 트윈 멀티-아암 로봇들(220A, 220B)(예를 들어, SCARA 로봇들)과 같이, 오직 하나의 붐 부분(예를 들어, 222L) 및 트윈 멀티-아암 로봇들의 오직 하나의 세트만으로 구성될 수 있다는 점이 인식되어야 한다.

다른 선택사항에서, 오직 단일의 멀티-아암 로봇만이 선외 단부(224L, 224R) 중 어느 하나에 제공될 수 있고, 붐 구동 장치(104)에 의해서 구동될 수 있지만, 각각의 멀티-아암 로봇은, 예를 들어, 상부 아암 및 포어아암의 독립적인 제어, 또는 상부 아암 및 리스트 부재의 독립적인 제어와 같은, 부가적인 기능성(functionality)을 가질 수 있다. 또 다른 선택사항에서, 오직 단일의 선외 단부(224L)만이 붐(222)에 제공될 수 있고, 그리고 오직 단일의 멀티-아암 로봇만이 선외 단부(224L)에 커플링될 수 있지만, 단일의 멀티-아암 로봇은 멀티-아암 로봇의 하나 초과의 아암을 독립적으로 제어하는데 사용될 수 있다.

이제 도 2 실시예를 더 상세하게 설명하면, 붐(222)은 주 회전 축(225)에 근접하여 대체로 중앙에 로케이팅된 허브(226), 및 허브(226)로부터 연장되는(예를 들어, 방사상으로) 웹(227)을 포함한다. 웹(227)은 붐(222)의 수직 범위에서 대략적으로 중앙에 로케이팅될 수 있다. 허브(226)는 제 1 선외 단부(224L)로 연장되는 제 1 웹 부분(227L) 및 제 2 선외 단부(224R)로 연장되는 제 2 웹 부분(227R)을 포함할 수 있다. 제 1 웹 부분(227L) 및 제 2 웹 부분(227R)은 대체로 반대 방향들로 허브(226)로부터 방사상으로 연장될 수 있다. 붐 부분들(222L, 222R)은, 부메랑 형상을 제공하기 위해서, 도 3b-3e에 도시된 바와 같이 약간 오프셋(offset)될 수 있고, 예를 들어 부메랑 형상에서는 선외 단부들(224L) 상의 멀티-아암 로봇 장치(220A, 220B)의 부착 위치들과 주 축(225) 사이에서 연장되는 축은 선외 단부들(224R) 상의 멀티-아암 로봇 장치(220C, 220D)의 부착 위치들과 주 축(225) 사이에서 연장되는 축과 비-평행하다.

허브(226)는 웹(227) 위의 제 1 방향으로 연장되는 제 1 파일럿(228), 및 웹(227) 아래의 제 2 방향으로 연장되는 제 2 파일럿(229)을 포함할 수 있다. 파일럿들(228, 229)은 웹(227) 위 및 아래로 연장되는 원통형 부분들을 포함할 수 있다. 붐 구동 장치(104)는, 풀리(pulley)와 같이, 웹(227) 위의 제 1 파일럿(228)에 회전식으로 장착되는 제 1 구동 부재(230), 및, 풀리와 같이 웹(227) 아래의 제 2 파일럿(229)에 회전식으로 장착되는 제 2 구동 부재(232)를 포함한다. 위 및 아래는 도 2에 도시된 배향을 지칭한다. 그러나, 로봇(103)은 반전될 수 있고(inverted), 따라서 제 1 구동 부재(230)가 웹(227)의 제 1 측 상에 있고 제 2 구동 부재(232)가 웹(227)의 반대 측 상에 있는 것이 이해되어야 한다.

각각의 제 1 및 제 2 파일럿들(228, 229)에 대한 제 1 구동 부재(230) 및 제 2 구동 부재(232)의 회전식 장착은 하나 또는 그 초과의 적합한 베어링 부재들(예를 들어, 볼 베어링들 등)에 의한 것일 수 있다. 붐 구동 장치(104)는 또한, 선외 단부(224L) 근처의 선외 위치에서 웹(227) 위의 붐(222)에 회전식으로 장착된 제 1 피구동 부재(234), 및 선외 단부(224L) 근처의 선외 위치에서 웹(227) 아래의 붐(222)에 회전식으로 장착된 제 2 피구동 부재(236)를 포함한다. 다시, 위 및 아래는 도시된 배향에 기초한 상대적인 용어들이다. 요약하자면, 제 1 피구동 부재(234) 및 제 2 피구동 부재(236)는 웹(227)의 반대 측들 상에 제공된다. 제 1 피구동 부재(234) 및 제 2 피구동 부재(236)는 회전식으로 장착될 수 있고 그리고 제 1 선외 축(237)을 중심으로 회전할 수 있다. 붐 구동 장치(104)는 또한, 제 1 구동 부재(230)를 웹(227) 위의 제 1 피구동 부재(234)에 커플링시키는 제 1 전달 부재(238), 및 제 2 구동 부재(232)를 웹(227) 아래의 제 2 피구동 부재(236)에 커플링시키는 제 2 전달 부재(240)를 포함한다. 제 1 전달 부재(238)는 제 1 피구동 부재(234)에 대한 각각의 제 1 구동 부재(230)에 핀고정된(pinned) 다수의 벨트들(예를 들어, 금속 벨트들)을 포함할 수 있다. 유사하게, 제 2 전달 부재(240)는 제 2 피구동 부재(236)에 대한 각각의 제 2 구동 부재(232)에 핀고정된 다수의 벨트들(예를 들어, 금속 벨트들)을 포함할 수 있다.

더 상세하게, 붐(222)은 웹(227) 위로 연장되는 상부 벽들(242) 및 웹(227) 아래로 연장되는 하부 벽들(244)을 포함할 수 있다. 상부 벽들(242)은 웹(227)과 일체형이거나 또는 웹(227)으로부터 분리될 수 있고, 예컨대 파스너들에 의해서 웹(227)과 커플링될 수 있다. 상부 벽들(242)은 제 1 구동 부재(230), 제 1 피구동 부재(234), 및 제 1 전달 부재(238)의 측면(side)들을 둘러쌀 수 있다. 상부 커버(245)가 상부 벽들(242)에 커플링될 수 있고, 제 1 구동 부재(230), 제 1 피구동 부재(234), 및 제 1 전달 부재(238)의 정상부들을 커버할 수 있다. 유사하게, 하부 커버(246)가 하부 벽들(244)에 커플링될 수 있고, 제 2 구동 부재(232), 제 2 피구동 부재(236), 및 제 2 전달 부재(240)의 노출된 바닥부 측면들을 커버할 수 있다. 벽들(242, 244)에 대한 커버들(245, 246)의 커플링은 스크류들 또는 볼트들과 같은 임의의 기계적인 파스너들에 의한 것일 수 있다. 커버들(245, 246)은 예를 들어, 도 5a 및 5b에 도시된 바와 같이, 몇몇 실시예들에서, 다수의 피스들(pieces)을 포함할 수 있다.

붐 구동 장치(104)는 또한, 붐의 선외 단부에서(예를 들어, 단부(224R)에서) 웹(227) 위의 붐(222)에 회전식으로 장착된 제 3 피구동 부재(256), 및 선외 단부에서(예를 들어, 단부(224R)에서) 웹(227) 아래의 붐(222)에 회전식으로 장착된 제 4 피구동 부재(257)를 포함할 수 있다. 제 3 전달 부재(258)는 제 1 구동 부재(230)를 웹(227) 위의 제 3 피구동 부재(256)에 커플링시키고, 제 4 전달 부재(259)는 제 2 구동 부재(232)를 웹(227) 아래의 제 4 피구동 부재(257)에 커플링시킨다.

붐(222)은 주 회전 축(225)을 중심으로 시계방향 또는 반시계방향의 회전 방향으로 회전되도록 이루어질 수 있다. 회전은 종래의 가변 자기저항 또는 영구 자석 전기 모터와 같은 임의의 적합한 붐 구동 모터(248M)에 의해 제공될 수 있다. 다른 유형의 모터들이 사용될 수 있다. 붐 구동 모터(248M)는, 허브(226)로부터 연장되고 붐 구동 모터(248M)에 커플링되는 붐 파일럿 샤프트(248S)를 구동할 수 있다. 붐(222)의 회전은 제어기(115)로부터의 붐 구동 모터(248M)에 대한 적합한 커맨드들에 의해서 제어될 수 있다. 붐(222)의 제어된 회전은 +/- 360도 또는 그 초과일 수 있다. 포지션 피드백이 임의의 적합한 피드백 센서로부터 제공될 수 있고, 이에 의해 붐(222)의 배향이 항상 정밀하게 알려질 수 있다.

제 1 멀티-아암 로봇(220A)의 상부 아암(220UA)은 제 1 선외 축(237)을 중심으로 시계방향 또는 반시계방향의 회전 방향으로 회전되도록 이루어질 수 있다. 회전은 예를 들어, 약 180도 미만일 수 있거나 또는 몇몇 실시예들에서 심지어 170도 미만일 수 있다. 상부 아암(220UA)은 제 1 구동 모터(250M)의 회전에 의해서 구동될 수 있다. 붐 구동 장치(104)는 제 1 구동 부재(230)로 연장되는 제 1 구동 부재 파일럿 샤프트(250S)를 포함한다. 제 1 구동 부재 파일럿 샤프트(250S)는 제 1 구동 모터(250M)에 의해서 구동되도록 이루어진다. 제 1 구동 부재 파일럿 샤프트(250S)를 구동하는 것은 웹(227) 위의 제 1 구동 부재(230)를 회전시키고, 그리고 결과적으로 제 1 피구동 부재(234)를 회전시키며, 제 1 피구동 부재(234)는 제 1 멀티-아암 로봇(220A)의 상부 아암(220UA)에 커플링되어 상부 아암(220UA)을 회전시키는 풀리일 수 있다.

유사하게, 제 2 멀티-아암 로봇(220B)의 상부 아암(220UB)은 제 1 선외 축(237)을 중심으로 시계방향 또는 반시계방향의 회전 방향으로 회전되도록 이루어질 수 있다. 회전은 예를 들어, 약 180도 미만일 수 있거나 또는 몇몇 실시예들에서 심지어 170도 미만일 수 있다. 상부 아암(220UB)은 제 2 구동 모터(252M)의 회전에 의해서 구동될 수 있다. 붐 구동 장치(104)는 웹(227) 아래의 제 2 구동 부재(232)로 연장되는 제 2 구동 부재 파일럿 샤프트(252S)를 포함한다. 제 2 구동 부재 파일럿 샤프트(252S)는 제 2 구동 모터(252M)에 의해서 구동되도록 이루어진다. 제 2 구동 부재 파일럿 샤프트(252S)를 구동하는 것은 웹(227) 아래의 제 2 구동 부재(232)를 회전시키는데, 이는 제 2 구동 부재에 커플링된 제 1 멀티-아암 로봇(220B)의 제 2 상부 아암(220UB)을 회전시킨다.

도 2에 도시된 바와 같이, 풀리일 수 있는 제 2 피구동 부재(236)의 회전은, 제 2 멀티-아암 로봇(220B)의 정상부에서와 같이, 제 2 멀티-아암 로봇(220B)의 상부 아암(220UB)에 커플링될 수 있는 내측 샤프트(254S)를 회전시킨다. 외측 샤프트(255S)는 내측 샤프트(254S) 위에 수용될 수 있고, 제 1 및 제 2 포어아암 구동 풀리들(254A, 254B) 양쪽 모두에 커플링되도록 이루어질 수 있다. 제 1 및 제 2 포어아암 구동 풀리들(254A, 254B)은, 멀티-아암 로봇들(220A, 220B)의 각각의 포어아암들(220AF, 220BF)을 구동하는데 사용될 수 있는 전달 부재들에 커플링된다. 제 1 포어아암 구동 풀리(254A) 및 제 2 포어아암 구동 풀리(254B)는 제 1 선외 단부(224L)에서 웹(227)에 비-회전식으로 커플링될 수 있다. 커플링은, 제 1 포어아암 구동 풀리(254A) 및 제 2 포어아암 구동 풀리(254B)를 웹(227)과 상호연결하는 외측 샤프트(255S)에 의해서 제공될 수 있다.

도시된 실시예들에서, 제 1 및 제 2 멀티-아암 로봇들(220A, 220B)은 예를 들어, 3-링크 SCARA(선택적으로 명령에 따르는 관절식 로봇 조립체) 로봇들일 수 있다. 작동 시, 기판들을 두거나(put) 피킹(pick)하기 위해 일단 붐(222)이, 원하는 목적지에 인접하여 포지셔닝되면, 로봇 장치(103)는 목적지에 또는 목적지로부터 기판들(105A-105D)을 두거나 피킹하도록 작동될 수 있다.

더 상세하게, 제 1 및 제 2 멀티-아암 로봇들(220A, 220B)의 실시예들을 포함하는 멀티-아암 로봇 조립체(220L)가 도 3a에 도시된다. 각각의 멀티-아암 로봇(220A, 220B)은 상부 아암들(220AU, 220BU)을 포함할 수 있고, 상부 아암들(220AU, 220BU)은 X-Y 평면에서 제 1 선외 축(237)을 중심으로 붐(222)에 대해서 회전되도록 이루어질 수 있다. 포어아암들(220AF, 220BF)은 상부 아암들(220AU, 220BU)의 각각의 선외 단부들에서 상부 아암들(220AU, 220BU)에 커플링될 수 있다. 게다가, 리스트 부재들(220AW, 220BW)은 포어아암들(220AF, 220BF)의 각각의 포어아암의 각각의 선외 단부들에 커플링될 수 있다. 리스트 부재들(220AW, 220BW)은 엔드 이펙터들(220AE, 220BE)을 각각 포함할 수 있고, 엔드 이펙터들(220AE, 220BE)은 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100) 내에서 프로세싱될 기판들(105A, 105B)(점선으로 도시됨)을 운반하도록 이루어진다. 도시된 바와 같이, 엔드 이펙터들(220AE, 220BE)은 겹쳐서(one over the other) 놓인다. 엔드 이펙터들(220AE, 220BE)의 각각은 동작의 라인(221)에 평행하게 이동하도록 기능한다. 엔드 이펙터들(220AE, 220BE)은 별개의 부재로서 리스트 부재들(220AW, 220BW)에 부착될 수 있거나 또는 리스트 부재들(220AW, 220BW)과 일체형 유닛으로서 형성될 수 있다. 붐(222)의 다른 단부 상의 로봇 조립체(220R)가 로봇 조립체(220L)의 실질적인 거울 이미지일 수 있다.

기판들(105A-105D)의 픽 앤 플레이스 작동들을 달성하기 위해서, Z축 능력이 멀티-아암 로봇(103)에 제공될 수 있거나, 또는 Z축 능력이 챔버들(106A-106F)에 제공될 수 있다(예를 들어, Z-축 이동 가능한 리프트 핀들).

도 3b-3e는 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100) 내에서의 사용을 위해 이루어질 수 있는 로봇 장치(303)의 다른 실시예를 도시한다. 이 실시예의 로봇 장치(303)는, 예컨대, 챔버(예를 들어, 이송 챔버(102))의 벽에 하우징(101)을 부착시키도록 이루어진 베이스(216)를 포함할 수 있다. 붐(222)은 주 회전 축(325)을 중심으로 하는 회전을 위해 이루어질 수 있다(도 3c). 로봇 장치(303)는 이전에 설명된 바와 같이, 붐(222)의 선외 단부들에 장착된 멀티-아암 로봇들(220A, 220B 및 220C, 220D)을 더 포함할 수 있다.

이 실시예에서, 로봇 장치(303)는, 도 3a에 도시된 바와 같이, 상부 아암들(220AU, 220BU), 포어아암들(220AF, 220BF), 리스트 부재들(220AW, 220BW), 및 부착된 엔드 이펙터들(220AE, 220BE)을 포함하는 로봇 조립체(220L)를 포함할 수 있다.

도 3c-3d는 로봇 장치(303)에 의해서 달성 가능한 여러 배향들을 도시하고, 이러한 배향들은, 상부 아암들 및 포어아암들이 붐(222)의 길이를 따라서 대체로 정렬된 도 3c의 배향; 상부 아암들 및 포어아암들이 수축되고(retracted) "홈(home)" 배향인 것으로 도시된 도 3d의 배향 － 이는 로드 록 챔버들(108) 또는 트윈 챔버들(106A-106B, 106C-106D, 또는 106E-106F)의 새로운 세트로 또는 그로부터 기판들을 이송하기 위해 붐(222)을 회전시킬 때 사용될 수 있음 －; 및, 로드 록 챔버들(108) 또는 프로세스 챔버들(106A-106B, 106C-106D, 또는 106E-106F)에 액세싱하여 기판들을 그 내부에 픽 앤 플레이스 하는 경우일 것과 같은, 상부 아암들 및 포어아암들의 몇몇은 수축된 것으로 도시되고 몇몇은 확장된 것으로 도시된 도 3e의 배향을 포함한다.

도 4는 대표적인 멀티-아암 로봇들(220A, 220B)의 단면도를 도시한다. 이 멀티-아암 로봇들(220A, 220B)은 예를 들어 단일의 챔버(예를 들어, 106A, 106C, 106E)를 서비싱하기 위해서 작동할 수 있다. 이 실시예의 로봇 장치(220A)는 붐(222)의 선외 단부(224L) 상에 장착될 수 있다. 각각의 멀티-아암 로봇(220A, 220B)은 주 회전 축(225)(도 2)으로부터 거리가 이격된다.

이 실시예에서, 각각의 멀티-아암 로봇(220A, 220B)은 제 1 선외 축(237)을 중심으로 하는 X-Y 평면에서의 회전을 위해 이루어진 상부 아암들(220AU, 220BU)을 포함할 수 있다. 상부 아암들(220AU, 220BU)은 상부 아암들(220AU, 220BU)의 각각의 선외 단부들에서 상부 아암들에 커플링된 포어아암들(220AF, 220BF)을 포함할 수 있다. 포어아암들(220AF, 220BF)은 포어아암들의 선외 단부들에서 포어아암들에 회전식으로 부착된 리스트 부재들(220AW, 220BW)을 각각 포함할 수 있다. 리스트 부재들(220AW, 220BW)은 리스트 축들을 중심으로 X-Y 평면에서 포어아암들(220AF, 220BF)에 대한 상대적인 회전을 위해 이루어질 수 있다. 포어아암들(220AF, 220BF) 및 상부 아암들(220AU, 220BU)의 여러 가지 풀리 연결들 및 길이들은 적절하게 크기가 정해질 수 있고, 이에 의해 리스트 부재들(220AW, 220BW)은 동작의 라인(221)(도 3a)에 평행하게 병진운동할 수 있다(translate). 엔드 이펙터들(220AE, 220BE)은 리스트 부재들(220AW, 220BW) 상에 포함될 수 있다. 엔드 이펙터들(220AE, 220BE)은 도시된 바와 같이 별개의 부재들로서 리스트 부재들(220AW, 220BW)에 부착될 수 있거나 또는 리스트 부재들(220AW, 220BW)과 일체형 유닛으로서 형성될 수 있다. 엔드 이펙터들(220AE, 220BE)은 기판(105A, 105B)을 운반하도록 각각 이루어질 수 있다. 멀티-아암 로봇들(220A, 220B)은 제 1 및 제 2 피구동 부재들(234, 236)을 구동하는 것에 의해서 원격으로 구동될 수 있다.

도 5a-5e는, 예를 들어, 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100) 내에서 하나 또는 그 초과의 멀티-아암 로봇들(예를 들어, 220A, 220B, 220C, 220D)을 구동하는데 사용될 수 있는 붐 구동 장치(104)의 여러 가지 도면들을 도시한다. 붐(222)은 주 회전 축(225)으로부터 대체로 반대의 방사상 방향들로 외향으로 연장되는 다수의 캔틸레버 비임들(cantilever beams)일 수 있는 붐 부분들(222L, 222R)을 포함할 수 있다. 붐(222)의 본체는, 도 5d 및 5e에 최상으로 도시된 바와 같이, I-비임 형상의 단면을 가질 수 있다. 웹(227)은 붐(222)의 수직 높이를 따라서 대체로 중앙에 로케이팅될 수 있다. 붐(222)은 부메랑 형상을 가질 수 있고, 부메랑 형상은, 엔드 이펙터들이 서비싱하는 챔버들에 매우 가깝게 엔드 이펙터들(220AE, 220BE)이 이동되는 것을 허용할 수 있다. 붐 구동 장치(104)에 커플링된 이중 멀티-아암 로봇들(220C, 220D) 및 이중 멀티-아암 로봇들(220A, 220B)을 이용하여, 엔드 이펙터들(220AE, 220BE)을 확장 및 수축시키는 것에 의해서(도 3a 및 3e 참조) 붐(222)의 어떠한 회전도 없이 완전한 기판 교환이 목적지에서 이루어질 수 있다.

도 5a-5b에 도시된 바와 같이, 붐(222)은 좌, 우, 및 중앙 상부 커버 부분들(245LU, 245RU, 및 245CU)을 갖는 상부 커버(245)를 포함할 수 있다. 하부 커버(246)가 붐(222)의 하부 부분 상에 제공될 수 있다.

도 5c는 명확성을 위해 붐(222)이 제거된 붐 구동 장치(104)의 여러 가지 구동 컴포넌트들을 보여주는 붐 구동 조립체(560)의 등각도를 도시한다. 붐 구동 조립체(560)는, 겹쳐서 포지셔닝되고 그리고 웹(227) 위 및 아래의 붐(222)에 회전식으로 장착되도록 이루어진, 제 1 구동 부재(230), 및 제 2 구동 부재(232)를 포함할 수 있다. 붐 구동 조립체(560)는, 또한, 겹쳐서 포지셔닝되고 그리고 웹(227) 아래의 붐(222)에 회전식으로 장착되도록 이루어진, 제 1 피구동 부재(234), 및 제 2 피구동 부재(236)를 포함한다. 붐 구동 조립체(560)는 또한, 제 1 구동 부재(230)를 제 1 피구동 부재(234)에 커플링시키는 제 1 전달 부재(238), 및 제 2 구동 부재(232)를 제 2 피구동 부재(236)에 커플링시키는 제 2 전달 부재(240)를 포함한다. 도 5c에서 볼 수 있는 바와 같이, 제 1 전달 부재(238)의 각각의 벨트는 S-형상 배향으로 감기는 반면, 제 2 전달 부재(240)의 각각의 벨트는 C-형상 배향으로 감긴다. 유사하게, 붐 구동 조립체(560)는 또한, 제 1 구동 부재(230)를 제 3 피구동 부재(256)에 커플링시키는 제 3 전달 부재(258), 및 제 2 구동 부재(232)를 제 4 피구동 부재(257)에 커플링시키는 제 4 전달 부재(259)를 포함한다. 도 5c에서 볼 수 있는 바와 같이, 제 3 전달 부재(258)의 각각의 벨트는 C-형상 배향으로 감기는 반면, 제 4 전달 부재(259)의 각각의 벨트는 S-형상 배향으로 감긴다. 따라서, 제 1 및 제 2 피구동 부재들의 각각은 연결된 전달 부재들을 포함하고, 전달 부재들은 몇몇은 S-형상 배향으로 감기고, 그리고 몇몇은 C-형상 배향으로 감긴다.

본 발명의 실시예들에 따른 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판을 운송하는 방법(600)이 도 6에 제공된다. 방법(600)은 602에서 붐 구동 장치를 제공하는 단계를 포함하고, 붐 구동 장치(예를 들어, 104)는, 허브(예를 들어, 226), 및 허브로부터 방사상으로 연장되는 웹(예를 들어, 227)을 포함하는 붐(예를 들어, 222) － 허브는 웹 위의 제 1 방향으로 연장되는 제 1 파일럿(예를 들어, 228), 및 웹 아래의 제 2 방향으로 연장되는 제 2 파일럿(예를 들어, 229)을 가짐 －, 제 1 파일럿에 회전식으로 장착된 제 1 구동 부재(예를 들어, 230), 제 2 파일럿에 회전식으로 장착된 제 2 구동 부재(예를 들어, 232), 웹 위의 제 1 선외 단부(예를 들어, 224L)에서 붐에 회전식으로 장착된 제 1 피구동 부재(예를 들어, 234), 웹 아래의 제 1 선외 단부에서 붐에 회전식으로 장착된 제 2 피구동 부재(예를 들어, 236), 제 1 구동 부재를 웹 위의 제 1 피구동 부재에 커플링시키는 제 1 전달 부재(예를 들어, 238), 및 제 2 구동 부재를 웹 아래의 제 2 피구동 부재에 커플링시키는 제 2 전달 부재(예를 들어, 240)를 갖는다. 방법(600)은 또한, 604에서, 제 1 멀티-아암 로봇(예를 들어, 220A)을 붐(예를 들어, 222)의 제 1 선외 단부(예를 들어, 224L)에 커플링시키는 단계, 606에서, 제 2 멀티-아암 로봇(예를 들어, 220B)을 붐(예를 들어, 222)의 제 1 선외 단부(예를 들어, 224R)에 커플링시키는 단계, 608에서, 제 1 구동 부재(예를 들어, 230)를 구동하는 것에 의해서 제 1 멀티-아암 로봇(예를 들어, 220A)을 구동하는 단계, 및, 610에서, 제 2 구동 부재(예를 들어, 232)를 구동하는 것에 의해서 제 2 멀티-아암 로봇(예를 들어, 220B)을 구동하는 단계를 포함한다.

전술한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 실시예들만을 개시한다. 본 발명의 범위 내에 포함되는, 상기-개시된 장치 및 방법들의 수정들이 당업자들에게 용이하게 자명할 것이다. 따라서, 본 발명은 본 발명의 예시적인 실시예들과 관련하여 개시되었지만, 이하의 청구항들에 의해서 정의되는 바와 같이, 다른 실시예들이 본 발명의 범위 내에 포함될 수 있음이 이해되어야 한다.

Claims

붐 구동(boom drive) 장치로서,
허브(hub), 및 상기 허브로부터 연장되는 웹(web)을 포함하는 붐 － 상기 허브는 상기 웹 위의 제 1 방향으로 연장되는 제 1 파일럿(pilot), 및 상기 웹 아래의 제 2 방향으로 연장되는 제 2 파일럿을 가짐 －;
상기 제 1 파일럿에 회전식으로 장착된 제 1 구동 부재;
상기 제 2 파일럿에 회전식으로 장착된 제 2 구동 부재;
상기 웹 위의 붐에 제 1 선외(outboard) 위치에서 회전식으로 장착된 제 1 피구동(driven) 부재;
상기 웹 아래의 붐에 제 2 선외 위치에서 회전식으로 장착된 제 2 피구동 부재;
상기 제 1 구동 부재를 상기 웹 위의 제 1 피구동 부재에 커플링시키는 제 1 전달(transmission) 부재; 및
상기 제 2 구동 부재를 상기 웹 아래의 제 2 피구동 부재에 커플링시키는 제 2 전달 부재를 포함하는,
붐 구동 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 붐은 상기 웹 위로 연장되는 상부 벽들 및 상기 웹 아래로 연장되는 하부 벽들을 포함하는,
붐 구동 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 허브로부터 연장되고 그리고 붐 구동 모터에 의해서 구동되도록 이루어진 붐 파일럿 샤프트를 포함하는,
붐 구동 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 구동 부재로부터 연장되고 그리고 제 1 구동 모터에 의해서 구동되도록 이루어진 제 1 구동 부재 파일럿 샤프트를 포함하는,
붐 구동 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 제 2 구동 부재로부터 연장되고 그리고 제 2 구동 모터에 의해서 구동되도록 이루어진 제 2 구동 부재 파일럿 샤프트를 포함하는,
붐 구동 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 웹은 상기 붐에 수직으로 중앙에 로케이팅된,
붐 구동 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 웹에 제 1 선외 단부에서 비-회전식으로 커플링된 제 1 및 제 2 포어아암(forearm) 구동 풀리들을 포함하는,
붐 구동 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 제 2 피구동 부재를 제 2 상부 아암에 커플링시키는 내측 샤프트, 및 상기 내측 샤프트 위에 수용되고 제 1 포어아암 구동 풀리 및 제 2 포어아암 구동 풀리에 커플링되는 외측 샤프트를 포함하는,
붐 구동 장치.
멀티-아암 로봇 장치로서,
허브, 및 상기 허브로부터 방사상으로 연장되는 웹을 포함하는 붐 － 상기 붐은 주 회전 축을 중심으로 회전되도록 이루어지고, 상기 허브는 상기 웹 위의 제 1 방향으로 연장되는 제 1 파일럿, 및 상기 웹 아래의 제 2 방향으로 연장되는 제 2 파일럿을 가짐 －,
상기 제 1 파일럿에 회전식으로 장착된 제 1 구동 부재,
상기 제 2 파일럿에 회전식으로 장착된 제 2 구동 부재,
상기 웹 위의 제 1 선외 단부에서 상기 붐에 회전식으로 장착된 제 1 피구동 부재,
상기 웹 아래의 제 1 선외 단부에서 상기 붐에 회전식으로 장착된 제 2 피구동 부재,
상기 제 1 구동 부재를 상기 웹 위의 제 1 피구동 부재에 커플링시키는 제 1 전달 부재, 및
상기 제 2 구동 부재를 상기 웹 아래의 제 2 피구동 부재에 커플링시키는 제 2 전달 부재를 갖는
붐 구동 장치;
상기 제 1 선외 단부에서 상기 붐에 회전식으로 커플링되는 제 1 멀티-아암 로봇 － 상기 제 1 멀티-아암 로봇은 상기 제 1 피구동 부재에 커플링되는 제 1 상부 아암, 제 1 포어아암, 제 1 리스트(wrist) 부재, 및 제 1 기판을 지지하도록 이루어진 제 1 엔드 이펙터(end effector)를 가짐 －; 및
상기 제 1 선외 단부에서 상기 붐에 회전식으로 커플링되는 제 2 멀티-아암 로봇 － 상기 제 2 멀티-아암 로봇은 상기 제 2 피구동 부재에 커플링되는 제 2 상부 아암, 제 2 포어아암, 제 2 리스트 부재, 및 제 2 기판을 지지하도록 이루어진 제 2 엔드 이펙터를 가짐 － 을 포함하는,
멀티-아암 로봇 장치.
제 9 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 멀티-아암 로봇들은 SCARA 로봇들을 포함하는,
멀티-아암 로봇 장치.
제 9 항에 있어서,
상기 붐에 제 2 선외 단부에서 커플링되는 제 3 및 제 4 멀티-아암 로봇들을 포함하는,
멀티-아암 로봇 장치.
제 9 항에 있어서,
상기 허브로 연장되고 그리고 붐 구동 모터에 커플링되는 붐 파일럿 샤프트를 포함하는,
멀티-아암 로봇 장치.
제 9 항에 있어서,
상기 제 1 구동 부재로 연장되고 그리고 제 1 구동 모터에 커플링되는 제 1 구동 부재 파일럿 샤프트; 및
상기 제 2 구동 부재로 연장되고 그리고 제 2 구동 모터에 커플링되는 제 2 구동 부재 파일럿 샤프트를 포함하는,
멀티-아암 로봇 장치.
전자 디바이스 프로세싱 시스템으로서,
이송 챔버;
상기 이송 챔버에 수용되고 그리고 다수의 기판들을 운송하도록 이루어진 로봇 장치를 포함하고, 상기 로봇 장치는
허브, 및 상기 허브로부터 방사상으로 연장되는 웹을 포함하는 붐 － 상기 붐은 주 회전 축을 중심으로 회전되도록 이루어지고, 상기 허브는 상기 웹 위의 제 1 방향으로 연장되는 제 1 파일럿, 및 상기 웹 아래의 제 2 방향으로 연장되는 제 2 파일럿을 가짐 －,
상기 제 1 파일럿에 회전식으로 장착된 제 1 구동 부재,
상기 제 2 파일럿에 회전식으로 장착된 제 2 구동 부재,
상기 웹 위의 선외 단부에서 상기 붐에 회전식으로 장착된 제 1 피구동 부재,
상기 웹 아래의 선외 단부에서 상기 붐에 회전식으로 장착된 제 2 피구동 부재,
상기 제 1 구동 부재를 상기 웹 위의 제 1 피구동 부재에 커플링시키는 제 1 전달 부재, 및
상기 제 2 구동 부재를 상기 웹 아래의 제 2 피구동 부재에 커플링시키는 제 2 전달 부재를 갖는
붐 구동 장치;
상기 제 1 선외 단부에서 상기 붐에 회전식으로 커플링되는 제 1 멀티-아암 로봇 － 상기 제 1 멀티-아암 로봇은 상기 제 1 피구동 부재에 커플링되는 제 1 상부 아암, 제 1 포어아암, 제 1 리스트(wrist) 부재, 및 제 1 기판을 지지하도록 이루어진 제 1 엔드 이펙터(end effector)를 포함함 －; 및
상기 제 1 선외 단부에서 상기 붐에 회전식으로 커플링되는 제 2 멀티-아암 로봇 － 상기 제 2 멀티-아암 로봇은 상기 제 2 피구동 부재에 커플링되는 제 2 상부 아암, 제 2 포어아암, 제 2 리스트 부재, 및 제 2 기판을 지지하도록 이루어진 제 2 엔드 이펙터를 포함함 － 을 갖는,
전자 디바이스 프로세싱 시스템.
전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 운송하는 방법으로서;
붐 구동 장치를 제공하는 단계 － 상기 붐 구동 장치는, 허브, 및 상기 허브로부터 방사상으로 연장되는 웹을 포함하는 붐 － 상기 허브는 상기 웹 위의 제 1 방향으로 연장되는 제 1 파일럿, 및 상기 웹 아래의 제 2 방향으로 연장되는 제 2 파일럿을 가짐 －, 상기 제 1 파일럿에 회전식으로 장착된 제 1 구동 부재, 상기 제 2 파일럿에 회전식으로 장착된 제 2 구동 부재, 상기 웹 위의 제 1 선외 단부에서 상기 붐에 회전식으로 장착된 제 1 피구동 부재, 상기 웹 아래의 제 1 선외 단부에서 상기 붐에 회전식으로 장착된 제 2 피구동 부재, 상기 제 1 구동 부재를 상기 웹 위의 제 1 피구동 부재에 커플링시키는 제 1 전달 부재, 및 상기 제 2 구동 부재를 상기 웹 아래의 제 2 피구동 부재에 커플링시키는 제 2 전달 부재를 가짐 －;
제 1 멀티-아암 로봇을 상기 붐의 제 1 선외 단부에 커플링시키는 단계;
제 2 멀티-아암 로봇을 상기 붐의 제 1 선외 단부에 커플링시키는 단계;
상기 제 1 구동 부재를 구동하는 것에 의해서 상기 제 1 멀티-아암 로봇을 구동하는 단계; 및
상기 제 2 구동 부재를 구동하는 것에 의해서 상기 제 2 멀티-아암 로봇을 구동하는 단계를 포함하는,
기판 운송 방법.