KR100582697B1 - 피처리 기판의 반송 장치 및 회전 위치를 검출하는 기능을갖는 구동 기구 - Google Patents

피처리 기판의 반송 장치 및 회전 위치를 검출하는 기능을갖는 구동 기구 Download PDF

Info

Publication number
KR100582697B1
KR100582697B1 KR1020057005371A KR20057005371A KR100582697B1 KR 100582697 B1 KR100582697 B1 KR 100582697B1 KR 1020057005371 A KR1020057005371 A KR 1020057005371A KR 20057005371 A KR20057005371 A KR 20057005371A KR 100582697 B1 KR100582697 B1 KR 100582697B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
drive
arm
link
conveying apparatus
processed substrate
Prior art date
Application number
KR1020057005371A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050057605A (ko
Inventor
히로아키 사에키
시게루 이시자와
다케히로 신도
즈토무 히로키
와타루 마치야마
Original Assignee
동경 엘렉트론 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 동경 엘렉트론 주식회사 filed Critical 동경 엘렉트론 주식회사
Publication of KR20050057605A publication Critical patent/KR20050057605A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100582697B1 publication Critical patent/KR100582697B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00—Controls for manipulators
    • B25J13/08—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/06—Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
    • B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
    • B25J9/107—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms of the froglegs type
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00—Machine element or mechanism
    • Y10T74/20—Control lever and linkage systems
    • Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
    • Y10T74/20305—Robotic arm

Abstract

피처리 기판(W)의 반송 장치(20)는 회전 가능한 회전 기대(24)를 포함한다. 회전 기대에 굴신 가능한 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)가 장착된다. 제 1 및 제 2 아암 기구의 각각은 회전 기대측으로부터 순서대로 서로 선회 가능하게 연결된 기단 아암(26B, 28B)과 피크(26C, 28C)를 갖는다. 피크는 피처리 기판을 지지하도록 설치된다. 제 1 및 제 2 아암 기구를 구동하도록 제 1 및 제 2 아암 기구의 기단 아암에 링크 기구(30)가 연결된다. 회전 기대를 회전 구동하기 위해서, 제 1 구동원(32)이 설치된다. 제 1 및 제 2 아암 기구를 굴신시키도록 링크 기구를 구동하기 위해서, 제 2 구동원(34)이 설치된다.

Description

피처리 기판의 반송 장치 및 회전 위치를 검출하는 기능을 갖는 구동 기구{TRANSPORTATION APPARATUS AND DRIVE MECHANISM}
본 발명은 반송 장치 및 구동 기구에 관한 것으로, 특히 반도체 처리 시스템에 있어서 이용되는 반송 장치 및 구동 기구에 관한 것이다. 여기서, 반도체 처리란 웨이퍼나 LCD(Liquid crystal display)이나 FPD(Flat Panel Display)용의 유리 기판 등의 유리 기판의 피처리 기판상에 반도체층, 절연층, 도전층 등을 소정의 패턴으로 형성함으로써, 상기 피처리 기판상에 반도체 디바이스나, 반도체 디바이스에 접속되는 배선, 전극 등을 포함하는 구조물을 제조하기 위해서 실시되는 각종 처리를 의미한다.
반도체 디바이스 등을 제조하는 반도체 처리 시스템내에서는, 반도체 웨이퍼 등의 피처리 기판의 반송이 실행된다. 예컨대, 웨이퍼는 깨끗한 상태에서 대기압 분위기 또는 진공 분위기를 통해 반송되고, 처리실내로 반입된다. 웨이퍼는 또한 반대로 처리실내로부터 취출(取出)되어서 소정의 장소까지 반출된다. 반도체 웨이퍼를 반송하기 위한 반송 장치는 예컨대 하기 특허 문헌 1 내지 4에 개시된다.
도 33은 특허 문헌 1 및 3에 개시된 장치와 동일한 타입의 종래의 반송 장치의 일례를 나타내는 사시도이다. 반송 장치(2)는 기단 아암(4) 및 중간 아암(6)을 굴신(屈伸) 가능하게 연결하여 이루어지는 아암(8)을 갖는다. 아암(8)의 선단에 피크 아암(10)이 선회 가능하게 장착된다. 피크 아암(10)의 양단에 피크부(10A, 10B)가 형성된다. 아암(8)의 전체는 일체로 되어 회전할 수 있다. 아암(8)을 굴신시키면, 이에 내장되는 풀리나 연결 벨트에 의해 구동력이 전달되고, 피크 아암(10)이 소정 방향을 향해서 전진 또는 후퇴한다.
반송 장치(2)를 구동하는 모터원(12)에는 2개의 모터(도시하지 않음)가 설치된다. 제 1 모터는 상술한 바와 같이 아암(8)의 전체를 회전시켜 소망하는 방향을 방향을 정한다. 제 2 모터는 상술한 바와 같이 아암(8)을 굴신시킨다.
반송 장치(2)를 이용하면, 하기와 같은 양태로 처리실내의 반도체 웨이퍼(W)의 교체를 실행할 수 있다. 즉, 우선, 피크 아암(10)의 한쪽 피크, 예컨대 피크부(10A)를 빈 상태로 하고, 다른쪽의 피크부(10B)에 미처리의 웨이퍼(W)를 유지한다. 다음에, 아암(8)을 굴신시킴으로써, 우선 처리 완료한 웨이퍼(W)를 처리실내로부터 취출한다. 여기서, 빈 피크부(10A)를 처리실내를 향해서 전진시켜서 이 빈 피크부(10A)로 처리 완료한 웨이퍼(W)를 수취한다. 그리고, 피크부(10A)를 후퇴시켜서 처리 완료한 웨이퍼(W)를 처리실내로부터 취출한다.
다음에, 도 33에 도시하는 바와 같이, 아암(8)을 접은 상태에서, 이 아암 전체를 180도 회전시켜서 미처리의 웨이퍼(W)를 유지하는 피크부(10B)를 상기 처리실로 방향을 정한다. 다음에, 다시 상기 아암(8)을 굴신시킴으로써, 미처리의 웨이 퍼를 처리 실내로 반입한다. 여기서, 상기 피크부(10B)를 전진시켜서 피크부(10B)에 유지하고 있는 미처리의 웨이퍼를 처리실내로 반입한다. 그리고, 빈 피크부(10B)를 퇴피시키고, 이로써 반송 동작을 완료한다.
다른 타입의 반송 장치가, 예컨대 하기 특허 문헌 2 및 4에 개시된다. 이 반송 장치에서는, 웨이퍼를 유지하는 한쌍의 피크가 상기 특허 문헌 1 및 3의 경우와는 상이하여 동일 수평면내가 아니가 상하로 서로 중첩시키도록 배치되고, 이것들이 동일 방향을 향하도록 설정된다. 구동원으로서 3대의 모터가 사용되고, 장치 전체의 선회 동작 및 각 피크의 전진 후퇴 동작이 실행된다.
[특허문헌 1] 미국특허 제 5,899,658 호 명세서
[특허문헌 2] 일본 특허 공개 제 2000-72248 호 공보
[특허문헌 3] 일본 특허 공개 제 1995-142551 호 공보
[특허문헌 4] 일본 특허 공개 제 1998-163296 호 공보
도 33이나 특허 문헌 1 및 3 등에 도시하는 반송 장치에 있어서는, 다음과 같은 문제가 있다. 즉, 처리실내에 대하여 처리 완료한 웨이퍼와 미처리의 웨이퍼의 교체 조작을 실행하기 위해서는, 피크 아암(10)을 180도 선회시켜야 한다. 이 큰 선회각은 시간의 손실로 되기 때문에, 신속한 교체 작업을 할 수 없다. 특히, 웨이퍼 사이즈가 직경 200㎜ 내지 300㎜로 커지면 그 중량도 증가하기 때문에, 선회 속도도 상승시킬 수 없다. 또한, 아암(8)의 신축 동작시에는 항상 어느 한쪽 피크에 웨이퍼가 유지되기 때문에, 아암(8)의 신축 동작 속도가 그다지 상승하지 않는다. 한편, 특허 문헌 2 및 4에 개시된 반송 장치에 있어서는, 구동원으로서 3 대의 모터가 필요하게 되고, 따라서 그 만큼 장치 비용이 상승한다.
발명의 요약
본 발명의 목적은 피처리 기판의 교체에 있어서, 기대의 선회 각도가 작아도 되는 반송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 구동원이 되는 모터의 개수를 적게 하여 장치 비용의 삭감 및 전체의 경량화를 도모하는 것이 가능한 반송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 인코더 등을 사용하지 않고 복수의 구동축의 상대 위치 관계를 검출할 수 있는 구동 기구를 제공하는 것이다.
본 발명의 제 1 시점은 피처리 기판의 반송 장치로서,
회전 가능한 회전 기대와; 상기 회전 기대측으로부터 순서대로 서로 선회 가능하게 연결된 기대 아암과 중간 아암과 피크를 각각 구비하고, 상기 피크는 상기 피처리 기판을 지지하도록 배치되는, 상기 회전 기대에 장착된 신축 가능한 제 1 및 제 2 아암 기구와; 상기 제 1 및 제 2 아암 기구를 구동하도록 상기 제 1 및 제 2 아암 기구의 상기 기단 아암에 연결된 링크 기구와; 상기 회전 기대를 회전 구동하는 제 1 구동원과; 상기 제 1 및 제 2 아암 기구를 굴신시키도록 상기 링크 기구를 구동하는 제 2 구동원을 구비한다.
본 발명의 제 2 시점은 회전 위치를 검출하는 기능을 갖는 구동 기구로서,
동축 형상으로 서로 회전 가능하게 이루어진 중공 파이프 형상의 내측 및 외측 구동축과; 상기 내측 및 외측 구동축의 각각에 결합된 복수의 구동원과; 상기 외측 구동축의 내면상에 설치된 검출 패턴과; 상기 검출 패턴으로부터의 반사광을 취입하기 위해서 상기 내측 구동축에 설치된 광통과 윈도우와; 상기 광통과 윈도우를 통과한 광을 상기 내측 구동축의 축 방향을 따라 반사하는 반사 부재와; 상기 반사 부재로 반사한 광을 수광하는 수광부와; 상기 수광부의 출력에 기초하여 상기 내측 및 외측 구동축의 회전 방향에 있어서 위치 관계를 구하는 위치 검출부를 구비한다.
제 2 시점의 구동 기구는 제 1 시점의 반송 장치의 구동 기구로서 조립할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 양쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 도시하는 평면도,
도 2는 도 1에 도시하는 반송 장치에 있어서, 한쪽 아암 기구가 신장된 상태를 도시하는 평면도,
도 3은 도 1에 도시하는 반송 장치를 도시하는 단면도,
도 4는 도 1에 도시하는 반송 장치의 회전 기대의 내부 구조를 도시하는 단면도,
도 5는 본 발명의 제 2 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 양쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 도시하는 사시도,
도 6은 도 5에 도시하는 반송 장치에 있어서, 한쪽 아암 기구가 신장된 상태를 도시하는 평면도,
도 7은 도 5에 도시하는 반송 장치를 도시하는 부분 단면도,
도 8a 내지 도 8d는 도 5에 도시하는 반송 장치의 일련의 동작 상태를 모식적으로 도시하는 도면,
도 9는 본 발명의 제 3 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 한쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 도시하는 평면도,
도 10은 도 9에 도시하는 반송 장치에 있어서, 한쪽 아암 기구가 신장되어 있는 상태를 도시하는 평면도,
도 11은 도 9에 도시하는 반송 장치의 링크 기구의 부분을 주로 도시하는 부분 단면도,
도 12는 본 발명의 제 4 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 양쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 도시하는 평면도,
도 13은 도 12에 도시하는 반송 장치를 도시하는 측면도,
도 14는 도 12에 도시하는 반송 장치에 있어서, 한쪽 아암 기구가 신장되어 있는 상태를 도시하는 평면도,
도 15는 본 발명의 제 5 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 한쪽 아암 기구가 신장되어 있는 상태를 도시하는 평면도,
도 16은 도 15에 도시하는 반송 장치에 있어서, 제 2 구동원으로서 채용한 리니어 모터와 링크 기구의 연결 상태를 설명하기 위한 부분 단면도,
도 17은 본 발명의 제 6 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 양쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 도시하는 평면도,
도 18은 도 17에 도시하는 반송 장치에 있어서, 한쪽 아암 기구가 신장되어 있는 상태를 도시하는 평면도,
도 19는 도 17에 도시하는 반송 장치를 도시하는 부분 단면도,
도 20a 내지 도 20g는 도 17에 도시하는 반송 장치의 일련의 동작 상태를 모식적으로 도시하는 도면,
도 21은 본 발명의 제 7 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 양쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 도시하는 평면도,
도 22는 본 발명의 제 8 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 양쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 도시하는 평면도,
도 23은 도 22에 도시하는 반송 장치에 있어서, 한쪽 아암 기구가 신장된 상태를 도시하는 사시도,
도 24a 내지 도 24e는 도 12에 도시하는 반송 장치의 일련의 동작 상태를 모식적으로 도시하는 도면,
도 25는 링크 기구를 제외하고 동일 사양으로 형성한 제 7 및 제 8 실시 형태에 따른 장치의 비교 실험 결과를 도시하는 그래프,
도 26은 본 발명의 실시 형태에 따른 구동 기구를 도시하는 확대 단면도,
도 27은 도 26에 도시하는 구동 기구의 요점부인 검출 패턴과 반사 부재의 위치 관계를 설명하기 위한 설명도,
도 28은 도 27에 도시하는 검출 패턴을 직선 형상으로 전개했을 때의 상태를 도시하는 평면도,
도 29는 외측 구동축의 전체를 검출 패턴으로서 형성한 경우를 도시하는 사시도,
도 30은 검출 구조를 포지션 센터로서 이용하는 경우의 검출 패턴을 도시하는 전개도,
도 31은 도 26에 도시하는 구동 기구의 변형예를 나타내는 확대 단면도,
도 32a 내지 도 32d는 도 31에 도시하는 구동 기구에 사용되는 검출 패턴의 예를 직선 형상으로 전개했을 때의 상태를 도시하는 평면도,
도 33은 종래의 반송 장치의 일례를 나타내는 사시도.
본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 이하에 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 대략 동일한 기능 및 구성을 갖는 구성 요소에 대해서는 동일 부호를 붙이고, 중복 설명은 필요한 경우에만 행한다.
<제 1 실시 형태>
도 1은 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 양쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 도시하는 평면도이다. 도 3은 도 1에 도시하는 반송 장치를 도시하는 단면도이다.
반송 장치(20)는 베이스(22)(도 3 참조)에 회전 가능하게 지지된 회전 기대(24)를 포함한다. 회전 기대(24)에 한쌍의 아암 기구, 즉 제 1 아암 기구(26) 및 제 2 아암 기구(28)가 선회 및 굴신 가능하게 지지된다. 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)를 선택적으로 굴신시키도록 링크 기구(30)가 설치된다. 회전 기대(24)를 회전 구동시키기 위해서, 제 1 구동원(32)(도 3 참조)이 설치된다. 링크 기구(30)를 구동하여 요동 선회시켜서, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)를 굴신시키기 때문에, 제 2 구동원(34)(도 3 참조)이 설치된다.
베이스(22)는 예컨대 클러스터 툴형의 반도체 처리 시스템내에 설치된 반송실의 바닥판 등으로 이루어진다. 이 반송실 내부는 진공 상태로 유지되고, 이 반송실의 주위에는 복수의 처리실(도시하지 않음)이 연결된다. 베이스(22)에 형성한 관통 구멍(36)에 2축 동일축으로 이루어진 구동축(38, 40)이 삽입 통과된다. 베이스(22)의 하면측에, 예컨대 O링 등의 밀봉 부재(42)를 거쳐서 중공 형상의 하우징으로 이루어지는 모터 박스(44)가 기밀하게 장착된다. 모터 박스(44)내에 제 1 및 제 2 구동원(32, 34)이 수용된다.
제 1 및 제 2 구동원(32, 34)은 예컨대 각기 스텝 모터(펄스 모터)로 이루어지고, 각각 고정자(32A, 34A) 및 로터(32B, 34B)에 의해 구성된다. 제 1 구동원(32)의 로터(32B)는 중공 형상(파이프 형상)의 외측 구동축(38)에 연결된다. 제 2 구동원의 로터(34B)는 내측 구동축(40)에 연결된다. 양쪽 구동축(38, 40)의 사이에는 베어링(46)이 개재되어서 서로 회전 가능하게 지지된다. 외측 구동축(38)은 자성 유체 시일(seal)을 채용한 베어링(도시하지 않음)에 의해 베이스(22)측에 회전 가능하게 지지된다. 제 1 및 제 2 구동원(32, 34)이나 양쪽 구동축(38, 40) 등은 후술하는 구동 기구의 일부로서 구성된다.
양쪽 회전축(38, 40)의 상단부에 회전 기대(24)가 설치된다. 회전 기대(24)는 소정의 폭을 갖고, 여기서는 내부가 중공 상태로 이루어져서 반경 방향(수평 방향)으로 소정의 길이만큼 연장된다. 외측 구동축(38)의 상단은 회전 기대(24)에 직접적으로 연결 고정되고, 양자는 일체로 되어서 회전한다. 이에 반하여, 내측 구동축(40)의 상부는 회전 기대(24)내를 관통하고 있고, 회전 기대(24)에 대하여 베어링(48)을 거쳐서 지지되어서 서로 회전 가능하게 이루어진다. 따라서, 내측 구동축(40)이 반송 장치의 장치 전체의 선회 중심(C1)이 된다. 회전 기대(24)의 기단부측의 상면에 소정의 간격을 두고 2개의 고정축(50, 52)이 기립하여 고정 장착된다. 고정축(50, 52)에 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)가 각각 회전 가능하게 장착된다.
제 1 아암 기구(26)는 중공 형상의 기단 아암(26A)과, 마찬가지로 중공 형상의 중간 아암(26B)과, 웨이퍼(W)를 실제로 탑재하여 유지하는 피크(26C)에 의해 주로 구성된다. 기단 아암(26A)의 기단부는 고정축(50)에 베어링(50A)을 거쳐서 회전 가능하게 지지된다. 고정축(50)에는 큰 풀리(54)가 고정되어서 고정축(50)과 일체로 된다.
기단 아암(26A)의 선단부에는 상측 방향으로 관통된 회전축(56)이 베어링(56A)을 거쳐서 회전 가능하게 설치된다. 회전축(56)에는 작은 풀리(58)가 고정되어서 회전축(56)과 일체로 되어 회전한다. 작은 풀리(58)와 큰 풀리(54)의 사이에 연결 벨트(60)가 걸리고, 동력이 전달된다. 작은 풀리(58)와 큰 풀리(54)에 대하여 2배의 회전각으로 회전한다.
회전축(56)의 상단부는 중간 아암(26B)의 기단부의 내부로 관통하여 설치되고, 그 상단은 중간 아암(26B)의 상면에 고정된다. 중간 아암(26B)은 회전축(56)과 일체로 되어 회전한다. 회전축(56)에는 작은 풀리(62)가 베어링(56B)을 거쳐서 회전 가능하게 지지된다. 작은 풀리(62)는 회전축(56)을 내부로 통과시켜서 동일축 구조로 된 중공 형상의 고정축(64)의 상단에 고정되고, 고정축(64)은 소정의 길이를 가지며, 그 하단은 중간 아암(26B)을 관통하여 하방으로 연장되는 동시에 기단 아암(26A)의 상면에 고정되어서 일체화된다. 회전축(56)과 고정축(64)의 사이에는 베어링(56C)이 개재되고, 고정축(64)은 중간 아암(26B)에 베어링(64A)을 거쳐서 회전 가능하게 지지된다.
중간 아암(26B)의 선단부에는 베어링(66A)을 거쳐서 회전축(66)이 회전 가능하게 지지된다. 회전축(66)의 상단부는 상방으로 관통하여 돌출되어 있고, 이 상단부에 피크(26C)의 기단부가 고정되어 설치된다. 회전축(66)에는 큰 풀리(68)가 고정된다. 큰 풀리(68)와 작은 풀리(62)의 사이에 연결 벨트(70)가 걸리고, 동력이 전달된다. 작은 풀리(62)와 큰 풀리(68)의 직경비는 1대 2이고, 큰 풀리(62)에 대하여 1/2배의 회전각으로 회전한다. 이로써, 회전 기대(24)를 고정한 상태에서, 후술하는 바와 같이 링크 기구(30)를 이용하여 제 1 아암 기구(26)를 굴신시키면, 피크(26C)는 한 방향을 향해 전진 및 후퇴한다.
한편, 제 2 아암 기구(28)는 좌우 대칭이지만 제 1 아암 기구(26)와 같이 구성된다. 즉, 제 2 아암 기구(28)는 중공 형상의 기단 아암(28A)과, 마찬가지로 중공 형상의 중간 아암(28B)과, 웨이퍼(W)를 실제 탑재하여 유지하는 피크(28C)에 의해 주로 구성된다. 기단 아암(28A)의 기단부는 고정축(52)에 베어링(52A)을 거쳐서 회전 가능하게 지지된다. 고정축(52)에는 큰 풀리(74)가 고정되어서 고정축(52)과 일체로 된다.
기단 아암(28A)의 선단부에는 상측 방향으로 관통된 회전축(76)이 베어링(76A)을 거쳐서 회전 가능하게 설치된다. 회전축(76)에는 작은 풀리(78)가 고정되어서 회전축(76)과 일체로 되어 회전한다. 작은 풀리(78)와 큰 풀리(74)의 사이에 연결 벨트(80)가 걸치고, 동력이 전달된다. 작은 풀리(78)와 큰 풀리(74)의 직경비는 1대 2이고, 작은 풀리(78)는 큰 풀리(74)에 대하여 2배의 회전각으로 회전한다.
회전축(76)의 상단부는 중간 아암(28B)의 기단부의 내부로 관통하여 설치되고, 그 상단은 중간 아암(28B)의 상면에 고정된다. 중간 아암(28B)은 회전축(76)과 일체로 되어 회전한다. 회전축(76)에는 작은 풀리(82)가 베어링(76B)을 거쳐서 회전 가능하게 지지된다. 작은 풀리(82)는 회전축(76)을 내부로 통과시켜서 동축 구조로 이루어진 중공 형상의 고정축(84)의 상단에 고정된다. 고정축(84)은 소정의 길이를 갖고 그 하단은 중간 아암(28B)을 관통하여 하방으로 연장되는 동시에, 기단 아암(28A)의 상면에 고정되어서 일체화된다. 회전축(76)과 고정축(84) 사이에는 베어링(76C)이 개재되고, 고정축(84)은 중간 아암(28B)에 베어링(84A)을 거쳐서 회전 가능하게 지지된다.
중간 아암(28B)의 선단부에는 베어링(86A)을 거쳐서 회전축(86)이 회전 가능하게 지지된다. 회전축(86)의 상단부는 상방으로 관통하여 돌출하고 있고, 이 상단부에 피크(26C)의 기단부가 고정되어 설치된다. 회전축(86)에는 큰 풀리(88)가 고정된다. 큰 풀리(88)와 작은 풀리(82)의 사이에 연결 벨트(90)가 걸리고, 동력이 전달된다. 작은 풀리(82)와 큰 풀리(88)의 직경비는 1대2이고, 큰 풀리(82)와 작은 풀리(82)에 대하여 1/2배의 회전각으로 회전한다. 이로써, 회전 기대(24)를 고정한 상태에서, 후술하는 바와 같이 링크 기구(30)를 이용하여 제 2 아암 기구(28)를 굴신시키면 피크(28C)는 한 방향을 향해 전진 및 후퇴한다.
도 1로부터 명확한 바와 같이, 양쪽 피크(26C, 28C)는 서로 동일 평면(수평면)상에 배치된다. 각 피크(26C, 28C)의 진행 방향이 다르고, 그 개방각(θ)은 예컨대 웨이퍼(W)의 크기에도 의존하지만, 60도 정도로 설정된다. 또한, 개방각(θ)은 상호 웨이퍼가 간섭하지 않는 범위에서, 예컨대 60∼180도 미만의 범위내에서 설정된다.
링크 기구(30)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 제 2 구동원인(34)(도 3 참조)에 의해 선회 구동되는 구동 링크(92)와, 이것에 연결되는 2개의 종동 링크(94A, 94B)에 의해 주로 구성된다. 구동 링크(92)는 회전 기대(24)에 선회 가능하게 지지된다. 도 4는 도 1에 도시하는 반송 장치의 회전 기대(24)의 내부 구조를 도시하는 단면도이다.
도 4에 도시하는 바와 같이, 회전 기대(24)의 선단부에는 베어링(96A)을 거쳐서 회전 가능하게 회전축(96)이 설치된다. 회전축(96)에는 종동 풀리(98)가 고정적으로 설치된다. 회전 기대(24)내의 구동축(40)에는 구동 풀리(100)가 고정적으로 설치된다. 구동 풀리(100)와 종동 풀리(98) 사이에 연결 벨트(102)가 걸리고, 제 2 구동원(34)의 동력이 전달된다. 즉, 여기서는 구동 풀리(100), 종동 풀리(98) 및 연결 벨트(102)에 의해 동력 전달 기구가 형성된다.
회전축(96)의 상단부는 회전 기대(24)의 상방으로 돌출하고, 이 상단부에 구동 링크(92)의 기단부가 연결되며, 양자가 일체로 되어 회전한다. 따라서, 구동축(40)을 정반대 회전함으로써, 구동 링크(92)도 정반대 방향으로 선회한다. 구동 링크(92)는 소정의 길이를 갖는다. 구동 링크(92)의 선단부에는 2개의 종동 링크(94A, 94B)의 기단부가 각각 지지핀(104A, 104B)과 베어링(도시하지 않음)을 거쳐서 병설 상태로 회전 가능하게 설치된다. 종동 링크(94A, 94B)는 소정의 길이를 갖는다.
한쪽 종동 링크(94A)의 선단부는 제 1 아암 기구(26)의 기단 아암(26A)의 중앙부의 상면에 지지핀(106A) 및 베어링(106B)을 거쳐서 회전 가능하게 연결된다(도 3 참조). 다른쪽 종동 링크(94B)의 선단부는 제 2 아암 기구(28)의 기단 아암(28A)의 중앙부의 상면에 지지핀(108A) 및 베어링(108B)을 거쳐서 회전 가능하게 연결된다(도 3 참조).
이로써, 반송 장치는 구동 링크(92)를 회전하면, 예컨대 도 2에 도시하는 바와 같이 동작한다. 도 2는 도 1에 도시하는 반송 장치에 있어서, 한쪽의 아암 기구가 신장된 상태를 나타내는 평면도이다. 즉, 구동 링크(92)를 한쪽으로 소정 각도만큼 회전시키면, 한쪽 피크(26C)가 크게 전진하는 동시에, 다른쪽의 피크(28C)는 근소한 거리만큼 후퇴한다. 구동 링크(92)를 다른쪽으로 소정의 각도만큼 회전하면, 각 피크(26C, 28C)는 상기와는 반대 동작이 실행된다. 즉, 링크 기구(30)를 정반대 회전시킴으로써, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)가 선택적으로 굴신된다.
다음에, 이상과 같이 구성된 제 1 실시 형태의 동작에 대하여 설명한다.
우선, 반송 장치(20)를 소정 방향으로 방향을 정할 경우, 도 3에 도시하는 제 1 및 제 2 구동원(32, 34)을 동기시켜서 회전한다. 이로써 회전 기대(24)가 선회하여 소정 방향을 향하는 동시에, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)는 접힌 상태(수축된 상태)에서 소정의 방향을 향한다.
다음에, 한쪽 피크, 예컨대 피크(26C)를, 도 2에 도시하는 바와 같이 신장시켜 전진시킨다. 이 때문에, 먼저 제 1 구동원(32)을 정지시킨 상태에서 제 2 구동원(34)을 소정 방향으로 소정의 각도 또는 소정의 회전수만큼 회전시킨다. 이 회전 구동력은 구동축(40), 구동 풀리(100), 연결 벨트(102) 및 종동 풀리(98)를 거쳐서 회전축(96)으로 전달되어 이것을 회전시킨다.
이 때, 회전축(96)에 일체적으로 연결된 링크 기구(30)의 구동 링크(92)는 도 2의 화살표(A)로 표시된 바와 같이 회전한다. 따라서, 구동 링크(92)에 연결된 종동 링크(94A)는 화살표(B)로 표시된 바와 같이 경사진 방향으로 신장된다. 종동 링크(94A)의 선단부가 연결되는 제 1 아암 기구(36)의 기단 아암(26A)은 고정축(50)(도 3 참조)을 지지점으로 하여 화살표(C)(도 2 참조)에 도시한 바와 같이 회전한다.
그러면, 기단 아암(26A)내의 큰 풀리(54)가 상대적으로 회전한다[실제로는, 큰 풀리(54)는 회전하지 않고 기단 아암(26A)이 회전한다]. 이 회전 구동력은 연결 벨트(60), 작은 풀리(58)를 거쳐서 중간 아암(26B)으로 전달되고, 또한 작은 풀리(62), 연결 벨트(70) 및 큰 풀리(68)를 거쳐서 회전축(66)으로 전달된다. 이로써, 기단 아암(26A), 중간 아암(26B) 및 피크(26C)는 접힌 상태로부터 도 2에 도시하는 바와 같이 신장 상태로 된다. 이 결과, 피크(26C)는 동일 방향을 향한 채로, 화살표(D)로 표시하는 바와 같이 직선상으로 전진한다. 이로써, 피크(26C)를 소정의 처리실(도시하지 않음)내로 삽입할 수 있다.
이 때, 다른쪽 제 2 아암 기구(28)는 도 1과 도 2를 비교하면 명확한 바와 같이, 근소한 거리만큼 후방으로 후퇴한 장소로 이동한다. 다음에, 제 2 구동원(34)을 역방향으로 회전시키면, 제 1 아암 기구(26)는 상기와는 역의 경로를 따라 수축한다.
다른쪽 제 2 아암 기구(28)를 전방으로 신장시키기 위해서는, 상기와 역의 조작을 실행할 수 있으면 된다. 또한 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 각 피크(26C, 28C)는 장치 전체의 회전 중심(C1)을 통과하는 선분(L1, L2)상을 따라 각각 전진, 또는 후퇴 이동한다.
이상과 같이 동작함으로써, 예컨대 처리실내의 웨이퍼를 교체하는 경우, 종래의 반송 장치에 비해, 웨이퍼(W)의 교환 조작을 신속히 실행할 수 있다. 즉, 처리 완료한 웨이퍼(W)를 취출한 후, 반송 장치(20) 전체를 피크의 개방각(θ), 예컨대 60도만큼 선회하면 미처리의 웨이퍼(W)를 유지하는 다른쪽 피크를 처리 실로 방향을 정할 수 있다. 또한, 한쪽 피크에 웨이퍼(W)를 유지하고, 다른쪽 피크가 빈 상태에 있어서, 이 빈 피크를 전진 또는 후퇴시키는 경우, 웨이퍼(W)를 유지하고 있는 측의 피크의 이동량은 상술한 바와 같이 근소하다. 이 때문에, 빈 피크의 전진, 또는 후퇴 동작을 고속으로 실행해도 다른쪽의 피크로부터 웨이퍼(W)가 어긋나 떨어지는 일이 없다. 따라서, 그 만큼, 웨이퍼(W)의 교체 조작을 더욱 신속하게 실행하는 것이 가능해진다.
<제 2 실시 형태>
도 5는 본 발명의 제 2 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 양쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 도시하는 사시도이다. 도 6은 도 5에 도시하는 반송 장치에 있어서, 한쪽 아암 기구가 신장된 상태를 나타내는 평면도이다. 도 7은 도 5에 도시하는 반송 장치를 나타내는 부분 단면도이다.
제 2 실시 형태와 제 1 실시 형태에서 상이한 부분은 이하의 점이다. 즉, 제 1 실시 형태에서는, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 기단부는 회전 기대(24)상에 상이한 2개의 축, 즉 고정축(50, 52)에 각각 선회 가능하게 지지된다. 제 2 실시 형태에서는 제 1 및 즉 고정축(50, 52)에 각각 선회 가능하게 지지된다. 제 2 실시 형태에서는, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 기단부는 동일 고정축에 선회 가능하게 지지된다. 또한, 제 1 실시형태에서는 피크(26C, 28C)는 동일 평면상에 다른 방향으로 배치된다. 제 2 실시 형태에서는, 피크(26C, 28C)는 상하로 중첩 배치되고, 또한 동일 방향을 향하게 된다. 이와 같이, 피크(26C, 28C)가 상하로 중첩 배치되는 상태는 이 이후에 설명하는 다른 실시 형태도 동일한 구조이다.
도 7에 도시하는 바와 같이, 회전 기대(24)상에는 1개의 고정축(110)이 기립되어 고정적으로 설치된다. 고정축(110)은 제 1 실시 형태의 각 고정축(50, 52)(도 3 참조)보다도 길게 설정된다. 또한 실제로는 고정축(110)은 회전 기대(24)를 회전시키는 구동축(38)에 대하여 횡방향으로 위치가 어긋나게 설치된다. 이 점은 제 1 실시 형태의 경우와 동일하다.
1개의 고정축(110)에 제 1 아암 기구(26)의 큰 풀리(54)와 제 2 아암 기구(28)의 큰 풀리(74)가 상하로 늘어서도록 하여 고정적으로 장착된다. 각 큰 풀리(54 및 74)를 중심으로 하여, 제 1 아암 기구(26)의 기단 아암(26A) 및 제 2 아암 기구(28)의 기단 아암(28A)이 설치된다. 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)는 서로 상하로 중첩되기 때문에, 상호 간섭을 방지할 필요가 있다. 이 때문에, 기단 및 중간 아암(26A, 26B 및 28A, 28B)을 연결하는 고정축(64, 84)의 길이가 조금 길게 설정된다.
제 1 실시 형태에서는, 링크 기구(30)의 2개의 종동 링크(94A, 94B)의 선단부는 모두 기단 아암(26A, 28A)의 상면측에 지지된다(도 3 참조). 제 2 실시 형태에서는, 도 7에도 도시하는 바와 같이, 기단 아암(26A, 28A)간의 높이 레벨이 상이하다. 이 때문에, 한쪽 종동 링크(94A)의 선단부는 기단 아암(26A)의 하면측에 회전 가능하게 지지된다. 다른쪽 종동 링크(94B)의 선단부는, 제 1 실시 형태의 경우와 같이, 기단 아암(28A)의 상면측에 회전 가능하게 지지된다. 이로써, 양쪽 피크(26C, 28C)는 높이는 다르지만 동일 방향을 향해 전진 후퇴할 수 있다. 또한, 제 2 실시 형태에서는, 동작시의 양쪽 피크(26C, 28C)의 높이 레벨을 맞추기 위해, 이 장치 전체를 상하 방향(Z 방향)으로 이동하는 Z축 이동 기구(도시하지 않음)가 설치된다.
도 8a 내지 도 8d는 도 5에 도시하는 반송 장치의 일련의 동작 상태를 모식적으로 도시한 도면이다. 도 8a에서는 제 2 아암 기구(28)는 신장하고, 제 1 아암 기구(26)는 수축하고 있는 상태를 도시한다. 여기서, 링크 기구(30)를 반대 방향으로 선회시켜 가면, 이에 수반하여, 도 8b에 도시하는 바와 같이 제 2 아암 기구(28)는 수축하기 시작하고, 또한 제 1 아암 기구(26)는 신장을 개시한다. 또한, 이 때, 제 1 아암 기구(26)의 피크(26C)는 일시적으로 조금 후퇴한다.
또한 링크 기구(30)를 반대 방향으로 선회시켜 가면, 도 8c에 도시하는 바와 같이, 제 2 아암 기구(28)는 더욱 수축을 계속하고, 제 1 아암 기구(26)는 신장을 계속한다. 이 시점은 양쪽 피크(26C, 28C)가 상하로 중첩되어 있는 상태를 나타낸다. 또한 링크 기구(30)를 반대 방향으로 선회해 가면, 도 8d에 도시하는 바와 같이, 제 2 아암 기구(28)는 가장 수축되고, 이에 반해 제 1 아암 기구(26)는 가장 신장된 상태로 된다.
이와 같이 하여, 양쪽 피크(26C, 28C)가 교체된다. 또한, 실제 동작에서는, 도 8c에 도시하는 시점에서, 양쪽 피크(26C, 28C)의 높이 레벨을 조정하기 위해서, 이 장치 전체가 상방 또는 하방으로 조금 이동된다.
이와 같이, 제 2 실시 형태의 경우, 제 1 및 제 2 구동원(32, 34)의 2개의 모터만으로, 상하로 중첩되도록 늘어선 2개의 피크(26C, 28C)를 각각 갖는 제 1 및 제 2의 2개의 아암 기구(26, 28)를 굴신시킬 수 있다. 따라서 장치 구조가 단순화되고, 비용도 삭감하는 것이 가능해진다.
<제 3 실시 형태>
도 9는 본 발명의 제 3 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 양쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 도시하는 평면도이다. 도 10은 도 9에 도시하는 반송 장치에 있어서, 한쪽의 아암 기구가 신장되어 있는 상태를 도시하는 평면도이다. 도 11은 도 9에 도시하는 반송 장치의 링크 기구의 부분을 주로 나타내는 부분 단면도이다.
제 3 실시 형태에서는, 제 2 실시 형태의 경우와 같이, 피크(26C, 28C)는 상하에 중첩되고, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 기단부는 동일축에 선회 가능하게 이루어진다. 제 3 실시 형태가 제 1 및 제 2 실시 형태와 크게 다른 점은 링크 기구(30)의 구동 링크(92)(도 1, 도 6 참조)를, 작은 소형 링크 기구(112)로 바꾸어 설치한 점이다. 즉, 도 4와 비교하면 명확한 바와 같이, 도 4에 도시하는 구동 링크(92)로 전환하여, 여기서는 도 11에 도시하는 바와 같이 소형 링크 기구(112)가 설치된다.
소형 링크 기구(112)는 제 1 링크 레버(114)와 제 2 링크 레버(116)로 이루어지고, 양쪽 아암(114, 116)이 굴신 가능하게 연결된다. 구체적으로는, 제 1 링크 레버(114)는 중공 형상으로 된다. 회전 기대(24)의 선단부의 회전축(96)의 상단부는 제 1 링크 레버(114)의 기단부내를 관통하여 설치된다. 회전축(96)의 상단이 제 1 링크 레버(114)의 상면의 내측에 고정되어 장착된다. 이로써, 제 1 링크 레버(114)와 회전축(96)이 일체로 되어 회전한다.
제 1 링크 레버(114)내의 회전축(96)에는 베어링(118)을 거쳐서 큰 풀리(120)가 회전 가능하게 설치된다. 회전축(96)의 외주에는 이것과 동일축으로 이루어진 중공 형상의 외측축(122)이 설치된다. 외측축(122)의 하단은 회전 기대(24)의 상면에 고정되는 동시에 상단은 큰 풀리(120)에 고정된다.
회전축(96)과 외측축(122)의 사이 및 외측축(122)과 제 1 링크 레버(114)의 관통부 사이에는 각각 베어링(124A, 124B)이 개설되고, 양 축이 서로 회전 가능하게 이루어진다. 제 1 링크 레버(114)의 선단부에는 베어링(126)을 거쳐서 회전축(128)이 회전 가능하게 설치된다. 회전축(128)에는 작은 풀리(130)가 고정되어 설치된다. 작은 풀리(130)와 큰 풀리(120) 사이에 연결 벨트(132)가 걸쳐지고, 구동력이 전달된다. 작은 풀리(130)와 큰 풀리(120)의 직경비는 1대 2로 설정된다. 회전축(128)의 상단부는 상방으로 돌출되어 있고, 이 부분에는 제 2 링크 레버(116)의 기단부가 고정적으로 연결된다. 이로써, 회전축(128)과 제 2 링크 레버(116)가 일체로 되어 회전한다.
제 2 링크 레버(116)의 선단부에 고정축(133)이 기립하도록 설치된다. 고정축(133)의 하측 부분에 한쪽 종동 링크(94A)의 기단부가 베어링(134A)을 거쳐서 회전 가능하게 장착된다. 종동 링크(94A)에 의해 제 1 아암 기구(26)가 굴신된다. 또한, 고정축(133)의 상측 부분에 다른쪽의 종동 링크(94B)의 기단부가 베어링(134B)을 거쳐서 회전 가능하게 장착된다. 종동 링크(94B)에 의해 제 2 아암 기구(28)가 굴신된다. 또한, 도시한 예의 경우, 양쪽 종동 링크(94A, 94B)의 선단부는 기단 아암(26A, 26B)의 상면측에 각각 회전 가능하게 지지된다. 그러나, 이것들은 하면측에 회전 가능하게 지지될 수도 있고, 상면측 및 하면측에 서로 다르게 지지될 수도 있다.
제 3 실시 형태의 경우, 제 2 구동원(34)(도 3 참조)을 정반대 회전 구동시키면 소형 링크 기구(112)가 굴신한다. 이 때, 링크 기구(30)의 양쪽 종동 링크(94A, 94B)의 기단부의 지지점(P1)은 도 10의 직선(140)상을 왕복 이동한다. 이로써, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)는 교대로 신장하거나, 굴곡하여 수축되기도 한다.
이와 같이, 제 3 실시 형태의 경우, 제 1 및 제 2 구동원(32, 34)의 2개의 모터만으로 상하로 중첩되도록 정렬된 2개의 피크(26C, 28C)를 각각 갖는 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)를 굴신시킬 수 있다. 따라서 장치 구조가 단순화되고, 비용도 삭감하는 것이 가능해진다.
<제 4 실시 형태>
도 12는 본 발명의 제 4 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 양쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 도시하는 평면도이다. 도 13은 도 12에 도시하는 반송 장치를 도시하는 측면도이다. 도 14는 도 12에 도시하는 반송 장치에 있어서, 한쪽 아암 기구가 신장되어 있는 상태를 도시하는 평면도이다.
제 4 실시 형태에서는, 제 3 실시 형태의 경우와 같이, 피크(26C, 28C)는 상하로 중첩되고, 또한 링크 기구(30)에 소형 링크 기구(112)가 설치된다. 제 4 실시 형태가 제 3 실시 형태와 다른 점은 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)가 회전 기대(24)에 대하여 동일한 고정축에 지지되는 것이 아니라, 제 1 실시 형태의 경우와 같이, 병설하여 설치한 2개의 고정축(50, 52)에 각각 개별적으로 회전 가능하게 지지되는 점이다.
제 1 아암 기구(26)는 기단 아암(26A), 중간 아암(26B), 피크(26C), 피크(26C)의 기단부(26D)로 이루어진다. 제 2 아암 기구(28)는 기단 아암(28A), 중간 아암(28B), 피크(28C), 피크(28C)의 기단부(28D)로 이루어진다. 제 1 아암 기구(26)의 상방에 제 2 아암 기구(28)가 배치되고, 상하로 중첩되는 양쪽 피크(26C, 28C)가 서로 간섭하지 않도록 설정된다.
제 4 실시 형태는 제 3 실시 형태와 동일한 작용 효과를 발휘할 수 있다. 즉, 제 1 및 제 2 구동원(32, 34)의 2개의 모터만으로 상하에 중첩되도록 나열된 2개의 피크(26C, 28C)를 각각 갖는 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)를 굴신시킬 수 있다. 따라서 장치 구조가 단순화되고, 비용도 삭감하는 것이 가능해진다.
<제 5 실시 형태>
도 15는 본 발명의 제 5 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 한쪽 아암 기구가 신장되어 있는 상태를 나타내는 평면도이다. 도 16은 도 15에 도시하는 반송 장치에 있어서, 제 2 구동원으로서 이용한 리니어 모터와 링크 기구의 연결 상태를 설명하기 위한 부분 단면도이다.
제 5 실시 형태는 제 3 실시 형태와 대략 동일한 구성이지만, 이하의 점에 있어서 주로 상이하다. 즉, 제 3 실시 형태에서는, 도 10에 도시하는 바와 같이, 링크 기구(30)의 2개의 종동 링크(94A, 94B)의 기단부에 소형 링크 기구(112)가 연결된다. 소형 링크 기구(112)를 굴신시킴으로써, 종동 링크(94A, 94B)의 기단부가 직선(140)을 따라 왕복 이동된다. 이에 반하여, 제 5 실시 형태에서는, 도 15 및 도 16에 도시하는 바와 같이, 직선(140)을 따르도록 정밀 위치 제어가 가능한 리니어 모터(142)가 설치된다. 리니어 모터(142)는 도 3에 도시하는 제 2 구동원(34)으로서의 기능을 다한다.
리니어 모터(142)의 이동체(142A)에 지지 로드(144)가 고정 장착된다. 지지 로드(144)에 고정축(133)이 기립하도록 설치된다. 고정축(133)에, 도 11에 있어서 설명한 바와 같이, 베어링(134A, 134B)을 거쳐서 종동 링크(94A, 94B)의 기단부가 각각 회전 가능하게 고정 장착된다.
제 5 실시 형태의 경우, 리니어 모터(142)가 제 2 구동원으로서 사용된다. 즉, 링크 기구(30)의 2개의 종동 링크(94A, 94B)의 기단부측이 리니어 모터(142)의 이동체(142A)측에 직접적으로 회전 가능하게 지지되고, 이동체(142A)가 직선 운동된다. 이 경우, 도 3 및 도 4 중에 있어서 설명한 모터 박스(44)내의 제 2 구동원(34), 회전 기대(24)중의 구동 풀리(100), 종동 풀리(98) 및 연결 벨트(102)가 불필요하게 된다. 이 때문에, 그 만큼 장치 구성을 보다 단순화할 수 있다.
제 5 실시 형태의 경우, 리니어 모터(142)의 이동체(142A)를 왕복 이동시킴으로써, 2개의 종동 링크(94A, 94B)의 기단부를 직선(140)을 따라 왕복 이동시킨다. 이로써, 제 3 실시 형태(도10 참조)의 경우와 같이, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)를 굴신 동작시킬 수 있다. 이와 같이, 제 5 실시 형태의 경우, 제 1 구동원(32)과 제 2 구동원으로 되는 리니어 모터(142)의 2개의 모터만으로 상하로 중첩되도록 나열된 2개의 피크(26C, 28C)를 각각 갖는 제 1 및 제 2의 2개의 아암 기구(26, 28)를 굴신시킬 수 있다. 따라서, 장치 구조가 단순화되고, 비용도 삭감하는 것이 가능해진다.
<제 6 실시 형태>
도 17은 본 발명의 제 6 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 양쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 나타내는 평면도이다. 도 18은 도 17에 도시하는 반송 장치에 있어서, 한쪽 아암 기구가 신장되어 있는 상태를 도시하는 평면도이다. 도 19는 도 17에 도시하는 반송 장치를 도시하는 부분 단면도이다.
제 6 실시 형태는 제 4 실시 형태와 유사한 구성이지만, 이하의 점에 있어서 주로 다르다. 즉, 제 4 실시 형태에서는, 제 2 구동원(34)의 구동력이 회전 기대(24)의 구동 풀리(100), 연결 벨트(102), 종동 풀리(98), 소형 링크 기구(112)를 거쳐서 양쪽 종동 링크(94A, 94B)에 전달된다. 이에 반해, 제 6 실시 형태에서는 양쪽 종동 링크(94A, 94B)의 기단부와 제 2 구동원(34)의 구동축(40)이, 도 1에 도시하는 제 1 실시 형태의 구동 링크(92)로 연결된다.
바꾸어 말하면, 구동 링크(92)의 기단부는 제 2 구동원(34)의 구동축(40)에 직접적으로 연결 고정된다. 이로써 구동 링크(92)는 회전 기대(24)의 회전 중심 부분에 회전 가능하게 지지된다. 구동 링크(92)의 선단부에, 도 1에 도시하는 제 1 실시 형태와 같이, 지지핀(104A, 104B)(도 18 참조)이 기립하도록 설치된다. 각 지지핀(104A, 104B)에 각각 베어링(150)을 거쳐서 2개의 종동 링크(94A, 94B)의 기단부가 각각 회전 가능하게 지지된다. 도 19에 있어서는 한쪽 아암(94A)만을 도시한다.
제 6 실시 형태의 경우에도, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 기단부는 제 4 실시 형태의 경우와 같이, 회전 기대(24)에 대하여 병렬하도록 다른 축에 회전 가능하게 지지된다. 양쪽 피크(26C, 28C)는 상하로 서로 중첩되도록 배치되며, 동일 방향을 향해 굴신된다. 각 기단 아암(26A, 28A)의 대략 중앙부에 수평 방향으로 연장되는 연결 돌기(152, 154)가 설치된다. 보조 돌기(152, 154)의 종동 링크(94A, 94B)의 선단부가 각각 베어링(도시하지 않음)을 거쳐서 선회 가능하게 지지된다.
제 6 실시 형태의 경우에도, 제 2 실시 형태의 경우와 대략 동일한 동작을 한다. 단, 제 6 실시 형태의 경우, 구동 링크(92)는 제 2 구동원(34)의 구동축(40)을 중심으로 하여 선회하기 때문에, 양쪽 종동 링크(94A, 94B)의 기단부는 제 4 실시 형태의 경우와 다르게 구동축(40)을 중심으로 한 원호 형상의 궤적을 왕복 이동한다. 이로써, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)가 서로 역방향으로 되도록 굴신된다.
도 20a 내지 도 20g는 도 17에 도시하는 반송 장치의 일련의 동작 상태를 모식적으로 도시한 도면이다. 도 20a에서는 제 1 아암 기구(26)는 신장하고, 제 2 아암 기구(28)는 수축하고 있는 상태를 도시한다. 여기서, 구동 링크(92)를 회전시켜서 링크기구(30)를 반대 방향으로 선회시켜 가면, 이에 수반하여 도 20b에 도시하는 바와 같이 제 1 아암 기구(26)는 수축하기 시작하고, 또한 제 2 아암 기구(28)는 거의 이동하지 않는다.
또한, 구동 링크(92)를 회전시켜서 링크 기구(30)를 반대 방향으로 선회해 가면, 도 20c에 도시하는 바와 같이, 제 1 아암 기구(26)는 수축을 더욱 계속하고, 제 2 아암 기구(28)는 조금 신장을 개시한다. 다음에, 구동 링크(92)가 더 회전하면, 도 20d에 도시하는 바와 같이 이 시점에서 양쪽 피크(26C, 28C)가 상하로 중첩된 상태로 된다. 또한, 여기서는 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)가 모두 상당히 수축된 상태로 된다.
또한 구동 링크(92)를 회전하여 링크 기구(30)를 반대 방향으로 선회해 가면, 도 20e 내지 도 20g에 도시하는 바와 같이, 제 1 아암 기구(26)는 그대로 수축 상태를 유지하고, 이에 반해 제 2 아암 기구(28)는 점차 신장되어 가장 신장된 상태로 된다. 이와 같이 하여, 양쪽 피크(26C, 28C)가 교체된다. 또한, 실제 동작에서는, 도 20d에 도시하는 시점에서, 양쪽 피크(26C, 28C)의 높이 레벨을 조정하기 위해, 이 장치 전체가 상방 또는 하방으로 조금 이동된다.
이와 같이, 제 6 실시 형태의 경우, 제 1 및 제 2 구동원(32, 34)의 2개의 모터만으로, 상하로 중첩되도록 나열된 2개의 피크(26C, 28C)를 각각 갖는 제 1 및 제 2의 2개의 아암 기구(26, 28)를 굴신시킬 수 있다. 따라서 장치 구조가 단순화되고, 비용도 삭감하는 것이 가능해진다. 구동 링크(92)가 제 2 구동원(34)의 구동축(40)에 연결되므로, 풀리나 연결 벨트로 이루어지는 동력 전달 기구가 불필요하게 되고, 그 만큼 장치 구성을 보다 단순화할 수 있다.
<제 7 실시 형태>
도 21은 본 발명의 제 7 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 양쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 도시하는 평면도이다. 이 장치의 제 1 및 제 2 구동원과 회전 기대와 제 1 및 제 2 아암 기구의 수직 방향에 있어서의 접속 양태는 대략 도 3에 도시하는 것으로 된다. 또한, 이 장치의 제 1 및 제 2 구동원과 회전 기대와 한쪽 아암 기구의 수직 방향에 있어서의 접속 양태는 대략 도 19에 도시하는 바와 같은 것이 된다.
제 7 실시 형태는 제 1 실시 형태와 유사하고, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 기단 아암(26A, 28A)은 회전 기대(24)(도 21에서는 원형임)상에 있어서 동일 평면상에서 서로 이간된 축을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지된다. 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 피크(26C, 28C)는 동일 평면상에서 서로 다른 방향을 향해 배치되고, 피크(26C, 28C)의 개방각은 60 내지 180도의 범위로 설정된다. 그러나, 제 7 실시 형태는 제 1 실시 형태와 상이하고, 링크 기구(30)의 구동 링크(92)의 선회축은 회전 기대(24)의 회전축과 동축 형상으로 배치된다.
제 7 실시 형태에 있어서의 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 동작은 제 1 실시 형태와 제 6 실시 형태를 합친 동작이 된다. 즉, 예컨대, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 양자가 수축되는 도 21에 도시하는 초기 상태로부터, 제 2 아암 기구(28)가 신장되어 피크(28C)를 전방으로 이동시키는 것으로 한다. 이 경우, 제 1 아암 기구(26)는 수축 상태를 실질적으로 유지하지만, 회전 기대(24)의 회전과 함께 기단 아암(26A)과 중간 아암(26B)의 각도가 넓어지기 때문에, 피크(26C)를 후퇴시킨다. 이 동작은 도 20d 내지 도 20g에 도시하는 동작과 유사하다. 그러나, 이 때, 피크(26C)는 전방을 향한 상태가 아니라, 도 2에 도시하는 바와 같이 경사 방향을 향한 것으로 된다.
제 7 실시 형태에 의하면, 제 1 실시 형태와 비교하여 전체 구조가 소형화된다는 이점이 얻어진다. 또한, 제 7 실시 형태에 의하면, 제 6 실시 형태와 비교하여, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 사용의 전환에 있어서, 장치 전체를 승강시킬 필요가 없어진다는 이점이 얻어진다.
<제 8 실시 형태>
도 22는 본 발명의 제 8 실시 형태에 따른 반송 장치에 있어서, 양쪽 아암 기구가 수축되어 있는 상태를 도시하는 평면도이다. 도 23은 도 22에 도시하는 반송 장치에 있어서, 한쪽 아암 기구가 신장된 상태를 도시하는 사시도이다. 이 장치의 제 1 및 제 2 구동원과 회전 기대와 제 1 및 제 2 아암 기구의 수직 방향에 있어서의 접속 양태는 대략 도 3에 도시하는 바와 같은 것으로 된다. 또한, 이 장치의 제 1 및 제 2 구동원과 회전 기대와 한쪽 아암 기구의 수직 방향에 있어서의 접속 양태는 대략 도 19에 도시하는 바와 같은 것으로 된다.
제 8 실시 형태는 제 7 실시 형태와 유사하고, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 기단 아암(26A, 28A)은 원형의 회전 기대(24)상에 있어서 동일 평면상에서 서로 이간된 축을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지된다. 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 피크(26C, 28C)는 동일 평면상에 서로 다른 방향을 향해 배치되고, 피크(26C, 28C)의 개방각은 60 내지 180도의 범위로 설정된다. 링크 기구(30)의 구동 링크(92)의 선회축은 회전 기대(24)의 회전축과 동일축 형상으로 배치된다.
그러나, 제 8 실시 형태는 제 7 실시 형태와 상이하고, 2개의 종동 링크(94A, 94B)는 U자형을 이루며, 다른 높이 레벨로 배치되고, 또한 서로 교차하도록 설치된다. 구체적으로는, 도 22에 도시하는 바와 같이, 제 1 아암 기구(26)에 연결된 종동 링크(94A)는 구동 링크(92)에 대하여 중심선(CL92)을 넘어서 제 2 아암 기구(28)에 가까운 측에 축 지지된다. 마찬가지로, 제 2 아암 기구(28)에 연결된 종동 링크(94B)는 구동 링크(92)에 대하여, 중심선(CL92)을 초과하여 제 1 아암 기구(26)에 가까운 측에 축 지지된다. 여기서, 중심선(CL92)은 제 1 및 제 2 아암 기구 양자가 수축하는 초기 상태에 있어서의, 제 1 및 제 2 피크(26C, 28C)의 중심(CA, CB)을 연결한 선분(CA-CB)의 수직 이등분선이다.
도 24a 내지 도 24e는 도 12에 도시하는 반송 장치의 일련의 동작 상태를 모식적으로 도시하는 도면이다. 도 24a는 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 양자가 수축하는 초기 상태를 나타낸다. 이 초기 상태로부터, 회전 기대(24)를 반시계 방향으로 회전하면, 제 2 아암 기구(28)가 신장하여 피크(28C)를 전방으로 이동시키는 한편, 제 1 아암 기구(26)는 수축 상태를 실질적으로 유지한다(도 24b 내지 도 24e 참조). 이 때, 종동 링크(94A, 94B)가 상술한 바와 같은 양태로 배치되어 있기 때문에, 제 1 아암 기구(26)의 피크(26C)에 발생하는 이동 가속도가 작아진다.
이 이유를 설명하기 위해서, 구동 링크(92)의 선회축(O)과, 기단 아암(26A)과 제 2 종동 링크(94A)의 연결점(OA)과, 기단 아암(26B)과 제 2 종동 링크(94B)의 연결점(OB)을 각각 연결하는 선분(O-OA)과 선분(O-OB)에 착안한다. 제 8 실시 형태에 따른 반송 장치는 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)내에서 신장시키지 않는 만큼(수축측)의 기구의 연결점(OA) 또는 (OB)을 포함하는 선분(O-OA 또는 O-OB)의 변화량이 적어지도록 구성된다. 예컨대, 도 24a 내지 도 24e에 도시하는 동작예에서는, 도 24a에 도시하는 수축 상태로부터 회전 기대(24)를 회전시키면, 제 2 아암 기구(28)가 신장함에 수반하여, 제 2 아암 기구(28)측의 선분(O-OB)의 길이는 증가해간다. 그러나, 제 1 아암 기구(26)측의 선분(O-OA)의 길이는 도 24e에 도시하는 제 2 아암 기구(28)의 신장 상태까지 그다지 변화하지 않는다.
이러한 구성 결과, 수축측의 제 1 아암 기구(26)측에서는 회전 기대(24)의 회전에 수반하여, 다음과 같은 동작을 실행한다. 즉, 우선, 도 24a 내지 도 24c에 도시하는 바와 같이, 기단 아암(26A)과 중간 아암(26B) 사이 각도가 점차 넓어지고, 피크(26C)가 후방으로 조금 변위한다. 그러나, 다음에 도 24c 내지 도 24e에 도시하는 바와 같이, 기단 아암(26A)과 중간 아암(26B) 사이의 각도가 점차 좁아지고, 피크(26C)가 전방으로 복귀하도록 조금 변위한다. 또한, 도 24c는 구동 링크(92)의 선회축(O)과 기단 아암(26A)과 제 2 종동 링크(94A)의 연결점(OA)과, 구동 링크(92)와 종동 링크(94A)의 연결점(O1)의 3점이 일직선상에 나열되는 사점 상태를 나타낸다.
이와 같이, 제 8 실시 형태에 있어서는, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 양자가 수축되는 초기 상태로부터, 제 2 아암 기구(28)가 신장되는 사이에, 제 1 아암 기구(26)는 사점 상태[도 24c에 도시하는 3점(O, OA, O1)이 일직선상에 정렬하는 상태]를 끼운 상태 사이에서 변화한다. 따라서, 수축측의 제 1 아암 기구(26)의 피크(26C)는 최초로 근소하게 후퇴하고, 다음으로 근소하게 전진하는 느긋한 동작을 실행한다. 또한, 피크(26C)의 스트로크도 작은 것으로 된다. 또한, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 양자가 수축되는 초기 상태로부터, 제 1 아암 기구(26)가 신장하는 경우도, 제 2 아암 기구(28)의 피크(28C)는 동일한 동작을 실행한다.
상술한 효과를 확인하기 위해서, 제 7 및 제 8 실시 형태에 따른 장치를, 링크 기구를 제외하고, 동일 사양으로 형성하여 비교 실험을 행하였다. 이 실험에 있어서, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 양자가 수축하는 초기 상태로부터, 제 1 아암 기구(26)를 신장시켜서, 이 때의 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 아암 스트로크를 측정했다.
도 25는 이 비교 실험의 결과를 도시하는 그래프이다. 도 25의 "L71", "L81"은 각각 제 7 및 제 8 실시 형태에 따른 장치의 제 1 아암 기구(26)의 아암 스트로크를 도시한다. 또한, "L72", "L82"는 각각 제 7 및 제 8 실시 형태에 따른 장치의 제 2 아암 기구(28)의 아암 스트로크를 도시한다. 도 25의 횡축은 회전 기대(24)의 회전 각도(°)를 나타내고, 종축은 아암 스트로크(㎜)를 타나낸다.
도 25에 도시하는 바와 같이, 예컨대 제 1 아암 기구(26)에 필요한 아암 스트로크를 600㎜로 한 경우, 제 7 및 제 8 실시 형태에 따른 장치에서는, 각각 회전 기대(24)를 약 70도 및 약 80도 회전시키는 것이 필요하게 된다. 이 동안, 제 7 실시 형태에 따른 장치의 제 2 아암 기구(28)의 아암 스트로크는 최대값의 약 400㎜까지 점진적으로 증가한다. 한편, 제 8 실시 형태에 따른 장치의 제 2 아암 기구(28)의 아암 스트로크는 회전 기대(24)가 약 40도 회전한 시점에서 최대값의 약 100㎜를 취하고, 그 후에는 다시 감소한다.
이와 같이, 제 8 실시 형태에 있어서는, 한쪽 아암 기구가 신장되는 동안에, 다른쪽의 아암 기구의 피크는 천천히 동작하며 또한 그 아암 스트로크의 최대값도 작다. 이 때문에, 이 피크에 발생하는 이동 가속도가 작아지고, 피크상의 웨이퍼(W)가 위치 어긋나기 어려워진다. 따라서, 그 만큼, 장치의 동작을 빠르게 하는 것이 가능해지고, 처리 효율을 올릴 수 있다.
<제 1 내지 제 8 실시 형태에 공통 사항>
제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 베어링으로는 알루미늄 합금제의 하우징의 표면에 경질 황산 알루마이트 처리를 실시한 것을 적용할 수 있다. 하우징을 알루미늄 합금으로 구성하면, 자중에 의한 아암 기구의 무너짐을 억제할 수 있는 동시에, 작동시켰을 때의 관성력을 작게 하여, 아암 기구의 반송 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 프로세스에 따라서는 처리실내에 자장을 형성하는 것이 있지만, 알루미늄 합금제의 하우징에 의하면, 자장에 의한 아암 기구의 흔들림을 방지할 수 있다. 또한, 표면에 알루마이트 처리를 실시한 하우징에서는, 그리스가 알루마이트 피막에 충분히 함침되기 때문에, 그리스(grease)의 보충 수명을 연장시킬 수 있다.
또한, 제 1 내지 제 8 실시 형태에서는, 반송 장치를 진공 분위기 중에 설치한 경우를 예로 들어 설명했다. 이것을 대신하여, 반송 장치를 대기압 분위기중에 설치하도록 할 수도 있다. 또한, 제 1 내지 제 8 실시 형태에서는, 반송 장치에 의해 반도체 웨이퍼를 처리실과의 사이에서 출입시켜 웨이퍼를 교체하는 경우를 예로 들어 설명했다. 이것을 대신하여, 처리실이 직접적으로 관여하지 않는, 웨이퍼 반송 중간 경로에 있어서 상기 반송 장치에 설치하도록 할 수도 있다.
<구동 기구>
상기 각 실시 형태에 있어서는, 피처리 기판을 반송하는 반송 장치에 대하여 설명했지만, 다음에 이 반송 장치에서 사용되는 구동 기구에 대하여 상세히 설명한다.
일반적으로 사용되는 종래의 구동 기구에 있어서는, 예컨대 동일축으로 이루어진 2축 구조를 예컨대 각 구동축의 회전수, 회전 각도 등을 인식하기 위해서 각 구동축의 구동원에 인코더(앱솔루트형이나 인크리멘트형) 등이 설치된다. 이 인코더로부터의 출력 신호를 연산함으로써, 각 구동축간의 상대 위치 관계 등이 구해진다. 이와 같이 인코더를 설치하기 때문에, 구동 기구의 전체 구조가 복잡해지고 비용이 증가한다. 또한, 인코더류의 설치 공간도 필요하기 때문에 대형화를 피할 수 없게 된다. 또한, 인코더류로부터의 신호를 송출하기 위해서 구동축에 배선 코드를 접속하지 않으면 안된다. 따라서, 이 구동축 자체는 유한 회전 구조로 하지 않을 수 없다.
본 발명에 따른 구동 기구에서는, 광학적인 센서를 이용함으로써 구조 전체를 단순화하는 동시에, 각 구동축간의 회전 방향에 있어서의 상대 위치 관계를 용이하게 인식할 수 있도록 한다. 이 각 구동축의 상대 위치 관계를 앎으로써, 원점 위치 검출이나 제 1 및 제 2 아암 기구의 상태를 확인할 수 있다. 예컨대, 양쪽 아암 기구가 접혀서 수축되어 있는 상태, 어느 한쪽의 아암 기구가 가장 길게 연장되어 있는 상태, 처리실의 게이트 밸브를 폐쇄해도 아암 기구와 간섭하지 않아 확실한 상태 등을 확인할 수 있다.
도 26은 본 발명의 실시 형태에 따른 구동 기구를 도시하는 확대 단면도이다. 도 27은 도 26에 도시하는 구동 기구의 요부인 검출 패턴과 반사 부재의 위치 관계를 설명하기 위한 설명도이다. 도 28은 도 27에 도시하는 검출 패턴을 직선 형상으로 전개했을 때의 상태를 도시하는 평면도이다.
이하에 설명하는 구동 기구는 전술한 제 1 내지 제 8 실시 형태의 모든 반송 장치로 이용할 수 있다. 여기서는, 이 구동 기구를 도 1 내지 도 4에 도시하는 제 1 실시 형태에 적용한 경우를 예로 들어 설명한다.
도 26에 도시하는 바와 같이, 구동 기구(160)는 동축 형상으로 서로 회전 가능하게 이루어진 중공 파이프 형상의 복수, 도시예에서는 2개의 구동축(38, 40)을 포함한다. 제 1 구동원(32) 및 제 2 구동원(34)이 각각 외측 구동축(38) 및 내측 구동축(40)에 결합된다. 또한, 구동축(38, 40)의 결합에는, 기계적으로 직접적으로 결합된 경우뿐만 아니라, 자기적 결합과 같이 비접촉으로 결합된 경우도 포함한다.
발광부(162)로부터 검출광(L1)이 내측 구동축(40)내에서 축 방향을 따라 방사된다. 검출광(L1)은 반사 부재(166)에 의해 소정의 방향으로 반사되고, 반사된 검출광(L1)은 외측을 향해서 광통과 윈도우(168)를 통과한다. 외측 구동축(38)의 내면에 검출 광(L1)이 조사되는 검출 패턴(170)이 설치된다. 검출 패턴(170)으로부터의 반사광(L2)은 검출광(L1)과 역루트를 따라 수광부(164)에 수광된다. 예컨대 마이크로 컴퓨터 등으로 이루어지는 위치 검출부(172)에 의해, 수광부(164)의 출력에 기초하여, 구동축(38, 40)의 회전 방향에 있어서의 위치 관계가 검출된다.
구체적으로는, 중공 파이프 형상의 양쪽 구동축(38, 40)은 양쪽축 사이에 개재되는 베어링(46)에 의해 서로 회전 가능하게 지지된다. 내측 구동축(40)은 제 2 구동원(34)에 연결되고, 이로써 정반대 회전된다. 외측 구동축(38)은 제 1 구동원(32)에 연결되고, 이로써 정반대 회전된다.
발광부(162) 및 수광부(164)는 제 1 및 제 2 구동원(32, 34)을 수용하는 하우징인 모터 박스(44)의 저부측에 병설하여 고정된다. 발광부(162) 및 수광부(164)로는 일체형의 반사형 광센서를 이용할 수 있다. 수광부(164)는 중공 파이프 형상의 내측 구동축(40)의 축방향을 따라 검출광(L1)을 방사한다. 검출광(L1)으로는 직진성이 우수한 레이저광이 바람직하지만, 확산광을 이용할 수도 있다. 또한 검출광(L1)의 파장은 적외선 영역, 가시 광선 영역, 자외선 영역 등의 모든 영역에 설정할 수 있다.
반사 부재(166F)는 예컨대 반사 미러로 이루어지고, 이것은 내측 구동축(40)의 내면측에 반사면이 예컨대 45도 각도로 되도록 경사시켜서 고정 장착된다. 반사 부재(166)는 검출광(L1)을 내측 구동축(40)의 반경 방향을 향해서 직각으로 반사한다. 반사 부재(166)에서 반사된 검출광(L1)이 내측 구동축(40)의 측벽에 닿는 부분에, 예컨대 원형 개구로 이루어지는 광통과 윈도우(168)가 형성된다. 광통과 윈도우(168)는 검출광(L1)이 통과할 수 있으면 된다. 예컨대 내측 구동축(40)을 투명한 플라스틱 수지나 석영 유리 등의 투명 재료로 형성하고 있는 경우, 구동축(40)의 측벽을 검출광(L1)이 투과한다. 따라서, 구동축(40)에 개구를 설치할 필요가 없고, 측벽 전체가 광통과 윈도우로 된다.
외측 구동축(38)의 내면으로서, 광통과 윈도우(168)를 통과해 온 검출광(L1)이 닿는 부분에는, 그 둘레 방향을 따라 검출 패턴(170)이 설치된다. 도 28에 도시하는 바와 같이, 검출 패턴(170)은 검출광(L1)을 반사하는 광 반사 영역부(170A)와, 검출광(L1)을 흡수하는 광 흡수 영역(170B)을 갖는다. 여기서 양쪽영역(170A, 170B)은 각각 소정의 길이를 갖는다.
제 1 실시 형태에서 설명한 바와 같이, 내측 구동축(40)을 정반대 방향으로 소정의 회전 각도만큼 회전시킴으로써, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)(도 1 내지 도 3 참조)는 선택적으로 굴신한다. 예컨대 광 반사 영역(170A)의 길이는 반송실의 주변에 배치되는 처리실과의 사이를 개폐 가능하게 구획하는 게이트 밸브(도시하지 않음)를 폐쇄해도, 이 게이트 밸브와 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)가 간섭(충돌)하지 않는 범위(구역)로 되도록 설정된다. 한편, 광흡수 영역(170B)의 길이는 게이트 밸브와 제 1 또는 제 2 아암 기구(26, 28)와 간섭하는 범위(구역)로 되도록 설정된다.
따라서, 위치 검출부(172)는 검출 패턴(170)으로부터의 반사광(L2)을 받는 수광부(164)의 출력에 기초하여, 양쪽 구동축(38, 40)의 회전 방향에 있어서의 상대 위치를 인식하고, 게이트 밸브를 폐쇄해도 좋을지 여부의 판단을 실행하는 것이 가능해진다. 또한, 이 판단 결과는 반도체 처리 시스템의 전체 동작을 제어하는 호스트 컴퓨터 등으로 전달된다.
다음에, 이상과 같이 구성된 구동 기구(160)의 동작에 대하여 설명한다.
우선, 제 1 실시 형태에 있어서 설명한 바와 같이, 외측 구동축(38)[회전 기대(24) : 도 1 참조]을 고정한 상태에서, 내측 구동축(40)을 정반대 방향으로 소정의 각도만큼 회전한다. 이로써, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)가 선택적으로 굴신되어, 예컨대 웨이퍼가 처리실내로 반출입된다. 또한, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)의 방향을 변경하는 경우, 양쪽 구동축(38, 40)을 동기시켜서 소정의 각도만큼 회전한다. 이 때, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)는 굴곡된 동일한 자세가 유지된 상태에서 그 전체가 소망하는 방향으로 회전된다.
이러한 기본 동작이 실행되는 반송 장치에 있어서, 제 1 및 제 2 아암 기구(26, 28)가 어떠한 자세로 되는지를 항상 파악하는 것이 필요하게 된다. 특히, 반송실과 처리실을 구획하는 게이트 밸브를 폐쇄하는 경우나 아암 기구(26, 28) 전체를 회전시키는 경우 등에는 이것이 필요해진다.
양쪽 구동축(38, 40)의 회전 방향에 있어서의 위치 관계를 인식하기 위해서, 발광부(162)로부터 검출광(L1)이 방사된다. 검출광(L1)은 내측 구동축(40)내를 이 축방향을 따라 통과하여 반사 부재(166)에 의해 반사되어서 대략 90도 진행 방향이 변경된다. 이 진행 방향이 변경된 검출광(L1)은 광통과 윈도우(168)를 통과하여 외측 구동축(38)의 내면에 그 둘레 방향을 따라 설치된 검출 패턴(170)을 조사한다. 검출 패턴(170)의 광 반사 영역(170A)에 검출광(L1)이 조사된 경우, 검출광(L1)은 반사되어서 반사광(L2)으로 되어, 상기 광로를 역으로 진행하여 수광부(164)에 있어서 수광된다. 한편, 검출광(L1)이 광흡수 영역(170B)에 조사된 경우, 검출광(L1)은 흡수되기 때문에, 반사광(L2)은 발생하지 않는다.
수광부(164)의 출력을 받는 위치 검출부(172)는 출력에 기초하여 양쪽 구동축(38, 40) 사이의 회전 방향의 위치 관계를 인식한다. 구동 기구(160)에 있어서, 발광부(162) 및 수광부(164)는 구역 식별 센서로서 기능한다. 예컨대 수광부(164)가 반사광(L2)을 수광하지 않을 경우, 반사 부재(166)의 반사면의 방향은 도 28의 광흡수 영역(170B)의 구역내의 일부를 향하고 있다. 이것은 2개의 아암 기구(26, 28) 중 어느 한쪽 아암 기구가 소정 길이 이상 신장되어 있는 것을 의미한다. 이 경우, 게이트 밸브를 폐쇄하면 간섭(충돌)할 우려가 있기 때문에, 게이트 밸브를 폐쇄하거나, 또는 아암 기구(26, 28) 전체를 회전시키는 것은 금지된다.
이에 반하여, 수광부(164)가 반사광(L2)을 수광하고 있는 경우, 반사 부재(166)의 반사면의 방향은 도 28의 광반사 영역(170A)의 구역내의 일부를 향하고 있다. 이것은 양쪽 아암 기구(26, 28)가 모두 굴곡하여 소정의 길이 이하로 되는 것을 의미한다. 이 경우, 간섭(충돌)할 우려는 없기 때문에, 게이트 밸브를 폐쇄하거나, 또는 아암 기구(26, 28) 전체를 회전시키는 것이 허용된다.
이와 같이 하여, 양쪽 구동축(38, 40) 사이의 상대 위치 관계, 즉 양쪽 아암 기구(26, 28)의 굴신 상태를 인식할 수 있다. 이 경우, 종래의 구동 기구에서 필요하던 고가이고 또한 사이즈가 큰 인코더 등이 불필요하다. 그 결과, 구조가 단순화되어서 대폭적인 비용 삭감이 가능할 뿐만 아니라, 소형화 및 공간 절약화에도 기여할 수 있다.
일반적으로는, 제 1 및 제 2 구동원(32, 34)은 스텝 모터나 서보계 모터로 이루어진다. 이 경우, 위치 검출부(72)의 판단 결과를 인터록 기능의 판단 기준으로서 이용할 수 있다. 예컨대 호스트 컴퓨터가 소프트웨어상의 처리를 따라, 게이트 밸브를 폐쇄하는 처리를 실행하려 하고 있다고 가정한다. 이 경우, 위치 검출부(172)가 "반사광(L2)의 수광 없음"의 신호를 내고 있을 때에는, 아암 기구와 게이트 밸브의 간섭을 발생시킨다. 따라서, 위치 검출부(72)의 판단 결과에 기초하여, 게이트 밸브를 폐쇄하지 않도록 전기 회로 구성에 의해 인터록을 걸 수 있다.
도 26에 도시하는 구동 기구(160)에서는, 검출 패턴(170)이 외측 구동축(38)의 내면을 따라 형성된다. 이를 대신하여, 적어도 광통과 윈도우(168)에 대향하는 부분의 외측 구동축(38)의 전체를 검출 패턴(170)으로서 형성할 수도 있다. 도 29는 외측 구동축(38)의 전체를 검출 패턴(170)으로서 형성한 경우를 나타내는 사시도이다. 도 29에 있어서, 광반사 영역(170A)은 적어도 내벽면이 표면 연마되어서 광을 반사하도록 설정된다. 이에 대하여 광흡수 영역(170B)은 적어도 내벽면이 검은 알루마이트 처리[구동축(38)이 알루미늄의 경우]되어서 광을 흡수하도록 설정된다.
도 26에 도시하는 구동 기구(160)에서는, 발광부(162), 수광부(164) 등의 검출 구조가 일정한 폭이 있는 구역을 검출하는 센서로서 이용된다. 이를 대신하여, 이 검출 구조를 일정한 위치(포지션)를 검출하는 포지션 센서로서 이용할 수도 있다. 이러한 경우, 이 일정한 위치를 원점으로 하여 위치를 정할 수 있다. 도 30은 검출 구조를 포지션 센서로서 이용하는 경우의 검출 패턴(170)을 도시하는 전개도이다. 도 30에 도시하는 바와 같이, 검출 패턴(170)의 소정의 1개소에 수광부(164)가 인식할 수 있는 작은 폭으로 광흡수 영역(170B)이 선형상으로 형성되고, 이 위치가 원점으로 된다. 따라서, 다른 영역은 광반사 영역(170A)으로 된다. 또한, 광흡수 영역(170B)과 광반사 영역(170A)의 관계를 역으로 형성할 수도 있다.
이와 같이, 검출 구조를 포지션 센서로서 이용함으로써, 양쪽 구동축(38, 40)의 상대 위치의 원점 검출, 즉 양쪽 아암 기구(26, 28)의 원점 검출을 실행할 수 있다. 이러한 원점으로서, 예컨대 도 1에 도시하는 바와 같이 양쪽 아암 기구(26, 28)가 모두 동등하게 굴곡하여 수축된 상태를 설정할 수 있다.
도 26에 도시하는 구동 기구(160)에서는, 반사광(L2)의 유무를 검출하기 위해서 수광부(164)가 설치된다. 이를 대신하여, 화상 센서를 설치하여 검출 패턴(170)의 화상을 취입하도록 할 수도 있다. 도 31은 이러한 관점에 기인하는, 도 26에 도시하는 구동 기구의 변형예를 나타내는 확대 단면도이다. 도 32a 내지 도 32d는 도 31에 도시하는 구동 기구에서 사용되는 검출 패턴의 예를 직선 형상으로 전개했을 때의 상태를 도시하는 평면도이다.
도 31에 도시하는 바와 같이, 수광부(164)(도 26 참조)로 전환하여, 예컨대 CCD 카메라로 이루어지는 화상 센서(180)가 설치되고, 검출 패턴(170)의 화상이 인식된다. 검출 패턴(170)의 부분이 어두운 경우, 이 부분을 조명하기 위한 조명 부재를 설치하는 것이 바람직하다. 따라서, 도 31에 있어서는, 발광부(164)(도 26 참조)로 전환하여, 예컨대 LED(발광 다이오드) 등의 어느 정도의 면적을 가진 영역을 밝게 할 수 있는 조명 부재(182)가 설치된다. 조명 부재(182)로부터의 조명광(L3)에 의해 검출 패턴(170)의 일부가 조명된다. 또한, 검출 패턴(170)이 외부로부터의 광에 의해 밝은 경우, 조명 부재(182)는 불필요하다.
이와 같이 화상 센서(180)를 설치한 경우, 위치 검출부(172)는 다른 명도의 인식이나 다른 색의 인식이나 다른 도형의 인식 등을 실행할 수 있다. 여기서 검출 패턴(170)이 도 28이나 도 30에 도시하는 구조이면, 명도의 차이에 따라 광반사 영역(170A)이나 광흡수 영역(170)을 인식할 수 있다. 또한 그 외에, 검출 패턴(170)을 도 32a 내지 도 32d에 도시하는 바와 같이 구성할 수도 있다.
도 32a에서는 검출 패턴(170)이, 예컨대 "흑색", "회색", "백색"의 3개 영역으로 구분된다. 이러한 3개 영역은 명도의 차이에 의해 인식된다. 또한, 상기 각 영역을 각각 명도가 다른 "회색"으로 형성하도록 할 수도 있다. 도 32b에서는 검출 패턴(170)이, 예컨대 "적색", "청색", "황색"의 색이 다른 3개의 영역으로 구분된다. 이러한 3개의 영역은 색의 차이에 의해 식별된다.
도 32c 및 도 32d는 검출 구조를 포지션 센서로서 이용하는 경우의 검출 패턴(170)을 도시한다. 도 32c의 경우, "★" 표시와, "●" 표시와, "▲" 표시의 3개의 다른 도형이 배치된다. 도 32d의 경우, "1"과 "2"와 "3"의 문자가 도형으로서 배치된다. 이러한 검출 패턴(170)에서는 3개의 포지션을 도형의 차이에 의해 검출할 수 있다. 도 32c 및 도 32d의 경우, 각각 왼쪽으로부터, 예컨대 원점(1), 원점(2), 원점(3)이 대응하게 되고, 각 아암 기구(26, 28)가 소망하는 굴신 상태를 각 원점(1∼3)에 대응시켜서 할당할 수 있다.
또한, 상기 구동 기구는 동축 2축 구조를 예로 들어 설명했지만, 3축 이상의 경우에도 본 발명을 적용할 수 있다. 또한 상기 각 실시 형태에 있어서는, 피처리 기판으로서 반도체 웨이퍼를 예로 들어 설명했지만, 이에 한정되지 않고, 유리 기판, LCD 기판 등을 반송하는 경우에도, 본 발명을 적용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 피처리 기판의 교체에 있어서, 기대의 선회 각도가 작아도 되는 반송 장치를 제공할 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 인코더 등을 사용 하지 않고 복수의 구동축의 상대 위치 관계를 검출할 수 있는 구동 기구를 제공할 수 있다.

Claims (22)

  1. 피처리 기판의 반송 장치에 있어서,
    회전 가능한 회전 기대와,
    상기 회전 기대측으로부터 순서대로 서로 선회 가능하게 연결된 기단 아암과 중간 아암과 피크를 각각 구비하고, 상기 피크는 상기 피처리 기판을 지지하도록 설치되는, 상기 회전 기대에 장착된 굴신 가능한 제 1 및 제 2 아암 기구와,
    상기 제 1 및 제 2 아암 기구를 구동하도록 상기 제 1 및 제 2 아암 기구의 상기 기단 아암에 연결된 링크 기구와,
    상기 회전 기대를 회전 구동하는 제 1 구동원과,
    상기 제 1 및 제 2 아암 기구를 굴신시키도록 상기 링크 기구를 구동하는 제 2 구동원을 구비하는
    피처리 기판의 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 링크 기구는 상기 제 1 및 제 2 아암 기구를 연동시키고, 상기 제 1 및 제 2 아암 기구의 한쪽이 실질적으로 신장 상태에 있을 때에 다른쪽이 실질적으로 수축 상태에 있는
    피처리 기판의 반송 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 링크 기구는 상기 제 2 구동원에 의해 선회 구동되는 구동 링크와, 상기 구동 링크와 상기 제 1 및 제 2 아암 기구의 상기 기단 아암을 각각 연결하는 제 1 및 제 2 종동 링크를 구비하는
    피처리 기판의 반송 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 구동 링크의 선회축은 상기 회전 기대의 회전축과 동축 형상으로 배치되는
    피처리 기판의 반송 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 링크 기구는 상기 회전 기대에 선회 가능하게 연결되고, 상기 구동 링크의 선회축은 상기 회전 기대의 회전축으로부터 어긋난 위치에 배치되는
    피처리 기판의 반송 장치.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 구동 링크는 단일의 링크 레버로 실질적으로 이루어진
    피처리 기판의 반송 장치.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 구동 링크는 서로 연결된 복수의 링크 레버를 구비하는
    피처리 기판의 반송 장치.
  8. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 종동 링크는 상기 구동 링크에 대하여, 중심선을 넘어서 상기 제 2 아암 기구측에 축 지지되고, 상기 제 2 종동 링크는 상기 구동 링크에 대하여, 상기 중심선을 넘어서 상기 제 1 아암 기구측에서 축 지지되며, 여기서 상기 중심선은 상기 제 1 및 제 2 아암 기구의 양자가 수축되는 초기 상태에 있어서의 상기 제 1 및 제 2 아암 기구의 피크의 중심을 연결한 선분의 수직 이등분선인
    피처리 기판의 반송 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 종동 링크는 다른 높이 레벨로 배치되고 또한 동시에 서로 교차하는
    피처리 기판의 반송 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 구동원은 회전 모터를 구비하는
    피처리 기판의 반송 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 구동원은 리니어 모터를 구비하는
    피처리 기판의 반송 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 아암 기구의 상기 기단 아암은 상기 회전 기대상에 있어서 동일 평면상에서 서로 이간된 축을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지되는
    피처리 기판의 반송 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 아암 기구의 상기 피크는 동일 평면상에서 서로 다른 방향을 향해 배치되고, 상기 피크의 개방각은 60 내지 180도의 범위로 설정되는
    피처리 기판의 반송 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 아암 기구의 상기 기단 아암은 상기 회전 기대상에 있어서 서로 상하로 서로 중첩시켜서 동일축을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지되는
    피처리 기판의 반송 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 아암 기구의 상기 피크는 서로 상하로 중첩시켜서 동일 방향을 향해 배치되는
    피처리 기판의 반송 장치.
  16. 회전 위치를 검출하는 기능을 갖는 구동 기구에 있어서,
    동축 형상으로 서로 회전 가능하게 이루어진 중공 파이프 형상의 내측 및 외측 구동축과,
    상기 내측 및 외측 구동축의 각각에 결합된 복수의 구동원과,
    상기 외측 구동축의 내면상에 설치된 검출 패턴과,
    상기 검출 패턴으로부터의 반사광을 취입하기 위해서 상기 내측 구동축에 설치된 광통과 윈도우와,
    상기 광통과 윈도우를 통과한 광을 상기 내측 구동축의 축 방향을 따라 반사하는 반사 부재와,
    상기 반사 부재에서 반사된 광을 수광하는 수광부와,
    상기 수광부의 출력에 기초하여 상기 내측 및 외측 구동축의 회전 방향에 있어서의 위치 관계를 구하는 위치 검출부를 구비하는
    회전 위치를 검출하는 기능을 갖는 구동 기구.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 내측 구동축의 축방향을 따라 광을 방사하는 발광부와,
    상기 발광부로부터의 광을 반경 방향으로 반사하고, 상기 광통과 윈도우를 통과시켜서 상기 검출 패턴에 조사하는 반사 부재를 더 구비하는
    회전 위치를 검출하는 기능을 갖는 구동 기구.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 수광부는 상기 검출 패턴의 화상을 검출하는 화산 센서를 구비하는
    회전 위치를 검출하는 기능을 갖는 구동 기구.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 검출 패턴에 조명광을 조사하는 조명 부재를 더 구비하는
    회전 위치를 검출하는 기능을 갖는 구동 기구.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 검출 패턴은 다른 색의 영역의 배열을 구비하는
    회전 위치를 검출하는 기능을 갖는 구동 기구.
  21. 제 18 항에 있어서,
    상기 검출 패턴은 상이한 도형의 배열을 구비하는
    회전 위치를 검출하는 기능을 갖는 구동 기구.
  22. 제 18 항에 있어서,
    상기 검출 패턴은 다른 명도의 영역의 배열을 구비하는
    회전 위치를 검출하는 기능을 갖는 구동 기구.
KR1020057005371A 2003-07-16 2004-07-09 피처리 기판의 반송 장치 및 회전 위치를 검출하는 기능을갖는 구동 기구 KR100582697B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2003-00197689 2003-07-16
JP2003197689 2003-07-16
JPJP-P-2004-00009506 2004-01-16
JP2004009506 2004-01-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050057605A KR20050057605A (ko) 2005-06-16
KR100582697B1 true KR100582697B1 (ko) 2006-05-23

Family

ID=34082310

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020057005371A KR100582697B1 (ko) 2003-07-16 2004-07-09 피처리 기판의 반송 장치 및 회전 위치를 검출하는 기능을갖는 구동 기구

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7837425B2 (ko)
EP (1) EP1657743B1 (ko)
JP (1) JP5024411B2 (ko)
KR (1) KR100582697B1 (ko)
WO (1) WO2005008769A1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140130243A (ko) * 2007-05-08 2014-11-07 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치
KR101475421B1 (ko) * 2007-04-06 2014-12-23 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 독립적으로 움직임가능한 다중 관절형 아암들을 구비한 기판 이송 장치
US10335945B2 (en) 2007-05-08 2019-07-02 Brooks Automation, Inc. Substrate transport appartatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism

Families Citing this family (422)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9060770B2 (en) 2003-05-20 2015-06-23 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Robotically-driven surgical instrument with E-beam driver
US20070084897A1 (en) 2003-05-20 2007-04-19 Shelton Frederick E Iv Articulating surgical stapling instrument incorporating a two-piece e-beam firing mechanism
US11896225B2 (en) 2004-07-28 2024-02-13 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising a pan
US8215531B2 (en) 2004-07-28 2012-07-10 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical stapling instrument having a medical substance dispenser
US11246590B2 (en) 2005-08-31 2022-02-15 Cilag Gmbh International Staple cartridge including staple drivers having different unfired heights
US11484312B2 (en) 2005-08-31 2022-11-01 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising a staple driver arrangement
US7669746B2 (en) 2005-08-31 2010-03-02 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Staple cartridges for forming staples having differing formed staple heights
US7934630B2 (en) 2005-08-31 2011-05-03 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Staple cartridges for forming staples having differing formed staple heights
US9237891B2 (en) 2005-08-31 2016-01-19 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Robotically-controlled surgical stapling devices that produce formed staples having different lengths
US10159482B2 (en) 2005-08-31 2018-12-25 Ethicon Llc Fastener cartridge assembly comprising a fixed anvil and different staple heights
US20070106317A1 (en) 2005-11-09 2007-05-10 Shelton Frederick E Iv Hydraulically and electrically actuated articulation joints for surgical instruments
US7845537B2 (en) 2006-01-31 2010-12-07 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical instrument having recording capabilities
US8708213B2 (en) 2006-01-31 2014-04-29 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical instrument having a feedback system
US11278279B2 (en) 2006-01-31 2022-03-22 Cilag Gmbh International Surgical instrument assembly
US20120292367A1 (en) 2006-01-31 2012-11-22 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Robotically-controlled end effector
US8186555B2 (en) 2006-01-31 2012-05-29 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Motor-driven surgical cutting and fastening instrument with mechanical closure system
US20110024477A1 (en) 2009-02-06 2011-02-03 Hall Steven G Driven Surgical Stapler Improvements
US7753904B2 (en) 2006-01-31 2010-07-13 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Endoscopic surgical instrument with a handle that can articulate with respect to the shaft
US8820603B2 (en) 2006-01-31 2014-09-02 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Accessing data stored in a memory of a surgical instrument
US11224427B2 (en) 2006-01-31 2022-01-18 Cilag Gmbh International Surgical stapling system including a console and retraction assembly
US11793518B2 (en) 2006-01-31 2023-10-24 Cilag Gmbh International Powered surgical instruments with firing system lockout arrangements
US20110295295A1 (en) 2006-01-31 2011-12-01 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Robotically-controlled surgical instrument having recording capabilities
US8992422B2 (en) 2006-03-23 2015-03-31 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Robotically-controlled endoscopic accessory channel
US8322455B2 (en) 2006-06-27 2012-12-04 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Manually driven surgical cutting and fastening instrument
US9117859B2 (en) * 2006-08-31 2015-08-25 Brooks Automation, Inc. Compact processing apparatus
US7665647B2 (en) 2006-09-29 2010-02-23 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical cutting and stapling device with closure apparatus for limiting maximum tissue compression force
US10568652B2 (en) 2006-09-29 2020-02-25 Ethicon Llc Surgical staples having attached drivers of different heights and stapling instruments for deploying the same
US8652120B2 (en) 2007-01-10 2014-02-18 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical instrument with wireless communication between control unit and sensor transponders
US11291441B2 (en) 2007-01-10 2022-04-05 Cilag Gmbh International Surgical instrument with wireless communication between control unit and remote sensor
US8684253B2 (en) 2007-01-10 2014-04-01 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical instrument with wireless communication between a control unit of a robotic system and remote sensor
US8540128B2 (en) 2007-01-11 2013-09-24 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical stapling device with a curved end effector
US11039836B2 (en) 2007-01-11 2021-06-22 Cilag Gmbh International Staple cartridge for use with a surgical stapling instrument
US7735703B2 (en) 2007-03-15 2010-06-15 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Re-loadable surgical stapling instrument
US8893946B2 (en) 2007-03-28 2014-11-25 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Laparoscopic tissue thickness and clamp load measuring devices
US11857181B2 (en) 2007-06-04 2024-01-02 Cilag Gmbh International Robotically-controlled shaft based rotary drive systems for surgical instruments
US8931682B2 (en) 2007-06-04 2015-01-13 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Robotically-controlled shaft based rotary drive systems for surgical instruments
US7753245B2 (en) 2007-06-22 2010-07-13 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical stapling instruments
US11849941B2 (en) 2007-06-29 2023-12-26 Cilag Gmbh International Staple cartridge having staple cavities extending at a transverse angle relative to a longitudinal cartridge axis
JPWO2009034795A1 (ja) * 2007-09-10 2010-12-24 株式会社アルバック 基板搬送ロボット、真空処理装置
US8636736B2 (en) 2008-02-14 2014-01-28 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Motorized surgical cutting and fastening instrument
US7866527B2 (en) 2008-02-14 2011-01-11 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical stapling apparatus with interlockable firing system
US7819298B2 (en) 2008-02-14 2010-10-26 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical stapling apparatus with control features operable with one hand
US8758391B2 (en) 2008-02-14 2014-06-24 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Interchangeable tools for surgical instruments
US9179912B2 (en) 2008-02-14 2015-11-10 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Robotically-controlled motorized surgical cutting and fastening instrument
US8573465B2 (en) 2008-02-14 2013-11-05 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Robotically-controlled surgical end effector system with rotary actuated closure systems
RU2493788C2 (ru) 2008-02-14 2013-09-27 Этикон Эндо-Серджери, Инк. Хирургический режущий и крепежный инструмент, имеющий радиочастотные электроды
US11272927B2 (en) 2008-02-15 2022-03-15 Cilag Gmbh International Layer arrangements for surgical staple cartridges
US20130153641A1 (en) 2008-02-15 2013-06-20 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Releasable layer of material and surgical end effector having the same
JP4770856B2 (ja) * 2008-03-21 2011-09-14 トヨタ自動車株式会社 移送用ロボット
US11648005B2 (en) 2008-09-23 2023-05-16 Cilag Gmbh International Robotically-controlled motorized surgical instrument with an end effector
US8210411B2 (en) 2008-09-23 2012-07-03 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Motor-driven surgical cutting instrument
US9005230B2 (en) 2008-09-23 2015-04-14 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Motorized surgical instrument
US9386983B2 (en) 2008-09-23 2016-07-12 Ethicon Endo-Surgery, Llc Robotically-controlled motorized surgical instrument
US8608045B2 (en) 2008-10-10 2013-12-17 Ethicon Endo-Sugery, Inc. Powered surgical cutting and stapling apparatus with manually retractable firing system
CN102326244B (zh) * 2009-01-11 2014-12-17 应用材料公司 用于在电子器件制造中传输基板的机械手系统、装置及方法
US8517239B2 (en) 2009-02-05 2013-08-27 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical stapling instrument comprising a magnetic element driver
US8444036B2 (en) 2009-02-06 2013-05-21 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Motor driven surgical fastener device with mechanisms for adjusting a tissue gap within the end effector
RU2525225C2 (ru) 2009-02-06 2014-08-10 Этикон Эндо-Серджери, Инк. Усовершенствование приводного хирургического сшивающего инструмента
US8851354B2 (en) 2009-12-24 2014-10-07 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical cutting instrument that analyzes tissue thickness
US8220688B2 (en) 2009-12-24 2012-07-17 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Motor-driven surgical cutting instrument with electric actuator directional control assembly
US8783543B2 (en) 2010-07-30 2014-07-22 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Tissue acquisition arrangements and methods for surgical stapling devices
US11849952B2 (en) 2010-09-30 2023-12-26 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising staples positioned within a compressible portion thereof
US9320523B2 (en) 2012-03-28 2016-04-26 Ethicon Endo-Surgery, Llc Tissue thickness compensator comprising tissue ingrowth features
US9364233B2 (en) 2010-09-30 2016-06-14 Ethicon Endo-Surgery, Llc Tissue thickness compensators for circular surgical staplers
US11812965B2 (en) 2010-09-30 2023-11-14 Cilag Gmbh International Layer of material for a surgical end effector
US9232941B2 (en) 2010-09-30 2016-01-12 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Tissue thickness compensator comprising a reservoir
US9168038B2 (en) 2010-09-30 2015-10-27 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Staple cartridge comprising a tissue thickness compensator
US10945731B2 (en) 2010-09-30 2021-03-16 Ethicon Llc Tissue thickness compensator comprising controlled release and expansion
US11298125B2 (en) 2010-09-30 2022-04-12 Cilag Gmbh International Tissue stapler having a thickness compensator
US9241714B2 (en) 2011-04-29 2016-01-26 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Tissue thickness compensator and method for making the same
US9861361B2 (en) 2010-09-30 2018-01-09 Ethicon Llc Releasable tissue thickness compensator and fastener cartridge having the same
US9629814B2 (en) 2010-09-30 2017-04-25 Ethicon Endo-Surgery, Llc Tissue thickness compensator configured to redistribute compressive forces
US8695866B2 (en) 2010-10-01 2014-04-15 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical instrument having a power control circuit
JP2013544034A (ja) 2010-11-10 2013-12-09 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 双腕ロボット
JP5488494B2 (ja) * 2011-02-23 2014-05-14 株式会社安川電機 ロボットシステム
KR102618895B1 (ko) 2011-03-11 2023-12-28 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 기판 처리 툴
JP5818345B2 (ja) * 2011-04-27 2015-11-18 日本電産サンキョー株式会社 回転機構、産業用ロボットおよび回転体の原点位置復帰方法
BR112013027794B1 (pt) 2011-04-29 2020-12-15 Ethicon Endo-Surgery, Inc Conjunto de cartucho de grampos
US9072535B2 (en) 2011-05-27 2015-07-07 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical stapling instruments with rotatable staple deployment arrangements
US11207064B2 (en) 2011-05-27 2021-12-28 Cilag Gmbh International Automated end effector component reloading system for use with a robotic system
US9044230B2 (en) 2012-02-13 2015-06-02 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical cutting and fastening instrument with apparatus for determining cartridge and firing motion status
RU2014143258A (ru) 2012-03-28 2016-05-20 Этикон Эндо-Серджери, Инк. Компенсатор толщины ткани, содержащий множество слоев
BR112014024194B1 (pt) 2012-03-28 2022-03-03 Ethicon Endo-Surgery, Inc Conjunto de cartucho de grampos para um grampeador cirúrgico
RU2639857C2 (ru) 2012-03-28 2017-12-22 Этикон Эндо-Серджери, Инк. Компенсатор толщины ткани, содержащий капсулу для среды с низким давлением
CN104380452B (zh) * 2012-04-12 2016-10-19 应用材料公司 具有独立能旋转机身中段的机械手系统、设备及方法
US8753064B2 (en) 2012-04-18 2014-06-17 Bae Industries, Inc. Transfer assembly such as associated with a press operation and including fluid cylinder released mechanism for handling parts with large two dimensional measurements
US9101358B2 (en) 2012-06-15 2015-08-11 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Articulatable surgical instrument comprising a firing drive
BR112014032776B1 (pt) 2012-06-28 2021-09-08 Ethicon Endo-Surgery, Inc Sistema de instrumento cirúrgico e kit cirúrgico para uso com um sistema de instrumento cirúrgico
US9649111B2 (en) 2012-06-28 2017-05-16 Ethicon Endo-Surgery, Llc Replaceable clip cartridge for a clip applier
US9289256B2 (en) 2012-06-28 2016-03-22 Ethicon Endo-Surgery, Llc Surgical end effectors having angled tissue-contacting surfaces
US20140001234A1 (en) 2012-06-28 2014-01-02 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Coupling arrangements for attaching surgical end effectors to drive systems therefor
US20140005718A1 (en) 2012-06-28 2014-01-02 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Multi-functional powered surgical device with external dissection features
BR112014032740A2 (pt) 2012-06-28 2020-02-27 Ethicon Endo Surgery Inc bloqueio de cartucho de clipes vazio
US11278284B2 (en) 2012-06-28 2022-03-22 Cilag Gmbh International Rotary drive arrangements for surgical instruments
US20140001231A1 (en) 2012-06-28 2014-01-02 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Firing system lockout arrangements for surgical instruments
US9033644B2 (en) 2012-07-05 2015-05-19 Applied Materials, Inc. Boom drive apparatus, multi-arm robot apparatus, electronic device processing systems, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing systems with web extending from hub
JP5545337B2 (ja) * 2012-09-28 2014-07-09 株式会社安川電機 ロボットアームおよびロボット
US9190306B2 (en) * 2012-11-30 2015-11-17 Lam Research Corporation Dual arm vacuum robot
US9149936B2 (en) * 2013-01-18 2015-10-06 Persimmon Technologies, Corp. Robot having arm with unequal link lengths
US10224232B2 (en) 2013-01-18 2019-03-05 Persimmon Technologies Corporation Robot having two arms with unequal link lengths
BR112015021098B1 (pt) 2013-03-01 2022-02-15 Ethicon Endo-Surgery, Inc Cobertura para uma junta de articulação e instrumento cirúrgico
RU2669463C2 (ru) 2013-03-01 2018-10-11 Этикон Эндо-Серджери, Инк. Хирургический инструмент с мягким упором
US9883860B2 (en) 2013-03-14 2018-02-06 Ethicon Llc Interchangeable shaft assemblies for use with a surgical instrument
US9629629B2 (en) 2013-03-14 2017-04-25 Ethicon Endo-Surgey, LLC Control systems for surgical instruments
BR112015026109B1 (pt) 2013-04-16 2022-02-22 Ethicon Endo-Surgery, Inc Instrumento cirúrgico
US9844368B2 (en) 2013-04-16 2017-12-19 Ethicon Llc Surgical system comprising first and second drive systems
MX369362B (es) 2013-08-23 2019-11-06 Ethicon Endo Surgery Llc Dispositivos de retraccion de miembros de disparo para instrumentos quirurgicos electricos.
US9283054B2 (en) 2013-08-23 2016-03-15 Ethicon Endo-Surgery, Llc Interactive displays
KR20230104993A (ko) * 2014-01-17 2023-07-11 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 기판 이송 장치
US9962161B2 (en) 2014-02-12 2018-05-08 Ethicon Llc Deliverable surgical instrument
BR112016019387B1 (pt) 2014-02-24 2022-11-29 Ethicon Endo-Surgery, Llc Sistema de instrumento cirúrgico e cartucho de prendedores para uso com um instrumento cirúrgico de fixação
US9750499B2 (en) 2014-03-26 2017-09-05 Ethicon Llc Surgical stapling instrument system
US20150272557A1 (en) 2014-03-26 2015-10-01 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Modular surgical instrument system
US10013049B2 (en) 2014-03-26 2018-07-03 Ethicon Llc Power management through sleep options of segmented circuit and wake up control
BR112016021943B1 (pt) 2014-03-26 2022-06-14 Ethicon Endo-Surgery, Llc Instrumento cirúrgico para uso por um operador em um procedimento cirúrgico
BR112016023698B1 (pt) 2014-04-16 2022-07-26 Ethicon Endo-Surgery, Llc Cartucho de prendedores para uso com um instrumento cirúrgico
CN106456159B (zh) 2014-04-16 2019-03-08 伊西康内外科有限责任公司 紧固件仓组件和钉保持器盖布置结构
US20150297225A1 (en) 2014-04-16 2015-10-22 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Fastener cartridges including extensions having different configurations
US9801627B2 (en) 2014-09-26 2017-10-31 Ethicon Llc Fastener cartridge for creating a flexible staple line
JP6612256B2 (ja) 2014-04-16 2019-11-27 エシコン エルエルシー 不均一な締結具を備える締結具カートリッジ
US10542988B2 (en) 2014-04-16 2020-01-28 Ethicon Llc End effector comprising an anvil including projections extending therefrom
BR112017004361B1 (pt) 2014-09-05 2023-04-11 Ethicon Llc Sistema eletrônico para um instrumento cirúrgico
US10111679B2 (en) 2014-09-05 2018-10-30 Ethicon Llc Circuitry and sensors for powered medical device
US11311294B2 (en) 2014-09-05 2022-04-26 Cilag Gmbh International Powered medical device including measurement of closure state of jaws
US10105142B2 (en) 2014-09-18 2018-10-23 Ethicon Llc Surgical stapler with plurality of cutting elements
US11523821B2 (en) 2014-09-26 2022-12-13 Cilag Gmbh International Method for creating a flexible staple line
BR112017005981B1 (pt) 2014-09-26 2022-09-06 Ethicon, Llc Material de escora para uso com um cartucho de grampos cirúrgicos e cartucho de grampos cirúrgicos para uso com um instrumento cirúrgico
US10076325B2 (en) 2014-10-13 2018-09-18 Ethicon Llc Surgical stapling apparatus comprising a tissue stop
US9924944B2 (en) 2014-10-16 2018-03-27 Ethicon Llc Staple cartridge comprising an adjunct material
US10517594B2 (en) 2014-10-29 2019-12-31 Ethicon Llc Cartridge assemblies for surgical staplers
US11141153B2 (en) 2014-10-29 2021-10-12 Cilag Gmbh International Staple cartridges comprising driver arrangements
US9844376B2 (en) 2014-11-06 2017-12-19 Ethicon Llc Staple cartridge comprising a releasable adjunct material
US10736636B2 (en) 2014-12-10 2020-08-11 Ethicon Llc Articulatable surgical instrument system
US9844375B2 (en) 2014-12-18 2017-12-19 Ethicon Llc Drive arrangements for articulatable surgical instruments
US10188385B2 (en) 2014-12-18 2019-01-29 Ethicon Llc Surgical instrument system comprising lockable systems
US10004501B2 (en) 2014-12-18 2018-06-26 Ethicon Llc Surgical instruments with improved closure arrangements
MX2017008108A (es) 2014-12-18 2018-03-06 Ethicon Llc Instrumento quirurgico con un yunque que puede moverse de manera selectiva sobre un eje discreto no movil con relacion a un cartucho de grapas.
US9987000B2 (en) 2014-12-18 2018-06-05 Ethicon Llc Surgical instrument assembly comprising a flexible articulation system
US10085748B2 (en) 2014-12-18 2018-10-02 Ethicon Llc Locking arrangements for detachable shaft assemblies with articulatable surgical end effectors
US9844374B2 (en) 2014-12-18 2017-12-19 Ethicon Llc Surgical instrument systems comprising an articulatable end effector and means for adjusting the firing stroke of a firing member
JP1534869S (ko) * 2015-01-30 2015-10-13
US11154301B2 (en) 2015-02-27 2021-10-26 Cilag Gmbh International Modular stapling assembly
US9931118B2 (en) 2015-02-27 2018-04-03 Ethicon Endo-Surgery, Llc Reinforced battery for a surgical instrument
US10180463B2 (en) 2015-02-27 2019-01-15 Ethicon Llc Surgical apparatus configured to assess whether a performance parameter of the surgical apparatus is within an acceptable performance band
US9993248B2 (en) 2015-03-06 2018-06-12 Ethicon Endo-Surgery, Llc Smart sensors with local signal processing
US10441279B2 (en) 2015-03-06 2019-10-15 Ethicon Llc Multiple level thresholds to modify operation of powered surgical instruments
US9808246B2 (en) 2015-03-06 2017-11-07 Ethicon Endo-Surgery, Llc Method of operating a powered surgical instrument
US10687806B2 (en) 2015-03-06 2020-06-23 Ethicon Llc Adaptive tissue compression techniques to adjust closure rates for multiple tissue types
US10617412B2 (en) 2015-03-06 2020-04-14 Ethicon Llc System for detecting the mis-insertion of a staple cartridge into a surgical stapler
US10052044B2 (en) 2015-03-06 2018-08-21 Ethicon Llc Time dependent evaluation of sensor data to determine stability, creep, and viscoelastic elements of measures
US9924961B2 (en) 2015-03-06 2018-03-27 Ethicon Endo-Surgery, Llc Interactive feedback system for powered surgical instruments
JP2020121162A (ja) 2015-03-06 2020-08-13 エシコン エルエルシーＥｔｈｉｃｏｎ ＬＬＣ 測定の安定性要素、クリープ要素、及び粘弾性要素を決定するためのセンサデータの時間依存性評価
US10245033B2 (en) 2015-03-06 2019-04-02 Ethicon Llc Surgical instrument comprising a lockable battery housing
US9901342B2 (en) 2015-03-06 2018-02-27 Ethicon Endo-Surgery, Llc Signal and power communication system positioned on a rotatable shaft
KR102567510B1 (ko) 2015-03-12 2023-08-17 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 종속화된 엔드 이펙터 움직임을 가진 로봇
US10433844B2 (en) 2015-03-31 2019-10-08 Ethicon Llc Surgical instrument with selectively disengageable threaded drive systems
US10835249B2 (en) 2015-08-17 2020-11-17 Ethicon Llc Implantable layers for a surgical instrument
US10238386B2 (en) 2015-09-23 2019-03-26 Ethicon Llc Surgical stapler having motor control based on an electrical parameter related to a motor current
US10105139B2 (en) 2015-09-23 2018-10-23 Ethicon Llc Surgical stapler having downstream current-based motor control
US10363036B2 (en) 2015-09-23 2019-07-30 Ethicon Llc Surgical stapler having force-based motor control
US10327769B2 (en) 2015-09-23 2019-06-25 Ethicon Llc Surgical stapler having motor control based on a drive system component
US10299878B2 (en) 2015-09-25 2019-05-28 Ethicon Llc Implantable adjunct systems for determining adjunct skew
US20170086829A1 (en) 2015-09-30 2017-03-30 Ethicon Endo-Surgery, Llc Compressible adjunct with intermediate supporting structures
US11690623B2 (en) 2015-09-30 2023-07-04 Cilag Gmbh International Method for applying an implantable layer to a fastener cartridge
US11890015B2 (en) 2015-09-30 2024-02-06 Cilag Gmbh International Compressible adjunct with crossing spacer fibers
US10980539B2 (en) 2015-09-30 2021-04-20 Ethicon Llc Implantable adjunct comprising bonded layers
USD811457S1 (en) * 2015-11-02 2018-02-27 Hirata Corporation Substrate conveyance arm
US10368865B2 (en) 2015-12-30 2019-08-06 Ethicon Llc Mechanisms for compensating for drivetrain failure in powered surgical instruments
US10265068B2 (en) 2015-12-30 2019-04-23 Ethicon Llc Surgical instruments with separable motors and motor control circuits
US10292704B2 (en) 2015-12-30 2019-05-21 Ethicon Llc Mechanisms for compensating for battery pack failure in powered surgical instruments
US11213293B2 (en) 2016-02-09 2022-01-04 Cilag Gmbh International Articulatable surgical instruments with single articulation link arrangements
JP6911054B2 (ja) 2016-02-09 2021-07-28 エシコン エルエルシーＥｔｈｉｃｏｎ ＬＬＣ 非対称の関節構成を備えた外科用器具
US10245030B2 (en) 2016-02-09 2019-04-02 Ethicon Llc Surgical instruments with tensioning arrangements for cable driven articulation systems
US10258331B2 (en) 2016-02-12 2019-04-16 Ethicon Llc Mechanisms for compensating for drivetrain failure in powered surgical instruments
US11224426B2 (en) 2016-02-12 2022-01-18 Cilag Gmbh International Mechanisms for compensating for drivetrain failure in powered surgical instruments
US10448948B2 (en) 2016-02-12 2019-10-22 Ethicon Llc Mechanisms for compensating for drivetrain failure in powered surgical instruments
US10617413B2 (en) 2016-04-01 2020-04-14 Ethicon Llc Closure system arrangements for surgical cutting and stapling devices with separate and distinct firing shafts
US10376263B2 (en) 2016-04-01 2019-08-13 Ethicon Llc Anvil modification members for surgical staplers
US10357247B2 (en) 2016-04-15 2019-07-23 Ethicon Llc Surgical instrument with multiple program responses during a firing motion
US10492783B2 (en) 2016-04-15 2019-12-03 Ethicon, Llc Surgical instrument with improved stop/start control during a firing motion
US10828028B2 (en) 2016-04-15 2020-11-10 Ethicon Llc Surgical instrument with multiple program responses during a firing motion
US10426467B2 (en) 2016-04-15 2019-10-01 Ethicon Llc Surgical instrument with detection sensors
US10335145B2 (en) 2016-04-15 2019-07-02 Ethicon Llc Modular surgical instrument with configurable operating mode
US11607239B2 (en) 2016-04-15 2023-03-21 Cilag Gmbh International Systems and methods for controlling a surgical stapling and cutting instrument
US11179150B2 (en) 2016-04-15 2021-11-23 Cilag Gmbh International Systems and methods for controlling a surgical stapling and cutting instrument
US10405859B2 (en) 2016-04-15 2019-09-10 Ethicon Llc Surgical instrument with adjustable stop/start control during a firing motion
US10456137B2 (en) 2016-04-15 2019-10-29 Ethicon Llc Staple formation detection mechanisms
US11317917B2 (en) 2016-04-18 2022-05-03 Cilag Gmbh International Surgical stapling system comprising a lockable firing assembly
US10363037B2 (en) 2016-04-18 2019-07-30 Ethicon Llc Surgical instrument system comprising a magnetic lockout
US20170296173A1 (en) 2016-04-18 2017-10-19 Ethicon Endo-Surgery, Llc Method for operating a surgical instrument
CN106508282B (zh) * 2016-09-22 2018-10-30 华南农业大学 一种夹剪式机械臂末端执行器
US10426471B2 (en) 2016-12-21 2019-10-01 Ethicon Llc Surgical instrument with multiple failure response modes
US20180168615A1 (en) 2016-12-21 2018-06-21 Ethicon Endo-Surgery, Llc Method of deforming staples from two different types of staple cartridges with the same surgical stapling instrument
US10881401B2 (en) 2016-12-21 2021-01-05 Ethicon Llc Staple firing member comprising a missing cartridge and/or spent cartridge lockout
US11134942B2 (en) 2016-12-21 2021-10-05 Cilag Gmbh International Surgical stapling instruments and staple-forming anvils
US10448950B2 (en) 2016-12-21 2019-10-22 Ethicon Llc Surgical staplers with independently actuatable closing and firing systems
US10835245B2 (en) 2016-12-21 2020-11-17 Ethicon Llc Method for attaching a shaft assembly to a surgical instrument and, alternatively, to a surgical robot
US10524789B2 (en) 2016-12-21 2020-01-07 Ethicon Llc Laterally actuatable articulation lock arrangements for locking an end effector of a surgical instrument in an articulated configuration
US10856868B2 (en) 2016-12-21 2020-12-08 Ethicon Llc Firing member pin configurations
US10675026B2 (en) 2016-12-21 2020-06-09 Ethicon Llc Methods of stapling tissue
JP7010956B2 (ja) 2016-12-21 2022-01-26 エシコン エルエルシー 組織をステープル留めする方法
US10893864B2 (en) 2016-12-21 2021-01-19 Ethicon Staple cartridges and arrangements of staples and staple cavities therein
JP6983893B2 (ja) 2016-12-21 2021-12-17 エシコン エルエルシーEthicon LLC 外科用エンドエフェクタ及び交換式ツールアセンブリのためのロックアウト構成
US10695055B2 (en) 2016-12-21 2020-06-30 Ethicon Llc Firing assembly comprising a lockout
US10588630B2 (en) 2016-12-21 2020-03-17 Ethicon Llc Surgical tool assemblies with closure stroke reduction features
US10588632B2 (en) 2016-12-21 2020-03-17 Ethicon Llc Surgical end effectors and firing members thereof
US10682138B2 (en) 2016-12-21 2020-06-16 Ethicon Llc Bilaterally asymmetric staple forming pocket pairs
US20180168625A1 (en) 2016-12-21 2018-06-21 Ethicon Endo-Surgery, Llc Surgical stapling instruments with smart staple cartridges
JP2020501779A (ja) 2016-12-21 2020-01-23 エシコン エルエルシーＥｔｈｉｃｏｎ ＬＬＣ 外科用ステープル留めシステム
US11419606B2 (en) 2016-12-21 2022-08-23 Cilag Gmbh International Shaft assembly comprising a clutch configured to adapt the output of a rotary firing member to two different systems
US10779820B2 (en) 2017-06-20 2020-09-22 Ethicon Llc Systems and methods for controlling motor speed according to user input for a surgical instrument
USD879809S1 (en) 2017-06-20 2020-03-31 Ethicon Llc Display panel with changeable graphical user interface
US11382638B2 (en) 2017-06-20 2022-07-12 Cilag Gmbh International Closed loop feedback control of motor velocity of a surgical stapling and cutting instrument based on measured time over a specified displacement distance
US11090046B2 (en) 2017-06-20 2021-08-17 Cilag Gmbh International Systems and methods for controlling displacement member motion of a surgical stapling and cutting instrument
US10881399B2 (en) 2017-06-20 2021-01-05 Ethicon Llc Techniques for adaptive control of motor velocity of a surgical stapling and cutting instrument
US11653914B2 (en) 2017-06-20 2023-05-23 Cilag Gmbh International Systems and methods for controlling motor velocity of a surgical stapling and cutting instrument according to articulation angle of end effector
USD890784S1 (en) 2017-06-20 2020-07-21 Ethicon Llc Display panel with changeable graphical user interface
USD879808S1 (en) 2017-06-20 2020-03-31 Ethicon Llc Display panel with graphical user interface
US10980537B2 (en) 2017-06-20 2021-04-20 Ethicon Llc Closed loop feedback control of motor velocity of a surgical stapling and cutting instrument based on measured time over a specified number of shaft rotations
US10881396B2 (en) 2017-06-20 2021-01-05 Ethicon Llc Surgical instrument with variable duration trigger arrangement
US10390841B2 (en) 2017-06-20 2019-08-27 Ethicon Llc Control of motor velocity of a surgical stapling and cutting instrument based on angle of articulation
US10624633B2 (en) 2017-06-20 2020-04-21 Ethicon Llc Systems and methods for controlling motor velocity of a surgical stapling and cutting instrument
US10307170B2 (en) 2017-06-20 2019-06-04 Ethicon Llc Method for closed loop control of motor velocity of a surgical stapling and cutting instrument
US10368864B2 (en) 2017-06-20 2019-08-06 Ethicon Llc Systems and methods for controlling displaying motor velocity for a surgical instrument
US10327767B2 (en) 2017-06-20 2019-06-25 Ethicon Llc Control of motor velocity of a surgical stapling and cutting instrument based on angle of articulation
US10813639B2 (en) 2017-06-20 2020-10-27 Ethicon Llc Closed loop feedback control of motor velocity of a surgical stapling and cutting instrument based on system conditions
US11071554B2 (en) 2017-06-20 2021-07-27 Cilag Gmbh International Closed loop feedback control of motor velocity of a surgical stapling and cutting instrument based on magnitude of velocity error measurements
US10646220B2 (en) 2017-06-20 2020-05-12 Ethicon Llc Systems and methods for controlling displacement member velocity for a surgical instrument
US10888321B2 (en) 2017-06-20 2021-01-12 Ethicon Llc Systems and methods for controlling velocity of a displacement member of a surgical stapling and cutting instrument
US11517325B2 (en) 2017-06-20 2022-12-06 Cilag Gmbh International Closed loop feedback control of motor velocity of a surgical stapling and cutting instrument based on measured displacement distance traveled over a specified time interval
US11324503B2 (en) 2017-06-27 2022-05-10 Cilag Gmbh International Surgical firing member arrangements
US10856869B2 (en) 2017-06-27 2020-12-08 Ethicon Llc Surgical anvil arrangements
US10772629B2 (en) 2017-06-27 2020-09-15 Ethicon Llc Surgical anvil arrangements
US10993716B2 (en) 2017-06-27 2021-05-04 Ethicon Llc Surgical anvil arrangements
US11266405B2 (en) 2017-06-27 2022-03-08 Cilag Gmbh International Surgical anvil manufacturing methods
US10631859B2 (en) 2017-06-27 2020-04-28 Ethicon Llc Articulation systems for surgical instruments
US11246592B2 (en) 2017-06-28 2022-02-15 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising an articulation system lockable to a frame
EP4070740A1 (en) 2017-06-28 2022-10-12 Cilag GmbH International Surgical instrument comprising selectively actuatable rotatable couplers
US11259805B2 (en) 2017-06-28 2022-03-01 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising firing member supports
US10786253B2 (en) 2017-06-28 2020-09-29 Ethicon Llc Surgical end effectors with improved jaw aperture arrangements
US11564686B2 (en) 2017-06-28 2023-01-31 Cilag Gmbh International Surgical shaft assemblies with flexible interfaces
US10211586B2 (en) 2017-06-28 2019-02-19 Ethicon Llc Surgical shaft assemblies with watertight housings
US11000279B2 (en) 2017-06-28 2021-05-11 Ethicon Llc Surgical instrument comprising an articulation system ratio
US10765427B2 (en) 2017-06-28 2020-09-08 Ethicon Llc Method for articulating a surgical instrument
US10903685B2 (en) 2017-06-28 2021-01-26 Ethicon Llc Surgical shaft assemblies with slip ring assemblies forming capacitive channels
USD869655S1 (en) 2017-06-28 2019-12-10 Ethicon Llc Surgical fastener cartridge
USD906355S1 (en) 2017-06-28 2020-12-29 Ethicon Llc Display screen or portion thereof with a graphical user interface for a surgical instrument
US10716614B2 (en) 2017-06-28 2020-07-21 Ethicon Llc Surgical shaft assemblies with slip ring assemblies with increased contact pressure
USD851762S1 (en) 2017-06-28 2019-06-18 Ethicon Llc Anvil
USD854151S1 (en) 2017-06-28 2019-07-16 Ethicon Llc Surgical instrument shaft
US10258418B2 (en) * 2017-06-29 2019-04-16 Ethicon Llc System for controlling articulation forces
US11007022B2 (en) 2017-06-29 2021-05-18 Ethicon Llc Closed loop velocity control techniques based on sensed tissue parameters for robotic surgical instrument
US10398434B2 (en) 2017-06-29 2019-09-03 Ethicon Llc Closed loop velocity control of closure member for robotic surgical instrument
US10932772B2 (en) 2017-06-29 2021-03-02 Ethicon Llc Methods for closed loop velocity control for robotic surgical instrument
US10898183B2 (en) 2017-06-29 2021-01-26 Ethicon Llc Robotic surgical instrument with closed loop feedback techniques for advancement of closure member during firing
US11471155B2 (en) 2017-08-03 2022-10-18 Cilag Gmbh International Surgical system bailout
US11944300B2 (en) 2017-08-03 2024-04-02 Cilag Gmbh International Method for operating a surgical system bailout
US11304695B2 (en) 2017-08-03 2022-04-19 Cilag Gmbh International Surgical system shaft interconnection
USD907647S1 (en) 2017-09-29 2021-01-12 Ethicon Llc Display screen or portion thereof with animated graphical user interface
US10765429B2 (en) 2017-09-29 2020-09-08 Ethicon Llc Systems and methods for providing alerts according to the operational state of a surgical instrument
USD907648S1 (en) 2017-09-29 2021-01-12 Ethicon Llc Display screen or portion thereof with animated graphical user interface
US10729501B2 (en) 2017-09-29 2020-08-04 Ethicon Llc Systems and methods for language selection of a surgical instrument
US10743872B2 (en) 2017-09-29 2020-08-18 Ethicon Llc System and methods for controlling a display of a surgical instrument
US10796471B2 (en) 2017-09-29 2020-10-06 Ethicon Llc Systems and methods of displaying a knife position for a surgical instrument
USD917500S1 (en) 2017-09-29 2021-04-27 Ethicon Llc Display screen or portion thereof with graphical user interface
US11399829B2 (en) 2017-09-29 2022-08-02 Cilag Gmbh International Systems and methods of initiating a power shutdown mode for a surgical instrument
US11090075B2 (en) 2017-10-30 2021-08-17 Cilag Gmbh International Articulation features for surgical end effector
US11134944B2 (en) 2017-10-30 2021-10-05 Cilag Gmbh International Surgical stapler knife motion controls
US10842490B2 (en) 2017-10-31 2020-11-24 Ethicon Llc Cartridge body design with force reduction based on firing completion
US10779903B2 (en) 2017-10-31 2020-09-22 Ethicon Llc Positive shaft rotation lock activated by jaw closure
US10779825B2 (en) 2017-12-15 2020-09-22 Ethicon Llc Adapters with end effector position sensing and control arrangements for use in connection with electromechanical surgical instruments
US10687813B2 (en) 2017-12-15 2020-06-23 Ethicon Llc Adapters with firing stroke sensing arrangements for use in connection with electromechanical surgical instruments
US10779826B2 (en) 2017-12-15 2020-09-22 Ethicon Llc Methods of operating surgical end effectors
US10743874B2 (en) 2017-12-15 2020-08-18 Ethicon Llc Sealed adapters for use with electromechanical surgical instruments
US10966718B2 (en) 2017-12-15 2021-04-06 Ethicon Llc Dynamic clamping assemblies with improved wear characteristics for use in connection with electromechanical surgical instruments
US10743875B2 (en) 2017-12-15 2020-08-18 Ethicon Llc Surgical end effectors with jaw stiffener arrangements configured to permit monitoring of firing member
US10869666B2 (en) 2017-12-15 2020-12-22 Ethicon Llc Adapters with control systems for controlling multiple motors of an electromechanical surgical instrument
US11197670B2 (en) 2017-12-15 2021-12-14 Cilag Gmbh International Surgical end effectors with pivotal jaws configured to touch at their respective distal ends when fully closed
US11033267B2 (en) 2017-12-15 2021-06-15 Ethicon Llc Systems and methods of controlling a clamping member firing rate of a surgical instrument
US11006955B2 (en) 2017-12-15 2021-05-18 Ethicon Llc End effectors with positive jaw opening features for use with adapters for electromechanical surgical instruments
US10828033B2 (en) 2017-12-15 2020-11-10 Ethicon Llc Handheld electromechanical surgical instruments with improved motor control arrangements for positioning components of an adapter coupled thereto
US11071543B2 (en) 2017-12-15 2021-07-27 Cilag Gmbh International Surgical end effectors with clamping assemblies configured to increase jaw aperture ranges
US10716565B2 (en) 2017-12-19 2020-07-21 Ethicon Llc Surgical instruments with dual articulation drivers
US11045270B2 (en) 2017-12-19 2021-06-29 Cilag Gmbh International Robotic attachment comprising exterior drive actuator
US11020112B2 (en) 2017-12-19 2021-06-01 Ethicon Llc Surgical tools configured for interchangeable use with different controller interfaces
USD910847S1 (en) 2017-12-19 2021-02-16 Ethicon Llc Surgical instrument assembly
US10835330B2 (en) 2017-12-19 2020-11-17 Ethicon Llc Method for determining the position of a rotatable jaw of a surgical instrument attachment assembly
US10729509B2 (en) 2017-12-19 2020-08-04 Ethicon Llc Surgical instrument comprising closure and firing locking mechanism
US10682134B2 (en) 2017-12-21 2020-06-16 Ethicon Llc Continuous use self-propelled stapling instrument
US11311290B2 (en) 2017-12-21 2022-04-26 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising an end effector dampener
US11129680B2 (en) 2017-12-21 2021-09-28 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a projector
US11076853B2 (en) 2017-12-21 2021-08-03 Cilag Gmbh International Systems and methods of displaying a knife position during transection for a surgical instrument
JP6993889B2 (ja) * 2018-01-26 2022-01-14 シャープ株式会社 検知装置及び画像形成装置
US11083458B2 (en) 2018-08-20 2021-08-10 Cilag Gmbh International Powered surgical instruments with clutching arrangements to convert linear drive motions to rotary drive motions
US10912559B2 (en) 2018-08-20 2021-02-09 Ethicon Llc Reinforced deformable anvil tip for surgical stapler anvil
US10779821B2 (en) 2018-08-20 2020-09-22 Ethicon Llc Surgical stapler anvils with tissue stop features configured to avoid tissue pinch
US10856870B2 (en) 2018-08-20 2020-12-08 Ethicon Llc Switching arrangements for motor powered articulatable surgical instruments
USD914878S1 (en) 2018-08-20 2021-03-30 Ethicon Llc Surgical instrument anvil
US11253256B2 (en) 2018-08-20 2022-02-22 Cilag Gmbh International Articulatable motor powered surgical instruments with dedicated articulation motor arrangements
US11324501B2 (en) 2018-08-20 2022-05-10 Cilag Gmbh International Surgical stapling devices with improved closure members
US11291440B2 (en) 2018-08-20 2022-04-05 Cilag Gmbh International Method for operating a powered articulatable surgical instrument
US11039834B2 (en) 2018-08-20 2021-06-22 Cilag Gmbh International Surgical stapler anvils with staple directing protrusions and tissue stability features
US11045192B2 (en) 2018-08-20 2021-06-29 Cilag Gmbh International Fabricating techniques for surgical stapler anvils
US11207065B2 (en) 2018-08-20 2021-12-28 Cilag Gmbh International Method for fabricating surgical stapler anvils
US10842492B2 (en) 2018-08-20 2020-11-24 Ethicon Llc Powered articulatable surgical instruments with clutching and locking arrangements for linking an articulation drive system to a firing drive system
KR102139613B1 (ko) * 2018-08-31 2020-07-30 세메스 주식회사 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치
US11696761B2 (en) 2019-03-25 2023-07-11 Cilag Gmbh International Firing drive arrangements for surgical systems
US11147553B2 (en) 2019-03-25 2021-10-19 Cilag Gmbh International Firing drive arrangements for surgical systems
US11172929B2 (en) 2019-03-25 2021-11-16 Cilag Gmbh International Articulation drive arrangements for surgical systems
US11147551B2 (en) 2019-03-25 2021-10-19 Cilag Gmbh International Firing drive arrangements for surgical systems
JP1644505S (ko) * 2019-03-27 2019-10-28
JP1650339S (ko) * 2019-03-27 2020-01-20
JP1644507S (ko) * 2019-03-27 2019-10-28
JP1644506S (ko) * 2019-03-27 2019-10-28
US11903581B2 (en) 2019-04-30 2024-02-20 Cilag Gmbh International Methods for stapling tissue using a surgical instrument
US11471157B2 (en) 2019-04-30 2022-10-18 Cilag Gmbh International Articulation control mapping for a surgical instrument
US11452528B2 (en) 2019-04-30 2022-09-27 Cilag Gmbh International Articulation actuators for a surgical instrument
US11432816B2 (en) 2019-04-30 2022-09-06 Cilag Gmbh International Articulation pin for a surgical instrument
US11648009B2 (en) 2019-04-30 2023-05-16 Cilag Gmbh International Rotatable jaw tip for a surgical instrument
US11253254B2 (en) 2019-04-30 2022-02-22 Cilag Gmbh International Shaft rotation actuator on a surgical instrument
US11426251B2 (en) 2019-04-30 2022-08-30 Cilag Gmbh International Articulation directional lights on a surgical instrument
US11627959B2 (en) 2019-06-28 2023-04-18 Cilag Gmbh International Surgical instruments including manual and powered system lockouts
US11219455B2 (en) 2019-06-28 2022-01-11 Cilag Gmbh International Surgical instrument including a lockout key
US11660163B2 (en) 2019-06-28 2023-05-30 Cilag Gmbh International Surgical system with RFID tags for updating motor assembly parameters
US11553971B2 (en) 2019-06-28 2023-01-17 Cilag Gmbh International Surgical RFID assemblies for display and communication
US11497492B2 (en) 2019-06-28 2022-11-15 Cilag Gmbh International Surgical instrument including an articulation lock
US11291451B2 (en) 2019-06-28 2022-04-05 Cilag Gmbh International Surgical instrument with battery compatibility verification functionality
US11224497B2 (en) 2019-06-28 2022-01-18 Cilag Gmbh International Surgical systems with multiple RFID tags
US11298132B2 (en) 2019-06-28 2022-04-12 Cilag GmbH Inlernational Staple cartridge including a honeycomb extension
US11771419B2 (en) 2019-06-28 2023-10-03 Cilag Gmbh International Packaging for a replaceable component of a surgical stapling system
US11051807B2 (en) 2019-06-28 2021-07-06 Cilag Gmbh International Packaging assembly including a particulate trap
US11523822B2 (en) 2019-06-28 2022-12-13 Cilag Gmbh International Battery pack including a circuit interrupter
US11478241B2 (en) 2019-06-28 2022-10-25 Cilag Gmbh International Staple cartridge including projections
US11376098B2 (en) 2019-06-28 2022-07-05 Cilag Gmbh International Surgical instrument system comprising an RFID system
US11229437B2 (en) 2019-06-28 2022-01-25 Cilag Gmbh International Method for authenticating the compatibility of a staple cartridge with a surgical instrument
US11464601B2 (en) 2019-06-28 2022-10-11 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising an RFID system for tracking a movable component
US11638587B2 (en) 2019-06-28 2023-05-02 Cilag Gmbh International RFID identification systems for surgical instruments
US11399837B2 (en) 2019-06-28 2022-08-02 Cilag Gmbh International Mechanisms for motor control adjustments of a motorized surgical instrument
US11246678B2 (en) 2019-06-28 2022-02-15 Cilag Gmbh International Surgical stapling system having a frangible RFID tag
US11298127B2 (en) 2019-06-28 2022-04-12 Cilag GmbH Interational Surgical stapling system having a lockout mechanism for an incompatible cartridge
US11684434B2 (en) 2019-06-28 2023-06-27 Cilag Gmbh International Surgical RFID assemblies for instrument operational setting control
US11426167B2 (en) 2019-06-28 2022-08-30 Cilag Gmbh International Mechanisms for proper anvil attachment surgical stapling head assembly
US11259803B2 (en) 2019-06-28 2022-03-01 Cilag Gmbh International Surgical stapling system having an information encryption protocol
US11607219B2 (en) 2019-12-19 2023-03-21 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising a detachable tissue cutting knife
US11529137B2 (en) 2019-12-19 2022-12-20 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising driver retention members
US11234698B2 (en) 2019-12-19 2022-02-01 Cilag Gmbh International Stapling system comprising a clamp lockout and a firing lockout
US11504122B2 (en) 2019-12-19 2022-11-22 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a nested firing member
US11446029B2 (en) 2019-12-19 2022-09-20 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising projections extending from a curved deck surface
US11464512B2 (en) 2019-12-19 2022-10-11 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising a curved deck surface
US11291447B2 (en) 2019-12-19 2022-04-05 Cilag Gmbh International Stapling instrument comprising independent jaw closing and staple firing systems
US11576672B2 (en) 2019-12-19 2023-02-14 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a closure system including a closure member and an opening member driven by a drive screw
US11529139B2 (en) 2019-12-19 2022-12-20 Cilag Gmbh International Motor driven surgical instrument
US11304696B2 (en) 2019-12-19 2022-04-19 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a powered articulation system
US11701111B2 (en) 2019-12-19 2023-07-18 Cilag Gmbh International Method for operating a surgical stapling instrument
US11559304B2 (en) 2019-12-19 2023-01-24 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a rapid closure mechanism
US11911032B2 (en) 2019-12-19 2024-02-27 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising a seating cam
US11931033B2 (en) 2019-12-19 2024-03-19 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising a latch lockout
US11844520B2 (en) 2019-12-19 2023-12-19 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising driver retention members
USD976401S1 (en) 2020-06-02 2023-01-24 Cilag Gmbh International Staple cartridge
USD966512S1 (en) 2020-06-02 2022-10-11 Cilag Gmbh International Staple cartridge
USD975851S1 (en) 2020-06-02 2023-01-17 Cilag Gmbh International Staple cartridge
USD975278S1 (en) 2020-06-02 2023-01-10 Cilag Gmbh International Staple cartridge
USD974560S1 (en) 2020-06-02 2023-01-03 Cilag Gmbh International Staple cartridge
USD975850S1 (en) 2020-06-02 2023-01-17 Cilag Gmbh International Staple cartridge
USD967421S1 (en) 2020-06-02 2022-10-18 Cilag Gmbh International Staple cartridge
US11864756B2 (en) 2020-07-28 2024-01-09 Cilag Gmbh International Surgical instruments with flexible ball chain drive arrangements
US11844518B2 (en) 2020-10-29 2023-12-19 Cilag Gmbh International Method for operating a surgical instrument
US11779330B2 (en) 2020-10-29 2023-10-10 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a jaw alignment system
US11931025B2 (en) 2020-10-29 2024-03-19 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a releasable closure drive lock
US11617577B2 (en) 2020-10-29 2023-04-04 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a sensor configured to sense whether an articulation drive of the surgical instrument is actuatable
US11534259B2 (en) 2020-10-29 2022-12-27 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising an articulation indicator
USD980425S1 (en) 2020-10-29 2023-03-07 Cilag Gmbh International Surgical instrument assembly
US11517390B2 (en) 2020-10-29 2022-12-06 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a limited travel switch
US11717289B2 (en) 2020-10-29 2023-08-08 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising an indicator which indicates that an articulation drive is actuatable
US11896217B2 (en) 2020-10-29 2024-02-13 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising an articulation lock
USD1013170S1 (en) 2020-10-29 2024-01-30 Cilag Gmbh International Surgical instrument assembly
US11452526B2 (en) 2020-10-29 2022-09-27 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a staged voltage regulation start-up system
US11744581B2 (en) 2020-12-02 2023-09-05 Cilag Gmbh International Powered surgical instruments with multi-phase tissue treatment
US11890010B2 (en) 2020-12-02 2024-02-06 Cllag GmbH International Dual-sided reinforced reload for surgical instruments
US11737751B2 (en) 2020-12-02 2023-08-29 Cilag Gmbh International Devices and methods of managing energy dissipated within sterile barriers of surgical instrument housings
US11849943B2 (en) 2020-12-02 2023-12-26 Cilag Gmbh International Surgical instrument with cartridge release mechanisms
US11944296B2 (en) 2020-12-02 2024-04-02 Cilag Gmbh International Powered surgical instruments with external connectors
US11653920B2 (en) 2020-12-02 2023-05-23 Cilag Gmbh International Powered surgical instruments with communication interfaces through sterile barrier
US11678882B2 (en) 2020-12-02 2023-06-20 Cilag Gmbh International Surgical instruments with interactive features to remedy incidental sled movements
US11653915B2 (en) 2020-12-02 2023-05-23 Cilag Gmbh International Surgical instruments with sled location detection and adjustment features
US11627960B2 (en) 2020-12-02 2023-04-18 Cilag Gmbh International Powered surgical instruments with smart reload with separately attachable exteriorly mounted wiring connections
US11749877B2 (en) 2021-02-26 2023-09-05 Cilag Gmbh International Stapling instrument comprising a signal antenna
US11950779B2 (en) 2021-02-26 2024-04-09 Cilag Gmbh International Method of powering and communicating with a staple cartridge
US11950777B2 (en) 2021-02-26 2024-04-09 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising an information access control system
US11751869B2 (en) 2021-02-26 2023-09-12 Cilag Gmbh International Monitoring of multiple sensors over time to detect moving characteristics of tissue
US11744583B2 (en) 2021-02-26 2023-09-05 Cilag Gmbh International Distal communication array to tune frequency of RF systems
US11793514B2 (en) 2021-02-26 2023-10-24 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising sensor array which may be embedded in cartridge body
US11925349B2 (en) 2021-02-26 2024-03-12 Cilag Gmbh International Adjustment to transfer parameters to improve available power
US11701113B2 (en) 2021-02-26 2023-07-18 Cilag Gmbh International Stapling instrument comprising a separate power antenna and a data transfer antenna
US11730473B2 (en) 2021-02-26 2023-08-22 Cilag Gmbh International Monitoring of manufacturing life-cycle
US11696757B2 (en) 2021-02-26 2023-07-11 Cilag Gmbh International Monitoring of internal systems to detect and track cartridge motion status
US11723657B2 (en) 2021-02-26 2023-08-15 Cilag Gmbh International Adjustable communication based on available bandwidth and power capacity
US11812964B2 (en) 2021-02-26 2023-11-14 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising a power management circuit
US11717291B2 (en) 2021-03-22 2023-08-08 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising staples configured to apply different tissue compression
US11826012B2 (en) 2021-03-22 2023-11-28 Cilag Gmbh International Stapling instrument comprising a pulsed motor-driven firing rack
US11723658B2 (en) 2021-03-22 2023-08-15 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising a firing lockout
US11826042B2 (en) 2021-03-22 2023-11-28 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a firing drive including a selectable leverage mechanism
US11737749B2 (en) 2021-03-22 2023-08-29 Cilag Gmbh International Surgical stapling instrument comprising a retraction system
US11806011B2 (en) 2021-03-22 2023-11-07 Cilag Gmbh International Stapling instrument comprising tissue compression systems
US11759202B2 (en) 2021-03-22 2023-09-19 Cilag Gmbh International Staple cartridge comprising an implantable layer
US11793516B2 (en) 2021-03-24 2023-10-24 Cilag Gmbh International Surgical staple cartridge comprising longitudinal support beam
US11896218B2 (en) 2021-03-24 2024-02-13 Cilag Gmbh International Method of using a powered stapling device
US11849945B2 (en) 2021-03-24 2023-12-26 Cilag Gmbh International Rotary-driven surgical stapling assembly comprising eccentrically driven firing member
US11832816B2 (en) 2021-03-24 2023-12-05 Cilag Gmbh International Surgical stapling assembly comprising nonplanar staples and planar staples
US11744603B2 (en) 2021-03-24 2023-09-05 Cilag Gmbh International Multi-axis pivot joints for surgical instruments and methods for manufacturing same
US11903582B2 (en) 2021-03-24 2024-02-20 Cilag Gmbh International Leveraging surfaces for cartridge installation
US11896219B2 (en) 2021-03-24 2024-02-13 Cilag Gmbh International Mating features between drivers and underside of a cartridge deck
US11786243B2 (en) 2021-03-24 2023-10-17 Cilag Gmbh International Firing members having flexible portions for adapting to a load during a surgical firing stroke
US11857183B2 (en) 2021-03-24 2024-01-02 Cilag Gmbh International Stapling assembly components having metal substrates and plastic bodies
US11944336B2 (en) 2021-03-24 2024-04-02 Cilag Gmbh International Joint arrangements for multi-planar alignment and support of operational drive shafts in articulatable surgical instruments
US11849944B2 (en) 2021-03-24 2023-12-26 Cilag Gmbh International Drivers for fastener cartridge assemblies having rotary drive screws
US11786239B2 (en) 2021-03-24 2023-10-17 Cilag Gmbh International Surgical instrument articulation joint arrangements comprising multiple moving linkage features
US20220378424A1 (en) 2021-05-28 2022-12-01 Cilag Gmbh International Stapling instrument comprising a firing lockout
CN113458281B (zh) * 2021-07-06 2023-01-13 深圳市豪锐科技有限公司 一种半导体集成加工用成型机
US11957337B2 (en) 2021-10-18 2024-04-16 Cilag Gmbh International Surgical stapling assembly with offset ramped drive surfaces
US11877745B2 (en) 2021-10-18 2024-01-23 Cilag Gmbh International Surgical stapling assembly having longitudinally-repeating staple leg clusters
US11937816B2 (en) 2021-10-28 2024-03-26 Cilag Gmbh International Electrical lead arrangements for surgical instruments

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2808826B2 (ja) * 1990-05-25 1998-10-08 松下電器産業株式会社 基板の移し換え装置
CN1046654C (zh) 1993-04-16 1999-11-24 布鲁克斯自动化公司 传送装置
JP2580489B2 (ja) * 1993-11-04 1997-02-12 株式会社ハイテック・プロダクト 多関節搬送装置，その制御方法及び半導体製造装置
JPH07142551A (ja) 1993-11-20 1995-06-02 Tokyo Electron Ltd 搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置
JP3204115B2 (ja) 1996-01-25 2001-09-04 ダイキン工業株式会社 ワーク搬送ロボット
WO1997035690A1 (fr) 1996-03-22 1997-10-02 Komatsu Ltd. Robot de manutention
JPH10156770A (ja) 1996-12-04 1998-06-16 Komatsu Ltd ハンドリング用ロボット
JPH10163296A (ja) 1996-11-27 1998-06-19 Rootsue Kk 基板搬送装置
JP2000072248A (ja) 1998-08-27 2000-03-07 Rorze Corp 基板搬送装置
US6485250B2 (en) * 1998-12-30 2002-11-26 Brooks Automation Inc. Substrate transport apparatus with multiple arms on a common axis of rotation
JP2000227734A (ja) * 1999-02-05 2000-08-15 Mitsubishi Chemicals Corp 電子写真感光ドラム用フランジ
JP4445075B2 (ja) * 1999-10-06 2010-04-07 東京エレクトロン株式会社 真空モータ及び搬送装置
JP4628602B2 (ja) * 2001-04-05 2011-02-09 ナブテスコ株式会社 ロボットアーム

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101475421B1 (ko) * 2007-04-06 2014-12-23 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 독립적으로 움직임가능한 다중 관절형 아암들을 구비한 기판 이송 장치
KR20140130243A (ko) * 2007-05-08 2014-11-07 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치
KR101629734B1 (ko) * 2007-05-08 2016-06-13 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치
KR20170124613A (ko) * 2007-05-08 2017-11-10 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치
US10335945B2 (en) 2007-05-08 2019-07-02 Brooks Automation, Inc. Substrate transport appartatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism
KR20200007102A (ko) * 2007-05-08 2020-01-21 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치
KR102121016B1 (ko) * 2007-05-08 2020-06-09 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치
KR102216638B1 (ko) 2007-05-08 2021-02-17 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치
US11801598B2 (en) 2007-05-08 2023-10-31 Brooks Automation Us, Llc Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism

Also Published As

Publication number Publication date
EP1657743B1 (en) 2013-06-05
JP2010166083A (ja) 2010-07-29
EP1657743A1 (en) 2006-05-17
JP5024411B2 (ja) 2012-09-12
WO2005008769A1 (ja) 2005-01-27
US20060210387A1 (en) 2006-09-21
US7837425B2 (en) 2010-11-23
EP1657743A4 (en) 2011-10-05
KR20050057605A (ko) 2005-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100582697B1 (ko) 피처리 기판의 반송 장치 및 회전 위치를 검출하는 기능을갖는 구동 기구
JP4513435B2 (ja) 搬送装置
US11787042B2 (en) Robot having arm with end effector having bend portion
US7566198B2 (en) Industrial robot
US5885052A (en) Transferring apparatus and robot arm
US20050079042A1 (en) Scalar type robot for carrying flat plate-like object, and flat plate-like object processing system
US6121743A (en) Dual robotic arm end effectors having independent yaw motion
CN1046654C (zh) 传送装置
KR101143287B1 (ko) 반송장치 및 그 제어방법 그리고 진공처리장치
JP4723697B2 (ja) ダイレクト駆動ロボット
JP5689920B2 (ja) ウェハ中心検出
US11691268B2 (en) Robot having a variable transmission ratio
KR20050008523A (ko) 다관절 로봇
CN1499602A (zh) 准直装置
KR20150072347A (ko) 검출 시스템 및 검출 방법
CN100342519C (zh) 搬送装置及驱动机构
US20030072645A1 (en) Edge gripping pre-aligner
US7267276B2 (en) Method and apparatus for optically reading target while folding reflected light
KR20120042994A (ko) 회전 전달 기구, 반송장치 및 구동장치
JP4214137B2 (ja) 容器の外形検査装置
KR102305353B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법
US20200036267A1 (en) Robot Drive with Isolated Optical Encoder
CN1198698A (zh) 传送机械手
KR100430132B1 (ko) 용기의 측면 검사장치
KR20230048603A (ko) 산업용 로봇 및 제조 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130502

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140418

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150416

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160418

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170421

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180502

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190429

Year of fee payment: 14