JP2000072248A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
- Publication number
- JP2000072248A JP2000072248A JP24142398A JP24142398A JP2000072248A JP 2000072248 A JP2000072248 A JP 2000072248A JP 24142398 A JP24142398 A JP 24142398A JP 24142398 A JP24142398 A JP 24142398A JP 2000072248 A JP2000072248 A JP 2000072248A
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- Japan
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- arm
- pulley
- arms
- motor
- substrate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 信頼性の高い高性能な真空処理装置用の基板
搬送装置を低価格で提供すること。 【解決手段】 上記課題を解決するために、本発明によ
る基板搬送装置は、モータにより回転される立設した支
軸上面に取付けた第１アームと、該第１アームの両端部
に対し前記モータとは別設モータで駆動される第２アー
ム２ａ，２ｂをそれぞれ配設すると共に、各第２アーム
２ａ，２ｂの他端部に一端部が連結された第３アーム３
ａ，３ｂと、該第３アーム３ａ，３ｂの他端部に基板保
持部５ａ，５ｂを配設したことを特徴とする。このさ
い、第１アームの支軸を内包となし、その外方に第２ア
ーム２ａ，２ｂの駆動軸を同心円上に配設したものとす
る。
搬送装置を低価格で提供すること。 【解決手段】 上記課題を解決するために、本発明によ
る基板搬送装置は、モータにより回転される立設した支
軸上面に取付けた第１アームと、該第１アームの両端部
に対し前記モータとは別設モータで駆動される第２アー
ム２ａ，２ｂをそれぞれ配設すると共に、各第２アーム
２ａ，２ｂの他端部に一端部が連結された第３アーム３
ａ，３ｂと、該第３アーム３ａ，３ｂの他端部に基板保
持部５ａ，５ｂを配設したことを特徴とする。このさ
い、第１アームの支軸を内包となし、その外方に第２ア
ーム２ａ，２ｂの駆動軸を同心円上に配設したものとす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハ及び
フラットパネルディスプレイ基板等の薄型基板を搬送す
る基板搬送装置、特に真空処理装置に使用する基板搬送
装置に関する。
フラットパネルディスプレイ基板等の薄型基板を搬送す
る基板搬送装置、特に真空処理装置に使用する基板搬送
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から半導体ウェハ又はフラットパネ
ルディスプレイ基板を搬送するために基板搬送装置とし
て、特開平８−２７４１４０号で開示されているような
基板搬送装置が提案されている。特開平８−２７４１４
０号公報に記載されている基板搬送装置は、回転する胴
体上方へ左右対称のアームに上下配置となる基板保持部
を２個取付け、基板を同一直線上で搬送できるよう片方
のアームをコ字形に構成したものである。
ルディスプレイ基板を搬送するために基板搬送装置とし
て、特開平８−２７４１４０号で開示されているような
基板搬送装置が提案されている。特開平８−２７４１４
０号公報に記載されている基板搬送装置は、回転する胴
体上方へ左右対称のアームに上下配置となる基板保持部
を２個取付け、基板を同一直線上で搬送できるよう片方
のアームをコ字形に構成したものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の基板搬送装置を真空処理装置に使用する場合、図８
に示す通り大気と真空とを遮断するために２箇の第１ア
ーム軸と旋回部を磁性流体シール等の密閉手段を設ける
が、旋回部内へ２個の第１アーム軸の密閉構造が入るた
め、旋回部密閉位置の半径が大きくなり、旋回動作時に
密閉位置での周速が早くなるため密閉部の寿命が短いも
のとなる。
成の基板搬送装置を真空処理装置に使用する場合、図８
に示す通り大気と真空とを遮断するために２箇の第１ア
ーム軸と旋回部を磁性流体シール等の密閉手段を設ける
が、旋回部内へ２個の第１アーム軸の密閉構造が入るた
め、旋回部密閉位置の半径が大きくなり、旋回動作時に
密閉位置での周速が早くなるため密閉部の寿命が短いも
のとなる。
【０００４】また、移載位置で基板の入替動作を行う際
に、アーム部の上下方向の移動を必要とし、ベローズ４
０と呼ばれる周期的に口径を変化させた薄肉厚管を使用
する。このさいベローズ４０の使用は、その製法からも
非常に高価な部品であり、当然のことながら大きさが増
大するにつれてその価格も上昇する。
に、アーム部の上下方向の移動を必要とし、ベローズ４
０と呼ばれる周期的に口径を変化させた薄肉厚管を使用
する。このさいベローズ４０の使用は、その製法からも
非常に高価な部品であり、当然のことながら大きさが増
大するにつれてその価格も上昇する。
【０００５】しかもベローズは旋回部内へ２個の第１ア
ーム軸の密閉構造が入るため、旋回部密閉位置の半径が
大きくなり、ベローズ自身の価格も非常に高価となり、
組立精度も高く要求されて結果的に価格の上昇を招くこ
とになる。本発明はこのような問題点を以下説明するコ
ンパクトな構成により真空中の使用下で長寿命と低価格
化に寄与できるものとなった。
ーム軸の密閉構造が入るため、旋回部密閉位置の半径が
大きくなり、ベローズ自身の価格も非常に高価となり、
組立精度も高く要求されて結果的に価格の上昇を招くこ
とになる。本発明はこのような問題点を以下説明するコ
ンパクトな構成により真空中の使用下で長寿命と低価格
化に寄与できるものとなった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明による基板搬送装置は、モータにより回転さ
れる立設した支軸上面に取付けた第１アームと、該第１
アームの両端部に対し前記モータとは別設モータで駆動
される第２アーム２ａ，２ｂをそれぞれ配設すると共
に、各第２アーム２ａ，２ｂの他端部に一端部が連結さ
れた第３アーム３ａ，３ｂと、該第３アーム３ａ，３ｂ
の他端部に基板保持部５ａ，５ｂを配設したことを特徴
とする。このさい、第１アームの支軸を内包となし、そ
の外方に第２アーム２ａ，２ｂの駆動軸を同心円上に配
設したものとする。
に、本発明による基板搬送装置は、モータにより回転さ
れる立設した支軸上面に取付けた第１アームと、該第１
アームの両端部に対し前記モータとは別設モータで駆動
される第２アーム２ａ，２ｂをそれぞれ配設すると共
に、各第２アーム２ａ，２ｂの他端部に一端部が連結さ
れた第３アーム３ａ，３ｂと、該第３アーム３ａ，３ｂ
の他端部に基板保持部５ａ，５ｂを配設したことを特徴
とする。このさい、第１アームの支軸を内包となし、そ
の外方に第２アーム２ａ，２ｂの駆動軸を同心円上に配
設したものとする。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は本発明装置の斜視図、図２
は内部構成を示す断面説明図である。３１は本発明装置
の駆動箱であり、軸受３４及びフランジ３２を介して基
台３３に取付けられる。３５は駆動箱内の底板に固定さ
れたモータ支持台でモータ４１を固定支持している。７
は第１アーム支軸であり前記モータ４１の回転を、その
上端に取付けた第１アーム１を回動可能としている。ま
た、第１アーム支軸７には駆動箱３１内で棚板３０が取
付けられており第１アーム１と同じように回動可能とな
っている。
は内部構成を示す断面説明図である。３１は本発明装置
の駆動箱であり、軸受３４及びフランジ３２を介して基
台３３に取付けられる。３５は駆動箱内の底板に固定さ
れたモータ支持台でモータ４１を固定支持している。７
は第１アーム支軸であり前記モータ４１の回転を、その
上端に取付けた第１アーム１を回動可能としている。ま
た、第１アーム支軸７には駆動箱３１内で棚板３０が取
付けられており第１アーム１と同じように回動可能とな
っている。
【０００８】第２アーム２ａの回動は棚板３０に取付け
られたモータ４３により出力軸２４に固着されたプーリ
２２を回転させ、この回転をタイミングベルト２３、プ
ーリ２１により支軸９を回転させる。支軸９の上端に接
続されたプーリ１０ａはタイミングベルト１２ａ、プー
リ１１ａを回転させると共に、プーリ１１ａに接続され
た第２アーム２ａを回転させる。
られたモータ４３により出力軸２４に固着されたプーリ
２２を回転させ、この回転をタイミングベルト２３、プ
ーリ２１により支軸９を回転させる。支軸９の上端に接
続されたプーリ１０ａはタイミングベルト１２ａ、プー
リ１１ａを回転させると共に、プーリ１１ａに接続され
た第２アーム２ａを回転させる。
【０００９】第３アーム３ａの回動は第１アーム１に固
着されたプーリ１３ａにタイミングベルト１６ａを介し
プーリ１５ａを回転させることにより可能となってい
る。基板保持部５ａの回動は第２アーム２ａに固着され
たプーリ１７ａにタイミングベルト１９ａを介しプーリ
１８ａを回転することにより可能となっている。
着されたプーリ１３ａにタイミングベルト１６ａを介し
プーリ１５ａを回転させることにより可能となってい
る。基板保持部５ａの回動は第２アーム２ａに固着され
たプーリ１７ａにタイミングベルト１９ａを介しプーリ
１８ａを回転することにより可能となっている。
【００１０】他方、第２アーム２ｂの回動は棚板３０に
取付けられたモータ４２により出力軸２８に固着された
プーリ２６を回転させ、この回転をタイミングベルト２
７、プーリ２５により支軸８を回転させる。支軸８の上
端に接続されたプーリ１０ｂはタイミングベルト１２
ｂ、プーリ１１ｂを回転させると共に、プーリ１１ｂに
接続された第２アーム２ｂを回転させる。
取付けられたモータ４２により出力軸２８に固着された
プーリ２６を回転させ、この回転をタイミングベルト２
７、プーリ２５により支軸８を回転させる。支軸８の上
端に接続されたプーリ１０ｂはタイミングベルト１２
ｂ、プーリ１１ｂを回転させると共に、プーリ１１ｂに
接続された第２アーム２ｂを回転させる。
【００１１】第３アーム３ｂの回動は第１アーム１に固
着されたプーリ１３ｂにタイミングベルト１６ｂを介し
プーリ１５ｂを回転させることにより可能となってい
る。基板保持部５ｂの回動は第２アーム２ｂに固着され
たプーリ１７ｂにタイミングベルト１９ｂを介しプーリ
１８ｂを回動することにより可能となっている。また、
同心円上に構成した支軸７，８，９は第１アーム支軸７
を内包でその外方へ第２アーム支軸８，９を配設してお
り、各支軸間には磁性流体シール２０を配設している。
着されたプーリ１３ｂにタイミングベルト１６ｂを介し
プーリ１５ｂを回転させることにより可能となってい
る。基板保持部５ｂの回動は第２アーム２ｂに固着され
たプーリ１７ｂにタイミングベルト１９ｂを介しプーリ
１８ｂを回動することにより可能となっている。また、
同心円上に構成した支軸７，８，９は第１アーム支軸７
を内包でその外方へ第２アーム支軸８，９を配設してお
り、各支軸間には磁性流体シール２０を配設している。
【００１２】図３は本発明のプーリ比の説明図である。
プーリ１０ａ，１０ｂと１１ａ，１１ｂの回転比は１：
１、プーリ１３ａ，１３ｂと１５ａ，１５ｂの回転比は
１：２、プーリ１７ａ，１７ｂと１８ａ，１８ｂの回転
比は２：１となしてある。本装置は、プーリ１０ａ，１
０ｂと１１ａ，１１ｂとの回転比を１：１としてある
が、装置小型化のため別の回転比をとっても何ら不都合
はない。また、アーム２ａ，２ｂ、アーム３ａ，３ｂの
長さは何れも等しく製作されている。
プーリ１０ａ，１０ｂと１１ａ，１１ｂの回転比は１：
１、プーリ１３ａ，１３ｂと１５ａ，１５ｂの回転比は
１：２、プーリ１７ａ，１７ｂと１８ａ，１８ｂの回転
比は２：１となしてある。本装置は、プーリ１０ａ，１
０ｂと１１ａ，１１ｂとの回転比を１：１としてある
が、装置小型化のため別の回転比をとっても何ら不都合
はない。また、アーム２ａ，２ｂ、アーム３ａ，３ｂの
長さは何れも等しく製作されている。
【００１３】次に基板保持部５ａを外側に伸ばす場合に
ついて説明する。モータ４３を右回転させることによ
り、プーリ２２にタイミングベルト２３を介して接続さ
れたプーリ２１が右回転し、同じく第２アーム支軸９を
介しプーリ１０ａにタイミングベルト１２ａを介して接
続されたプーリ１１ａが右回転する。従って、プーリ１
１ａが右回転することにより、第２アーム２ａは回動す
る。
ついて説明する。モータ４３を右回転させることによ
り、プーリ２２にタイミングベルト２３を介して接続さ
れたプーリ２１が右回転し、同じく第２アーム支軸９を
介しプーリ１０ａにタイミングベルト１２ａを介して接
続されたプーリ１１ａが右回転する。従って、プーリ１
１ａが右回転することにより、第２アーム２ａは回動す
る。
【００１４】一方、第２アーム２ａの回動によりプーリ
１３ａと回転比１：２で接続されたプーリ１５ａは第２
アーム２ａの角速度に対し２倍の角度で逆方向に回転す
る。そして、プーリ１５ａに接続された第３アーム３ａ
を第２アーム２ａの２倍の角速度で回動させる。
１３ａと回転比１：２で接続されたプーリ１５ａは第２
アーム２ａの角速度に対し２倍の角度で逆方向に回転す
る。そして、プーリ１５ａに接続された第３アーム３ａ
を第２アーム２ａの２倍の角速度で回動させる。
【００１５】次に基板保持部５ａは第２アーム２ａに固
定されたプーリ１７ａとプーリ１８ａがタイミングベル
ト１９ａを介し２：１の回転比で接続されているため、
第３アーム３ａの回動に対し１／２の角速度で逆方向へ
回動されるものとなる。
定されたプーリ１７ａとプーリ１８ａがタイミングベル
ト１９ａを介し２：１の回転比で接続されているため、
第３アーム３ａの回動に対し１／２の角速度で逆方向へ
回動されるものとなる。
【００１６】以上の動作により、基板保持部５ａは図４
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄで示す通り外側に向けて伸縮動作するも
のとなる。上記は基板保持部５ａの伸縮動作について説
明したが、基板保持部５ｂの伸縮動作はモータ４２の駆
動により前述と同様に動作するのである。
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄで示す通り外側に向けて伸縮動作するも
のとなる。上記は基板保持部５ａの伸縮動作について説
明したが、基板保持部５ｂの伸縮動作はモータ４２の駆
動により前述と同様に動作するのである。
【００１７】図４Ｈ，Ｉ，ＪあるいはＫ，Ｌ，Ｍ等の位
置に於ける旋回動作は、モータ４１及び４２を停止した
状態で、モータ４１を右回転或いは左回転させることに
よって可能である。基板保持部５ａを伸縮動作するさい
の各アームの動きは図７Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに示す通りであ
る。図４Ａ，Ｅ，Ｆ，Ｇは基板保持部５ｂを伸縮するさ
いの各アームの動きを示すものである。図４Ａ，Ｈ，
Ｉ，Ｊは基板保持部５ａ，５ｂを共に左旋回動作を行う
さいの状態であって、モータ４１を左回転駆動すること
により行われる。図４Ａ，Ｋ，Ｌ，Ｍは基板保持部５
ａ，５ｂを共に右旋回動作を行うさいの状態であって、
モータ４１を右回転駆動することにより行われる。
置に於ける旋回動作は、モータ４１及び４２を停止した
状態で、モータ４１を右回転或いは左回転させることに
よって可能である。基板保持部５ａを伸縮動作するさい
の各アームの動きは図７Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに示す通りであ
る。図４Ａ，Ｅ，Ｆ，Ｇは基板保持部５ｂを伸縮するさ
いの各アームの動きを示すものである。図４Ａ，Ｈ，
Ｉ，Ｊは基板保持部５ａ，５ｂを共に左旋回動作を行う
さいの状態であって、モータ４１を左回転駆動すること
により行われる。図４Ａ，Ｋ，Ｌ，Ｍは基板保持部５
ａ，５ｂを共に右旋回動作を行うさいの状態であって、
モータ４１を右回転駆動することにより行われる。
【００１８】上記実施例では、プーリとタイミングベル
トによりモータの回転駆動を伝達するものとなしたが、
この他にプーリとワイヤー等の使用によっても同様実施
することができる。図５（Ａ）はこの発明の他の実施形
態に係る基板搬送装置を示す平面図であり、（Ｂ）はそ
の側面図、また図６は全体斜視図である。この基板搬送
装置は、同一平面において基板保持部２ａ，２ｂの取付
け方向を互いの基板が干渉しないようにずらして配置し
たものである。本実施例の場合、基板保持部の取付け角
度を９０°ずらしているが、相互の基板が干渉しなけれ
ば何度であってもよい。なお、第１アームは「く」字状
に形成されているが、他の形状であっても何ら不都合は
ない。
トによりモータの回転駆動を伝達するものとなしたが、
この他にプーリとワイヤー等の使用によっても同様実施
することができる。図５（Ａ）はこの発明の他の実施形
態に係る基板搬送装置を示す平面図であり、（Ｂ）はそ
の側面図、また図６は全体斜視図である。この基板搬送
装置は、同一平面において基板保持部２ａ，２ｂの取付
け方向を互いの基板が干渉しないようにずらして配置し
たものである。本実施例の場合、基板保持部の取付け角
度を９０°ずらしているが、相互の基板が干渉しなけれ
ば何度であってもよい。なお、第１アームは「く」字状
に形成されているが、他の形状であっても何ら不都合は
ない。
【００１９】上記の状態から基板保持部５ａを伸縮動作
するさいの各アームの動きは図６Ａ，Ｂ，Ｃ、Ｄに示す
通りである。即ち、モータ４１を回転させることにより
基板保持部５ａを基板取出し位置に旋回移動を行う。そ
の後、モータ４３を回転させることにより基板保持部５
ａの直線動作が可能となる。
するさいの各アームの動きは図６Ａ，Ｂ，Ｃ、Ｄに示す
通りである。即ち、モータ４１を回転させることにより
基板保持部５ａを基板取出し位置に旋回移動を行う。そ
の後、モータ４３を回転させることにより基板保持部５
ａの直線動作が可能となる。
【００２０】図７Ａ，Ｅ，Ｆ，Ｇは基板保持部５ｂを伸
縮するさいの各アームの動きを示すものである。図７
Ａ，Ｈ，Ｉ，Ｊは基板保持部５ａ，５ｂを共に左旋回動
作を行うさいの状態であって、モータ４１を左回転駆動
することにより行われる。図７Ａ，Ｋ，Ｌ，Ｍは基板保
持部５ａ，５ｂを共に右旋回動作を行うさいの状態であ
って、モータ４１を右回転駆動することにより行われ
る。上記実施例は、真空処理装置用の基板搬送装置につ
いて説明を行ったが、本構成の基板搬送装置を大気用に
使用しても何ら差し支えはない。
縮するさいの各アームの動きを示すものである。図７
Ａ，Ｈ，Ｉ，Ｊは基板保持部５ａ，５ｂを共に左旋回動
作を行うさいの状態であって、モータ４１を左回転駆動
することにより行われる。図７Ａ，Ｋ，Ｌ，Ｍは基板保
持部５ａ，５ｂを共に右旋回動作を行うさいの状態であ
って、モータ４１を右回転駆動することにより行われ
る。上記実施例は、真空処理装置用の基板搬送装置につ
いて説明を行ったが、本構成の基板搬送装置を大気用に
使用しても何ら差し支えはない。
【００２１】
【発明の効果】本発明は以上の通り構成するものであっ
て、旋回部密閉位置の半径を小さくできるコンパクトな
構成のため、容易に信頼性の高い高性能な真空処理装置
用の基板搬送装置を低価格で提供することができるもの
である。
て、旋回部密閉位置の半径を小さくできるコンパクトな
構成のため、容易に信頼性の高い高性能な真空処理装置
用の基板搬送装置を低価格で提供することができるもの
である。
【図１】本発明装置の斜視図である。
【図２】本発明の装置の断面説明図である。
【図３】本発明のプーリ比を示す説明図である。
【図４】基板保持部の動作説明図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係る基板搬送装置であ
り、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
り、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図６】上記装置の全体斜視図である。
【図７】本発明の他の実施例に係る基板保持部の動作説
明図である。
明図である。
【図８】特開平８−２７４１４０号を真空処理装置に使
用する例として考えた断面説明図である。（同一部品に
は本発明装置と同一符号が付してある）
用する例として考えた断面説明図である。（同一部品に
は本発明装置と同一符号が付してある）
１ 第１アーム ２ａ，２ｂ 第２アーム ３ａ，３ｂ 第３アーム ４ ウェハ ５ａ，５ｂ 基板保持部 ７ 第１アーム支軸 ８ 第２アーム支軸 ９ 第２アーム支軸 １０ａ，１０ｂ プーリ １１ａ，１１ｂ プーリ １２ａ，１２ｂ タイミングベルト １３ａ，１３ｂ プーリ １５ａ，１５ｂ プーリ １６ａ，１６ｂ タイミングベルト １７ａ，１７ｂ プーリ １８ａ，１８ｂ プーリ １９ａ，１９ｂ タイミングベルト ２０ 磁性流体シール ２１ プーリ ２２ プーリ ２３ タイミングベルト ２４ 出力軸 ２５ プーリ ２６ プーリ ２７ タイミングベルト ２８ 出力軸 ２９ ボールネジ ３０ 棚板 ３１ 駆動箱 ３２ フランジ ３３ 基台 ３５ モータ支持台 ３６ モータ支持台 ４０ ベローズ ４１ モータ ４２ モータ ４３ モータ ４４ モータ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年９月９日（１９９８．９．９）
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正内容】
【図８】
Claims (2)
- 【請求項１】 基板を取出し位置から移載位置に搬送す
る基板搬送装置において、モータにより回転される立設
した支軸上面に取付けた第１アームと、該第１アームの
両端部に対し前記モータとは別設モータで駆動される第
２アームａ，ｂをそれぞれ配設すると共に、各第２アー
ム２ａ，２ｂの他端部に一端部が連結された第３アーム
３ａ，３ｂと、該第３アーム３ａ，３ｂの他端部に基板
保持部５ａ，５ｂを配設したことを特徴とする基板搬送
装置。 - 【請求項２】 第１アームの支軸を内包となし、その外
方に第２アーム２ａ，２ｂの駆動軸を同心円上に配設し
たことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24142398A JP2000072248A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24142398A JP2000072248A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000072248A true JP2000072248A (ja) | 2000-03-07 |
Family
ID=17074088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24142398A Pending JP2000072248A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000072248A (ja) |
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004009172A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | Yaskawa Electric Corp | 多関節ロボットおよびその制御装置 |
| WO2005008769A1 (ja) | 2003-07-16 | 2005-01-27 | Tokyo Electron Limited | 搬送装置及び駆動機構 |
| JP2007517677A (ja) * | 2004-01-08 | 2007-07-05 | テクニシェ ユニバーシタット ベルリン | ロボットとその位置決めの方法 |
| KR100771903B1 (ko) * | 2000-11-17 | 2007-11-01 | 다즈모 가부시키가이샤 | 더블아암 기판 반송장치 |
| KR100808331B1 (ko) * | 2000-05-04 | 2008-02-27 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 온도 민감성 응용을 갖는 로봇용 장치 및 방법 |
| KR100848556B1 (ko) * | 2002-03-25 | 2008-07-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정 패널의 회전 버퍼 및 이를 이용한 러빙장치 |
| JP2008272864A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット及び集合処理装置 |
| WO2012026293A1 (ja) * | 2010-08-24 | 2012-03-01 | 株式会社アルバック | 搬送装置 |
| JP2012514569A (ja) * | 2009-01-11 | 2012-06-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 電子デバイス製造において基板を搬送するためのロボットシステム、装置、および方法 |
| US8651796B2 (en) | 2007-04-06 | 2014-02-18 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with multiple independently movable articulated arms |
| JP2014509083A (ja) * | 2011-03-11 | 2014-04-10 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理ツール |
| US8752449B2 (en) | 2007-05-08 | 2014-06-17 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism |
| WO2015068185A1 (ja) * | 2013-11-06 | 2015-05-14 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送装置 |
| US9033644B2 (en) | 2012-07-05 | 2015-05-19 | Applied Materials, Inc. | Boom drive apparatus, multi-arm robot apparatus, electronic device processing systems, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing systems with web extending from hub |
| WO2016056119A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよびその運転方法 |
| KR20170138395A (ko) * | 2015-02-06 | 2017-12-15 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 동등하지 않은 링크 길이를 가진 아암을 구비한 로봇 |
| US10737381B2 (en) | 2010-11-10 | 2020-08-11 | Brooks Automation, Inc. | Dual arm robot |
| JP2021010011A (ja) * | 2012-02-10 | 2021-01-28 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理装置 |
| US20210151344A1 (en) * | 2013-01-18 | 2021-05-20 | Persimmon Technologies Corporation | Robot Having Arm with Unequal Link Lengths |
| DE102022125564B3 (de) | 2022-10-04 | 2023-10-12 | J.Schmalz Gmbh | Verfahren zum Handhaben von Gegenständen und Handhabungsanlage |
-
1998
- 1998-08-27 JP JP24142398A patent/JP2000072248A/ja active Pending
Cited By (45)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100808331B1 (ko) * | 2000-05-04 | 2008-02-27 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 온도 민감성 응용을 갖는 로봇용 장치 및 방법 |
| KR100771903B1 (ko) * | 2000-11-17 | 2007-11-01 | 다즈모 가부시키가이샤 | 더블아암 기판 반송장치 |
| KR100848556B1 (ko) * | 2002-03-25 | 2008-07-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정 패널의 회전 버퍼 및 이를 이용한 러빙장치 |
| JP2004009172A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | Yaskawa Electric Corp | 多関節ロボットおよびその制御装置 |
| WO2005008769A1 (ja) | 2003-07-16 | 2005-01-27 | Tokyo Electron Limited | 搬送装置及び駆動機構 |
| JP2010166083A (ja) * | 2003-07-16 | 2010-07-29 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
| US7837425B2 (en) | 2003-07-16 | 2010-11-23 | Tokyo Electron Limited | Transportation apparatus and drive mechanism |
| JP2007517677A (ja) * | 2004-01-08 | 2007-07-05 | テクニシェ ユニバーシタット ベルリン | ロボットとその位置決めの方法 |
| US8651796B2 (en) | 2007-04-06 | 2014-02-18 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with multiple independently movable articulated arms |
| CN101293348B (zh) * | 2007-04-27 | 2012-10-17 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人和集合处理装置 |
| JP2008272864A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット及び集合処理装置 |
| US8752449B2 (en) | 2007-05-08 | 2014-06-17 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism |
| US10335945B2 (en) | 2007-05-08 | 2019-07-02 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport appartatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism |
| US11801598B2 (en) | 2007-05-08 | 2023-10-31 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism |
| JP2012514569A (ja) * | 2009-01-11 | 2012-06-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 電子デバイス製造において基板を搬送するためのロボットシステム、装置、および方法 |
| US8784033B2 (en) | 2009-01-11 | 2014-07-22 | Applied Materials, Inc. | Robot systems, apparatus and methods for transporting substrates |
| US9457464B2 (en) | 2009-01-11 | 2016-10-04 | Applied Materials, Inc. | Substrate processing systems and robot apparatus for transporting substrates in electronic device manufacturing |
| JP5286451B2 (ja) * | 2010-08-24 | 2013-09-11 | 株式会社アルバック | 搬送装置 |
| WO2012026293A1 (ja) * | 2010-08-24 | 2012-03-01 | 株式会社アルバック | 搬送装置 |
| US11613002B2 (en) | 2010-11-10 | 2023-03-28 | Brooks Automation Us, Llc | Dual arm robot |
| US10737381B2 (en) | 2010-11-10 | 2020-08-11 | Brooks Automation, Inc. | Dual arm robot |
| JP2014509083A (ja) * | 2011-03-11 | 2014-04-10 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理ツール |
| US9852935B2 (en) | 2011-03-11 | 2017-12-26 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
| US11978649B2 (en) | 2011-03-11 | 2024-05-07 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate processing apparatus |
| US10600665B2 (en) | 2011-03-11 | 2020-03-24 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
| US10325795B2 (en) | 2011-03-11 | 2019-06-18 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
| JP7292249B2 (ja) | 2012-02-10 | 2023-06-16 | ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー | 基板処理装置 |
| JP2021010011A (ja) * | 2012-02-10 | 2021-01-28 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理装置 |
| US9033644B2 (en) | 2012-07-05 | 2015-05-19 | Applied Materials, Inc. | Boom drive apparatus, multi-arm robot apparatus, electronic device processing systems, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing systems with web extending from hub |
| US20210151344A1 (en) * | 2013-01-18 | 2021-05-20 | Persimmon Technologies Corporation | Robot Having Arm with Unequal Link Lengths |
| US11640919B2 (en) * | 2013-01-18 | 2023-05-02 | Persimmon Technologies Corporation | Robot having arm with unequal link lengths |
| US11996316B2 (en) * | 2013-01-18 | 2024-05-28 | Persimmon Technologies Corporation | Robot having arm with parallel paths |
| US9905446B2 (en) | 2013-11-06 | 2018-02-27 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate transferring apparatus |
| KR101820037B1 (ko) * | 2013-11-06 | 2018-01-18 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 기판 반송 장치 |
| WO2015068185A1 (ja) * | 2013-11-06 | 2015-05-14 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送装置 |
| US10269613B2 (en) | 2014-10-10 | 2019-04-23 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate conveying robot and method of operating the same |
| WO2016056119A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよびその運転方法 |
| JPWO2016056119A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2017-07-20 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよびその運転方法 |
| KR20180001602A (ko) * | 2015-02-06 | 2018-01-04 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 동등하지 않은 링크 길이를 가진 아암을 구비한 로봇 |
| KR20170138395A (ko) * | 2015-02-06 | 2017-12-15 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 동등하지 않은 링크 길이를 가진 아암을 구비한 로봇 |
| KR102451144B1 (ko) * | 2015-02-06 | 2022-10-05 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 동등하지 않은 링크 길이를 가진 아암을 구비한 로봇 |
| KR102430044B1 (ko) * | 2015-02-06 | 2022-08-05 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 동등하지 않은 링크 길이를 가진 아암을 구비한 로봇 |
| KR20220048053A (ko) * | 2015-02-06 | 2022-04-19 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 동등하지 않은 링크 길이를 가진 아암을 구비한 로봇 |
| KR102386346B1 (ko) * | 2015-02-06 | 2022-04-13 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 동등하지 않은 링크 길이를 가진 아암을 구비한 로봇 |
| DE102022125564B3 (de) | 2022-10-04 | 2023-10-12 | J.Schmalz Gmbh | Verfahren zum Handhaben von Gegenständen und Handhabungsanlage |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050614 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050811 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060214 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060414 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060725 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060824 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20060824 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060929 |
|
| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20061117 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20070612 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Effective date: 20070612 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |