JP3755744B2 - 基板搬送用ロボット - Google Patents

基板搬送用ロボット Download PDF

Info

Publication number
JP3755744B2
JP3755744B2 JP2001234789A JP2001234789A JP3755744B2 JP 3755744 B2 JP3755744 B2 JP 3755744B2 JP 2001234789 A JP2001234789 A JP 2001234789A JP 2001234789 A JP2001234789 A JP 2001234789A JP 3755744 B2 JP3755744 B2 JP 3755744B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
arm
fork
transfer robot
substrate transfer
fixed base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2001234789A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003045934A (ja
Inventor
英治 善甫
英雄 山本
英成 尾野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to JP2001234789A priority Critical patent/JP3755744B2/ja
Publication of JP2003045934A publication Critical patent/JP2003045934A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3755744B2 publication Critical patent/JP3755744B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置等で用いられる基板搬送用ロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図４に示すように、半導体ウェハや液晶ガラス基板など薄板状の基板を搬送する従来の一般的な基板搬送用ロボット５１は、固定ベース５２と固定ベース５２に旋回可能に連結された第１アーム５３と、第１アーム５３に旋回可能に連結された第２アーム５４と、第２アーム５４に旋回可能に連結された基板載置用のフォーク５５から構成されていた。
この基板搬送用ロボット５１は、フォーク５５を固定ベース５２に対して昇降させる動作、フォーク５５を固定ベース５１を中心にした円周方向に旋回させる動作、およびフォーク５５を固定ベース５２の中心を基準とする半径方向に伸縮させる動作の合計３自由度を有していた。
基板搬送用ロボット５１は１台で複数の処理装置を受け持つのが一般的であり、図５に示すように、基板搬送用ロボット５１を中心に複数の処理装置６１を放射状に配置して、複数の処理装置６１に順次、基板を搬出入するレイアウトが取られていた。
しかし、近年、半導体の需要の増大に伴い半導体製造装置の増設の要求が強いが、処理装置を放射状に配置したのでは、設置スペースが大きいので、限られたスペース内に半導体製造装置を増設することが困難であるという問題に直面している。そこで、図６に示すように、処理装置６１を矩形に配置したいという要求が出てきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の基板搬送用ロボットのフォークは固定ベースの中心を基準とした半径方向の伸縮動作しか出来ないので、処理装置に対する基板の搬出入の方向が前記半径方向と一致しない矩形配置には対応できないという問題があった。
そこで、本発明は矩形に配置された複数の処理装置に基板を搬出入できる基板搬送用ロボットを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の請求項１の発明は、固定ベースと、前記固定ベースに旋回可能に連結された１つの第１アームと、前記第１アームに旋回可能に連結された１つの第２アームと、前記第２アームに旋回可能に連結されたフォークと、を備えるとともに、前記第１アームおよび前記第２アームの駆動用モータはそれぞれ前記固定ベース内部に取付けられ、前記フォークの駆動用モータは前記第１アームに取付けられた基板搬送用ロボットにおいて、前記フォークの駆動用モータは、前記第２アームの旋回軸部に内蔵された減速機付きモータであり、前記駆動用モータの回転軸が前記第２アームの旋回中心に一致するように前記第１アームに取り付けられることを特徴とするものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
図１は本発明の実施例を示めす基板搬送用ロボットの外形図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）は側面図である。図２はアーム部の内部機構を示す側断面図、図３は別の実施例を示す基板搬送用ロボットの平面図である。
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明の基板搬送用ロボット１は、固定ベース２と、前記固定ベース２に旋回可能に連結された第１アーム３と、前記第１アーム３に旋回可能に連結された第２アーム４と、前記第２アーム４に旋回可能に連結されたフォーク５とからなっている。なお、第１アーム３は、固定ベース２内に設けた図示しない昇降機構により上下動が可能となっている。
フォーク５は旋回軸６を挟んで、２つの基板載置部５ａ、５ｂが互いに逆向きに取り付けられた両頭型のフォークである。
第１アーム３、第２アーム４、およびフォーク５からなるアーム部の内部機構は、図２に示すように構成される。
第１アーム３と第２アーム４の駆動用モータは、それぞれ固定ベース２の内部に設置され（図示せず）、その出力軸は同心２軸で構成されている。同心２軸の外側の軸は第１アーム３駆動用の出力軸７で、第１アーム３の下部に直接連結される。また、内側の軸は第２アーム４駆動用の出力軸８で、第１アーム３内に突出するとともに、先端部にプーリ９が取り付けられ、第２アーム４の下部に連結されたプーリ１０とベルト１１で結ばれて、第２アーム４と連結される。
第２アーム４の先端部には、フォーク５が旋回可能に取り付けられている。フォーク５を支持する軸１２の下部にはプーリ１３を取り付けている。
また、フォーク５の駆動用のモータ１４は、第１アーム３にその回転軸が第２アーム４の旋回中心に一致するように固定されている。モータ１４には減速機１５を介してプーリ１６が取り付けられている。プーリ１３とプーリ１６はベルト１７で結ばれている。
第１アーム３、第２アーム４およびフォーク５はそれぞれ別のモータで駆動されるので、フォーク５は水平面内において任意の方向に進退できる。
また、フォーク５は、２つのフォークは両頭型（つまり、向きが１８０度異なる）に代えて、図３に示すような「く」字型、つまり２つの基板載置部を旋回中心周りに任意の角度で曲げて取り付けてもよい。
なお、本発明は、固定ベースに昇降機構を有しない基板搬送用ロボットにおいても同様に適用することができる。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、フォークを水平面内において任意の方向に進退できるので、矩形に配置された複数の処理装置に対して基板の搬出入ができる効果がある。また２つの基板載置部を両頭型あるいは「く」字型に取り付けて、処理前の基板と処理済みの基板を同時にフォーク上に載置できるようにしたので、基板の搬出入を能率的にできるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す基板搬送用ロボットの外形図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は側面図である。
【図２】アーム部の内部機構を示す側断面図である。
【図３】本発明の別の実施例を示す基板搬送用ロボットの平面図である。
【図４】従来の基板搬送用ロボットを示す平面図である。
【図５】処理装置の放射状配置を示す平面図である。
【図６】処理装置の矩形配置を示す平面図である。
【符号の説明】
１ 基板搬送用ロボット、２ 固定ベース、３ 第１アーム、４ 第２アーム、５ フォーク、５ａ，５ｂ 基板載置部、６ 旋回中心、７ 第１アーム駆動用の出力軸、８ 第２アーム駆動用の出力軸、９、１０ プーリ、１１ ベルト、１２ 軸、１３ プーリ、１４ モータ、１５ 減速機、１６ プーリ、１７ ベルト、５１ 基板搬送用ロボット、５２ 固定ベース、５３ 第１アーム、５４第２アーム、５５ フォーク、６１ 処理装置

Claims (1)

  1. 固定ベースと、前記固定ベースに旋回可能に連結された１つの第１アームと、前記第１アームに旋回可能に連結された１つの第２アームと、前記第２アームに旋回可能に連結されたフォークと、を備えるとともに、前記第１アームおよび前記第２アームの駆動用モータはそれぞれ前記固定ベース内部に取付けられ、前記フォークの駆動用モータは前記第１アームに取付けられた基板搬送用ロボットにおいて、
    前記フォークの駆動用モータは、前記第２アームの旋回軸部に内蔵された減速機付きモータであり、
    前記駆動用モータの回転軸が前記第２アームの旋回中心に一致するように前記第１アームに取り付けられることを特徴とする基板搬送用ロボット。
JP2001234789A 2001-08-02 2001-08-02 基板搬送用ロボット Expired - Lifetime JP3755744B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001234789A JP3755744B2 (ja) 2001-08-02 2001-08-02 基板搬送用ロボット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001234789A JP3755744B2 (ja) 2001-08-02 2001-08-02 基板搬送用ロボット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003045934A JP2003045934A (ja) 2003-02-14
JP3755744B2 true JP3755744B2 (ja) 2006-03-15

Family

ID=19066337

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001234789A Expired - Lifetime JP3755744B2 (ja) 2001-08-02 2001-08-02 基板搬送用ロボット

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3755744B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015508236A (ja) * 2012-02-10 2015-03-16 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 基板処理装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9003919B2 (en) 2010-09-03 2015-04-14 Mitsubishi Electric Corporation Ceiling-mounted scara robot
JP5663638B2 (ja) 2012-10-11 2015-02-04 株式会社ティーイーエス 基板移送装置
CN114474138A (zh) * 2022-01-17 2022-05-13 闽南理工学院 一种适应食品抓取的机器人末端执行器装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015508236A (ja) * 2012-02-10 2015-03-16 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 基板処理装置
JP2021010011A (ja) * 2012-02-10 2021-01-28 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 基板処理装置
JP7292249B2 (ja) 2012-02-10 2023-06-16 ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー 基板処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003045934A (ja) 2003-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5581338B2 (ja) 電子デバイス製造において基板を搬送するためのロボットシステム、装置、および方法
WO2002049099A1 (fr) Robot destine a porter un substrat
JP2008135630A (ja) 基板搬送装置
US7245989B2 (en) Three-degree-of-freedom parallel robot arm
JP2004288718A (ja) 基板搬送装置及び基板処理装置
CN2762970Y (zh) 一种传输机器人
JPH07142552A (ja) 搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置
US7845897B2 (en) Method for transporting substrates
JP2000072248A (ja) 基板搬送装置
US6224319B1 (en) Material handling device with overcenter arms and method for use thereof
CN105008096A (zh) 工业用机器人
JP3755744B2 (ja) 基板搬送用ロボット
JPH10163296A (ja) 基板搬送装置
JP4000036B2 (ja) 搬送装置
TW200817150A (en) Multi-joint robot and wiring method
CN211320066U (zh) 晶圆转移装置
JP4056283B2 (ja) 被移送体移送装置及びその移送方法
JP2002166377A (ja) 基板搬送用ロボット
US20230133347A1 (en) Wafer transfer robot apparatus based on direct drive motor
JP2739413B2 (ja) 基板搬送用スカラ型ロボット
JP4199432B2 (ja) ロボット装置及び処理装置
JP3488393B2 (ja) 多関節ロボット装置
JPH10581A (ja) ワーク搬送ロボット
JP4116675B2 (ja) 同軸駆動ローダアーム
JPH1187456A (ja) 基板処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20041014

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041207

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041209

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050105

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050303

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050905

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051024

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20051202

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20051215

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 3755744

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100106

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110106

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110106

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120106

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120106

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130106

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150106

Year of fee payment: 9

EXPY Cancellation because of completion of term